KR20170038170A

KR20170038170A - 유리 합지, 유리판 적층체 및 유리판 곤포체

Info

Publication number: KR20170038170A
Application number: KR1020160124757A
Authority: KR
Inventors: 유지 후세; 사에 와카바야시
Original assignee: 아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2015-09-29
Filing date: 2016-09-28
Publication date: 2017-04-06
Anticipated expiration: 2036-09-28
Also published as: TWI797063B; CN106946453A; CN106946453B; JP6671639B2; JP2017065803A; CN113562971A; KR102601678B1; TW201714846A

Abstract

유리 합지로부터 전사되는 이물에 기인하는 오염 및 배선 등의 불량의 발생을 억제할 수 있는 유리 합지, 유리판 적층체 및 유리판 곤포체를 제공한다.

Description

유리 합지, 유리판 적층체 및 유리판 곤포체{GLASS INTERLEAF PAPER, GLASS PLATE LAMINATE AND GLASS PLATE PACKING BODY}

본 발명은 유리 합지, 유리판 적층체 및 유리판 곤포체에 관한 것이다.

건축용 유리판, 자동차용 유리판, 플라즈마 디스플레이용 유리판이나 액정 디스플레이용 유리판 등의 FPD(Flat Panel Display)용 유리판은, 보관 중이나 반송 중에 표면에 흠집이 생기거나, 표면이 분위기 중의 오염 물질에 의해 오염되거나 하여, 제품 결함이 발생하는 경우가 있다.

특히, FPD용 유리판(유리 기판)은, 표면에 미세한 전기 배선(이하, 배선이라고도 함), 전극, 전기 회로, 격벽 등의 소자가 형성되므로, 표면에 약간의 흠집이나 오염이 있어도 단선 등의 불량의 원인이 된다. 그로 인해, 이들 용도에 사용되는 유리판에는 높은 표면의 청정성이 요구된다.

일반적으로, 유리판은 곤포용 팔레트 등에 적층된 상태로 보관, 반송된다.

이때 유리판 사이에 소위 유리 합지를 개재시킴으로써, 인접하는 유리판의 표면끼리를 분리하여, 유리판의 표면의 흠집이나 분위기 중의 오염 물질에 의한 오염을 방지하고 있다.

그러나, 유리판 사이에 유리 합지를 개재시키는 방법에서는, 유리 합지와 유리판의 표면이 직접 접촉한다. 그로 인해, 유리 합지의 표면에 존재하는 수지 등각종 성분(이물) 등이 유리판의 표면에 전사된다. 표면에 이물이 많이 존재하는 유리 합지를 사용한 경우에는 유리판에 종이 표면 모양이나 버닝이나 오염 등의 문제가 발생하기 쉽다. 또한, 유리판의 표면에 형성된 미세한 배선이 단선되는 등의 불량의 원인이 된다. 이러한 이물은 세정을 행해도 유리판의 표면으로부터 완전히 제거하는 것은 곤란하다.

상기 문제를 해결하는 방법으로서, 예를 들어 특허문헌 1에는, 고급 포화 지방산의 함유율을 0.08질량％ 이하로 한 유리 합지를 사용하여 유리판을 곤포한 유리판 곤포체가 개시되어 있다.

또한, 특허문헌 2에는 규소 원소를 갖는 유기 화합물의 함유량이 3ppm 이하인 유리 합지가 개시되어 있다.

국제 공개 제2011/118502호 국제 공개 제2014/098162호

특허문헌 1, 2에서는, 유리 합지에 포함되는 이물의 함유량을 저감함으로써, 유리판의 표면의 오염 발생, 유리판의 표면에 형성된 배선의 단선 등의 불량의 발생을 억제하고 있다.

그러나, 유리 합지 중의 이물의 함유량을 저감시키는 것만으로는, 유리판의 표면에 형성된 배선의 단선 등의 불량의 발생을 충분히 억제할 수 없는 경우가 있다.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 유리 합지로부터 전사되는 이물에 기인하는 오염 및 배선 등의 불량의 발생을 충분히 억제할 수 있는 유리 합지 및 이 유리 합지를 사용하는 유리판 적층체 및 유리판 곤포체를 제공하는 데 있다.

본 발명의 일 형태에 의한 유리 합지는, 다음의 측정 방법에 의해 계수한 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수가 10개/269㎡ 이하이다.

[측정 방법]

(A) 평가용 유리판(두께 0.7㎜이고, 370㎜×470㎜의 사이즈)에, 유리 합지를(횟수: 100회, 시간: 4초/회, 압력: 0.45㎫, 평가용 유리판 온도: 55℃) 가압하고, (B) 가압을 종료한 상기 평가용 유리판을 반송(라인 스피드 200㎝/min)하면서, 순수를 공급(유량: 57L/min)하고, 상기 평가용 유리판의 상측에 2개 및 하측에 2개 배치된 합계 4개의 롤 브러시(롤 직경(내경): 60mm, 롤 직경(외경): 80mm, 모 직경: 0.06㎜/밀권(密卷), 재질: 나일론612, 회전수: 300rpm, 거리: 상하 0㎜)로 상기 평가용 유리판을 세정하고, (C) 오르보테크사제 오프라인 결함 검사 시스템(FPI-6000 시리즈(형식 번호: FPI6090D))을 사용하여, 세정된 상기 평가용 유리판의 전체 이물을 검사하여, 전체 이물의 화상을 취득하고, (D) 상기 화상에 기초하여 상기 전체 이물을 육안으로 외관 관찰하여, 상기 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한다.

바람직하게는, 유리 합지이며, 상기 측정 방법에 의해 계수한 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수가 6개/269㎡ 이하이다.

바람직하게는, 유리 합지이며, 상기 측정 방법에 의해 계수한 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수가 3개/269㎡ 이하이다.

바람직하게는, 유리 합지이며, JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하이다.

본 발명의 다른 일 형태에 의한 유리판 적층체는, 상기 유리 합지와 유리판을 교대로 적층시킨 유리판 적층체이다.

본 발명의 다른 일 형태에 의한 유리판 곤포체는, 상기 유리판 적층체와, 상기 유리판 적층체를 재치(載置)하는 팔레트를 구비한다.

바람직하게는, 상기 팔레트가, 상기 유리판 적층체가 평적 상태로 재치되는 팔레트이다.

본 발명에 따르면, 유리 합지로부터 전사되는 이물에 기인하는 오염 및 배선 등의 불량의 발생을 억제할 수 있다.

도 1의 (A) 내지 (D)는 측정 장치의 전체 구성도이다.
도 2의 (A) 내지 (D)는 가압 장치와 합지 공급 장치에 의한 합지 공급 동작 및 가압 동작을 계시적으로 나타낸 설명도이다.
도 3의 (A) 및 (B)는 평가용 유리판이 세정 장치를 통과할 때의 상태를 나타낸 설명도이다.
도 4의 (A) 내지 (F)는 결함 검사 장치에 의해 취득된 화상이다.
도 5는 유리 합지를 제지하는 초지기의 개략 구성도이다.
도 6은 유리판 곤포체의 일례를 개념적으로 도시하는 도면이다.

이하, 첨부 도면에 따라 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 발명은 이하의 바람직한 실시 형태에 의해 설명된다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 많은 방법에 의해 변경을 행할 수 있고, 본 실시 형태 이외의 다른 실시 형태를 이용할 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위 내에 있어서의 모든 변경이 특허 청구 범위에 포함된다.

여기서, 도면 중 동일한 기호로 나타나는 부분은, 마찬가지의 기능을 갖는 마찬가지의 요소이다. 또한, 본 명세서 중에서, 수치 범위를 "내지"를 사용하여 나타내는 경우에는, "내지"로 나타나는 상한, 하한의 수치도 수치 범위에 포함하는 것으로 한다.

이하, 첨부 도면에 따라 본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명한다.

전술한 바와 같이, 유리 합지로부터 이물이 유리판에 전사하여, 유리판의 표면의 오염, 유리판의 표면에 형성된 배선의 단선 등의 불량을 억제하기 위하여, 종래, 유리 합지 중의 이물의 함유량을 저감시키는 일이 행하여지고 있다.

그러나, 본 발명자들의 검토에 의하면, FPD용 유리판 등의, 표면에 배선이나 전극 등의 소자가 형성되는 유리판에서는, 요즘의 디스플레이의 대형화나 고정밀화에 의해, 종래에는 문제가 발생하지 않던 이물의 개수가 적은 유리 합지에서도, 배선 등의 불량이, 결코 낮지만은 않은 확률로 발생했다. 따라서, 재차 검토한 바, 50㎛ 이하의 특정한 이물의 개수를 저감시킴으로써, 배선의 단선 등의 불량을 억제하는 것을 발견하고, 본 발명에 이르렀다.

(유리 합지)

본 실시 형태에 사용되는 유리 합지로서는, 크라프트 펄프(KP), 설파이트 펄프(SP), 소다 펄프(AP) 등의 화학 펄프; 세미 케미컬 펄프(SCP), 케미 그라운드 우드 펄프(CGP) 등의 반화학 펄프; 쇄목 펄프(GP), 서모 메카니컬 펄프(TMP, BCTMP), 리파이너 그라운드 우드 펄프(RGP) 등의 기계 펄프; 닥나무, 삼지닥나무, 삼, 케나프 등을 원료로 하는 비목재 섬유 펄프; 합성 펄프; 등, 각종 원료를 포함하는 유리 합지를 이용할 수 있다. 또한, 본 발명의 유리 합지는, 이들의 혼합물을 원료로 하는 것이어도 되고, 셀룰로오스 등을 함유하는 것을 원료로 해도 된다.

또한, 이들의 원료는 파지이어도 되고, 버진 펄프(Virgin pulp)여도 되고, 파지와 버진 펄프의 혼합물이어도 된다. 그 중에서도 버진 펄프가 바람직하다.

본 실시 형태의 유리 합지에 있어서는, 어느 펄프든 유리판에 전사했을 때 배선이나 전극의 불량 등의 큰 원인이 되는, 실리콘계의 소포제(실리콘을 함유하는 소포제)를 사용하지 않고 제조한 펄프를 원료로서 사용하는 것이 바람직하다.

그 중에서도, 폴리디메틸실록산을 함유하는 소포제를 사용하지 않고 제조한 펄프가, 본 실시 형태의 유리 합지의 원료로서, 특히 적합하게 사용된다.

또한, 유리 합지는 JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하인 것이 바람직하다. 유기물 함유량의 하한값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 0.001 질량% 이상이다. 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하로 함으로써, 유리 합지로부터 유리판에 유기물이 전사되는 것을 억제할 수 있다.

(측정 방법)

이어서, 유리 합지의 이물의 측정 방법에 대하여 설명한다. 도 1에는 실시 형태의 측정 장치(10)의 전체 구성도가 도시되어 있다.

도 1의 (A)에는 가압 장치(12), 도 1의 (B)에는 세정 장치(14), 도 1의 (C)에는 결함 검사 장치(16) 및 도 1의 (D)에는 표시 장치(18)가 각각 도시되어 있다.

가압 장치(12)는, 하측 정반(20), 상측 정반(22) 및 실린더 장치(24)로 구성된다. 하측 정반(20)의 상면에는, 판 형상의 흡착 패드(26)가 부착되어 있고, 흡착 패드(26)의 수평한 상면에 검사 대상인 직사각 형상의 평가용 유리판(28)이 착탈 가능하게 흡착 보유 지지된다. 여기서 평가용 유리판(28)은 두께 0.7㎜이고, 370㎜×470㎜의 사이즈이다.

평가용 유리판(28)으로서는, 액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기 일렉트로루미네센스(EL) 디스플레이 등의 FPD용 유리판을 예시하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 건축용 유리판, 차량용 유리판 등을 포함하는, 평판 형상의 유리판을 들 수도 있다.

상측 정반(22)은, 하측 정반(20)에 대하여, 상하 방향으로 대향하여 배치된다. 또한, 상측 정반(22)은, 도시하지 않은 프레임에 고정되어 있다. 또한, 상측 정반(22)의 하면에는 판 형상의 흡착 패드(30)가 부착되어 있고, 흡착 패드(30)의 수평한 하면에 더미의 유리판(32)이 착탈 가능하게 흡착 보유 지지되어 있다.

후술하는 합지 공급 장치(도 2 참조)(34)로부터 되감아진 띠 형상의 유리 합지(36)는, 평가용 유리판(28)과 더미의 유리판(32) 사이의 간극에 평가용 유리판(28) 및 더미의 유리판(32)의 각각의 표면과 평행하게 삽입 관통된다.

실린더 장치(24)는 하측 정반(20)을 승강시키는 유체 실린더이며, 실린더 본체(38)가 도시하지 않은 가대에 고정되고, 실린더 본체(38)에 대하여 신축 동작하는 피스톤(40)의 상단부가 하측 정반(20)의 하면에 고정되어 있다.

따라서, 피스톤(40)이 신장 동작되면, 하측 정반(20)이 상승함으로써, 하측 정반(20)의 상방에 위치하고 있는 유리 합지(36)에 평가용 유리판(28)이 맞닿는다. 계속되는 하측 정반(20)의 상승 이동에 의해, 유리 합지(36)가 상방(더미의 유리판(32)에 다가오는 방향)으로 들어 올려진 후, 평가용 유리판(28)과 더미의 유리판(32)에 협지 가압된다. 이에 의해, 평가용 유리판(28)과 유리 합지(36)가 가압된다. 또한, 가압 시에 있어서, 유리 합지(36)는 상측 정반(22)에 유리판(32)을 개재하여 지지된다. 또한, 평가용 유리판(28)과 더미의 유리판(32)에 의해 유리 합지(36)를 협지 가압함으로써, 곤포체(도 6)에 합지를 개재하여 적층된 유리판 적층체(도 6)의 형태가 재현된다. 또한, 소정의 가압력에 의해 평가용 유리판(28)을 유리 합지(36)에 가압함으로써 실제의 수송 시에 가까운 부하를 재현할 수 있다. 또한, 피스톤(40)을 수축 동작시키면, 하측 정반(20)이 가압을 제거하는 방향으로 하강한다.

또한, 실시 형태에서는, 하측 정반(20)을 승강 동작시켰지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 하측 정반(20) 및 상측 정반(22)을 상대적으로 승강 동작시키면 된다.

도 2는 가압 장치(12)와 합지 공급 장치(34)에 의한 가압 동작 및 합지 공급 동작을 계시적으로 나타낸 설명도이다.

실제로 FPD용 유리판을 포장하여 반송할 때, 일반적으로 유리 합지는, 제지 메이커 등으로부터 롤 형상으로 제공된 것을 원하는 치수, 형상(포장 대상의 유리판과 대략 상사형인 직사각형 형상)으로 절단된 상태로 사용된다. 실시 형태의 측정 장치(10)에 있어서는, 절단 전의 롤의 상태로 되감아진 상태의 띠 형상의 유리 합지(36)가 사용된다.

합지 공급 장치(34)는 롤 형상으로 권회된 합지 롤(42)을, 그 권회축(44)을 중심으로 회전 가능하게 지지하는 회전 지지부(46)와, 합지 롤(42)로부터 띠 형상의 유리 합지(36)를 권취하는 권취부(48)로 구성된다.

도 2의 (A)에 도시한 바와 같이, 유리 합지(36)의 선단부를 권취축(54)에 고정한다. 이때, 하측 정반(20)은 가압 위치로부터 하방으로 퇴피한 가압 제거 위치에 위치된다.

평가 개시 전의 초기 설정에 있어서, 유리 합지(36)는 합지 롤(42)로부터 화살표 A 방향으로 되감아져, 텐션 롤러(50)에 감아 걸림과 함께, 하측 정반(20)과 상측 정반(22) 사이의 간극에 삽입 관통된다. 그리고, 유리 합지(36)는 텐션 롤러(52)에 감아 걸리고, 유리 합지(36)의 선단부가 권취부(48)의 권취축(54)에 고정된다. 권취축(54)은 모터(56)의 동력이 전달되어, 유리 합지(36)를 합지 롤(42)로부터 되감는 방향(화살표 A 방향)과 동일한 방향으로 회전된다. 이와 같이 하여, 유리 합지(36)는 권취축(54)에 권취된다.

이어서, 도 2의 (B)에 도시한 바와 같이, 실린더 장치(24)의 피스톤(40)을 신장 동작시켜, 평가용 유리판(28)과 유리 합지(36)를 가압하는 화살표 B 방향으로 하측 정반(20)을 상승시켜 유리 합지(36)에 평가용 유리판(28)의 표면을 가압한다. 이때의 조건은, 4초/회의 시간, 0.45㎫의 압력 및 평가용 유리판(28)의 온도를 55℃로 한다.

이어서, 도 2의 (C)에 도시한 바와 같이, 실린더 장치(24)의 피스톤(40)을 수축 동작시켜, 하측 정반(20)을, 가압 위치로부터 하방으로 퇴피한 가압 제거 위치에 위치시킨다. 이 후, 합지 공급 장치(34)에 의해 유리 합지(36)를 합지 롤(42)로부터 1매분만 되감는다.

또한, 도 2에서는 도시하지 않았지만, 실린더 장치(24)와 모터(56)를 간헐적으로 구동 제어하는 제어 장치가 구비되어 있다. 이 제어 장치는, 화살표 B, C로 나타내는 실린더 장치(24)에 의한 간헐적인 가압·가압 해제 동작과, 화살표 A로 나타내는 모터(56)에 의한 1매분의 간헐적인 합지 권취 동작을 교대로 복수회 행하도록 제어한다. 즉, 제어 장치는, 합지 공급 장치(34)에 의한 합지 공급 공정과, 실린더 장치(24)에 의한 가압 공정을 평가용 유리판(28)에 대하여 교대로 복수회 행하도록, 실린더 장치(24)와 모터(56)를 간헐적으로 구동 제어한다.

유리 합지(36)의 1매분의 합지 권취 동작이란, 평가용 유리판(28)을 포장하여 반송할 때에 사용되는 유리 합지(36)의 사이즈를 1매분으로 하고 그 1매분을 권취하는 동작을 의미한다. 이에 의해, 평가용 유리판(28)은, 항상 새로운 유리 합지(36)에 가압되게 된다. 합지 롤(42)에 대하여, 합지 권취 동작을 복수회 반복함으로써, 대면적의 합지 롤(42)의 이물 정보를 1매의 평가용 유리판(28)에 집약할 수 있다.

도 2의 (D)에 있어서는, 상기 동작을 100회분 반복한다.

합지 롤(42)의 전체 길이분의 합지 권취 동작을 반복할 수 있지만, 이물 정보를 1매의 평가용 유리판(28)에 집약하기 위한 시간이 길어진다. 평가용 유리판(28)에 집약되는 이물 정보와 시간을 고려하여, 본 실시 형태에서는 합지 권취 동작을 100회, 즉 유리 합지(36)의 100매분의 이물 정보를 평가용 유리판(28)에 집약시키고 있다.

또한, 실시 형태의 가압 장치(12)에서, 평가용 유리판(28)과 동일 사이즈로 절단한 유리 합지(36)를 사용하는 경우에는, 상측 정반(22)의 더미 유리판(32)의 하면에, 그 유리 합지(36)를 부착하면 된다. 이에 의해, 유리 합지(36)는 더미의 유리판(32)을 개재하여 상측 정반(22)에 지지된다.

도 1의 (B)에 도시한 세정 장치(14)는, 가압 장치(12)에 의해 유리 합지(36)가 가압된 평가용 유리판(28)의 표면을 세정하여, 유리 합지(36)로부터 평가용 유리판(28)의 표면에 부착(전사)된 이물을 제거한다.

세정 장치(14)에서는, 평가용 유리판(28)을 라인 스피드 200㎝/min으로 반송하면서, 노즐(58)로부터 순수를 57L/min의 유량으로 공급함과 함께, 상측 제1 롤 브러시(60), 상측 제2 롤 브러시(62), 하측 제1 롤 브러시(64) 및 하측 제2 롤 브러시(66)를 300rpm의 회전수(평가용 유리판(28)의 반송 방향과 동일 방향)로, 평가용 유리판(28)을 세정한다. 또한, 세정으로 제거하기 어려운 이물은 제거할 수 없어 평가용 유리판(28)의 표면에 남는다.

실시 형태에서는, 평가용 유리판(28)의 상측에 배치된 상측 제1 롤 브러시(60) 및 상측 제2 롤 브러시(62), 평가용 유리판(28)의 하측에 배치된 하측 제1 롤 브러시(64) 및 하측 제2 롤 브러시(66)을 구비하고 있다. 또한, 평가용 유리판(28)의 표면에 순수를 분사하는 노즐(58)이 설치되어 있다.

상측 제1 롤 브러시(60), 상측 제2 롤 브러시(62), 하측 제1 롤 브러시(64) 및 하측 제2 롤 브러시(66)는 평가용 유리판(28)의 표면에 접촉하여 회전된다.

상측 제1 롤 브러시(60), 상측 제2 롤 브러시(62), 하측 제1 롤 브러시(64) 및 하측 제2 롤 브러시(66)는 모두 동일한 롤 브러시이다. 롤 브러시는, 60mm의 롤 직경(내경)과, 80mm의 롤 직경(외경)과, 0.06㎜의 모 직경을 갖는 밀권의 롤 브러시이다. 롤 브러시의 모는 나일론612로 구성된다. 밀권이란, 식모한 채널 브러시를 간극 없이 롤에 둘러 감는 것을 의미한다.

도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 상측 제1 롤 브러시(60)와 상측 제2 롤 브러시(62)의 거리 L1은 200㎜이다. 또한, 상측 제1 롤 브러시(60)와 하측 제1 롤 브러시(64)의 거리 L2는 50㎜이다.

또한, 도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 평가용 유리판(28)이 통과하기 전에는, 상측 제1 롤 브러시(60)와 하측 제1 롤 브러시(64)는, 각각의 모가 접촉하는 위치에, 즉 상하 0㎜의 위치에 배치되어 있다. 마찬가지로, 상측 제2 롤 브러시(62)와 하측 제2 롤 브러시(66)는, 각각의 모가 접촉하는 위치에, 즉 상하 0㎜의 위치에 배치되어 있다.

세정 장치(14)에 의하면, 평가용 유리판(28)을 화살표 D 방향으로 반송하면서, 노즐(58)로부터 평가용 유리판(28)의 표면에 순수를 공급함과 함께, 상측 제1 롤 브러시(60), 상측 제2 롤 브러시(62), 하측 제1 롤 브러시(64) 및 하측 제2 롤 브러시(66)를 평가용 유리판(28)의 반송 방향과 동일한 방향으로 회전시킴으로써, 평가용 유리판(28)의 표면을 세정한다.

도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 상측 제1 롤 브러시(60)와 하측 제1 롤 브러시(64)의 거리 및 상측 제2 롤 브러시(62)와 하측 제2 롤 브러시(66)의 거리는 상하 0㎜로 설정되어 있다. 따라서, 도 3의 (B)에 도시한 바와 같이, 평가용 유리판(28)이 상측 제1 롤 브러시(60)와 하측 제1 롤 브러시(64) 사이 및 상측 제2 롤 브러시(62)와 하측 제2 롤 브러시(66) 사이를 통과할 때, 상측 제1 롤 브러시(60), 상측 제2 롤 브러시(62), 하측 제1 롤 브러시(64) 및 하측 제2 롤 브러시(66)는, 평가용 유리판(28)의 판 두께 상당분의 압력으로, 평가용 유리판(28)에 밀어붙여지게 된다.

가압 장치(12)에 의한 가압 공정을 거친 평가용 유리판(28)의 표면에는, 유리 합지(36)로부터의 티끌, 휴지 등의 세정으로 제거할 수 있는 이물과, 세정으로 제거하기 어려운 이물이 부착되어 있다. 유리 합지(36) 및 평가용 유리판(28)의 평가 대상물은, 평가용 유리판(28)의 표면에 존재하는 세정으로 제거하기 어려운 이물이다. 따라서, 세정 장치(14)에 의한 세정 공정에서는, 세정으로 제거할 수 있는 이물을 평가용 유리판(28)으로부터 제거하고, 세정으로 제거하기 어려운 이물을 유리판에 남긴다.

도 1의 (C)에 도시한 바와 같이, 세정된 평가용 유리판(28)을 결함 검사 장치(16)(오르보테크사의 오프라인 결함 검사 시스템 FPI-6000 시리즈(형식 번호: FPI6090D)에 반송한다. 결함 검사 장치(16)는 세정된 평가용 유리판(28)의 표면의 이물을 검사한다. 결함 검사 장치(16)는 광 투과 방식에 의해 평가용 유리판(28)의 표면에 존재하는 세정으로 제거하기 어려운 이물을 검사하여, 전체 이물의 화상을 취득한다.

이어서, 도 1의 (D)에 도시한 바와 같이, 표시 장치(18)에 결함 검사 장치(16)로 취득된 화상(80)을 표시한다. 화상(80)에 기초하여, 전체 이물을 육안으로 외관 관찰한다. 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한다. 백색 이물의 크기의 하한값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 0.1㎛ 이상이다.

이어서, 백색의 이물의 수를 계수하는 측정 방법에 대하여 설명한다.

결함 검사 장치(16)인 오르보테크사제 오프라인 결함 검사 시스템(FPI-6000 시리즈(형식 번호: FPI6090D))을 사용하여, 세정된 평가용 유리판(28)의 전체 이물을 검사하여, 전체 이물의 화상을 취득한다.

오프라인 결함 검사 시스템을 사용할 때의 조건을 이하에 나타낸다.

감도를 고감도 모드(2㎛)로 하고, 비측정 에리어를 단으로부터 10㎜로 한다. 또한, 램프 조도를, 표준 감도 모드(4㎛)인 「66」이 아니라 「30」으로 설정한다. 즉, 표준 감도 모드와 비교하여 램프 조도를 낮춘다.

한편, 수광 소자측의 설정(역치)에 대하여, 어두운 부분에 유효한 역치는, 표준 감도 모드인 「15」가 아니라 「30」으로 설정된다. 즉, 역치를 높였으므로, 표준 감도 모드와 비교하여, 더 밝은 부분을 검출한다.

또한, 밝은 부분에 유효한 역치는, 표준 감도 모드인 「10」과 마찬가지로 「10」으로 설정된다.

결함 검사 장치(16)에는 전체 결함 화상이 자동으로 보존된다.

마지막으로, 결함 검사 장치(16)로 얻어진 화상(80)을 표시 장치(18)에 표시하고, 화상(80)에 기초하여 전체 이물을 육안으로 외관 관찰하여, 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 백색 이물의 수를 계수한다.

여기서 「육안으로 외관 관찰」이란, 결함 검사 장치(16)로 얻어진 화상(80)에 부여되는 스케일 바를 참고로, 긴 직경 방향을 기준으로 하여, 50㎛ 이하의 이물을 취득하는 행위와, 하기에 나타내는 복수의 이물의 종류 중에서 백색의 이물을 취득하는 행위를, 순서부동으로 포함한다.

이어서, 결함 검사 장치(16)에 의해 취득되는 평가용 유리판(28)의 전체 이물의 종류에 대하여 설명한다. 도 4는 평가용 유리판(28)에 유리 합지(36)를 100회분 가압하고, 세정 장치(14)로 세정한 후에, 결함 검사 장치(16)에 의해 취득된 이물의 화상이다. 발명자들은, 결함 검사 장치(16)에 의해 취득된 화상에 기초하여 이물을 검토한 바, 이물에는 몇 가지의 종류가 존재한다는 것을 알아내었다.

도 4의 (A)는 50㎛ 이하의 사이즈의 흑색의 이물(흑색/소)을 나타내고 있다. 도 4의 (B)는 50㎛보다 큰 사이즈의 흑색 이물(흑색/대)을 나타내고 있다. 도 4의 (C)는 50㎛ 이하의 사이즈의 백색의 이물(백색/소)을 나타내고 있다. 도 4의 (D)는 50㎛보다 큰 사이즈의 백색의 이물(백색/대)을 나타내고 있다. 도 4의 (E)는 복수개의 이물 집합체(밀집)를 나타내고 있다. 도 4의 (F)는, 도 4의 (A) 내지 (E)의 이물에 포함되지 않는 이물(기타)을 나타내고 있다.

여기서, 백색의 이물(백색 이물)이란, 도 4에 도시한 바와 같이 상기 결함 검사 조건에서 촬영된 화상에 있어서, 이물의 외주부(윤곽부)와 이물의 내부에, 색감의 콘트라스트를 확인할 수 있는 개소를 갖는 이물을 가리킨다.

또한, 1개의 화상 내에 복수개의 이물 집합체가 존재하는 경우, 그 집합체를 하나의 이물로 파악하고, 그 긴 직경 방향을 기준으로 하여, 크기를 판단한다.

이물의 사이즈는, 긴 직경 방향을 기준으로 하여, 50㎛ 이하의 이물과 50㎛보다 큰 이물로 분류된다.

또한, 예를 들어 2종류의 상이한 유리 합지에 대하여, 전체 이물의 개수를 계수했을 때 이물의 총 수는 거의 동일하지만, 한쪽의 유리 합지의 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수는, 다른 한쪽의 유리 합지의 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수보다 적은 경우가 있다.

또한, 다른 2종류의 상이한 유리 합지에 대하여, 한쪽의 유리 합지의 이물의 총 수는 다른 한쪽의 유리 합지의 이물의 총 수보다 적다고 해도, 50㎛ 이하의 크기의 백색의 이물의 개수에 관해서는, 한쪽의 유리 합지의 개수가, 다른 한쪽의 유리 합지의 개수보다 많은 경우가 있다. 또한 백색 이물의 수의 하한값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 1개/269㎡ 이상이다.

즉, 이물의 총 수에서 차지하는 50㎛ 이하의 크기의 백색의 이물의 개수는 유리 합지마다 상이하다. 발명자들은 이물의 총 수가 아니고, 50㎛ 이하의 크기의 백색의 이물의 개수에 주목하여, 50㎛ 이하의 크기의 백색의 이물이 적은 유리 합지가, 결과적으로 유리판의 단선 등의 불량의 발생을 억제할 수 있다는 것을 알아내었다. 이 결과에 대해서는, 후술하는 실시예에서 설명한다.

백색의 이물에 대하여 분석한 바, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트)나 나일론, EVA(에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지) 등의 소위 인공 유기물이 주였다. 인공 유기물은, 예를 들어 와이어 파트에서 사용되는 플라스틱제의 와이어를 종이 원료액이 통과했을 때, 또는 프레스 파트에서 습지를 수조의 롤과 펠트를 통하여 기계적으로 압착 탈수했을 때 등, 수지 부재와 종이 원료액 또는 습지가 접촉했을 때에 혼입된다고 생각되어진다.

발명자들이 예의 검토를 거듭한 결과, 특히 백색의 이물의 발생 원인으로서 캔버스라고 불리는 접촉 부재로부터의 영향이 큰 것을 알 수 있었다.

(유리 합지의 제조 방법)

도 5는 유리 합지를 제지하는 초지기(100)의 개략 구성도 있다.

도 5에 도시한 바와 같이, 유리 합지용 원료액(펄프를 물로 희석한 액체)은, 헤드 박스(112)로부터, 와이어 파트(114)에 설치된 하측 와이어(116) 위에 시트 형상으로 공급된다. 하측 와이어(116)에 공급된 종이 원료액은, 계속해서, 하측 와이어(116)와 상측 와이어(118)에 의해 끼워 넣어짐으로써, 균일한 두께로 펴지면서, 또한 탈수되어, 습지(종이)가 된다.

와이어 파트(114)의 하측 와이어(116) 및 상측 와이어(118)는, 무단 띠 형상으로 형성된 투과막이다. 구체적으로는, 플라스틱 또는 금속 재료로 만들어진 망, 혹은 천연 섬유 또는 합성 섬유를 포함하는 펠트제의 무단 띠이다.

하측 와이어(116) 및 상측 와이어(118)는 복수의 롤러에 걸쳐져, 도시가 생략된 모터의 구동력을, 복수의 롤러 중 구동 롤러로 전달함으로써, 소정의 속도로 주회 이동되고 있다.

와이어 파트(114)에서 형성된 습지는, 프레스 롤러, 무단 띠 형상의 펠트 및 프레스 롤러쌍 등을 갖는 프레스 파트(120)에 반송되고, 여기서, 한층 더한 탈수와 프레스가 동시에 행하여진다.

프레스 파트(120)를 통과한 습지는, 복수개의 롤러로 구성되는 드라이어 파트(124)에 반송되고, 드라이어 파트(124)를 통과 중에, 예를 들어 약 120℃의 분위기에서 건조된다.

드라이어 파트(124)를 통과할 때 습지를 그대로 고속으로 반송하면 종이 절단의 우려가 있기 때문에, 캔버스라고 불리는 보조 부재를 습지에 접촉시킨 상태에서 반송한다. 본 실시 형태와 같은 백색의 이물이 적은 유리판을 얻기 위해서는, 이하와 같이 하는 것이 바람직하다. 즉, 이 캔버스를 구성하는 재료에 PET(폴리에틸렌테레프탈레이트)나 나일론, EVA(에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지) 등의 소위 인공 유기물을 사용하지 않는 것이나, 또는 캔버스가 사용에 의해 열화되기 전에 교환하는 것이나, 또는 캔버스의 표면을 셀룰로오스나 SiO₂ 등의 백색의 이물로 될 수 없는 것으로 코팅하는 것 등을 들 수 있다.

드라이어 파트(124)에서 건조된 종이는, 캘린더 파트(126)로 반송되어, 캘린더 롤에 의한 끼움 지지 반송 등에 의해 캘린더 처리가 실시되어, 표리면이 평활화된다. 또한, 필요에 따라 드라이어 파트(124)와 캘린더 파트(126) 사이에 코터 파트를 설치하고, 평활화된 종이의 표면에 도료 등을 도포해도 된다.

캘린더 파트(126)에 있어서 캘린더 처리가 실시된 종이는 유리 합지로서 릴(128)에 권취되어, 롤 형상(이하, 점보 롤(130)로 함)으로 된다.

점보 롤(130)로 된 유리 합지는, 통상 예를 들어 유리 합지는, 제품에 따른 폭으로 절단되고, 권취되어, 8000 내지 10000m 정도의 소정 길이의 긴 유리 합지를 권회한 합지 롤(42)로 된다. 즉, 통상 유리 합지는 점보 롤(130)로부터 소구분된다.

유리 합지는 점보 롤(130)로부터 송출되고, 커터(134)에 의해 소정 폭으로 절단(길이 방향으로 절단)되고, 와인더(136)에 의해 권취된다. 점보 롤(130)로부터 송출한 유리 합지가, 소정의 길이가 된 시점에서, 커터(134)에 의해 소정 길이로 절단(폭 방향으로 절단)되어, 소정의 폭으로, 긴 유리 합지를 권회하여 이루어지는 합지 롤(42)로 된다.

합지 롤(42)에 권회된 긴 유리 합지는, 적층할 유리판에 따른 사이즈의 커트 시트 형상(직사각 형상)으로 절단되어, 적층되는 유리판 사이에 개재된다.

유리 합지의 초지기(100)(제지 공정)에 있어서, 헤드 박스(112)에 공급할 종이 원료액을 제조할 때에 원료가 되는 펄프 시트로서, 백색의 이물이 적은 펄프를 사용하는 것이 바람직하다.

예를 들어, 상술한 유리 합지에 대하여 실시된 측정 방법과 마찬가지의 방법으로, 펄프 시트의 백색 이물의 개수를 계수한다. 백색의 이물의 개수에 기초하여 펄프 시트를 선별함으로써, 백색의 이물이 적은 펄프 시트를 사용할 수 있다.

펄프 시트의 제조 과정에 있어서도, 수지 부재와 접촉할 때에 펄프 시트에 인공 유기물이 부착되는 경우가 있다. 또한, 펄프 시트의 인공 유기물이, 유리 합지에 혼입되는 문제가 있다. 또한, 펄프 시트 중의 인공 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하인 것이 바람직하다. 인공 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하임으로써, 유리 합지에 혼입되는 인공 유기물을 저감시킬 수 있다. 여기에서 말하는 인공 유기물이란, JIS P8224: 2002에서 측정되는 펄프 시트 중의 수지분이다.

백색의 이물이 적은 펄프를 사용하는 것이, 백색의 이물이 적은 유리 합지를 제조하기에 적합하다.

펄프 시트에서 백색의 이물의 개수를 계수하는 경우, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수가 200개/㎡ 이하인 것이 바람직하다.

초지 공정에서 유기물의 혼입을 적게 하기 위하여, 초지 공정에서 사용되고, 종이 원료액이나 습지 등과 접촉하는 수지 부재의 수지 버를 제거하는 것이 바람직하다. 수지 버는 탈락되기 쉬워, 종이 원료액이나 습지 등에 혼입되기 쉽기 때문에, 수지 버를 제거하는 것은 유효하다.

또한, 초지하기 전에, 배관, 공정 모두에 있어서, 약알칼리 세정이나 약산성 세정을 행하는 것이 바람직하다. 새롭게 유리 합지를 제조할 때에, 다른 합지를 초지했을 때에 발생한 유기물이 혼입되는 것을 억제하기 위해서이다.

이상과 같이 종래 실시하지 않은 철저한 관리를 하지 않으면 백색의 이물이 적은 유리 합지를 제조하는 것은 곤란하다.

(유리판 곤포체)

본 실시 형태의 유리판 곤포체는, 유리 합지와 유리판을 교대로 적층시킨 유리판 적층체와, 유리판 적층체를 재치하는 팔레트를 갖고 있다.

도 6에 유리판 곤포체의 일례를 개념적으로 나타낸다. 또한, 도 6은 유리판 곤포체를, 유리의 측면 방향으로부터 본 도면(측면도)이다.

도 6에 도시한 유리판 곤포체(250)는 유리 합지(260)와 유리판 G를 교대로 적층시킨 유리판 적층체(262)와, 유리판 적층체(262)를 재치하는 팔레트(252)를 포함하고 있다.

팔레트(252)는 공지의 유리판 곤포용 팔레트이며, 기대(254)와, 기대(254)의 상면에 세워 설치된 경사대(256)와, 기대(254)의 상면에 재치된 재치대(258)를 갖는다.

경사대(256)의 수평 방향의 일면(유리판 G와의 접촉면=배면)은, 연직 방향에 대하여 경사져 있다(이하, 경사면이라고도 함). 이 경사면의 각도는, 적층된 유리판 G를 안정적으로 적재, 보관 및 반송할 수 있는 각도이면 되고, 통상 수평 방향에 대하여 85° 이하이며, 예를 들어 85°내지 70°가 바람직하다.

또한, 재치대(258)의 상면은 수평 방향에 대하여 경사대(256)를 향하여 하강하도록 경사진다. 도시예에 있어서는, 일례로서 재치대(258)의 상면은 경사대(256)의 경사면에 대하여 90°가 되도록 구성된다.

팔레트(252)에 있어서, 유리판 G는 재치대(258)의 상면에 재치되고, 또한 경사대(256)의 경사면에 기대어 세워진 상태에서 적층된다.

또한, 유리판 G의 사이에는, 본 실시 형태의 유리 합지(260)가 개재된다. 유리 합지(260)는 유리판 G보다도 큰 사이즈이며, 유리판 G의 전체면을 덮도록 유리판 G 사이에 개재된다. 또한, 유리판 G의 사이즈는 2200㎜×1800㎜ 이상인 것이 바람직하다. 이렇게 유리판의 사이즈가 큰 경우에, 배선의 단선 등의 불량 등의 발생률이 높아지기 때문에 본 실시 형태의 유리 합지를 적합하게 적용할 수 있다. 또한 유리판 G의 사이즈는 2400㎜×2100㎜가 바람직하다. 유리 합지의 사이즈로서는, 유리판의 사이즈와 동일하거나, 혹은 그것보다 크고, 특히는 종횡 모두 20㎜ 이상 큰 것이 바람직하다.

또한, 적층된 유리판 G와 경사대(256) 사이에도, 마찬가지로 유리 합지(260)를 개재시켜도 되고, 또한 최전면의 유리판 G의 표면을 마찬가지로 유리 합지(260)로 덮어도 된다.

상기한 바와 같이 하여, 유리판 곤포체(250)가 형성된다. 이 경우, 추가로 필요에 따라 최전면의 유리판 G(유리 합지)에 덧댐판을 맞닿게 하고, 띠 형상체를 걸치게 하여 경사대(256)에 고정해도 되고, 또한 모든 유리판 G를 덮도록 커버를 씌워도 된다.

또한, 본 발명의 유리판 곤포체는, 도 6에 도시하는 유리판 곤포체(250)와 같이 유리판 G를 기대어 세워 적층(소위 세로 쌓기)하는 것에 한정되는 것은 아니다. 유리판 곤포체는, 예를 들어 일본 실용 신안 등록 제3165973호 공보에 개시되는 판 형상체 수납 용기와 같이 유리판 G를 수평하게 적층(소위 평적)할 수 있는 팔레트를 사용한 것이어도 된다.

평적의 경우, 바닥에 가까운 유리판 및 유리 합지에 작용하는 하중이 커지기 때문에 유리 합지로부터 유리판으로 이물이 전사되기 쉽고, 많은 매수를 적재할 수 없었지만, 본 실시 형태의 유리 합지를 채용함으로써, 많은 매수를 적재할 수 있게 된다. 구체적으로는 단위 면적당 하중으로 30g/㎠ 이상의 면압으로 유리 합지가 유리판에 압박되는 경우에도 유리 합지로부터 전사되는 이물을 억제할 수 있다.

본 실시 형태의 유리판 곤포체에 있어서, 유리판 G로서는, 공지의 유리판이 각종 예시된다. 그 중에서도, 표면에 전술한 바와 같은 배선이나 전극 등의 소자가 형성되는 유리판이 적합하고, 특히 FPD용 유리판이 적합하다.

이상, 유리 합지, 유리판 적층체 및 유리판 곤포체에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상술한 예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 각종 개량이나 변경을 행해도 되는 것은 물론이다.

[ 실시예 ]

이하에, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 전혀 한정되지 않는다.

[실시예 1]

도 5에서 나타내는, 일반적인 유리 합지의 초지기를 사용하고, 원료로서 버진 펄프(펄프 시트)를 사용하여, 유리 합지를 제작했다. 원료로서, JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하이면서, 또한 육안 관찰한 백색 이물이 0.14개/㎡ 이하인 펄프 시트를 사용했다.

이 펄프 시트로 제작된 유리 합지를, (A) 평가용 유리판(두께 0.7㎜이고, 370㎜×470㎜의 사이즈)에, 유리 합지를(횟수: 100회, 시간: 4초/회, 압력: 0.45㎫, 평가용 유리판 온도: 55℃) 가압하고, (B) 가압을 종료한 평가용 유리판을 반송(라인 스피드 200㎝/min)하면서, 순수를 공급(유량: 57L/min)하고, 평가용 유리판의 상측에 2개 및 하측에 2개 배치된 합계 4개의 롤 브러시(롤 직경(내경): 60mm, 롤 직경(외경): 80mm, 모 직경: 0.06㎜/밀권, 재질: 나일론612, 회전수: 300rpm, 거리: 상하 0㎜)로 상기 평가용 유리판을 세정하고, (C) 오르보테크사제 오프라인 결함 검사 시스템(FPI-6000 시리즈(형식 번호: FPI6090D))를 사용하여, 세정된 평가용 유리판의 전체 이물을 검사하여, 전체 이물의 화상을 취득하고, (D) 화상에 기초하여 전체 이물을 육안으로 외관 관찰하여, 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한 바, 유리 합지의 이물의 총 수는 32개/269㎡였고, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수는 10개/269㎡였다.

[실시예 2]

원료로서, JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.05질량％ 이하이면서, 또한 육안 관찰하여 백색 이물이 0.1개/㎡ 이하인 펄프 시트를 사용한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 유리 합지를 제작했다.

이 펄프 시트로 제작된 유리 합지는, 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한 바, 이물의 총 수가 25개/269㎡이고, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수가 6개/269㎡이었다.

[실시예 3]

원료로서, JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.01질량％ 이하이면서, 또한 육안 관찰하여 백색 이물이 0.05개/㎡ 이하인 펄프 시트를 사용한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 유리 합지를 제작했다.

이 펄프 시트로 제작된 유리 합지는, 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한 바, 이물의 총 수가 24개/269㎡이고, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수가 3개/269㎡이었다.

[비교예 1]

원료로서, JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.1질량％ 이하이면서, 또한 육안 관찰한 백색 이물이 0.3개/㎡ 이하인 펄프 시트를 사용하고, 수지 부재의 세정 처리 등을 실시하지 않은 라인에서 초지한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 유리 합지를 제작했다.

이 펄프 시트로 제작된 유리 합지는, 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한 바, 이물의 총 수가 40개/269㎡이고, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수가 15개/269㎡이었다.

[성능 평가]

이상의 실시예 1 내지 3, 및 비교예 1에서 제작한 유리 합지를, 두께가 0.5㎜이고, 2500×2200㎜ 사이즈의 FPD용 유리판의 사이에 개재시켜, 복수매의 유리판을 적층한 유리판 적층체로 했다.

이 유리판 적층체를, 실시예 1 내지 3 및 비교예 1의 각 유리 합지에, 세로 쌓기의 도 6에 도시한 팔레트에 재치하여(유리판 2000매), 유리판 곤포체를 제작했다. 유리판 곤포체를 10일간 보관했다.

유리 곤포체로부터 유리판을 취출하여, 유리판을 세정한 후, 유리판의 표면에, 기존의 방법에 의해 폭이 10㎛인 직선 형상의 배선을 형성하고, 배선의 단선 상황을 확인했다.

2000매의 유리판을 사용하여, 20매 이하의 단선 불량이 발생한 경우를 ○로 평가하고, 20매보다 많은 단선 불량이 발생한 경우를 ×로 했다.

표 1은 측정 결과와 평가 결과를 나타내고 있다. 표 1에 의하면, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물이 10개/269㎡ 이하인 경우, 평가 결과는 모두 ○이었다. 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물이 10개/269㎡보다 많은 경우는, 평가 결과는 모두 ×였다.

이 결과로부터, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수가, 유리판에 발생하는 단선 등의 불량에 관련된 것임을 이해할 수 있다.

50㎛보다 큰 이물에 대해서는 유리판을 세정할 때에 제거되고, 한편, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물은 세정으로는 제거되기 어렵다고 추측할 수 있다. 따라서, 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 개수를 10개/269㎡ 이하로 함으로써, 유리판에 발생하는 단선 등의 불량을 억제할 수 있다.

본 출원은 2015년 9월 29일 출원의 일본 특허 출원 2015-190848 및 2016년 9월 2일 출원의 일본 특허 출원 2016-171847에 기초하는 것이고, 그 내용은 여기에 참조로서 포함된다.

10: 측정 장치
12: 가압 장치
14: 세정 장치
16: 결함 검사 장치
18: 표시 장치
20: 하측 정반
22: 상측 정반
24: 실린더 장치
26: 흡착 패드
28: 평가용 유리판
30: 흡착 패드
32: 유리판
34: 합지 공급 장치
36: 유리 합지
38: 실린더 본체
40: 피스톤
42: 합지 롤
44: 권회축
46: 회전 지지부
48: 권취부
50: 텐션 롤러
52: 텐션 롤러
54: 권취축
56: 모터
58: 노즐
60: 상측 제1 롤 브러시
62: 상측 제2 롤 브러시
64: 하측 제1 롤 브러시
66: 하측 제2 롤 브러시
250: 유리판 곤포체
252: 팔레트
254: 기대
256: 경사대
258: 재치대
260: 유리 합지
262: 유리판 적층체

Claims

유리 합지이며, 다음의 측정 방법에 의해 계수한 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수가 10개/269㎡ 이하인 유리 합지.
[측정 방법]
(A) 평가용 유리판(두께 0.7㎜이고, 370㎜×470㎜의 사이즈)에, 유리 합지를(횟수: 100회, 시간: 4초/회, 압력: 0.45㎫, 평가용 유리판 온도: 55℃) 가압하고,
(B) 가압을 종료한 상기 평가용 유리판을 반송(라인 스피드 200㎝/min)하면서, 순수를 공급(유량: 57L/min)하고, 상기 평가용 유리판의 상측에 2개 및 하측에 2개 배치된 합계 4개의 롤 브러시(롤 직경(내경): 60mm, 롤 직경(외경): 80mm, 모 직경: 0.06㎜/밀권(密卷), 재질: 나일론612, 회전수: 300rpm, 거리: 상하 0㎜)로 상기 평가용 유리판을 세정하고,
(C) 오르보테크사제 오프라인 결함 검사 시스템(FPI-6000 시리즈(형식 번호: FPI6090D))을 사용하여, 세정된 상기 평가용 유리판의 전체 이물을 검사하여, 전체 이물의 화상을 취득하고,
(D) 상기 화상에 기초하여 상기 전체 이물을 육안으로 외관 관찰하여, 상기 전체 이물 중에서 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수를 계수한다.
제1항에 있어서, 유리 합지이며, 상기 측정 방법에 의해 계수한 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수가 6개/269㎡ 이하인 유리 합지.
제2항에 있어서, 유리 합지이며, 상기 측정 방법에 의해 계수한 50㎛ 이하의 크기의 백색 이물의 수가 3개/269㎡ 이하인 유리 합지.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, JIS P8224: 2002에 준거하여 측정되는 유기물의 함유량이 0.08질량％ 이하인 유리 합지.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 유리 합지와 유리판을 교대로 적층시킨 유리판 적층체.
제5항에 기재된 유리판 적층체와, 상기 유리판 적층체를 재치하는 팔레트를 구비하는 유리판 곤포체.
제6항에 있어서, 상기 팔레트가, 상기 유리판 적층체가 평적 상태로 재치되는 팔레트인 유리판 곤포체.