KR20160106831A

KR20160106831A - 노즐 청소 장치

Info

Publication number: KR20160106831A
Application number: KR1020150029229A
Authority: KR
Inventors: 천주홍; 이광연
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2015-03-02
Filing date: 2015-03-02
Publication date: 2016-09-13
Also published as: CN105935675B; TW201632268A; TWI696498B; CN105935675A

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는 노즐을 분해하지 않고 신속하고 원활하게 청소하기 위한 것으로, 노즐이 장착되는 노즐 지지대와, 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 노즐의 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛과, 노즐의 토출구로부터 토출되는 세정액을 수용하는 용기와, 노즐의 토출구를 차단하는 차단 유닛을 포함할 수 있다.

Description

노즐 청소 장치 {APPARATUS FOR CLEANING NOZZLE}

본 발명은 노즐을 자동으로 청소하는 노즐 청소 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 패널을 제조하는 과정에서는, 기판 사이의 간격을 유지하는 한편 기판 사이에 채워진 액정이 외부로 새는 것을 방지하기 위하여, 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포한다.

기판에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서라는 장비가 사용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임 상에 배치되며 기판을 지지하는 스테이지와, 페이스트가 수용되는 시린지 및 시린지와 연통되는 노즐을 구비하는 디스펜싱 헤드유닛과, 디스펜싱 헤드유닛을 지지하는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임으로 구성된다.

이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시켜가면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 디스펜싱 헤드유닛에 장착된 노즐을 수직 방향으로 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 조절하면서, 노즐 및/또는 기판을 수평 방향으로 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다.

노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 노즐의 내부에 페이스트가 고착되거나 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착될 수 있다. 노즐의 내부에 페이스트가 고착되거나 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착되는 경우에는, 노즐의 토출구가 폐색될 수 있으며, 이에 따라, 페이스트의 토출이 원활하게 진행되지 않을 수 있다.

따라서, 기판 상에 페이스트 패턴을 원활하게 형성하기 위하여, 노즐을 청소하는 작업이 요구된다. 이를 위하여, 종래의 경우에는, 작업자가 노즐을 완전히 분해한 후 노즐의 부품을 수작업으로 닦으면서 노즐을 청소하였으므로, 노즐을 청소하는 과정에 많은 시간이 소요되었고, 이에 따라, 공정의 효율성이 저하되는 문제가 있다.

대한민국 공개특허번호 제10-2012-0069141호

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 노즐을 분해하지 않고 신속하고 원활하게 청소할 수 있는 노즐 청소 장치를 제공하는 데에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐이 장착되는 노즐 지지대와, 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 노즐의 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛과, 노즐의 토출구로부터 토출되는 세정액을 수용하는 용기와, 노즐의 토출구를 차단하는 차단 유닛을 포함할 수 있다.

차단 유닛은, 노즐의 토출구에 접촉하는 방향 및 노즐의 토출구로부터 이격되는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 차단 부재와, 차단 부재와 연결되어 차단 부재가 노즐의 토출구를 차단하도록 차단 부재를 이동시키는 차단 부재 구동 장치를 포함할 수 있다.

노즐은, 토출구를 가지는 실린더와, 실린더 내에 회전 가능하게 설치되는 이송 스크류를 포함하고, 노즐 청소 장치는, 노즐의 내부에서 세정액을 순환시키도록 이송 스크류를 회전시키는 노즐 구동 유닛을 포함할 수 있다.

노즐 구동 유닛은, 구동력을 발생시키는 구동 모터와, 구동 모터를 이송 스크류에 연결시키는 연결 링크를 포함하며, 연결 링크는 이송 스크류와 연결되는 제1 링크부와, 구동 모터의 구동축에 연결되는 제2 링크부와, 제1 링크부 및 제2 링크부 사이에서 제1 링크부 및 제2 링크부에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부를 포함할 수 있다.

세정액 공급 유닛은, 세정액이 수용되며 공급 튜브를 통하여 노즐과 연결되는 세정액 탱크와, 세정액 탱크에 설치되어 세정액 탱크 내에 수용된 세정액의 수위를 감지하는 수위 센서를 포함할 수 있다.

그리고, 노즐 청소 장치는 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 노즐의 내부로 기체를 공급하는 기체 공급 유닛을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐을 분해하지 않고, 노즐의 내부에 세정액을 공급하여 노즐을 신속하고 원활하게 청소할 수 있으므로, 페이스트를 기판에 도포하는 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐을 세정액으로 세정한 후 건조시킬 수 있으므로, 노즐을 신속하게 청소하여 사용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치가 도시된 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치로 청소되는 노즐이 분해되어 도시된 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 제어 블록도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 작동이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치가 도시된 개략도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 제어 블록도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치에 대하여 설명한다.

본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는 본 명세서의 "발명의 배경이 되는 기술" 및 "선행기술문헌"에 기재된 페이스트 디스펜서의 노즐을 청소하는 데에 사용될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 상기한 페이스트 디스펜서와 독립적으로 구비될 수 있거나, 상기한 페이스트 디스펜서에 설치될 수 있다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 페이스트 디스펜서의 노즐(10)이 장착되는 노즐 지지대(20)와, 노즐 지지대(20)에 설치되어 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 고정시키는 고정 유닛(30)과, 노즐(10)로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛(40)과, 노즐(10)의 토출구(11)로부터 세정액이 토출되도록 노즐(10)을 구동시키는 노즐 구동 유닛(50)과, 노즐(10)의 토출구(11)로부터 분사되는 세정액을 수용하는 용기(60)와, 노즐(10)의 토출구(11)를 차단하는 차단 유닛(70)과, 세정액 공급 유닛(40), 노즐 구동 유닛(50) 및 차단 유닛(70)을 제어하는 제어 유닛(80)을 포함할 수 있다.

노즐(10)은, 토출구(11)가 형성되는 관 형상의 실린더(12)와, 실린더(12) 내에 회전 가능하게 설치되는 이송 스크류(13)와, 이송 스크류(13)의 일단에 연결되며 노즐 구동 유닛(50)과 연결되는 연결 부재(14)를 포함할 수 있다.

실린더(12)의 일측에는 외부로부터 페이스트가 공급되는 입구(15)가 형성되며, 실린더(12)의 하측 끝단에는 페이스트가 토출되는 토출구(11)가 형성된다. 노즐(10)이 청소를 위해 노즐 청소 장치의 노즐 지지대(20)에 장착된 경우에, 입구(15)는 공급 튜브(41)를 통하여 세정액 공급 유닛(40)과 연결될 수 있고, 이에 따라, 토출구(11)로부터 세정액이 토출될 수 있다.

이송 스크류(13)는 복수의 나사산을 가지는 형상으로 형성되어 회전되면서 실린더(12)의 입구(15)를 통하여 공급되는 페이스트를 토출구(11)를 통하여 토출시킨다. 노즐(10)이 청소를 위해 노즐 청소 장치의 노즐 지지대(20)에 장착된 경우에, 이송 스크류(13)는 노즐 구동 유닛(50)의 작동에 의해 회전되면서, 입구(15)를 통하여 공급된 세정액을 노즐(10)의 내부에서 순환시킨다. 이러한 과정에서 세정액에 의해 노즐(10)의 내부가 세정될 수 있다.

연결 부재(14)는 이송 스크류(13)가 실린더(12)에 삽입된 상태에서 실린더(12)의 외부로 노출되어 이송 스크류(13)로 동력을 전달하는 역할을 한다. 연결 부재(14)는 이송 스크류(13)와 연결된 상태로 이송 스크류(13)와 함께 운반될 수 있다. 예를 들면, 연결 부재(14)는 이송 스크류(13)와 일체로 구성될 수 있다. 연결 부재(14)는 엔지니어링 플라스틱(예를 들면, PEEK)으로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 따라, 연결 부재(14)를 통하여 동력을 전달하는 과정에서 마찰에 의해 이물질이 발생하는 것을 최소화할 수 있다.

노즐 지지대(20)는 페이스트 디스펜서와 독립적으로 마련되는 장치 또는 공간에 설치될 수 있다. 다른 예로서, 노즐 지지대(20)는 페이스트 디스펜서에 설치될 수 있다. 이 경우, 노즐 지지대(20)는 디스펜싱 헤드유닛을 이동 가능하게 지지하는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임에 설치될 수 있다. 노즐 지지대(20)가 페이스트 디스펜서에 설치되는 경우, 작업자는 디스펜싱 헤드유닛으로부터 노즐(10)을 분리한 후 곧바로 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 장착하여 청소할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.

고정 유닛(30)은 노즐(10)의 선단을 가압하여 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 고정시키는 래치로서 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 고정 유닛(30)의 구성에 한정되지 않으며, 고정 유닛(30)으로서 유압 또는 공압에 의해 작동하는 클램프를 구비한 장치 또는 전력에 의해 작동하는 솔레노이드를 구비한 장치와 같은 다양한 구성이 사용될 수 있다.

세정액 공급 유닛(40)은, 세정액이 수용되며 공급 튜브(41)를 통하여 노즐(10)과 연결되는 세정액 탱크(42)와, 공급 튜브(41)로 세정액을 공급하거나 세정액의 공급을 차단하는 밸브(45)를 포함할 수 있다. 세정액으로서 아세톤이 사용될 수 있다.

예를 들면, 세정액 탱크(42)는 노즐(10)에 비하여 높은 위치에 위치되어 세정액 탱크(42) 내의 세정액이 중력에 의하여 노즐(10)로 공급될 수 있다. 다른 예로서, 세정액이 세정액 탱크(42)로부터 공급 튜브(41)를 통하여 노즐(10)로 강제로 공급될 수 있도록, 세정액 탱크(42) 내의 세정액을 가압하는 수단(예를 들면, 세정액 탱크(42)와 연결된 압력 발생 장치) 또는 세정액 탱크(42) 내의 세정액을 압송하는 수단(예를 들면, 펌프)이 더 구비될 수 있다.

밸브(45)는 제어 유닛(80)에 의해 제어되는 제어 밸브로 구성되어, 공급 튜브(41)를 통하여 유동하는 세정액의 유량을 조절할 수 있다.

한편, 세정액 공급 유닛(40)은 세정액 탱크(42)에 설치되어 세정액 탱크(42) 내에 수용된 세정액의 수위를 감지하는 수위 센서(43)를 더 포함할 수 있다. 수위 센서(43)로는 일반적인 전자식 또는 기계식 수위 센서가 사용될 수 있다. 제어 유닛(80)은 수위 센서(43)에 의해 측정된 수위 변화로부터 세정액의 공급량을 산출할 수 있다. 따라서, 제어 유닛(80)은 노즐(10)을 청소하는 과정에서 사용되는 세정액의 공급량이 기준량 이내가 되도록 세정액 공급 유닛(40), 노즐 구동 유닛(50) 및 차단 유닛(70)을 제어할 수 있으므로, 세정액이 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다.

노즐 구동 유닛(50)은, 구동력을 발생시키는 구동 모터(51)와, 구동 모터(51)를 노즐(10)과 연결시키는 연결 링크(52)를 포함할 수 있다.

구동 모터(51)는 구동 모터(51)에 연결된 구동축(미도시)을 정방향 및 역방향으로 회전 모터일 수 있다.

연결 링크(52)는, 노즐(10)과 연결되는 제1 링크부(521)와, 구동 모터(51)의 구동축에 연결되는 제2 링크부(522)와, 제1 링크부(521) 및 제2 링크부(522) 사이에서 제1 링크부(521) 및 제2 링크부(522)에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부(523)를 포함할 수 있다. 제1 링크부(521)는 연결 부재(14)를 통하여 이송 스크류(13)와 연결될 수 있다. 이러한 연결 링크(52)는 조인트부(523)가 제1 링크부(521) 및 제2 링크부(522)에 각각 회전 가능하게 연결되는 유니버설 조인트로서 구성될 수 있다. 또한, 연결 링크(52)는 제1 링크부(521), 제2 링크부(522) 및 조인트부(523) 중 적어도 하나가 고무와 같은 탄성 재료로 이루어지는 플렉시블 커플링일 수 있다. 이에 따라, 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축이 서로 정렬되지 않고 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축 사이에 편심 및 편각이 존재하는 경우에도, 구동 모터(51)의 구동력이 연결 링크(52)를 통하여 이송 스크류(13)에 원활하게 전달될 수 있다. 또한, 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축이 강성의 샤프트에 의해 연결되는 경우에 발생할 수 있는 문제점인 샤프트의 휘어짐과, 샤프트의 마찰에 의한 이물질 발생을 방지할 수 있다.

용기(60)는 노즐(10)의 토출구(11) 바로 아래에 설치되어 노즐(10)의 토출구(11)를 통하여 토출되는 세정액을 수용하는 역할을 한다.

차단 유닛(70)은, 노즐(10)의 토출구(11)에 접촉하는 방향 및 노즐(10)의 토출구(11)로부터 이격되는 방향으로 수평으로 이동 가능하게 설치되는 차단 부재(71)와, 차단 부재(71)와 연결되어 차단 부재(71)가 노즐(10)의 토출구(11)를 차단하도록 차단 부재(70)를 이동시키는 차단 부재 구동 장치(72)를 포함할 수 있다.

차단 부재(71)가 노즐(10)과 접촉할 때 노즐(10)이 손상되는 것을 방지하기 위해, 노즐(10)의 토출구(11)와 접촉하는 차단 부재(71)의 일부는 탄성 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

차단 부재 구동 장치(72)는 차단 부재(71)를 수평으로 이동시키기 위해, 예를 들면, 공압 또는 유압으로 작동되는 액추에이터, 볼 스크류 장치 또는 리니어 모터와 같은 직선 이송 기구일 수 있다.

이하, 도 4 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치의 작동에 대하여 설명한다.

먼저, 청소의 대상이 되는 노즐(10)을 페이스트 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛으로부터 분리한 후, 고정 유닛(30)을 사용하여 노즐 지지대(20)에 장착한다.

이때, 노즐(10)은 실린더(12) 및 이송 스크류(13)가 일체로 결합된 상태이며, 노즐(10)의 청소를 위해 실린더(12) 및 이송 스크류(13)가 서로로부터 분리될 필요가 없다. 그리고, 노즐(10)은 이송 스크류(13)에 연결 부재(14)가 연결된 상태로 운반될 수 있다. 한편, 노즐(10)에는 페이스트를 노즐(10)로 공급하는 시린지가 부착되어 있는데, 이 시린지는 노즐(10)이 노즐 지지대(20)에 장착되기 전에 노즐(10)로부터 제거된다.

노즐(10)이 노즐 지지대(20)에 장착되면, 노즐(10)의 이송 스크류(13)가 연결 부재(14) 및 연결 링크(52)를 통하여 구동 모터(51)에 연결된다. 연결 링크(52)는 플렉시블 커플링으로 이루어지므로, 노즐(10)의 이송 스크류(13)와 구동 모터(51)의 구동축이 서로 용이하게 연결될 수 있다.

그리고, 노즐(10)이 공급 튜브(41)을 통하여 세정액 공급 유닛(40)의 세정액 탱크(42)와 연결될 수 있다. 공급 튜브(41)의 일단은 시린지가 노즐(10)에 연결되는 입구(15)에 연결된다.

노즐(10)이 세정액 공급 유닛(40)과 연결되면, 초기에 세정액 공급 유닛(40)으로부터 노즐(10)로 소정의 양의 세정액이 공급된다. 이때, 세정액은 노즐(10)의 토출구(11)로부터 약간의 세정액이 토출될 때까지 공급된다. 이러한 초기의 세정액의 공급량은 미리 설정될 수 있으며, 제어 유닛(80)은 수위 센서(43)에 의해 감지된 수위로부터 세정액의 공급량을 산출하여 미리 설정된 초기 공급량에 맞게 세정액을 공급하도록 세정액 공급 유닛(40)을 제어할 수 있다. 따라서, 세정액이 불필요하게 낭비되는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 세정액이 노즐(10)의 토출구(11)로부터 약간의 세정액이 토출될 때까지 공급되면, 도 4에 도시된 바와 같이, 차단 부재 구동 장치(72)의 작동에 의해 차단 부재(71)가 노즐(10)의 토출구(11)와 접촉하도록 이동하여 토출구(11)를 차단한다. 이에 따라, 노즐(10)의 내부에 세정액이 정지된 상태로 존재한다.

이러한 상태에서, 아래와 같은 단계들이 열거된 순서로 또는 열거된 순서 반대로 수행될 수 있으며, 열거된 순서와 관계 없이 적어도 두 개 이상의 단계가 반복적으로 수행될 수 있다.

(1) 토출구(11)가 차단된 상태에서, 이송 스크류(13)가 회전되면서 노즐(10) 내부에 세정액이 순환할 수 있다. 이때, 이송 스크류(13)는 정방향 또는 역방향으로 회전되거나 정방향 및 역방향으로 반복적으로 회전될 수 있다.

(2) 차단 부재(71)가 노즐(10)로부터 이격되어 토출구(11)가 개방된 상태에서, 세정액이 세정액 공급 유닛(40)으로부터 노즐(10)로 공급되어 노즐(10)의 내부를 순환한 후 토출구(11)로부터 배출될 수 있다. 이때, 이송 스크류(13)는 회전될 수 있다. 토출구(11)로부터 배출된 세정액은 용기(60)에 담긴 후 폐기되거나 재활용될 수 있다(도 5 참조).

(3) 토출구(11)가 개방되고 세정액이 계속 공급되는 상태에서 이송 스크류(13)가 정지하거나 회전 및 정지 동작을 반복적으로 수행할 수 있다(도 5 참조).

(4) 세정액이 계속 공급되는 상태에서 토출구(11)의 개방 및 차단이 반복적으로 수행될 수 있다.

이에 따라, 세정액이 노즐(10) 내부를 순환하면서, 실린더(12)의 내면, 이송 스크류(13)의 외면, 특히, 이송 스크류(13)의 나사산들 사이의 부분을 세정한 후 이물질과 함께 외부로 배출될 수 있다.

상기한 바와 같은 동작이 수행된 후에는, 세정액의 공급을 차단한 상태로 토출구(11)를 개방하여, 노즐(10)로부터 세정액을 완전히 배출시킨다. 그리고, 노즐(10)을 노즐 지지대(20)에 장착하는 순서와 반대되는 순서로 노즐(10)을 노즐 지지대(20)로부터 분리한 후, 페이스트 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛에 장착한다.

상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐(10)을 분해하지 않고, 노즐(10)의 내부에 세정액을 공급하여 노즐(10)을 신속하고 원활하게 청소할 수 있으므로, 페이스트를 기판에 도포하는 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.

이하, 도 6 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치에 대하여 설명한다. 전술한 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 청소 장치는 노즐(10)과 공급 튜브(41)를 통하여 연결되어 노즐(10)로 기체를 공급하는 기체 공급 유닛(90)을 포함할 수 있다.

기체 공급 유닛(90)은 압축기나 송풍기로 이루어질 수 있다. 기체 공급 유닛(90)에 의해 공급되는 기체는 수분이 포함되지 않은 건조 기체인 것이 바람직하다.

한편, 기체 공급 유닛(90)은 세정액 공급 유닛(40)은 하나의 공급 튜브(41)를 사용하여 노즐(10)에 연결될 수 있다. 이러한 경우, 공급 튜브(41)에는 삼방향 밸브(46)이 구비되어, 공급 튜브(41)로 세정액 및 기체 중 어느 하나만 공급할 수 있다. 밸브(46)는 제어 유닛(80)에 의해 제어되는 제어 밸브일 수 있다.

노즐(10) 내부에 세정액을 순환시키고 노즐(10) 내부로부터 세정액을 배출시키는 동작이 완료된 후, 기체 공급 유닛(90)은 기체를 공급 튜브(41)를 통하여 노즐(10)로 공급한다. 따라서, 노즐(10)로 공급되는 기체의 유동에 의해 노즐(10) 내부에 남아 있을 수 있는 세정액이 외부로 배출되면서, 노즐(10)의 내부가 건조될 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 청소 장치는, 노즐(10)을 세정액으로 세정한 후 건조시킬 수 있으므로, 노즐(10)을 신속하게 청소하여 사용할 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.

10: 노즐 13: 이송 스크류
20: 노즐 지지대 30: 고정 유닛
40: 세정액 공급 유닛 50: 노즐 구동 유닛
60: 용기 70: 차단 유닛
80: 제어 유닛 90: 기체 공급 유닛

Claims

노즐이 장착되는 노즐 지지대;
상기 노즐과 공급 튜브를 통하여 연결되어 상기 노즐의 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛;
상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 세정액을 수용하는 용기; 및
상기 노즐의 토출구를 차단하는 차단 유닛을 포함하는 노즐 청소 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 차단 유닛은,
상기 노즐의 토출구에 접촉하는 방향 및 상기 노즐의 토출구로부터 이격되는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 차단 부재; 및
상기 차단 부재와 연결되어 상기 차단 부재가 상기 노즐의 토출구를 차단하도록 상기 차단 부재를 이동시키는 차단 부재 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐은, 상기 토출구를 가지는 실린더와, 상기 실린더 내에 회전 가능하게 설치되는 이송 스크류를 포함하고,
상기 노즐 청소 장치는, 상기 노즐의 내부에서 세정액을 순환시키도록 상기 이송 스크류를 회전시키는 노즐 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 노즐 구동 유닛은, 구동력을 발생시키는 구동 모터와, 상기 구동 모터를 상기 이송 스크류에 연결시키는 연결 링크를 포함하며,
상기 연결 링크는 상기 이송 스크류와 연결되는 제1 링크부와, 상기 구동 모터의 구동축에 연결되는 제2 링크부와, 상기 제1 링크부 및 상기 제2 링크부 사이에서 상기 제1 링크부 및 상기 제2 링크부에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 세정액 공급 유닛은, 세정액이 수용되며 상기 공급 튜브를 통하여 노즐과 연결되는 세정액 탱크와, 상기 세정액 탱크에 설치되어 상기 세정액 탱크 내에 수용된 세정액의 수위를 감지하는 수위 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 청소 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐과 상기 공급 튜브를 통하여 연결되어 상기 노즐의 내부로 기체를 공급하는 기체 공급 유닛을 더 포함하는 노즐 청소 장치.