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KR20150027600A - Cleaning apparatus and method of fabricating the display device including cleaning using the same - Google Patents

Cleaning apparatus and method of fabricating the display device including cleaning using the same Download PDF

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KR20150027600A
KR20150027600A KR20130106231A KR20130106231A KR20150027600A KR 20150027600 A KR20150027600 A KR 20150027600A KR 20130106231 A KR20130106231 A KR 20130106231A KR 20130106231 A KR20130106231 A KR 20130106231A KR 20150027600 A KR20150027600 A KR 20150027600A
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carrier
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이우원
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a cleaning device to clean a panel on which a printed circuit board (PCB) is integrated and provides the cleaning device and a method for manufacturing a flexible display device including cleaning using the same. The device includes: a cleaning line which includes a plurality of rollers and includes a panel injection zone and a cleaning zone; and a carrier line which is placed close to the cleaning line and includes a carrier unit and a front cover for covering the carrier unit. Only on the cleaning line, deionized water (DI) is sprayed, and penetration of DI into the carrier line is blocked by the front cover. By the rollers and the carrier unit, a panel moves in a direction and the surface of the panel is cleaned.

Description

세정 장치 및 이를 이용한 세정을 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법{Cleaning apparatus and method of fabricating the display device including cleaning using the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a cleaning apparatus and a method of manufacturing the same,

본 발명은 구동회로가 구비된 PCB가 실장된 상태에서 상기 PCB가 세정액에 노출되는 일 없이 세정이 가능하며, 상기 PCB가 실장된 상태의 패널을 연속적으로 투입 가능한 것을 특징으로 하는 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법을 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
A cleaning apparatus capable of cleaning without exposing the PCB to a cleaning liquid in a state where a PCB having a driving circuit is mounted, and a panel in which the PCB is mounted can be continuously inserted. And a method of manufacturing a display device including a cleaning method.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.In recent years, as the society has become a full-fledged information age, a display field for processing and displaying a large amount of information has rapidly developed, and various flat panel display devices have been developed in response to this.

이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 유기전계발광 표시장치(Organic Electroluminescence Display device : OLED), 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display device : EPD) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.Specific examples of such flat panel display devices include a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED) An organic electroluminescence display device (OLED), and an electrophoretic display device (EPD). These flat panel display devices are excellent in performance of thinning, light weight, and low power consumption, : CRT).

이러한 평판표시장치는 브라운관(CRT)에 비해 경량 박형이고, 대형화에 유리한 장점이 있다. Such a flat panel display device is thin and light compared to a cathode ray tube (CRT), and is advantageous in that it is large in size.

한편, 이러한 평판표시장치는 제조 공정 중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있도록 일반적으로 유리기판을 사용하고 있는데, 이러한 유리기판을 이용하여 제조된 평판표시장치는 최근 디스플레이 소자의 트렌드인 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다. In general, a glass substrate is used for such a flat panel display device in order to withstand the high heat generated during the manufacturing process. The flat panel display device manufactured using such a glass substrate has recently become a trend of display devices, There is a limit to grant.

따라서 최근에는 기존의 유연성이 없고 상대적으로 무거운 유리기판을 대신하여 플라스틱 등과 같이 유연성 있는 재료를 사용하여 제조함으로 종이처럼 휘어져도 표시성능을 그대로 유지할 수 있으며 유리기판으로 제조된 디스플레이 대비 상대적으로 가볍고 박형인 특징을 갖는 플렉서블(flexible) 표시장치가 차세대 평판표시장치로 급부상중이다.Therefore, it is possible to maintain the display performance even if it is warped like paper by using a flexible material such as plastic instead of the conventional flexible and relatively heavy glass substrate, and it is relatively light and thin compared to a display made of a glass substrate Is rapidly emerging as a next-generation flat panel display.

한편 이러한 플렉서블 디스플레이 소자를 제조하는데 있어, 유연한 특성을 갖도록 하기 위해 이용되는 플라스틱 재질의 필름은 잘 휘어지며 열에 약한 고유의 특성 때문에 유리기판을 처리 대상으로 하는 종래의 표시장치용 제조장비에 직접 적용되기 힘들다.On the other hand, in manufacturing such a flexible display device, the plastic film used for providing flexible characteristics is well warped and is directly applied to a conventional manufacturing apparatus for a display device, Hard.

일례로 트랙(track) 장비나 로봇(robot)에 의한 반송 시 특히, 로봇 암에 플라스틱 필름을 위치시키게 되면 심하게 휘어져 로봇 암 사이로 빠지게 되거나, 또는 기판 수납을 위한 카세트로의 수납 시 기판 각각을 수납시키는 카세트 단의 폭보다 기판의 처짐 폭이 더 커 로봇에 의한 수납이 불가능한 단점이 있다. For example, when a plastic film is placed on a robot arm, especially when it is transported by a track device or a robot, the plastic film is severely bent to fall into the robot arm, or when the plastic film is stored in a cassette for accommodating a substrate, The deflection width of the substrate is larger than the width of the cassette stage, which makes it impossible to store the robot by the robot.

따라서, 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조는 일반적인 유리기판을 이용한 표시장치의 제조와는 달리 플라스틱 기판 자체만으로 박막트랜지스터 등의 어레이 소자를 형성하는 어레이 공정 또는 컬러 구현을 위한 컬러필터층을 형성하는 컬러필터 공정 등을 진행시키지 못한다. Therefore, unlike the manufacture of a display device using a general glass substrate, the manufacture of a display device using a plastic substrate requires an array process in which an array element such as a thin film transistor is formed only of the plastic substrate itself or a color filter Process and so on.

이러한 문제를 극복하기 위해 상기 플라스틱 기판을 유리기판과 같은 단단한 재질의 반송이 가능한 캐리어 기판(carrier substrate)의 일면에 점착제 등을 이용하여 부착하여, 반송 공정이 가능하도록 한 상태를 만든 후, 일반적인 표시장치 제조 공정을 진행하여 플렉서블 디스플레이 소자를 완성하고 있다. In order to overcome such a problem, the plastic substrate is attached to one side of a carrier substrate capable of carrying a rigid material such as a glass substrate by using an adhesive or the like, And the device manufacturing process is proceeded to complete the flexible display device.

한편, 이러한 플렉서블 디스플레이 소자는 캐리어 기판을 플렉서블 패널로부터 분리시키기 위해 캐리어 기판의 탈착 공정이 진행되며, 이러한 캐리어 기판의 탈착에는 매우 유연한 상태를 갖게 된다.On the other hand, in such a flexible display device, a process of removing and attaching a carrier substrate is carried out in order to separate the carrier substrate from the flexible panel, and the carrier substrate is very flexible in its detachment.

유리기판을 이용하여 평판표시장치를 제조하는 경우, 최종적으로 두 개의 기판이 합착되어 디스플레이 패널을 이룬 상태에서 이러한 디스플레이 구동을 위한 PCB를 실장하는 공정이 진행되지만, 플렉서블 디스플레이 소자의 경우, 캐리어 기판을 탈착한 이후에는 매우 유연한 특성을 갖게되며 이에 대해서는 패널의 유연한 특성에 의해 PCB를 실장할 수 없다.In the case of manufacturing a flat panel display device using a glass substrate, a process of mounting a PCB for driving the display is performed in a state where two substrates are finally assembled to form a display panel. However, in the case of a flexible display device, After detachment, it has very flexible characteristics, and the PCB can not be mounted due to the flexible characteristics of the panel.

따라서 PCB의 실장 또한 캐리어 기판을 탈착하기 전에 이루어지게 된다.Therefore, mounting of the PCB is also performed before detaching the carrier substrate.

한편, 상기 캐리어 기판을 PCB가 실장된 상태에서 상기 캐리어 기판을 탈착시키기 위해서는 상기 캐리어 기판과 플라스틱 기판의 접합력을 약화시키기 위해 상기 캐리어 기판의 표면 전면에 레이저 빔을 조사하는데, 이러한 레이저 빔조사는 상기 캐리어 기판의 전면에 균일한 에너지 밀도를 갖도록 조사되어야 한다. In order to detach the carrier substrate from the carrier substrate with the PCB mounted thereon, a laser beam is irradiated onto the entire surface of the carrier substrate in order to weaken the bonding force between the carrier substrate and the plastic substrate. The entire surface of the carrier substrate should be irradiated so as to have a uniform energy density.

만약 캐리어 기판 표면에 이물 등이 존재하게 되면 상기 이물이 위치하는 부분에는 조사되는 레이저 빔의 굴절, 회절 또는 반사나 흡수에 의해 캐리어 기판의 탈착을 위한 적정한 밀도의 레이저 빔이 조사되지 못하게 되며, 이 경우 캐리어 기판을 플렉서블 패널로부터 탈착 진행 시 상기 플렉서블 패널과 캐리어 기판 간의 접착력이 그대로 유지됨으로서 플렉서블 패널을 이루는 일 구성요소인 플라스틱 기판이 뜯김 또는 찢어짐이 발생되어 불량이 다발하고 하며 이에 의해 플렉서블 디스플레이 제조 양산성이 저감되고 있다. If a foreign matter or the like is present on the surface of the carrier substrate, a laser beam of a proper density for detachment or detachment of the carrier substrate can not be irradiated to the portion where the foreign object is located due to refraction, diffraction, reflection or absorption of the laser beam. The adhesive force between the flexible panel and the carrier substrate is maintained when the carrier substrate is detached from the flexible panel. As a result, the plastic substrate, which is a component of the flexible panel, is scratched or torn, resulting in a large number of defects. Sex is being reduced.

따라서 PCB가 실장된 플렉서블 패널과 캐리어 기판의 탈착 전 더욱 정확히는 레이저 빔 조사 이전에 상기 캐리어 기판에 대해 세정 공정을 진행하고 있다.Therefore, before the removable flexible panel and the carrier substrate on which the PCB is mounted, more precisely, the cleaning process is performed on the carrier substrate before the laser beam irradiation.

도 1은 종래의 PCB가 실장된 플렉서블 패널과 캐리어 기판이 합착된 상태의 패널(이하 캐리어 패널이라 칭함)의 세정을 위한 세정장치에 대한 개략적인 평면도이다. 1 is a schematic plan view of a cleaning apparatus for cleaning a panel (hereinafter referred to as a carrier panel) in which a conventional flexible panel on which a PCB is mounted and a carrier substrate are stuck together.

종래의 캐리어 패널의 세정장치(10)는 캐리어 패널의 투입존(zone1)과 세정존(zone2)과 건조존(zone3) 및 픽업존(zone4)으로 구성되고 있다.The conventional cleaning apparatus 10 of the carrier panel is composed of a charging zone (zone 1), a cleaning zone (zone 2), a drying zone (zone 3) and a pickup zone (zone 4) of the carrier panel.

그리고 상기 투입존(zone1)과 세정존(zone2)에는 레일(13)이 구비되고 있으며, 나아가 상기 레일(13) 위에 위치하며 캐리어 패널(70)이 안착되는 스테이지(16)와 상기 스테이지(16)에 부착된 회전 커버(19)가 구비되고 있다.The stage 16 in which the carrier panel 70 is mounted and the stage 16 are positioned on the rail 13 and are further provided with the rails 13 in the input zone zone 1 and the cleaning zone 2, And a rotary cover 19 attached to the rotary shaft.

또한, 상기 세정존(zone2)에는 DI(Deionized water)가 분사되는 다수의 노즐(22)이 구비되고 있으며, 상기 노즐(22)의 후단에는 상기 캐리어 패널(70)의 표면과 접촉하여 캐리어 패널(70)의 표면에 부착된 이물을 물리적으로 제거하기 위한 물리적 이물 제거 수단(25)이 구비되고 있으며, 나아가 세정존(zone2) 일 끝단에는 에어 나이프(30)가 구비되고 있다. The cleaning zone zone 2 is provided with a plurality of nozzles 22 through which DI (Deionized water) is injected. A rear end of the nozzle 22 is in contact with the surface of the carrier panel 70, And an air knife 30 is provided at one end of the cleaning zone (zone 2). As shown in FIG.

또한, 상기 건조존(zone3)에는 세정된 캐리어 패널(70)이 놓여지는 지지수단(35)이 위치하며 상기 지지수단(35)의 일측면에는 상기 캐리어 패널(70)의 표면에 열풍을 조사하는 건조수단(40)가 구비되고 있다.In the drying zone (zone 3), a supporting means 35 on which the cleaned carrier panel 70 is placed is located and on one side of the supporting means 35 is irradiated with hot air on the surface of the carrier panel 70 Drying means 40 is provided.

그리고 상기 픽업존(zone4)에는 로봇(45)이 구비되어 상기 세정존(zone2)을 통과한 캐리어 패널을 픽업하여 상기 건조존(zone3)에 위치시키고, 상기 건조존(zone3)에서 건조가 완료된 캐리어 패널(70)을 타 공정 진행을 위해 카세트(미도시) 또는 타 공정 장비(미도시)로 이동시키는 로봇(45)이 구비되고 있다. A robot 45 is provided in the pick-up zone zone 4 to pick up a carrier panel that has passed through the cleaning zone zone 2 and position the carrier panel in the drying zone zone 3, And a robot 45 for moving the panel 70 to a cassette (not shown) or other process equipment (not shown) for further processing.

이러한 구성을 갖는 종래의 세정 장치(10)는 캐리어 패널(70)이 투입존(zone1)에 위치하는 스테이지(16) 상에 안착되면, 상기 캐리어 패널(70)의 정렬이 이루어지고, 상기 캐리어 패널(70)에 실장된 PCB(73)에 대응하여 회전커버(19)가 회전하여 상기 PCB(73) 상부에 위치하게 됨으로서 상기 PCB(73)를 커버링 한 상태를 이루게 된다.When the carrier panel 70 is placed on the stage 16 located in the input zone zone 1, the conventional cleaning apparatus 10 having such a configuration aligns the carrier panel 70, The rotation cover 19 rotates corresponding to the PCB 73 mounted on the PCB 70 and is positioned on the PCB 73 so that the PCB 73 is covered.

이후, PCB(73)가 회전커버(19)에 의해 커버링이 된 상태에서 상기 스테이지(16)는 상기 레일(13) 따라 이동함으로서 상기 세정존(zone2)에 위치하게 되며, 상기 세정존(zone2)에서 상기 캐리어 패널(70)의 표면에 다수의 노즐(22)로부터 DI가 분사된 후 물리적 이물 제거수단(25)에 의해 캐리어 패널(70)의 표면에 부착된 이물을 제거하는 세정이 진행된다.The stage 16 is moved to the cleaning zone zone 2 by moving along the rail 13 in a state where the PCB 73 is covered by the rotary cover 19, DI is sprayed from the plurality of nozzles 22 onto the surface of the carrier panel 70, and then cleaning is performed to remove foreign matters adhered to the surface of the carrier panel 70 by the physical foreign material removing means 25. [

이때, 상기 PCB(73)는 회전커버(19)에 의해 커버링이 되고 있는 상태가 유지됨으로서 PCB(73)에는 분무되는 DI에 노출되는 것이 방지 된다. At this time, the PCB 73 is kept covered by the rotary cover 19, so that the PCB 73 is prevented from being exposed to sprayed DI.

이러한 세정존(zone2)에서의 캐리어 패널(70)의 표면이 세정된 후, 상기 캐리어 패널(70)은 픽업존(zone4)에 위치하는 상기 로봇(45)에 의해 건조존(zone3)으로 이동하게 되는데, 상기 건조존(zone3)으로 이동 전 상기 세정존(zone2)의 일 끝단을 상기 스테이지(16) 상에 위치한 상태로 에어 나이프(30)가 위치하는 곳을 통과하게 됨으로서 상기 캐리어 패널(70)의 표면에 남아있는 대부분의 DI가 제거된 상태를 이루게 된다.After the surface of the carrier panel 70 in the cleaning zone 2 is cleaned, the carrier panel 70 is moved to the drying zone zone 3 by the robot 45 located in the pickup zone 4 The carrier panel 70 is moved to a position where the air knife 30 is positioned while the one end of the cleaning zone zone 2 is positioned on the stage 16 before moving to the drying zone zone 3, Most of the DI remaining on the surface of the substrate is removed.

다음, 이렇게 에어 나이프(30)를 통과하여 그 표면에서 DI가 제거된 캐리어 패널(70)에 있어 상기 회전커버(19)가 회전하여 상기 PCB(73)를 노출시키는 공정을 진행한다.Next, in the carrier panel 70 having passed through the air knife 30 and DI is removed from the surface thereof, the rotation cover 19 is rotated to expose the PCB 73.

다음, 회전커버(19)가 회전함으로서 상기 PCB(73)를 노출시킨 상태의 상기 캐리어 패널(70)은 상기 픽업존(zone4)에 위치하는 상기 로봇(45)에 의해 이송되어 상기 건조존(zone3)의 지지수단(35) 위에 안착되고, 이후 상기 건조수단(40)에 의해 열풍 건조됨으로서 상기 캐리어 패널(70)의 표면에 미세하게 남아있는 DI를 완전히 제거된 상태를 이루게 됨으로서 세정 공정을 완료하게 된다. The carrier panel 70 in a state in which the PCB 73 is exposed by the rotation of the rotary cover 19 is transferred by the robot 45 located in the pickup zone zone 4, And then the DI is dried by the drying means 40. As a result, the minute DI remaining on the surface of the carrier panel 70 is completely removed, thereby completing the cleaning process do.

하지만, 전술한 바와같이 종래의 세정장치(10)를 통해 진행되는 캐리어 패널(70)의 세정 공정은 하나의 스테이지(16)에 캐리어 패널(70)이 안착 된 후 상기 캐리어 패널(70)에 실장된 PCB(73)를 회전커버(19)가 커버링한 상태를 유지하며 세정이 실시되므로, 하나의 캐리어 패널(70)의 세정이 완료되기 전까지는 다른 캐리어 패널(70)을 세정장치(10)로 투입할 수 없다.However, as described above, the cleaning process of the carrier panel 70, which proceeds through the conventional cleaning device 10, is performed by mounting the carrier panel 70 on the carrier panel 70 after mounting the carrier panel 70 on one stage 16 The other carrier panel 70 is moved to the cleaning device 10 until the cleaning of one carrier panel 70 is completed because the cleaning of the PCB 73 is maintained while the rotation cover 19 is covered It can not be input.

즉, 종래의 캐리어 패널용 세정장치(10)는 순수하게 캐리어 패널(70)의 세정이 이루어지는 세정존(zone2)에 위치하는 시간은 배제한다 하더라도 스테이지(16)가 투입존(zone1)과 세정존(zone2)을 왕복 운동하는 시간은 실제 세정을 위한 대기 시간이 되므로 순수 세정을 위한 시간 이외에 낭비되는 시간이 많아 단위 시간당 세정 처리력이 저하되므로 최종적으로 단위시간당 플렉서블 디스플레이 소자 제조 시간 저하에 의해 생산성이 저하되고 있는 실정이다.That is, even if the conventional cleaning device 10 for a carrier panel is excluded from the cleaning zone zone 2 where cleaning of the carrier panel 70 is purely performed, the stage 16 can not be moved in the closing zone zone 1, Since the time for reciprocating movement in the zone (zone 2) is the waiting time for the actual cleaning, the cleaning processing force per unit time is reduced due to a lot of wasted time in addition to the time for pure cleaning. Thus, It is a fact that it is getting worse.

이러한 단위시간당 세정 처리력을 향상시키기 위해서는 다수의 세정장치(10)가 필요로 되며, 이는 투자 비용 상승을 초래하며, 플렉서블한 디스플레이 소자 제조를 위한 제조 라인의 면적을 증가시키게 되므로 플렉서블한 디스플레이 소자 제조 비용을 증가시키는 요인이 되고 있는 실정이다.
In order to improve the cleaning performance per unit time, a large number of cleaning devices 10 are required. This increases the investment cost and increases the area of the manufacturing line for manufacturing a flexible display device. Therefore, This is a factor that increases the cost.

전술한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 PCB가 세정액 또는 DI에 노출됨 없이 세정이 진행되며, 캐리어 패널을 대기시간 없이 연속적으로 투입 가능함으로서 단위 시간당 세정 처리력을 향상시킬 수 있는 세정장치를 제공함으로서 플렉서블한 디스플레이 장치의 생산성을 향상시키는 것을 그 목적으로 한다.
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a cleaning device capable of improving the cleaning treatment force per unit time by allowing the PCB to be cleaned without being exposed to the cleaning liquid or DI, and being able to continuously inject the carrier panel without waiting time, And it is an object of the present invention to improve the productivity of a display device.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 세정장치는, PCB(printed circuit board)가 실장된 패널을 세정하기 위한 세정장치에 있어서, 다수의 롤러가 구비되며 패널 투입존과 세정존이 구비된 세정라인과; 상기 세정라인과 인접하여 위치하며 반송수단 및 상기 반송수단을 커버링하는 전면커버가 구비된 반송라인을 포함하며, 상기 세정라인에 대해서만 DI(deionized water)의 분무가 이루어지고 상기 반송라인은 상기 전면커버에 의해 상기 DI의 침투가 방지되며, 상기 롤러 및 반송수단에 의해 패널이 일 방향으로 이동하며 상기 패널의 표면 세정이 이루어지는 것이 특징이다.In order to achieve the above object, a cleaning apparatus according to the present invention is a cleaning apparatus for cleaning a panel on which a printed circuit board (PCB) is mounted, the cleaning apparatus comprising a plurality of rollers, A cleaning line provided; And a conveying line located adjacent to the cleaning line and having a front cover covering the conveying means and the conveying means, wherein DI is sprayed only on the cleaning line and the conveying line is sprayed on the front cover And the panel is moved in one direction by the roller and the conveying means, and the surface of the panel is cleaned.

이때, 상기 롤러와 반송수단은 서로 동기화 되어 동일한 속도로 회전함으로서 상기 롤러 및 반송수단 상에 놓이게 되는 상기 패널 및 상기 패널에 실장된 상기 PCB(printed circuit board)를 동일한 속도로 이동시키는 것이 특징이며, 또한 상기 패널은 상기 롤러 상에 위치하며, 상기 패널과 상기 PCB는 FPCB를 매개로 서로 연결되며, 상기 PCB는 상기 반송라인 상에 위치함으로서 상기 PCB는 상기 전면커버에 의해 커버링 되는 것이 특징이다. At this time, the roller and the conveying means are synchronized with each other and rotate at the same speed, thereby moving the PCB and the printed circuit board (PCB) mounted on the roller and the conveying means at the same speed. Further, the panel is located on the roller, and the panel and the PCB are connected to each other via FPCB, and the PCB is positioned on the return line, so that the PCB is covered by the front cover.

그리고 상기 전면커버는 상기 반송수단에 대응되는 상면과 상기 상면에서 절곡된 측면으로 구성된 것이 특징이며, 이때, 상기 전면커버의 측면의 끝단은 상기 다수의 롤러의 상면을 연결한 수평면을 기준으로 상기 전면커버 전체에 대해 동일한 이격간격을 이루는 것이 특징이다.The front cover has a top surface corresponding to the conveying means and a side surface bent from the top surface. At this time, the end of the side surface of the front cover is spaced from the top surface of the plurality of rollers And the same gap is formed with respect to the entire cover.

또한, 상기 전면커버는 상기 투입존에 대응하는 부분이 상기 다수의 롤러의 상면을 연결한 수평면을 기준으로 이에 수직한 상부방향으로 절곡된 구성을 이루는 것이 특징이며, 이때, 상기 전면커버는, 상기 투입존에 대응하는 부분에 위치하는 상면 및 측면이 모두 상기 반송라인의 길이방향에 수직한 폭 방향의 어느 한 기준선을 기준으로 일정한 각도를 가지며 절곡된 형태를 이루거나, 또는 상기 투입존에 대응하는 부분에 위치하는 상면 및 측면이 상기 반송라인의 길이방향에 대해 소정의 각도를 갖는 기준선을 기준으로 절곡된 형태를 이루는 것이 특징이다.The front cover may have a configuration in which a portion corresponding to the input zone is bent upward in a direction perpendicular to a horizontal plane connecting the upper surfaces of the plurality of rollers. In this case, The upper surface and the side surface located at the portion corresponding to the input zone all have a certain angle with respect to any one of the reference lines in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the transfer line, The upper surface and the side surface of the transfer line are bent with respect to a reference line having a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of the transfer line.

또한, 상기 전면커버는 상기 투입존에 대해서는 그 측면이 제거된 것이 특징이다.Further, the front cover is characterized in that its side face is removed from the input zone.

한편, 상기 전면커버 상면의 내측면에는 CDA(clean dry air)를 일방향으로 블로잉하는 에어커튼이 구비되어 상기 전면커버의 측면의 끝단과 상기 반송수단의 이격영역에 대해 CDA의 지속적 흐름이 발생함으로서 DI의 침투를 억제하는 것이 특징이다.On the other hand, an air curtain for blowing clean dry air (CDA) in one direction is provided on the inner surface of the upper surface of the front cover, so that continuous flow of CDA occurs between the end of the side surface of the front cover and the separation area of the conveying means, And the like.

그리고 상기 세정존에는 상기 롤러 상부로 상기 DI를 분무하는 다수의 노즐과, 물리적 이물 제거수단과 에어 나이프 및 건조수단이 구비되며, 이때, 상기 다수의 노즐은 상기 물리적 이물 제거수단의 전단에만 구비되거나, 또는 물리적 제거수단의 전단 및 후단에 구비된 것이 특징이다.The cleaning zone is provided with a plurality of nozzles for spraying the DI on the upper portion of the roller, a physical foreign material removing means and an air knife and drying means, wherein the plurality of nozzles are provided only at the front end of the physical foreign material removing means , Or at the front end and the rear end of the physical removal means.

또한, 상기 물리적 이물 제거수단은 연마포 또는 칼날이 되며, 상기 물리적 제거 수단은 상기 패널의 일 표면과 직접 접촉하며 회전하는 것이 특징이다.Further, the physical debris removing means is a polishing cloth or a blade, and the physical removing means rotates in direct contact with a surface of the panel.

본 발명에 따른 디스플레이 소자의 제조 방법은, 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 하나의 항 기재에 의한 세정장치를 이용한 세정을 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법에 있어서, 제 1 캐리어 기판 상에 제 1 및 제 2 플라스틱 기판이 합착된 플렉서블 패널이 부착되며 상기 제 1 플라스틱 기판의 일 측면에 FPCB를 재재하여 PCB가 실장된 상태의 캐리어 패널을 구비하는 단계와; 상기 캐리어 패널 중 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판에 대응하는 본체는 상기 세정라인의 롤러 상에 위치하고 상기 PCB는 상기 반송라인 상에 위치하여 상기 PCB는 상기 전면커버에 커버링 되도록 상기 캐리어 패널을 상기 세정장치의 투입존에 투입하는 단계와; 상기 캐리어 패널이 상기 세정장치의 세정존을 통과함으로서 상기 제 1 캐리어 기판의 표면의 이물을 제거하는 단계를 포함한다. A manufacturing method of a display device according to the present invention is a manufacturing method of a display device including cleaning using a cleaning device according to any one of claims 1 to 12, And a carrier panel having a PCB mounted on one side of the first plastic substrate with a flexible printed circuit board (FPCB) mounted thereon; Wherein the main body corresponding to the first and second plastic substrates of the carrier panel is positioned on the roller of the cleaning line and the PCB is positioned on the return line so that the PCB is covered with the front cover, Into an input zone of the apparatus; And removing the foreign matter on the surface of the first carrier substrate by passing the carrier panel through the cleaning zone of the cleaning device.

이때, 상기 제 1 캐리어 기판의 표면의 이물을 제거하는 단계 이후에는 상기 제 1 캐리어 기판의 표면에 레이저 빔을 조사한 후 상기 제 1 캐리어 기판을 상기 플렉서블 패널로부터 탈착시키는 단계를 포함한다.The step of removing foreign matter from the surface of the first carrier substrate may include irradiating the surface of the first carrier substrate with a laser beam and then detaching the first carrier substrate from the flexible panel.

그리고 상기 캐리어 패널을 구비하는 단계는, 상기 제 1 캐리어 기판 상에 제 1 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 제 2 캐리어 기판 상에 제 2 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판을 서로 마주하도록 한 후 합착함으로서 제 1 패널을 이루도록 하는 단계와; 상기 제 1 패널에 대해 세정을 진행하여 상기 제 2 캐리어 기판 표면의 이물을 제거하는 단계와; 상기 제 2 캐리어 기판의 표면에 레이저 빔을 조사하고 상기 제 1 패널로부터 상기 제 2 캐리어 기판을 제거함으로서 제 2 패널을 이루도록 하는 단계와; 상기 제 2 패널의 상기 플렉서블 패널에 대해 상기 FPCB를 개재하여 PCB를 실장하는 단계를 포함한다. The step of providing the carrier panel may include: forming a first plastic substrate on the first carrier substrate; Forming a second plastic substrate on a second carrier substrate; The first and second plastic substrates facing each other and then joined together to form a first panel; Cleaning the first panel to remove foreign matter from the surface of the second carrier substrate; Forming a second panel by irradiating a laser beam to a surface of the second carrier substrate and removing the second carrier substrate from the first panel; And mounting the PCB to the flexible panel of the second panel via the FPCB.

그리고 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판을 합착하는 단계 이전에, 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판이 서로 합착된 후 액정표시장치, 유기전계 발광소자 및 전기영동표시소자 중 어느 하나로 동작하기 위한 구성요소를 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판 상에 형성하거나 또는 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판 사이에 형성하는 단계를 포함한다.
The first and second plastic substrates may be bonded together before the first and second plastic substrates are bonded together, and then a component for operating as a liquid crystal display, an organic electroluminescent device, and an electrophoretic display device And forming or forming on the first and second plastic substrates or between the first and second plastic substrates.

본 발명에 따른 세정장치는, PCB가 실장된 캐리어 패널의 세정 진행을 위해 스테이지에 의해 왕복 운동을 하지 않고, 캐리어 패널이 일 방향으로 지속적으로 이동하는 라인 타입의 세정장치를 이루게 됨으로서 종래의 세정장치와 같이 스테이지가 세정존으로부터 투입존으로 되돌아오는데 걸리는 대기시간 없이, 캐리어 패널의 연속 투입이 가능함으로서 단위 시간당 세정 처리력이 현저히 향상되어 플렉서블 디스플레이 조자의 제조 비용을 저감시키는 효과가 있다.
The cleaning apparatus according to the present invention is a line type cleaning apparatus in which the carrier panel continuously moves in one direction without performing a reciprocating motion by the stage for cleaning progress of the carrier panel on which the PCB is mounted, It is possible to continuously insert the carrier panel without waiting time for the stage to return from the cleaning zone to the charging zone as shown in Fig. 4A, and the cleaning processing force per unit time is remarkably improved, thereby reducing manufacturing cost of the flexible display device.

도 1은 종래의 PCB가 실장된 플렉서블 패널과 캐리어 기판이 합착된 상태의 패널의 세정을 위한 세정장치에 대한 개략적인 평면도.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 패널의 세정장치의 평면도.
도 3은 도 2를 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단한 부분에 대한 개략적인 단면도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 세정장치의 일 구성요소인 전면커버의 사시도로서, 상기 세정장치의 캐리어 패널의 투입이 이루어지는 부분에 대한 다양한 형태를 나타낸 도면.
도 5a 내지 도 5j는 본 발명에 따른 세정장치를 이용한 세정을 포함하는 플렉서블 디스플레이 소자의 제조 단계별 공정 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이 소자의 일례로서 터치 패널이 구비된 플렉서블 디스플레이 소자의 캐리어 패널을 도시한 단면도.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic plan view of a cleaning apparatus for cleaning a panel in which a conventional flexible PCB on which a PCB is mounted and a carrier substrate are bonded together. FIG.
2 is a plan view of a cleaning device of a carrier panel according to an embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a portion cut along the line III-III of FIG. 2; FIG.
4A to 4D are perspective views of a front cover, which is a component of a cleaning apparatus according to the present invention, showing various forms of a portion to which a carrier panel of the cleaning apparatus is charged.
5A to 5J are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a flexible display device including cleaning using a cleaning device according to the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating a carrier panel of a flexible display device having a touch panel as an example of the flexible display device according to the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

우선, 본 발명에 따른 캐리어 패널 세정용 세정장치에 대해 설명한다.First, a cleaning apparatus for cleaning a carrier panel according to the present invention will be described.

여기서 캐리어 패널이라 함은 매우 유연한 특성을 갖는 플라스틱 기판을 이용하여 제조된 플렉서블한 디스플레이 패널의 일 표면에 제조 공정 진행 시 유연한 특성을 억제 또는 저감시키기 위해 유리재질로 이루어진 캐리어 기판이 부착된 상태를 이루며, 나아가 상기 디스플레이 패널의 일측면에 구동 회로를 포함하는 PCB가 실장된 상태의 패널을 의미한다.Here, the carrier panel refers to a state in which a carrier substrate made of a glass material is attached to one surface of a flexible display panel manufactured using a plastic substrate having very flexible characteristics, in order to suppress or reduce a flexible characteristic And further, a PCB including a driving circuit is mounted on one side of the display panel.

이때, 플렉서블한 디스플레이 패널은 유연한 특성을 갖는 플라스틱 기판으로 이루어진 상부 및 하부 기판 사이에 액정층이 구비된 액정표시장치, 유연한 특성을 갖는 플라스틱 기판으로 이루어진 상부 또는 하부 기판 중 어느 하나의 기판에 유기 발광층을 포함하는 유기전계 발광 다이오드를 구비한 유기전계 발광소자, 유연한 특성을 갖는 플라스틱 기판으로 이루어진 상부 및 하부 기판 사이에 전기영동층을 포함하는 전기영동 표시장치 중 어느 하나가 될 수 있다.At this time, the flexible display panel is formed by stacking a liquid crystal display device having a liquid crystal layer between an upper and a lower substrate made of a plastic substrate having flexible characteristics, And an electrophoretic display device including an electrophoretic layer between an upper substrate and a lower substrate made of a plastic substrate having a flexible characteristic.

또한, 상기 캐리어 패널은 전술한 액정표시장치, 유기전계 발광소자, 전기영동 표시장치를 이루는 플렉서블 패널에 부가하여 터치 센서를 구비한 터치 필름 또는 패널이 더욱 구비될 수도 있다. 이때, 상기 터치 필름 또는 터치 패널은 그 자체의 일 측면에 터치 센서와 연결된 터치 구동이 가능하도록 하는 터치 구동용 PCB가 더욱 실장될 수도 있다. The carrier panel may further include a touch film or a panel having a touch sensor in addition to the flexible panel constituting the liquid crystal display device, the organic electroluminescent device, and the electrophoretic display device described above. At this time, the touch film or the touch panel may further have a touch driving PCB mounted on one side of the touch film or the touch panel to enable touch driving connected to the touch sensor.

이때, 본 발명에 따른 세정장치는 반드시 캐리어 패널에 대해서만 한정되어 적용되는 것이 아니고, PCB가 실장된 상태의 어떠한 패널 또는 기판에도 적용될 수 있음은 자명하다 할 것이다.It will be appreciated that the cleaning apparatus according to the present invention is not necessarily limited to the carrier panel, but may be applied to any panel or substrate having the PCB mounted thereon.

한편, 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 패널의 세정장치의 평면도이며, 도 3은 도 2를 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단한 부분에 대한 개략적인 단면도이다.FIG. 2 is a plan view of a cleaning apparatus for a carrier panel according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a portion taken along line III-III of FIG.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 패널용 세장장치(100)는 크게 DI가 분사되는 세정라인(L1)과, 상기 세정라인(L1)과 인접하여 PCB를 지지하는 동시에 반송시키는 PCB 반송라인(L2)으로 구성되고 있다.As shown in the drawing, a wringing device 100 for a carrier panel according to the present invention mainly includes a cleaning line L1 to which DI is sprayed, and a PCB transfer line (not shown) L2.

이때, 상기 세정라인(L1)과 PCB 반송라인(L2)은 동일한 길이를 가지며, 상기 PCB 반송라인(L2)에는 세정라인(L1)으로부터 분출되는 DI(Deionized water) 등에 노출되는 것을 방지하고자 상기 PCB 반송라인(L2) 전면에 대해 전면커버(110)가 구비되고 있는 것이 특징이다.At this time, the cleaning line L1 and the PCB conveyance line L2 have the same length. To prevent exposure to DI (Deionized water) ejected from the cleaning line L1 to the PCB conveyance line L2, And a front cover 110 is provided on the entire surface of the transfer line L2.

조금 더 상세히 본 발명에 따른 세정장치에 대해 설명한다.A cleaning device according to the present invention will be described in more detail.

우선, 상기 세정라인(L1)에는 캐리어 패널(170) 자체가 놓여지며 상기 캐리어 패널(170)을 일 방향으로 이동시키는 다수의 롤러(113)와, DI를 분무하는 다수의 노즐(118)과, 상기 캐리어 패널(170)의 일 표면에 부착된 이물 제거를 위한 물리적 이물 제거수단(122)과, 상기 캐리어 패널(170) 표면에 남아있는 DI 제거를 위한 에어 커터(125)가 구비되고 있으며, 상기 에어 커터(125) 외측으로 건조수단(128)이 구비되고 있다.The cleaning line L1 includes a plurality of rollers 113 for moving the carrier panel 170 in one direction and a plurality of nozzles 118 for spraying the DI, A physical foreign object removing means 122 for removing foreign objects attached to one surface of the carrier panel 170 and an air cutter 125 for removing DI remaining on the surface of the carrier panel 170 are provided, A drying unit 128 is provided outside the air cutter 125.

이때, 상기 다수의 각 롤러(113)는 모두 일정한 속도를 가지고 일 방향으로 회전함으로서 이의 상부에 놓여지는 캐리어 패널(170)을 일정한 속도로 이동시키는 역할을 한다.At this time, the plurality of rollers 113 are all rotated at a constant speed in one direction to move the carrier panel 170, which is placed on the carrier panel 170, at a constant speed.

이러한 롤러(113)는 상기 캐리어 패널(170)이 실제 세정이 이루어지는 DI를 분무하는 노즐(118)이 구비된 구간과 물리적 이물 제거수단(122)이 위치하는 곳을 통과하는 경우 그 속도가 자동적으로 조절되어 회전속도를 늦추어지거나 멈추게 됨으로서 상기 캐리어 패널(170)의 일 표면의 오염된 부분 및 이물이 부착된 부분이 충분히 제거되도록 하는 구동을 실시할 수 있는 것이 특징이다. The roller 113 is automatically rotated when the carrier panel 170 passes through the section provided with the nozzle 118 for spraying the DI to which the actual cleaning is performed and where the physical foreign material removing unit 122 is located. The rotation speed is slowed or stopped so that the contaminated portion of the one surface of the carrier panel 170 and the portion to which the foreign matter is adhered can be sufficiently removed.

상기 다수의 노즐(118)과 물리적 이물 제거수단(122) 및 에어 커터(125)는 상기 롤러(113) 상부에 위치하도록 구성되며, 이때 상기 노즐(118)과 에어 커터(125) 및 건조수단(128)은 상기 롤러(113) 상부에서 적정 위치에 고정된 것이 특징이다.The plurality of nozzles 118 and physical debris removing means 122 and the air cutter 125 are positioned above the roller 113. The nozzle 118 and the air cutter 125 and the drying means 128 are fixed at an appropriate position above the roller 113. [

상기 다수의 노즐(118)은 DI를 분무하며, 상기 캐리어 패널(170)은 상기 DI를 분무하는 노즐(118)을 일정한 속도로 통과함으로서 상기 캐리어 패널(170) 표면의 존재하는 유기 및 무기 물질을 제거시키는 역할을 한다.The plurality of nozzles 118 spray DI and the carrier panel 170 passes the nozzles 118 spraying the DI at a constant speed to remove the organic and inorganic substances present on the surface of the carrier panel 170 Remove it.

이때 상기 다수의 노즐(118)은 상기 물리적 이물 제거수단(122)의 전단, 또는 전단 및 후단에 위치할 수도 있으며, 또는 상기 물리적 이물 제거수단(122)이 구비된 영역을 포함하여 이의 전단 및 후단의 일정영역에 지속으로 DI를 분무하도록 구성될 수도 있다. At this time, the plurality of nozzles 118 may be located at the front end, or the front end and the rear end, of the physical debris removing means 122, or may include a region provided with the physical debris removing means 122, The DI may be configured to spray DI on a constant area of the DI.

상기 물리적 이물 제거수단(122)의 전단에 위치하는 노즐(118a)의 경우, 상기 캐리어 패널(170)의 표면에 DI를 우선적으로 분무하여 분무된 DI가 이후 진행하는 상기 물리적 이물 제거수단(122)과 캐리어 패널(170)의 표면과의 마찰 시 연마 유연제로서 역할을 하도록 한다. In the case of the nozzle 118a positioned at the front end of the physical foreign object removing means 122, the DI is sprayed on the surface of the carrier panel 170 preferentially, And serves as an abrasive softener when rubbing against the surface of the carrier panel 170.

그리고 상기 물리적 이물 제거수단(122)의 후단에 위치하는 노즐(118b)은 물질적 이물 제거 후 캐리어 패널(170)의 표면을 씻어 내는 역할을 하는 것이다. The nozzle 118b located at the rear end of the physical foreign material removing unit 122 serves to wash the surface of the carrier panel 170 after removing the foreign material.

한편, 상기 물리적 이물 제거수단(122)은 예를들면 회전하는 연마포나 칼날이 구비되며, 상기 롤러(113) 상부에 위치하지만 상하로 움직임이 가능한 것이 특징이며, 상기 캐리어 패널(170)이 상기 이물 제거수단(122)이 위치하는 곳을 통과할 시 상기 캐리어 패널(170)의 표면 더욱 정확히는 제 1 캐리어 기판(미도시)의 표면과 상기 회전하는 연마포나 칼날이 접촉한 후 회전하여 마찰시킴으로서 상기 캐리어 패널(170)의 표면에 부착된 이물을 효과적으로 제거하게 된다.The physical destruction removing means 122 is provided with a rotating polishing cloth or a blade and is located above the roller 113 but is movable up and down. The surface of the carrier panel 170, more precisely, the surface of the first carrier substrate (not shown) and the rotating abrasive cloth or blade come into contact with each other when they pass through the position where the foreign material removing means 122 is located, Foreign matter adhering to the surface of the carrier panel 170 is effectively removed.

상기 에어 커터(125)는 강한 바람을 블로잉 하는 것으로 상기 DI가 분무됨으로서 상기 캐리어 패널(170)의 표면은 최종적으로 DI가 남아있게 되며, 따라서 이러한 캐리어 패널(170)의 표면에 남아있는 DI를 상기 캐리어 패널(170) 표면에서 일 방향으로 이동시켜 제거하는 역할을 한다.The air cutter 125 blows strong wind so that DI is sprayed so that the surface of the carrier panel 170 is finally left with DI so that DI remaining on the surface of the carrier panel 170 And moves in one direction on the surface of the carrier panel 170 and removes it.

그리고 상기 건조수단(128)은 70 내지 90℃의 내부의 온도 분위기가 가지며 상기 캐리어 패널(170)은 상기 건조수단(128) 내부를 일정속도로 통과함으로서 상기 캐리어 패널(170)의 표면에 남아있는 미세 DI를 완전히 제거하는 역할을 한다. 이때, 상기 건조수단(128)은 그 내부에 블로잉 수단(미도시)이 더욱 구비되어 상기 70 내지 90℃ 온도를 갖는 열풍을 상기 캐리어 패널(170)의 표면에 입사되도록 하는 구성을 이룰 수도 있다.The drying means 128 has an internal temperature atmosphere of 70 to 90 ° C. and the carrier panel 170 is left on the surface of the carrier panel 170 by passing through the drying means 128 at a constant speed It completely removes fine DI. At this time, the drying means 128 may further include a blowing means (not shown) therein to allow hot air having a temperature of 70 to 90 ° C to be incident on the surface of the carrier panel 170.

한편, 상기 PCB 반송라인에 구비되는 PCB 반송수단(140)은 상기 롤러(113)를 일 방향으로 회전시키는 구동수단(미도시) 일례로 모터에 동기화 되어 구동되며, 상기 롤러(113) 상에서 이동하는 캐리어 패널(170)의 이동속도와 동일한 이동속도를 갖는 컨베이어로서 상기 캐리어 패널(170)에 실장된 PCB 및 상기 캐리어 패널(170)에 터치 패널(미도시)이 더욱 구비된 경우 상기 터치 패널(미도시)에 실장된 터치 PCB(미도시)가 안착된다.The PCB conveying means 140 provided on the PCB conveying line is driven synchronously with a motor as one example of driving means (not shown) for rotating the roller 113 in one direction, When a PCB mounted on the carrier panel 170 and a touch panel (not shown) are further provided on the carrier panel 170 as a conveyor having a moving speed equal to the moving speed of the carrier panel 170, The touch PCB (not shown) mounted on the touch panel is seated.

그리고 상기 PCB 반송수단(140)인 상기 컨베이어 상부에는 고정된 형태로서 전면커버(110)가 구비되고 있으며, 이러한 전면커버(110)는 상기 캐리어 패널(170)과 마주하는 상면과 상기 상면에서 절곡되어 소정의 폭을 갖는 측면을 포함하여 이루어진다.The front cover 110 is fixed to the upper part of the conveyor unit 140. The front cover 110 is bent at an upper surface facing the carrier panel 170 and at an upper surface And a side surface having a predetermined width.

이때, 상기 전면커버(110)의 측면은 상기 캐리어 패널(170)과 상기 PCB를 연결시키는 FPCB(Flexible printed circuit board)(176)의 표면에 소정간격 이격하며 위치함으로서 상기 전면커버(110)는 상기 캐리어 패널(170)에 실장된 PCB(및 터치 PCB)(176)를 완전히 덮는 구성을 이루는 것이 특징이다. At this time, the side surface of the front cover 110 is spaced apart from the surface of the FPCB (Flexible printed circuit board) 176 connecting the PCB 170 with the PCB, And the PCB (and the touch PCB) 176 mounted on the carrier panel 170 is completely covered.

한편, 상기 전면커버(110)의 그 내부 표면에는 CDA(clean dry air)를 분사하는 에어 커튼(145)이 더욱 구비되고 있다.An air curtain 145 for spraying CDA (clean dry air) is further provided on the inner surface of the front cover 110.

따라서 상기 에어 커튼(145)에 의해 CDA가 상기 전면커버(110)의 상면 내부면의 일 끝단에서 상기 전면커버(110)의 측면 일 끝단으로 지속적으로 블로잉 됨에 의해 상기 PCB(173)와 캐리어 패널(170)을 연결시키는 FPCB(176) 상에 위치하는 상기 전면커버(110)의 측면 일 끝단과 상기 FPCB(176) 표면 사이의 이격영역에는 내부에서 외부로 향하는 CDA 흐름이 발생되고 있으며, 이러한 CDA의 흐름에 의해 상기 세정라인(L1)에서 다수의 노즐(118)에 의해 분무되는 DI가 상기 PCB(173) 표면으로 침투하는 것을 더욱더 방지하는 역할을 하는 것이 특징이다. The CDA is continuously blown from one end of the inner surface of the upper surface of the front cover 110 to one end of the side surface of the front cover 110 by the air curtain 145 so that the PCB 173 and the carrier panel A CDA flow from the inside to the outside is generated in a spaced-apart area between the one side of the side surface of the front cover 110 and the surface of the FPCB 176, which is located on the FPCB 176 connecting the CDA 170, The DI sprayed by the plurality of nozzles 118 in the cleaning line L1 is prevented from penetrating into the surface of the PCB 173 by the flow.

한편, 도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 세정장치의 일 구성요소인 전면커버의 사시도로서, 상기 세정장치의 캐리어 패널의 투입이 이루어지는 부분에 대한 다양한 형태를 나타낸 도면이다. 이때, 도면에 있어서 상기 전면커버와 이격하여 나타낸 점선은 캐리어 패널이 안착되는 롤러의 상면을 연결한 수평면을 도시한 것이다. 4A to 4D are perspective views of a front cover, which is a component of a cleaning apparatus according to the present invention, and show various forms of a portion where the carrier panel of the cleaning apparatus is charged. In this figure, the dotted line drawn away from the front cover shows a horizontal plane connecting the upper surface of the roller on which the carrier panel is seated.

상기 전면커버(110)는 도 4a에 도시한 바와같이, 상면(110a)과 상기 상면(110a)의 일 끝단에서 절곡되며 형성된 측면(110b)으로 구성되며, 이 경우 상기 상면(110a)과 측면(110b)은 상기 전면커버(110) 전체적으로 동일한 곧은 평면 상태를 이루도록 구성될 수도 있고, 또는 도 4b 및 도 4c에 도시한 바와 같이, 캐리어 패널(도 2의 170)이 투입되는 투입존에 위치하는 부분에 대해서는 휨이 발생된 형태로 구성될 수도 있으며, 도 4d에 도시한 바와 같이, 세정장치(도 2의 100)의 캐리어 패널(도 2의 170) 투입존에 대해서는 측면(110b)이 제거된 형태로 구성될 수도 있다.4A, the front cover 110 includes a top surface 110a and a side surface 110b formed at one end of the top surface 110a. In this case, the top surface 110a and the side surface 110a, 110b may be configured to have the same straight planar state as the entire front cover 110. Alternatively, as shown in Figs. 4b and 4c, (170 in Fig. 2) of the cleaning apparatus (100 in Fig. 2), the side surface 110b may be removed .

본 발명에 따른 세정장치(도 2의 100)는 세정라인(도 2의 L1)과 이와 인접하여 PCB 반송라인(도 2의 L2)이 구성되며, 캐리어 패널(도 2의 170)의 본체는 세정라인(L1)에 위치하도록, 그리고 PCB(173)는 상기 PCB 반송라인(L2)에 위치하도록 상기 세정장치(도 2의 100)에 투입되어야 한다.2), and the body of the carrier panel (170 in FIG. 2) is configured to be cleaned (cleaned) The PCB 173 must be placed in the cleaning apparatus (100 in Fig. 2) so as to be located in the line L1 and the PCB 173 to be located in the PCB conveyance line L2.

하지만, 상기 PCB 반송라인(도 2의 L2)에는 전면커버(110)가 구비되고 있으며, 이러한 전면커버(110) 중 측면(110b) 일 끝단은 상기 롤러(113) 더욱 정확히는상기 롤러의 상면을 연장한 수평면(이하 롤러 수평면이라 칭함)과 매우 인접하여 위치하고 있다. 이렇게 전면커버(110) 측면(110b)의 일 끝단을 상기 롤러 수평면과 매우 인접하도록 구성한 것은 캐리어 패널(170) 투입 시 상기 전면커버(110)와 FPCB(도 2의 176)의 표면과의 이격간격을 최소화하여 세정라인(도 2의 L1)에서 분무되는 DI가 상기 PCB(도 2의 173)로 침범하는 것을 효과적으로 억제시키기 위함이다.2) is provided with a front cover 110. One end of the side surface 110b of the front cover 110 extends toward the roller 113, more precisely, And is located very close to one horizontal plane (hereinafter referred to as a roller horizontal plane). One end of the side surface 110b of the front cover 110 is configured to be very adjacent to the horizontal surface of the roller when the distance between the front cover 110 and the surface of the FPCB (176 in FIG. 2) So that the DI sprayed in the cleaning line (L1 in FIG. 2) is effectively prevented from invading the PCB (173 in FIG. 2).

하지만, 이렇게 전면커버(110) 측면(110b)의 일 끝단이 상기 롤러의 수평면과 인접하는 구성을 이루는 경우, 상기 세정장치(도 2의 100)로의 캐리어 패널(도 2의 170) 자체의 투입 시 매우 조심해야 한다.However, when one end of the side surface 110b of the front cover 110 is adjacent to the horizontal surface of the roller, when the carrier panel (170 of FIG. 2) itself is inserted into the cleaning device 100 Be very careful.

즉, 상기 세정장치(도 2의 100)로 상기 캐리어 패널(도 2의 170)이 상하로 조금만 유동이 있어도 상기 FPCB(도 2의 176)는 상기 전면커버(110)의 측면(110b)과 접촉하여 찢김이 발생될 수도 있으며, 또는 캐리어 패널(도 2의 170) 자체가 이동되어 상기 세정장치(도 2의 100) 내부에서 원하는 위치에 안착되지 못함으로서 세정장치(도 2의 100) 내부에서 이동시 부딪침에 의해 캐리어 패널(170) 자체가 일부 파손되거나, 또는 PCB(도 2의 173) 자체가 상기 전면커버(110)에 의해 커버링 되지 않아 DI 등이 침투하여 쇼트 불량 등을 야기할 수 있다. That is, even if the carrier panel (170 in FIG. 2) flows only slightly in the vertical direction, the FPCB (176 in FIG. 2) contacts the side surface 110b of the front cover 110 Or the carrier panel (170 in FIG. 2) itself is moved and can not be seated in a desired position inside the cleaning device (100 in FIG. 2), so that the carrier panel A part of the carrier panel 170 itself may be damaged by the collision, or the PCB (173 of FIG. 2) itself may not be covered by the front cover 110, so that DI or the like may penetrate to cause a short defect.

따라서 이러한 문제를 해소시키고자, 상기 전면커버(110)는 도 4b 내지 도 4d에 도시한 바와같이 다양한 형태로 변형될 수 있다.Accordingly, in order to solve this problem, the front cover 110 can be modified into various shapes as shown in FIGS. 4B to 4D.

도 4b에 도시한 바와같이 캐리어 패널(도 2의 170)의 투입이 이루어지는 투입존에 있어 상기 상면(110a) 및 측면(110b) 전체가 상기 롤러 수평면을 기준으로 이와 수직한 방향으로 소정의 각도로 절곡된 형태를 이룸으로서 상기 전면커버(110)의 측면(110b) 일 끝단과 롤러 수평면과의 이격영역(d1)을 타 영역(실제 캐리어 패널의 세정이 이루어지는 부분) 대비 큰 이격간격(d2)을 갖도록 하거나, 또는 도 4c에 도시한 바와같이, 상기 투입존에 대응되는 부분의 전면커버(110) 중 측면(110b)과 상기 측면(110b)과 인접하는 상면(110a) 일부만을 상기 롤러 수평면을 기준으로 이와 수직한 방향으로 소정의 각도로 절곡된 형태를 이루도록 함으로서 상기 전면커버(110)의 측면(110b) 일끝단과 롤러 수평면 간의 이격영역의 간격(d2)을 타 영역(실제 캐리어 패널의 세정이 이루어지는 부분)의 이격간격(d1) 대비 큰 값을 갖도록 할 수 있다.The entire upper surface 110a and the side surface 110b of the carrier zone (170 in FIG. 2) are placed in the loading zone, as shown in FIG. 4B, at a predetermined angle And a large clearance d2 between the one end of the side face 110b of the front cover 110 and the horizontal plane of the roller is larger than the other clearance d2 of the other area (the area where the actual carrier panel is cleaned) Or only a part of the upper surface 110a adjacent to the side surface 110b and the side surface 110b of the front cover 110 at the portion corresponding to the input zone may be set as the reference The distance d2 between the one end of the side face 110b of the front cover 110 and the horizontal plane of the roller is set to be different from the distance d2 in the other area Done (D1) of the gap (d1).

또한, 상기 전면커버(110)는, 도 4d에 도시한 바와 같이, 세정장치(도 2의 100)의 투입존에 대해서는 상면(110a)에서 절곡 형성된 측면(110b)이 제거된 형태를 이룰 수도 있다.4D, the front cover 110 may have a shape in which the side surface 110b bent from the top surface 110a is removed from the closing zone of the cleaning apparatus 100 (see FIG. 2) .

세정장치(도 2의 100)에 있어 DI의 분무는 실제 투입존에서는 이루어지지 않고 다수의 노즐(118)이 구비된 세정존에서 이루어지게 되므로 상기 투입존에 대해서 측면(110b)이 제거된다 하더라도 캐리어 패널(도 2의 170)에 실장된 PCB(도 2의 173)가 DI에 노출되는 문제는 전혀 발생되지 않는다.In the cleaning apparatus (100 in FIG. 2), the DI is sprayed in the cleaning zone provided with the plurality of nozzles 118 without being actually injected, so that even if the side surface 110b is removed from the injection zone, There is no problem that the PCB (173 in FIG. 2) mounted on the panel (170 in FIG. 2) is exposed to DI.

이러한 본 발명에 따른 세정장치(도 2의 110)는, 캐리어 패널(도 2의 170)의 세정 진행을 위해 스테이지에 의해 왕복 운동을 하지 않고, 캐리어 패널이 일 방향으로 지속적으로 이동하는 라인 타입의 세정장치를 이루게 됨으로서 종래의 세정장치(도 1의 10)와 같이 스테이지가 세정존(도 1의 zone2)으로부터 투입존(도 1의 zone 1)으로 되돌아오는데 걸리는 대기시간 없이, 캐리어 패널(도 2의 170)의 연속 투입이 가능함으로서 단위 시간당 세정 처리력이 현저히 향상되어 플렉서블 디스플레이 조자의 제조 비용을 저감시키는 효과가 있다.
The cleaning apparatus (110 of FIG. 2) according to the present invention is a cleaning apparatus of the line type (FIG. 2) in which the carrier panel is continuously moved in one direction without reciprocating by the stage for progressing cleaning of the carrier panel (FIG. 1), without the waiting time taken for the stage to return from the cleaning zone (zone 2 in FIG. 1) to the input zone (zone 1 in FIG. 1) as in the conventional cleaning apparatus The cleaning treatment force per unit time is remarkably improved and the manufacturing cost of the flexible display device can be reduced.

이후에는 전술한 구성을 갖는 세정장치를 이용한 캐리어 패널의 세정방법을 포함하는 플렉서블 디스플레이 소자의 제조 방법에 대해 간단히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the flexible display device including the cleaning method of the carrier panel using the cleaning device having the above-described configuration will be briefly described.

이때, 상기 플렉서블 디스플레이 소자로서는 일례로 액정표시장치를 일례로서 하지만, 유기전계 발광소자가 될 수도 있으며, 나아가 전기영동 표시장치가 될 수도 있음은 자명하다 할 것이다. The flexible display device may be a liquid crystal display device as an example, but it may be an organic electroluminescent device or an electrophoretic display device.

도 5a 내지 도 5j는 본 발명에 따른 세정장치를 이용한 세정을 포함하는 플렉서블 디스플레이 소자의 제조 단계별 공정 단면도이다.5A to 5J are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a flexible display device including cleaning using a cleaning apparatus according to the present invention.

우선, 도 5a에 도시한 바와같이, 유리재질의 제 1 캐리어 기판(171)에 매우 유연한 특성을 갖는 플라스틱 필름을 부착시킴으로서 제 1 플라스틱 기판(172)을 형성하거나, 또는 상기 유리재질의 제 1 캐리어 기판(171) 상에 상기 액상의 플라스틱 물질 예를들면 PI(poly imide)를 코팅하고 경화시킴으로서 제 1 플라스틱 기판(172)을 형성한다. 이때, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 캐리어 기판(171)과 제 1 플라스틱 기판(172) 사이에는 추후 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 탈착을 원활하게 진행하기 위해 레이저 빔 조사에 의해 접착력이 저감되는 특성을 갖는 제 1 매개층(미도시)이 더욱 형성된다.First, as shown in FIG. 5A, a first plastic substrate 172 is formed by attaching a plastic film having very flexible characteristics to a first carrier substrate 171 made of glass, or a first plastic substrate 172 made of glass The liquid plastic material, for example, polyimide (PI) is coated on the substrate 171 and cured to form the first plastic substrate 172. Although not shown in the figure, adhesion between the first carrier substrate 171 and the first plastic substrate 172 is reduced by laser beam irradiation so that the first carrier substrate 171 can be smoothly detached from the first carrier substrate 171 A first intermediate layer (not shown) is further formed.

그리고, 상기 제 1 캐리어 기판(171) 상에 제 1 플라스틱 기판(172)이 구비된 상태에서 일반적인 액정표시장치용 어레이 공정을 진행함으로서 상기 제 1 플라스틱 기판(172) 상에 게이트 절연막(미도시)을 사이에 두고 서로 교차하여 다수의 화소영역(미도시)을 정의하는 게이트 및 데이터 배선(미도시)과, 각 화소영역(미도시)에 스위칭 소자로서 상기 게이트 및 데이터 배선(미도시)과 연결된 박막트랜지스터(미도시)와, 각 화소영역(미도시)에 상기 박막트랜지스터(미도시)의 드레인 전극(미도시)과 연결된 화소전극(미도시)을 형성한다. 이때, 액정표시장치의 모델에 따라 상기 각 화소영역(미도시)에 상기 화소전극(미도시)과 이격하는 공통전극(미도시)을 더 형성할 수도 있고, 또는 상기 화소전극(미도시)과 절연층(미도시)을 사이에 두고 각 화소영역(미도시)에 다수의 개구(미도시)를 갖는 공통전극(미도시)을 더 형성할 수도 있다.A gate insulating film (not shown) is formed on the first plastic substrate 172 by performing a general array process for a liquid crystal display device with the first plastic substrate 172 on the first carrier substrate 171. [ A gate and a data line (not shown) intersecting each other with a space therebetween to define a plurality of pixel regions (not shown), and a gate and a data line (not shown) as switching elements in each pixel region And a pixel electrode (not shown) connected to a drain electrode (not shown) of the thin film transistor (not shown) is formed in each pixel region (not shown). At this time, a common electrode (not shown) may be further formed on the pixel region (not shown) so as to be spaced apart from the pixel electrode (not shown) according to a model of the liquid crystal display device, A common electrode (not shown) having a plurality of openings (not shown) may be further formed in each pixel region (not shown) with an insulating layer (not shown) therebetween.

다음, 도 5b에 도시한 바와같이, 상기 제 1 캐리어 기판(171)에 제 1 플라스틱 기판(172)을 형성한 바와 동일한 방법을 진행하여 유리재질의 제 2 캐리어 기판(181) 상에 유연한 특성을 갖는 제 2 플라스틱 기판(182)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 5B, the same method as that of forming the first plastic substrate 172 on the first carrier substrate 171 is performed to form a flexible characteristic on the second carrier substrate 181 made of glass A second plastic substrate 182 is formed.

이후, 상기 제 2 플라스틱 기판(182) 상에 각 화소영역(미도시)에 대응하여 개구(미도시)를 갖는 블랙매트릭스(미도시)를 형성하고, 각 개구(미도시)에 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴이 대응되는 컬러필터층(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 플라스틱 기판(172) 상에 공통전극(미도시)이 형성되지 않는 경우 상기 컬러필터층(미도시) 위로 상기 제 2 플라스틱 기판(182) 전면에 공통전극(미도시)을 더 형성할 수 있다.Thereafter, a black matrix (not shown) having an opening (not shown) corresponding to each pixel region (not shown) is formed on the second plastic substrate 182, and a black matrix (not shown) Thereby forming a color filter layer (not shown) corresponding to the blue color filter pattern. At this time, if a common electrode (not shown) is not formed on the first plastic substrate 172, a common electrode (not shown) is formed on the entire surface of the second plastic substrate 182 over the color filter layer can do.

다음, 도 5c에 도시한 바와같이, 상기 제 1 플라스틱 기판(172)과 상기 제 2 플라스틱 기판(182)을 마주하도록 위치시키고 액정층(190)을 재개한 후, 상기 제 1 또는 제 2 플라스틱 기판(182)의 테두리를 따라 씰패턴(미도시)을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(172, 182)을 합착함으로서 제 1 패널(pn1)을 이루도록 한다. 이때, 상기 제 1 패널(pn1)은 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(172, 182) 외측으로 제 1 및 제 2 캐리어 기판(171, 181)이 부착되고 PCB(173)는 실장되지 않은 상태가 된다.5C, after the first plastic substrate 172 and the second plastic substrate 182 are positioned to face each other and the liquid crystal layer 190 is resumed, the first or second plastic substrate 172, A seal pattern (not shown) is formed along the rim of the first panel 182 and the first and second plastic substrates 172 and 182 are joined together to form the first panel pn1. At this time, the first and second carrier substrates 171 and 181 are attached to the first panel pn1 outside the first and second plastic substrates 172 and 182, and the PCB 173 is not mounted do.

이후, 도 5d에 도시한 바와같이, 상기 제 1 패널(pn1)을 일반적인 패널 세정장치(미도시) 즉, 본 발명의 세정장치(도 2의 100)와는 달리 PCB 반송라인없이 세정라인으로만 이루어진 일반적인 패널 세정장치(미도시)에 투입하여 상기 제 2 캐리어 기판(181)의 표면을 세정함으로서 그 표면의 이물 및 오염된 부분을 제거한다.5D, the first panel pn1 is made of a cleaning line without a PCB conveying line, unlike a general panel cleaning apparatus (not shown), that is, the cleaning apparatus 100 of FIG. (Not shown) to clean the surface of the second carrier substrate 181 to remove foreign matter and contaminated portions on the surface thereof.

다음, 도 5e에 도시한 바와같이, 세정이 완료된 상기 제 1 패널(pn1)에 대해 레이저 조사장치(미도시)를 통해 세정이 이루어진 상기 제 2 캐리어 기판(181) 표면 전면에 적정한 에너지 밀도를 갖는 레이저 빔을 조사한다.Next, as shown in FIG. 5E, the entire surface of the second carrier substrate 181, which has been cleaned by the laser irradiation device (not shown), is irradiated onto the cleaned first panel pn1 with an appropriate energy density The laser beam is irradiated.

레이저 빔을 조사하는 이유는 상기 제 2 플라스틱 기판(182)과 제 2 캐리어 기판(181) 사이에 위치하는 제 2 매개층(미도시)을 활성화시켜 접착력을 완화시키기 위함이다.The reason for irradiating the laser beam is to activate the second intermediate layer (not shown) positioned between the second plastic substrate 182 and the second carrier substrate 181 to alleviate the adhesive force.

다음, 도 5f에 도시한 바와같이, 레이저 빔 조사를 마친 상기 제 1 패널(pn1)에 대해 상기 제 2 캐리어 기판(도 5e의 181)의 탈착 공정을 진행함으로서 상기 제 2 캐리어 기판(도 5e의 181)이 제거된 상태의 제 2 패널(pn2)을 이루도록 한다.Next, as shown in FIG. 5F, the second carrier substrate (FIG. 5E, 181) is subjected to the desorption process with respect to the first panel pn1 after laser beam irradiation, 181 are removed to form the second panel pn2.

이후, 도 5g에 도시한 바와같이, 상기 제 2 캐리어 기판(도 5e의 181)이 제거된 상태의 상기 제 2 패널(도 5f pn2)에 대해에서 노출된 상기 제 2 플라스틱 기판(182)의 외측면(110b)에 대해 제 1 편광판(192)을 부착한다. 이러한 제 2 패널(도 5f pn2)은 여전히 제 1 캐리어 기판(171)이 부착된 상태이므로 유연성이 억제됨으로서 일반적인 액정표시장치 제조 라인을 이용할 수 있다.Thereafter, as shown in Fig. 5G, the outer surface of the second plastic substrate 182 exposed in the second panel (Fig. 5F pn2) with the second carrier substrate (181 in Fig. 5E) And the first polarizing plate 192 is attached to the side face 110b. Since the second panel (FIG. 5F pn2) still has the first carrier substrate 171 attached thereto, flexibility is suppressed, so that a general liquid crystal display manufacturing line can be used.

이러한 제 1 편광판(192) 부착은 유기전계 발광소자 또는 전기영동 표시장치로서 플렉서블 디스플레이 소자를 구현하는 경우 생략될 수 있다.The attachment of the first polarizing plate 192 may be omitted in the case of implementing a flexible display device as an organic electroluminescent device or an electrophoretic display device.

다음, 상기 제 1 편광판(192)이 부착된 상기 제 2 패널(도 5f pn2)에 대해 PCB(173)를 실장하는 공정을 진행함으로서 상기 어레이 소자가 형성된 상기 제 1 플라스틱 기판(172)의 일측면에 다수의 FPCB(176)를 매개로 하여 구동회로가 구비된 PCB(173)를 실장한다. 이렇게 PCB(173)가 FPCB(176)를 매개로하여 실장된 상태의 제 2 패널(도 5f pn2)을 앞서 캐리어 패널(170)이라 정의하였다.Next, the process of mounting the PCB 173 on the second panel (FIG. 5F pn2) to which the first polarizer 192 is attached is performed so that one side of the first plastic substrate 172 on which the array elements are formed A plurality of FPCBs 176 are mounted on the printed circuit board 173 to mount the PCB 173 on which the driving circuit is mounted. The second panel (FIG. 5F pn2) in which the PCB 173 is mounted via the FPCB 176 is defined as the carrier panel 170 in advance.

더불어 이러한 PCB(173) 실장 공정이 완료된 상태에서 선택적으로 도 6(본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이 소자의 일례로서 터치 패널이 구비된 플렉서블 디스플레이 소자의 캐리어 패널을 도시한 단면도)에 도시한 바와같이, 터치 기능을 부여하는 플렉서블 디스플레이 소자를 이루도록 하는 경우, 상기 제 2 플라스틱 기판(182)의 외측면(110b)에 점착층(미도시)을 개재하여 터치 PCB(210)가 실장된 상태의 터치 필름(220) 또는 터치 패널(미도시)을 부착시킨다.6 (a cross-sectional view showing a carrier panel of a flexible display device provided with a touch panel as an example of a flexible display device according to the present invention) in a state where the PCB 173 mounting process is completed, A touch film 220 having a touch PCB 210 mounted on an outer surface 110b of the second plastic substrate 182 with an adhesive layer (not shown) interposed therebetween, ) Or a touch panel (not shown).

이러한 터치 필름(220) 또는 터치 패널(미도시)은 반드시 부착될 필요는 없으며 생략될 수 있다.The touch film 220 or the touch panel (not shown) is not necessarily attached and may be omitted.

다음, 도 5h에 도시한 바와같이, PCB(173)가 실장된 상태의 상기 캐리어 패널(170)은 본 발명에 따른 세정장치(도 2의 100)를 이용하여 상기 PCB(및 터치 PCB(미도시))(173)로 DI가 침투됨 없이 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 표면을 세정함으로서 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 표면에 부착된 이물 및 오염 부분을 완전히 제거한다.Next, as shown in FIG. 5H, the carrier panel 170 with the PCB 173 mounted thereon is mounted on the PCB (and the touch PCB (not shown) by using the cleaning apparatus 100 ) 173, the surface of the first carrier substrate 171 is cleaned without penetration of DI, thereby completely removing foreign substances and contaminants attached to the surface of the first carrier substrate 171.

즉, 상기 캐리어 패널(170)이 본 발명에 따른 세정장치(도 2의 100)의 투입존에 안착되면, 캐리어 패널(170) 본체(PCB를 제외한 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(182)이 합착된 부분)가 놓여진 롤러(113)와 PCB(173)가 놓여진 PCB 반송수단(140)이 동기화되어 일정한 속도를 가지며 회전함으로서 상기 캐리어 패널(170)을 일 방향으로 이동시키게 된다.That is, when the carrier panel 170 is placed in the charging zone of the cleaning apparatus 100 of FIG. 2, the first and second plastic substrates 182, And the PCB conveying means 140 on which the PCB 173 is placed are synchronized with each other and rotate at a constant speed to move the carrier panel 170 in one direction.

이후, 이렇게 일 방향으로 이동되는 캐리어 패널(170) 더욱 정확히는 캐리어 패널(170)의 본체는 세정존에 도달함으로서 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 표면에 대해 DI가 분사되고, 물리적 이물 제거수단(도 2의 122)이 동작하여 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 표면과 직접 접촉을 통한 마찰에 의해 상기 제 1 캐리어 기판(171) 표면에 고착된 이물을 제거하며, 동시에 DI에 의해 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 표면에서 떨어진 이물이 씻겨 제거되도록 한다. Then, the carrier panel 170, which is moved in one direction in this way, more precisely, the main body of the carrier panel 170 reaches the cleaning zone, DI is sprayed onto the surface of the first carrier substrate 171, 2) of the first carrier substrate 171 is operated to remove foreign matter adhered to the surface of the first carrier substrate 171 by friction through direct contact with the surface of the first carrier substrate 171, and at the same time, So that foreign matters separated from the surface of the carrier substrate 171 are washed away.

이때, 상기 PCB 반송수단(140)을 통해 이동되는 PCB(173)의 경우, 전면커버(110)에 의해 가려진 상태가 되는 동시에 전면커버(110)의 내측 표면에 구비된 에어 커튼(145)에 의해 CDA의 흐름이 발생되고 있는 상태를 이룸으로서 세정존에서 분무되는 DI는 PCB(173)로의 침투가 원천적으로 봉쇄되는 것이 특징이다. At this time, in the case of the PCB 173 which is moved through the PCB conveying means 140, the PCB 173 is blocked by the front cover 110 and the air curtain 145 provided on the inner surface of the front cover 110 CDA flow is generated, and the DI sprayed in the cleaning zone is intrinsically blocked from penetration into the PCB 173.

다음, DI이 분무 및 물리적 이물 제거가 완료된 캐리어 패널(170)은 에어 커터(도 2의 125)를 통과함으로서 상기 제 1 캐리어 기판(171) 상에 남아있는 DI가 제거된다. Next, the carrier panel 170 having completed the DI spraying and the physical debris removal passes through the air cutter (125 in FIG. 2), thereby removing the remaining DI on the first carrier substrate 171.

그리고 상기 에어 커터(125)를 통과한 캐리어 패널(170)은 건조수단(도 2의 128)을 통과함으로서 상기 제 1 캐리어 기판(171) 상에 남아있는 미세한 수분 상태의 DI을 완전히 건조시키게 된다.The carrier panel 170 having passed through the air cutter 125 passes through the drying means (128 in FIG. 2) to completely dry the fine DI state remaining on the first carrier substrate 171.

한편, 전술한 바와같은 PCB(173)에 DI 침투없이 연속 투입이 가능한 본 발명에 따른 세정장치(도 2의 100)를 이용한 캐리어 패널(170)의 세정을 마친 후에는 도 5i에 도시한 바와같이, 레이저 조사장치를 통해 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 표면에 대해 레이저 빔을 조사하여 상기 제 1 플라스틱 기판(172)과 제 1 캐리어 기판(171) 사이에 개재된 제 1 매개층(미도시)의 접착력을 약화시킨다.On the other hand, after the cleaning of the carrier panel 170 using the cleaning apparatus 100 (FIG. 2) according to the present invention in which the PCB 173 can be continuously charged without penetration into the PCB 173 as described above, A first intermediate layer (not shown) interposed between the first plastic substrate 172 and the first carrier substrate 171 by irradiating a laser beam onto the surface of the first carrier substrate 171 through a laser irradiation device ). ≪ / RTI >

이후, 도 5j에 도시한 바와같이, 상기 제 1 캐리어 기판(171)의 탈착을 진행하여 상기 캐리어 패널(도 5i의 170)로부터 상기 제 1 캐리어 기판(171)을 제거함으로서 플렉서블 디스플레이 소자(199)를 완성한다.5J, the first carrier substrate 171 is removed and removed from the carrier panel 170 (FIG. 5I), and the flexible display device 199 is removed, .

한편, 상기 제 1 캐리어 기판(도 5i의171)이 탈착되어 제거된 후에는 상기 플렉서블 디스플레이 소자(199)가 액정표시장치로 이루어지는 경우, 상기 제 1 플라스틱 기판(172)의 외측면(110b)에 제 2 편광판(194)을 부착하는 공정을 부가적으로 진행함으로서 플렉서블 디스플레이 소자(199)를 완성하게 된다.
If the flexible display device 199 is formed of a liquid crystal display device after the first carrier substrate 171 is detached and removed, the first and second carrier substrates 172 and 174 are formed on the outer surface 110b of the first plastic substrate 172 The process of attaching the second polarizing plate 194 is additionally performed to complete the flexible display device 199.

한편, 상기 플렉서블 디스플레이 소자가 유기전계 발광소자 또는 전기영동 표시장치로 이루어질 경우도 전술한 캐리어 패널의 세정공정은 동일하게 진행되며, 단지 제 1 플라스틱 기판과 제 2 플라스틱 기판에 형성되는 구성요소 만이 바뀔 뿐이며, 이러한 공정은 일반적인 유기전계 발광소자 또는 일반적인 전기영동 표시장치 제조방법과 동일하게 진행되므로 유기전계 발광소자 또는 전기영동 표시장치로 이루어진 플렉서블 디스플레이 소자의 구체적인 제조 방법에 대해서는 생략한다.
When the flexible display device is formed of an organic electroluminescent device or an electrophoretic display device, the cleaning process of the carrier panel is performed in the same manner. Only the components formed on the first plastic substrate and the second plastic substrate are changed Since such a process proceeds in the same manner as a general organic electroluminescent device or a general electrophoretic display device manufacturing method, a specific manufacturing method of a flexible display device including an organic electroluminescent display or an electrophoretic display device is omitted.

100 : (캐리어 패널용)세정장치
110 : 전면커버
113 : 롤러
118 : 노즐
122 : 물리적 이물 제거수단
125 : 에어 나이프
128 : 건조수단
140 : PCB 반송장치
145 : 에어 커튼
170 : 캐리어 패널
173 : PCB
176 : FPCB
L1 : 세정라인
L2 : PCB 반송라인
100: (for carrier panel) Cleaning device
110: Front cover
113: Roller
118: Nozzle
122: physical foreign material removing means
125: Air knife
128: drying means
140: PCB transfer device
145: Air curtain
170: Carrier panel
173: PCB
176: FPCB
L1: cleaning line
L2: PCB return line

Claims (16)

PCB(printed circuit board)가 실장된 패널을 세정하기 위한 세정장치에 있어서,
다수의 롤러가 구비되며 패널 투입존과 세정존이 구비된 세정라인과;
상기 세정라인과 인접하여 위치하며 반송수단 및 상기 반송수단을 커버링하는 전면커버가 구비된 반송라인
을 포함하며, 상기 세정라인에 대해서만 DI(deionized water)의 분무가 이루어지고 상기 반송라인은 상기 전면커버에 의해 상기 DI의 침투가 방지되며, 상기 롤러 및 반송수단에 의해 패널이 일 방향으로 이동하며 상기 패널의 표면 세정이 이루어지는 것이 특징인 세정장치.
1. A cleaning apparatus for cleaning a panel on which a printed circuit board (PCB) is mounted,
A cleaning line having a plurality of rollers and equipped with a panel input zone and a cleaning zone;
And a conveying line having a front cover positioned adjacent to the cleaning line and covering the conveying means and the conveying means,
Wherein DI is sprayed only to the cleaning line, the transfer line is prevented from penetrating the DI by the front cover, and the panel is moved in one direction by the roller and the conveying means Wherein the surface of the panel is cleaned.
제 1 항에 있어서,
상기 롤러와 반송수단은 서로 동기화 되어 동일한 속도로 회전함으로서 상기 롤러 및 반송수단 상에 놓이게 되는 상기 패널 및 상기 패널에 실장된 상기 PCB(printed circuit board)를 동일한 속도로 이동시키는 것이 특징인 세정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the roller and the conveying means are synchronized with each other to rotate at the same speed so as to move the PCB and the printed circuit board mounted on the panel and the conveying means at the same speed.
제 2 항에 있어서,
상기 패널은 상기 롤러 상에 위치하며, 상기 패널과 상기 PCB는 FPCB를 매개로 서로 연결되며, 상기 PCB는 상기 반송라인 상에 위치함으로서 상기 PCB는 상기 전면커버에 의해 커버링 되는 것이 특징인 세정장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the panel is located on the roller and the panel and the PCB are connected to each other via FPCB and the PCB is located on the return line so that the PCB is covered by the front cover.
제 1 항에 있어서,
상기 전면커버는 상기 반송수단에 대응되는 상면과 상기 상면에서 절곡된 측면으로 구성된 것이 특징인 세정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the front cover is composed of an upper surface corresponding to the conveying means and a side bent from the upper surface.
제 4 항에 있어서,
상기 전면커버의 측면의 끝단은 상기 다수의 롤러의 상면을 연결한 수평면을 기준으로 상기 전면커버 전체에 대해 동일한 이격간격을 이루는 것이 특징인 세정장치.
5. The method of claim 4,
Wherein an end of a side surface of the front cover has an equal spacing with respect to the entirety of the front cover with respect to a horizontal plane connecting upper surfaces of the plurality of rollers.
제 4 항에 있어서,
상기 전면커버는 상기 투입존에 대응하는 부분이 상기 다수의 롤러의 상면을 연결한 수평면을 기준으로 이에 수직한 상부방향으로 절곡된 구성을 이루는 것이 특징인 세정장치.
5. The method of claim 4,
Wherein the front cover is bent upward in a direction perpendicular to a horizontal plane connecting upper surfaces of the plurality of rollers with a portion corresponding to the input zone.
제 6 항에 있어서,
상기 전면커버는,
상기 투입존에 대응하는 부분에 위치하는 상면 및 측면이 모두 상기 반송라인의 길이방향에 수직한 폭 방향의 어느 한 기준선을 기준으로 일정한 각도를 가지며 절곡된 형태를 이루거나,
또는 상기 투입존에 대응하는 부분에 위치하는 상면 및 측면이 상기 반송라인의 길이방향에 대해 소정의 각도를 갖는 기준선을 기준으로 절곡된 형태를 이루는 것이 특징인 세정장치.
The method according to claim 6,
Wherein the front cover comprises:
The upper surface and the side surface of the portion corresponding to the input zone all have a predetermined angle with respect to a reference line in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the conveyance line,
Or a top surface and a side surface located at a portion corresponding to the input zone are bent with reference to a reference line having a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of the conveying line.
제 1 항에 있어서,
상기 전면커버는 상기 투입존에 대해서는 그 측면이 제거된 것이 특징인 세정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the side surface of the front cover is removed from the closing zone.
제 1 항에 있어서,
상기 전면커버 상면의 내측면에는 CDA(clean dry air)를 일방향으로 블로잉하는 에어커튼이 구비되어 상기 전면커버의 측면의 끝단과 상기 반송수단의 이격영역에 대해 CDA의 지속적 흐름이 발생함으로서 DI의 침투를 억제하는 것이 특징인 세정장치.
The method according to claim 1,
An air curtain for blowing clean dry air (CDA) in one direction is provided on the inner surface of the upper surface of the front cover, so that continuous flow of CDA occurs at the end of the side surface of the front cover and the separation area of the conveying means, Is suppressed.
제 1 항에 있어서,
상기 세정존에는 상기 롤러 상부로 상기 DI를 분무하는 다수의 노즐과, 물리적 이물 제거수단과 에어 나이프 및 건조수단이 구비된 세정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the cleaning zone is provided with a plurality of nozzles for spraying the DI onto the roller, and a physical foreign material removing means and an air knife and drying means.
제 10 항에 있어서,
상기 다수의 노즐은 상기 물리적 이물 제거수단의 전단에만 구비되거나,
또는 물리적 제거수단의 전단 및 후단에 구비된 것이 특징인 세정장치.
11. The method of claim 10,
The plurality of nozzles may be provided only at the front end of the physical foreign material removal means,
Or at the front end and the rear end of the physical removal means.
제 10 항에 있어서,
상기 물리적 이물 제거수단은 연마포 또는 칼날이 되며, 상기 물리적 제거 수단은 상기 패널의 일 표면과 직접 접촉하며 회전하는 것이 특징인 세정장치.
11. The method of claim 10,
Wherein the physical debris removing means is a polishing cloth or a blade, and the physical removing means rotates in direct contact with a surface of the panel.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 하나의 항 기재에 의한 세정장치를 이용한 세정을 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법에 있어서,
제 1 캐리어 기판 상에 제 1 및 제 2 플라스틱 기판이 합착된 플렉서블 패널이 부착되며 상기 제 1 플라스틱 기판의 일 측면에 FPCB를 재재하여 PCB가 실장된 상태의 캐리어 패널을 구비하는 단계와;
상기 캐리어 패널 중 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판에 대응하는 본체는 상기 세정라인의 롤러 상에 위치하고 상기 PCB는 상기 반송라인 상에 위치하여 상기 PCB는 상기 전면커버에 커버링 되도록 상기 캐리어 패널을 상기 세정장치의 투입존에 투입하는 단계와;
상기 캐리어 패널이 상기 세정장치의 세정존을 통과함으로서 상기 제 1 캐리어 기판의 표면의 이물을 제거하는 단계
를 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법.
A manufacturing method of a display device including cleaning using a cleaning device according to any one of claims 1 to 12,
A method of manufacturing a flexible printed circuit board, the method comprising: providing a flexible printed circuit board (PCB) having first and second plastic substrates bonded on a first carrier substrate and having a printed circuit board (PCB) mounted on one side of the first plastic substrate;
Wherein the main body corresponding to the first and second plastic substrates of the carrier panel is positioned on the roller of the cleaning line and the PCB is positioned on the return line so that the PCB is covered with the front cover, Into an input zone of the apparatus;
Removing the foreign matter on the surface of the first carrier substrate by passing the carrier panel through the cleaning zone of the cleaning apparatus
And a second electrode.
제 13 항에 있어서,
상기 제 1 캐리어 기판의 표면의 이물을 제거하는 단계 이후에는 상기 제 1 캐리어 기판의 표면에 레이저 빔을 조사한 후 상기 제 1 캐리어 기판을 상기 플렉서블 패널로부터 탈착시키는 단계를 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법.
14. The method of claim 13,
Irradiating a surface of the first carrier substrate with a laser beam and then detaching the first carrier substrate from the flexible panel after the step of removing foreign matters from the surface of the first carrier substrate.
제 14 항에 있어서,
상기 캐리어 패널을 구비하는 단계는,
상기 제 1 캐리어 기판 상에 제 1 플라스틱 기판을 형성하는 단계와;
제 2 캐리어 기판 상에 제 2 플라스틱 기판을 형성하는 단계와;
상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판을 서로 마주하도록 한 후 합착함으로서 제 1 패널을 이루도록 하는 단계와;
상기 제 1 패널에 대해 세정을 진행하여 상기 제 2 캐리어 기판 표면의 이물을 제거하는 단계와;
상기 제 2 캐리어 기판의 표면에 레이저 빔을 조사하고 상기 제 1 패널로부터 상기 제 2 캐리어 기판을 제거함으로서 제 2 패널을 이루도록 하는 단계와;
상기 제 2 패널의 상기 플렉서블 패널에 대해 상기 FPCB를 개재하여 PCB를 실장하는 단계
를 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein the step of providing the carrier panel comprises:
Forming a first plastic substrate on the first carrier substrate;
Forming a second plastic substrate on a second carrier substrate;
The first and second plastic substrates facing each other and then joined together to form a first panel;
Cleaning the first panel to remove foreign matter from the surface of the second carrier substrate;
Forming a second panel by irradiating a laser beam to a surface of the second carrier substrate and removing the second carrier substrate from the first panel;
Mounting a PCB on the flexible panel of the second panel via the FPCB
And a second electrode.
제 15 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판을 합착하는 단계 이전에
상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판이 서로 합착된 후 액정표시장치, 유기전계 발광소자 및 전기영동표시소자 중 어느 하나로 동작하기 위한 구성요소를 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판 상에 형성하거나 또는 상기 제 1 및 제 2 플라스틱 기판 사이에 형성하는 단계
를 포함하는 디스플레이 소자의 제조 방법.
16. The method of claim 15,
Before the step of bonding the first and second plastic substrates
The first and second plastic substrates are bonded to each other to form a component for operating either the liquid crystal display device, the organic electroluminescent device or the electrophoretic display device on the first and second plastic substrates, 1 and the second plastic substrate
And a second electrode.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160130925A (en) * 2015-05-04 2016-11-15 삼성디스플레이 주식회사 Lamination device of display device and method for detecting align mark
CN111754892A (en) * 2020-06-29 2020-10-09 重庆攀越科技有限公司 Commercial large screen display with self-cleaning function
CN112071227A (en) * 2020-10-09 2020-12-11 汤守信 LED display screen convenient to it is clean

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050118841A (en) * 2004-06-15 2005-12-20 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display
JP2009178672A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate treatment apparatus and substrate treatment method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050118841A (en) * 2004-06-15 2005-12-20 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display
JP2009178672A (en) * 2008-01-31 2009-08-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate treatment apparatus and substrate treatment method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160130925A (en) * 2015-05-04 2016-11-15 삼성디스플레이 주식회사 Lamination device of display device and method for detecting align mark
CN111754892A (en) * 2020-06-29 2020-10-09 重庆攀越科技有限公司 Commercial large screen display with self-cleaning function
CN111754892B (en) * 2020-06-29 2022-01-07 重庆攀越科技有限公司 Commercial large screen display with self-cleaning function
CN112071227A (en) * 2020-10-09 2020-12-11 汤守信 LED display screen convenient to it is clean
CN112071227B (en) * 2020-10-09 2022-08-16 中山市聚贤光电科技有限公司 LED display screen convenient to it is clean

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