KR20140003717A

KR20140003717A - 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치 및 그 구동방법

Info

Publication number: KR20140003717A
Application number: KR1020120068051A
Authority: KR
Inventors: 이대준
Original assignee: 씨티에스(주)
Priority date: 2012-06-25
Filing date: 2012-06-25
Publication date: 2014-01-10

Abstract

본 발명은 각종 유리패널을 가공 또는 표면에 작업하는 공정 중에 사용되는 기판의 버퍼장치에 관한 것으로서, 기판의 생산 중 이전공정과 다음공정 사이에 구성하여 생산에 대한 밸런스를 유지하고, 이전공정과 다음공정 사이에서 공정에 따라 필요한 대기시간을 유지할 수 있도록 기판을 선입 후 상기 선입된 기판을 우선하여 선출할 수 있도록 하는 기판 버퍼장치 및 그 구동방법에 관한 것으로, 기판이 컨베이어를 타며 이송 시 버퍼에 의해 상기 기판이 위치할 수 있도록 선입, 선출하는 회전체를 별도로 구비하여 선입하는 기판을 선입회전체의 지지부재로 선입시키고, 선입된 기판을 선출회전체의 지지부재로 이송한 후 버퍼의 해제 시 상기 선출회전체의 지지부재에 안착된 기판이 우선하여 이송될 수 있도록 하여 컨베이어에 의해 기판의 이송 시 버퍼에 의해 선입된 기판을 선출할 수 있도록 버퍼장치를 구성하여 상기 버퍼장치에 선입된 기판에 대해 선입된 기판을 선출 가능하도록 하여 불량률을 최소화하고, 그로 인해 작업에 대한 효율성 및 생산성에서도 효과를 높일 수 있는 기판 버퍼장치와 그 구동방법에 관한 것이다.

Description

선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치 및 그 구동방법{ Substrate buffer devices that it is a line, and election possible and drive way }

본 발명은 각종 유리패널을 가공 또는 표면에 작업하는 공정 중에 사용되는 기판의 버퍼장치에 관한 것으로서, 기판의 생산 중 이전공정과 다음공정 사이에 구성하여 생산에 대한 밸런스를 유지하고, 이전공정과 다음공정 사이에서 공정에 따라 필요한 대기시간을 유지할 수 있도록 기판을 선입 후 상기 선입된 기판을 우선하여 선출할 수 있도록 하는 기판 버퍼장치 및 그 구동방법에 관한 것이다.

최근 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 각종 전기적 신호정보를 시각적으로 표시하는 디스플레이 분야가 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 등의 우수한 특성을 지닌 여러 가지 다양한 평판표시장치가 소개되어 기존의 브라운관을 빠르게 대체하고 있다.

이와 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광표시장치(Electro Luminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들은 각각 한 쌍의 기판 사이로 고유의 형광 또는 편광 물질층을 개재하여 대면 합착시킨 평판표시패널(Plat display panel)을 필수적으로 갖추고 있다.

최근에는 특히 이들 평판표시패널에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬방식으로 배열하고 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭 소자로 독립 제어하는 능동행렬 방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용되고 있으며, 이 경우 평판표시장치의 제조공정에는 기판을 대상으로 소정물질의 박막을 형성하는 박막증착(deposition )공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거함으로써 목적하는 형태로 패터닝(patternong) 하는 식각(dtching)공정을 비롯하여 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 포함된다.

한편, 요사이 급속도로 평판표시장치에 대한 수요가 증가하면서 이의 제조설비 또한 점차로 대량생산의 체제를 갖추고 있으며, 일례로 반송트랙을 이용하여 기판을 이동시키는 과정 중에 적어도 하나의 기판처리공정을 진행하는 소위 “인라인방식(in-line type)" 제조설비가 소개된 바 있다.

또한, 기판의 대형화 추세에 따라 이들을 처리하는 세정기와 같은 장비들이 대형화되고 있는데, 이들 장비들이 대형화되면서 장비들이 차지하는 공간의 효율성을 높이기 위하여 상하 구조 즉 2층 구조를 갖는 장비들이 채택되고 있는 실정이다.

일반적으로 사용되는 2층 구조로 이루어진 LCD용 기판 세정기는 중앙부에는 기판을 투입하여 처리한 후 배출시키는 프로세스 존(process zone)이 설치되고, 그 좌우로 기판을 상하 이동하기 위한 업/다운 리프트(up/down lift)가 설치된다.

그러나 종래의 상하 운반 시스템인 업/다운 리프트는 엘리베이터 시스템으로만 이루어져 있으며, 이러한 엘리베이터는 일정한 속도로 상하 이동을 하기 때문에, 기판이 처리속도와 일치하지 않는 경우가 많고, 그럼으로써 프로세스 존에서의 작업시간과 엘리베이터에서의 운반시간이 서로 매칭 되지 않는 불편을 초래하고 있다.

이러한 불편은 결국 작업의 지연을 가져와 수율을 떨어뜨리거나, 프로세스 존에서의 충분한 작업을 행하지 못하는 결과를 초래하여 생산품의 성능을 저하시켜 왔다.

예를 들어, 엘리베이터만을 이용한 종래의 상하운반 시스템에서는, 기판이 아래층으로 이동할 때 엘리베이터가 위층으로 돌아오기 전에 다음 기판을 프로세스 존에서 저속으로 운반하거나 정지하여 대기시켜야 한다. 이에 따라 각층에 설치된 모듈(module)의 조건, 택 타임(tack time), 운반속도 등을 제한적으로 설정해야 한다. 이러한 결점을 해결하기 위한 방법으로, 아래층에는 모든 모듈을 설치하고 위층에는 트랜스퍼(transfer)를 설치하여 위층에서 기판을 고속으로 운반하는 방식을 함께 사용하여 왔다. 그러나 이러한 방식도 아래층의 필요 면적이 상대적으로 커지며, 트랜스퍼의 고속 운반에 의해 파티클(particle)이 다량 발생하는 문제점을 내포하고 있다.

상기와 같은 다양한 장치와 방법에 대해 종래기술을 살펴보면,

등록번호 10-0711005호는 ‘버퍼 컨베이어가 구비된 물류의 상하 운반 시스템’에 관한 것으로서, 복수개의 엘리베이터 암(elevator arm)으로 이루어지고 기판이 위치하여 상하로 반복하여 이동하는 엘리베이터; 및 복수개의 버퍼 암(buffer arm)으로 이루어지고 상기 엘리베이터 암이 상하로 이동하도록 열려지고 기판을 수취하도록 닫혀지는 한 쌍의 버퍼로 이루어지는 버퍼 컨베이어; 를 포함하고, 상기 엘리베이터 암과 버퍼 암이 서로 엇갈려서 통과할 수 있도록 서로 엇갈리게 배열되는 것을 특징으로 하는 버퍼 컨베이어가 구비된 물류의 상하 운반 시스템을 나타내고 있다.

등록번호 10-0782448호는 ‘기판 카세트, 기판 반송장치, 기판 보관 반송장치, 기판반입 시스템, 기판 반출 시스템 및 기판 반입/반출 시스템’에 관한 것으로서, 복수의 기판이 수평자세로 반출입되어 상하 방향으로 다단 수납되는 기판 카세트에 대해, 상기 기판이 반송되는 진퇴 방향과 직교하는 방향으로의 왕복이동에 의해 출입되는 반송 롤러 유니트를 구비하고, 상기 반송 롤러 유니트는 상기 기판의 하면 양측 가장자리부에 직접 접촉하여 그 기판의 하면 양측 가장자리부를 각각 지지할 수 있는 복수 쌍의 반송 롤러와 상기 기판을 비접촉으로 지지할 수 있는 핸드부를 구비하는 기판 반송 장치를 나타내고 있다.

등록번호 10-1058460호는 ‘평판표시장치용 제조설비의 기판버퍼장치 및 그 구동방법’에 관한 것으로서, 반송트랙을 따라 기판이 이동되면서 적어도 하나의 기판처리공정이 진행되는 평판표시장치의 제조설비 중 외부의 제 1 로봇으로부터 기판을 전달받아 상기 반송트랙에 내려놓거나 공정 완료된 기판을 상기 반송트랙으로부터 들어올려 외부의 제 2 로봇에게 전달하는 기판버퍼장치로서, 상기 반송트랙을 연장하는 버퍼트랙과; 상기 버퍼트랙의 양편에 한 쌍으로 구비되고 각각 사이간격 조절을 위한 평면이동 및 승강이 가능한 바디프레임, 일단이 상기 각 바디프레임에 연결되고 타단이 서로 마주보는 복수개의 켓치바를 구비한 한 쌍의 버퍼핸드와, 상기 각 켓치바가 상기 기판 이송방향에 직교하는 제 1 상태 또는 상기 각 타단을 기준으로 회전하여 일측으로 몰리는 제 2 상태가 되도록 상기 각 버퍼핸드에 장착되는 켓치바 구동어셈블리를 포함하는 평판표시장치용 제조설비의 기판버퍼장치를 나타내고 있다.

그러나 상기 통상적으로 사용되는 기판 버퍼장치의 구성에 따르면 기판의 선입과 선출 시 선입된 기판이 우선하여 선출되지 않는 문제점이 있으며, 그로 인해 선입된 기판에 대한 불량률이 발생하는 등 문제점이 되었다.

종래에는 밸런스 유지용으로 일정한 피치를 유지하는 금속 체인으로 구성되어 유리 패널을 직접 수납하여 선입 선출이 불가능하고, 금속 체인으로 인해 현재의 스마트폰, 태블릿 PC의 전면부와 같이 유리로 된 구성품에 대하여 스크래치 발생 및 파손이 빈번하게 발생하였으며, 기판의 이동 중 의무적으로 시간을 둬야 하는데, 이때 적재용 대차에 수동으로 수납 후 일정 시간 후 다시 다음 공정으로 투입 시 많은 시간이 낭비되고, 이물질오염, 작업인원의 과다 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서 기판이 컨베이어를 타며 이송 시 버퍼에 의해 상기 기판이 위치할 수 있도록 선입, 선출하는 회전체를 별도로 구비하여 선입하는 기판을 선입회전체의 지지부재로 선입시키고, 선입된 기판을 선출회전체의 지지부재로 이송한 후 버퍼의 해제 시 상기 선출회전체의 지지부재에 안착된 기판이 우선하여 이송될 수 있도록 하며, 이전공정과 다음공정 간의 중간 조정의 버퍼역할과 선입, 선출을 동시에 할 수 있고, 기판의 유리부위 접촉부분이 플라스틱으로 되어 파손 및 스크레치를 방지할 수 있는 특징이 있는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치 및 그 구동방법을 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성해낸 것이다.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따르면 기판을 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어를 타며 이송되는 기판을 선입하되 상기 기판의 일 측 끝부를 지지하는 지지부재가 구비되고 상기 지지부재가 다수 구성된 구동부재가 모터의 작동으로 회전 구동하는 제 1회전체와, 상기 기판의 타 측 끝부를 지지하는 지지부재가 구비되고 상기 지지부재가 다수 구성된 구동부재가 모터의 작동으로 회전 구동하는 제 2회전체로 구성된 선입회전체와, 상기 컨베이어로 기판을 선출하되 상기 기판의 일 측 끝부를 지지하는 지지부재가 구비되고 상기 지지부재가 다수 구성된 구동부재가 모터의 작동으로 회전 구동하는 제 3회전체와, 상기 기판의 타 측 끝부를 지지하는 지지부재가 구비되고, 상기 지지부재가 다수 구성된 구동부재가 모터의 작동으로 회전 구동하는 제 4회전체로 구성된 선출회전체와, 상기 선입회전체의 지지부재에 안착된 기판을 선출회전체의 지지부재로 이송하는 이송부재로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판 버퍼장치 중 기판의 선입, 선출방법에 있어서, 컨베이어를 타며 기판이 이송되되 상기 기판이 선입회전체에 구성된 구동부재의 지지부재에 안착되는 1단계와, 상기 지지부재에 안착된 기판을 구동부재의 구동으로 이송하는 2단계와, 상기 선입회전체의 구동부재에서 이송되는 기판을 이송부재를 사용하여 선출회전체에 구성된 구동부재의 지지부재로 이송시키는 3단계와, 상기 구동부재의 구동으로 기판을 이송하는 4단계와, 상기 지지부재에 안착된 기판을 컨베이어에 안착하는 5단계가 순차적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 것으로서 과제를 해결하고자 한다.

본 발명에 따른 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치에 의하면, 컨베이어에 의해 기판의 이송 시 버퍼에 의해 선입된 기판을 선출할 수 있도록 버퍼장치를 구성하여 상기 버퍼장치에 선입된 기판에 대해 선입된 기판을 선출 가능하도록 하여 불량률을 최소화하고, 그로 인해 작업에 대한 효율성 및 생산성에서도 효과를 높일 수 있는 등 그 효과가 큰 발명이라 하겠다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 우측면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 좌측면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도
도 5는 본 발명의 구성을 상세히 나타내는 좌측면도
도 6은 본 발명의 구성을 상세히 나타내는 정면도
도 7은 도 6의 A - A를 나타내는 평면도
도 8은 본 발명의 구성 중 폭조절부재가 결합된 도 6의 B - B를 나타내는 평면도
도 9는 본 발명의 구성 중 각각의 회전체가 결합된 도 6의 C - C를 나타내는 평면도
도 10은 기판이 결합된 도 6의 D - D를 나타내는 평면도
도 11은 본 발명의 구성 중 이송부재가 결합된 도 6의 E - E를 나타내는 평면도
도 12는 본 발명의 구성 중 회전체를 나타내는 평면도, 정면도 및 좌측면도
도 13은 본 발명의 구성 중 컨베이어와 폭조절부재를 나타내는 평면도와 정면도
도 14는 본 발명의 구성 중 이송부재의 평면도, 정면도 및 우측면도

이하 첨부된 도면 1 내지 14를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 보다 상세하게 설명하도록 한다.

우선, 본 발명에 대한 구성을 도 1 내지 도 14를 참고로 살펴보게 되면, 기판(p)을 이송하는 컨베이어(100)와, 상기 컨베이어(100)를 타며 이송되는 기판(p)을 선입하되 상기 기판(p)의 일 측 끝부를 지지하는 지지부재(211)가 구비되고, 상기 지지부재(211)가 다수 구성된 구동부재(212)가 모터(213)의 작동으로 회전 구동하는 제 1회전체(210)와, 상기 기판(p)의 타 측 끝부를 지지하는 지지부재(221)가 구비되고, 상기 지지부재(221)가 다수 구성된 구동부재(222)가 모터(223)의 작동으로 회전 구동하는 제 2회전체(220)로 구성된 선입회전체(200)와, 상기 컨베이어(100)로 기판(p)을 선출하되 상기 기판(p)의 일 측 끝부를 지지하는 지지부재(311)가 구비되고, 상기 지지부재(311)가 다수 구성된 구동부재(312)가 모터(313)의 작동으로 회전 구동하는 제 3회전체(310)와, 상기 기판(p)의 타 측 끝부를 지지하는 지지부재(321)가 구비되고, 상기 지지부재(321)가 다수 구성된 구동부재(322)가 모터(323)의 작동으로 회전 구동하는 제 4회전체(320)로 구성된 선출회전체(300)와 및 상기 선입회전체(200)의 지지부재(211, 221)에 안착된 기판(p)을 선출회전체(300)의 지지부재(311, 321)로 이송하는 이송부재(400)로 구성되는 것이다.

도 2, 3을 참고로 설명하면, 상기 각각의 구동부재(212, 222, 312, 322)를 본 발명에서는 통상적으로 사용되는 타이밍벨트를 도시하여 설명하였지만, 이는 사용에 따라 모터와 연결되어 구동되는 부재를 연결하여 사용할 수도 있는 것이다.

상기 부재는 본 발명의 도 2, 3, 4, 5, 10, 11에 도시한 바와 같이 회전 구동하도록 구성되되 외주에 상기 기판(p)이 안착될 수 있도록 지지부재(211, 221, 311, 321)가 구성되어 있으면 되는 것이다.

도 1, 2, 3, 5, 6, 11, 12, 14를 참고로 설명하면, 상기 이송부재(400)는 레일(420)을 타며 모터(430)의 구동으로 이송되되 기판(p)을 흡착하는 흡착대(410)가 구성되는 있어야 한다.

여기서 상기 흡착대(410)는 선입회전체(200)의 지지부재(211, 221)에 안착되어 이송되는 기판(p)을 흡착하여 선출회전체(300)의 지지부재(311, 321)에 안착할 수 있도록 한 것이다.

상기 흡착대(410)는 모터(430)의 작동으로 인해 레일(420)을 타며 구동하되 모터(430)의 구동으로 선입회전체(200)와 선출회전체(300)로 왕복 이동 할 수 있는 것이다.

도 2, 3, 5에 도시된 바와 같이 상기 컨베이어(100)는 상기 기판(p)의 양측 하부에 각각 구비되고, 상기 선입회전체(200)와 선출회전체(300)의 지지부재(211, 221, 311, 321)보다 내측에 구성되어야 한다.

이는 상기 컨베이어(100)가 기판(p)을 안착하여 이송 시 선입회전체(200)와 선출회전체(300)에 구성된 각각의 지지부재(211, 221, 311, 321)가 기판(p)의 외측 하부를 지지하도록 구성되어 있기 때문이며, 이는 기판(p)의 이송 시 기판(p)에 닿게 되는 부위를 최소화하여 불량률 감소 및 기판에 대한 이물질이 묻는 것을 최소화하기 위한 것이다.

도 2, 3, 5, 7, 8, 9, 13에 도시된 바와 같이 상기 선입, 선출회전체(200, 300)의 제 1, 2, 3, 4회전체(210, 220, 310, 320)와 컨베이어(100)의 하부에는 기판(p)의 크기에 따라 1, 3회전체(210, 310)와 2, 4회전체(220, 320)와의 폭 조절이 가능하도록 폭조절부재(500)가 구성되어야 한다.

상기 폭조절부재(500)는 상기 컨베이어(100)와 연결 구성되되 모터(530)의 구동으로 작동하는 조절부재(510)와 상기 조절부재(510)가 유동할 수 있도록 레일(520)이 구성되어 기판(p)의 폭에 따라 폭 조절이 가능하도록 구성된 것이다.

이는 최근 들어 기판(p)의 대형화에 따른 것으로서 기판(p)의 크기에 맞게 레일(520)을 타며 유동하는 조절부재(510)를 사용하여 상기 제 1, 3회전체(210, 310)와 2, 4회전체(220, 320)와의 폭 조절을 한 후 기판(p)을 이송시킬 수 있도록 한 것이다.

또한, 상기 지지부재(211, 221, 311, 321)는 합성수지의 재질로 구성하여 기판(p)의 선입, 선출 시 기판(p)에 대한 파손 및 스크래치에 대해 미연에 방지할 수 있도록 하였다.

상기와 같이 구성되는 본 발명인 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치의 구성에 따른 구동방법을 도 1 내지 14를 참고하여 상세히 설명하면,

상기 기판 버퍼장치 중 기판의 선입, 선출방법에 있어서,

먼저 컨베이어(100)를 타며 기판(p)이 이송되어 기판(p)의 양 끝부가 선입회전체(200)에 구성된 구동부재(212, 222)의 지지부재(211, 221)에 안착되어야 한다.

이때 상기 지지부재(211, 221)는 기판(p)의 양 끝부의 하부에서부터 지지하는 것이다.

상기 기판(p)을 지지한 지지부재(211, 221)는 상기 구동부재(212, 222)의 구동으로 기판(p)을 이송하여야 한다. 이는 각각의 구동부재(212, 222)는 상호 반대방향으로 구동되어야 한다.

상기 선입회전체(200)의 구동부재(212, 222)에서 이송되는 기판(p)을 이송부재(400)를 사용하여 선출회전체(300)의 구동부재(312, 322)로 이송시키는 3단계;

이는 상기 선입회전체(200)의 지지부재(211, 221)에 위치한 기판(p)을 이송부재(400)의 흡착대(410)로 흡착한 후 선출회전체(300)의 지지부재(311, 321)에 위치시키는 것이다. 이때 상기 흡착대(410)는 레일(420)을 타며 이송할 수 있는 것이다.

상기 이송부재(400)의 흡착대(410)로 선출회전체(300)의 지지부재(311, 321)로 안착된 기판(p)은 상기 구동부재(312, 322)의 구동으로 이송되어야 한다.

상기 구동부재(312, 322)의 지지부재(311, 321)에 안착된 기판(p)은 상기 구동부재(312, 322)의 구동으로 컨베이어(100)에 안착하게 되는 것이다.

상기 선입회전체(200)의 구동부재(212, 222)와 선출회전체(300)의 구동부재(312, 322)는 기판(p)의 폭에 따라 상호 마주하도록 구성된 구동부재(212, 312)와 구동부재(222, 322)의 폭 조절이 가능하도록 구성되어 상기 기판(p)의 크기에 따라 조절하여 사용할 수 있는 것이다.

상기와 같이 본 발명을 적용한 기판 버퍼장치는 이전공정과 다음공정의 중간에서 버퍼의 조정역할을 하고, 선입, 선출을 동시에 할 수 있으며, 기판(p)의 유리부위 접촉부분을 합성수지재인 플라스틱으로 구성하여 기판(p)에 대한 파손 및 스크래치를 미연에 방지할 수 있는 것이다.

10 : 버퍼장치
100 : 컨베이어
200 : 선입회전체 210 : 제 1회전체 211 : 지지부재
212 : 구동부재 213 : 모터
220 : 제 2회전체 221 : 지지부재 222 : 구동부재
223 : 모터
300 : 선출회전체 310 : 제 3회전체 311 : 지지부재
312 : 구동부재 313 : 모터
320 : 제 4회전체 321 : 지지부재 322 : 구동부재
323 : 모터
400 : 이송부재 410 : 흡착대 420 : 레일
430 : 모터
500 : 폭조절부재
510 : 조절부재 520 : 레일 530 : 모터
p : 기판

Claims

기판(p)을 이송하는 컨베이어(100);
상기 컨베이어(100)를 타며 이송되는 기판(p)을 선입하되
상기 기판(p)의 일 측 끝부를 지지하는 지지부재(211)가 구비되고, 상기 지지부재(211)가 다수 구성된 구동부재(212)가 모터(213)의 작동으로 회전 구동하는 제 1회전체(210)와, 상기 기판(p)의 타 측 끝부를 지지하는 지지부재(221)가 구비되고, 상기 지지부재(221)가 다수 구성된 구동부재(222)가 모터(223)의 작동으로 회전 구동하는 제 2회전체(220)로 구성된 선입회전체(200);
상기 컨베이어(100)로 기판(p)을 선출하되
상기 기판(p)의 일 측 끝부를 지지하는 지지부재(311)가 구비되고, 상기 지지부재(311)가 다수 구성된 구동부재(312)가 모터(313)의 작동으로 회전 구동하는 제 3회전체(310)와, 상기 기판(p)의 타 측 끝부를 지지하는 지지부재(321)가 구비되고, 상기 지지부재(321)가 다수 구성된 구동부재(322)가 모터(323)의 작동으로 회전 구동하는 제 4회전체(320)로 구성된 선출회전체(300);
상기 선입회전체(200)의 지지부재(211, 221)에 안착된 기판(p)을 선출회전체(300)의 지지부재(311, 321)로 이송하는 이송부재(400); 로 구성되는 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치
제 1항에 있어서,
상기 이송부재(400)는 레일(420)을 타며 모터(430)의 구동으로 이송되되 기판(p)을 흡착하는 흡착대(410)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치
제 1항에 있어서,
상기 컨베이어(100)는 상기 기판(p)의 양측 하부에 각각 구비되고, 상기 선입회전체(200)와 선출회전체(300)의 지지부재(211, 221, 311, 321)보다 내측에 구성되는 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치
제 1항에 있어서,
상기 선입, 선출회전체(200, 300)의 제 1, 2, 3, 4회전체(210, 220, 310, 320)와 컨베이어(100)의 하부에는 기판(p)의 크기에 따라 1, 3회전체(210, 310)와 2, 4회전체(220, 320)와의 폭 조절이 가능하도록 폭조절부재(500)가 구성되는 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치
제 4항에 있어서,
상기 폭조절부재(500)는 상기 컨베이어(100)와 연결 구성되되 모터(530)의 구동으로 작동하는 조절부재(510)와 상기 조절부재(510)가 유동할 수 있도록 레일(520)이 구성되어 기판(p)의 폭에 따라 폭 조절이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치
제 1항에 있어서,
상기 지지부재(211, 221, 311, 321)는 합성수지의 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치
청구항 1항 내지 6항의 기판 버퍼장치 중 기판의 선입, 선출방법에 있어서,
컨베이어(100)를 타며 기판(p)이 이송되되 상기 기판(p)이 선입회전체(200)에 구성된 구동부재(212, 222)의 지지부재(211, 221)에 안착되는 1단계;
상기 지지부재(211, 221)에 안착된 기판(p)을 구동부재(212, 222)의 구동으로 이송하는 2단계;
상기 선입회전체(200)의 구동부재(212, 222)에서 이송되는 기판(p)을 이송부재(400)를 사용하여 선출회전체(300)에 구성된 구동부재(312, 322)의 지지부재(211, 221)로 이송시키는 3단계;
상기 구동부재(312, 322)의 구동으로 기판(p)을 이송하는 4단계;
상기 지지부재(311, 321)에 안착된 기판(p)을 컨베이어(100)에 안착하는 5단계; 가 순차적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치의 구동방법
제 7항에 있어서,
상기 선입회전체(200)의 구동부재(212, 222)와 선출회전체(300)의 구동부재(312, 322)는 기판(p)의 폭에 따라 상호 마주하도록 구성된 구동부재(212, 312)와 구동부재(222, 322)의 폭 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치의 구동방법