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KR20130047093A - Apparatus for aligning touch screen panel - Google Patents

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KR20130047093A
KR20130047093A KR1020110111899A KR20110111899A KR20130047093A KR 20130047093 A KR20130047093 A KR 20130047093A KR 1020110111899 A KR1020110111899 A KR 1020110111899A KR 20110111899 A KR20110111899 A KR 20110111899A KR 20130047093 A KR20130047093 A KR 20130047093A
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South Korea
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axis
stage
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chamber
alignment
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KR1020110111899A
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김동균
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에프씨산업 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A transfer device for aligning is provided to reduce the size of a chamber by transferring one stage to multi-axial direction inside the chamber and improve the internal space occupancy of the chamber. CONSTITUTION: A transfer device for aligning comprises an upper stage(20), a transfer shaft(30), a main frame(101), and a transfer module(100). The transfer module comprises a motor(110), a Z-axis stage(120), and an X-axis stage(130). The Z-axis stage transfers the motor to the horizontal direction. The X-axis stage transfers the Z-axis stage to the horizontal direction. The transfer module is mounted on the main frame to be vertically transferred.

Description

얼라인을 위한 이송장치{Apparatus For Aligning Touch Screen Panel}Apparatus For Aligning Touch Screen Panel

본 발명은 얼라인(Align) 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 장치에 적용될 수 있고, 대상물을 이송시키면서 얼라인을 수행할 수 있는 얼라인을 위한 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment apparatus, and more particularly, to a transfer apparatus for alignment that can be applied to various apparatuses, and can perform alignment while transferring an object.

일반적으로 터치 스크린(Touch Screen)은 화면에 나타난 문자나 특정 위치에 사람의 손 또는 물체가 닿으면 그 위치를 파악하여 저장된 소프트웨어에 의해 특정 처리를 할 수 있도록 화면에서 직접 입력자료를 받을 수 있는 스크린을 말한다.In general, a touch screen is a screen that receives input data directly from the screen so that a person's hand or an object touches a character or a specific location on the screen, and that location is detected and processed by stored software. Say

터치 스크린은 일반 모니터의 화면에 터치 스크린 패널(Touch Screen Panel)을 부가하여 구성한다. 터치 스크린 패널에는 눈에 보이지 않는 격자모양으로 적외선이 흐르게 되는데, 손끝이나 기타 물체로 적외선 격자를 접촉하면 그 위치를 파악하여 입출력을 할 수 있다.The touch screen is configured by adding a touch screen panel to a screen of a general monitor. Infrared light flows through the touch screen panel in an invisible grid shape, and when the infrared grid is touched with a fingertip or other object, the position can be input and output.

터치 스크린 패널은 터치 패널(Touch Panel)과 커버글라스(Cover Glass)를 합착하여 제조한다. 근래에는 터치 스크린 패널의 해상도를 높이고 제조 원가를 줄이기 위해 터치 패널과 커버글라스를 레진(Resin)으로 합착한다.The touch screen panel is manufactured by bonding a touch panel and a cover glass. Recently, in order to increase the resolution of the touch screen panel and reduce the manufacturing cost, the touch panel and the cover glass are bonded with resin.

터치 패널과 커버글라스의 합착시, 대기상태에서 터치 스크린 패널의 합착을 수행하면 기포(Issue)가 발생되는 문제가 있다. 이를 방지하기 위해 진공상태의 챔버 내에서 합착을 수행할 수 있는 터치 스크린 패널의 진공 합착 시스템이 고려되고 있다. When the touch panel and the cover glass are attached, there is a problem that bubbles are generated when the touch screen panel is attached in the standby state. In order to prevent this, a vacuum bonding system of a touch screen panel capable of performing bonding in a vacuum chamber is considered.

이때, 진공 챔버안에서 터치 패널과 커버글라스의 합착을 정밀하게 수행하기 위해서는 이들의 배열 상태를 정밀하게 측정할 수 있는 촬영부와 이들을 이송시킬 수 있는 이송부를 포함한 얼라인 장치를 필요로 한다.In this case, in order to precisely perform the bonding of the touch panel and the cover glass in the vacuum chamber, an alignment apparatus including a photographing unit capable of precisely measuring their arrangement state and a transfer unit capable of transferring them may be required.

얼라인 장치는 각각의 터치 패널과 커버글라스의 위치를 개별적으로 촬영한 후 정렬위치로 이들을 이송시키게 되므로 터치 패널과 커버글라스를 각각 이송시킬 수 있는 한 쌍의 이동 스테이지를 필요로 한다. Since the alignment device photographs the positions of each touch panel and the cover glass individually and transfers them to the alignment position, the alignment device requires a pair of moving stages capable of transferring the touch panel and the cover glass, respectively.

그런데, 종래의 얼라인 장치는 챔버 내부에서 개별적으로 이동하는 스테이지에 의해 챔버의 크기가 커지는 문제가 있고, 챔버 내부 공간의 활용도가 낮게 되므로 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 없는 문제가 있다.By the way, the conventional alignment device has a problem that the size of the chamber is increased by the stage moving independently in the chamber, and because the utilization of the internal space of the chamber is low, it is not possible to attach a large amount of touch screen panels inside the chamber. there is a problem.

따라서 본 발명은 챔버 내부에서 스테이지를 효율적으로 이송시킬 수 있어 챔버의 크기를 줄일 수 있고, 챔버 내부 공간의 활용도를 높여 하나의 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 있는 얼라인을 위한 이송장치를 제공하고자 한다.Therefore, the present invention can efficiently transport the stage inside the chamber to reduce the size of the chamber, and to increase the utilization of the internal space of the chamber to align the alignment of a large number of touch screen panels in one chamber To provide a transport device for.

본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버 내부에 위치하는 상부 스테이지; 상기 상부 스테이지에 결합되는 이동축; 상기 챔버 상부에 장착되는 메인프레임; 및 상기 이동축을 축방향으로 회전시키는 모터와, 상기 모터를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지와 직교하는 수평방향으로 상기 Z축 스테이지를 이동시키는 X축 스테이지를 가지며, 상기 메인프레임에 수직이동가능하게 장착되는 이동모듈;을 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치가 제공된다.According to an aspect of the invention, the upper stage located inside the chamber; A moving shaft coupled to the upper stage; A mainframe mounted on the chamber; And a motor for rotating the moving axis in an axial direction, a Z axis stage for moving the motor in a horizontal direction, and an X axis stage for moving the Z axis stage in a horizontal direction orthogonal to the Z axis stage. There is provided a transfer device for alignment, including a moving module mounted vertically movable to the frame.

상기 이동모듈은 상기 메인프레임에 대해 상기 이동축을 수직이동시키는 적어도 하나의 Y축 이송부;를 더 포함하며, 상기 Y축 이송부는, 상기 메인프레임의 수직방향으로 장착되는 Y축 레일; 상기 Y축 레일에 이동가능하게 장착되는 Y축 가이드블럭; 및 상기 Y축 가이드블럭을 이동시키는 실린더;를 포함할 수 있다.The moving module further comprises at least one Y-axis transfer unit for vertically moving the movement axis with respect to the main frame, wherein the Y-axis transfer unit, Y-axis rail mounted in the vertical direction of the main frame; A Y-axis guide block movably mounted on the Y-axis rail; And a cylinder for moving the Y-axis guide block.

상기 이동모듈은, 상기 X축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 메인프레임의 상기 Y축 가이드블럭에 장착되는 X축 가이드레일;을 더 포함할 수 있다.The moving module may further include an X-axis guide rail movably supporting the X-axis stage and mounted to the Y-axis guide block of the main frame.

상기 이동모듈은, 상기 Z축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 X축 스테이지에 장착되는 Z축 가이드레일;을 더 포함할 수 있다.The moving module may further include a Z-axis guide rail movably supporting the Z-axis stage and mounted to the X-axis stage.

상기 이동모듈은, 상기 모터가 상기 Z축 스테이지에 지지되도록 하는 지지프레임을 더 포함할 수 있다.The moving module may further include a support frame to allow the motor to be supported by the Z-axis stage.

상기 Z축 스테이지, X축 스테이지, X축 가이드레일은 상기 이동축이 관통되면서 이동할 수 있도록 중공 형상을 가질 수 있다.The Z-axis stage, the X-axis stage, and the X-axis guide rail may have a hollow shape so that the moving shaft can move while passing.

상기 이동모듈은, 상기 X축 스테이지가 상기 X축 가이드레일을 따라 이동하록 하는 X축 모터; 및 상기 Z축 스테이지가 상기 X축 스테이지를 따라 이동하도록 하는 Z축 모터;를 더 포함할 수 있다.The moving module may include an X-axis motor for causing the X-axis stage to move along the X-axis guide rail; And a Z-axis motor for allowing the Z-axis stage to move along the X-axis stage.

상기 지지프레임과 상기 Z축 스테이지의 사이에는 상기 이동축을 감싸도록 내부가 진공상태로 밀봉될 수 있다.An interior may be sealed in a vacuum state between the support frame and the Z axis stage to surround the moving shaft.

상기 얼라인을 위한 이송장치는, 상기 X축 가이드레일과 상기 챔버의 사이에 장착되는 주름관;을 더 포함할 수 있다.The transfer device for the alignment may further include a corrugated pipe mounted between the X-axis guide rail and the chamber.

이와 같이 본 발명의 얼라인을 위한 이송장치에 의하면, 챔버 내부에서 하나의 스테이지를 다축(X축, Y축, Z축 및 θ축) 방향으로 이송시킬 수 있어 챔버의 크기를 줄일 수 있고, 챔버 내부 공간의 활용도를 높여 하나의 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 있다.Thus, according to the transfer device for the alignment of the present invention, it is possible to transfer one stage in the direction of the multi-axis (X-axis, Y-axis, Z-axis and θ axis) in the chamber can reduce the size of the chamber, the chamber By increasing the utilization of the internal space it is possible to perform the bonding of a large number of touch screen panels in one chamber.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 일 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이다.
도 2는 도 1의 측면 구성도이다.
도 3은 도 1의 이동모듈 영역에 대한 확대도이다.
도 4는 도 3의 요부 영역에 대한 분해 사시도이다.
도 5 내지 도 7은 터치 스크린 패널의 진공 합착을 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치에 의해 얼라인이 이루어지는 동작을 보여주는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 다른 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이다.1 is a front configuration diagram of a touch screen panel vacuum bonding system of an embodiment to which a transfer device for alignment according to an embodiment of the present invention is applied.
2 is a side configuration diagram of FIG. 1.
FIG. 3 is an enlarged view of the moving module area of FIG. 1.
4 is an exploded perspective view of the main portion of FIG. 3.
5 to 7 are views illustrating an operation in which alignment is performed by a transfer device for alignment according to an embodiment of the present invention for vacuum bonding of a touch screen panel.
8 is a front configuration diagram of a touch screen panel vacuum bonding system of another embodiment to which a transfer device for alignment according to another embodiment of the present invention is applied.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명의 얼라인을 위한 이송장치는 반도체, 터치 스크린 등 다양한 제품을 제조하는 다양한 각종 장비에 적용될 수 있는데, 설명의 편의상 본 실시예에서는 터치 스크린 패널의 제조공정에 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다.The transfer device for the alignment of the present invention may be applied to various equipment for manufacturing various products such as semiconductors and touch screens. For convenience of description, the present embodiment will be described by taking a case of using the touch screen panel as an example. .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 일 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이고, 도 2는 도 1의 측면 구성도이다.1 is a front configuration diagram of a touch screen panel vacuum bonding system according to an embodiment to which a transfer apparatus for alignment according to an embodiment of the present invention is applied, and FIG. 2 is a side configuration diagram of FIG. 1.

도 1에 도시된 바와 같이 일 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템(1)은 터치패널(미도시)과 커버글라스(미도시)를 합착하기 위한 챔버(10)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the touch screen panel vacuum bonding system 1 of the embodiment includes a chamber 10 for bonding the touch panel (not shown) and the cover glass (not shown).

챔버(10, Chamber)는 터치 스크린 패널의 진공 합착시 기포가 발생되지 않도록 내부가 진공 상태로 유지될 수 있다. 챔버(10)에는 내부로 로딩(Loading)된 커버글라스를 그립(Grip)할 수 있는 상부 스테이지(20)와, 터치패널이 안착되는 하부스테이지(40)가 장착될 수 있다.The chamber 10 may be maintained in a vacuum state so that bubbles are not generated when vacuum bonding the touch screen panel. The chamber 10 may be equipped with an upper stage 20 capable of gripping a cover glass loaded therein and a lower stage 40 on which a touch panel is seated.

상부 스테이지(20)는 챔버(10)의 하부에 장착된 비젼유닛(60)을 이용하여 터치패널과 커버글라스의 합착 위치를 정렬하도록 다양한 축 방향으로 움직일 수 있다. The upper stage 20 may be moved in various axial directions to align the bonding positions of the touch panel and the cover glass by using the vision unit 60 mounted at the bottom of the chamber 10.

즉, 상부 스테이지(20)는 이동축(30)과 연결된 이동모듈(100)에 의해 X축, Y축, Z축 및 θ축 방향으로 이동하면서 터치패널과 커버글라스의 얼라인을 수행할 수 있다. 상부 스테이지(20)는 점착 러버(Rubber), 정전척(ESC, Electrostatic Chuck) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.That is, the upper stage 20 may perform alignment of the touch panel and the cover glass while moving in the X-axis, Y-axis, Z-axis, and θ-axis directions by the moving module 100 connected to the moving shaft 30. . The upper stage 20 may include at least one of an adhesive rubber and an electrostatic chuck.

하부 스테이지(30)는 상부 스테이지(20)의 하부에 위치한다. 하부 스테이지(30)에는 로봇암(미도시) 등에 의해 챔버(20) 내부로 로딩된 터치패널이 안착될 수 있다.The lower stage 30 is positioned below the upper stage 20. The lower stage 30 may have a touch panel loaded into the chamber 20 by a robot arm (not shown).

챔버(10)의 하부 영역에는 터치패널과 커버글라스의 정밀한 합착을 위해 비젼 카메라를 구비하는 비젼유닛(60)과, 합착된 터치 스크린 패널을 챔버(10)의 내부로 언로딩(Unloading)시킬 때 패널의 틀어짐을 방지하기 위한 가경화 유닛(50)이 장착될 수 있다.In the lower region of the chamber 10, when unloading the vision unit 60 having a vision camera and the attached touch screen panel to the inside of the chamber 10 for precise bonding of the touch panel and the cover glass. Temporary hardening unit 50 may be mounted to prevent the panel from twisting.

챔버(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 진공 펌프, 밸브, 게이지 등을 구비하며 챔버(10)를 진공상태로 만들기 위한 펌핑 유닛(80)이 장착될 수 있다. 펌핑 유닛(80)에 의해 챔버(10)의 내부는 진공 상태로 유지될 수 있다. 미설명 부호 70은 센터링 유닛이다.The chamber 10 includes a vacuum pump, a valve, a gauge, and the like, as shown in FIG. 2, and may be equipped with a pumping unit 80 for vacuuming the chamber 10. The interior of the chamber 10 may be maintained in a vacuum state by the pumping unit 80. Reference numeral 70 is a centering unit.

이와 같이 구성되는 터치 스크린 패널 진공 합착시스템(1)은 디스펜서(미도시)에 의해 레진으로 댐(Dam), 필(Fill)이 도포된 터치패널 및 커버글라스를 챔버(10) 내부로 로딩시켜 진공합착 공정을 수행한다.The touch screen panel vacuum bonding system 1 configured as described above uses a dispenser (not shown) to load a touch panel and a cover glass coated with a dam and a fill into the chamber 10 into the chamber 10. Perform the coalescence process.

여기서 전술한 바와 같이 본 실시예의 얼라인을 위한 이송장치는 상부 스테이지(20)와 연결된 이동축(30)을 X축, Y축, Z축 및 θ축 방향(도 4참조)으로 이동시킬 수 있는 이동모듈(100)에 의해 상부 스테이지(20)는 챔버(10) 내부에서 다양한 방향으로 움직이면서 얼라인을 정밀하게 수행할 수 있다.As described above, the transfer apparatus for aligning the present embodiment may move the moving shaft 30 connected to the upper stage 20 in the X, Y, Z, and θ-axis directions (see FIG. 4). The upper stage 20 may move in various directions within the chamber 10 by the moving module 100 to accurately perform alignment.

도 3은 도 1의 이동모듈 영역에 대한 확대도이고, 도 4는 도 3의 요부 영역에 대한 분해 사시도이다.3 is an enlarged view of the moving module region of FIG. 1, and FIG. 4 is an exploded perspective view of the main portion of FIG. 3.

도 3에 도시된 바와 같이 이동모듈(100)은 챔버(10) 상부에 장착되는 메인프레임(101)에 결합되면서 챔버(10)의 상부 영역에 설치될 수 있다. 메인프레임(101)은 챔버(10)의 상부에 수직으로 길게 배치될 수 있으며, 한 쌍으로 마련될 수 있다. As shown in FIG. 3, the moving module 100 may be installed in the upper region of the chamber 10 while being coupled to the main frame 101 mounted on the chamber 10. The mainframe 101 may be disposed vertically long on the upper portion of the chamber 10, and may be provided in pairs.

이동모듈(100)은 이동축(30)을 축방향으로 회전시키는 모터(110)와, 모터(110)를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지(120)와, Z축 스테이지(120)와 직교하는 수평방향으로 Z축 스테이지(120)를 이동시키는 X축 스테이지(130)와, 이동축(30)을 메인프레임(101)의 길이 방향을 따라 이동시키는 Y축 이송부(140)를 포함하여 구성될 수 있다.The moving module 100 is orthogonal to the motor 110 for rotating the moving shaft 30 in the axial direction, the Z axis stage 120 for moving the motor 110 in the horizontal direction, and the Z axis stage 120. It may include an X-axis stage 130 for moving the Z-axis stage 120 in the horizontal direction, and a Y-axis transfer unit 140 for moving the moving shaft 30 along the longitudinal direction of the main frame 101. have.

모터(110)는 이동모듈(100)의 상부 영역에 배치되는데, 모터(110)의 축(111)은 커플링(115)에 의해 이동축(30)과 연결될 수 있다. 모터(110)는 정역회전가능하게 구성되면서 도 4에 도시된 바와 같이 이동축(30)을 θ축 방향으로 회전시킬 수 있다. 예를 들어 모터(110)는 DC 모터가 사용될 수 있다.The motor 110 is disposed in the upper region of the moving module 100, and the shaft 111 of the motor 110 may be connected to the moving shaft 30 by the coupling 115. The motor 110 may rotate in the θ-axis direction as shown in FIG. 4 while being configured to be reverse rotation. For example, the motor 110 may be a DC motor.

모터(110)는 지지프레임(170)에 의해 Z축 스테이지(120)에 지지결합될 수 있다. 지지프레임(170)은 모터(110)의 하부 영역과 Z축 스테이지(120)의 상부 영역을 연결하는 다양한 형태일 수 있다. The motor 110 may be coupled to the Z-axis stage 120 by the support frame 170. The support frame 170 may have various forms connecting the lower region of the motor 110 and the upper region of the Z-axis stage 120.

예를 들어 지지프레임(170)은 도 4에 도시된 바와 같이 모터(110)의 회전축과 연결된 이동축(30)이 관통할 수 있도록 내부에 관통공(171)이 형성된 플레이트와 수직으로 배치된 다수의 프레임이 결합된 형상을 가질 수 있다.For example, as shown in FIG. 4, a plurality of support frames 170 are vertically disposed with a plate having a through hole 171 formed therein so that the moving shaft 30 connected to the rotating shaft of the motor 110 can pass therethrough. The frame may have a combined shape.

지지프레임(170)과 결합되는 Z축 스테이지(120)는 지지프레임(170)과 마찬가지로 이동축(30)이 통과할 수 있도록 내부에 관통공(121)이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다.The Z-axis stage 120 coupled to the support frame 170 may have a plate shape in which a through hole 121 is formed therein such that the moving shaft 30 passes through the support frame 170.

모터(110)와 지지프레임(170) 및 Z축 스테이지(120)는 실질적으로 일체로 구성될 수 있다. 따라서 Z축 스테이지(120)가 Z축 방향으로 이동하면, 실질적으로 모터(110)와 연결된 이동축(30)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.The motor 110, the support frame 170, and the Z-axis stage 120 may be substantially integrally formed. Therefore, when the Z-axis stage 120 moves in the Z-axis direction, the moving shaft 30 connected to the motor 110 may be substantially moved in the Z-axis direction.

Z축 스테이지(120)는 X축 스테이지(130)에 이동가능하게 결합되면서 X축 스테이지(130)에 대해 Z축 방향으로 이동하면서 이동축(30)을 Z축 방향으로 이동시킨다.The Z-axis stage 120 is movably coupled to the X-axis stage 130 and moves the movement axis 30 in the Z-axis direction while moving in the Z-axis direction with respect to the X-axis stage 130.

이를 위해 Z축 스테이지(120)를 X축 스테이지(130)에 대해 이동가능하게 지지하도록 X축 스테이지(130)에는 Z축 가이드레일(160)이 장착될 수 있다. To this end, the Z-axis guide rail 160 may be mounted on the X-axis stage 130 to movably support the Z-axis stage 120 with respect to the X-axis stage 130.

Z축 가이드레일(160)은 Z축 스테이지(120)의 하부, X축 스테이지(130)의 상부에 위치하면서 Z축 스테이지(120)가 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 다양한 형태로 구성될 수 있다. Z축 가이드레일(160)는 이동축(30)이 통과할 수 있도록 내부에 관통공(161)이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다.The Z-axis guide rail 160 may be configured in various forms so that the Z-axis stage 120 may move in the Z-axis direction while being positioned below the Z-axis stage 120 and the X-axis stage 130. The Z-axis guide rail 160 may have a plate shape in which a through hole 161 is formed so that the moving shaft 30 can pass therethrough.

Z축 가이드레일(160)과 X축 스테이지(130)는 LM가이드 조합으로 이루어질 수 있다. 이때, Z축 스테이지(120)가 X축 스테이지(130)에 장착된 Z축 가이드레일(160)을 따라 이동하도록 하는 Z축 모터(190)가 장착될 수 있다. The Z-axis guide rail 160 and the X-axis stage 130 may be formed by a combination of LM guides. In this case, the Z-axis motor 190 may be mounted to move the Z-axis stage 120 along the Z-axis guide rail 160 mounted on the X-axis stage 130.

Z축 모터(190)는 Z축 스테이지(120)에 결합되면서 도시하지는 않았지만 랙 앤 피니언 기어 또는 다양한 선형이동가능한 구성들을 부가하여 Z축 스테이지(120)가 이동할 수 있도록 동력을 제공한다.The Z-axis motor 190 is coupled to the Z-axis stage 120 but adds rack and pinion gears or various linearly movable configurations to provide power for the Z-axis stage 120 to move.

이러한 구성으로 Z축 스테이지(120)는 Z축 방향으로 좌우 이동하면서 실질적으로 이동축(30)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이동축(30)에 장착된 상부 스테이지(20)는 Z축 방향으로 이동할 수 있다.In this configuration, the Z-axis stage 120 may move the movement shaft 30 in the Z-axis direction while moving left and right in the Z-axis direction, and the upper stage 20 mounted on the movement shaft 30 may have a Z-axis. Can move in the direction.

X축 스테이지(130)는 Z축 스테이지(120)와 직교하는 수평방향, 즉 X축 방향으로 X축 스테이지(130)의 상부에 위치한 Z축 스테이지(120)를 함께 이동시킬 수 있다. X축 스테이지(130)는 Z축 스테이지(120)를 함께 이동시킬 수 있으므로 실질적으로 이동축(30)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이동축(30)에 장착된 상부 스테이지(20)는 X축 방향으로 이동할 수 있다.The X-axis stage 130 may move together the Z-axis stage 120 located above the X-axis stage 130 in the horizontal direction, that is, the X-axis direction orthogonal to the Z-axis stage 120. Since the X-axis stage 130 may move the Z-axis stage 120 together, the X-axis stage 130 may substantially move the moving shaft 30 in the X-axis direction, and the upper stage 20 mounted on the moving shaft 30 may be Can move in the X-axis direction.

X축 스테이지(130)는 이동축(30)이 통과할 수 있도록 내부에 관통공이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다. 관통홀은 Z축 스테이지(120)가 이동하면서 내부에 삽입된 이동축(30)을 간섭하지 않도록 Z축 방향을 따라 길게 형성된 장공일 수 있다.The X-axis stage 130 may have a plate shape having a through hole formed therein to allow the moving shaft 30 to pass therethrough. The through hole may be a long hole formed along the Z-axis direction so that the Z-axis stage 120 does not interfere with the moving shaft 30 inserted therein.

X축 스테이지(130)의 하부에는 X축 가이드레일(150)이 배치된다. X축 가이드레일(150)은 X축 스테이지(130)를 이동가능하게 지지하도록 다양한 형태로 제작될 수 있다.The X-axis guide rail 150 is disposed below the X-axis stage 130. The X-axis guide rail 150 may be manufactured in various forms to movably support the X-axis stage 130.

예를 들어 X축 가이드레일(150)은 X축 방향으로 길게 배치된 플레이트 형상을 가지며 내부에 X축 스테이지(130)의 관통홀과 연통되면서 이동축(30)이 관통할 수 있는 관통공(150)이 형성될 수 있다. X축 가이드레일(150)은 후술할 Y축 이송부(140)의 Y축 가이드블럭(143)에 장착될 수 있다.For example, the X-axis guide rail 150 has a plate shape long in the X-axis direction and communicates with the through-hole of the X-axis stage 130 therein, through which the moving shaft 30 can pass. ) May be formed. The X-axis guide rail 150 may be mounted on the Y-axis guide block 143 of the Y-axis transfer unit 140 to be described later.

X축 가이드레일(150)과 X축 스테이지(130)는 LM가이드 조합으로 이루어질 수 있다. 그리고 X축 스테이지(130)가 X축 가이드레일(150)을 따라 이동하도록 하는 X축 모터(180)가 장착될 수 있다.The X-axis guide rail 150 and the X-axis stage 130 may be formed of a combination of LM guides. An X-axis motor 180 may be mounted to move the X-axis stage 130 along the X-axis guide rail 150.

X축 모터(180)는 X축 스테이지(130)에 결합되면서 도시하지는 않았지만 랙 앤 피니언 기어 또는 다양한 선형이동가능한 구성들을 부가하여 X축 스테이지(130)가 이동할 수 있도록 동력을 제공한다.The X-axis motor 180 is coupled to the X-axis stage 130, but not shown, adds rack and pinion gears or various linearly movable configurations to provide power to the X-axis stage 130 to move.

Y축 이송부(140)는 전술한 이동모듈(100)의 구성들이 메인프레임(101)에 대해 수직이동하도록 하며, 실질적으로 이동축(30)을 수직이동시키도록 한다. Y축 이송부(140)는 적어도 하나가 마련될 수 있는데 본 실시예는 한 쌍으로 마련된다.The Y-axis transfer unit 140 allows the above-described components of the moving module 100 to move vertically with respect to the main frame 101, and substantially moves the moving shaft 30 vertically. At least one Y-axis feeder 140 may be provided, but this embodiment is provided in pairs.

Y축 이송부(140)는 메인프레임(101)의 수직방향으로 장착되는 Y축 레일(141)과, Y축 레일(141)에 이동가능하게 장착되는 Y축 가이드블럭(143)과, Y축 가이드블럭(143)을 이동시키는 실린더(145)를 포함하여 구성될 수 있다.The Y-axis feeder 140 includes a Y-axis rail 141 mounted in the vertical direction of the main frame 101, a Y-axis guide block 143 movably mounted to the Y-axis rail 141, and a Y-axis guide. And cylinder 145 to move block 143.

여기서 실린더(145)는 Y축 가이드블럭(143)이 Y축 레일(141)을 따라 Y축 방향으로 상하 이동하도록 동력을 제공한다. 이때, 전술한 바와 같이 Y축 가이드블럭(143)에는 X축 가이드레일(150)이 장착되므로 X축 가이드레일(150)은 Y축 방향으로 이동할 수 있으며, 전술한 구성들의 결합관계를 통해 실질적으로 이동축(30)이 Y축 방향으로 이동할 수 있다.Here, the cylinder 145 provides power so that the Y-axis guide block 143 moves up and down in the Y-axis direction along the Y-axis rail 141. At this time, as described above, since the X-axis guide rail 150 is mounted on the Y-axis guide block 143, the X-axis guide rail 150 may move in the Y-axis direction, and substantially through the coupling relationship of the above-described components. The moving shaft 30 can move in the Y axis direction.

Y축 이송부(140)는 이동축(30)을 Y축 방향으로 선형 이송시킬 수 있다면 전술한 형태에 제한되지 않고 다양한 선형이동수단을 부가하여 변형실시 가능하다.The Y-axis feeder 140 is not limited to the above-described form as long as it can linearly move the moving shaft 30 in the Y-axis direction, and may be modified by adding various linear moving means.

이와 같이 구성되는 본 실시예의 얼라인을 위한 이송장치는 상부 스테이지(20)와 연결된 이동축(30)을 X축, Y축, Z축 및 θ축 방향(도 4참조)으로 이동시킬 수 있는 이동모듈(100)에 의해 상부 스테이지(20)는 챔버(10) 내부에서 다양한 방향으로 움직이면서 얼라인을 정밀하게 수행할 수 있다.The transfer device for alignment of the present embodiment configured as described above is a movement capable of moving the moving shaft 30 connected to the upper stage 20 in the X, Y, Z and θ axis directions (see FIG. 4). By the module 100, the upper stage 20 may precisely perform alignment while moving in various directions within the chamber 10.

한편, 챔버(10)의 내부는 진공 상태를 유지할 필요가 있으므로 전술한 지지프레임(170)과 상기 Z축 스테이지(120)의 사이에는 이동축(30)을 감싸도록 진공씰(200)이 형성될 수 있다. 진공씰(200)은 덮개 형상으로 Z축 스테이지(120)의 상부와 이동축(30)의 측면 영역을 밀봉시키는 형태일 수 있다. On the other hand, since the interior of the chamber 10 needs to maintain a vacuum state, the vacuum seal 200 may be formed to surround the moving shaft 30 between the above-described support frame 170 and the Z-axis stage 120. Can be. The vacuum seal 200 may have a cover shape to seal the upper side of the Z-axis stage 120 and the side region of the moving shaft 30.

따라서 지지프레임(170)과 상기 Z축 스테이지(120)의 사이의 내부공간은 진공상태로 밀봉될 수 있다.Therefore, the internal space between the support frame 170 and the Z-axis stage 120 may be sealed in a vacuum state.

또한, X축 가이드레일(150)에는 전술한 바와 같이 관통공(151)이 형성되며, 이동축(30)은 관통공(151)의 내측 및 챔버(10)에 형성된 챔버공(11)을 통해 챔버(10)의 내부에 위치한 상부 스테이지(20)와 연결된 구조를 갖는다.In addition, a through hole 151 is formed in the X-axis guide rail 150 as described above, and the moving shaft 30 is formed through the chamber hole 11 formed inside the through hole 151 and the chamber 10. It has a structure connected to the upper stage 20 located inside the chamber 10.

이때, 이동축(30)은 전술한 이동모듈(100)에 의해 다축(X축, Y축, Z축 및 θ축) 방향으로 움직이기 때문에 챔버(30) 내부의 진공 상태가 깨질 우려가 있다.At this time, since the moving shaft 30 moves in the directions of multiple axes (X-axis, Y-axis, Z-axis and θ-axis) by the above-described moving module 100, the vacuum state inside the chamber 30 may be broken.

따라서 X축 가이드레일(150)과 챔버(10)의 사이에는 주름관(300)이 장착될 수 있다. Therefore, the corrugated pipe 300 may be mounted between the X-axis guide rail 150 and the chamber 10.

주름관(300)은 챔버(10)의 챔버공(11) 입구 영역과 가이드레일(150)의 관통공(151)을 연결하면서 주름진 형상이 변화되면서 챔버(10)를 밀폐하는 구조를 가질 수 있다. 주름관(300)은 이동축(30)이 다축방향으로 이동하는 것을 방지하면서 챔버(10) 내부를 밀폐할 수 있다면 주름관 이외에도 유연한 재질의 고무 등으로 변형실시가능하다. The corrugated pipe 300 may have a structure that seals the chamber 10 while the corrugated shape is changed while connecting the inlet region of the chamber hole 11 of the chamber 10 and the through hole 151 of the guide rail 150. If the corrugated pipe 300 can seal the inside of the chamber 10 while preventing the moving shaft 30 from moving in the multi-axial direction, the corrugated pipe 300 may be modified with rubber of a flexible material in addition to the corrugated pipe.

도 5 내지 도 7은 터치 스크린 패널의 진공 합착을 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치에 의해 얼라인이 이루어지는 동작을 보여주는 도면들이다.5 to 7 are views illustrating an operation in which alignment is performed by a transfer device for alignment according to an embodiment of the present invention for vacuum bonding of a touch screen panel.

도 5 내지 도 7 및 전술한 도면들을 참조하면서 본 실시예의 얼라인을 위한 이송장치가 터치 스크린 패널의 진공 합착을 위해 사용되는 예를 설명하기로 한다.5 to 7 and the above-described drawings, an example in which the transfer device for alignment of the present embodiment is used for vacuum bonding of the touch screen panel will be described.

도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 챔버(10)의 내부로 커버글라스(G1)가 로딩되면서 하부 스테이지(40)에 안착될 수 있다. 하부 스테이지(40)에 커버글라스(G1)가 안착되면, 이동모듈(100)은 Y축 이송부(140)에 의해 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 Y축 방향으로 하강하면서 이동축(30)을 하강시키도록 동작한다.As shown in (a) of FIG. 5, the cover glass G1 may be loaded into the lower stage 40 while the cover glass G1 is loaded into the chamber 10. When the cover glass G1 is seated on the lower stage 40, the moving module 100 is lowered in the Y-axis direction by the Y-axis feeder 140 in the Y-axis direction as illustrated in FIG. 5B. To lower).

따라서 상부 스테이지(30)가 Y축 방향으로 하강하면서 커버글라스(G1)를 흡착할 수 있다. 이때, Y축 이송부(140)에 의해 Y축 방향으로 약간 상승, 예를 들어 1mm 정도 상승한 후 비젼유닛(60)은 카메라로 커버글라스(G1)에 대한 이미지를 인식할 수 있다. Accordingly, the cover glass G1 may be sucked while the upper stage 30 descends in the Y-axis direction. At this time, after slightly rising in the Y-axis direction, for example, about 1 mm by the Y-axis feeder 140, the vision unit 60 may recognize an image of the cover glass G1 with a camera.

이어서 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이 커버글라스(G1)를 흡착한 상부 스테이지(30)는 도 6의 (d)와 같이 챔버(10) 내부로 로딩이 이루어질 터치패널(G2)과의 간섭을 도피하도록 Y축 이송부(140)에 의해 Y축 방향으로 좀 더 상승할 수 있다.Subsequently, as illustrated in FIG. 6C, the upper stage 30 that absorbs the cover glass G1 is connected to the touch panel G2 to be loaded into the chamber 10 as shown in FIG. 6D. The Y-axis transfer unit 140 may be further raised in the Y-axis direction to avoid interference.

커버글라스(G1)를 흡착한 상부 스테이지(30)가 일정 높이로 상승하면 도 6의 (d)와 같이 커버글라스(G1)와 합착될 터치패널(G2)이 로딩되면서 하부 스테이지(40)에 안착된다. 비젼유닛(60)은 카메라로 터치패널(G2)에 대한 이미지를 인식하면서 커버글라스(G1)와 합착될 터치패널(G2)의 얼라인의 위치를 비교할 수 있다.When the upper stage 30 that absorbs the cover glass G1 rises to a predetermined height, the touch panel G2 to be bonded to the cover glass G1 is loaded and seated on the lower stage 40 as shown in FIG. do. The vision unit 60 may compare the alignment of the alignment of the touch panel G2 to be combined with the cover glass G1 while recognizing an image of the touch panel G2 with a camera.

이때, 도 7의 (e)에 도시된 바와 같이 커버글라스(G1)를 흡착한 상부 스테이지(30)는 이동모듈(100)에 의해 얼라인 위치만큼 수평(X축, Z축) 방향으로 움직이거나 θ축) 방향으로 회전할 수 있다.At this time, as shown in (e) of FIG. 7, the upper stage 30 that absorbs the cover glass G1 moves in the horizontal (X-axis, Z-axis) direction by an alignment position by the moving module 100. It can rotate in the (theta-axis) direction.

상부 스테이지(30)의 위치가 조절된 후에는 도 7의 (f)에 도시된 바와 같이 상부 스테이지(30)가 Y축 방향으로 하강하면서 커버글라스(G1)와 터치패널(G2)은 얼라인이 이루어진 상태로 합착될 수 있다.After the position of the upper stage 30 is adjusted, as shown in (f) of FIG. 7, the cover glass G1 and the touch panel G2 are aligned as the upper stage 30 descends in the Y-axis direction. Can be cemented in the made state.

합착이 완료된 후에는 챔버(10) 하부에 배치된 가경화 유닛(50)으로 합착된 위치가 틀어지지 않도록 자외선을 조사하여 가경화시키고, 챔버(10) 내부의 진공을 파기하고 챔버(10)를 열어서 합착된 터치 패널 스크린을 언로딩할 수 있다.After the bonding is completed, the temporary curing by irradiating ultraviolet rays so as not to be misaligned by the temporary curing unit 50 disposed below the chamber 10, and temporarily cured, the vacuum inside the chamber 10 is discarded and the chamber 10 is closed. It can be opened and unloaded with the bonded touch panel screen.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 얼라인을 위한 이송장치가 적용된 다른 실시예의 터치 스크린 패널 진공 합착시스템의 정면 구성도이다. 도 8에 도시된 바와 같이 이동모듈(100)은 하나의 챔버(10)에 다수개가 배치되면서 적용될 수 있다.8 is a front configuration diagram of a touch screen panel vacuum bonding system of another embodiment to which a transfer device for alignment according to another embodiment of the present invention is applied. As shown in FIG. 8, a plurality of moving modules 100 may be applied to one chamber 10.

이와 같이 본 발명의 얼라인을 위한 이송장치에 의하면, 챔버 내부에서 하부 스테이지는 고정시키고 상부 스테이지를 다축(X축, Y축, Z축 및 θ축) 방향으로효율적으로 이송시킬 수 있기 때문에 챔버의 크기를 줄일 수 있고, 챔버 내부 공간의 활용도를 높여 하나의 챔버 내부에서 다량의 터치 스크린 패널의 합착을 수행할 수 있다.Thus, according to the transfer device for alignment of the present invention, since the lower stage is fixed inside the chamber and the upper stage can be efficiently transported in the direction of multiple axes (X-axis, Y-axis, Z-axis and θ-axis), It is possible to reduce the size and increase the utilization of the space inside the chamber to perform the bonding of a large number of touch screen panels in one chamber.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1 : 합착 시스템 10 : 챔버
20 : 상부 스테이지 30 : 이동축
40 : 하부 스테이지 50 : 가경화 유닛
60 : 비젼 유닛 70 : 센터링 유닛
80 : 펌핑 유닛 100 : 이동모듈
101 : 메인프레임 110 : 모터
120 : Z축 스테이지 130 : X축 스테이지
140 : Y축 이송부 141 : Y축 레일
143 : Y축 가이드블럭 145 : 실린더
150 : X축 가이드레일 160 : Z축 가이드레일
170 : 지지프레임 180 : X축 모터
190 : Z축 모터 200 : 진공씰(seal)
300 : 주름관1: coalescence system 10: chamber
20: upper stage 30: moving axis
40: lower stage 50: temporary curing unit
60: vision unit 70: centering unit
80: pumping unit 100: moving module
101: mainframe 110: motor
120: Z axis stage 130: X axis stage
140: Y-axis feed section 141: Y-axis rail
143: Y-axis guide block 145: cylinder
150: X axis guide rail 160: Z axis guide rail
170: support frame 180: X axis motor
190: Z axis motor 200: Vacuum seal
300: corrugated pipe

Claims (9)

챔버 내부에 위치하는 상부 스테이지;
상기 상부 스테이지에 결합되는 이동축;
상기 챔버 상부에 장착되는 메인프레임; 및
상기 이동축을 축방향으로 회전시키는 모터와, 상기 모터를 수평방향으로 이동시키는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지와 직교하는 수평방향으로 상기 Z축 스테이지를 이동시키는 X축 스테이지를 가지며, 상기 메인프레임에 수직이동가능하게 장착되는 이동모듈;
을 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.An upper stage located inside the chamber;
A moving shaft coupled to the upper stage;
A mainframe mounted on the chamber; And
The main frame having a motor for rotating the moving shaft in an axial direction, a Z axis stage for moving the motor in a horizontal direction, and an X axis stage for moving the Z axis stage in a horizontal direction perpendicular to the Z axis stage, A moving module mounted on the vertical movable part;
Containing, a transfer device for alignment. 제1항에 있어서,
상기 이동모듈은 상기 메인프레임에 대해 상기 이동축을 수직이동시키는 적어도 하나의 Y축 이송부;를 더 포함하며,
상기 Y축 이송부는,
상기 메인프레임의 수직방향으로 장착되는 Y축 레일;
상기 Y축 레일에 이동가능하게 장착되는 Y축 가이드블럭; 및
상기 Y축 가이드블럭을 이동시키는 실린더;
를 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.The method of claim 1,
The moving module further includes at least one Y-axis transfer unit for vertically moving the moving axis with respect to the main frame,
The Y-axis transfer unit,
A Y-axis rail mounted in the vertical direction of the main frame;
A Y-axis guide block movably mounted on the Y-axis rail; And
A cylinder for moving the Y-axis guide block;
Containing, a transfer device for alignment. 제2항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 X축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 메인프레임의 상기 Y축 가이드블럭에 장착되는 X축 가이드레일;을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.The method of claim 2,
The moving module,
And an X-axis guide rail movably supporting the X-axis stage and mounted to the Y-axis guide block of the main frame. 제2항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 Z축 스테이지를 이동가능하게 지지하며 상기 X축 스테이지에 장착되는 Z축 가이드레일;을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.The method of claim 2,
The moving module,
And a Z-axis guide rail movably supporting the Z-axis stage and mounted to the X-axis stage. 제1항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 모터가 상기 Z축 스테이지에 지지되도록 하는 지지프레임을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.The method of claim 1,
The moving module,
And a support frame for allowing the motor to be supported on the Z-axis stage. 제5항에 있어서,
상기 Z축 스테이지, X축 스테이지, X축 가이드레일은 상기 이동축이 관통되면서 이동할 수 있도록 중공 형상을 갖는, 얼라인을 위한 이송장치.The method of claim 5,
The Z-axis stage, the X-axis stage, the X-axis guide rail has a hollow shape so that the moving shaft can move through, the transfer apparatus for the alignment. 제6항에 있어서,
상기 이동모듈은,
상기 X축 스테이지가 상기 X축 가이드레일을 따라 이동하록 하는 X축 모터; 및
상기 Z축 스테이지가 상기 X축 스테이지를 따라 이동하도록 하는 Z축 모터;
를 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.The method according to claim 6,
The moving module,
An X-axis motor for moving the X-axis stage along the X-axis guide rail; And
A Z-axis motor for causing the Z-axis stage to move along the X-axis stage;
Further comprising, the transfer device for alignment. 제7항에 있어서,
상기 지지프레임과 상기 Z축 스테이지의 사이에는 상기 이동축을 감싸도록 내부가 진공상태로 밀봉되는, 얼라인을 위한 이송장치.The method of claim 7, wherein
Transfer between the support frame and the Z-axis stage is sealed in a vacuum state to surround the moving shaft, the alignment apparatus for alignment. 제8항에 있어서,
상기 얼라인을 위한 이송장치는,
상기 X축 가이드레일과 상기 챔버의 사이에 장착되는 주름관;을 더 포함하는, 얼라인을 위한 이송장치.9. The method of claim 8,
The transfer device for the alignment,
And a corrugated pipe mounted between the X-axis guide rail and the chamber.
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