KR20120132424A - 전도성 구리 나노잉크의 광소결 방법 - Google Patents
전도성 구리 나노잉크의 광소결 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2는 본 발명에 따른 광소결 장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 기판에 패터닝된 나노/마이크로 사이즈의 구리 잉크를 극단파 광소결 시스템을 이용하여 소결하는 과정을 보여주는 모식도이다.
도 4는 본 발명에 따른 제논 램프의 단펄스 백색광에 대한 그래프이다.
도 5는 본 발명에 따른 구리 나노잉크의 극단파 백색광 조건에 따른 저항 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예 1에 따른 구리 나노잉크의 소결 전과 소결 후 전자현미경사진이다.
도 7은 본 발명의 실시예 1에 따른 구리 나노잉크의 소결 전후의 X-선 회절법을 이용한 분석 결과이다.
도 8은 본 발명의 실시예 1에 따른 잉크젯 프린팅된 구리 잉크 패턴의 광소결 전후 사진이다.
도 9는 본 발명의 실시예 4에 따른 하이브리드 구리 나노잉크의 극단파 백색광 조건에 따른 저항 그래프이다.
도 10은 본 발명의 실시예 4에 따른 하이브리드 구리 나노잉크의 광소결 조건에 따른 전자현미경사진이다.
Claims (13)
- 구리 나노입자 또는 구리 전구체 또는 이들의 혼합물과 고분자 바인더 수지를 포함하는 구리 나노잉크를 제조하는 단계;
상기 구리 나노잉크를 기판에 코팅하는 단계; 및
상기 기판에 코팅된 구리 나노잉크를 제논 플래쉬 램프로부터 조사된 백색광을 이용하여 광소결하는 단계를 포함하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 구리 나노입자의 크기는 10 ~ 200 nm 인 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 구리 전구체는 CuCl, CuCl₂, Cu(acac)₂, Cu(hfac)₂, Cu(tfac)₂, Cu(dpm)₂, Cu(ppm)₂, Cu(fod)₂, Cu(acim)₂, Cu(nona-F)₂, Cu(acen)₂, Cu(NO3)2?3H20 또는 CuSO4?5H20 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 고분자 바인더 수지는 폴리비닐필롤리돈, 폴리비닐알콜, 폴리비닐부티랄, 폴리에틸렌글리콜, 폴리메틸메타크릴레이트, 덱스트란 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 구리 나노잉크 중 고분자 바인더 수지의 함량은 1 ~ 50 중량%인 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 기판은 PI(폴리이미드 필름), BT 에폭시/유리 섬유, PT(폴리에틸렌 필름), 포토페이퍼 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 코팅 방법은 스크린 프린팅(screen printing), 잉크젯 프린팅(inkjet printing), 그라뷰어링(Gravuring) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 소결 단계는 일 단계 또는 여러 단계로 수행되는 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제8항에 있어서,
상기 소결 단계는 예열(조직 치밀화) 또는 용매 건조를 위한 예비 광조사 단계와 입자 소결을 위한 광소결 단계로 나누어 수행되는 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제논 플래쉬 램프의 펄스 폭(Pulse width)은 0.1 ~ 100 ms인 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제논 플래쉬 램프의 펄스 갭(Pulse gap)은 0.1 ~ 100 ms인 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제논 플래쉬 램프의 펄스 수(Pulse number)는 1 ~ 1000번인 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제논 플래쉬 램프의 강도(Intensity)는 0.01 ~ 100 J/㎠ 인 것을 특징으로 하는 구리 나노잉크의 광소결 방법.
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20150528 Patent event code: PE09021S01D |
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AMND | Amendment | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20150828 Patent event code: PE09021S01D |
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AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20160225 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20150828 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I Patent event date: 20150528 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |
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AMND | Amendment | ||
PX0901 | Re-examination |
Patent event code: PX09011S01I Patent event date: 20160225 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PX09012R01I Patent event date: 20151014 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX09012R01I Patent event date: 20150619 Comment text: Amendment to Specification, etc. |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20160418 Patent event code: PE09021S01D |
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AMND | Amendment | ||
PX0601 | Decision of rejection after re-examination |
Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PX06014S01D Patent event date: 20160810 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX06012R01I Patent event date: 20160523 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PX06013S01I Patent event date: 20160418 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX06012R01I Patent event date: 20160314 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PX06011S01I Patent event date: 20160225 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX06012R01I Patent event date: 20151014 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PX06013S01I Patent event date: 20150828 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX06012R01I Patent event date: 20150619 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PX06013S01I Patent event date: 20150528 |