KR20120109240A

KR20120109240A - Apparatus for clamping substrate

Info

Publication number: KR20120109240A
Application number: KR1020110027707A
Authority: KR
Inventors: 반종억
Original assignee: 삼성테크윈 주식회사
Priority date: 2011-03-28
Filing date: 2011-03-28
Publication date: 2012-10-08
Anticipated expiration: 2031-03-28
Also published as: CN102699842B; KR101748619B1; CN102699842A

Abstract

4절 링크 방식의 가이드 수단을 이용하여 기판의 상부를 클램프 커버에 완전히 밀착시키는 기판 클램핑 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치는, 상하 방향으로 왕복 이동함으로써 기판을 클램프하거나 언클램프하는 클램프 플레이트; 및 상기 클램프 플레이트의 수평을 유지하면서 소정의 변위만큼 상기 클램프 플레이트를 왕복 이동시키는 4절 링크 방식의 가이드 수단을 포함한다.A substrate clamping device is provided which completely adheres an upper portion of a substrate to a clamp cover by using a four-section guide means. Substrate clamping device according to an embodiment of the present invention, the clamp plate for clamping or unclamping the substrate by reciprocating in the vertical direction; And a four section link guide means for reciprocating the clamp plate by a predetermined displacement while keeping the clamp plate horizontal.

Description

Apparatus for clamping substrate

본 발명은 기판 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 4절 링크 방식의 가이드 수단을 이용하여 기판의 상부를 클램프 커버에 완전히 밀착시키는 기판 클램핑 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate clamping device, and more particularly, to a substrate clamping device for completely contacting the upper portion of the substrate to the clamp cover using a four-section guide means.

인쇄회로기판(PCB, Printed Ciruit Board)을 지지하는 기판 클램핑 장치는 기판을 밀어올려주는 클램프 플레이트와 상부에서 기판의 상승을 억제하는 클램프 커버로 구성된다. The substrate clamping device for supporting a printed circuit board (PCB) is composed of a clamp plate that pushes up the substrate and a clamp cover that suppresses the rise of the substrate from the top.

도 1에 종래의 기판 클램핑 장치가 도시되어 있다.1 shows a conventional substrate clamping device.

도 1에 도시된 기판 클램핑 장치(1)에서, 백업 플레이트(2)의 상하 운동에 따라 클램프 플레이트(4)에 연결된 클램프 로드(3)가 상하 운동을 하게 되며, 이에 따라 클램프 플레이트(4) 위의 기판(7)도 상하 운동을 하게 된다. 클램프 플레이트(4) 위에서 상승되는 기판(7)은 클램프 플레이트(4) 위에 위치한 클램프 커버(5)에 의해 그 상승이 억제된다.In the substrate clamping device 1 shown in FIG. 1, the clamp rod 3 connected to the clamp plate 4 moves up and down in accordance with the up and down movement of the backup plate 2. The substrate 7 also moves up and down. The substrate 7 raised above the clamp plate 4 is suppressed from rising by the clamp cover 5 located above the clamp plate 4.

이 때, 클램프 플레이트(4)는 기판(7)의 클램프 또는 언클램프를 위해 상하로 이동하기 위한 가이드 수단(6)이 필요한데, 상기 가이드 수단(6)으로 LM 가이드 또는 부시형 가이드의 베어링이 사용된다.At this time, the clamp plate 4 needs a guide means 6 for moving up and down for clamping or unclamping of the substrate 7, and the bearing of the LM guide or bush-type guide is used as the guide means 6. do.

LM 가이드(linear motion guide)는 직선운동 베어링의 일종으로서, 정밀하게 연삭 가공된 레일의 홈을 블럭이 움직이는 구조이다. 또한, 부시형 가이드는 원통 LM 샤프트와 조합하여 무한 직선운동을 하는 구조이다.Linear motion guide (LM) is a kind of linear motion bearing, in which a block moves through a groove of a rail that is precisely ground. In addition, the bush-type guide is a structure that performs infinite linear movement in combination with the cylindrical LM shaft.

이러한 LM 가이드 또는 부시형 가이드를 이용한 가이드 방식은 강성이 낮고, 틈새가 있어 기판의 정확한 고정이 어렵다. 특히, 크기가 작은 기판(7)은 일부만 클램핑이 이루어져 하부의 클램프 플레이트(4)가 전 영역에 걸쳐 동일한 힘을 받는 것이 아니라, 비틀림 모멘트를 받게 된다. 이는 LM 가이드 또는 부시형 가이드의 안내 길이기 짧고 강성이 충분하지 못해 클램핑이 정확히 이루어지지 않기 때문이다.The guide method using the LM guide or bush-type guide is low rigidity, there is a gap, it is difficult to accurately fix the substrate. In particular, the small sized substrate 7 is partially clamped so that the lower clamp plate 4 is not subjected to the same force over the entire area, but is subjected to a torsional moment. This is because the guide length of the LM guide or bush type guide is short and the rigidity is not sufficient, so the clamping is not performed correctly.

그리고, LM 가이드 또는 부시형 가이드는 안내 길이가 짧아 미소한 유격에도 비틀림이 발생하는 구조상 문제뿐만 아니라, 비용이 고가이어서 이를 채용한 클램핑 장치의 비용이 상승되는 문제가 발생한다.In addition, the LM guide or the bush-type guide has a short guide length, and not only a structural problem in which a twist occurs even in a small play, but also a cost is high, resulting in an increase in the cost of the clamping device employing the guide.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 4절 링크 방식이 채용된 가이드 수단을 이용하여 기판 상부면 전체가 균일하게 밀착된 클램핑이 가능한 기판 클램핑 장치를 제공한다.The present invention is to solve the above problems, and provides a substrate clamping apparatus capable of clamping the entire upper surface of the substrate uniformly by using a guide means employing a four-section link method.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치는, 상하 방향으로 왕복 이동함으로써 기판을 클램프하거나 언클램프하는 클램프 플레이트; 및 상기 클램프 플레이트의 수평을 유지하면서 소정의 변위만큼 상기 클램프 플레이트를 왕복 이동시키는 4절 링크 방식의 가이드 수단을 포함한다.A substrate clamping device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the clamp plate for clamping or unclamping the substrate by reciprocating in the vertical direction; And a four section link guide means for reciprocating the clamp plate by a predetermined displacement while keeping the clamp plate horizontal.

가이드 수단은, 상기 클램프 플레이트의 일측 및 타측에 적어도 2개 이상이 설치될 수 있다.At least two guide means may be installed on one side and the other side of the clamp plate.

가이드 수단은, 컨베이어에 연결되는 고정 링크부재, 상기 고정 링크부재의 일측 및 타측에서 각각 일 방향으로 연장되는 복수의 연결 링크부재, 및 상기 연결 링크부재에 연결되어 상기 클램프 플레이트에 연결되는 작동 링크부재로 구성될 수 있다. The guide means includes a fixed link member connected to the conveyor, a plurality of connection link members extending in one direction from one side and the other side of the fixed link member, and an operation link member connected to the connection link member and connected to the clamp plate. It can be configured as.

가이드 수단은, 컨베이어에 연결되어 지지되는 지지부재 및 상기 지지부재로부터 연장되어 상기 클램프 플레이트에 연결되는 연결부재를 구비하며, 상기 연결부재는 내부에 중공을 구비할 수 있다. The guide means may include a support member connected to the conveyor and supported by a support member extending from the support member and connected to the clamp plate, and the connection member may have a hollow inside.

연결부재에 구비된 상기 중공 및 상기 중공에 접촉하는 상기 연결부재의 네 접촉 영역이 각각 링크절이 되는 기계식 힌지 구조일 수 있다.It may be a mechanical hinge structure in which the four contact areas of the hollow and the connecting member in contact with the hollow provided in the connecting member are each a link section.

가이드 수단은, 컨베이어에 연결되는 고정 링크부재, 상기 고정 링크부재에 평행하게 왕복 운동하도록 상기 클램프 플레이트에 연결되는 작동 링크부재, 상기 작동 및 고정 링크부재를 연결시키는 복수의 탄성 링크부재로 구성되며, 상기 탄성 링크부재는, 인장력에 의해 상기 작동 링크부재가 소정 범위 내에서 왕복 운동하도록 하는 탄성 힌지 구조일 수 있다.The guide means comprises a fixed link member connected to the conveyor, an operating link member connected to the clamp plate to reciprocate in parallel with the fixed link member, and a plurality of elastic link members connecting the actuating and fixed link members, The elastic link member may be an elastic hinge structure to allow the operation link member to reciprocate within a predetermined range by a tensile force.

탄성 링크부재는, 판 스프링일 수 있다.The elastic link member may be a leaf spring.

클램프 플레이트에 삽입되어 일단이 상기 가이드 수단에 연결되며, 타단이 상기 클램프 플레이트로부터 돌출되는 클램프 로드를 더 포함할 수 있다.The clamp plate may further include a clamp rod inserted into the clamp plate and having one end connected to the guide means and the other end protruding from the clamp plate.

클램프 플레이트의 하부에 위치하여 상하 왕복 운동을 하여 상기 클램프 로드를 상하 이동시키는 백업 플레이트를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a backup plate positioned below the clamp plate to vertically reciprocate to move the clamp rod up and down.

클램프 플레이트의 상부에 위치하여 상기 클램프 플레이트에 지지되어 상승하는 상기 기판의 이동을 억제하는 클램프 커버를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a clamp cover positioned on the clamp plate to suppress movement of the substrate that is supported by the clamp plate and rises.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

본 발명에 따르면, 4절 링크 방식의 가이드 수단을 이용하여 기판의 상부면을 클램프 커버에 완전히 밀착시킴으로써 기판의 클램핑이 완전하도록 한다.According to the present invention, the clamping of the substrate is completed by closely contacting the upper surface of the substrate to the clamp cover using a four-section guide means.

그리고, LM 가이드 수단 또는 부시형 가이드 수단을 4절 링크 방식의 기계식 힌지 구조 또는 탄성 힌지 구조의 가이드 수단으로 대체함으로써 클램핑 장치의 생산 비용이 절감된다.In addition, the production cost of the clamping device is reduced by replacing the LM guide means or the bush-type guide means with the guide means of the four-way linkage mechanical hinge structure or the elastic hinge structure.

도 1은 종래의 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계식 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 클램핑을 도식적으로 도시한 도면이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계식 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 언클램핑을 도식적으로 도시한 도면이고,
도 3c는 기계식 힌지 구조를 확대한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 클램핑을 도식적으로 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 언클램핑을 도식적으로 도시한 도면이다.
도 4c는 탄성 힌지 구조를 확대한 도면이다.1 is a view schematically showing a conventional substrate clamping device.
2 is a view schematically showing a substrate clamping device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3A schematically illustrates clamping of a substrate clamping device employing a mechanical hinge structure in accordance with one embodiment of the present invention. FIG.
3B is a diagram schematically illustrating an unclamping of a substrate clamping device employing a mechanical hinge structure according to an embodiment of the present invention.
3C is an enlarged view of the mechanical hinge structure.
4A is a diagram schematically illustrating a clamping of a substrate clamping device employing an elastic hinge structure according to an embodiment of the present invention.
4B is a diagram schematically illustrating an unclamping of a substrate clamping device employing an elastic hinge structure according to an embodiment of the present invention.
4C is an enlarged view of the elastic hinge structure.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and methods of achieving the same will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms "comprises" and / or "made of" means that a component, step, operation, and / or element may be embodied in one or more other components, steps, operations, and / And does not exclude the presence or addition thereof.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used in a sense that can be commonly understood by those skilled in the art. Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.

이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a substrate clamping device according to an embodiment of the present invention.

기판 클램프 장치(10)는, 기판(7)을 지지하며 왕복 이동하는 클램프 플레이트(16)와, 클램프 플레이트(16)를 수평을 유지하며 소정의 변위만큼 왕복 이동시키는 4절 링크 방식의 가이드 수단(20)을 포함한다.The substrate clamp device 10 includes a clamp plate 16 that reciprocates while supporting the substrate 7, and guide means of a four-section link method for reciprocating the clamp plate 16 by a predetermined displacement while keeping the clamp plate 16 horizontal ( 20).

또한, 기판 클램프 장치(10)는, 백업 플레이트(12), 클램프 로드(14), 클램프 커버(18)를 더 포함할 수도 있다.In addition, the substrate clamp device 10 may further include a backup plate 12, a clamp rod 14, and a clamp cover 18.

그리고, 기판(7)은 컨베이어(8)에 의해 운송되어 기판 클램프 장치(10)의 클램프 플레이트(16) 상부에 적치되며, 또한 상기 컨베이어(8)는 상기 4절 링크 방식의 가이드 수단(20)을 지지하는 역할도 수행한다.In addition, the substrate 7 is transported by the conveyor 8 to be placed on the clamp plate 16 of the substrate clamp device 10, and the conveyor 8 is the guide section 20 of the four-section link method. It also serves as a supporter.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판(7)이 클램프 플레이트(16)에 비하여 작기 때문에 가이드 수단(20)이 완벽한 수평을 유지해야만 기판(7) 상부면과 클램핑 커버(18) 사이에 틈새를 허용하지 않는 완벽한 클램핑이 가능하다.As shown in FIG. 2, because the substrate 7 is small compared to the clamp plate 16, the guide means 20 must be perfectly level to allow clearance between the substrate 7 top surface and the clamping cover 18. Perfect clamping is possible.

클램프 플레이트(16)의 상면에 기판(7)이 위치하므로, 기판(7)을 상방으로 밀어올려 클램핑을 한다. 클램프 플레이트(16)에는 클램프 로드(14) 및 가이드 수단(20)이 연결된다.Since the substrate 7 is located on the upper surface of the clamp plate 16, the substrate 7 is pushed upward to clamp it. The clamp rod 14 and the guide means 20 are connected to the clamp plate 16.

클램프 로드(14)는, 클램프 로드(14)의 일단이 클램프 플레이트(16)에 삽입되어 가이드 수단(20)은 기구학적으로 연결되며, 클램프 로드(14)의 타단은 클램프 플레이트(16)로부터 돌출된다. The clamp rod 14 has one end of the clamp rod 14 inserted into the clamp plate 16 so that the guide means 20 is mechanically connected, and the other end of the clamp rod 14 protrudes from the clamp plate 16. do.

클램프 로드(14)와 가이드 수단(20)이 연결되어 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 가이드 수단(20)도 상하 운동을 하게 된다. 물론, 클램프 로드(14)와 가이드 수단(20)이 직접 접촉하여 연결될 필요는 없고, 클램프 플레이트(16)를 매개로 하여 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 가이드 수단(20)도 상하 운동을 하도록 구성될 수 있다. 즉, 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 클램프 플레이트(16)가 상하 운동을 하게 되며, 이를 통해 클램프 플레이트(16)에 직접 연결된 가이드 수단(20)의 일부분이 동작하게 된다.The clamp rod 14 and the guide means 20 are connected so that the guide means 20 also moves up and down in accordance with the up and down movement of the clamp rod 14. Of course, the clamp rod 14 and the guide means 20 do not need to be directly contacted and connected, and the guide means 20 also moves up and down according to the vertical movement of the clamp rod 14 via the clamp plate 16. It can be configured to. That is, the clamp plate 16 moves up and down according to the up and down movement of the clamp rod 14, through which a part of the guide means 20 directly connected to the clamp plate 16 is operated.

백업 플레이트(12)는, 클램프 플레이트(16)의 하부에 위치하여 상하 왕복 운동을 하며, 백업 플레이트(12)의 이동에 따라 클램프 로드(14)도 이동을 하게 된다. 백업 플레이트(12)는 모터 등의 구동 장치(미도시 됨)로부터 동력을 전달 받아 상하로 이동하여 클램프 로드(14), 클램프 플레이트(16)를 이동시키게 된다. 백업 플레이트(12) 상부의 클램프 플레이트(16)가 완벽한 수평을 유지한다면, 백업 플레이트(12)는 적은 강성으로도 가져도 되어 백업 플레이트(12)의 설계 원가가 절감되는 효과를 얻을 수 있다.The backup plate 12 is positioned below the clamp plate 16 to vertically reciprocate, and the clamp rod 14 also moves in accordance with the movement of the backup plate 12. The backup plate 12 receives power from a driving device such as a motor (not shown) and moves up and down to move the clamp rod 14 and the clamp plate 16. If the clamp plate 16 on the backup plate 12 is perfectly horizontal, the backup plate 12 may have a low rigidity, thereby reducing the design cost of the backup plate 12.

클램프 커버(18)는, 클램프 플레이트(16)의 상부에 위치하여 상기 클램프 플레이트(16)에 지지되어 상승하는 기판(7)의 상승을 억제한다. 즉, 클램프 플레이트(16)의 위에 놓여진 기판(7)은 클램프 로드(14) 및 백업 플레이트(12)에 의해 상승하여 클램프 커버(18)의 하면과 접촉하여 클램핑이 이루어진다.The clamp cover 18 is located above the clamp plate 16 and is supported by the clamp plate 16 to suppress the rise of the substrate 7 that rises. That is, the substrate 7 placed on the clamp plate 16 is lifted by the clamp rod 14 and the backup plate 12 to be in contact with the lower surface of the clamp cover 18 to be clamped.

가이드 수단(20)은 클램프 플레이트(16)를 수평을 유지하며 클램프 플레이트(16)를 소정의 변위만큼 왕복 이동시킨다. 즉, 가이드 수단(20)에 의해 클램프 플레이트(16)는 수평을 유지하며, 수직 방향(z축 방향)으로만 일정 범위로 움직이게 된다. 이를 위해 가이드 수단(20)에 4절 링크 방식이 채택된다.The guide means 20 keeps the clamp plate 16 horizontal and reciprocates the clamp plate 16 by a predetermined displacement. That is, the guide plate 20 keeps the clamp plate 16 horizontal and moves in a predetermined range only in the vertical direction (z-axis direction). For this purpose, a four-section link scheme is adopted for the guide means 20.

따라서, 가이드 수단(20)은, 컨베이어(8)에 연결되는 고정 링크부재(21), 상기 고정 링크부재(21)의 일측 및 타측에서 각각 일 방향으로 연장되는 복수의 연결 링크부재(23), 및 상기 연결 링크부재(23)에 연결되어 클램프 플레이트(16)에 연결되는 작동 링크부재(22)로 구성된다. 이 때, 연결 링크부재(23)는 2개가 될 것이나, 이에 제한되는 것은 아니다.Therefore, the guide means 20, the fixed link member 21 is connected to the conveyor 8, a plurality of connecting link members 23 extending in one direction from one side and the other side of the fixed link member 21, And an operation link member 22 connected to the connection link member 23 and connected to the clamp plate 16. At this time, the connecting link member 23 will be two, but is not limited thereto.

또한, 가이드 수단(20)은, 클램프 플레이트(16)의 수평을 유지하는 역할을 하므로, 클램프 플레이트(16)의 일측 및 타측에 적어도 2개 이상이 설치되는 것이 바람직하다. In addition, since the guide means 20 plays a role of keeping the clamp plate 16 horizontal, at least two or more guide parts 20 are preferably provided on one side and the other side of the clamp plate 16.

가이드 수단(20)의 고정 링크부재(21)는 컨베이어(8)에 연결되어 고정되며, 볼트 등의 체결 수단으로 연결된다. 일례로 도 2에 네 개의 볼트로 컨베이어(8)에 체결된 고정 링크부재(21)가 도시되어 있다. 이 때, 고정 링크부재(21)가 연결 링크부재(23)에 연결되도록 두 부분으로 분리되어 있을 수도 있다. 고정 링크부재(21)는 클램프 로드(14)의 운동에도 컨베이어(8)에 고정되어 있게 된다.The fixed link member 21 of the guide means 20 is connected and fixed to the conveyor 8, it is connected by a fastening means such as bolts. 2 shows a fixed link member 21 fastened to the conveyor 8 with four bolts. At this time, the fixed link member 21 may be separated into two parts to be connected to the connection link member 23. The fixed link member 21 is fixed to the conveyor 8 even in the movement of the clamp rod 14.

작동 링크부재(22)는 클램프 플레이트(16)에 연결되며, 일반적으로 클램프 플레이트의 뒤쪽에 위치할 것이나, 이에 제한되는 것은 아님은 물론이다. 작동 링크부재(22)는 클램프 로드(14)의 운동에 따라 이동하게 된다. 즉, 클램프 플레이트(16)에 연결된 작동 링크부재(22)가 주동절의 역할을 한다.The actuating link member 22 is connected to the clamp plate 16 and will generally be located at the rear of the clamp plate, but is not limited thereto. The actuating link member 22 is moved according to the movement of the clamp rod 14. That is, the operation link member 22 connected to the clamp plate 16 serves as the main winter.

연결링크부재(23)는, 일단부가 컨베이어(8)에 연결된 고정 링크부재(21)에 연결되고, 타단부가 클램프 플레이트(16)에 연결된 작동 링크부재(22)에 연결된다. 도 2에 도시한 가이드 수단(20) 내에는 2개의 연결링크부재(23)가 구비되어 있다. 2개의 연결 링크부재(23)가 일반적일 것이나, 물론 이에 제한되지 않는다. The connecting link member 23 is connected to the fixed link member 21 connected to the conveyor 8 at one end thereof and to the operation link member 22 connected to the clamp plate 16 at the other end thereof. In the guide means 20 shown in FIG. 2, two connecting link members 23 are provided. Two connecting link members 23 will be common, but of course not limited thereto.

작동 링크부재(22)에 연결된 연결링크부재(23)의 일정 부분이 작동 링크부재(22)의 상하 운동에 따라 소정의 길이로 상하 운동을 한다. 즉, 작동 링크부재(22)에 연결된 연결링크부재(23)가 종동절의 역할을 한다. A portion of the link link member 23 connected to the actuating link member 22 moves up and down by a predetermined length according to the up and down motion of the actuating link member 22. That is, the connection link member 23 connected to the operation link member 22 serves as a follower.

복수의 연결링크부재(23)는 소정의 길이를 가지고 있고, 한 쪽은 고정 링크부재(21)에 연결되어 고정되어 있어, 작동 링크부재(22)의 운동에도 소정 범위만큼만 이동하게 된다. The plurality of connection link members 23 have a predetermined length, and one side of the plurality of connection link members 23 is fixed to the fixed link member 21 to move only by a predetermined range in the movement of the operation link member 22.

그러므로, 가이드 수단(20)은 고정 링크부재, 작동 링크부재 및 2개의 연결 링크부재의 네 링크부재가 연결되어 4절의 링크 방식으로 클램프 플레이트(16)를 안내한다. 물론 연결 링크부재가 2개가 아니더라도 4절 링크 방식을 실현하는 한 본 발명의 범주에 속한다 할 것이다. Therefore, the guide means 20 is connected to the four link members of the fixed link member, the actuating link member and the two connecting link members to guide the clamp plate 16 in a four-section link manner. Of course, even if there are not two connecting link members will be said to belong to the scope of the present invention as long as realize the four-section link method.

4절 링크 방식의 가이드 수단(20)의 구체적인 실시예는 후술하여 살펴 보도록 한다.A specific embodiment of the four-way link means 20 will be described later.

도 3a 및 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계식 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3c는 기계식 힌지 구조를 확대한 도면이다.3A and 3B schematically illustrate a substrate clamping apparatus employing a mechanical hinge structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3C is an enlarged view of the mechanical hinge structure.

도 3a는 기계식 힌지 구조가 채용된 가이드 수단(30)에 의해 클램프 플레이트(16)가 상승하여 기판(7)이 클램프 커버(18)에 클램핑된 것이고, 도 3b는 클램프 플레이트(16)가 하강하여 기판(7)이 클램프 커버(18)로부터 언클램핑된 것이다.3A shows that the clamp plate 16 is raised by the guide means 30 employing the mechanical hinge structure, and the substrate 7 is clamped to the clamp cover 18. FIG. 3B shows that the clamp plate 16 is lowered. The substrate 7 is unclamped from the clamp cover 18.

기판 클램핑 장치(10)의 가이드 수단(20)이 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)으로 대체된 것을 제외하면, 다른 구성은 전술한 바와 같다. 즉, 기판 클램프 장치(10)는, 클램프 플레이트(16)와, 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)외에, 백업 플레이트(12), 클램프 로드(14), 클램프 커버(18)를 더 포함한다.Other configurations are as described above, except that the guide means 20 of the substrate clamping device 10 is replaced by the guide means 30 of the mechanical hinge structure. That is, the substrate clamp device 10 further includes a backup plate 12, a clamp rod 14, and a clamp cover 18 in addition to the clamp plate 16 and the guide means 30 of the mechanical hinge structure.

기계식 힌지(mechanical hinge)는 4개의 링크부재를 가진 가이드 수단(20)과 달리 네 영역에서 링크절 역할을 수행하여 별도의 링크부재를 가질 필요가 없다.The mechanical hinge does not need to have a separate link member by acting as a link node in four areas, unlike the guide means 20 having four link members.

도 3c에서, 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)은 컨베이어(8)에 연결되어 지지되는 지지부재(31) 및 지지부재(31)로부터 연장되어 클램프 플레이트(16)에 연결되는 연결부재(32)를 구비하며, 연결부재는 내부에 중공(33)을 구비한다. In FIG. 3C, the guide means 30 of the mechanical hinge structure is supported by the support member 31 connected to the conveyor 8 and the connecting member 32 extending from the support member 31 and connected to the clamp plate 16. Is provided, the connection member is provided with a hollow 33 therein.

지지부재(31)는 볼트, 나사 등의 체결수단으로, 도 3에 볼트 2개에 의해 컨베이어(8)에 체결된 것이 일례로 도시되어 있다.The supporting member 31 is a fastening means such as a bolt or a screw, and is fastened to the conveyor 8 by two bolts in FIG. 3 as an example.

연결부재(32)는 지지부재(31)를 통해 컨베이어(8)에 고정된다. 또한, 연결부재(32)의 일단은 클램프 플레이트(16)에 일체로 연결되거나, 체결 수단 등에 의해 연결될 수도 있다.The connecting member 32 is fixed to the conveyor 8 via the supporting member 31. In addition, one end of the connecting member 32 may be integrally connected to the clamp plate 16, or may be connected by a fastening means or the like.

연결부재(32)에 구비된 중공(33) 및 상기 중공에 접촉하는 상기 연결부재(32)의 네 접촉 영역(33)이 각각 링크절이 되어 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)을 형성한다.The hollow 33 provided in the connecting member 32 and the four contact regions 33 of the connecting member 32 in contact with the hollow are link sections, respectively, to form the guide means 30 of the mechanical hinge structure.

도 3c에 도시한 우상/우하 링크절들(33)은 지지부재(31)에 근접 위치하여 고정절이 되며, 좌상/좌하 링크절들(33)은 클램프 플레이트(16)에 근접 위치하여 운동절이 된다. 즉, 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 클램프 플레이트(16)에 근접 위치한 두 링크절들(33)이 상하로 왕복 운동하게 된다. The upper right / lower link sections 33 shown in FIG. 3C are positioned near the support member 31 to be fixed sections, and the upper left / lower link sections 33 are located close to the clamp plate 16 to form a motion section. . That is, according to the vertical movement of the clamp rod 14, the two link nodes 33 close to the clamp plate 16 are reciprocated up and down.

따라서, 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)은 별도의 4개의 링크부재가 필요하지 않고, 가운데에 중공을 형성하여 4개의 링크절을 대체하게 된다. Therefore, the guide means 30 of the mechanical hinge structure does not need four separate link members, and forms a hollow in the center to replace the four link sections.

이 때, 기계식 힌지 구조(30)의 네 링크절은 자유로운 유동이 가능하며, 기계식 힌지 구조(30)의 전후 방향 두께가 힌지의 최소 곡면의 두께보다 충분히 두껍기 때문에 전후 방향의 강성은 거의 무한대에 가깝게 되는 장점이 있다.At this time, the four linkages of the mechanical hinge structure 30 is free to flow, the rigidity of the mechanical hinge structure 30 is almost thicker than infinity because the front and rear thickness of the mechanical hinge structure 30 is sufficiently thicker than the minimum curved surface of the hinge. It has the advantage of being.

도 4a 및 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4c는 탄성 힌지 구조를 확대한 도면이다.4A and 4B schematically illustrate a substrate clamping device employing an elastic hinge structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4C is an enlarged view of the elastic hinge structure.

도 4a는 탄성 힌지 구조가 채용된 가이드 수단(40)에 의해 클램프 플레이트(16)가 상승하여 기판(7)이 클램프 커버(18)에 클램핑된 것이고, 도 4b는 클램프 플레이트(16)가 하강하여 기판(7)이 클램프 커버(18)로부터 언클램핑된 것이다.4A shows that the clamp plate 16 is raised by the guide means 40 employing the elastic hinge structure so that the substrate 7 is clamped to the clamp cover 18, and FIG. 4B shows that the clamp plate 16 is lowered. The substrate 7 is unclamped from the clamp cover 18.

기판 클램핑 장치(10)의 가이드 수단(20)이 탄성 힌지 구조의 가이드 수단(40)인 것을 제외하면, 다른 구성은 전술한 실시예에서와 같다. 즉, 기판 클램프 장치(10)는, 클램프 플레이트(16)와, 탄성 힌지 구조의 가이드 수단(40)외에, 백업 플레이트(12), 클램프 로드(14), 클램프 커버(18)를 더 포함한다.Except that the guide means 20 of the substrate clamping device 10 is the guide means 40 of the elastic hinge structure, the other configuration is the same as in the above-described embodiment. That is, the substrate clamp device 10 further includes a backup plate 12, a clamp rod 14, and a clamp cover 18 in addition to the clamp plate 16 and the guide means 40 of the elastic hinge structure.

탄성 힌지 구조의 가이드 수단(40)도 네 개의 링크부재를 구비한 가이드 수단(20)과 그 구성은 유사하다. 다만, 연결 링크부재(23)가 탄성 링크부재(43)로 대체된다.The guide means 40 of the elastic hinge structure is similar in configuration to the guide means 20 having four link members. However, the link link member 23 is replaced by the elastic link member 43.

도 4c에서, 탄성 힌지 구조의 가이드 수단(30)은, 컨베이어(8)에 연결되는 고정 링크부재(41), 고정 링크부재(41)에 평행하게 왕복 운동하도록 클램프 플레이트(16)에 연결되는 작동 링크부재(42), 작동 및 고정 링크부재(41, 42)를 연결시키는 복수의 탄성 링크부재(43)로 구성된다. 여기에서, 탄성 링크부재(43)는, 탄성력에 의해 유발되는 인장력에 의해 작동 링크부재(42)가 소정 범위 내에서 왕복 운동하도록 허용한다.In FIG. 4C, the guide means 30 of the elastic hinge structure is connected to the clamp plate 16 so as to reciprocate in parallel with the fixed link member 41 and the fixed link member 41, which are connected to the conveyor 8. It comprises a link member 42, a plurality of elastic link members 43 for connecting the actuating and stationary link members (41, 42). Here, the elastic link member 43 allows the actuating link member 42 to reciprocate within a predetermined range by the tensile force caused by the elastic force.

탄성 링크부재(43)는 압축 스프링, 인장 스프링 등 여러 스프링이 사용될 수 있으나, 작동 링크부재(42)가 고정 링크부재(41)에 평행하게 이동하므로, 탄성 링크부재(43)는 판 스프링이 바람직하다.The elastic link member 43 may be any spring such as a compression spring or a tension spring, but since the operation link member 42 moves parallel to the fixed link member 41, the elastic link member 43 is preferably a leaf spring. Do.

따라서, 클램프 로드(14)의 운동에 따라 작동 링크부재(42)가 상하로 움직이더라도 탄성 링크부재(43)가 탄성력을 가져 상기 작동 링크부재(42)의 운동 범위가 제한된다. Therefore, even if the operating link member 42 moves up and down in accordance with the movement of the clamp rod 14, the elastic link member 43 has an elastic force to limit the range of motion of the operating link member 42.

그러므로, 제1 및 제2 탄성 링크부재(43)에 의해 클램프 플레이트(16)가 수평을 유지하며 상하 이동이 가능하며, 클램프 플레이트(16) 위이 기판(7)이 클램프 커버(18)에 완전히 밀착되게 된다.Therefore, the clamp plate 16 is horizontal and vertically movable by the first and second elastic link members 43, and the substrate 7 on the clamp plate 16 is completely in close contact with the clamp cover 18. Will be.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

10: 기판 클램핑 장치 12: 백업 플레이트
14: 클램프 로드 16: 클램프 플레이트
18: 클램프 커버 20: 가이드 수단
30: 기계식 힌지 구조 31: 고정부재
32: 연결부재 33: 중공
40: 탄성 힌지 구조 41: 고정 링크부재
42: 작동 링크부재 43: 연결 링크부재10: substrate clamping device 12: backup plate
14: clamp rod 16: clamp plate
18: clamp cover 20: guide means
30: mechanical hinge structure 31: fixing member
32: connecting member 33: hollow
40: elastic hinge structure 41: fixed link member
42: working link member 43: connecting link member

Claims

A clamp plate for clamping or unclamping the substrate by reciprocating in the vertical direction; And
And a four-section link means for reciprocating the clamp plate by a predetermined displacement while keeping the clamp plate horizontal.

The method of claim 1,
And at least two guide means are installed at one side and the other side of the clamp plate.

The method of claim 1,
The guide means may include a fixed link member connected to the conveyor, a plurality of connection link members extending in one direction from one side and the other side of the fixed link member, and an operation link connected to the clamp plate and connected to the clamp plate. Substrate clamping device composed of members.

The method of claim 1,
The guide means includes a support member connected to and supported by a conveyor and a connection member extending from the support member and connected to the clamp plate,
The connecting member is a substrate clamping device having a hollow therein.

The method of claim 1,
The guide means comprises a fixed link member connected to the conveyor, an operating link member connected to the clamp plate to reciprocate in parallel with the fixed link member, and a plurality of elastic link members connecting the operating and fixed link members. ,
The elastic link member is a substrate clamping device having an elastic hinge structure for causing the operation link member to reciprocate within a predetermined range by a tensile force.

6. The method of claim 5,
And the elastic link member is a leaf spring.

The method of claim 1,
And a clamp rod inserted into the clamp plate and having one end connected to the guide means and the other end protruding from the clamp plate.

8. The method of claim 7,
And a backup plate positioned below the clamp plate to vertically reciprocate to move the clamp rod up and down.

The method of claim 1,
And a clamp cover positioned above the clamp plate to suppress movement of the substrate supported by the clamp plate and rising.