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KR20120082165A - 그린 시트 및 이의 제조방법 - Google Patents

그린 시트 및 이의 제조방법 Download PDF

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KR20120082165A
KR20120082165A KR1020110003515A KR20110003515A KR20120082165A KR 20120082165 A KR20120082165 A KR 20120082165A KR 1020110003515 A KR1020110003515 A KR 1020110003515A KR 20110003515 A KR20110003515 A KR 20110003515A KR 20120082165 A KR20120082165 A KR 20120082165A
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KR
South Korea
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release layer
green sheet
layer
surface energy
treatment
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020110003515A
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English (en)
Inventor
최원섭
최재헌
김정환
오대복
박재성
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to US13/165,491 priority patent/US20120183722A1/en
Priority to JP2011142777A priority patent/JP2012144034A/ja
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Abstract

본 발명은 기재 필름, 이형층, 및 그린 시트층이 순차적으로 적층된 구조이고, 상기 이형층은 중앙과 양 말단의 표면에너지가 상이한 것인 그린 시트와 이의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 이형층의 양 말단을 표면 개질시켜 이형층의 중앙과 양 말단의 표면에너지를 상이하게 조정함으로써, 이형층 양 말단의 높은 표면에너지로 인해 그린시트의 파형 결함(wave defects) 문제를 해결할 수 있다. 따라서, 그린 시트의 슬림화로 슬러리의 고형분 및 점도를 원하는 대로 조절 가능하여 유전체의 박막화가 가능하다. 이러한 박막의 유전체를 이용하여 단위 부피당 용량을 증가시켜, 초소형 초고용량 적층형 세라믹 콘덴서에 다양하게 적용될 수 있다.

Description

그린 시트 및 이의 제조방법{Green sheet and method of preparing the same}
본 발명은 적층형 세라믹 콘덴서에 사용되는 그린 시트 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
스마트폰과 같이 아주 작은 크기에 고용량을 필요로 하는 전자 기기들이 나타나면서 단위 면적당 더 많은 양의 칩들이 필요하게 되었다. 이러한 수요에 맞춰서 초소형 초고용량 적층형 세라믹 콘덴서의 개발이 진행되고 있다.
적층형 세라믹 콘덴서를 소형화시키면서 동시에 고용량시키기 위해서는 단위 부피당 용량이 증가되어야 한다. 단위 부피당 용량을 증가시키기 위해서는 유전체 파우더의 유전율을 높이는 방법, 유전체의 두께를 줄이는 방법, 그리고 내부 전극의 Coverage를 높이는 방법 등이 있다.
유전체의 박막화는 그린 시트의 박막화를 통해서만 가능하다. 그린 시트는 실리콘(Si)이 코팅된 기재(PET Film) 위에 도포된 적층형 세라믹 콘덴서 제조용 슬러리가 건조되면서 만들어 진다. 초박막 그린시트의 성형을 위해서 슬러리의 점도가 낮아지거나 또는 Si 이 코팅된 기재의 표면에너지가 낮아져야만 한다. 하지만 이러한 조건에서 건조를 할 때 그린시트의 양쪽 옆면의 파형결함(wave defects) 등이 많이 생긴다. 이러한 파형결함(Side wave defects)는 그린시트 옆면의 들뜸, 선박리, 들뜸 등의 원인이 된다.
상기 적층형 세라믹 콘덴서 제조용 슬러리는 슬러리 제조 공정에서 유전체 파우더, 용제, 분산제, 그리고 바인더를 혼합, 분산시켜 제조된다. 성형공정에서 분산된 슬러리를 기재(PET Film) 위의 Si 이형층에 도포한 후에 건조하여 그린시트를 제조한다.
　　　　　박막 그린시트 (2㎛ 이하)의 제조를 위해서 상기 슬러리는 높은 분산성이 유지되어야 하고, 건조가 너무 빠르면 안되고 다이 헤드(Die Head)의 가공도를 고려하여 슬러리의 고형분이 낮아야만 한다. 이에 따라서 슬러리의 점도도 낮아지게 된다. 슬러리의 고형분과 점도가 감소됨에 따라서 슬러리의 건조 수축율은 증가하게 된다. 또한 기재 상에 형성된 Si 이형층의 표면에너지가 슬러리의 표면 에너지보다 작기 때문에 슬러리가 도포후 건조시 그린시트의 양쪽 옆에 파형 결함 (wave defects)이 다수 나타나게 된다.
다음 도 1은 기존의 공법으로 만들어진 그린시트, Si 이형층, 기재 필름(PET Film)를 상부에서 본 그림과 단면의 그림을 보여 주고 있다. 상기 기재 필름(10) 위 전체 면적에 걸쳐서 Si 이형층(20)이 코팅되어 있다. 따라서 그린시트층(30)는 Si 이형층(20) 위에서만 존재하게 된다. 이에 따라서 그린시트의 양쪽 면의 접촉각이 90°보다 크게 되어 파형 결함(50)이 만들어 지게 된다. 이러한 그린시트 옆면의 결함은 후공정인 인쇄 및 적층 과정에서 선박리, 들뜸 등의 원인이 된다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제들을 해결하기 위한 것으로서, 초소형 초고용량 적층형 세라믹 콘덴서를 위하여 유전체의 두께를 줄여 그린 시트 박막을 제조함에 있어, 그린 시트 옆면의 파형 결함이 없는 그린 시트를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 그린 시트의 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 그린 시트는 기재 필름, 이형층, 및 그린 시트층이 순차적으로 적층된 구조이고, 상기 이형층은 중앙과 양 말단의 표면에너지가 상이한 것일 수 있다.
상기 이형층의 표면에너지는 중앙은 낮고, 양 말단은 높도록 조절한 데 특징이 있다.
상기 이형층은 양 말단에 표면처리층이 형성된 것일 수 있다.
상기 이형층 양 말단의 표면처리층은 그린 시트층의 절단부로부터 기재 필름 말단부까지 형성된 것일 수 있다.
상기 이형층의 표면처리는 플라즈마 처리, 이물질 삽입, 및 유기 용제 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용한 것일 수 있다.
상기 그린 시트층과 이형층에 형성된 표면처리층 간의 접촉각은 90°미만인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 그린 시트의 제조방법은 기재 필름 상에 이형층을 형성하는 단계, 상기 이형층의 표면에너지를 변화시키는 단계, 및 상기 이형층에 그린 시트층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 이형층의 표면에너지 변화는 상기 이형층의 양 말단에 표면처리층을 형성함으로 수행되는 것일 수 있다.
상기 이형층의 표면처리는 플라즈마 처리, 이물질 삽입, 및 유기 용제 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용한 것일 수 있다.
상기 플라즈마 처리는 이형층의 양 말단에 선택적으로 수행되는 것일 수 있다.
상기 이물질 삽입은 물리적인 수단을 이형층 양 말단에 가하여 표면 개질시키는 것일 수 있다.
상기 유기 용제 처리는 톨루엔, 에탄올, n-부탄올, 및 아세톤으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 용매를 이용하여 표면 개질시키는 것일 수 있다.
상기 이형층 중앙의 표면에너지는 낮고, 양 말단의 표면에너지는 높은 것일 수 있다.
상기 그린 시트층은 표면 에너지가 낮은 부분은 모두 도포되고, 표면 에너지가 높은 부분은 부분적으로 또는 전면적으로 도포시키는 것일 수 있다.
상기 그린 시트층의 절단 선의 폭이 표면에너지가 낮은 부분의 폭과 일치 하거나 또는 작은 것이 바람직하다.
본 발명은 이형층의 양 말단을 표면 개질시켜 이형층의 중앙과 양 말단의 표면에너지를 상이하게 조정함으로써, 이형층 양 말단의 높은 표면에너지로 인해 그린시트의 파형 결함(wave defects) 문제를 해결할 수 있다. 따라서, 그린 시트의 슬림화로 슬러리의 고형분 및 점도를 원하는 대로 조절 가능하여 유전체의 박막화가 가능하다. 이러한 박막의 유전체를 이용하여 단위 부피당 용량을 증가시켜, 초소형 초고용량 적층형 세라믹 콘덴서에 다양하게 적용될 수 있다.
도 1은 종래 그린 시트 필름의 상부 및 단면 사진이고,
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 이형층의 표면처리 과정을 나타낸 것이고,
도 2b는 상기 도 2a의 표면처리 후 표면처리층을 포함하는 그린 시트 구조이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 그린 시트 필름의 상부 및 단면 사진이고,
도 4는 실시예 및 비교예에 따른 그린 시트 필름에서 Si 이형층의 접촉각 측정 결과이고,
도 5는 실시예 및 비교예에 따른 그린 시트 필름에서 실리콘 이형층의 FT-IR 측정을 통한 구조 변화를 나타낸 것이고,
도 6은 실시예 및 비교예에 따른 그린 시트 필름에서 파형 결함 발생 유무를 확인한 사진이다.
이하에서 본 발명을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
본 발명은 초소형 초고용량 적층형 세라믹 콘덴서에 요구되는 단위 부피당 용량을 증가시키기 위한 방법 중에서도, 그린 시트의 박막화를 통해 유전체의 두께를 줄이기 위한 것이다.
따라서, 본 발명에 따른 그린 시트는 기재 필름, 이형층, 및 그린 시트층이 순차적으로 적층된 구조를 가지며, 상기 이형층은 중앙과 양 말단의 표면에너지가 상이하도록 하였다. 즉, 상기 이형층에서 중앙의 표면에너지는 낮고, 양 말단의 표면에너지는 높게 조절한 데 특징이 있다.
이는 상기 기재 필름 상에 형성된 이형층의 표면에너지가 그린 시트층 형성을 위한 슬러리의 표면 에너지보다 작기 때문에 슬러리가 도포 후 건조시 그린시트의 양쪽 옆에 파형 결함 (wave defects)이 다수 나타나는 문제를 해결하기 위하여, 상기 이형층의 양 말단과 중앙의 표면에너지를 상이하게 조절한 것이다.
본 발명에서는 이형층이 한 면에서 중앙과 양 말단의 표면에너지가 상이하도록 차이를 주기 위하여, 상기 이형층의 양 말단을 표면 개질시킨 표면처리층을 형성시킨다. 즉 표면 개질을 통해서 이형층을 활성화하여 표면에너지를 높일 수 있다.
상기 이형층의 표면처리는 플라즈마 처리, 이물질 삽입, 및 유기 용제 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용한 것일 수 있으며, 이형층의 양 말단의 표면에너지를 높일 수 있는 방법이라면 상기 방법에 한정되는 것은 아니다.
상기 이형층 양 말단의 표면처리층은 그린 시트층의 절단부로부터 기재 필름 말단부까지 형성된 것일 수 있다. 기재 필름 상에 이형층이 형성되고, 상기 이형층 상에 그린 시트층이 형성될 때 상기 그린 시트층은 이형층 전체에 걸쳐 형성되지 않고 이형층 양 말단으로부터 일정 간격 이격된 위치까지 그린 시트층이 형성된다. 또한, 상기 그린 시트를 상기 그린 시트층의 도포면으로부터 일정 간격 이격되어 절단되어 적층된다.
따라서, 본 발명에 따른 이형층 양 말단의 표면처리층은 상기 그린 시트층의 절단부로부터 기재 필름 말단부까지 형성되도록 하였다. 이 경우, 상기 그린 시트층과 이형층에 형성된 표면처리층 간의 접촉각은 90°미만으로 유지할 수 있다. 즉, 기재의 양쪽 면에서 이형층의 표면에너지가 높을 경우 그린시트의 양쪽 면에서의 접촉각은 90°보다 작게 된다. 즉 생성된 그린시트는 기재의 양쪽면의 높은 표면에너지로 인하여 기재에 단단히 붙어 있게 되어 접착력이 증가된다.
이때 주의해야 할 것은 그린시트가 인쇄되는 면, 즉 이형층의 중앙 부분은 표면에너지가 낮은 상태로 유지되어야 한다. 그린시트가 인쇄되는 면은 적층 공정에서 박리 후 적층되어야 하므로 하부 이형층의 표면에너지가 낮아야 한다. 반면 그린시트의 양쪽 면은 박리가 안되고 이형층에 단단히 붙어서 공정 진행시 선박리가 안되게 유지 되어야 한다. 　
이하에서 그린 시트의 제조방법을 참조된 도면을 참고하여 상세히 설명한다. 먼저, 기재 필름을 준비하고, 상기 기재 필름 상에 이형층을 형성하는 단계, 상기 이형층의 표면에너지를 변화시키는 단계, 및 상기 이형층에 그린 시트층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 기재 필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트를 사용하는 것이 바람직하나, 특별히 이에 한정되지 않는다. 상기 기재 필름의 두께는 통상의 그린 시트에 사용되는 수준에 준하고, 특별히 한정되지 않는다.
또한, 상기 기재 필름 상에 형성되는 이형층 재료는 실리콘이 가장 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 이형층의 양 말단에 형성되는 표면처리층의 표면 처리는 플라즈마 처리, 이물질 삽입, 및 유기 용제 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용할 수 있으나, 이형층의 표면을 개질시켜 표면에너지를 증가시킬 수 있는 방법이라면 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 표면처리 방법 중, 플라즈마 처리는 상기 이형층 양 말단에만 선택적으로 표면 개질되도록 잘 조절시킬 필요가 있다. 롤-투-롤 방식으로 코팅하는 과정에서, 그 코팅 속도가 매우 빠르기 때문에 양 말단에만 플라즈마 처리하는 것이 쉽지 않다. 따라서, 상기 이형층 양 말단의 선택적인 영역에만 표면처리층이 형성되도록 잘 조절하는 것이 중요하다. 상기 플라즈마 처리로 플라즈마 라디칼의 생성으로 이형층의 양 말단의 결합 에너지를 증가시켜, 표면에너지를 높이게 되면 양 말단에서 인쇄, 적층시 롤을 통과할 때 들뜨는 파형 결함을 없앨 수 있다.
플라즈마 처리 조건은 사용하는 플라즈마 장치에 따라 달라질 수 있기 때문에 그 조건에 따라 본 발명의 파형 결함 발생 유무가 결정되는 것은 아니다. 다만, 이형층 양 말단의 선택적인 영역에서 플라즈마 처리될 수 있는 것이면, 플라즈마 처리 조건 및 장치는 특별히 한정되지 않는다.
상기 유기 용제 처리는 톨루엔, 에탄올, n-부탄올, 및 아세톤으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 용매를 상기 이형층에 도포시킨 후, 건조시킴으로써 상기 이형층의 표면을 개질시키는 방법이다.
또한, 상기 이물질 삽입은 물리적인 수단을 이형층 양 말단에 가하여 표면 개질시키는 것으로, 물리적인 수단은 상기 유기 용제 이외의 다른 이물질을 의미하며, 물리적인 압박을 가할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않는다.
다음 도 2a와 2b는 플라즈마 처리를 통한 이형층의 표면 개질시키는 과정을 나타낸 것이다. 기재 필름인 PET 필름(110) 상에 상기 기재 필름의 폭과 동일하게 실리콘 이형층(120)이 형성되고, 상기 이형층(120)의 양 말단에 플라즈마 처리를 통하여 표면처리층(140a, 140b)이 형성된다.
상기와 같이 이형층 양 말단을 표면 개질시킴으로써, 다음 도 3에서와 같이 본 발명에 따른 이형층(120)은 중앙의 표면에너지는 낮고, 양 말단의 표면에너지는 높도록 조절하여, 표면에너지가 상이한 면이 한 면에 위치하도록 할 수 있고, 양 말단의 표면에너지 조절을 통해 파형 결함이 발생되지 않는다.
상기와 같이 표면에너지가 상이한 면을 가지는 이형층(120) 상에 그린 시트층(130)을 도포시킨다. 상기 그린 시트층을 구성하는 슬러리 조성은 유전체 파우더, 용제, 분산제, 그리고 바인더를 혼합, 분산시켜 제조되며, 구체 슬러리 조성은 특별히 한정되지 않는다.
상기와 같이 이형층(120) 양 말단에 표면처리층(140a, 140b)을 포함함으로써, 상기 그린 시트층(130)과 이형층(120)에 형성된 표면처리층(140a, 140b) 간의 접촉각은 90°미만으로 유지할 수 있다.
상기 그린 시트층(130)은 표면 에너지가 낮은 이형층(120)의 중앙 부분은 모두 도포되고, 표면 에너지가 높은 이형층(120)의 양 말단 부분은 부분적으로 또는 전면적으로 도포시키는 것일 수 있다. 상기 표면에너지가 낮은 중앙 부분은 적층시 박리시켜야 되므로, 표면에너지가 낮아야 된다.
상기 그린 시트층의 절단면의 폭은 표면에너지가 낮은 이형층의 중앙 부분의 폭과 일치 하거나 또는 작게 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 그린 시트층의 절단 면이 이형층보다 안쪽으로 형성되는 것이 바람직하다.
이하에서 본 발명을 실시예에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
실시예 1~4
PET 기재 필름 상에 실리콘 이형층을 형성시키고, 상기 실리콘 이형층 양 말단에 플라즈마 처리를 통해 표면처리층을 형성시켰다. 상기 이형층 상에 슬러리 조성물을 도포하여 그린 시트층을 형성시켰다.
상기 플라즈마 처리는 실시예 1~4에서 각각 7kV-5m/min, 7kV-10m/min, 14kV-5m/min, 14kV-10m/min으로 조건을 달리하여 실시하였다.
비교예 1
이형층의 양 말단에 플라즈마 처리하는 과정을 거치지 않고, 상기 실시예 1의 과정을 거쳐 그린 시트를 제조하였다.
실험예 1 : 접촉각 변화
상기 실시예 1~와 비교예 1에 따라 제조된 그린 시트의 플라즈마 처리로 인한 Si 이형층에서 증류수의 접촉각(contact angle) 변화를 관찰하였으며, 그 결과를 다음 도 4에 나타내었다.
다음 도 4에서와 같이, 플라즈마 처리하지 않은 비교예의 경우 접촉각이 90°보다 훨씬 큰 100°까지 미치는 것을 알 수 있다. 그러나, 이형층 양 말단을 플라즈마 처리시킨 본 발명에 따른 그린 시트는 그린 시트층과 이형층 말단의 표면처리층 간의 접촉각이 90°미만으로 현저하게 낮아진 것을 확인할 수 있다. 특히 플라즈마에 노출된 시간과 플라즈마의 파우더(powder)가 증가할수록 접촉각은 더 작아지는 것으로 관찰되었다.
실험예 2 : FT - IR 측정
상기 실시예 1~4와 비교예 1에 따라 제조된 그린 시트의 플라즈마 처리로 인한 실리콘 이형층의 구조 변화를 FT-IR (Fourier Transformer Infrared Spectroscopy) 로 관찰하였으며, 그 결과를 다음 도 5에 나타내었다.
플라즈마 처리 전(비교예)과 플라즈마 처리한 실시예 1~4의 Si 이형층의 구조는 거의 변화가 없는 것으로 확인되었다. 즉, 본 발명에서 실리콘 이형층의 양 말단을 표면개질 시키더라도 이형층의 구조는 그대로 유지하는 것을 확인하였다.
실험예 3 : 파형 결함 유무 측정
상기 비교예 1과 실시예 1에 따라 제조된 그린 시트의 플라즈마 처리 전후의 표면 개질로 인한 파형 결함 발생 유무를 관찰하였으며, 그 결과를 각각 다음 도 6a와 도 6b에 나타내었다.
다음 도 6a 에서와 같이, 종래와 같은 구조를 가지는 비교예 1의 경우 그린 시트의 파형 결함이 매우 심각한 것을 알 수 있다.
이에 반해, 실리콘 이형층을 표면 개질시킨 본 발명 실시예의 경우 다음 도 6b에서와 같이 이형층 양 말단의 표면에너지를 높이게 되어 그린 시트의 파형 결함이 발생되지 않는 것으로 확인되었다.
이로써, 본 발명에서 플라즈마 등의 처리로 Si 이형층의 표면의 표면에너지를 높임으로써 박막 그린시트의 양 옆에 존재하는 파형 결함 (wave defects)를 없앰으로써 인쇄 및 적층 공정에서 나타나는 선박리 및 스크린 찢어짐 등의 문제를 해결할 수 있음을 알 수 있다.

Claims (15)

  1. 기재 필름, 이형층, 및 그린 시트층이 순차적으로 적층된 구조이고,
    상기 이형층은 중앙과 양 말단의 표면에너지가 상이한 것인 그린 시트.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 이형층의 표면에너지는 중앙은 낮고, 양 말단은 높은 것인 그린 시트.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 이형층은 양 말단에 표면처리층이 형성된 것인 그린 시트.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 이형층 양 말단의 표면처리층은 그린 시트층의 절단부로부터 기재 필름 말단부까지 형성된 것인 그린 시트.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 이형층의 표면처리는 플라즈마 처리, 이물질 삽입, 및 유기 용제 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용한 것인 그린 시트.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 그린 시트층과 이형층에 형성된 표면처리층 간의 접촉각은 90°미만인 것인 그린 시트.
  7. 기재 필름 상에 이형층을 형성하는 단계,
    상기 이형층의 중앙과 양 말단의 표면에너지가 상이하도록 표면에너지를 변화시키는 단계, 및
    상기 이형층에 그린 시트층을 형성하는 단계를 포함하는 그린 시트의 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 이형층의 표면에너지 변화는 상기 이형층의 양 말단에 표면처리층을 형성함으로 수행되는 것인 그린 시트의 제조방법.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 이형층의 표면처리는 플라즈마 처리, 이물질 삽입, 및 유기 용제 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용한 것인 그린 시트의 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 플라즈마 처리는 이형층의 양 말단에 선택적으로 수행되는 것인 그린 시트의 제조방법.
  11. 제 9항에 있어서, 상기 이물질 삽입은 물리적인 수단을 이형층 양 말단에 가하여 표면 개질시키는 것인 그린 시트의 제조방법.
  12. 제 9항에 있어서, 상기 유기 용제 처리는 톨루엔, 에탄올, n-부탄올, 및 아세톤으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상의 용매를 이용하여 표면 개질시키는 것인 그린 시트의 제조방법.
  13. 제 7항에 있어서, 상기 이형층 중앙의 표면에너지는 낮고, 양 말단의 표면에너지는 높은 것인 그린 시트의 제조방법.
  14. 제 7항에 있어서, 그린 시트층은 표면 에너지가 낮은 부분은 모두 도포되고, 표면 에너지가 높은 부분은 부분적으로 또는 전면적으로 도포시키는 것인 그린 시트의 제조방법.
  15. 제 7항에 있어서, 상기 그린 시트층의 절단 선의 폭이 표면에너지가 낮은 부분의 폭과 일치하거나 또는 작게 하는 그린 시트의 제조방법.

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