KR20110122652A - The device for clamping to wafer tray - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 트레이 클램핑 장치는, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 웨이퍼가 한 장씩 인출되어 순차적으로 이송 배열되는 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 좌우 양측에 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판이 구비된 사각의 베이스프레임과; 상기 베이스프레임의 전,후 양단에 설치되며, 모터와 벨트 연결되는 구동풀리와 종동풀리를 컨베이어벨트로 연결하여 상기 모터 회전에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 트레이를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 실린더에 의한 스토퍼의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단과; 상기 베이스프레임의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단에 의해 정지된 트레이의 일측면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단과; 상기 베이스프레임의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단과 트레이측면푸셔수단을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이의 후면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의하면, 캠팔로우를 이용해 트레이의 전,후,좌,우 4면에 대한 게이징을 통해 고정하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있으며, 더욱이 종래와 같이 작업자가 일일이 트레이의 위치를 조정해야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점을 방지함은 물론, 상기 트레이의 정위치 고정에 따른 작업공정 및 작업시간 역시 단축시켜 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.The present invention relates to a wafer tray clamping device.
The tray clamping apparatus of the present invention includes a guide rail which is installed at right and left sides at right angles with a wafer guide rail which is withdrawn one by one from a wafer magazine through a wafer working beam unit in a wafer load / unload system. Square base frame is installed in the transport section of the transport frame reciprocating linearly, the tray support plate is provided on the top; Belt transmission means installed at both ends of the base frame, the belt transmission means for transferring the tray through a conveying action of the conveyor belt by connecting the drive pulley and the driven pulley connected to the belt and the motor by the conveyor belt; A tray stopper means fixed to the front left and right ends of the base frame and stopping the tray, which is transported to the front surface of the base frame through a belt transmission means, through a synergistic action of the stopper by the cylinder; One side of the base frame is fixed to the left and right sides, and is transported to the front of the base frame through the belt transmission means fixed to one side of the tray stopped by the tray stopper means through the pushing action of the cylinder primary A tray side pusher means for gauging; It is installed and fixed at both ends of the rear of the base frame and fixed to the rear, the tray stops through the tray stopper means and the tray side pusher means and fixed the rear side of the first gauging tray through the pushing action of the cylinder, the second gauging tray It is characterized by consisting of a rear pusher means.
Therefore, according to the present invention, the tray through the tray stopper means, the tray side pusher means and the rear tray pusher means as compared to the conventional method that was fixed by gauging the front, rear, left, right of the tray using a cam follower Automatically hold and hold the wafer in position so that the wafer can always be picked up at the same position when the wafer is seated in the tray or when the wafer is withdrawn from the tray. When loading or unloading, the position control can be executed more easily and quickly. Moreover, the troublesome and inconvenient problems such as the need to adjust the position of the tray by the operator as well as the conventional one, as well as the settlement of the tray It also shortens the work process and work time due to the fixed position, thereby improving the productivity and productivity of the product. It has an excellent effect such that you can greatly improve the castle.
Description
본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion System)에 초기 웨이퍼를 공급하거나 증착된 웨이퍼를 배출시키기 위한 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 웨이퍼 픽커장치가 진공 취부하여 트레이 측에 이송 공급시키거나 또는 상기 트레이로부터 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터에 의해 상승되어 모터 구동에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 트레이를 정위치에 지지 고정하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대하여, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 베이스프레임의 전면, 측면, 후면에 각각 설치된 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단에 의해 상기 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 빈 트레이를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징(gauging)시키도록 구성함으로써, 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 위치를 조정하여 상기 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있도록 한 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.In general, solar cells are used as an energy source for driving various devices, which converts solar radiation or illumination light into electrical energy.
이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.Such a solar cell has a pn junction or a pin junction in a functional part composed of a semiconductor, and silicon, which is commonly known, can be used to form the pn junction (or pin junction) as a semiconductor. In this case, the use of single crystal silicon is good in terms of efficiency of converting light energy into electromotive force, but amorphous silicon is advantageous in terms of area increase and cost reduction.
한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계)→ 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.Meanwhile, a solar cell and a solar module assembled using the solar cell are manufactured by using a silicon wafer, which is widely used, as a substrate using a single crystal silicon thin plate made of polycrystalline silicon (Si) as a substrate. If you look at the entire manufacturing process of the solar module, the silicon ingot manufacturing process (step 1) due to the single crystal growth → silicon ingot sliced to several hundred microns (㎛) thickness (step 2) → sliced silicon wafer cleaning process (3 Step) → doping implantation process (step 4) on silicon wafer → electrode line drawing process on doped implanted silicon wafer (step 5) → solar cell manufacturing process (step 6) → circuit work process (step 7) → laminating process of solar cell Solar modules are manufactured through a total of 10 manufacturing steps, including (8 steps) → mold work process (9 steps) → solar module manufacturing process (10 steps).
그리고, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키기 위하여 기상증착법(Vapor Deposion) 중 그 일종인 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 솔라 셀 웨이퍼의 사용면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 장치인 PECVD 시스템이 주로 사용되며, 여기에 초기 웨이퍼를 공급하거나 또는 증착물질이 증착된 웨이퍼를 배출시키기 위한 장치로서 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System; 도 1 참조)이 사용된다.In addition, a vapor deposition method for depositing a deposition material on a surface of a silicon wafer, that is, a solar cell wafer manufactured by slicing a silicon ingot to several hundred microns (μm) in thickness during the entire manufacturing process of the solar module as described above. PECVD system, which is a device that forms a plasma in a chamber, which is a kind of vapor deposition, and deposits a deposition material (GaN) on the surface of a solar cell wafer using a chemical reaction, is mainly used. A wafer load / unload system (see FIG. 1) is used as an apparatus for supplying or ejecting a wafer on which deposition material is deposited.
이러한 상기 웨이퍼 로드/언로드 시스템에는 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임의 하단에 웨이퍼 픽커가 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커장치를 통해 진공흡입작용으로 취부하여 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이 측으로 이송시켜 공급 안착시키거나 또는 상기 PECVD 시스템으로부터 배출된 트레이 내의 증착 웨이퍼를 상기 트레이로부터 픽업 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터에 의해 상승되어 모터 구동에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 트레이를 정위치에 지지 고정하는데 사용되는 트레이 클램핑 작업이 수반되는데, 상기한 트레이 클램핑 작업의 경우 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 목적한 위치에 맞게 조정하여 게이징을 통해 상기 트레이를 고정하였을 뿐, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 베이스프레임의 전면, 측면, 후면에 각각 설치된 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단에 의해 상기 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 빈 트레이를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징(gauging)시키는 등 3면 게이징 방식의 구조로 이루어진 웨이퍼 트레이 클램핑 장치(도 2 참조)가 전무하기 때문에 트레이를 정위치에 지지 고정된 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 상기 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 상기 트레이를 정위치에 지지 고정시키기 위하여 작업자가 수동으로 트레이의 전,후,좌,우로 이동시키는 등 상기 트레이의 4면을 게이징하기 위한 준비과정 및 트레이의 위치결정과정이 매우 번거롭고 불편하며, 상기와 같이 트레이의 게이징 준비과정과 위치결정과정이 번거롭고 불편함에 따라 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키는 로딩(Loading) 시나 또는 상기 트레이로부터 웨이퍼를 인출 픽업하는 언로딩(Unloading) 시 상기 트레이의 위치를 제어하는데 시간이 오래 걸릴 수밖에 없는 등의 문제점이 있었다.In the wafer load / unload system, a wafer which is drawn out from a wafer magazine through a wafer working beam unit and sequentially transferred and arranged on a wafer guide rail is linearly reciprocated along a guide rail installed orthogonally to the wafer guide rail. The wafer pickers arranged in a row at the bottom of the frame are mounted by vacuum suction action and transported to the tray side for supply to the PECVD system, and are placed or fed to the tray side for the deposition of wafers from the PECVD system. A tray that is lifted by the tray elevator to be picked up and discharged from the tray, and used to support and fix the tray fed to the upper end of the tray support plate of the base frame through the conveying action of the conveyor belt. In the case of the tray clamping operation, the operator manually moves the tray forward, backward, left and right, and adjusts it to a desired position to fix the tray by gauging. The tray is transferred to the front of the base frame through the tray stopper means, the tray side pusher means and the tray rear pusher means respectively installed on the front, side, and rear of the base frame. Since there is no wafer tray clamping device (see Fig. 2) having a three-side gauging structure, such as stopping and emptying the empty tray in place, the tray is held in place. When placing a wafer in or withdrawing a wafer from the tray, always place the wafer in the same position. In order to hold the tray in place so that it can be picked up, the preparation process for gauging the four sides of the tray, such as the manual movement of the tray to the front, rear, left and right of the tray, and the positioning process of the tray are very difficult. It is cumbersome and inconvenient, and as the preparation and positioning process of the tray is cumbersome and inconvenient as described above, when loading the wafer to be seated on the tray or when unloading the wafer from the tray, the unloading is performed. There was a problem that it takes a long time to control the position of the tray.
또한, 종래 트레이 클램핑 작업의 경우 전술한 바와 같이 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 목적한 위치에 맞게 조정하여 게이징을 통해 상기 트레이를 고정하기 때문에 이와 같이 상기 트레이를 정위치에 지지 고정시키는데 대한 작업공정 및 작업시간이 증가됨과 아울러, 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 낮아질 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.In addition, in the conventional tray clamping operation, as described above, the operator manually moves the tray to the front, rear, left and right, and adjusts it to a desired position to fix the tray through gauging. In addition to the increased work process and work time for fixing the support in place, there was also a problem that the productivity and economic efficiency of the product through this must be greatly reduced.
상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대하여, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 베이스프레임의 전면, 측면, 후면에 각각 설치된 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단에 의해 상기 베이스프레임의 트레이 지지판 상단에 이송 공급되는 빈 트레이를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징시키도록 구성함에 따라 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 위치를 조정하여 상기 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, the wafer tray clamping device of the wafer load / unload system, the front of the base frame is transferred to the front of the base frame through the belt transmission means And stop and first and second gauging the empty trays transported and supplied to the upper end of the tray support plate of the base frame by tray stopper means, tray side pusher means and tray rear pusher means respectively installed on the side and the rear side. By adjusting the position while the operator manually moves the tray to the front, back, left and right, the tray stopper means and the tray side pusher as compared to the conventional method of gauging the front, rear, left and right sides of the tray. Means and tray back pusher means to automatically hold and hold the tray in place Allows the wafer to always be picked up at the same position when seating or withdrawing the wafer from the tray, as well as better position control during loading or unloading of the wafer into or out of the tray. The goal is to make it simple and fast to run.
또한, 본 발명의 경우 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하도록 구성됨에 따라 종래와 같이 캠팔로우를 이용해 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하여 상기 트레이를 정위치에 지지 고정시키는데 대한 작업공정 및 작업시간을 단축시켜 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, according to the present invention, the tray stopper means, the tray side pusher means and the tray back pusher means that the tray is automatically supported in a fixed position in the front, rear, left, Another purpose is to shorten the work process and work time for supporting the tray in place by gauging the four sides, thereby greatly improving the productivity and economy of the product.
상기한 목적을 해결하기 위한 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치는, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 웨이퍼가 한 장씩 인출되어 순차적으로 이송 배열되는 웨이퍼 가이드 레일과 직교상태로 좌우 양측에 설치되는 가이드레일을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판이 구비된 사각의 베이스프레임과; 상기 베이스프레임의 전,후 양단에 설치되며, 모터와 벨트 연결되는 구동풀리와 종동풀리를 컨베이어벨트로 연결하여 상기 모터 회전에 의한 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 트레이를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되는 트레이를 실린더에 의한 스토퍼의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단과; 상기 베이스프레임의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단에 의해 정지된 트레이의 일측면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단과; 상기 베이스프레임의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단과 트레이측면푸셔수단을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이의 후면을 실린더의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.The wafer tray clamping apparatus of the present invention for solving the above object is left or right in a state perpendicular to the wafer guide rails, in which wafers are drawn out one by one from the wafer magazine and sequentially transferred through the wafer working beam unit of the wafer load / unload system. Square base frame is installed in the transfer section of the transfer frame for linear reciprocating movement along the guide rails installed on both sides; Belt transmission means installed at both ends of the base frame, the belt transmission means for transferring the tray through a conveying action of the conveyor belt by connecting the drive pulley and the driven pulley connected to the belt and the motor by the conveyor belt; A tray stopper means fixed to the front left and right ends of the base frame and stopping the tray, which is transported to the front surface of the base frame through a belt transmission means, through a synergistic action of the stopper by the cylinder; One side of the base frame is fixed to the left and right sides, and is transported to the front of the base frame through the belt transmission means fixed to one side of the tray stopped by the tray stopper means through the pushing action of the cylinder primary A tray side pusher means for gauging; It is installed and fixed at both ends of the rear of the base frame and fixed to the rear, the tray stops through the tray stopper means and the tray side pusher means and fixed the rear side of the first gauging tray through the pushing action of the cylinder, the second gauging tray It is characterized by consisting of a rear pusher means.
이러한 본 발명에 의하면, 작업자가 직접 수동으로 트레이를 전,후,좌,우로 이동시키면서 위치를 조정하여 상기 트레이의 전,후,좌,우 4면을 게이징하였던 종래 방식에 비해 상기 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하여 상기 트레이 내에 웨이퍼를 안착시키거나 또는 트레이로부터 웨이퍼를 인출할 때 항상 같은 위치에서 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 함과 아울러, 상기 웨이퍼를 트레이에 안착시키거나 인출하는 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading) 시 위치 제어를 보다 간편하고 빠르게 실행할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.According to the present invention, the tray stopper means as compared to the conventional method in which the operator gauging the front, rear, left, right four sides of the tray by manually adjusting the position while manually moving the tray forward, backward, left, right. The tray side pusher means and the tray back pusher means to automatically hold and hold the tray in position so that the wafer can always be picked up at the same position when the wafer is seated in or removed from the tray; In addition, there is an excellent effect such that the position control can be executed more easily and quickly during loading or unloading of the wafer seated on or taken out of the tray.
또한, 상기와 같이 트레이스토퍼수단, 트레이측면푸셔수단 및 트레이후면푸셔수단을 통해 트레이를 정위치에 자동으로 지지 고정하도록 웨이퍼 트레이 클램핑 장치를 구성함에 따라 종래와 같이 작업자가 일일이 트레이의 위치를 조정해야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점을 방지함은 물론, 상기 트레이의 정위치 고정에 따른 작업공정 및 작업시간 역시 단축시켜 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성을 크게 향상시킬 수 있는 등의 효과도 있다.In addition, as described above, as the tray tray clamping device is configured to automatically support and fix the tray through the tray stopper means, the tray side pusher means, and the tray rear pusher means, the operator must manually adjust the position of the tray. In addition to preventing troublesome and inconvenient problems, such as, the work process and working time according to the fixed position of the tray is also shortened, thereby greatly improving the productivity and economic efficiency of the product.
도 1은 본 발명이 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도.
도 2는 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 사시도 및 세부 상세도.
도 3은 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 정면도 및 측면도.
도 4는 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 저면도.
도 5는 본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치에 대한 또 다른 실시예도.
도 6은 도 5에 도시된 또 다른 웨이퍼 트레이 클램핑 장치 중 트레이스토퍼수단 및 트레이후면푸셔수단의 스토퍼 및 후면푸싱바와 트레이 전,후면에 대한 세부 상세도.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 대한 웨이퍼 트레이 클램핑 장치의 작동과정을 나타낸 상태도.1 is a schematic view showing a wafer load / unload system to which the present invention is applied.
Figure 2 is a perspective view and detail of the wafer tray clamping device of the present invention.
3 is a front view and a side view of the wafer tray clamping apparatus of the present invention.
4 is a bottom view of the wafer tray clamping apparatus of the present invention.
5 is yet another embodiment of the wafer tray clamping apparatus of the present invention.
Figure 6 is a detailed view of the stopper and rear pushing bar and the tray front and rear of the tray stopper means and the tray back pusher means of another wafer tray clamping device shown in FIG.
Figure 7a to 7e is a state diagram showing the operation of the wafer tray clamping device according to the present invention.
본 발명의 웨이퍼 트레이 클램핑 장치(이하, 트레이 클램핑 장치라 함)를 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.The wafer tray clamping device (hereinafter referred to as tray clamping device) of the present invention will be described in detail in comparison with the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 사시도 및 세부 상세도를 나타낸 것이고, 도 3은 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 정면도 및 측면도를 나타낸 것이며, 도 4는 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 저면도를 나타낸 것이다.Figure 2 shows a perspective view and a detailed view of the tray clamping device of the present invention, Figure 3 shows a front view and a side view of the tray clamping device of the present invention, Figure 4 shows a tray clamping device of the present invention The bottom view is shown.
먼저, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)를 상세히 설명하기에 앞서, 상기 트레이 클램핑 장치(40)가 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1)에 대하여 간략히 설명하면 다음과 같다.First, prior to describing the
이에 대한 상기 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System)(1)은, 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion System)(미도시)에 초기 웨이퍼(W)를 공급하거나 증착된 웨이퍼(W)를 배출시키기 위한 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 증착물질이 증착되지 않은 초기 웨이퍼(W)가 적층된 웨이퍼 매거진(미도시)을 공급하는 웨이퍼 로더(10)와; 상기 웨이퍼 로더(10)로부터 공급된 웨이퍼 매거진 내에 적층된 초기 웨이퍼(W)를 한 장씩 꺼내 후방에 이웃하게 설치된 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열시키는 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)과; 상기 웨이퍼 가이드 레일(15)과 직교상태로 설치되는 가이드레일(25)을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임(31)의 하단에 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커(32)를 통해 상기 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 진공흡입작용으로 취부하여 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측으로 이송 안착시키는 웨이퍼 픽커 유닛(30)과; 상기 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는 트레이 클램핑 유닛(40)과; 상기 PECVD 시스템으로부터 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 수용된 상태로 배출된 증착 웨이퍼(W)가 웨이퍼 픽커 유닛(30)에 의해 웨이퍼 컨베이어벨트(70)에 순차적으로 안착되어 상기 웨이퍼 컨베이어벨트(70)의 이송작용을 통해 빈 매거진 내에 적층되어진 최종 웨이퍼 매거진을 외부로 배출하는 웨이퍼 언로더(75)로 구성되어 있다.The Wafer Load /
여기서, 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)과 웨이퍼 픽커 유닛(30)의 경우 본 출원인이 선출하여 공개 및 등록된 "솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치(특허공개번호 10-2011-0019826호)" 및 "솔라 셀 웨이퍼 픽커장치(특허등록번호 제1045029호)" 와 각각 동일 구조로 이루어져 있기 때문에 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 하고, 상기 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)과 웨이퍼 픽커 유닛(30)에 대한 상세한 설명은 상기 "솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치" 와 상기 "솔라 셀 웨이퍼 픽커장치" 로서 대신하며, 이하에서는 본 발명의 트레이 클램핑 유닛(40) 즉, 트레이 클램핑 장치(40)에 대해 상세히 설명하기로 한다.Here, in the case of the wafer
이에 대한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)는, 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 가이드 레일(15)과 직교상태로 설치되는 가이드레일(25)을 따라 직선왕복운동하는 이송프레임(31)의 하단에 웨이퍼 픽커(32)가 일렬로 배열 설치된 웨이퍼 픽커 유닛(30) 즉, 웨이퍼 픽커장치(30)를 통해 취부하여 상기 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측에 이송 공급시키거나 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는 장치적 요소로서, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 웨이퍼 픽커 유닛(30) 중 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과; 상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단(50)과; 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 실린더(58)에 의한 측면푸싱바(60)의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단(57)과; 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단(61)으로 구성되어 있다.In the
이와 같이 구성된 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 베이스프레임(41)의 하단 좌우 양측에는 정사각바 형태로 형성됨과 동시에 양단에 "L"자 형태의 지지브라켓(47a)이 볼트 고정된 실린더고정프레임(47)이 설치 고정되어 있고, 상기 트레이 지지판(45)의 하단 양측에는 실린더고정프레임(47)의 각 일측면 중앙에 설치 고정된 상태로 트레이 지지판(45)의 하단에 지지판승강실린더(48)가 설치 고정되어 상기 웨이퍼 픽커장치(30)를 통해 진공 취부되어 공급되는 웨이퍼(W)를 트레이(T)에 안착시키거나 또는 상기 PECVD 시스템을 통해 일면에 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 안착된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 픽커장치(30)가 다시 진공 취부 시 베이스프레임(41)으로부터 트레이 지지판(45)을 상승시키며, 이와 반대로 상기 트레이(T)의 이송 시 즉, 빈 트레이(T)가 베이스프레임(41) 측으로 이송 위치되거나 또는 웨이퍼(W)가 장착된 트레이(T)가 베이스프레임(41)으로부터 이송 배출되는 상태에서는 지지판승강실린더(48)의 길이단축 작용을 통해 트레이 지지판(45)을 하강시켜 트레이(T)의 이송작용이 원활하게 이루어진다.In the
또한, 상기 트레이 지지판(45)에는 PECVD 시스템으로부터 트레이(T)에 수용된 상태로 배출되는 증착된 웨이퍼(W)로부터 방출되는 열을 외부로 방열시키기 위한 다수의 방열홀(45a)이 관통 형성되어 있고, 상기 트레이 지지판(45)의 상단에는 웨이퍼 픽커(32)를 통해 트레이(T) 내에 안착된 웨이퍼(W)를 진공 취부하는 과정에서 상기 웨이퍼 픽커(32)의 바닥면이 수평을 유지한 상태로 웨이퍼(W)를 취부할 수 있도록 하기 위한 수평유지돌기(46)가 웨이퍼(W) 크기 및 형상에 맞게 등간격으로 돌출 형성되어 있다.In addition, the
이와 더불어, 상기 베이스프레임(41)의 좌우 양측면에는 벨트전동수단에 의한 트레이(T)의 이송과정에서 보다 원활하게 목적한 위치인 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되도록 안내하는 가이드롤러(49)가 등간격으로 설치 고정되어 있다.In addition, the guide roller for guiding the left and right side surfaces of the
그리고, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 트레이스토퍼수단(50)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(52)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 스토퍼수평실린더(51)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(54)에 고정된 상태로 상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와; 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)로 구성되어 있다.In the
여기서, 상기 스토퍼(55)의 경우 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 직접 볼트 고정되거나 또는 연결블럭을 통해 볼트 고정될 수 있으며, 상기 스토퍼(55)의 전면(前面)에는 트레이(T)의 높이에 맞게 단턱부(56)가 형성되어 벨트전동수단을 통해 이송된 트레이(T)의 전면(前面)이 상기 단턱부(56)에 결착 지지된 상태로 목적한 위치에 정지되게 된다.In this case, the
또한, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 트레이측면푸셔수단(57)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 "L"자 형태의 브라켓(59)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 푸싱하는 트레이측면실린더(58)와; 상기 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)에 고정되며, 상기 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 수평으로 푸싱 고정하여 1차 게이징하는 측면푸싱바(60)로 구성되어 있다.In addition, the tray side pusher means 57 of the
마지막으로, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 상기 트레이후면푸셔수단(61)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(63)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 트레이수평실린더(62)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(65)에 고정된 상태로 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a) 일측에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와; 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와; 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 2차 게이징하는 후면푸싱바(67)로 구성되어 있다.Lastly, in the
도 5는 본 발명의 트레이 클램핑 장치에 대한 또 다른 실시예를 나타낸 것이고, 도 6은 도 5에 도시된 또 다른 트레이 클램핑 장치 중 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이후면푸셔수단의 스토퍼(55) 및 후면푸싱바(67)와 트레이 전,후면에 대한 세부 상세도를 나타낸 것이다.Figure 5 shows another embodiment of the tray clamping device of the present invention, Figure 6 is a
한편, 본 발명에 대한 또 다른 실시예의 트레이 클램핑 장치(40a)는, 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 트레이측면푸셔수단(57) 대신에 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이후면푸셔수단(61)의 스토퍼(55) 전면(前面)과 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에는 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)와 초기위치 결정된 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)를 각각 구비하고, 이와 대응되는 트레이(T)의 전,후면에는 상기 위치결정돌기(56a) 및 위치고정돌기(67a)와 각각 대응 결합되기 위한 위치결정홈(Ta)과 위치고정홈(Tb)을 구비하며, 그 나머지 구성인 베이스프레임(41), 벨트전동수단, 트레이스토퍼수단(50a) 및 트레이후면푸셔수단(61a)은 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)의 베이스프레임(41), 벨트전동수단, 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이후면푸셔수단(61)과 동일구조 즉, 도 5에 도시한 바와 같이 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과; 상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과; 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시킴과 아울러, 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)가 구비된 트레이스토퍼수단(50a)과; 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 게이징함과 아울러, 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)가 구비된 트레이후면푸셔수단(61a)으로 구성되어 있다.On the other hand, the
이와 같이 구성된 본 발명의 또 다른 실시예인 트레이 클램핑 장치(40a) 중 상기 베이스프레임(41) 및 벨트전동수단의 경우 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 베이스프레임(41) 및 벨트전동수단과 동일구조로 이루어짐에 따라 이에 따른 상세한 설명은 생략하고, 본 발명에 대한 트레이 클램핑 장치(40)의 베이스프레임(41)과 벨트전동수단의 상세한 설명으로 대신하기로 한다.The
그리고, 본 발명의 또 다른 실시예인 트레이 클램핑 장치(40a) 중 상기 트레이스토퍼수단(50a)의 경우 도 6에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(52)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 스토퍼수평실린더(51)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(54)에 고정된 상태로 상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와; 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)와; 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 일체로 형성되며, 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)로 구성되어 있다.And, in the
여기서, 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 일체로 형성된 위치결정돌기(56a)를 제외한 나머지 구성요소 즉, 스토퍼수평실린더(51), 스토퍼수직실린더(53) 및 스토퍼(55)의 경우 역시 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 트레이스토퍼수단(50)을 이루는 스토퍼수평실린더(51), 스토퍼수직실린더(53) 및 스토퍼(55)와 동일구조와 함께 동일한 작동을 이루는 것임을 미리 밝혀두며, 이에 대한 상세한 설명 역시도 생략하기로 한다.Here, the remaining components other than the
또한, 본 발명의 또 다른 실시예인 트레이 클램핑 장치(40a) 중 상기 트레이후면푸셔수단(61a)의 경우 도 6에 도시한 바와 같이 사각평판 형태의 브라켓(63)에 고정된 상태로 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정되는 트레이수평실린더(62)와; "ㄱ"자 형태의 브라켓(65)에 고정된 상태로 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a)에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와; 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와; 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 게이징하는 후면푸싱바(67)와; 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 일체로 형성되며, 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)로 구성되어 있다.In addition, in the
여기서, 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 일체로 형성된 위치고정돌기(67a)를 제외한 나머지 구성요소 즉, 트레이수평실린더(62), 트레이수직실린더(64), 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)의 역시 전술한 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40) 중 트레이후면푸셔수단(61)을 이루는 트레이수평실린더(62), 트레이수직실린더(64), 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)와 동일구조로 이루어짐과 함께 동일한 작동을 이루는 것임을 미리 밝혀두며, 이에 대한 상세한 설명 역시도 생략하기로 한다.Here, the remaining components except the
이하, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 대한 트레이 클램핑 장치의 작동과정을 나타낸 상태도이다.7a to 7e is a state diagram showing the operation of the tray clamping device according to the present invention.
먼저, 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)는 앞서 상세한 설명의 서두(序頭)에서 밝힌 바와 같이 본 발명이 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커 유닛(30) 즉, 웨이퍼 픽커장치(30)의 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 상기 PECVD 시스템에 공급하기 위한 트레이(T) 측으로 이송 공급시키거나, 또는 상기 PECVD 시스템으로부터 증착물질이 증착되어 트레이(T)에 수용된 상태로 배출된 증착 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 배출시킬 수 있도록 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 빈 트레이(T)를 정위치에 지지 고정하는데 사용되는 장치이기 때문에 이에 따른 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)에 대한 작동과정은 상기와 같이 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 빈 트레이(T)를 정위치에 지지 고정시키는 과정으로서 한정하여 상세히 설명한다.First, the
이와 같은 작동과정으로서, 상기와 같이 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)가 적용된 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커장치(30)의 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 트레이(T) 측으로 이송 공급시키기 위하여, 먼저 도 7a에 도시한 바와 같이 트레이 엘리베이터(35)에 의해 트레이 클램핑 장치(40)의 하단으로부터 상승된 빈 트레이(T)가 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 빈 트레이(T)가 베이스프레임(41)의 좌우 양측면에 등간격으로 설치된 가이드롤러(49)의 안내에 따라 트레이 지지판(45) 상단으로 이송 공급되게 된다.As such an operation process, the
이렇게 상기 컨베이어벨트(44)의 이송작용에 따라 베이스프레임(41)의 전면(前面) 끝단으로 이송된 트레이(T)를 정지시키기 위하여 1차적으로 도 7b에 도시한 바와 같이 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정된 트레이스토퍼수단(50)을 통해 정지시키게 되는데, 이의 과정을 좀더 상세히 설명하면, 상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양측 하단에 설치 고정된 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)가 길이 신장을 통해 상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a)에 고정된 스토퍼수직실린더(53) 및 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정된 스토퍼(55)를 전방(前方)으로 이송시킴과 동시에 상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)가 수직 상방(上方)으로 길이 신장을 통해 스토퍼(55)를 트레이(T)의 높이에 맞게 상승시켜 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 상기 트레이(T)를 목적한 정위치에 정지시킨다.In order to stop the tray T transferred to the front end of the
그리고, 상기와 같이 트레이스토퍼수단(50)을 통해 목적한 정위치에 트레이(T)가 정지된 상태에서 2차적으로 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정된 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 상기 트레이(T)의 일측면을 푸싱 고정하여 1차 게이징시키게 되는데, 이의 과정을 좀더 상세히 설명하면, 도 7c에 도시한 바와 같이 상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정된 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)가 길이 신장을 통해 상기 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)에 고정된 측면푸싱바(60)를 정지된 트레이(T)의 일측면으로 이송시키는 등 상기 측면푸싱바(60)를 통해 트레이(T)의 일측면을 수평으로 푸싱 고정하는 1차 게이징이 이루어진다.Then, the tray side pusher means fixed to the left and right both sides of the side of the
마지막으로, 상기와 같이 트레이스토퍼수단(50) 및 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 트레이(T)가 정지 및 1차 게이징된 상태에서 3차적으로 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정된 트레이후면푸셔수단(61)을 통해 상기 트레이(T)의 후면을 푸싱 고정하여 1차 게이징시키게 되는데, 이의 과정을 좀더 상세히 설명하면, 도 7d에 도시한 바와 같이 상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양측 하단에 설치 고정된 트레이수평실린더(62)의 로드(62a)가 길이 신장을 통해 상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a)에 고정된 트레이수직실린더(64) 및 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정된 푸싱실린더(66)와, 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정된 후면푸싱바(67)를 후방(後方)으로 이송시킴과 동시에 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)가 수직 상방(上方)으로 길이 신장을 통해 상기 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 트레이(T)의 높이에 맞게 상승시키고, 그 다음 순(順)으로 상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정된 푸싱실린더(66)의 로드(66a)가 길이 신장을 통해 상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정된 후면푸싱바(67)를 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면으로 이송시키는 등 상기 후면푸싱바(67)를 통해 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하는 2차 게이징이 이루어지게 된다.Lastly, as described above, the tray T is stopped and the first gauging state through the tray stopper means 50 and the tray side pusher means 57, and the rear surface of the
이와 같은 본 발명의 트레이 클램핑 장치(40)에 대한 작동과정을 통해 트레이 엘리베이터(35)에 의해 상승되어 모터(42) 구동에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 베이스프레임(41)의 트레이 지지판(45) 상단에 이송 공급되는 빈 트레이(T)를 정위치에 정지 및 1,2차 게이징시키는 모든 과정이 종료되게 되면, 도 7e에 도시한 바와 같이 웨이퍼 로드/언로드 시스템(1) 중 웨이퍼 워킹 빔 유닛(20)을 통해 웨이퍼 매거진으로부터 인출되어 웨이퍼 가이드 레일(15) 상에 순차적으로 이송 배열된 웨이퍼(W)를 웨이퍼 픽커장치(30)의 웨이퍼 픽커(32)가 진공 취부하여 상기 웨이퍼(W)의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템에 상기 웨이퍼(W)를 공급하기 위한 트레이(T) 내부로 이송 공급해 각기 구획된 상태로 안착시켜 이와 같은 동일과정을 통해 상기 트레이(T) 내부 전체에 웨이퍼(W)가 각기 구획된 상태로 안착되게 된다.The tray of the
이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. .
1. 웨이퍼 로드/언로드 시스템 10. 웨이퍼 로더
15. 웨이퍼 가이드 레일 20. 웨이퍼 워킹 빔 유닛
25. 가이드레일 30. 웨이퍼 픽커장치
31. 이송프레임 32. 웨이퍼 픽커
35. 트레이 엘리베이터 40, 40a. 트레이 클램핑 장치
41. 베이스프레임 42. 모터
43a. 구동풀리 43b. 종동풀리
44. 컨베이어벨트 45. 트레이 지지판
45a. 방열홀 46. 수평유지돌기
47. 실린더고정프레임 48. 지지판승강실린더
49. 가이드롤러 50, 50a. 트레이스토퍼수단
51. 스토퍼수평실린더 53. 스토퍼수직실린더
55. 스토퍼 56. 단턱부
56a. 위치결정돌기 57. 트레이측면푸셔수단
58. 트레이측면실린더 60. 측면푸싱바
61, 61a. 트레이후면푸셔수단 62. 트레이수평실린더
64. 트레이수직실린더 66. 푸싱실린더
67. 후면푸싱바 67a. 위치고정돌기
70. 웨이퍼 컨베이어벨트 75. 웨이퍼 언로더
T. 트레이 Ta. 위치결정홈
Tb. 위치고정홈 W. 웨이퍼1. Wafer Load / Unload
15.
25.
31.
35.
41.
43a. Drive
44.
45a.
47.
49.
51. Stopper
55.
56a. Positioning
58.
61, 61a.
64. Tray
67.
70. Wafer conveyor belt 75. Wafer unloader
T. Tray Ta. Positioning Home
Tb. Positioning Groove W. Wafer
Claims (12)
상기 트레이 클램핑 장치(40)는, 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과;
상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과;
상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시키는 트레이스토퍼수단(50)과;
상기 베이스프레임(41)의 일측면 좌우 양측에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되어 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 실린더(58)에 의한 측면푸싱바(60)의 푸싱작용을 통해 고정하여 1차 게이징하는 트레이측면푸셔수단(57)과;
상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 2차 게이징하는 트레이후면푸셔수단(61)으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.Wafer load for supplying wafer W and discharging the deposited wafer W to a PECVD system (not shown) in which a plasma is formed in a chamber to deposit a deposition material on a surface of the wafer W using a chemical reaction. The wafer guide rail 15 includes a wafer W, which is unloaded from the wafer magazine (not shown) through the wafer working beam unit 20 and sequentially transferred and arranged on the wafer guide rail 15. The vacuum pick-up through the wafer picker device 30 in which wafer pickers 32 are arranged in a row at the lower end of the transfer frame 31 linearly reciprocating along the guide rails 25 installed at right angles to the tray T. The tray supporting plate 45 of the base frame 41 is lifted by the tray elevator 35 so as to be fed or discharged to the side, and through the conveying action of the conveyor belt 44 driven by the motor 42. In the clamping device 40 for supporting and fixing the tray (T) fed to the feed in place,
The tray clamping device 40 is installed in the transfer section of the transfer frame 31, the base frame 41 of the square provided with a tray support plate 45 on the top;
It is installed at both ends of the base frame 41, the drive pulley 43a and the driven pulley 43b which are connected to the belt with the motor 42 by connecting the conveyor belt 44 to the rotation of the motor 42 Belt transmission means for transferring the tray (T) through the conveying action of the conveyor belt 44 by;
The stopper 55 is installed and fixed to both front and rear ends of the base frame 41 and is transported to the front surface of the base frame 41 by a belt transmission means by the cylinder 53. A tray stopper means 50 for stopping through the synergism of the < RTI ID = 0.0 >
One side of the tray T, which is installed and fixed to both sides of one side of the base frame 41 and is transferred to the front surface of the base frame 41 through a belt transmission means and stopped by the tray stopper means 50. A tray side pusher means (57) for first gauging the sides by pushing the side pushing bar (60) by the cylinder (58);
It is installed and fixed at both rear left and right ends of the base frame 41, and the rear surface of the stopped and primary gauging tray (T) through the tray stopper means 50 and the tray side pusher means (57) cylinder ( Wafer tray clamping device, characterized in that consisting of the tray back pusher means (61) to be fixed by the pushing action of the rear pushing bar (67) by the second gauging.
상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a) 일측에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와;
상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.According to claim 1, wherein the tray stopper means 50 is a stopper horizontal cylinder (51) installed and fixed to the lower left and right sides of the front of the base frame (41);
The height of the tray T is fixed to one side of the rod 51a of the stopper horizontal cylinder 51 to stop the tray T, which is transferred to the front surface of the base frame 41 through belt transmission means. A stopper vertical cylinder 53 for raising the stopper 55 to fit;
The wafer is fixed to the rod 53a of the stopper vertical cylinder 53, the wafer is characterized by consisting of a stopper 55 is raised through the extension of the rod 53a to stop the tray T in the desired position Tray clamping device.
상기 트레이측면실린더(58)의 로드(58a)에 고정되며, 상기 로드(58a)의 길이신장을 통해 트레이스토퍼수단(50)에 의해 정지된 트레이(T)의 일측면을 수평으로 푸싱 고정하여 1차 게이징하는 측면푸싱바(60)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.The tray side pusher means 57 is fixed to the left and right sides of one side of the base frame 41, the tray is stopped by the tray stopper means 50 through the extension of the rod (58a) A tray side cylinder 58 for pushing one side of (T);
It is fixed to the rod (58a) of the tray side cylinder 58, by pushing the one side of the tray (T) stopped by the tray stopper means 50 through the extension of the length of the rod (58a) horizontally 1 Wafer tray clamping device, characterized in that consisting of the side pushing bar 60 for gauging.
상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a) 일측에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와;
상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와;
상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50)과 트레이측면푸셔수단(57)을 통해 정지 및 1차 게이징된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 2차 게이징하는 후면푸싱바(67)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.According to claim 1, wherein the tray rear push means (61) and the horizontal tray cylinder 62 is fixed to the lower left and right sides of the base frame (41);
It is fixed to one side of the rod (62a) of the horizontal tray cylinder 62, the pushing cylinder through the tray stopper means 50 and the tray side pusher means 57 to match the height of the tray (T) stationary and primary gauging A tray vertical cylinder 64 for raising the back 66 and the rear pushing bar 67;
A pushing cylinder 66 which is fixed to the rod 64a of the tray vertical cylinder 64 and horizontally transfers the rear pushing bar 67 which is raised to the height of the tray T through the tray vertical cylinder 64. )Wow;
It is fixed to the rod 66a of the pushing cylinder 66, and is horizontally conveyed through the extension of the length of the rod 66a to stop and primary gauging through the tray stopper means 50 and the tray side pusher means 57. Wafer tray clamping device comprising a rear pushing bar (67) for secondary gauging by pushing the rear of the tray (T) horizontally.
상기 트레이 클램핑 장치(40a)는, 이송프레임(31)의 이송구간 내에 설치되며, 상단에 트레이 지지판(45)이 구비된 사각의 베이스프레임(41)과;
상기 베이스프레임(41)의 전,후 양단에 설치되며, 모터(42)와 벨트 연결되는 구동풀리(43a)와 종동풀리(43b)를 컨베이어벨트(44)로 연결하여 상기 모터(42) 회전에 의한 컨베이어벨트(44)의 이송작용을 통해 트레이(T)를 이송시키는 벨트전동수단과;
상기 베이스프레임(41)의 전면(前面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 실린더(53)에 의한 스토퍼(55)의 상승작용을 통해 정지시킴과 아울러, 상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)가 구비된 트레이스토퍼수단(50a)과;
상기 베이스프레임(41)의 후면(後面) 좌우 양단에 설치 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 실린더(66)에 의한 후면푸싱바(67)의 푸싱작용을 통해 고정하여 게이징함과 아울러, 상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)가 구비된 트레이후면푸셔수단(61a)으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.Wafer load for supplying wafer W and discharging the deposited wafer W to a PECVD system (not shown) in which a plasma is formed in a chamber to deposit a deposition material on a surface of the wafer W using a chemical reaction. The wafer W drawn out from the wafer magazine through the wafer working beam unit 20 in the unloading system 1 and sequentially transferred and arranged on the wafer guide rail 15 in the orthogonal state with the wafer guide rail 15. On the picker fixing plate of the transfer frame 31 linearly reciprocating along the guide rail 25 to be installed, the wafer pickers 32 are arranged in a row together with the picker lifting means in a non-contact manner to vacuum-install the wafer picker. Lifted by the tray elevator 35 so as to be fed or discharged to the tray T side for feeding to the PECVD system, the controller is driven by the motor 42. Following in the delivery tray holding plate 45, the tray (T) to be supplied to the transfer at the top of the base frame 41 through the action of the belt 44, a clamping device for fixing the support in place,
The tray clamping device (40a) is installed in the transfer section of the transfer frame 31, the rectangular base frame 41 is provided with a tray support plate 45 on the top;
It is installed at both ends of the base frame 41, the drive pulley 43a and the driven pulley 43b which are connected to the belt with the motor 42 by connecting the conveyor belt 44 to the rotation of the motor 42 Belt transmission means for transferring the tray (T) through the conveying action of the conveyor belt 44 by;
The stopper 55 is installed and fixed to both front and rear ends of the base frame 41 and is transported to the front surface of the base frame 41 by a belt transmission means by the cylinder 53. A stopper means (50a) provided with a positioning protrusion (56a) for the initial positioning of the tray (T) on the front surface of the stopper (55) and stopping through the synergism of the < RTI ID = 0.0 >
Pushing action of the rear pushing bar 67 by the cylinder 66 is fixed to the left and right ends of the rear of the base frame 41, the rear surface of the tray (T) stopped through the tray stopper means (50a) Fixing through the gauging and binding to the rear of the tray (T) initially positioned in the front (front) of the rear pushing bar (67) to fix the position so that the tray (T) is fixed in place Wafer tray clamping device, characterized in that consisting of the tray back pusher means (61a) provided with a projection (67a).
상기 스토퍼수평실린더(51)의 로드(51a) 일측에 고정되며, 벨트전동수단을 통해 베이스프레임(41)의 전면(前面)으로 이송되는 트레이(T)를 정지시키기 위해 상기 트레이(T)의 높이에 맞게 스토퍼(55)를 상승시키는 스토퍼수직실린더(53)와;
상기 스토퍼수직실린더(53)의 로드(53a)에 고정되며, 상기 로드(53a)의 길이신장을 통해 상승되어 트레이(T)를 목적한 위치에 정지시키는 스토퍼(55)와;
상기 스토퍼(55) 전면(前面)에 일체로 형성되며, 트레이(T)의 초기위치 결정을 위한 위치결정돌기(56a)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.10. The apparatus of claim 9, wherein the tray stopper means (50a) comprises: a stopper horizontal cylinder (51) installed and fixed to both lower left and right sides of the front and rear surfaces of the base frame (41);
The height of the tray T is fixed to one side of the rod 51a of the stopper horizontal cylinder 51 to stop the tray T, which is transferred to the front surface of the base frame 41 through belt transmission means. A stopper vertical cylinder 53 for raising the stopper 55 to fit;
A stopper (55) fixed to the rod (53a) of the stopper vertical cylinder (53) and raised through the extension of the rod (53a) to stop the tray (T) at a desired position;
The stopper (55) is integrally formed on the front surface (wafer), the wafer tray clamping device, characterized in that consisting of a positioning projection (56a) for the initial positioning of the tray (T).
상기 트레이수평실린더(62)의 로드(62a) 일측에 고정되며, 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 높이에 맞게 푸싱실린더(66) 및 후면푸싱바(67)를 상승시키는 트레이수직실린더(64)와;
상기 트레이수직실린더(64)의 로드(64a)에 고정되며, 상기 트레이수직실린더(64)를 통해 트레이(T)의 높이에 맞게 상승된 후면푸싱바(67)를 수평으로 이송시키는 푸싱실린더(66)와;
상기 푸싱실린더(66)의 로드(66a)에 고정되며, 상기 로드(66a)의 길이신장을 통해 수평 이송되어 트레이스토퍼수단(50a)을 통해 정지된 트레이(T)의 후면을 수평으로 푸싱 고정하여 게이징하는 후면푸싱바(67)와;
상기 후면푸싱바(67)의 전면(前面)에 일체로 형성되며, 초기위치 결정된 트레이(T)의 후면에 결착시켜 상기 트레이(T)가 정위치에 고정되도록 하기 위한 위치고정돌기(67a)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 트레이 클램핑 장치.10. The method of claim 9, wherein the tray rear push means (61a) and the horizontal tray cylinder 62 is fixed to the lower left and right sides of the base frame (41);
It is fixed to one side of the rod 62a of the tray horizontal cylinder 62, and raises the pushing cylinder 66 and the rear pushing bar 67 according to the height of the stopped tray T through the tray stopper means (50a). A tray vertical cylinder 64;
A pushing cylinder 66 which is fixed to the rod 64a of the tray vertical cylinder 64 and horizontally transfers the rear pushing bar 67 which is raised to the height of the tray T through the tray vertical cylinder 64. )Wow;
It is fixed to the rod 66a of the pushing cylinder 66, and horizontally pushed horizontally through the length of the rod 66a to push the rear side of the tray T stopped through the tray stopper means 50a to horizontally fix it. A rear pushing bar 67 for gauging;
Is formed integrally on the front (front) of the rear pushing bar (67), by binding to the rear of the initially positioned tray (T) by the position fixing projection (67a) for fixing the tray (T) in place Wafer tray clamping device, characterized in that configured.
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