KR20110041432A - Copper powder for conductive paste and conductive paste - Google Patents
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Abstract
도전성 페이스트용 구리분말은 입자 내부에 Si(규소)를 0.1atm%∼10atm%, 또한 In을 0.1atm%∼10atm% 함유하는 것을 특징으로 한다. 입자 내부에 Ag(은)를 0.1atm%∼10atm% 함유하는 것이 바람직하다. 입자 내부에 P(인)를 0.01atm%∼0.5atm% 함유하는 것도 바람직하다. Si/In(atm비)이 0.5∼5인 것도 바람직하다. 도전성 페이스트용 구리분말은 아토마이즈법으로 제조된 것임이 바람직하다. The copper powder for conductive paste is characterized by containing 0.1 atm% to 10 atm% of Si (silicon) and 0.1 to 10 atm% of In in the particles. It is preferable to contain 0.1 atm%-10atm% of Ag (silver) in particle inside. It is also preferable to contain 0.01 atm%-0.5 atm% of P (phosphorus) in particle inside. It is also preferable that Si / In (atm ratio) is 0.5-5. It is preferable that the copper powder for electrically conductive pastes is manufactured by the atomizing method.
Description
본 발명은 도전성 페이스트용 구리분말 및 그것을 사용한 도전성 페이스트에 관한 것이다. 본 발명은 특히 스크린 인쇄 어디티브법(additive process)에 의한 도체회로 형성용이나 적층 세라믹 콘덴서의 외부전극 형성용 등의 각종 전기적 접점부재 형성용의 도전성 페이스트에 적합한 구리분말 및 그것을 사용한 도전성 페이스트에 관한 것이다.The present invention relates to a copper powder for conductive paste and a conductive paste using the same. The present invention relates in particular to copper powders suitable for forming conductive circuits by screen printing additive processes or to forming various electrical contact members, such as forming external electrodes of multilayer ceramic capacitors, and conductive pastes using the same. will be.
구리분말은 그 취급의 용이성으로 인해, 스크린 인쇄 어디티브법에 의한 도체회로 형성용이나, 적층 세라믹 콘덴서의 외부전극 형성용 등의 각종 전기적 접점부재 형성용의 도전성 페이스트의 도전재료 등으로서 종래부터 널리 이용되고 있다. Due to its ease of handling, copper powder has been widely used as a conductive material for forming conductive circuits by screen printing additive method or for forming conductive pastes for forming various external contact members such as external electrodes of multilayer ceramic capacitors. It is used.
상기 도전성 페이스트는 예를 들면, 구리분말에 에폭시 수지 등의 수지 및 그 경화제 등의 각종 첨가제를 배합하여 혼련함으로써 얻을 수 있다. 사용되는 구리분말은 구리염을 포함하는 용액 등으로부터 환원제에 의해 석출시키는 습식 환원법이나, 구리염을 가열 기화시켜 기상 중에서 환원시키는 기상 환원법이나, 용융한 구리 지금(地金)을 불활성 가스나 물 등의 냉매로 급랭하여 분말화하는 아토마이즈법(atomization process) 등으로 제조할 수 있다. The said electrically conductive paste can be obtained by mix | blending and kneading various additives, such as resin, such as an epoxy resin, and its hardening | curing agent, for example in copper powder. The copper powder used is a wet reduction method in which a copper salt is precipitated from a solution containing a copper salt with a reducing agent, a gas phase reduction method in which the copper salt is heated and vaporized to be reduced in the gas phase, and the molten copper foil is inert gas or water. It can be manufactured by an atomization process or the like which is quenched with a coolant to form a powder.
상술한 바와 같은 구리분말의 제조방법 중, 아토마이즈법은 일반적으로 널리 이용되고 있는 습식 환원법에 비해, 얻어지는 구리분말 중의 불순물의 잔류 농도를 작게 할 수 있다는 이점을 가지고 있다. 또한, 얻어지는 구리분말의 입자의 표면으로부터 내부에 이르는 세공(細孔)을 적게 할 수 있다는 이점도 가지고 있다. 이 때문에, 아토마이즈법으로 제조된 구리분말을 도전성 페이스트의 도전재료로 사용했을 경우, 페이스트 경화시의 가스 발생량을 적게 할 수 있는 동시에, 산화의 진행을 대폭으로 억제할 수 있다는 이점이 있다. Among the methods for producing copper powder described above, the atomizing method has an advantage that the residual concentration of impurities in the obtained copper powder can be reduced as compared with the wet reduction method which is generally used. Moreover, it also has the advantage that the pore from the surface of the particle | grains of the copper powder obtained to the inside can be reduced. For this reason, when the copper powder manufactured by the atomizing method is used as the electrically conductive material of an electrically conductive paste, there exists an advantage that the gas generation amount at the time of paste hardening can be reduced, and progress of oxidation can be suppressed significantly.
구리분말은 그 높은 도전성으로 인해, 도전성 페이스트의 도전재료로 적합하다. 그러나 입도가 미세해짐에 따라 내산화성이 떨어진다는 결점을 가지고 있다. 그것을 개선하기 위해 입자 표면을 내산화성이 있는 은으로 코팅하는 방책(특허문헌 1)이나, 무기 산화물로 코팅하는 방책(특허문헌 2) 등이 채용되고 있었다. The copper powder is suitable for the conductive material of the conductive paste because of its high conductivity. However, as the particle size becomes finer, there is a drawback that oxidation resistance is poor. In order to improve it, the method of coating the particle | grain surface with silver with oxidation resistance (patent document 1), the method of coating with inorganic oxide (patent document 2), etc. were employ | adopted.
최근 도전성 페이스트 등을 이용한 회로 형성에 있어서, 회로의 한층 더한 미세화가 요구되고 있다. 필연적으로, 도전성 페이스트용으로 이용되는 도전분말의 입도도 미세화가 요구되고 있다. 그와 동시에, 페이스트 특성의 안정성이나 신뢰성을 확보하기 위해, 도전분말은 그 형상이나 입도의 편차가 작으면서, 또한 도전성을 해하지 않는 것이어야만 한다. 그리고 내산화성 개선에만 착안한다면, 특허문헌 1 및 2 등의 기술로 대응이 가능하였다. Recently, in circuit formation using a conductive paste or the like, further miniaturization of a circuit is required. Inevitably, the particle size of the conductive powder used for the conductive paste is required to be refined. At the same time, in order to ensure the stability and reliability of the paste characteristics, the conductive powder must be small in the shape or particle size variation and not impair the conductivity. And focusing only on the improvement of oxidation resistance, it was possible to respond by techniques, such as patent documents 1 and 2.
그러나 특허문헌 1 및 2 등의 기술은 피복 기술에 의존하기 때문에, 구리 이외의 성분으로서, 도전성을 해하는 성분을 다량으로 요하게 된다. 그뿐 아니라 피복물이, 코어재인 구리입자로부터 박리하는 문제가 생긴다. 또한, 형상이나 입도의 편차를 작게 하기 위해서도, 구성하는 입자가 똑같이 균질하면서, 또한 함유되는 산소의 농도가 낮은 것이 요망되고 있는 바, 그러한 구리분말에 대해서는 아직 만족할 만한 것이 발견되지 않고 있다. However, since the techniques, such as patent documents 1 and 2, depend on coating | covering technique, a large amount of components which deteriorate electroconductivity are required as components other than copper. In addition, the problem arises that the coating peels from the copper particles as the core material. In addition, in order to reduce the variation in shape and particle size, it is desired that the particles to be formed are equally homogeneous and the concentration of oxygen contained is low, and such a copper powder has not yet been found to be satisfactory.
본 발명은 도전성을 해하지 않고, 미세한 입도임에도 불구하고 내산화성이 뛰어난 도전성 페이스트용 구리분말을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 형상이나 입도의 편차가 작고, 함유되는 산소의 농도가 낮은 도전성 페이스트용 구리분말을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a copper paste for conductive paste having excellent oxidation resistance without degrading conductivity and having a fine particle size. Moreover, an object of this invention is to provide the copper powder for electrically conductive pastes with small variation of a shape and a particle size, and with low oxygen concentration.
본 발명자 등은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 구리분말의 입자 내부에 특정량의 Si 및 In을 함유시키면 상기 과제가 해결되는 것을 발견하여 본 발명을 완성하였다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to solve the said subject, when the particle | grain of a copper powder contains a specific amount of Si and In, it discovered that the said subject was solved and completed this invention.
즉, 본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말은 입자 내부에 Si를 0.1atm%∼10atm%, 또한 In을 0.1atm%∼10atm% 함유하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 다른 양태는 상기 도전성 페이스트용 구리분말을 함유하는 도전성 페이스트이다. That is, the copper powder for conductive pastes of the present invention is characterized by containing 0.1 atm to 10 atm% of Si and 0.1 to 10 atm% of In in the particles. Another aspect of the present invention is a conductive paste containing the copper powder for conductive paste.
본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말은 구리 이외의 특정한 성분종을 입자 내부에 포함함으로써, 도전성을 해하지 않고, 미세한 입도임에도 불구하고 내산화성이 비약적으로 뛰어난 것이다. 게다가 입자의 형상이나 입도의 편차가 작고, 또한 함유되는 산소의 농도가 낮으므로, 본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말을 스크린 인쇄 어디티브법에 의한 도체회로 형성용이나, 적층 세라믹 콘덴서의 외부전극 형성용 등의 각종 전기적 접점부재 형성용의 도전성 페이스트의 도전재료 등으로서 매우 양호하게 이용할 수 있다. The copper powder for electrically conductive pastes of this invention contains specific component types other than copper in particle | grains, and does not deteriorate electroconductivity, but is excellent in oxidation resistance remarkably, although it is a fine particle size. In addition, since the variation in particle shape and particle size is small and the concentration of oxygen contained is low, the copper powder for the conductive paste of the present invention can be used for the formation of conductor circuits by screen printing additive method or external electrode formation of a multilayer ceramic capacitor. It can be used very favorably as a conductive material for conductive paste for forming various electrical contact members such as for example.
본 발명에 의한 도전성 페이스트용 구리분말의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 범위는 이하의 실시형태에 한정되는 것은 아니다. Embodiment of the copper powder for electrically conductive pastes which concerns on this invention is described. However, the scope of the present invention is not limited to the following embodiment.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 입자 내부에 Si를 0.1atm%∼10atm%, 또한 In을 0.1atm%∼10atm% 함유하는 것을 특징으로 한다. The copper powder for conductive pastes according to the present invention is characterized by containing 0.1 atm to 10 atm% of Si and 0.1 to 10 atm% of In in the particles.
여기서 중요한 것은 단순히 Si 및 In을 함유하고 있다는 것이 아니라, 특정량의 Si 및 In을 입자 내부에 함유하고 있는 것이다. '입자 내부'란, 입자의 표면보다도 안쪽의 부위를 말한다. It is important here not only to contain Si and In, but also to contain a certain amount of Si and In inside the particle. "Inside particle" means the site | part inside of the particle | grain surface.
상기의 특허문헌을 비롯한 대표적인 종래 기술에 개시되어 있는 구리분말, 즉 구리보다도 도전성이 떨어지는 각종 물질 또는 화합물이, 코어재인 구리분말 입자의 표면에 피복 또는 부착해 있는 구리분말은 내산화성의 개선에는 효과가 있다. 그러나 그러한 구리분말은 본 발명이 추구하는 특성, 즉 도전성을 해하지 않고, 입도가 미세하며, 내산화성이 뛰어나다는 특성을 가지는 것은 아니다. The copper powder disclosed in the representative prior art including the above patent documents, that is, copper powder coated or adhered to the surface of the copper powder particles, which is a material or compound having a lower conductivity than copper, is effective in improving oxidation resistance. There is. However, such a copper powder does not have the property of pursuing the present invention, that is, the conductivity is fine, the particle size is fine, and the oxidation resistance is excellent.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말에 포함되어 있는 Si 및 In 성분은 입자 내부의 금속상 중에 분포하고 있다. 특히 바람직하게는 이들 성분은 입자의 내부에 존재하면서, 입자의 표면에 노출하지 않고 입자 표면의 근방에 농화(濃化) 존재하고 있다. Si 및 In 성분이 이러한 분포상태로 되어 있으면, 내산화성의 개선에 더해, 뛰어난 도전성을 유지할 수 있다는 유리한 효과가 발휘된다. Si and In components contained in the copper powder for conductive pastes according to the present invention are distributed in the metal phase inside the particles. Particularly preferably, these components are present inside the particles, and are concentrated in the vicinity of the particle surface without being exposed to the particle surface. If the Si and In components are in such a distribution state, in addition to the improvement of oxidation resistance, the advantageous effect that the outstanding electroconductivity can be maintained is exhibited.
상기의 분포상태에 대하여 상세하게 기술하면, 상기의 '입자 표면의 근방에 농화 존재하고 있다'는 것은 Si 및 In 성분이 입자의 표면에 존재하고 있지 않으면서, 또한 입자의 표면으로부터 소정 깊이의 영역에 편재하고 있는 것을 말한다. 이 경우, Si 및 In 성분이 입자 표면의 근방에 농화 존재하고 있으면, Si 성분의 분포상태와 In 성분의 분포상태가 일치할 필요는 없다. 특히 Si 및 In 성분은 입자의 표면뿐만 아니라, 입자의 중심역에도 실질적으로 존재하지 않는 것이 내산화성의 한층 더한 개선 및 도전성의 한층 더한 유지의 관점에서 바람직하다. 입자 중에서의 Si 및 In 성분의 분포상태는 예를 들면 입자의 표면을 아르곤 이온 스퍼터 등으로 깎고, 깎여서 생성된 면에 대하여 원소 분석을 하거나, 또는 입자를 절단하여 절단면의 원소 분석을 하는 수법으로 측정할 수 있다. When the distribution state described above is described in detail, the above-mentioned "concentration exists in the vicinity of the particle surface" means that the Si and In components do not exist on the surface of the particle, and the region having a predetermined depth from the surface of the particle. It is said to be ubiquitous in. In this case, when the Si and In components are concentrated in the vicinity of the particle surface, the distribution state of the Si component and the distribution state of the In component do not need to coincide. Particularly, it is preferable that Si and In components not be substantially present not only on the surface of the particles, but also on the center region of the particles, in view of further improvement of oxidation resistance and further maintenance of conductivity. The distribution state of the Si and In components in the particles may be, for example, by cutting the surface of the particles with an argon ion sputter or the like and performing elemental analysis on the surface produced by cutting, or by cutting the particles and performing elemental analysis of the cut surface. It can be measured.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말과 같이, 입자 내부에 Si 성분과 In 성분을 함께 함유하고 있을 경우, 특히 600℃∼800℃에서의 내산화성을 비약적으로 향상시킬 수 있다. 예를 들면 후술하는 Δ(TG/SSA)라는 내산화성 지표로, 600℃의 온도 수준으로 20%/㎡/㎤ 이하가 실현 가능하다. 이와 같은 유리한 효과는 Si 성분 또는 In 성분을 개별적으로 함유하는 구리분말에서는 얻어지지 않는다. Like the copper powder for electrically conductive paste which concerns on this invention, when the Si component and In component are contained together in particle inside, the oxidation resistance in 600 degreeC-800 degreeC can especially be improved remarkably. For example, with the oxidation resistance index of (DELTA) (TG / SSA) mentioned later, 20% / m <2> / cm <3> or less can be implement | achieved at the temperature level of 600 degreeC. Such an advantageous effect is not obtained in the copper powder containing Si component or In component separately.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말에 있어서, Si의 함유량은 0.1atm%∼10atm%이고, 바람직하게는 0.5atm%∼5atm%이며, 보다 바람직하게는 1atm%∼3atm%이다. 이 함유량이 0.1atm% 미만에서는 본 발명이 추구하는 효과를 기대할 수 없다. 10atm%를 넘을 경우, 도전성이 손상될 뿐만 아니라 첨가에 걸맞은 효과가 얻어지지 않는다. In the copper powder for conductive pastes according to the present invention, the content of Si is 0.1 atm to 10 atm%, preferably 0.5 atm to 5 atm%, and more preferably 1 to 3 atm%. If this content is less than 0.1 atm%, the effect pursued by this invention cannot be expected. When it exceeds 10 atm%, not only the conductivity is impaired, but also an effect suitable for addition is not obtained.
In의 함유량은 0.1atm%∼10atm%이고, 바람직하게는 0.5atm%∼5atm%이며, 보다 바람직하게는 1atm%∼3atm%이다. 이 함유량이 0.1atm% 미만에서는 본 발명이 추구하는 효과를 기대할 수 없다. 10atm%를 넘을 경우, 도전성이 손상됨과 아울러 첨가에 걸맞은 효과가 얻어지지 않을 뿐만 아니라 제조 경비적으로도 비경제적이다. The content of In is 0.1 atm% to 10 atm%, preferably 0.5 atm% to 5 atm%, and more preferably 1 atm% to 3 atm%. If this content is less than 0.1 atm%, the effect pursued by this invention cannot be expected. When it exceeds 10 atm%, not only the conductivity is impaired, but also an effect suitable for addition is not obtained, and it is uneconomical in terms of manufacturing cost.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 Si 및 In에 더해, 입자 내부에 Ag를 바람직하게는 0.1atm%∼10atm%, 보다 바람직하게는 0.5atm%∼5atm%, 가장 바람직하게는 1atm%∼3atm% 함유한다. Ag를 이 특정량의 범위로 함유시키면, 도전성 페이스트용 구리분말의 내산화성을 유지한 채, 도전성을 한층 향상시킬 수 있다. 게다가 제조 경비도 억제된다. 특히 바람직하게는, Ag는 입자의 내부에 존재하면서, 입자의 표면에 노출하지 않고 입자 표면의 근방에 농화 존재하고 있다. 특히 Ag는 입자의 표면뿐만 아니라, 입자의 중심역에도 실질적으로 존재하지 않는 것이 내산화성의 한층 더한 개선 및 도전성의 한층 더한 유지의 관점에서 바람직하다. 입자 중에 있어서의 Ag의 분포상태는 앞서 말한 Si 및 In 성분의 분포상태의 측정법과 동일한 방법으로 측정할 수 있다. 또한 Ag의 분포상태는 Si 및 In의 분포상태와 일치할 필요는 없다. In addition to Si and In, the copper powder for conductive pastes according to the present invention preferably contains Ag at 0.1 atm% to 10 atm%, more preferably 0.5 atm to 5 atm%, and most preferably 1 atm to 3 atm. It contains%. When Ag is contained in this specific amount, conductivity can be further improved while maintaining oxidation resistance of the copper powder for conductive paste. Moreover, manufacturing cost is also suppressed. Particularly preferably, Ag is present inside the particles and is concentrated in the vicinity of the particle surface without exposing to the particle surface. Particularly, it is preferable that Ag is not substantially present not only on the surface of the particle but also on the center of the particle, in view of further improvement of oxidation resistance and further maintenance of conductivity. The distribution state of Ag in particle | grains can be measured by the same method as the measuring method of distribution state of Si and In component mentioned above. In addition, the distribution state of Ag does not need to match the distribution state of Si and In.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 Si 및 In에 더해, 입자 내부에 P(인)를 바람직하게는 0.01atm%∼0.5atm%, 보다 바람직하게는 0.05atm%∼0.3atm% 함유한다. P를 이 특정량의 범위로 함유시키면, 입도가 미세함에도 불구하고 내산화성이 비약적으로 뛰어나면서, 또한 도전성도 뛰어난 도전성 페이스트용 구리분말이 된다. 나아가, 입자의 형상이나 입도의 편차가 작고, 또한 함유되는 산소의 농도가 낮다는 특징이 향상한다. 특히 Si와 In이 공존함으로써, P의 농도가 높아도 내산화성의 개선 효과가 저해되지 않으므로 바람직하다. 특히 바람직하게는, P는 입자의 내부에 존재하면서, 입자의 표면에 노출하지 않고 입자 표면의 근방에 농화 존재하고 있다. 특히 P는 입자의 표면뿐만 아니라, 입자의 중심역에도 실질적으로 존재하지 않는 것이 내산화성의 한층 더한 개선 및 도전성의 한층 더한 유지의 관점에서 바람직하다. 입자 중에서의 P의 분포상태는 앞서 말한 Si 및 In 성분의 분포상태의 측정법과 동일한 방법으로 측정할 수 있다. 또한 Ag의 분포상태는 Si 및 In의 분포상태와 일치할 필요는 없다. In addition to Si and In, the copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention contains P (phosphorus) in particle inside preferably 0.01 atm%-0.5 atm%, More preferably, 0.05 atm%-0.3 atm%. When P is contained in this specific amount, it becomes a copper paste for conductive paste that is excellent in oxidation resistance and excellent in conductivity even though the particle size is fine. Furthermore, the characteristic that the dispersion | variation in the shape and particle size of particle | grains is small, and the density | concentration of oxygen contained is low improves. In particular, Si and In coexist, so that the effect of improving the oxidation resistance is not impaired even if the concentration of P is high. Particularly preferably, P is present inside the particles and is concentrated in the vicinity of the particle surface without being exposed to the particle surface. In particular, it is preferable from the viewpoint of further improvement of oxidation resistance and the further maintenance of electroconductivity that P does not exist substantially not only in the surface of a particle but also in the center region of a particle | grain. The distribution state of P in particle can be measured by the same method as the measuring method of distribution state of Si and In component mentioned above. In addition, the distribution state of Ag does not need to match the distribution state of Si and In.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말이 Si, In, Ag 및 P 모두를 포함할 경우, 입도가 미세함에도 불구하고 입자의 형상이나 입도의 편차가 작으면서, 또한 내산화성이 비약적으로 뛰어난 것에 더해 도전성이 한층 향상한다. When the copper paste for conductive paste according to the present invention contains all of Si, In, Ag, and P, in spite of its fine particle size, the particle shape and particle size variation are small and the oxidation resistance is remarkably excellent. This further improves.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말에 있어서, 이것에 함유되는 Si, In, Ag 및 P의 비율은 후술하는 실시예에 기재된 방법으로 측정된다. In the copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention, the ratio of Si, In, Ag, and P contained in this is measured by the method as described in the Example mentioned later.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 Si/In(atm비)이 바람직하게는 0.5∼5, 보다 바람직하게는 1∼4이다. Si/In의 비가 이러한 범위이면, 도전성이 낙하하거나 제조 경비가 높아지거나 하는 일 없이, 입도를 미세하게 할 수 있고, 내산화성을 향상시킬 수 있으며, 입자의 형상이나 입도의 편차를 작게 할 수 있고, 함유되는 산소의 농도를 낮게 할 수 있다는 특징을 균형적으로 유지할 수 있다. The copper powder for the conductive paste according to the present invention preferably has a Si / In (atm ratio) of 0.5 to 5, more preferably 1 to 4. If the ratio of Si / In is within this range, the particle size can be made fine, the oxidation resistance can be improved, the particle shape and the particle size variation can be made small, without the conductivity falling or the manufacturing cost being increased. The balance of oxygen can be kept low.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말이 P를 함유할 경우, Si/P(atm비)는 바람직하게는 4∼200, 보다 바람직하게는 10∼100이다. Si/P의 비가 이러한 범위이면, 입도를 미세하게 할 수 있고, 내산화성을 향상시킬 수 있으며, 도전성을 높일 수 있고, 입자의 형상이나 입도의 편차를 작게 할 수 있으며, 함유되는 산소의 농도를 낮게 할 수 있다는 특징을 균형 맞추기 쉽다. When the copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention contains P, Si / P (atm ratio) becomes like this. Preferably it is 4-200, More preferably, it is 10-100. If the ratio of Si / P is within this range, the particle size can be made fine, the oxidation resistance can be improved, the conductivity can be increased, the variation in the shape and particle size of the particles can be reduced, and the concentration of oxygen contained It is easy to balance features that can be lowered.
마찬가지로, 본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말이 P를 함유할 경우, In/P(atm비)는 바람직하게는 4∼200, 보다 바람직하게는 10∼100이다. In/P의 비가 이러한 범위이면, 입도를 미세하게 할 수 있고, 내산화성을 향상시킬 수 있으며, 도전성을 높일 수 있고, 입자의 형상이나 입도의 편차를 작게 할 수 있으며, 함유되는 산소의 농도를 낮게 할 수 있다는 특징을 균형 맞추기 쉽다. Similarly, when the copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention contains P, In / P (atm ratio) becomes like this. Preferably it is 4-200, More preferably, it is 10-100. If the ratio of In / P is in this range, the particle size can be made fine, the oxidation resistance can be improved, the conductivity can be increased, the variation in the shape and particle size of the particles can be reduced, and the concentration of oxygen contained It is easy to balance features that can be lowered.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말을 습식 환원법으로 제조했을 경우라도 상술한 유리한 효과를 어느 정도 기대할 수 있다. 그러나 입자의 형상이 균정(均整)하면서, 또한 도전 페이스트로서 사용될 경우에 가스 발생이 적은 점 등의 이점이 있는 것을 고려하면, 본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 아토마이즈법으로 제조된 것임이 바람직하다. Even when the copper powder for electrically conductive pastes which concerns on this invention was manufactured by the wet reduction method, the above-mentioned advantageous effect can be expected to some extent. However, considering that the shape of the particles is uniform and there is an advantage such as little gas generation when used as the conductive paste, the copper powder for the conductive paste according to the present invention is manufactured by the atomizing method. desirable.
아토마이즈법에는 가스 아토마이즈법과 물 아토마이즈법이 있다. 입자 형상의 균정화를 도모한다면 가스 아토마이즈법을 선택하면 된다. 입자의 미세화를 도모한다면 물 아토마이즈법을 선택하면 된다. 또한, 본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 아토마이즈법 중, 고압 아토마이즈법으로 제조된 것임이 바람직하다. 고압 아토마이즈법으로 얻어진 구리분말은 입자가 보다 균정하게 되거나, 또는 보다 미세하게 되므로 바람직하다. 고압 아토마이즈법이란, 물 아토마이즈법에서는 50MPa∼150MPa 정도의 수압력으로 아토마이즈하는 방법이고, 가스 아토마이즈법에서는 1.5MPa∼3MPa 정도의 가스 압력으로 아토마이즈하는 방법이다. The atomization method includes a gas atomization method and a water atomization method. If the particle shape is to be balanced, the gas atomization method may be selected. The water atomization method may be selected if the particles are to be miniaturized. Moreover, it is preferable that the copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention was manufactured by the high pressure atomization method among the atomization methods. The copper powder obtained by the high pressure atomization method is preferable because the particles become more uniform or finer. The high pressure atomizing method is a method of atomizing at a water pressure of about 50 MPa to 150 MPa in the water atomizing method, and a method of atomizing at a gas pressure of about 1.5 MPa to 3 MPa in the gas atomizing method.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 또한 Ni, Al, Ti, Fe, Co, Cr, Mg, Mn, Mo, W, Ta, Zr, Nb, B, Ge, Sn, Zn, Bi 등 중의 적어도 1종 이상의 원소 성분을 함유하고 있어도 된다. 이들 원소 성분을 함유시킴으로써 도전성 페이스트에 요구되는 여러 특성의 향상을 도모할 수 있다. 그러한 특성으로서는, 예를 들면 구리분말의 융점을 저하시켜 소결성을 향상시키는 것 등을 들 수 있다. 이들 원소의 구리에 대한 첨가량은 첨가하는 원소의 종류에 따른 도전 특성이나 그 밖의 각종 특성 등에 기초하여 적절히 설정된다. 첨가량은 통상 0.001질량%∼2질량% 정도이다. The copper powder for the conductive paste according to the present invention is also at least one of Ni, Al, Ti, Fe, Co, Cr, Mg, Mn, Mo, W, Ta, Zr, Nb, B, Ge, Sn, Zn, Bi, and the like. It may contain more than a kind of elemental component. By containing these elemental components, various characteristics required for the conductive paste can be improved. As such a characteristic, the melting | fusing point of a copper powder is reduced, for example, and sinterability is improved. The addition amount of these elements with respect to copper is suitably set based on the electrically-conductive characteristic, other various characteristics, etc. according to the kind of element to add. The addition amount is about 0.001 mass%-about 2 mass% normally.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 입자의 형상에 특별히 제한은 없고, 용도에 따라 선택하는 것이 가능하다. 예를 들면 입자형상, 판형상, 플레이크형상, 덴드라이트형상, 침형상, 봉형상 등의 형상을 채용할 수 있다. 통상, 도전 페이스트용 구리분말은 페이스트 성분 중에서의 분산성 향상을 도모하기 위해 입자형상을 나타내는 것이 바람직하다. 특히, 구(球)형상을 나타내는 것이 더욱 바람직하다. 입자형상이란, 애스펙트비(평균 장경(長徑)을 평균 단경(短徑)으로 나눈 값)가 1∼1.25 정도로 갖추어져 있는 형상을 말한다. 애스펙트비가 1∼1.1 정도로 갖추어져 있는 형상을 특히 구형상이라고 한다. 형상이 갖추어져 있지 않은 상태는 부정형상이라고 한다. 입자형상을 이루는 구리분말은 입자 상호의 얽힘이 적다. 따라서, 입자형상을 이루는 구리분말을 도전성 페이스트의 도전재료 등에 사용하면, 페이스트 중에서의 분산성이 향상하므로 매우 바람직하다. The copper powder for electroconductive paste which concerns on this invention does not have a restriction | limiting in particular in the shape of particle | grain, It can select according to a use. For example, shapes such as particle shape, plate shape, flake shape, dendrite shape, needle shape, and rod shape can be adopted. Usually, it is preferable that the copper powder for electrically conductive pastes shows particle shape in order to aim at the improvement of the dispersibility in a paste component. In particular, it is more preferable to exhibit a spherical shape. The particle shape means a shape having an aspect ratio (value obtained by dividing the average long diameter by the average short diameter) at about 1 to 1.25. A shape having an aspect ratio of about 1 to 1.1 is particularly called a spherical shape. The state in which the shape is not provided is called indefinite shape. The copper powder which forms a particle shape has few entanglement with each other. Therefore, when the copper powder which forms a particle | grain form is used for the electrically-conductive material of an electrically conductive paste, etc., since the dispersibility in a paste improves, it is very preferable.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 체적누적입경(D50) 및 표준편차값(SD)으로부터 구해지는 변동계수(SD/D50)가 0.2∼0.6이면, 입도분포의 편차가 적고, 도전성 페이스트의 도전재료 등에 사용했을 경우의 페이스트 중에서의 분산성을 향상시킬 수 있으므로 매우 바람직하다. SD 및 D50은 예를 들면 레이저 회절 산란식 입도분포 측정장치 등으로 측정할 수 있다. The copper powder for conductive paste according to the present invention has little variation in the particle size distribution when the coefficient of variation (SD / D 50 ) obtained from the volume cumulative particle diameter (D 50 ) and the standard deviation value (SD) is 0.2 to 0.6, and the conductive paste is low. It is very preferable because the dispersibility in the paste when used for a conductive material or the like can be improved. SD and D 50 can be measured by a laser diffraction scattering particle size distribution analyzer etc., for example.
변동계수 SD/D50의 값이 상술한 범위인 것에 더해, SD 및 D50의 값 자체에 관해서는 SD가 10∼20㎛, 특히 13∼18㎛이고, D50이 20∼30㎛인 것이 바람직하다. In addition to the value of the coefficient of variation SD / D 50 in the above-described range, the SD and the value of D 50 itself are preferably in the range of 10 to 20 µm, in particular 13 to 18 µm, and D 50 in the range of 20 to 30 µm. Do.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 일차입자개수 평균입경을 0.01㎛∼50㎛로 함으로써, 미세한 도체회로 형성용의 도전성 페이스트의 도전재료 등에 적합한 것이 된다. 일차입자개수 평균입경은 예를 들면 주사형 전자현미경 관찰 사진을 화상 해석하는 방법 등으로 측정할 수 있다. The copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention is suitable for the electrically-conductive material of the electrically conductive paste for fine conductor circuit formation, by making the average particle number average particle diameter into 0.01 micrometer-50 micrometers. The primary particle number average particle diameter can be measured, for example, by the method of image analysis of a scanning electron microscope observation photograph.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 초기의(제조 직후의) 함유 산소 농도를 30ppm∼2500ppm으로 함으로써 도전성을 확실하게 확보할 수 있어, 도전성 페이스트의 도전재료 등에 적합한 것이 된다. 함유 산소 농도는 후술하는 실시예에 기재된 방법으로 측정된다. The copper powder for electrically conductive pastes concerning this invention can ensure reliably, and can be suitable for the electrically-conductive material of an electrically conductive paste by making initial (after manufacture) containing oxygen concentration into 30 ppm-2500 ppm. Containing oxygen concentration is measured by the method as described in the Example mentioned later.
본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말은 열중량·시차열분석장치에 의한 250℃ 및 800℃에서의 [중량변화율(TG(%))/비표면적(SSA)]의 차(이하, Δ(TG/SSA)라고 칭함)가, 바람직하게는 1%/㎡/㎤∼60%/㎡/㎤, 보다 바람직하게는 1%/㎡/㎤∼25%/㎡/㎤이다. 중량변화율(TG(%))은 30℃에서의 구리분말의 중량을 기준으로 한 값이다. Δ(TG/SSA)는 (TG/SSA)800-(TG/SSA)250으로 정의된다. 중량변화율(TG) 및 비표면적(SSA)은 후술하는 실시예에 기재된 방법으로 측정된다. The copper powder for conductive pastes according to the present invention is the difference between [weight change rate (TG (%)) / specific surface area (SSA)] at 250 ° C and 800 ° C by thermogravimetric and differential thermal analysis device (hereinafter, Δ (TG / SSA)) is preferably 1% / m 2 / cm 3 to 60% / m 2 / cm 3, more preferably 1% / m 2 / cm 3 to 25% / m 2 / cm 3. The weight change rate (TG (%)) is a value based on the weight of the copper powder at 30 degreeC. Δ (TG / SSA) is defined as (TG / SSA) 800 − (TG / SSA) 250 . Weight change rate (TG) and specific surface area (SSA) are measured by the method as described in the below-mentioned Example.
이 Δ(TG/SSA)라는 특성값에 의하면, 구리분말의 내산화성을 평가할 수 있다. 또한 250℃∼800℃라는 온도영역은 예를 들면 세라믹 콘덴서의 외부전극 소성용 도전성 페이스트를 비롯한 주된 도전성 페이스트를 사용할 때의 가열 온도영역이다. 따라서, 이 영역에서 구리분말이 내산화성을 가지는 것은 매우 중요하다. 이 Δ(TG/SSA)가 상기의 바람직한 범위이면 구리분말의 내산화성이 충분히 발휘되고, 또한 높은 도전성을 확보할 수도 있다. 본 발명에서는 입자 내부에 함유되는 Si 및 In의 양을 상술한 범위 내로 설정함으로써, 구리분말의 Δ(TG/SSA)의 값을 상기의 바람직한 범위로 할 수 있다. 특히 입자 내부에 P를 상술한 양의 범위로 함유시킴으로써, 한층 용이하게 구리분말의 Δ(TG/SSA)의 값을 상기의 바람직한 범위로 할 수 있다. According to this characteristic value of (DELTA) (TG / SSA), the oxidation resistance of a copper powder can be evaluated. The temperature range of 250 ° C. to 800 ° C. is a heating temperature range when a main conductive paste including a conductive paste for firing external electrodes of a ceramic capacitor is used, for example. Therefore, it is very important that the copper powder has oxidation resistance in this region. Oxidation resistance of a copper powder is fully exhibited as this (DELTA) (TG / SSA) is said preferable range, and high electrical conductivity can also be ensured. In this invention, the value of (DELTA) (TG / SSA) of a copper powder can be made into the said preferable range by setting the quantity of Si and In contained in particle | grains in the above-mentioned range. In particular, by containing P in the above-mentioned amount in the particles, the value of Δ (TG / SSA) of the copper powder can be made easier within the above-mentioned preferred range.
다음으로 본 발명에 따른 도전성 페이스트용 구리분말의 바람직한 구체적인 제조방법에 대하여 설명한다. Next, the preferable specific manufacturing method of the copper powder for electrically conductive pastes which concerns on this invention is demonstrated.
본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말은 용융한 구리에 Si 성분을 모(母)합금 혹은 화합물 등의 형태로, 또는 In 성분을 잉곳이나 숏 메탈 등의 형태로 소정량 첨가한 후, 소정의 아토마이즈법으로 분체화함으로써 제조 가능하다. The copper powder for electrically conductive paste of this invention adds Si component to molten copper in the form of a mother alloy, a compound, etc., or In component in the form of an ingot, a shot metal, etc. It can manufacture by powdering by the method.
상기 제조방법에 의하면, 입도가 미세함에도 불구하고 내산화성과 도전성의 균형이 손상되지 않는 구리분말을 제조할 수 있다. 또한 입자의 형상이나 입도의 편차가 작고, 함유되는 산소의 농도가 낮은 구리분말을 제조할 수 있다. According to the above production method, it is possible to produce a copper powder in which the balance of oxidation resistance and conductivity is not impaired even though the particle size is fine. Moreover, the copper powder with little dispersion | variation in the shape and particle size of particle | grains, and the density | concentration of oxygen contained can be manufactured.
이 이유는 확실하지 않지만, 용융한 구리 또는 구리 합금에 첨가한 Si 및 In이 구리입자의 도전성을 해하지 않는 범위에서 구리입자 중의 산소를 잡아서 산화를 억제하기 때문이라고 추측된다. Although this reason is not certain, it is guessed that Si and In added to molten copper or a copper alloy hold | maintain oxygen in a copper particle and suppress oxidation in the range which does not impair the electroconductivity of a copper particle.
본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말의 제조에서는 Si 및 In 성분에 더해 Ag 성분을 첨가함으로써, 구리분말의 내산화성을 확보하면서 또한 도전성을 향상시킬 수 있다. In the production of the copper paste for the conductive paste of the present invention, by adding the Ag component in addition to the Si and In components, the oxidation resistance of the copper powder can be secured and the conductivity can be improved.
Si 및 In 성분에 더해 P 성분을 첨가하면, 아토마이즈시의 용탕(溶湯)의 표면 장력을 작게 할 수 있어, 입자형상의 균정화나 용탕 중의 탈산소화가 효과적으로 실시되는 것이라고 추측된다. P 성분의 첨가는 Si 성분과 마찬가지로, 용융한 구리에 P 성분을 모합금 또는 화합물의 형태로 소정량 첨가하면 된다. If the P component is added to the Si and In components, the surface tension of the molten metal at the time of atomization can be reduced, and it is speculated that the particle-shaped uniformity and the deoxygenation in the molten metal are effectively performed. The addition of the P component may be performed by adding a predetermined amount of the P component to the molten copper in the form of a master alloy or a compound, similarly to the Si component.
상기의 제조방법에서는 앞서 설명한 이유로 인해 고압 아토마이즈법을 채용하는 것이 바람직하다. 단, 가스 아토마이즈법에 비해 물 아토마이즈법을 채용했을 경우에는 Si, In 및 P의 함유량의 수율이 낮은 경우가 있으므로, 목적으로 하는 구리분말 중의 정미량(正味量)에 대하여 Si 및 In의 경우에는 1∼10배량을 첨가하고, P의 경우에는 1∼100배량을 첨가할 필요가 있다. In the above production method, it is preferable to employ the high pressure atomizing method for the reasons described above. However, when the water atomizing method is adopted as compared to the gas atomizing method, the yield of the content of Si, In and P may be lower. Therefore, the amount of Si and In is determined with respect to the net amount in the target copper powder. In the case of 1 to 10-fold amount is added, in the case of P, it is necessary to add 1 to 100-fold amount.
아토마이즈법에서는 예를 들면 용탕의 온도, 용탕을 분무하는 노즐의 직경, 분무의 압력, 가스나 물의 온도 등을 적절하게 컨트롤함으로써 목적으로 하는 구리분말을 순조롭게 제조할 수 있다. In the atomizing method, the target copper powder can be produced smoothly by appropriately controlling the temperature of the molten metal, the diameter of the nozzle for spraying the molten metal, the pressure of spraying, the temperature of the gas or water, and the like.
상기의 제조방법에서는 아토마이즈법으로 얻어진 구리분말을 환원 처리해도 된다. 이 환원 처리에 의해, 산화가 진행하기 쉬운 구리분말의 표면의 산소 농도를 더욱 저감할 수 있다. 환원 처리는 작업성의 관점에서 가스에 의한 환원이 바람직하다. 환원 처리용 가스에 특별히 제한은 없다. 예를 들면 수소 가스, 암모니아 가스, 부탄 가스 등의 환원성을 가지는 가스를 이용할 수 있다. In the above production method, the copper powder obtained by the atomizing method may be reduced. By this reduction treatment, the oxygen concentration on the surface of the copper powder which is easily prone to oxidation can be further reduced. The reduction treatment is preferably performed by gas from the viewpoint of workability. There is no restriction | limiting in particular in the gas for a reduction process. For example, a gas having reducibility such as hydrogen gas, ammonia gas, butane gas, and the like can be used.
상기의 환원 처리는 150℃∼300℃의 온도로 실시하면 바람직하고, 특히 170℃∼210℃의 온도로 실시하면 보다 바람직하다. 이 이유는 환원 처리의 온도가 상기의 범위 내이면, 환원 속도가 늦어지는 것에 기인하는 환원 처리의 저하를 방지할 수 있고, 또한 구리분말의 응집이나 소결이 일어나는 것을 억제할 수 있기 때문이다. 환원 처리의 온도가 170℃∼210℃이면, 산소 농도를 효율적으로 저감하면서, 구리분말의 응집이나 소결을 확실하게 억제할 수 있으므로 한층 바람직하다. It is preferable to perform said reduction process at the temperature of 150 degreeC-300 degreeC, and it is more preferable to carry out especially at the temperature of 170 degreeC-210 degreeC. This reason is because, when the temperature of the reduction treatment is in the above range, the reduction of the reduction treatment due to the reduction of the reduction rate can be prevented, and the aggregation and sintering of the copper powder can be suppressed. If the temperature of the reduction treatment is 170 ° C to 210 ° C, the aggregation and sintering of the copper powder can be reliably suppressed while reducing the oxygen concentration, which is more preferable.
상기의 제조방법에서는 아토마이즈법으로 얻어진 구리분말을 분급하는 것이 바람직하다. 분급은 목적으로 하는 입도가 중심이 되도록, 적절한 분급장치를 이용하여 구리분말로부터 조립자(粗粒子)나 미립자를 분리함으로써 용이하게 실시할 수 있다. 특히, 앞서 설명한 변동계수(SD/D50)가 0.2∼0.6이 되도록 분급하는 것이 바람직하다. In the above production method, it is preferable to classify the copper powder obtained by the atomizing method. Classification can be performed easily by isolate | separating granules and microparticles | fine-particles from a copper powder using a suitable classification apparatus so that the target particle size may become a center. In particular, it is preferable to classify so that the coefficient of variation (SD / D 50 ) described above may be 0.2-0.6.
이와 같이 해서 얻어진 구리분말에, 예를 들면 에폭시 수지 등의 수지 및 그 경화제 등의 각종 첨가제를 배합하여 혼련 등의 조작을 함으로써, 본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말을 함유한 도전성 페이스트가 제조된다. 이러한 도전성 페이스트의 조성은 당해 기술분야에서 잘 알려진 것이며, 특별히 상세하게 기술할 것도 없다. 이 도전성 페이스트에서는 그것에 포함되어 있는 구리분말이 미세한 입도임에도 불구하고 내산화성과 도전성이 균형 잡혀 있고, 또한 입자형상의 편차가 적으면서, 또한 함유되는 산소의 농도가 낮은 것이다. 따라서, 이 도전성 페이스트는 스크린 인쇄 어디티브법에 의한 도체회로의 형성이나, 적층 세라믹 콘덴서의 외부전극의 형성 등의 각종 전기적 접점부재의 형성에 매우 적합하게 이용된다. 그 밖에, 본 발명의 도전성 페이스트용 구리분말은 적층 세라믹 콘덴서의 내부전극, 인덕터나 레지스터 등의 칩 부품, 단판 콘덴서 전극, 탄탈 콘덴서 전극, 수지 다층 기판, 세라믹(LTCC) 다층 기판, 플렉시블 프린트 기판(FPC), 안테나 스위치 모듈, PA 모듈이나 고주파 액티브 필터 등의 모듈, PDP 전면판 및 배면판이나 PDP 컬러 필터용 전자 차폐 필름, 결정형 태양전지 표면전극 및 배면 인출전극, 도전성 접착제, EMI 실드, RF-ID, PC 키보드 등의 멤브레인 스위치, 이방성 도전막(ACF/ACP) 등에도 사용 가능하다. Thus, the electrically conductive paste containing the copper powder for electrically conductive pastes of this invention is manufactured by mix | blending various additives, such as resin, such as an epoxy resin, and its hardening | curing agent, and carrying out operation, such as kneading | mixing to the obtained copper powder. The composition of such a conductive paste is well known in the art, and there is no particular description in detail. In this electrically conductive paste, although the copper powder contained in it is fine particle size, oxidation resistance and electroconductivity are balanced, there are few particle shapes, and the density | concentration of oxygen contained is low. Therefore, this electrically conductive paste is used suitably for formation of various electrical contact members, such as formation of the conductor circuit by the screen printing additive method, formation of the external electrode of a multilayer ceramic capacitor. In addition, the copper paste for the conductive paste of the present invention is an internal electrode of a multilayer ceramic capacitor, a chip component such as an inductor or a resistor, a single plate capacitor electrode, a tantalum capacitor electrode, a resin multilayer substrate, a ceramic (LTCC) multilayer substrate, a flexible printed circuit board ( FPC), antenna switch module, module such as PA module or high frequency active filter, electronic shielding film for PDP front panel and back panel or PDP color filter, crystalline solar cell surface electrode and back extraction electrode, conductive adhesive, EMI shield, RF- It can also be used for membrane switches such as ID and PC keyboards, and anisotropic conductive films (ACF / ACP).
이하, 본 발명을 하기 실시예 및 비교예에 기초하여 더욱 상세하게 기술한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on the following Examples and Comparative Examples.
(실시예 1) (Example 1)
가스 아토마이즈 장치(닛신기켄(주) 제품, NEVA-GP2형)의 챔버 및 원료 용해 실 내부를 질소 가스로 충전한 후, 용해실 내에 설치된 카본 도가니에서 원료를 가열 용해하여 용융물로 하였다. 구체적으로는 전기 구리를 용해한 용탕 중에, 금속 규소(니혼킨조쿠카가쿠코교(주) 제품 NIKSIL) 1.77g, 및 금속 인듐 7.20g을 첨가하여 800g의 용탕으로 하고 충분히 교반 혼합하였다. 그 후, 용탕을 구경 φ1.5mm의 노즐로 1250℃, 3.0MPa로 분무하여, 규소 및 인듐을 입자 내부에 포함하는 구리분말을 얻었다. 이 후, 얻어진 구리분말을 53㎛ 테스트 시브(sieve)로 체질하고, 체 통과품을 최종적인 구리분말로 하였다. 얻어진 구리분말의 특징을 표 2에 나타낸다. 이 구리분말에서는 Si 및 In이 입자의 표면에 노출해 있지 않으면서, 또한 입자 표면의 근방에 편재하고 있었다. After filling the inside of the chamber and the raw material dissolution chamber of a gas atomizing device (Nisshingiken Co., Ltd. type, NEVA-GP2 type | mold) with nitrogen gas, the raw material was heat-dissolved in the carbon crucible installed in the dissolution chamber, and it was set as the melt. Specifically, 1.77 g of metallic silicon (NIKSIL manufactured by Nihon Kinzoku Chemical Co., Ltd.) and 7.20 g of metal indium were added to the molten metal in which the electro-copper was melted to form an 800 g of molten metal, and the mixture was sufficiently stirred and mixed. Thereafter, the molten metal was sprayed at 1250 ° C. and 3.0 MPa with a nozzle having a diameter of 1.5 mm to obtain a copper powder containing silicon and indium inside the particles. Thereafter, the obtained copper powder was sieved with a 53 μm test sieve, and the sieve product was used as the final copper powder. The characteristics of the obtained copper powder are shown in Table 2. In this copper powder, Si and In were unexposed to the particle surface, and were unevenly distributed in the vicinity of the particle surface.
(실시예 2∼14) (Examples 2 to 14)
금속 규소, 금속 인듐 외에, 은 지금 및 구리-인 모합금(인 품위 15질량%)을 표 1에 나타내는 바와 같이 첨가한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 조작을 하여 구리분말을 얻었다. In addition to the metal silicon and the metal indium, a copper powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that silver silver and a copper-phosphorus master alloy (phosphorus grade 15 mass%) were added as shown in Table 1.
(비교예 1∼8) (Comparative Examples 1 to 8)
금속 규소, 금속 인듐 및 구리-인 모합금(인 품위 15질량%)의 첨가량을 표 1에 나타내는 바와 같이 첨가한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 조작을 하여 구리분말을 얻었다. Copper powder was obtained by operation similar to Example 1 except having added the addition amount of the metal silicon, the metal indium, and the copper- phosphorus master alloy (15 mass% of phosphorus grades) as shown in Table 1.
실시예 및 비교예에서 얻어진 구리분말에 관하여 이하에 나타내는 방법으로 여러 특성을 평가하였다. 그 결과를 표 2∼6에 나타낸다. Various characteristics were evaluated by the method shown below about the copper powder obtained by the Example and the comparative example. The results are shown in Tables 2-6.
(1)규소, 인듐, 인 함유량 (1) silicon, indium, phosphorus content
시료를 산으로 용해하고 용액을 ICP로 분석하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다. The sample was dissolved with acid and the solution analyzed by ICP. The results are shown in Table 2.
(2)산소 농도 (2) oxygen concentration
산소·질소 분석장치(호리바세이사쿠쇼 가부시키가이샤 제품 'EMGA-520(형번)')로 분석하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다. 또한, 내산화성의 경시적인 열화를 평가하기 위해, 산요세이코 제품 SK-8000을 이용하여 Air 유량 8L/분, 승온 속도 10℃/분으로 200℃까지 승온하고, 그 후 같은 온도로 1시간 유지한 시료의 산소 농도도 측정하였다. 그 결과를 표 5에 나타낸다. The analysis was carried out with an oxygen / nitrogen analyzer (EMGA-520 (model number) manufactured by Horiba Seisakusho Co., Ltd.). The results are shown in Table 2. In addition, in order to evaluate the deterioration of the oxidation resistance over time, the temperature of the air flow was raised to 200 ° C. at 8 L / min and a heating rate of 10 ° C./min using a Sanyo Seiko SK-8000, and then maintained at the same temperature for 1 hour. The oxygen concentration of the sample was also measured. The results are shown in Table 5.
(3)Δ(TG/SSA) (3) Δ (TG / SSA)
40℃∼800℃에서의 Tg(%)를 시차열 열중량 동시측정장치(TG/DTA) (SII 제품, TG/DTA6300 고온형) (승온 속도:10℃/분, Air 유량:200mL/분)로 측정하였다. 한편 비표면적은 입도측정장치(닛키소 제품, 마이크로트랙 MT-3000형)로 측정한 입도분포로부터 구하였다. 양자의 측정값으로부터 TG/SSA를 산술적으로 구하였다. 그 결과를 표 3에 나타낸다. 표 3에는 250℃에서의 TG/SSA와 800℃에서의 TG/SSA의 차인 Δ(TG/SSA) 값도 기재되어 있다. 또한, 각 온도에서의 TG/SSA를 비교예 8의 순구리분말의 TG/SSA(표 4 중 [TG/SSA]Cu라고 기재)로 나눈 값도 구하였다. 그 결과를 표 4에 나타낸다. Tg (%) at 40 ° C to 800 ° C by differential thermal thermogravimetry (TG / DTA) (SII, TG / DTA6300 high temperature type) (raising temperature: 10 ° C / min, air flow rate: 200mL / min) Was measured. On the other hand, the specific surface area was calculated | required from the particle size distribution measured with the particle size measuring device (The Nikkiso product, Microtrack MT-3000 type). TG / SSA was arithmetically calculated from both measurements. The results are shown in Table 3. Table 3 also describes the Δ (TG / SSA) value, which is the difference between TG / SSA at 250 ° C. and TG / SSA at 800 ° C. In addition, the value obtained by dividing TG / SSA at each temperature by TG / SSA (described as [TG / SSA] Cu in Table 4) of the pure copper powder of Comparative Example 8 was also obtained. The results are shown in Table 4.
(4)입자형상 (4) particle shape
주사형 전자현미경으로 관찰하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다. Observation was performed with a scanning electron microscope. The results are shown in Table 2.
(5)D50, SD, SD/D50 (5) D 50 , SD, SD / D 50
0.2g의 시료를 100ml의 순수(pure water) 중에 넣고 초음파를 3분간 조사하여 분산시킨 후, 입도분포 측정장치(닛키소 가부시키가이샤 제품 '마이크로트랙(상품명) FRA(형번)')로 체적누적입경(D50) 및 표준편차값(SD) 그리고 변동계수(SD/D50)를 각각 구하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다. 0.2 g of the sample was poured into 100 ml of pure water, irradiated with ultrasonic waves for 3 minutes and dispersed, and then deposited in a volume distribution analyzer (Microtrack (trade name) FRA (Model No.) manufactured by Nikkiso KK). Particle diameter (D 50 ), standard deviation (SD) and coefficient of variation (SD / D 50 ) were obtained, respectively. The results are shown in Table 2.
(6)체적 저항률 (6) volume resistivity
시료 15g을 통형상 용기에 넣고 프레스압 40×106Pa(408kgf/c㎡)로 압축 성형한 측정 샘플을 형성하고, 이 측정 샘플에 대하여 로레스타(Loresta) AP 및 로레스타 PD-41형(모두 미츠비시카가쿠(주)사 제품)을 이용하여 측정하였다. 그 결과를 표 6에 나타낸다. 15 g of the sample was placed in a cylindrical container, and a measurement sample formed by compression molding at a press pressure of 40 × 10 6 Pa (408 kgf / cm 2) was formed. For this measurement sample, the LORESTA AP and LORESTA PD-41 ( All were measured using Mitsubishi Kagaku Co., Ltd. product. The results are shown in Table 6.
표 3 및 표 4로부터 명백한 바와 같이, 실시예의 구리분말은 250∼800℃의 온도영역에서 내산화성이 뛰어나다. 특히 600∼800℃의 온도영역에서, 실시예의 구리분말(Si 및 In을 모두 입자 내부에 함유하는 구리분말)은 비교예의 구리분말(Si 또는 In 중 어느 하나만을 입자 내부에 함유하는 구리분말)에 비해 내산화성이 현저하게 뛰어나다. As is apparent from Tables 3 and 4, the copper powders of the examples are excellent in oxidation resistance in the temperature range of 250 to 800 占 폚. Particularly in the temperature range of 600 to 800 ° C., the copper powder of the example (copper powder containing both Si and In inside the particles) was added to the copper powder of the comparative example (copper powder containing only either Si or In inside the particles). Compared with the oxidation resistance is remarkably excellent.
또한 표 5에 나타내는 바와 같이, 실시예의 구리분말은 산화하기 쉬운 환경하에 장시간 유지했을 경우, 비교예의 구리분말과 비교해서 내산화성의 경시적인 열화가 현저하게 억제되어 있다. 특히 비교예 1, 2, 4 및 5의 구리분말은 Si 및 In의 총합 함유량이 2atm% 정도로 상대적으로 많은 데 반해, 실시예의 구리분말은 Si 및 In의 총합 함유량이 1atm% 정도로 상대적으로 적음에도 불구하고 내산화성의 경시적인 열화가 억제되어 있음을 알 수 있다. Moreover, as shown in Table 5, when the copper powder of an Example is kept for a long time in the environment which is easy to oxidize, compared with the copper powder of a comparative example, the time-dependent deterioration of oxidation resistance is suppressed remarkably. In particular, although the copper powders of Comparative Examples 1, 2, 4, and 5 had a relatively high total content of Si and In of about 2 atm%, the copper powder of the Example had a relatively low total content of Si and In of about 1 atm%. And it can be seen that deterioration with oxidation resistance is suppressed over time.
또한 표 6에 나타내는 바와 같이, Ag 성분을 함유하는 실시예의 구리분말의 체적 저항률은 아무것도 첨가되어 있지 않은 구리분말과 비교해서 손색이 없는 것이 확인되었다. Moreover, as shown in Table 6, it was confirmed that the volume resistivity of the copper powder of the Example containing Ag component is inferior compared with the copper powder to which nothing was added.
Claims (8)
입자 내부에 Ag(은)를 0.1atm%∼10atm% 함유하는 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트용 구리분말. The method of claim 1,
A copper powder for conductive paste, which contains 0.1 atm% to 10 atm% of Ag (silver) in the particles.
Si/In(atm비)이 0.5∼5인 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트용 구리분말. The method according to claim 1 or 2,
Si / In (atm ratio) is 0.5-5, The copper powder for electrically conductive pastes characterized by the above-mentioned.
입자 내부에 P(인)를 0.01atm%∼0.5atm% 함유하는 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트용 구리분말. 4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Copper powder for electrically conductive pastes containing 0.01atm%-0.5atm% of P (phosphorus) in particle inside.
Si/P(atm비)가 4∼200인 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트용 구리분말. The method of claim 4, wherein
Si / P (atm ratio) is 4-200, The copper powder for electrically conductive pastes characterized by the above-mentioned.
In/P(atm비)가 4∼200인 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트용 구리분말. The method according to claim 4 or 5,
In / P (atm ratio) The copper powder for electrically conductive pastes characterized by 4-200.
아토마이즈법으로 제조된 것임을 특징으로 하는 도전성 페이스트용 구리분말. The method according to any one of claims 1 to 6,
A copper powder for conductive paste, which is produced by the atomizing method.
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