KR20110024783A - How to Design Integrated Circuits and Tyssels in Integrated Circuits - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 집적회로 및 집적회로 내에 타이셀들을 설계하는 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to semiconductor devices, and more particularly, to integrated circuits and methods of designing tissels within integrated circuits.
일반적으로 사용자가 마찰 또는 유도에 의해 정전기적으로 충전될 때 ESD(ElectroStatic Discharge)가 발생된다. 집적회로, 특히 MOS 트랜지스터로 형성된 IC는 이러한 ESD에 취약하다. 상기 ESD는 상기 IC 내부의 입/출력 패드, 전력 핀, 또는 다른 IC 패드에 전달될 수 있으며, 이와 같이 전달되는 ESD는 반도체 접합부, 유전체, 상호 접속부 또는 상기 IC의 내부 구성 요소들에 치명적인 손상을 줄 수 있다.In general, electrostatic discharge (ESD) is generated when a user is electrostatically charged by friction or induction. Integrated circuits, particularly ICs formed from MOS transistors, are vulnerable to such ESD. The ESD may be delivered to input / output pads, power pins, or other IC pads inside the IC, where such ESD may cause catastrophic damage to semiconductor junctions, dielectrics, interconnects, or internal components of the IC. Can give
일반적으로 90nm 또는 65nm의 반도체 제조 공정에서는 게이트 산화막의 두께가 얇기 때문에 트랜지스터의 게이트를 정전기로부터 보호하기 위한 회로가 필요하다. 대규모의 집적회로는 수많은 트랜지스터를 사용해서 디자인하며, 디자인된 트랜지스터의 게이트나 스탠다드셀(standard cell)의 핀(Pin)에는 제1 전원(VDD)이나 제2 전압(VSS)이 인가된다.Generally, in the semiconductor manufacturing process of 90 nm or 65 nm, since the gate oxide film is thin, a circuit for protecting the gate of the transistor from static electricity is required. A large scale integrated circuit is designed using a large number of transistors, and a first power supply VDD or a second voltage VSS is applied to a pin of a gate of a designed transistor or a standard cell.
트랜지스터의 게이트가 제1 전원(VDD)에 연결되는 것을 타이업(TIE UP)이라 하고, 트랜지스터의 게이트가 제2 전원(VSS)에 연결되는 것을 타이다운(TIE DOWN)이라고 한다. 따라서 타이업 또는 타이다운이 이루어질 때 트랜지스터의 게이트를 정전기로부터 보호하는 절차 및 기능이 필요하다.The gate of the transistor connected to the first power supply VDD is called a tie up, and the gate of the transistor connected to the second power source VSS is called a tie down. Thus, there is a need for a procedure and function to protect the gate of the transistor from static electricity when a tie up or tie down occurs.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 타이셀의 팬아웃을 줄일 수 있는 집적회로 및 집적회로 내에 타이셀들을 설계하는 방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide an integrated circuit and a method of designing ti cells within the integrated circuit, which can reduce the fanout of the Tyssel.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 집적회로는 제1 전원이 공급되는 제1 패드들, 제2 전원이 공급되는 제2 패드들, 상기 제1 패드들 또는 상기 제2 패드들과 연결되며 상기 집적회로 내에 지역적으로 분산되어 배치하는 다수의 보호셀들, 및 상기 다수의 보호셀들 각각과 대응하여 연결되는 다수의 스탠다드셀들을 포함한다.According to an embodiment of the present disclosure, an integrated circuit according to an embodiment of the present invention may include first pads to which first power is supplied, second pads to which second power is supplied, the first pads, or the second pad. And a plurality of protection cells that are connected to each other and disposed in the integrated circuit, and a plurality of standard cells that are correspondingly connected to each of the plurality of protection cells.
상기 다수의 보호셀들은 각각이 상기 다수의 제1 패드들 중 대응하는 어느 하나의 패드와 연결되는 다수의 제1 보호셀들, 및 각각이 상기 다수의 제2 패드들 중 대응하는 어느 하나의 패드와 연결되는 다수의 제2 보호셀들을 포함할 수 있다.The plurality of protection cells may include a plurality of first protection cells, each of which is connected to a corresponding one of the plurality of first pads, and each of the plurality of pads corresponding to one of the plurality of second pads. It may include a plurality of second protection cells connected with.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 집적회로 내에 보호셀들을 설계하는 방법은 스탠다드셀들을 집적회로 내부에 배치시키는 단계, 집적회로 내부에 다수의 보호셀들을 지역적으로 분산시켜 배치하는 단계, 및 지역적으로 분산된 다수의 보호셀들과 상기 배치된 스탠다드셀들을 연결하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of designing protection cells in an integrated circuit, by disposing standard cells in an integrated circuit, by locally distributing a plurality of protection cells in the integrated circuit. And arranging, and connecting the plurality of protection cells that are geographically dispersed and the deployed standard cells.
상기 배치된 스탠다드셀들을 연결하는 단계는 상기 집적회로 내부에 배치된 스탠다드셀들을 지역적으로 구분하여 다수의 그룹들로 나누는 단계, 및 지역적으로 분산된 다수의 보호셀들과 상기 다수의 그룹들에 속하는 스탠다드셀과 연결하는 단계를 포함할 수 있다.The step of connecting the arranged standard cells may be divided into a plurality of groups by locally classifying the standard cells disposed in the integrated circuit, and belonging to the plurality of groups and a plurality of locally distributed protection cells It may include the step of connecting with the standard cell.
상기 집적회로 내에 보호셀들을 설계하는 방법은 스탠다드셀들과 연결된 지역적으로 분산된 타이셀들의 수를 조정하고, 조정된 타이셀들의 수에 맞추어 타이셀들과 스탠다드셀들을 연결하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of designing protection cells in the integrated circuit may further include adjusting the number of locally distributed ti cells connected to the standard cells, and connecting the ti cells with the standard cells according to the adjusted number of ti cells. Can be.
본 발명의 실시 예에 따른 집적회로 및 집적회로 내에 타이셀들을 설계하는 방법은 다수의 타이셀들을 집적회로 내부에 지역적으로 분산하여 배치시킴으로써 타이셀의 팬아웃을 줄여 집적회로의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to an embodiment of the present disclosure, a method of designing a tissel in an integrated circuit and an integrated circuit may improve the performance of an integrated circuit by reducing a fanout of the tissel by distributing a plurality of ticells locally. It has an effect.
이하, 본 발명의 기술적 과제 및 특징들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 본 발명을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, the technical objects and features of the present invention will be apparent from the description of the accompanying drawings and the embodiments. Looking at the present invention in detail.
도 1은 본원 발명의 실시 예에 따른 ESD(Electrostatic Discharge) 보호를 위한 집적회로(Integrated Circuit) 디자인의 개념도를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 다수의 입력 핀들(110,112,114,122,124,126), 다수의 타이셀들(TIE CELLS, 132,134,142,144,146), 및 다수의 스탠다드 셀들(152,154,162,164,172,174, 182, 184, 192,194)를 포함한다.1 is a conceptual diagram of an integrated circuit design for electrostatic discharge (ESD) protection according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, a plurality of
다수의 입력 핀들은 제1 전원 입력핀들(112,114), 및 제2 전원 입력핀들(122,124,126)을 포함한다. 제1 전원 입력핀들(112,114) 각각에는 제1 전원 전압(예컨대, VDD)이 입력되고, 제2 전원 입력핀들(122,124,126)에는 제2 전원 전압(예컨대, VSS)이 입력될 수 있다.The plurality of input pins include first
다수의 타이셀들(132,134,142,144,146)은 다수의 스탠다드 셀들의 게이트를 정전기로부터 보호하는 보호셀의 기능을 한다.The plurality of
다수의 타이셀들(132,134,142,144,146)은 타이하이 셀(TIEHI CELL; 132,134) 및 타이로우 셀(TIELOW CELL; 142,144,146)을 포함한다.The plurality of
타이하이 셀은 스탠다스 셀에 포함된 트랜지스터의 게이트에 제1 전원 전압(VDD)을 공급하며, 타이로우 셀은 스탠다드 셀에 포함된 트랜지스터의 게이트에 제2 전원 전압(VSS)을 공급한다.The Taihai cell supplies the first power supply voltage VDD to the gate of the transistor included in the standard cell, and the tie low cell supplies the second power supply voltage VSS to the gate of the transistor included in the standard cell.
다수의 타이하이 셀들(132,134) 각각은 제1 전원 입력핀들(112,114) 중 대응하는 어느 하나에 연결된다. 예컨대, 제1 타이하이 셀(132)은 제1 전원 제1 입력핀(112)에 연결된다.Each of the plurality of tie-
또한 다수의 타이로우 셀들(142,144,146) 각각은 제2 전원 입력핀들(122,124,126) 중 대응하는 어느 하나에 연결된다. 예컨대, 제1 타이로우 셀(142)은 제2 전원 제1 입력핀(124)에 연결된다.In addition, each of the plurality of
도 2a는 도 1에 도시된 타이하이 셀의 회로도를 나타낸다. 도 1에 도시된 타 이하이셀들(132,134)은 모두 도 2a에 도시된 바와 같이 동일한 구조를 가질 수 있다. FIG. 2A shows a circuit diagram of the Taihai cell shown in FIG. 1. The
도 2a를 참조하면, 타이하이셀(132)은 제1 NMOS 트랜지스터(210) 및 제1 PMOS 트랜지스터를 포함한다. 제1 NMOS 트랜지스터(210)의 소스(216)는 제2 전원(VSS)에 연결되고, 게이트(212) 및 드레인(214)은 제1 PMOS 트랜지스터(220)의 게이트(222)에 연결된다. Referring to FIG. 2A, the tie-
제1 PMOS 트랜지스터(220)의 소스(224)는 제1 전원(VDD)에 연결되고, 제1 PMOS 트랜지스터(220)의 드레인(226)은 스탠다드셀의 게이트(connected to Gate of standard cell)에 연결된다.The
도 2b는 도 1에 도시된 타이로우 셀의 회로도를 나타낸다. 도 1에 도시된 타이로우셀들(142,144,146)은 모두 도 2a에 도시된 바와 같이 동일한 구조를 가질 수 있다.FIG. 2B shows a circuit diagram of the tie cell shown in FIG. 1. The
도 2b를 참조하면, 타이로우셀(142)은 제2 PMOS 트랜지스터(230) 및 제2 NMOS 트랜지스터(240)를 포함한다. 제2 PMOS 트랜지스터(230)의 소스(234)는 제1 전원(VDD)에 연결되고, 제2 PMOS 트랜지스터(230)의 게이트(232) 및 드레인(236)은 제2 NMOS 트랜지스터(240)의 게이트(242)에 연결된다. Referring to FIG. 2B, the
제2 NMOS 트랜지스터(240)의 소스(246)는 제2 전원(VSS)에 연결되고, 제 NMOS 트랜지스터(240)의 드레인(244)은 스탠다드셀의 게이트(connected to Gate of standard cell)에 연결된다. 이러한 타이하이셀 및 타이로우셀은 제1 전원(VDD) 또는 제2 전원(VSS)이 스탠다드 셀의 게이트로 직접 연결되는 것을 방지하기 위해 사 용되는 것이다. The
다수의 스탠다드 셀들은 집적회로 내부에 분포하며, 인접하는 스탠다드 셀들을 하나의 그룹(group)으로 하는 여러 그룹들로 나뉠 수 있다. 예컨대, 집적회로 내부에 디자인되는 다수의 스탠다드 셀들은 제1 그룹(152,154), 제2 그룹(162,164), 제3 그룹(172,174), 제4 그룹(182,184), 및 제5 그룹(192,194)으로 나뉠 수 있다.A plurality of standard cells may be distributed inside an integrated circuit, and may be divided into several groups of adjacent standard cells as a group. For example, a number of standard cells designed inside an integrated circuit are divided into a
다수의 타이하이셀들 중 어느 하나는 다수의 그룹들 중 어느 하나의 그룹에 속하는 스탠다드 셀들에 포함되는 트랜지스터의 게이트에 제1 전원(VDD)을 공급한다. 예컨대, 제1 타이하이셀(132)은 제4그룹에 속하는 스탠다드 셀들(182,184)에 포함되는 트랜지스터의 게이트에 제1 전원(VDD)을 공급할 수 있다.One of the plurality of tie-high cells supplies a first power supply VDD to a gate of a transistor included in standard cells belonging to any one of the plurality of groups. For example, the first tie-
다수의 타이로우셀들 중 어느 하나는 다수의 그룹들 중 어느 하나의 그룹에 속하는 스탠다드 셀들에 포함되는 트랜지스터의 게이트에 제2 전원(VSS)을 공급한다. 예컨대, 제1 타이로우셀(142)은 제1그룹에 속하는 스탠다드 셀들(152,154)에 포함되는 트랜지스터의 게이트에 제2 전원(VSS)을 공급할 수 있다.One of the plurality of tie-cells supplies a second power supply VSS to a gate of a transistor included in standard cells belonging to any one of the plurality of groups. For example, the
도 1에 도시된 바와 같이 팬아웃이 증가되는 문제점을 보완하기 위하여 집적회로 내부에 지역별로 분포하도록 다수의 타이셀들을 형성한다. 예컨대, 다수의 타이셀들은 지역별로 균일하게 집적회로 내에 분포하도록 형성될 수 있다. 그리고 다수의 타이셀들 각각은 인접하는 스탠다드셀들에 제1 전원 또는 제2 전원을 공급하도록 연결된다. As shown in FIG. 1, in order to compensate for the problem of increased fanout, a plurality of tissels are formed to be distributed by region in the integrated circuit. For example, the plurality of ti cells may be formed to be uniformly distributed in the integrated circuit for each region. Each of the plurality of ti cells is connected to supply a first power source or a second power source to adjacent standard cells.
도 3은 도 1에 도시된 타이셀들을 집적회로 내부에 디자인하는 개념도를 나 타낸다. 도 3을 참조하면, 집적회로 내부에 지역별로 분포하는 다수의 제1 전원 레일들(VDD1 ~ VDD5) 및 다수의 제2 전원 레일들(VSS1 ~ VSS4)이 형성된다. FIG. 3 illustrates a conceptual diagram of designing the tissels illustrated in FIG. 1 in an integrated circuit. Referring to FIG. Referring to FIG. 3, a plurality of first power rails VDD1 to VDD5 and a plurality of second power rails VSS1 to VSS4 are formed in an integrated circuit.
타이하이셀(TIEHI CELL)은 제1 전원 제1레일(VDD1) 및 제2 전원 제1레일(VSS1) 사이에 형성된다. 제1 스탠다드셀(302)은 제2 전원 제1레일(VSS1)과 제1 전원 제2레일(VDD2) 사이에 형성되며, 제2 스탠다스셀(304)은 제1 전원 제2레일(VDD2)과 제2 전원 제2 레일 사이에 형성된다. 그리고 제1 스탠다드셀(302) 및 제2 스탠다스셀(304)은 인접하는 타이하이셀(TIEHI)셀과 연결된다.The tie high cell TIEHI CELL is formed between the first power source first rail VDD1 and the second power source first rail VSS1. The first
타이로우셀(TIELOW CELL)은 제2 전원 제3레일(VSS3) 및 제1 전원 제4레일(VDD4) 사이에 형성된다. 제3 스탠다드셀(312)은 제1 전원 제3레일(VDD3)과 제2 전원 제3레일(VSS3) 사이에 형성되며, 제4 스탠다스셀(314)은 제1 전원 제4레일과 제2 전원 제4레일(VSS4) 사이에 형성된다. 그리고 제3 스탠다드셀(312) 및 제4 스탠다스셀(314)은 타이로우셀(TIELOW)셀과 연결된다.The tie cell (TIELOW CELL) is formed between the second power source third rail VSS3 and the first power source fourth rail VDD4. The third
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 집적회로 내부의 다수의 타이셀들은 지역별로 분포하여 스탠다드셀들에 제1 전원(VDD) 또는 제2 전원(VSS) 을 공급한다. As described above, the plurality of ti cells in the integrated circuit according to the embodiment of the present invention are distributed by regions to supply the first power source VDD or the second power source VSS to the standard cells.
도 4는 본원 발명의 실시 예에 따른 ESD 보호를 위한 타이셀들을 집적회로 내부에 디자인하는 방법에 관한 플로챠트를 나타낸다. 도 4를 참조하면, 먼저 넷리스트(NETLIST)를 작성한다(S410). 여기서 넷리스트는 스탠다드셀들에 대한 시간 지연(time delay) 정보에 기초하여 스탠다드셀들을 배치 또는 설계하기 위한 PNR툴(Place And Route Tool)용 텍스트(text)를 말한다. 이때 PNR툴은 집적회로 내부를 디자인하기 위한 소프트웨어의 일종이다.4 is a flowchart illustrating a method of designing tissels inside an integrated circuit for ESD protection according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, a netlist netlist is first created (S410). Here, the netlist refers to text for a place and route tool (PNR) tool for arranging or designing standard cells based on time delay information for the standard cells. The PNR tool is a kind of software for designing the inside of the integrated circuit.
다음으로 PNR툴을 사용하여 넷리스트에 따라 스탠다드셀들을 플레이스(place)시킨다.(S420). 이때 넷리스트에 따라 스탠다드 셀들은 서로 연결되고, 스탠다드 셀들에 제1 전원(VDD) 및 제2 전원(VSS)이 연결된다.Next, the standard cells are placed according to the netlist using the PNR tool (S420). At this time, the standard cells are connected to each other according to the netlist, and the first power source VDD and the second power source VSS are connected to the standard cells.
다음으로 CTS(Clock Tree Synthesis)에 따라 스탠다스셀들의 플레이스(place)를 조정한다(S430). 클럭의 영향 고려하여 스탠다드셀들의 배치를 조정하는 것이다. 예컨대, 동작 클럭에 대한 스탠다드셀들의 오동작을 회피하기 위하여 스탠다드셀들의 배치를 조정하는 것이다.Next, the place of the standard cells is adjusted according to CTS (Clock Tree Synthesis) (S430). It is to adjust the layout of the standard cells in consideration of the influence of the clock. For example, the arrangement of the standard cells is adjusted to avoid the malfunction of the standard cells with respect to the operation clock.
다음으로 디자인룰(Design Rule)과 공정 조건을 만족하도록 지역적으로 분산된 타이셀들을 스탠다드셀들과 연결한다(S440). 이때 타이셀들의 팬아웃(fanout)을 감소시키기 위하여 타이셀들을 집적회로 내부에 지역적으로 분산시킨다.Next, tie cells distributed locally to satisfy design rules and process conditions are connected to the standard cells (S440). At this time, in order to reduce the fanout of the tissels, the tissels are locally distributed inside the integrated circuit.
예컨대, CTS(Clock Tree Synthesis)에 따라 플레이스(place)가 조정된 집적회로 내부에 스탠다드셀들을 지역적으로 구분한 그룹들을 형성한다. 그리고 지역적으로 구분된 스탠다드셀들에 타이셀을 연결한다. 따라서 하나의 타이셀은 지역적으로 구분된 스탠다드셀들에만 제1 전원(VDD) 또는 제2 전원(VSS)을 공급하므로 팬아웃이 감소되어 집적회로의 성능(예컨대, 동작 속도)이 향상될 수 있다.For example, according to the CTS (Clock Tree Synthesis) forms a group of geographically divided standard cells in the integrated integrated circuit place. The Ticells are then connected to regionally separated standard cells. Therefore, since a single cell supplies the first power source VDD or the second power source VSS only to the regionally divided standard cells, the fan out can be reduced, thereby improving the performance (eg, operating speed) of the integrated circuit. .
다음으로 집적회로 면적을 고려하여 스탠다드셀들과 연결된 지역적으로 분산된 타이셀들의 수를 조정하고, 조정된 타이셀들의 수에 맞추어 타이셀들과 스탠다드셀들을 연결한다(S450). 즉 연결된 타이셀들의 수를 집적회로 면적과 팬아웃 측면을 고려하여 조정할 수 있다. 예컨대, 팬아웃을 줄이기 위하여 타이셀들의 수를 늘리기만 하면 집적회로 면적을 초과하기 때문에 집적회로 면적을 고려하여 팬아웃 을 최대로 줄일 수 있는 타이셀들의 수를 정할 수 있다Next, the number of locally distributed ti cells connected to the standard cells is adjusted in consideration of the integrated circuit area, and the ti cells and the standard cells are connected according to the adjusted number of ti cells (S450). In other words, the number of connected Ti-cells can be adjusted in consideration of the integrated circuit area and the fan-out side. For example, simply increasing the number of ticells to reduce the fanout exceeds the integrated circuit area, so that the number of ticells that can minimize the fanout can be determined in consideration of the integrated circuit area.
그리고 조정된 타이셀들의 수에 맞추어 디자인된 집적회로에 대하여 디자인 룰을 만족하는지 검증한다(S460). 검증결과 에러(error)가 발생하지 않으면 집적회로 디자인을 완료한다. 반면에 검증결과 에러가 발생하는 경우 S440 및 S450단계를 반복 수행한다.In operation S460, the integrated circuit designed according to the adjusted number of ticells is satisfied. If no verification results in an error, the integrated circuit design is completed. On the other hand, if an error occurs as a result of verification, steps S440 and S450 are repeated.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.
도 1은 본원 발명의 실시 예에 따른 ESD 보호를 위한 집적회로 디자인의 개념도를 나타낸다.1 is a conceptual diagram of an integrated circuit design for ESD protection according to an embodiment of the present invention.
도 2a는 도 1에 도시된 타이하이 셀의 회로도를 나타낸다. FIG. 2A shows a circuit diagram of the Taihai cell shown in FIG. 1.
도 2b는 도 1에 도시된 타이로우 셀의 회로도를 나타낸다. FIG. 2B shows a circuit diagram of the tie cell shown in FIG. 1.
도 3은 도 1에 도시된 타이셀들을 집적회로 내부에 디자인하는 개념도를 나타낸다. FIG. 3 illustrates a conceptual diagram of designing the tissels shown in FIG. 1 into an integrated circuit. Referring to FIG.
도 4는 본원 발명의 실시 예에 따른 ESD 보호를 위한 타이셀들을 집적회로 내부에 디자인하는 방법에 관한 플로챠트를 나타낸다.4 is a flowchart illustrating a method of designing tissels inside an integrated circuit for ESD protection according to an exemplary embodiment of the present invention.
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2009
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US11239227B2 (en) | 2018-01-11 | 2022-02-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices, methods of designing layouts of semiconductor devices and methods of fabricating semiconductor devices |
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PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20090903 |
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PG1501 | Laying open of application | ||
PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |