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KR20100003810U - boat - Google Patents

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KR20100003810U
KR20100003810U KR2020080013181U KR20080013181U KR20100003810U KR 20100003810 U KR20100003810 U KR 20100003810U KR 2020080013181 U KR2020080013181 U KR 2020080013181U KR 20080013181 U KR20080013181 U KR 20080013181U KR 20100003810 U KR20100003810 U KR 20100003810U
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KR
South Korea
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boat
substrate
support
support rod
rod
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Application number
KR2020080013181U
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Korean (ko)
Inventor
허관선
한홍주
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주식회사 테라세미콘
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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    • H01L21/67309—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements characterized by the substrate support

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Abstract

복수개의 기판을 처리하는 배치식 기판처리 장치에서 복수개의 기판이 로딩되는 보트가 개시된다. 본 고안에 따른 보트(100)는 기판(1)의 일측을 지지하는 지지 로드(130); 및 지지 로드(130)의 단부에 설치되는 지지부(140)를 포함하는 것을 특징으로 한다. A boat in which a plurality of substrates are loaded in a batch substrate processing apparatus for processing a plurality of substrates is disclosed. Boat 100 according to the present invention is a support rod 130 for supporting one side of the substrate (1); And a support part 140 installed at an end of the support rod 130.

배치식 열처리 장치, 챔버, 보트, 기판, 스크래치 Batch Heat Treater, Chamber, Boat, Substrate, Scratch

Description

보트{Boat}Boat {Boat}

본 고안은 보트에 관한 것이다. 보다 상세하게는 복수개의 기판을 처리하는 배치식 기판처리 장치에서 복수개의 기판이 로딩되는 보트에 관한 것으로서, 기판을 지지하는 지지 로드의 단부에 기판과 접촉하며 기판을 지지하는 지지부를 추가하여 기판의 로딩 도중 기판의 후면에 스크래치 발생을 방지할 수 있는 보트에 관한 것이다. The present invention relates to a boat. More specifically, the present invention relates to a boat in which a plurality of substrates are loaded in a batch substrate processing apparatus for processing a plurality of substrates. The present invention relates to a boat capable of preventing scratches on the rear surface of a substrate during loading.

LCD(Liquid Crystal Display)나 OLED(Organic Light Emitting diode) 등과 같은 평판 디스플레이 제조시 사용되는 기판처리 장치는 크게 증착 장치와 어닐링 장치로 구분될 수 있다. Substrate processing apparatuses used in the manufacture of flat panel displays such as liquid crystal displays (LCDs) and organic light emitting diodes (OLEDs) may be classified into deposition apparatuses and annealing apparatuses.

증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 글래스와 같은 기판 상에 형성하는 단계를 담당하는 장치로서, 예를 들어 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)와 같은 화학 기상 증착 장치와 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리 기상 증착 장치가 있다. 어닐링 장치는 증착 공정 후에 증착된 막의 특성을 향상시키는 단계를 담당하는 장치로서, 예를 들어 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위한 열처리 장치가 있다. The deposition apparatus is a device that is responsible for forming a transparent conductive layer, an insulating layer, a metal layer, or a silicon layer, which constitute the core of a flat panel display, on a substrate such as glass, for example, low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) or PECVD. There are chemical vapor deposition devices such as Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and physical vapor deposition devices such as sputtering. The annealing device is a device responsible for improving the properties of the deposited film after the deposition process, for example, there is a heat treatment device for crystallizing or phase changing the deposited film.

LCD 제조를 예를 들어 설명하자면, 대표적인 증착 장치로는 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT)의 액티브 물질에 해당하는 비정질 실리콘을 글래스 기판 상에 증착하는 실리콘 증착 장치가 있고, 대표적인 어닐링 장치로는 글래스 기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리 실리콘으로 결정화시키는 실리콘 결정화 장치가 있다.As an example of LCD manufacturing, a typical deposition apparatus includes a silicon deposition apparatus for depositing amorphous silicon corresponding to an active material of a thin film transistor (TFT) on a glass substrate, and a typical annealing apparatus is glass. There is a silicon crystallization apparatus that crystallizes amorphous silicon deposited on a substrate into polysilicon.

최근 평판 디스플레이 제조시 생산성 향상을 위하여 복수개의 기판에 대하여 동시에 증착 또는 어닐링 공정이 가능한 배치식 기판처리 장치가 대세를 이루고 있다.Recently, a batch substrate processing apparatus capable of simultaneously depositing or annealing a plurality of substrates in order to improve productivity in manufacturing flat panel displays is becoming popular.

이와 같은 배치식 기판처리 장치에서는 챔버 내에서 복수개의 기판에 대하여 기판처리가 가능하게 하는 복수개의 기판이 로딩되는 보트의 사용이 필수적이다.In such a batch substrate processing apparatus, it is essential to use a boat loaded with a plurality of substrates to enable substrate processing for a plurality of substrates in a chamber.

하지만 종래의 보트는 보트에 기판을 로딩 과정에서 보트의 기판을 지지하는 지지 로드와 기판이 접촉하여 기판의 후면에 스크래치(scratch)가 발생하는 문제점이 있었다. 기판에 스크래치가 발생한 상태에서 평판 디스플레이를 제작하게 되면 스크래치가 발생한 부분에서 색상이 번져서 표시 성능이 현저히 떨어지는 문제점이 지적되어 왔다. However, the conventional boat has a problem in that a scratch occurs on the back of the substrate by contacting the support rod and the substrate supporting the substrate of the boat in the process of loading the substrate in the boat. When a flat panel display is manufactured in a state where scratches are generated on a substrate, it has been pointed out that the display performance is remarkably degraded due to color bleeding at the scratched portion.

이에 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 보트의 기판을 지지하는 지지 로드의 단부에 기판보다 경도가 낮은 재질로 이루어지며 기판과 최소한의 접촉 면적을 갖는 지지부를 설치함으로써 기판에 스크래치가 발생하는 것을 억제할 수 있는 보트를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been devised to solve the above problems, and made of a material having a lower hardness than the substrate at the end of the support rod for supporting the substrate of the boat, and scratches on the substrate by installing a support having a minimum contact area with the substrate. It is an object of the present invention to provide a boat that can suppress the occurrence of.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 보트는, 복수개의 기판을 처리하는 배치식 기판처리 장치에서 상기 복수개의 기판이 로딩되는 보트로서, 상기 보트는, 상기 기판의 일측을 지지하는 지지 로드; 및 상기 지지 로드의 단부에 설치되는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a boat according to the present invention includes a boat loaded with the plurality of substrates in a batch substrate processing apparatus for processing a plurality of substrates, the boat comprising: a support rod supporting one side of the substrate; And a support installed at an end of the support rod.

상기 지지부는 봉 형상의 몸체와 반구 형상의 면취단을 포함할 수 있다. The support portion may include a rod-shaped body and a hemispherical chamfering end.

상기 지지부는 상기 지지 로드의 단부에 형성된 홀에 삽입되어 상기 지지 로드와 연결될 수 있다. The support portion may be inserted into a hole formed at an end of the support rod and connected to the support rod.

상기 지지부의 몸체의 직경은 상기 지지 로드의 단부의 폭보다 클 수 있다. The diameter of the body of the support may be larger than the width of the end of the support rod.

상기 지지부의 재질은 내열성 플라스틱을 포함할 수 있다. The material of the support may include a heat resistant plastic.

상기와 같이 구성된 본 고안에 따르면, 배치식 기판처리 장치에서 복수개의 기판이 로딩되는 보트의 지지 로드의 단부에 기판보다 경도가 낮은 재질로 이루어지며 기판과 최소한의 면적으로 접촉하는 지지부를 추가로 설치하여 기판 로딩시 기판 후면에 스크래치의 발생이 감소되는 효과가 있다. According to the present invention configured as described above, in the batch type substrate processing apparatus, at the end of the support rod of the boat in which the plurality of substrates are loaded, the support is made of a material having a lower hardness than the substrate and contacts the substrate with a minimum area. Therefore, when the substrate is loaded, the occurrence of scratches on the back of the substrate is reduced.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트(100)의 구성을 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing the configuration of a boat 100 according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 보트(100)는 보트(100)의 기본적인 골격을 이루는 한 쌍의 지지 플레이트(110)와 각 지지 플레이트(110)에는 수직으로 설치되는 복수개의 지주(120)를 포함하여 구성된다. As shown in the drawing, the boat 100 includes a pair of support plates 110 forming a basic frame of the boat 100 and a plurality of support posts 120 which are vertically installed on each support plate 110. .

도 1을 참조하면, 기판(1)의 양 장변측에 각각 3개의 지주(120)가 설치되어 있으나, 지주(120)의 설치 개수는 3개로 한정되지 않고 기판(1) 사이즈에 따라 다양하게 변경될 수 있다. Referring to FIG. 1, three struts 120 are provided on both long sides of the substrate 1, but the number of the struts 120 is not limited to three but variously changed according to the size of the substrate 1. Can be.

지주(120)에는 보트(100)에 로딩되는 기판(1)의 양측에서 지지할 수 있도록 복수개의 지지 로드(130)가 서로 평행하게 지주(120)로부터 돌출 형성되어 있다. 지주(120)에 설치되는 지지 로드(130)의 개수는 보트(100)에 로딩되는 기판(1)의 개수에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 기판(1)을 안정적으로 지지하기 위하여 지지 로드(130)는 기판(1)의 양 장변측을 지지하게 하는 것이 바람직하며, 이때 지지 로드(130)의 형상과 길이는 기판(1)을 안정적으로 지지할 수 있다면 특별하게 제한되지 않는다.The support 120 has a plurality of support rods 130 protruding from the support 120 in parallel to each other so that the support 120 can be supported at both sides of the substrate 1 loaded on the boat 100. The number of support rods 130 installed on the support 120 may be variously changed according to the number of substrates 1 loaded on the boat 100. In order to stably support the substrate 1, the support rod 130 preferably supports both long sides of the substrate 1, wherein the shape and length of the support rod 130 stably support the substrate 1. If it can support it, it is not particularly limited.

지지 로드(130)의 단부에는 지지부(140)가 설치된다.The support part 140 is installed at the end of the support rod 130.

도 2 내지 도 5를 참조하여 지지부(140)의 구성을 상세하게 설명하도록 한 다.With reference to Figures 2 to 5 will be described in detail the configuration of the support portion 140.

도 2는 보트(100)의 지지부(140)의 구성을 나타내는 측면도이다.2 is a side view illustrating the configuration of the support part 140 of the boat 100.

도 3은 도 1의 A 부분의 상세도면으로서, 지지 로드(130)의 단부에 지지부(140)가 설치되는 상태를 나타내는 도면이다. FIG. 3 is a detailed view of portion A of FIG. 1, illustrating a state in which the support part 140 is installed at an end of the support rod 130.

도 4는 보트(100)에 기판(1)이 로딩된 상태를 나타내는 도면이다.4 is a diagram illustrating a state in which the substrate 1 is loaded on the boat 100.

도 5는 도 4의 B 부분의 상세도면이다.FIG. 5 is a detailed view of portion B of FIG. 4.

도 2를 참조하면, 지지부(140)는 소정의 길이와 직경을 갖는 봉 형상의 몸체(142), 몸체(142)의 일단에 연결되는 반구 형상의 면취단(144) 및 몸체(142)의 타단에 형성되어 지지 로드(130)의 단부에 형성되는 고정홀(132)에 삽입되어 고정되는 고정 로드(146)를 포함하여 구성된다. Referring to FIG. 2, the support 140 is a rod-shaped body 142 having a predetermined length and diameter, a hemispherical chamfered end 144 connected to one end of the body 142, and the other end of the body 142. It is formed to include a fixing rod 146 is inserted into the fixing hole 132 is formed at the end of the support rod 130 is fixed.

몸체(142)가 봉 형상을 갖는 것은 보트(100)에 로딩되는 기판(1)과의 접촉 면적이 최소화될 수 있도록 하는 형태의 일 예로서, 기판(1)과의 접촉 면적을 최소화하기 위한 형태라면 다른 형상을 가져도 무방하다.The body 142 having a rod shape is one example of a form in which a contact area with the substrate 1 loaded in the boat 100 can be minimized, and a form for minimizing a contact area with the substrate 1. If you have a different shape.

몸체(142)의 직경은 지지 로드(130)의 단부의 폭보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이렇게 되면 보트(100)에 로딩시 기판(1)이 지지 로드(130)의 단부를 이루는 모서리부와 직접 접촉되지 않게 됨으로써 상기 접촉 과정에서 기판(1)의 후면에 형성될 수 있는 스크래치의 발생을 줄일 수 있다. 다만 몸체(142)의 직경이 지지 로드(130)의 단부의 폭보다 너무 크게 되면 보트(100) 내에서 기판(1)의 수평 유지가 어려울 수 있음을 고려하여 몸체(142)의 직경을 결정하는 것이 좋다.The diameter of the body 142 is preferably larger than the width of the end of the support rod 130. In this case, when the boat 100 is loaded into the boat 100, the substrate 1 is not in direct contact with the corners forming the end of the support rod 130. Can be reduced. However, when the diameter of the body 142 is too large than the width of the end of the support rod 130 to determine the diameter of the body 142 in consideration that the horizontal maintenance of the substrate 1 in the boat 100 may be difficult It is good.

몸체(142)의 일단에 반구 형상의 면취단(144)이 연결되는 것은 이 역시 보 트(100)에 로딩되는 기판(1)과의 접촉 면적이 최소화될 수 있도록 하는 형태의 일 예로서, 기판(1)과의 접촉 면적을 최소화하기 위한 형태라면 다른 형상을 가져도 무방하다.Connecting the hemispherical chamfered end 144 to one end of the body 142 is also an example of a form in which the contact area with the substrate 1 loaded on the boat 100 can be minimized. As long as it is a form for minimizing the contact area with (1), it may have another shape.

몸체(142)의 타단에는 고정홀(132)에 삽입될 수 있는 고정 로드(146)를 형성한다. 즉, 지지부(140)의 고정 로드(146)를 지지 로드(130)의 고정홀(132)에 삽입하여 지지 로드(130)의 단부에 지지부(140)를 설치할 수 있다. 이때 고정홀(132)과 고정 로드(146)의 결합을 용이하게 하기 위해 고정홀(132)의 내주면과 고정 로드(146)의 외주면에는 각각 나사산이 형성될 수 있다.The other end of the body 142 forms a fixing rod 146 that can be inserted into the fixing hole 132. That is, the support rod 140 may be installed at the end of the support rod 130 by inserting the fixing rod 146 of the support portion 140 into the fixing hole 132 of the support rod 130. In this case, in order to facilitate coupling of the fixing hole 132 and the fixing rod 146, a screw thread may be formed on the inner circumferential surface of the fixing hole 132 and the outer circumferential surface of the fixing rod 146, respectively.

지지부(140)는 기판(1)과 접촉시 기판(1)에 스크래치의 발생을 억제하기 위하여 기판(1)보다 경도가 낮은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한 지지부(140)는 증착 공정이나 어닐링 공정이 진행되는 챔버 내에 배치되므로 내열성 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기와 같은 점을 고려할 때 지지부(140)는 PBI(Polybenzimidazole)와 같은 내열성 플라스틱으로 형성하는 것이 좋다. The support part 140 is preferably made of a material having a lower hardness than the substrate 1 in order to suppress the occurrence of scratches on the substrate 1 when the substrate 1 is in contact with the substrate 1. In addition, the support 140 is preferably made of a heat resistant material because it is disposed in a chamber in which a deposition process or an annealing process is performed. In view of the above, the support 140 may be formed of a heat resistant plastic such as polybenzimidazole (PBI).

이와 같이, 본 고안의 보트(100)에서는 기판(1)을 지지하는 지지 로드(130)의 단부에 기판(1)보다 경도가 낮은 재질로 이루어지며 기판(1)과 최소한의 접촉 면적을 갖는 지지부(140)를 설치함으로써 보트(100)에 기판(1) 로딩시 기판(1)과 지지 로드(130)의 접촉 과정에서 기판(1)의 후면에 스크래치가 발생하는 것을 억제하는 이점이 있다.As described above, in the boat 100 of the present invention, a support portion having a hardness lower than that of the substrate 1 at the end of the support rod 130 supporting the substrate 1 and having a minimum contact area with the substrate 1 is provided. By installing the 140, when the substrate 1 is loaded onto the boat 100, there is an advantage in that scratches are generated on the rear surface of the substrate 1 during the contact process between the substrate 1 and the support rod 130.

본 고안은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 고안의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에 서 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 고안과 첨부된 실용신안등록청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.The present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, but is not limited to the above embodiments and various modifications by those of ordinary skill in the art to which the subject innovation belongs without departing from the spirit of the present invention Modifications and variations are possible. Such modifications and variations should be regarded as falling within the scope of the present invention and the appended claims.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트(100)의 구성을 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing the configuration of a boat 100 according to an embodiment of the present invention.

도 2는 보트(100)의 지지부(140)의 구성을 나타내는 측면도.2 is a side view showing the configuration of the support part 140 of the boat 100.

도 3은 도 1의 A 부분의 상세도면으로서, 보트(100)의 지지 로드(130)의 단부에 지지부(140)가 설치되는 상태를 나타내는 도면.FIG. 3 is a detailed view of portion A of FIG. 1, illustrating a state in which the support unit 140 is installed at an end of the support rod 130 of the boat 100.

도 4는 보트(100)에 기판(1)이 로딩된 상태를 나타내는 도면.4 is a view showing a state in which the substrate 1 is loaded on the boat 100.

도 5는 도 4의 B 부분의 상세도면. FIG. 5 is a detailed view of portion B of FIG. 4; FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1: 기판1: substrate

100: 보트100: boat

110: 지지 플레이트110: support plate

120: 지주120: prop

130: 지지 로드130: support rod

132: 고정홀132: fixing hole

140: 지지부140: support

142: 몸체142: body

144: 면취단144: chamfer

146: 고정 로드146: fixed rod

Claims (5)

복수개의 기판을 처리하는 배치식 기판처리 장치에서 상기 복수개의 기판이 로딩되는 보트로서,A boat in which a plurality of substrates are loaded in a batch substrate processing apparatus for processing a plurality of substrates, 상기 보트는,The boat, 상기 기판의 일측을 지지하는 지지 로드; 및 A support rod supporting one side of the substrate; And 상기 지지 로드의 단부에 설치되는 지지부Support portion installed at the end of the support rod 를 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.Boat comprising a. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지부는 봉 형상의 몸체와 반구 형상의 면취단을 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.The support portion boat characterized in that it comprises a rod-shaped body and hemispherical chamfering end. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지는 상기 지지 로드의 단부에 형성된 홀에 삽입되어 상기 지지 로드와 연결되는 것을 특징으로 하는 보트.And the support is inserted into a hole formed at an end of the support rod and connected to the support rod. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 지지부의 몸체의 직경은 상기 지지 로드의 단부의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 보트.The diameter of the body of the support is greater than the width of the end of the support rod. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지부의 재질은 내열성 플라스틱을 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.The support material is a boat, characterized in that it comprises a heat-resistant plastic.
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