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KR20090132101A - 유연성 박막 어레이형 온도센서 및 그 제조방법 - Google Patents

유연성 박막 어레이형 온도센서 및 그 제조방법 Download PDF

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KR20090132101A
KR20090132101A KR1020080058190A KR20080058190A KR20090132101A KR 20090132101 A KR20090132101 A KR 20090132101A KR 1020080058190 A KR1020080058190 A KR 1020080058190A KR 20080058190 A KR20080058190 A KR 20080058190A KR 20090132101 A KR20090132101 A KR 20090132101A
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South Korea
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metal wiring
thin film
temperature sensing
printing
lower metal
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최인묵
김용규
우삼용
양인석
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한국표준과학연구원
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Abstract

본 발명은 유연성 기판 상에 프린팅(printing) 기법을 이용하여 박막형으로 제조되며, 1차원 또는 이차원 온도 분포의 측정이 가능하고, 온도 측정 대상의 형태에 무관하게 온도 분포의 측정이 가능한 온도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
상세하게 본 발명의 제조방법은 유연성 기판에 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 하부금속배선을 프린팅하는 단계; 상기 하부금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 서로 이격되어 상기 하부금속배선의 길이방향으로 배열되도록 저항형 온도센싱 박막을 프린팅하는 단계; 및 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막 상부에 상기 하부금속배선과 통전되지 않으며, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막별로, 상부금속배선을 프린팅하는 단계;를 포함하여 제조되는 특징이 있다.
온도 센서, 온도 분포, 프린팅, 인쇄, 유연성 기판, 저항형 온도센서

Description

유연성 박막 어레이형 온도센서 및 그 제조방법{Array-type Flexible Thin Film Temperature Sensor and the Fabrication Method Thereof}
본 발명은 유연성 기판 상에 프린팅(printing) 기법을 이용하여 1차원 또는 이차원 온도 분포의 측정이 가능하며, 온도 측정 대상의 형태에 무관하게 온도 분포의 측정이 가능한 박막형 온도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
온도를 측정하기 위한 종래의 온도센서로는 2종의 금속으로 만들어진 열전대(thermocouple wire), 다이오드 센서, 저항온도검출기(resistance temperature detector)등을 들 수 있다.
이중 열전대를 이용한 온도 센서가 가장 일반적이다. 열전대는 2종의 다른 금속으로 폐회로를 구성한 후, 폐회로의 2종 금속이 접촉하여 형성된 2개의 접점중 한쪽 접점을 고온에 연결하고, 다른 쪽 접점을 저온에 연결하면 폐회로를 구성하는 금속의 종류와 두 접점에서의 온도차에 따라 기전력이 발생하는 제베크 효과를 이용한 온도 센서이다.
그러나, 이러한 열전대 온도센서는 수십마이크로 크기의 미소영역 온도 측정 이 어려우며, 여러개의 열전대를 사용하여 미소한 특정 영역의 온도분포를 측정하는 일은 더욱 어려운 일이다. 또한, 온도 측정 대상과 한 접점을 직접 접속 위치시켜야 하므로, 온도 측정 대상의 형상에 따라 정확한 온도 측정이 힘든 한계 또한 존재한다.
다이오드를 이용한 온도센서(다이오드 센서)는 센서에 전압 인가시 온도에 따라 센서에 흐르는 전류의 크기가 가변하는 성질을 이용한 온도 센서이며, 저항온도검출기는 온도에 따라 저항이 달라지는 특성을 이용한 온도 센서이다.
상술한 다이오드 센서 또는 저항 온도검출기가 열전대와는 달리 반도체 공정을 이용하여 제작되어 미소영역의 온도를 측정 할 수 있는 장점을 가지나, 그 제작공정이 매우 복잡하며 수많은 단계의 공정을 요구하기 때문에 시간과 비용의 소모가 큰 단점이 있으며 대면적 센서의 제작이 어려운 단점이 있다. 또한, 온도 측정 대상의 표면 온도 측정시, 측정 대상의 형상에 따라 온도 센서를 특수 제작해야 하거나, 아예 그 측정이 불가능한 한계가 있다.
상술한 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 측정 대상의 형상과 무관하게 측정 대상 표면의 1차원 또는 2차원 온도 분포를 측정할 수 있으며, 그 제조공정이 간단하여 시간과 비용의 소모를 획기적으로 절감시킬 수 있고, 대면적 온도 측정이 가능한 온도센서 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상세하게는 유연성 절연 기판 및 프린팅 기법을 이용한 어레이형 온도 센서의 제조방법을 제공하는 것이며, 어레이형 온도 센서의 금속 배선 수를 최소화하는 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법은 유연성 기판에 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 하부금속배선을 프린팅하는 단계; 상기 하부금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 서로 이격되어 상기 하부금속배선의 길이방향으로 배열되도록 저항형 온도센싱 박막을 프린팅하는 단계; 및 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막 상부에 상기 하부금속배선과 통전되지 않으며, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막별로, 상부금속배선을 프린팅하는 단계;를 포함하여 제조되는 특징이 있다.
바람직하게는 상기 하부금속배선은 다수개(M개, M>1의 자연수)의 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선으로 구성되어, 상기 하부금속배선을 구성하 는 다수개의 금속배선이 상기 길이방향에 수직인 수평방향으로 일정거리 각각 이격되어 나란하게 형성되도록 프린팅되고, 상기 다수개의 금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 상기 하부금속배선의 길이방향의 행(row) 및 상기 수평방향의 열(column)로 2차원 배열되도록 프린팅되고, 상기 상부금속배선은 다수개(N개, N>2의 자연수)의 상기 수평방향으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선으로 구성되어, 상기 상부금속배선을 구성하는 각 금속배선은 상기 저항형 온도센싱 박막의 2차원 배열중 각 열(column)을 구성하는 저항형 온도센싱 박막의 상부로 프린팅되는 특징이 있다.
상기 상부금속배선, 상기 저항형 온도센싱 박막 및 상기 하부금속배선의 프린팅은 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 그라비아 프린팅, 또는 이들의 조합에 의한 프린팅인 특징이 있으며, 상기 상부금속배선, 상기 저항형 온도센싱 박막, 상기 하부금속배선 각각의 두께는 상기 프린팅을 반복하여 제어될 수 있다.
상기 유연성 기판은 절연성 물질로 구성되어 임의의 형상으로 휘어지고, 굴곡짐이 가능한 모든 기판이 사용가능하나, 상기 상부금속배선 및 상기 하부금속과 상기 유연성 기판과의 우수한 접합력(adhesion) 측면에서 PVC계열과 같은 고분자 박막 기판인 것이 바람직하다.
상기 상부금속배선 및 상기 하부금속배선은 은, 알루미늄, ITO(Indium-Tin-Oxide), Cu-C 또는 이들의 혼합물을 함유하며, 상기 저항형 온도센싱 박막은 열저항물질, 압저항물질 또는 이들의 혼합물을 함유하는 것이 바람직하다. 이때 상기 저항형 온도센싱 박막은 온도에 따른 저항 변화를 조절하고자 탄소가루, 은 파우더 등과 같은 전도성 물질을 더 함유할 수 있다.
상술한 본 발명의 제조방법에 따라 제조된 유연성 박막 어레이형 온도센서는 절연물질로 구성되며 유연성있는 기판상에 박막형태로 제조되어 온도 측정 대상의 형상과 무관하게 임의의 형상에 부착되어 표면의 온도 분포를 측정할 수 있으며, 온도에 따라 저항이 달라지는 저항형 온도센싱 박막이 1차원 또는 2차원 배열을 가지며 저항형 온도센싱 박막별로 독립적으로 온도에 따른 저항의 변화가 측정 가능하여 1차원 또는 2차원 온도 분포를 측정할 수 있는 특징이 있다.
본 발명에 따른 제조방법은 잉크젯 프린팅 또는 스크린 프린팅을 이용하여 종이와 같은 유연/절연성 박막 기판에 박막형으로 1차원 또는 2차원 온도분포 측정이 가능한 온도센서를 제조하는 방법을 제공하므로, 그 제조 공정이 간단하고, 제조시간이 빠르며, 센서 구조의 제어가 용이하며, 띠형, 판형, 원주형등 다양한 형상으로 제조가능하며, 온도센서를 대면적으로 제조가능하고, 대량생산가능한 장점이 있다. 또한, 본 발명에 따른 제조방법은 서로 이격 배열된 다수의 저항형 온도센싱 박막이 하부전극 및/또는 상부전극을 공유하므로, 개별 저항형 온도센싱 박막의 저항을 측정하기 위한 금속 배선의 수를 획기적으로 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 제조방법에 따라 제조된 온도센서는 온도 측정 대상의 형상과 무관하게 임의의 형상에 부착되어 표면의 온도 분포를 측정할 수 있으며, 1차원 또는 2차원 온도 분포를 측정할 수 있는 장점이 있다.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 유연성 박막 어레이형 온도센서 및 그 제조방법을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
이때, 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명에 따른 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법을 도시한 일 순서도이다. 도 1에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 제조방법은 절연물질인 유연성(flexible) 기판, 바람직하게는 절연물질인 유연성 박막 또는 후막 기판에 프린팅(printing) 기법만을 이용하여 어레이형 온도센서를 제조하는 특징이 있다.
상기 유연성 기판에 하부금속배선을 인쇄한 후(s10), 인쇄된 하부금속배선의 상부에 저항형 온도센싱 박막을 인쇄하여(s20) 온도 변화에 따라 전기적 특성이 변화되어 실질적으로 온도 감지 기능을 갖는 온도감지부(저항형 온도센싱 박막들)를 형성한다. 이후, 상기 저항형 온도센싱 박막 및 유연성 기판 상부에 상부금속배선을 인쇄하여(s30) 저항형 온도센싱 박막 각각의 전기적 특성 변화를 독립적으로 측정할 수 있게 된다.
도 2 내지 도 3의 공정도를 기반으로 하여 본 발명의 제조방법을 상술한다.
도 2는 일차원 온도 분포를 측정할 수 있는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법을 도시한 일 예이다.
도 2에 도시한 바와 같이 본 발명의 유연성 박막 어레이형 온도센서는 유연성 기판(10)에 길이방향(L)으로 긴 스트링(string)형태의 하부금속배선(20)을 프린팅(도 2(a))한 후, 상기 하부금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막(301, 302, 303, 304)이 서로 이격되어 상기 하부금속배선의 길이방향(L)으로 배열되도록 저항형 온도센싱 박막을 프린팅하여 온도감지부(30)를 형성하고(도 2(b)), 이후, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막(301, 302, 303, 304) 상부에 상기 하부금속배선(20)과 맞닿아 통전되지 않으며, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막(301, 302, 303, 304)별로, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막 상부에(301, 302, 303, 304) 상부금속배선(41, 42, 43, 44)을 프린팅하여(도 2(c)) 제조된다.
도 1의 단계(s20) 또는 도 2의 온도감지부(30)가 형성단계(도 2(b))에서, 상기 개별 저항형 온도센싱 박막(301, 302, 303, 304)은 상기 하부금속배선 상부 및 개별 저항형 온도센싱 박막이 인쇄되는 하부금속배선과 접한 기판의 상부에도 인쇄되 는 것이 바람직하다. 상세하게는 도 2(a) 및 도 2(b)에 도시한 바와 같이 상기 길이방향(L1)에 수직인 수평방향(H)의 상기 하부금속배선(20)을 구성하는 금속 스트링(20)의 폭이 h1일때, 상기 개별 저항형 온도센싱 박막의 상기 수평방향(H)의 폭(h2)이 상기 금속 스트링(20)의 폭과 같거나 큰 것이 바람직하다.
이에 의해, 상기 단계(s20) 이후, 별도의 절연막층을 형성하지 않고도 상기 하부금속배선(20)과 상기 상부금속배선(41, 42, 43, 44)이 서로 연결되어 통전되지 않게 된다.
또한, 도 2(c)에 도시한 바와 길이방향(L)으로 서로 이격되어 형성된 복수의 저항형 온도센싱 박막(301, 302, 303, 304)은 단일한 하부금속배선(20)을 공유하며, 각각의 상부금속배선(41, 42, 43, 44)을 가짐으로써, 다수의 저항형 온도센싱 박막에서 서로 독립적으로 단일한 저항형 온도센싱 박막의 전기적 성질(전압, 저항, 전류등)을 측정하기 위한 금속배선(상부금속배선 및 하부금속배선)의 수를 감소할 수 있다. 도 2(c)의 일 예에서는 8개의 금속 배선이 아닌 5개의 금속배선만으로 온도감지부(20)를 구성하는 개별 저항형 온도센싱 박막의 전기적 특성을 측정하여 일차원 온도 분포를 측정할 수 있다.
도 3은 2차원 온도 분포를 측정할 수 있는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법을 도시한 일 예이다.
도 3(a)에 도시된 바와 같이 상기 하부금속배선은 다수개의 길이방향(L)으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선(21, 22, 23)으로 구성되어, 상기 하부금속배선 을 구성하는 다수개의 금속배선(21, 22, 23)이 상기 길이방향(L)에 수직인 수평방향(H)으로 일정거리 각각 이격되어 나란하게 형성되도록 프린팅된다.
이후, 상기 하부금속배선을 구성하는 상기 다수개의 금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 상기 하부금속배선의 길이방향의 행(row) 및 상기 수평방향의 열(column)로 2차원 배열되도록 프린팅된다. 즉, 단일한 금속배선(하부금속배선을 구성하는) 상부에 길이 방향(L)으로 서로 이격되어 형성된 다수개의 저항형 온도센싱 박막(일 예로, 311, 312, 313 및 314)이 저항형 온도센싱 박막 배열의 행을 구성하고, 서로 다른 금속배선(하부금속배선을 구성하는) 상부에 수평 방향(H)으로 서로 이격되어 형성된 다수개의 저항형 온도센싱 박막(일 예로, 311, 321 및 331)이 저항형 온도센싱 박막 배열을 구성하여 2차원 온도분포를 감지하는 온도감지부(30)가 형성된다.
온도감지부(30)가 형성된 후, 상부금속배선(41, 42, 43, 44)을 인쇄하는 단계가 수행된다. 상기 상부금속배선(41, 42, 43, 44)은 다수개의 상기 수평방향으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선(41, 42, 43, 44)으로 구성되어, 상기 상부금속배선을 구성하는 각 금속배선(41, 42, 43, 44)은 상기 저항형 온도센싱 박막의 2차원 배열중 각 열(column)을 구성하는 저항형 온도센싱 박막의 상부로 프린팅된다.
상기 상부금속배선을 구성하는 일 금속배선은 상기 길이방향(L)으로 동일한 위치에 형성된 다수개의 저항형 온도센싱 박막(일 예로, 311, 321 및 331)의 상부에 형성되게 되므로, 다수개의 저항형 온도센싱 박막들은 상기 저항형 온도센싱 박막 배열의 행방향으로 하부금속배선을 구성하는 일 금속배선을 공유하며, 상기 저항형 온도센싱 박막 배열의 열방향으로 상부금속배선을 구성하는 일 금속배선을 공유하게 된다.
따라서, 상기 저항형 온도센싱 박막 배열이 JxK 배열(J는 1이상의 정수, K은 J과 독립적으로 1이상의 정수임)일 경우, 상기 하부금속배선은 J개의 금속 배선으로 구성되며, 상기 상부금속배선은 K개의 금속 배선으로 구성되게 된다.
이에 의해, 온도감지부(30)를 구성하는 다수개의 저항형 온도센싱 박막을 서로 독립적으로 전기적 특성을 측정하기 위한 금속 배선이 최소화 되는 장점이 있다.
도 2 및 도 3의 도시는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해 제공된 것일 뿐이며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 제조방법은 간단한 프린팅을 통해 온도센서가 제조되므로, 온도센서의 전체적 크기, 저항형 온도센싱 박막의 형상, 저항형 온도센싱 박막의 크기, 금속 배선의 구체적인 형상 및 크기, 저항형 온도센싱 박막간의 이격 간격, 저항형 온도센싱 박막 배열의 구체적인 행, 열의 수등은 본원발명에 따른 온도센서의 활용에 적합하게 조절되어야 함은 물론이다.
상기 상부금속배선, 상기 저항형 온도센싱 박막 및 상기 하부금속배선의 프린팅은 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 그라비아 프린팅, 또는 이들의 조합에 의한 프린팅인 것이 바람직하다. 상기 상부금속배선, 상기 하부금속배선 및 상기 저항형 온도센싱 박막의 프린팅은 스크린 프린팅 또는 잉크젯 프린팅인 것이 더욱 바람직 하다.
상기 상부금속배선 및 상기 하부금속배선은 은, 알루미늄, ITO, Cu-C 또는 이들의 혼합물을 함유하는 것이 바람직하다.
따라서, 상기 상부금속배선 및 상기 하부금속배선을 프린팅하기 위한 배선용잉크(또는 페이스트)는 은, 알루미늄, ITO, Cu-C 또는 이들의 혼합물을 함유하며, 점도, 접착성 및 분산성을 조절하기 위한 유기물 및 유기 용매를 함유할 수 있다.
상기 상부금속배선 및 상기 하부금속배선을 프린팅하기 위한 배선용 잉크로 플렉서블 유기박막 트렌지스터 기술분야에서 공지되어 사용되는 통상의 도전성 잉크를 사용하여 프린팅이 수행될 수 있음은 물론이다.
상기 저항형 온도센싱 박막은 온도 변화에 따라 저항, 전류와 같은 전기적 특성이 변화되는 물질이면 사용가능하나, 정확하고 민감한 온도 측정을 위해, 상기 저항형 온도센싱 박막은 온도에 따라 전기저항이 크게 변하는 열저항 물질 또는 압력에 따라 전기저항이 크게 변하는 압저항 물질을 함유하며, 바람직하게 열저항 물질을 함유한다. 상기 열저항 물질은 통상의 서미스터(thermistor) 소자에 사용되는 물질을 사용할 수 있으며, 상세하게는 니켈산화물, 망간산화물, 코발트산화물, 또는 이들의 혼합물이 주가 될 수 있다. 상기 압저항 물질은 통상의 페로브스카이트(perovskite)계 물질이 주가 될 수 있다.
따라서, 상기 저항형 온도센싱 박막을 잉크젯, 그라비아, 또는 스크린 프린팅하기 위한 저항형 온도센싱 박막용 잉크(또는 페이스트)는 열저항 전기전도성 물질 또는 압저항 전기전도성 물질을 함유하며, 배선용 잉크와 마찬가지로 점도, 접 착성 및 분산성을 조절하기 위한 유기물 및 유기 용매를 함유할 수 있다.
상기 배선용 잉크(또는 페이스트) 및 저항형 온도센싱 박막용 잉크(또는 페이스트)를 이용하여 상기 유연성 기판 상부에 상기 하부금속배선이 프린팅된 후, 건조를 위한 어닐링(annealing)이 수행되고, 어닐링 후, 상기 저항형 온도센싱 박막이 프린팅되고, 다시 건조를 위한 어닐링이 수행되며, 저항형 온도센싱 박막의 건조 후, 상부금속배선의 프린팅 및 건조가 수행되는 것이 바람직하다.
상술한 본 발명의 제조방법에 따라 제조된 온도 센서는 박막 또는 후막의 유연성 기판 상부에 박막형으로 제조되어, 외부 응력에 쉽게 변형되므로, 온도 측정 대상의 형상과 무관하게 측정 대상물의 표면 온도를 측정할 수 있으며, 임의의 형상에 부착되어 1차원 또는 2차원 온도 분포를 측정할 수 있다.
도 4는 도 2의 1차원 배열을 갖는 온도센서(A)를 기판의 길이방향 양 끝단을 접합시켜 유체(도 4의 화살표)가 흐르는 관(B)에 부착한 일 예이다. 도 4에 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 온도센서는 특정한 지점의 온도가 아닌 전체적인 온도 분포의 측정이 가능하며, 1차원 또는 2차원적인 온도의 변화 또한 실시간으로 측정 가능하다.
도 1은 본 발명의 제조방법을 도시한 순서도이며,
도 2는 본 발명의 제조방법을 도시한 일 공정도이며,
도 3은 본 발명의 제조방법을 도시한 다른 공정도이며,
도 4는 도 2(c)의 띠형 온도센서를 유관에 부착한 활용예이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 절연/유연성 기판 20, 21~23 : 하부금속배선
30 : 온도감지부 301 ~ 334 : 저항형 온도센싱 박막
41 ~ 44 : 상부금속배선

Claims (5)

  1. 유연성 기판에 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 하부금속배선을 프린팅하는 단계;
    상기 하부금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 서로 이격되어 상기 하부금속배선의 길이방향으로 배열되도록 저항형 온도센싱 박막을 프린팅하는 단계; 및
    상기 복수의 저항형 온도센싱 박막 상부에 상기 하부금속배선과 통전되지 않으며, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막별로, 상부금속배선을 프린팅하는 단계;
    를 포함하여 제조되는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 하부금속배선은 다수개(M개, M>1의 자연수)의 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선으로 구성되어,
    상기 하부금속배선을 구성하는 다수개의 금속배선이 상기 길이방향에 수직인 수평방향으로 일정거리 각각 이격되어 나란하게 형성되도록 프린팅되고,
    상기 다수개의 금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 상기 하부금속배선의 길이방향의 행(row) 및 상기 수평방향의 열(column)로 2차원 배열되도록 프린팅되고,
    상기 상부금속배선은 다수개(N개, N>2의 자연수)의 상기 수평방향으로 긴 스 트링(string)형태의 금속배선으로 구성되어,
    상기 상부금속배선을 구성하는 각 금속배선은 상기 저항형 온도센싱 박막의 2차원 배열중 각 열(column)을 구성하는 저항형 온도센싱 박막의 상부로 프린팅되는 것을 특징으로 하는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 상부금속배선, 상기 저항형 온도센싱 박막 및 상기 하부금속배선의 프린팅은 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 또는 이들의 조합에 의한 프린팅인 것을 특징으로 하는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 상부금속배선 및 상기 하부금속배선은 은, 알루미늄, ITO, Cu-C 또는 이들의 혼합물을 함유하며,
    상기 저항형 온도센싱 박막은 열저항물질, 압저항물질 또는 이들의 혼합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법.
  5. 제 1항, 제 2항 또는 제4항에서 선택된 어느 한 항의 제조방법으로 제조되고 임의의 형상에 부착되어 1차원 또는 2차원 온도 분포를 측정하는 유연성 박막 어레이형 온도센서.
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