KR20090083355A - 이동 장치 및 전자부품 실장 장치 - Google Patents

Abstract

전자부품 실장 장치는, X 방향에서 이동 가능하도록 이미지 픽업 장치와 실장 헤드가 각각에 배치된 2개의 제2선형 이동 장치와, 이미지 픽업 장치가 실장 헤드의 X 방향의 폭 내에 수용되고, 또한 실장 헤드와 제2선형 이동 장치의 Y 방향의 전체 폭 내에 수용되는 위치에 배치된, Y 방향에서 서로 독립적으로 제2선형 이동 장치를 이동시키는 제1선형 이동 장치를 포함한다. 따라서, 카메라의 이미지 픽업 영역이 실장 헤드의 이동 영역 내에 수용되어 있으므로, 카메라의 이미지 픽업 영역만을 고려한 이동 거리를 확보할 필요가 없어서, 제2선형 이동 장치의 이동 축 길이를 저감시킬 수 있다.

Description

이동 장치 및 전자부품 실장 장치{MOVING DEVICE AND ELECTRONIC COMPONENT MOUNTING APPARATUS}

본 발명은, 전자부품을 유지하여 기판 상에 실장(實裝)하는 실장 헤드(mounting head)를 이동시키는 이동 장치에 관한 것이고, 또한 상기 이동 장치를 포함하는 전자부품 실장 장치에 관한 것이다.

전자부품 실장 분야에 있어서, 작업 면에 대하여 실장 헤드를 수평으로 이동시키는 이동 장치를 포함하는 전자부품 실장 장치는 광범위하게 사용되고 있다. 이러한 수평 이동 장치로서는, 작업 면을 따라 연장되는 제1방향(X 방향)에서 실장 헤드를 이동시키는 제1선형 이동 장치와 상기 제1방향에 직각인 제2방향(Y 방향)에서 상기 제1선형 이동 장치를 이동시키는 제2선형 이동 장치로 구성된 카티전 로봇(Cartesian robot)이, 널리 사용된다. 이러한 전자부품 실장 장치에 있어서, 실장 헤드는, 서로 직각인 2 측이 제1선형 이동 장치와 제2선형 이동 장치의 각각의 이동 축에 의해 주어지는 직사각형 면 내에서 이동 가능하다. 예를 들면, 일본국 특허 공보 제2740682호를 참조한다.

전자부품 실장 장치는 기판의 위치 인식을 실행하는 이미지 픽업 장치(image pickup device)를 구비하고 있으며, 이러한 이미지 픽업 장치는 실장 헤드와 일체적으로 이동하도록 실장 헤드 상에 설치되어 있다. 제1선형 이동 장치와 제2선형 이동 장치는, 이미지 픽업 장치와 실장 헤드의 이동 범위가 기판의 전체 표면에 상응하도록 정의된 각각의 이동 축 길이를 갖는다. 따라서, 이미지 픽업 장치와 실장 헤드 간의 위치 관계성에 따라 더 긴 이동 축이 필요하게 되는 경우가 있다.

최근에, 전자부품 실장 장치의 기능적 개량을 달성하는 관점에서, 실장 헤드, 카티전 로봇 등에 대해, 유연한 주문형 만족을 허용하도록 사용자의 사용 모드에 상응하는 모델의 것으로 대체할 수 있게 구성하는 요구가 있었다. 또한, 종래에 고려된 시간 생산성에 추가하여 면적 생산성에서의 향상에 대한 더 이상의 요구가 있다. 이러한 요구들을 만족하기 위해서는, 카티전 로봇 자체, 즉 제1 및 제2선형 이동 장치 자체를 축소시켜서 설비 면적을 감소시키고, 그 다음에 이미지 픽업 장치의 위치를 적절하게 설치하는 것이 중요하다.

그러므로, 본 발명의 목적은, 상기 문제점을 해결하는 것에 있으며, 실장 헤드와 일체적으로 이동 장치에 의해 이동되는 이미지 픽업 장치가 그 위치에 적절하게 설치되는, 전자부품을 유지하여 기판 상에 실장하는 역할을 하는 상기 실장 헤드를 이동시키는 이동 장치를 제공하는 것뿐만 아니라, 상기 이동 장치를 포함하는 전자부품 실장 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 다음의 구성을 갖는다.

본 발명의 제1특징에 의하면, 기판 상에 전자부품을 유지하여 실장하는 실장 헤드를 이동시키는 이동 장치는,

1방향에 연장하는 빔(beam)과,

1방향에서 이동할 수 있도록 상기 빔 상에 구비된 슬라이더(slider)와,

1방향을 따라 상기 슬라이더의 이동을 구동하는 구동 유닛과,

상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정된 실장 헤드, 및

상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정되어, 기판 상의 전자부품에 대한 실장 위치의 이미지를 픽업하는 이미지 픽업 장치를 포함하고,

또한, 상기 이미지 픽업 장치는 1방향에서 실장 헤드의 폭 내에 수용되는 위치에 배치한다.

본 발명의 제2특징에 의하면, 기판 상에 전자부품을 유지하여 실장하는 실장 헤드를 이동시키는 이동 장치는,

제1방향에 연장하는 제1빔과,

제1방향에서 이동할 수 있도록 상기 제1빔 상에 구비된 슬라이더와,

제1방향을 따라 상기 슬라이더의 이동을 구동하는 제1구동 유닛과,

상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정된 실장 헤드와,

상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정되어, 기판 상의 전자부품에 대한 실장 위치의 이미지를 픽업하는 이미지 픽업 장치와,

제1방향에 직각인 제2방향에서 제1빔이 이동 가능하도록 상기 제1빔을 지지하는 제2빔, 및

제2방향을 따라 제1빔의 이동을 구동하는 제2구동 유닛을 포함하고,

또한, 상기 이미지 픽업 장치는 제1방향에서 실장 헤드의 폭 내에 수용되고,

또한 제2방향에서 실장 헤드와 제1빔의 전체 폭 내에 수용되는 위치에 배치한다.

본 발명의 제3특징에 의하면, 제2특징에서 정의된 바와 같이, 실장 헤드, 이미지 픽업 장치, 슬라이더, 제1빔 및 제1구동 유닛을 각각 복수의 세트로 구비하고, 제2빔은 상기 제1빔이 서로 독립적으로 또는 서로 이동할 수 있도록 복수의 제1빔을 지지하는, 이동 장치를 제공한다.

본 발명의 제4특징에 의하면, 제2특징에서 정의된 바와 같이,

이미지 픽업 장치는, 기판 상의 전자부품에 대한 실장 위치를 향해 제1조명 각도로 광(光)을 방사(放射)하는 복수의 제1광 조명 유닛과, 실장 위치를 향해 제1조명 각도와는 상이한 제2조명 각도로 광을 방사하는 복수의 제2광 조명 유닛을 포함하고,

또한 상기 이미지 픽업 장치의 저부(低部)에서, 상기 복수의 제1광 조명 유닛과 상기 복수의 제2광 조명 유닛이 기판의 표면을 따라 연장하는 하나의 동일면에 위치하는, 이동 장치를 제공한다.

본 발명의 제5특징에 의하면, 제4특징에서 정의된 바와 같이, 동일면 상의 상기 복수의 제1광 조명 유닛과 제2광 조명 유닛의 배치 영역은, 제2방향의 폭이 제1방향의 폭보다 짧게 설치되어 있는, 이동 장치를 제공한다.

본 발명의 제6특징에 의하면,

작업 면을 따라 기판을 유지하는 기판 유지 유닛, 및

제1 내지 제5특징 중의 어느 하나에 정의된 이동 장치를 구비하고,

또한 기판 유지 유닛에 의해 유지된 기판 상에의 전자부품의 실장은, 상기 이동 장치에 의해 상기 작업 면에 평행하게 이동하는 실장 헤드에 의해 실행되는, 전자부품 실장 장치를 제공한다.

본 발명에 의하면, 1방향에서 연장하는 빔과, 상기 1방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 빔 상에 구비되어 그 위에 실장 헤드와 이미지 픽업 장치가 고정된 슬라이더를 포함하는 이동 장치에 있어서, 상기 이미지 픽업 장치는 1방향에서 실장 헤드의 폭 내에 수용되는 위치에 배치되며, 이것에 의해 기판 상에 전자부품의 실장에 필요한 슬라이더의 이동 범위를 최소한으로 감소시킬 수 있다. 그러므로, 상기 슬라이더를 이동시키는 이동 축인 상기 빔의 1방향 길이를, 이미지 픽업 장치의 적절한 배치 설정을 통해서 감소시킬 수 있어, 달성되어야 할 이동 장치의 크기 축소가 허용되므로 설비 면적을 저감시킬 수 있다.

또한, 상기 1방향에 직각인 제2방향에서 제1빔을 이동시키는 제2빔을 더 포함하는 이동 장치에 있어서, 상기 이미지 픽업 장치는, 실장 헤드와 제2방향의 제1빔의 폭(전체 폭) 내에 수용되도록 그것의 배치에 대하여 더욱 적절하게 설정되어 있다. 따라서, 2개의 이동 장치가 서로 직각으로 구성된 이동 장치(직각 이동 장치)의 크기 축소를 실현할 수 있다.

본 발명의 이것들과 기타 형태 및 특징은, 첨부 도면을 참조하여 바람직한 실시형태에 관련한 다음의 설명으로부터 명확하게 될 것이다.

도 1은 본 발명의 제1실시형태에 따른 전자부품 실장 장치의 개략 사시도.

도 2는 제1실시형태의 선형 이동 장치의 개략 사시도.

도 3은 A-A 선을 따른 도 2의 선형 이동 장치의 단면도.

도 4는 제1실시형태의 선형 이동 장치의 개략 측면도.

도 5는 기판과 이미지 픽업 장치 간의 위치 관계성을 나타내는 개략 평면도.

도 6은 본 발명의 제2실시형태에 따른 선형 이동 장치의 단면도.

도 7은 제2실시형태의 선형 이동 장치의 개략 측면도.

도 8A는 제2실시형태의 선형 이동 장치에 포함된 카메라의 구성을 나타내는 개략 구성도.

도 8B는 도 8A의 카메라의 평면 조명 유닛의 개략 저면도(底面圖).

도 9A는 종래 카메라의 구성을 나타내는 개략 구성도.

도 9B는 도 9A의 카메라의 조명 유닛의 개략 저면도.

본 발명의 설명을 진행하기 전에, 전체 도면을 통해서 동일한 부품은 동일한 참조 번호를 부여한 점에 주목하여야 한다.

이하에, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

(제1실시형태)

본 발명의 제1실시형태에 따른 이동 장치의 일례(一例)인 선형 이동 장치를 포함하는 전자부품 실장 장치를, 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 제1실 시형태의 전자부품 실장 장치의 개략 사시도이고, 도 2는 제1실시형태의 선형 이동 장치의 개략 사시도이며, 도 3은 A-A 선을 따른 도 2의 선형 이동 장치의 단면도이고, 도 4는 제1실시형태의 선형 이동 장치의 측면도이며, 도 5는 기판과 이미지 픽업 장치 간의 위치 관계성을 나타내는 평면도이다.

우선, 전자부품 실장 장치(1)의 구조 및 운전에 대하여 설명한다. 도 1을 참조하면, 전자부품 실장 장치(1)는 베이스(2) 상에 구성된 기판 반송 유닛(3), 전자부품 공급 장치(4), 제1선형 이동 장치(5), 제2선형 이동 장치(6), 및 실장 헤드(7)로 구성되어 있다. 상기 베이스(2)의 상면은, 그 위에서 실장 작업이 실행되는, 수평 면을 형성하는 작업 면(2a)으로서 역할을 한다. X 방향에서 기판(8)을 반송하는 기능뿐만 아니라 작업 면(2a) 상의 특정 위치에서 기판(8)을 유지하는 기능을 갖는 기판 반송 유닛(3)은, 실장 전의 기판(8)을 전자부품 실장 장치(1)에 반송하고, 상기 기판(8)을 실장하는 도중에는 특정 위치에 유지하며, 실장 후에는 상기 유지를 해제하여 상기 기판(8)을 전자부품 실장 장치(1)의 외부로 반송한다. 다음의 설명에 있어서, 기판(8)에 대한 반송 방향은 X 방향이고, 수평 면 내의 상기 방향에 직각인 방향은 Y 방향인 점에 주목한다. 내부에 수용된 복수의 전자부품을 특정 자세로 특정 개수의 유닛에서 외부로 공급하는 기능을 갖는 전자부품 공급 장치(4)는, 기판 반송 유닛(3)의 양쪽 측에 복수 구비되어 있다.

제1선형 이동 장치(5) 및 제2선형 이동 장치(6)는, 베이스(2) 위에서, 대상물을 X 방향과 Y 방향에 전후로 선형 이동시키는 기능을 갖추고 있다. 더욱 상세하게는, 각각의 제2선형 이동 장치(6)는 제1선형 이동 장치(5)에 의해 지지된 일단 (一端)을 갖고, 상기 제1선형 이동 장치(5)를 구동하는 것은 상기 제2선형 이동 장치(6)가 Y 방향에서 전후로 이동하도록 허용하게 된다. 또한, 실장 헤드(7)는, 각각 제2선형 이동 장치(6)에 의해 지지되고, 상기 제2선형 이동 장치(6)를 구동하는 것은 상기 실장 헤드(7)가 X 방향에서 전후로 이동하도록 허용하게 된다. 따라서, 제1선형 이동 장치(Y 로봇)(5) 및 제2선형 이동 장치(X 로봇)(6)의 구동 조합에 의해, 실장 헤드(7)를 임의의 위치에 위치시킬 수 있도록 베이스(2) 위에서 수평 이동(X-Y 이동)시킬 수 있다. 각각의 실장 헤드(7)는, 전자부품을 흡착하는 복수의 노즐(9)을 구비하고 있으며, 상기 노즐(9)은 전자부품 공급 장치(4)로부터 공급된 전자부품을 흡착하여 기판(8) 상에 그것들을 실장한다.

이어서, 제2선형 이동 장치(6)의 구성과 운전을 설명한다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 각각의 제2선형 이동 장치(6)는, 작업 면(2a)에 평행한 X 방향(제1방향)을 따라 연장하도록 구성된 제1빔인 빔(10), X 방향을 따라 연장하도록 Y 방향(제1방향)에서 제1빔(10)의 측면 부분에 구성된 1쌍의 가이드(guide)(11), X 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 1쌍의 가이드(11) 상에 구비된 슬라이더(12), 및 상기 슬라이더(12) 상에 구성된 무버(mover)(13)와 상기 빔(10) 상에 구성된 고정자(14)로 구성된 리니어 모터(구동 유닛)를 포함한다.

상기 빔(10)은, 탄소 섬유 강화 플라스틱(CFRP)으로 제조된 직사각-실린더형 부재(10a, 10b, 10c)가 Z 방향에 중첩된 구조를 이루고 있으며, 제2직사각-실린더형 부재(10b, 10c)는 제1직사각-실린더형 부재(10a)의 양쪽 측에 배치되어 있다. 탄소 섬유를 에폭시 수지 또는 기타 폴리머 재료에 침투시켜 성형하고, 그 후 상기 재료를 경화시킨 복합 재료인, CFRP는, 강도가 우수하며, 철, 알루미늄 또는 기타 금속과 강도 및 강성에서 동등하다면, CFRP는 그러한 금속들보다 중량을 더욱 가볍게 제조할 수 있다. 또 다른 한편, 탄소 섬유는 기계 가공이 어려워, CFRP를 복잡한 구조로 성형하는 것이 곤란하다. 그러나, 본 제1실시형태에 있어서, 상기 빔(10)이 3개의 직사각-실린더형 부재(10a, 10b, 10c)를 Z 방향을 따라 중첩하여 일체적으로 성형하고, 그 각각의 단면 형상이 비교적 단순한 형상이므로, 제조 공정에서 특별한 어려움은 없으며, 따라서 높은 강성 및 경량과 같은 이러한 CFRP의 효과를 유효하게 얻을 수 있다.

슬라이더(12)를 대면하는 제2직사각-실린더형 부재(10b, 10c)의 표면에는, 1쌍의 가이드(11)가 X 방향을 따라 연장하도록 구성되는 한편, 슬라이더(12)를 대면하는 제1직사각-실린더형 부재(10a)의 표면에는, 고정자(14)가 X 방향을 따라 연장하도록 구성되어 있다. 또한, 슬라이더(12)를 대면하는 제1직사각-실린더형 부재(10a)와 제2직사각-실린더형 부재(10b, 10c)의 표면은, 1쌍의 가이드(11)와 리니어 모터와의 사이에 각각 Y 방향 크기의 상위(相違)에 대응하여 오목한 계단 갭(gap)을 각각 구비하고 있으며, 제1직사각-실린더형 부재(10a)는 Y 방향 폭이 제2직사각-실린더형 부재(10b, 10c)의 폭보다 짧다.

제2직사각-실린더형 부재(10b, 10c)를 대면하는 슬라이더(12)의 위치에, 가이드 블록(15)이 1쌍의 가이드(11)와 맞닿아서 X 방향에 미끄럼 운동할 수 있도록 구성되어 있다. 제1직사각-실린더형 부재(10a)를 대면하는 슬라이더(12)의 위치에, 무버(13)가 고정자(14)에 특정 거리(갭)를 가지고 대향하도록 스페이 서(spacer)(16)를 사이에 끼워 구성되어 있다. 상기 슬라이더(12)를 대면하는 상기 무버(13)의 한 측면에는 방열 핀(radiating fin)(17)이 무버(13)와 슬라이더(12)와의 사이에 형성된 공간부 'a'에 돌출하도록 X 방향을 따라 구성되어 있다. 빔(10)의 끝 부분에는 무버(13)와 슬라이더(12)와의 사이에 형성된 공간부 'a' 내의 X 방향에 공기 흐름을 형성하는 팬(fan)(18)이 구비되어 있다.

선형 이동 메커니즘을 형성하는 리니어 모터의 무버(13) 측에 자속(磁束)을 생성하기 위해 수용된 코일을 통해서 전류가 흐를 때, 고정자(14)에 배치된 영구 자석에 대항하여 작용하는 흡인력 및 반발력에 의해 추진력이 무버(13)에 발생하여, 상기 슬라이더(12)가 X 방향에서 이동하도록 한다. 무버(13) 내에는, 전류로 인한 발열이 생기지만, 상기 열은, 공간부 'a' 내에 존재하는 공기에 의한 단열 효과뿐만 아니라 세라믹 또는 페놀 수지 등의 적은 열 전달률을 가진 단열 재료로서 형성된 스페이서(16)에 의한 단열 효과 때문에 슬라이더(12) 측에 거의 전달되지 않는다. 또한, 상기 공간부 'a'가 슬라이더(12)의 이동 중에는 배출구의 역할을 하기 때문에, 전류에 의해 상기 무버(13) 내에 발생한 열은 방열 핀(17)으로부터 방열된다. 슬라이더(12)의 정지 중에는, 상기 무버(13) 내에 발생한 열이 상기 방열 핀(17) 주위에 잔류하므로, 열의 방열을 촉진시키기 위해서 팬(18)의 구동에 의해 X 방향에 공기 흐름을 상기 공간부 'a' 내에 강제적으로 형성한다.

그 결과, 상기 슬라이더(12) 또는 상기 가이드(11)의 열 변형으로 인한 상기 슬라이더(12)의 원활한 이동 저해가 방지되어서, 상기 가이드(11)의 위치 정밀도의 향상 및 내구성의 향상을 달성할 수 있다. 또한, 자력에 의한 강한 흡인력이 무 버(13)와 고정자(14) 사이에 작용하여서, 빔(10)을 구성하는 3개의 상기 직사각-실린더형 부재(10a, 10b, 10c)의 서로 대면하는 측면에 의해 형성된 2개의 접합 부분(19)은 리브(rib)로서의 역할을 하여 상기 무버(13)와 고정자(14) 간의 갭의 배치뿐만 아니라 1쌍의 가이드(11)의 변형을 최소화하는 기능을 하여, 상기 무버(13)와 고정자(14) 간에 작용하는 흡인력뿐만 아니라 위치 정밀도의 저하로 인한 상기 슬라이더(12)의 원활한 이동의 저해가 방지된다. 공기 흐름 형성 수단의 역할을 하는 팬(18)이 방열 핀(17)에 근접할수록 , 형성될 수 있는 공기 흐름이 더욱 강하게 되어서, 상기 슬라이더(12)의 위치에 관계없이 항상 상기 팬(18)을 상기 슬라이더(12)와 일체적으로 구성하여 방열 핀(17)에 근접해서 유지하는 경우, 더욱 높은 방열 효과를 기대할 수 있는 점에 주목한다.

또한, 위에서 설명한 제2선형 이동 장치(6)와 구조 면에서 유사한 상기 제1선형 이동 장치(5)는, Y 방향을 따라 연장하는 빔(제2빔)(25), Y 방향을 따라 연장하도록 X 방향에서 상기 빔(25)의 측면 부분에 구성된 1쌍의 가이드(26), Y 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 1쌍의 가이드(26) 상에 구비된 슬라이더(27), 및 선형 이동 메커니즘으로서의 리니어 모터(구동 유닛)를 포함한다. 상기 가이드(26)를 대면하는 슬라이더(27)의 한 측면 위에, 1쌍의 가이드(11)와 맞물리는 가이드 블록(28)이 구성되어 있으며, 상기 슬라이더(27)는 리니어 모터의 구동에 의해 Y 방향을 따라 미끄럼 운동할 수 있도록 제조되어 있다. 제2선형 이동 장치(6)는 그 일단이 상기 슬라이더(27)에 캔틸레버 지지(cantilever support)로 위치되어 있다.

도 3을 참조하면, 슬라이더(12)의 상부는 빔(10) 위로 연장하여 대향 측면 상에 돌출하는 상부 암(upper arm)(12a) 내에 구성되어 있으며, 실장 헤드(7)의 동작 제어를 실행하는 제어판(20)은 빔(10) 위의 위치에 구비되어 있다. 상기 제어판(20)은, 전원뿐만 아니라 전체의 전자부품 실장 장치(1)에 대하여 운전 제어를 실행하는 주(主) 제어 유닛에 접속되어 있으며, 그 접속 케이블은 빔(10)을 지나서 슬라이더(12)에 대향하는 한 측면에 배선되어 있다. 도 4를 참조하면, 접속 케이블(21)의 배선 경로를 형성하는 배선 박스(22)가 Y 방향에서 빔(10)의 한 측면에 구성되어 있다.

상기 배선 박스(22)는 가늘고 긴 직사각-실린더형 부재이며, 그것의 일단은 슬라이더(12)의 상부 암(12a)의 돌출부에 고정되어 있고, 그것의 타단(他端)은 하부 브래킷(23)에 고정되어 있다. 하부 브래킷(23)은 빔(10)의 하부로부터 X 방향을 따라 옆쪽으로 연장되도록 구성되어 있으며, 배선 박스(22)의 타단은 상기 빔(10)이 제1선형 이동 장치(5)에 의해 지지된 일단 측을 향해서 개방하도록 고정되어 있다. 제어판(20)에 접속된 배선 케이블(21)은, 빔(10)의 일단 측에 인도되어 제2선형 이동 장치(6)를 경유해서 주 제어 유닛에 접속되어 있다. 유연성을 갖는 배선 박스(22)는, 슬라이더(12)의 X 방향 이동을 따라 이동하는 일단과 하부 브래킷(23)에 고정된 타단과의 사이에 형성된 접속 케이블(21)의 배선 경로를 용이하게 변경할 수 있다.

위에서 나타낸 바와 같이, 각각의 제2선형 이동 장치(6)에 있어서, 비교적 중량이 무거운 제어판(20), 실장 헤드(7) 및 접속 케이블(21)의 배선 경로는, 그 중량 밸런스를 고려하여 빔(10)의 특정 위치에 배치하고 있어, 상기 빔(10)에 작용 하는 중량은 적절하게 밸런스를 이룬다. 더욱 상세하게는, 제어판(20)은 상기 빔(10)의 상향에 배치되고, 실장 헤드(7) 및 접속 케이블(21)은 상기 제어판(20)을 사이에 끼우도록 상기 빔(10)의 양쪽 측에 배치되어 있음으로써, 상기 빔에 작용하는 중량은 적절하게 밸런스를 이룬다. 특히, 중량 밸런스의 중심이 상기 빔(10)의 단면 중심에 근접하여 배치되는 경우, 슬라이더(27)를 가이드(26)와 맞물리도록 하는 가이드 블록(28)에 인가되는 부하(負荷)가 거의 균등하게 되어서, 가이드(26)와 가이드 블록 간에 발생하는 마찰력의 불균등을 제거할 수 있으며, 따라서 슬라이더(27)의 원활한 이동을 달성하여 내구성의 향상에 영향을 주는 불균등 마모를 방지할 수 있다. 또한, 빔(10)의 뒤틀림 또는 기타 변형이 저감되기 때문에, 슬라이더(12)에 있어서의 원활한 이동의 방해뿐만 아니라 위치 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. 또한, 상기 제어판(20)은 빔(10)의 하부에 설치하여도 좋으며, 상기 제어판(20)의 Y 방향 위치는, 접속 케이블(21)의 배선 경로와 실장 헤드(7)의 중량 밸런스를 고려하여 변경하여도 좋다.

도 2, 도 3 및 도 4에서, 가이드 블록(15)이 그 위에 구성된 슬라이더(12)의 한 측면에는 카메라(30)가 구비되어 있다. 기판(8)이나 기판 위의 전자부품의 이미지를 픽업하여 기판(8)의 위치나 상기 기판(8) 상의 전자부품에 대한 실장 위치를 인식하는 이미지 픽업 장치인 카메라(30)는, 슬라이더(12)와 일체적으로 이동하여, 기판(8) 상의 위치 인식 마크 또는 실장 위치(나타내지 않음)의 이미지를 픽업한다. 카메라(30)에 의한 위치 인식 마크의 이미지 픽업에 의해, 슬라이더(12)에 설치된 실장 헤드(7)의 각각의 노즐(9)과 기판(8) 간의 위치 관계를 인식하고, 상기 위치 관계에 기초하여 전자부품의 실장을 실행한다.

상기 카메라(30)는 거울 등을 사용하여 90°광축(光軸) 변환을 실행하는 L-형상 카메라이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 카메라(30)는, 노즐(9)에 의한 전자부품 흡착과 실장 동작을 방해하지 않도록 빔(10)과 슬라이더(12) 사이의 실장 헤드(7)에 인접하여 배치되어 있으며, 실장 헤드(7)와 빔(10)의 Y 방향 폭 W1 밖으로 나가는 것이 방지된다. 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 카메라(30)는, 실장 헤드(7)에 X 방향으로 배열된 복수의 노즐(9)에 있어서 일반적으로 중앙에 배치되어 있으며, 실장 헤드(7)와 빔(10)의 X 방향 폭 W2 밖으로 나가는 것이 방지된다. 본 제1실시형태의 각각의 실장 헤드(7)는 X 방향에 4열, Y 방향에 2열의 합계 8개의 노즐(9)을 구비하고 있는 점에 주목한다.

도 5를 참조하면, 실장 헤드(7)에 구비된 모든 노즐(9)을 사용하여 전자부품 실장을 실행하므로, 모든 노즐(9)이 전체 기판(8) 위를 전부 지나갈 수 있도록 실장 헤드(7)에 대한 이동 영역 R이 설정되어 있다. 이러한 설정에서는, 모든 노즐(9)이, 그 이동 단부(端部)에 위치할 경우, 기판(8)의 X 방향 양쪽 단부(8a, 8b)보다 바깥에 위치하도록 실장 헤드(7)에 대한 X 방향 이동 영역 R이 설정되어 있다. X 방향에서 4열로 배열된 노즐(9)의 일반적 중앙에 위치된 카메라(30)는, 이동 영역 R 내에서 각각의 실장 헤드(7)의 이동을 따라 기판(8)의 X 방향 양쪽 단부(8a, 8b)보다 바깥으로 이동할 수 있으며, 따라서 타깃이 되는 기판(8)의 전 영역을 이미지 픽업을 위해 허용하게 된다. 그러므로, 슬라이더(12)가 단지 각각의 실장 헤드(7)의 이동 영역 R을 보장하는 필요 거리에 의해 X 방향에서만 이동할 수 있기 때문에, 각각의 제2선형 이동 장치(6)의 이동 축 길이는 단지 각각의 실장 헤드(7)의 X 방향 이동 영역 R을 보장하기에 충분하기만 하면 된다. 즉, 각각의 제2선형 이동 장치(6)의 빔(25)은, 단지 각각의 실장 헤드(7)의 X 방향 이동 영역 R을 보장하기에 충분한 길이만을 갖고 있으면 된다.

각각의 제2선형 이동 장치(6)의 이동 축 길이 설정에 있어서, 위에서 나타낸 바와 같이 카메라(30)의 적절한 배치를 적용함으로써, 상기 카메라(30)의 이미지 픽업 영역을 고려한 상기 슬라이더(12)의 이동 거리를 확보할 필요가 없어, 각각의 제2선형 이동 장치(6)의 이동 축 길이를 감소시킬 수 있다. 이러한 각각의 제2선형 이동 장치(6)의 이동 축 길이의 축소는, 각각의 제2선형 이동 장치(6)의 이동축 길이와 제1선형 이동 장치(5)의 폭(X 방향에 있어서의 폭)과의 합으로부터 나오는 값에 의해 결정된 전자부품 실장 장치(1)의 장비 폭(X 방향의 폭)을 감소시킬 수 있게 한다. 따라서, 기판(8)의 반송 방향에 있어서 전자부품 실장 장치의 장비 길이 L을 축소하여 적용할 수 있게 되어, 영역 생산성의 향상을 달성할 수 있다.

또한, 하나의 제1선형 이동 장치(5)가 2개의 평행한 제2선형 이동 장치(6)와 함께 구성되는 경우, 및 실장 헤드(7)와 카메라(30)가 본 제1실시형태의 전자부품 실장 장치(1)와 같이 각각의 제2선형 이동 장치(6)에 포함되는 경우에 있어서, 각각의 카메라(30)가 실장 헤드(7) 및 빔(10)의 Y 방향 전체 폭 밖으로 나가지 않도록 하는 위치에 위치될 때, 이들 카메라(30) 간의 간섭이 발생하지 않고, 2개의 실장 헤드(7)가 서로 접근해 이동해서 동시에 작업을 할 수 있게 허용되어, 생산 효율의 향상을 달성할 수 있다.

또한, 상기 카메라(30)가 슬라이더(12)를 경유하여 실장 헤드(7)에 인접하는 배치 구성을 채택함으로써, 각각의 제2선형 이동 장치(6)의 Y 방향 이동 영역을 필요한 최소의 값으로 감소시킬 수 있어, 제1선형 이동 장치(5)의 Y 방향 길이, 즉 이동 축 길이를 축소할 수 있으므로, 제1선형 이동 장치(5)의 크기 축소를 달성할 수 있게 된다.

제1선형 이동 장치(5) 및 제2선형 이동 장치(6)의 이동 축 길이를, 위에서 나타낸 바와 같이, 각각 작게 유지하면, 카티전 로봇 자체의 크기를 축소할 수 있게 되어 카티전 로봇의 교체를 용이하게 할 수 있으며, 영역 생산성의 향상을 달성할 수 있다. 실장 헤드(7) 상이 아니고 슬라이더(12) 상에 구비된 카메라(30)는, 실장 헤드(7)의 교체 중에 상기 슬라이더(12)로부터 제거되지 않으며, 따라서 교체 후의 실장 헤드(7)에 대한 위치 보정의 실시는 슬라이더(12)에 대한 위치 보정의 필요성을 배제하게 된다.

리니어 모터가 제1실시형태에서 슬라이더(12)를 이동시키는 선형 이동 메커니즘으로서 사용되지만, 리니어 모터 대신에 이송 스크루 메커니즘을 사용할 수도 있으며, 고정부로서의 역할을 하는 고정자를 이송 스크루 구동부로 교체할 수 있는 한편, 이동부로서의 역할을 하는 무버를 상기 이송 스크루와 맞물리는 너트로 교체할 수도 있다. 이 경우에는, 빔(10)을 형성하는 직사각형의 단면을 갖는 직사각-실린더형 부재(10a, 10b, 10c)의 연결부(19)는 리브(rib)의 역할을 하여, 이송 스크루 구동부의 실장 강성이 향상된다. 그러므로, 이송 스크루의 회전 축의 변위가 억제되고, 너트가 원활한 이동의 방해로부터 자유롭게 유지되어서, 상기 슬라이 더(12)는 그것의 위치 정밀도의 저하로부터 방지될 수 있다. 상기 슬라이더(12) 상에는, 카메라 또는 기타 이미지 픽업 장치, 페이스트 어플리케이터(paste applicator) 등을 실장 헤드(7)에 추가해서 설치해도 좋으며, 이 경우에 위치 정밀도를 저하시키는 일 없이, 어느 장치가 상기 슬라이더(12)에 설치되더라도, 품질 향상을 기대할 수 있다.

또한, 2개의 제2선형 이동 장치(6)를 구비하고, 상기 장치에 각각 구비된 카메라(30)가 서로 간에 간섭하지 않는 구성에 대하여 제1실시형태를 설명하였지만, 장치 구성은, 상기 경우와 다르게 하나의 제2선형 이동 장치(6)이어도 좋으며, 또한 그러한 경우일지라도 제1실시형태의 효과를 얻을 수 있다.

(제2실시형태)

이어서, 본 발명의 제2실시형태에 따른 이동 장치의 일례인 선형 이동 장치를 포함하는 전자부품 실장 장치를 설명한다. 도 6에 본 제2실시형태의 전자부품 실장 장치에 포함된 제2선형 이동 장치(56)의 단면도를 나타내고, 도 7에 그것의 측면도를 나타낸다. 제2실시형태의 전자부품 실장 장치는 슬라이더 상에 고정된 카메라(이미지 픽업 장치)의 구성에서 제1실시형태와 상이하며, 이러한 차이점만을 이하에 설명한다. 제2실시형태의 선형 이동 장치에 있어서, 제1실시형태의 선형 이동 장치와 연관하여 동일한 구성품 부재는 동일한 참조 번호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 6 및 도 7에 나타낸 바와, X 방향에서 이동 가능하도록 제2선형 이동 장치(56)에 의해 지지된 슬라이더(12) 상에는, 실장 헤드(7)가 고정된 측면에 대향하 는 슬라이더(12)의 한 측면 상에 카메라(80)가 고정되어 있으며, 상기 카메라(80)는 상기 슬라이더(12)와 일체적으로 이동할 수 있다.

제1실시형태의 설명에서는 나타내지 않았지만, Y 방향에서 제2선형 이동 장치(56)를 이동시키는 제1선형 이동 장치(55)는, 리니어 모터를 구성하는 무버(43)와 고정자(44), 상기 무버(43)의 열을 방열하는 방열 핀(47), 및 스페이서(46)를 포함한다.

제2실시형태의 카메라(80)의 개략 측면도를 도 8A에 나타내고, 광 조명 장치의 개략 평면 배치도를 도 8B에 나타낸다. 또한, 제2실시형태의 카메라(80)에 대한 비교 대상물로서, 종래의 전자부품 실장 장치에서 사용되던 카메라(280)의 개략 측면도를 도 9A에 나타내고, 그것의 광 조명 장치의 개략 평면 배치도를 도 9B에 나타낸다.

우선, 비교 대상물로서 종래의 카메라(280)의 구성을 도 9A 및 도 9B를 참조하여 설명한다.

도 9A 및 도 9B에 나타낸 바와 같이, 종래의 카메라(280)는, 상부 스테이지 조명 광원 유닛(282)뿐만 아니라, 수직 방향에서 광으로 이미지 픽업 대상물을 조명하는 동축 조명 광원 유닛(281), 중간 스테이지 조명 광원 유닛(283) 및 경사진 방향에서 광으로 이미지 픽업 대상물을 조명하는 하부 스테이지 조명 광원 유닛(284)을 포함한다.

동축 조명 광원 유닛(281)은, 방향성을 갖는 광을 수평으로 방사하고, 이것은 다음에 카메라(280)의 광축 Q에 배치된 거울(285)에 의해 수직 하향(下向)으로 반사되어서, 방향성을 갖는 광이 대상물(기판 등의 위치 인식 마크)에 인가된다. 또한, 상부 스테이지 조명 광원 유닛(282), 중간 스테이지 조명 광원 유닛(283) 및 하부 스테이지 조명 광원 유닛(284)은, 높이 위치에서 서로 상이하게 배치되어서, 각각의 조명 광원 유닛으로부터 방사된 광의 각도(조명 각도)는 서로 다르다. 각각의 조명 광원 유닛(282, 283, 284)에 대하여는, 복수의 LED(282a, 283a, 284a)를 채택한다. 또한, 이러한 조명 광원 유닛이 서로 간섭하지 않게 하기 위해서, 이들 LED(282a, 283a, 284a)는 그 평면 위치가 서로 상이하게 광축 주위에 환상(環狀)으로 배치되어 있다. 여기서 조명 각도는 각각 개별적인 광원 유닛을 구성하는 복수의 LED로부터 방사된 광의 조명 광선의 평균 조명 각도를 의미하는 점에 주목한다.

3개의 조명 광원 유닛이 높이에서 서로 상이한, 위에 나타낸 바와 같은 종래의 카메라(280)에 대해서는, 그 높이 방향에서 크기를 감소시키는 것이 어렵다. 또한, 광축에 대한 LED의 환상 배치를 채택하고 3개의 조명 광원 유닛이 높이에서 서로 상이하기 때문에, 상기 카메라(280)의 평면 크기를 감소시키는 것이 어렵다.

이어서, 도 8A 및 도 8B를 참조하여, 제2실시형태의 카메라(80)의 구성을 설명한다.

도 8A 및 도 8B에 나타낸 바와 같이, 카메라(80)는, 수직 방향을 따라 배치된 광축 Q를 따르는 방향성을 갖는 동축 광을 방사하는 동축 조명 유닛(110), 이미지 픽업 대상물에 대하여 경사진 광을 방사하는 평면 조명 유닛(120), 및 광축 Q를 따라 입사(入射)되는 이미지 픽업 대상물의 이미지를 얻게 하는 이미지 픽업 유닛(130)을 포함한다.

상기 이미지 픽업 유닛(130)은, 광축 Q에 배치된 렌즈(131)를 통해 광축 Q를 따라 입사된 이미지가 프리즘(132)에 의해 수평 방향으로 방향을 변경해서 렌즈(133)를 통해 광 수신 소자(134)에 초점이 맞추어지도록 구성되어 있다.

동축 조명 유닛(110)은, 수평 방향을 향해서 광을 방사하도록 배치된 복수의 LED(111), 및 수평으로 방사된 광을 광축 Q를 따라 반사하는 반 거울(half mirror)(112)을 포함한다. 평면 조명 유닛(120)은, 광축 Q에 대하여 경사 각도 θ1로 광을 방사하는 제1조명 광원 유닛(121), 경사 각도 θ2로 광을 방사하는 제2조명 광원 유닛(122), 및 경사 각도 θ3으로 광을 방사하는 제3조명 광원 유닛(123)의 3개 타입의 조명 광원 유닛(광 조명 장치의 일례)을 포함한다. 이러한 경사 각도(조명 각도)는 θ1<θ2<θ3의 관련성을 갖는 점에 주목한다.

제1조명 광원 유닛(121)은, 예로서 적색의 분산(分散) 광을 방사하는 복수의 LED(121a)의 배열을 포함하는 한편, 제2조명 광원 유닛(122)은, 적색 분산 광을 방사하는 복수의 LED(122a)의 배열을 유사하게 갖는다. 또한, 제3조명 광원 유닛(123)은, 예로서 백색의 분산 광을 방사하는 LED(123a)의 배열을 갖는다. 도 8B에서, 상기 LED(121a, 122a, 123a)는, 각각 상이한 방법으로 패턴이 되어 있어, 이들 LED는 그 종류에서 각각 육안으로 식별될 수 있다. 이들 개별 조명 광원 유닛에 사용되는 LED의 종류는, 대상물 및 이미지 픽업의 목적에 따라 필요한 대로 선택하면 되는 점에 주목한다.

도 8B에 나타낸 바와 같이, 제1조명 광원 유닛(121)은, 예를 들면 거의 정사각형 도넛 형상으로 광축 Q에 제일 근접해서 배치되어 있고, 제2조명 광원 유 닛(122)은, 상기 제1조명 광원 유닛(121)을 외부에서 감싸도록 거의 정사각형 도넛 형상으로 배치되어 있다. 그 다음, 제3조명 광원 유닛(123)은, 제2조명 광원 유닛(122)보다 바깥에 광축 Q를 중심으로 하는 직사각형으로 형성된 직사각 영역(도 8B에서 점선으로 나타낸 영역)(90) 내에서 4개의 대각선 위치에 배치되어 있다. 직사각 영역(90)은 X 방향 측보다 Y 방향 측이 짧도록 설정되어 있는 점에 주목하여야 한다. 바람직하게는, 이것들 각각의 조명 광원 유닛의 위치는 광축 Q에 대하여 될 수 있는 한 가까이 점 대칭으로 되어 있다. 또한, 도 8A에 나타낸 바와 같이, 조명 광원 유닛(121, 122, 123)은 하나의 아주 동일한 수평면 상에 배치되어 있다. 더욱 상세하게는, 조명 광원 유닛을 단일 평판(平板)인 조명판(129) 위에 배치하는 구조를 채택하고 있다.

위에서 설명한 구조를 갖는 평면 조명 유닛에 있어서는, 기판 표면 상에 개별적으로 상이한 조명 각도 θ1, θ2, 및 θ3로 조명 광을 방사하는 복수의 독립 광원 유닛인 제1조명 광원 유닛(121), 제2조명 광원 유닛(122) 및 제3조명 광원 유닛(123)은, 미리 저장되어 있는 조명 데이터에 따라 제어되어서, 이미지 픽업 대상물을 적절한 광으로 조명할 수 있다. 예를 들면, 조명을 위한 광은 이미지 픽업 대상물의 표면 성질 특성에 따라 변화된다. 즉, 전반사(全反射)의 대상물에 대해서는 대개 동축 조명 광을 사용하는 반면, 분산 반사의 대상물에 대해서는 외향 각도 조명 광을 사용한다. 또한, 이미지 픽업 데이터의 인식 목적 및 인식 형태에 따른 최상의 조명 상태를 만족하는 관점에서, 조명 패턴은 온/오프 상태 및 독립 조명 광원 유닛의 조명 강도 중에서 조합하여 설정되며, 평면 조명 유닛(120)은 이러한 설 정을 기초로 하여 제어된다.

상기한 바와 같이 제2실시형태의 카메라(80)를 사용함으로써, 다음의 각종 효과를 얻을 수 있다.

우선, 제3조명 광원 유닛(123)을 광축 Q를 중심으로 하는 직사각 영역(90) 내의 4개의 대각선 위치에 위치시키는 배치가, 이미지 픽업 대상물인 기판에 인가하는 조명 광의 점 대칭에 다소간 손상으로 인도될지라도, 연장된 조명 거리에 의한 광축 Q로부터 제일 큰 거리에서의 제3조명 광원 유닛(123)의 배치는, 이미지 픽업을 문제점 없이 달성할 수 있는 일반적으로 균등한 조명 광 분포를 얻을 수 있도록 한다. 또한, 이러한 조명 광원 유닛의 평면 배치의 채택은, 평면 조명 유닛(120)을 가능한 한 평면 크기에서 저감되게 허용하여, 카메라(80)를 평면 치수에서 콤팩트하게 만들 수 있다. 예를 들면, 도 8B에 나타낸 바와 같이, 도 9B의 종래 카메라(280)에 있어서의 조명 크기(290)와 본 제2실시형태의 카메라(80)의 조명 크기(직사각 영역)(90)와의 비교로부터, 카메라(80)의 평면 조명 유닛(120)이 Y 방향에서 더욱 콤팩트하게 제조된다는 것을 알 수 있다.

또한, 상기 조명 광원 유닛(121, 122, 123)이 단일 평판인 조명판(129) 위에 배치되어 있는 평면 조명 유닛(120)의 배치는, 상기 평면 조명 유닛(120)의 두께 T1을 가능한 한 얇게 만들 수 있도록 허용한다. 3개 형태의 독립 조명 광원 유닛이 수직 방향에 3개 스테이지로 배치되어 있는 종래 카메라(280)의 조명 유닛과 같은 배치에서는, 조명 유닛이 3개의 조명 광원 유닛의 두께의 합으로부터 기인하는 두께 T2를 갖기 때문에, 조명 유닛의 높이 방향 콤팩트화가 억제된다. 이것에 반하 여, 제2실시형태의 평면 조명 유닛(120)은 그것의 높이 방향 치수에 있어서의 콤팩트화를 더욱 달성할 수 있다. 높이 방향 치수에 있어서의 콤팩트화를 달성할 수 있으므로, 예를 들면, 카메라(80)를 빔(10)의 바로 아래에 위치시키는 배치를 달성하는 것도 가능하다.

따라서, 전자부품이 실장되는 기판의 크기 축소 및 실장 밀도 향상에 응답하여 실장 장치가 진보하는 현상에 있어서, 실장 헤드의 평면 점유 치수 및 높이 방향 치수에 있어서의 더욱 나은 콤팩트화를 위한 요구를 충족시키기에 실용적으로 된다.

상기한 각종의 실시형태의 임의의 실시형태를 적절하게 조합함으로써, 그것들이 가지고 있는 효과들을 나타낼 수 있다는 점에 주목하여야 한다.

본 발명을 첨부 도면을 참조하여 바람직한 실시형태에 관련하여 충분히 설명하였지만, 당업자에 있어서는 각종 변경 및 변형이 명백한 점에 주목하여야 한다. 이러한 변경 및 변형은 첨부 청구내용으로부터 일탈하지 않는 한, 첨부된 청구내용에 의해 정의된 본 발명의 범주 내에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명에 의하면, 이미지 픽업 장치가 1방향에서 실장 헤드의 연장 내에 수용되도록 그러한 위치에 배치되어 있으므로, 1방향에서 선형 이동 장치의 연장을 감소시켜, 선형 이동 장치가 서로 직각으로 구성된 카티전 로봇의 크기 축소를 실현할 수 있게 되어서, 전자부품 실장 분야에서의 유용성을 얻는 이점을 얻을 수 있다.

서기 2006년 11월 6일에 출원된 일본국 특허 출원 제2006-299929의 명세서, 도면, 및 청구내용을 포함하는 전체의 개시는, 참고로 여기에 전체로서 포함되어 있다.

Claims (6)

1. 기판 상에 전자부품을 유지하여 실장하는 실장 헤드(mounting head)를 이동시키는 이동 장치에 있어서,

   상기 장치는

   1방향에 연장하는 빔(beam),

   1방향에서 이동할 수 있도록 상기 빔 상에 구비된 슬라이더(slider),

   1방향을 따라 상기 슬라이더의 이동을 구동하는 구동 유닛(drive unit),

   상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정된 실장 헤드, 및

   상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정되어, 기판 상의 전자부품에 대한 실장 위치의 이미지를 픽업하는 이미지 픽업 장치(image pickup device)를 포함하고,

   상기 이미지 픽업 장치는, 1방향에서 실장 헤드의 폭 내에 수용되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
2. 기판 상에 전자부품을 유지하여 실장하는 실장 헤드를 이동시키는 이동 장치에 있어서,

   상기 장치는

   제1방향에 연장하는 제1빔(first beam),

   제1방향에서 이동할 수 있도록 상기 제1빔 상에 구비된 슬라이더,

   제1방향을 따라 상기 슬라이더의 이동을 구동하는 제1구동 유닛,

   상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정된 실장 헤드

   상기 슬라이더와 일체적으로 이동하도록 상기 슬라이더에 고정되어, 기판 상의 전자부품에 대한 실장 위치의 이미지를 픽업하는 이미지 픽업 장치,

   제1방향에 직각인 제2방향에서 제1빔이 이동 가능하도록 상기 제1빔을 지지하는 제2빔(second beam), 및

   제2방향을 따라 제1빔의 이동을 구동하는 제2구동 유닛을 포함하고,

   상기 이미지 픽업 장치는, 제1방향에서 실장 헤드의 폭 내에 수용되고, 또한 제2방향에서 실장 헤드와 제1빔의 전체 폭 내에 수용되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
3. 제2항에 있어서,

   실장 헤드, 이미지 픽업 장치, 슬라이더, 제1빔 및 제1구동 유닛을 각각 복수의 세트로 구비하고, 제2빔은 상기 제1빔이 서로 독립적으로 또는 서로 이동할 수 있도록 복수의 제1빔을 지지하는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
4. 제2항에 있어서,

   이미지 픽업 장치는, 기판 상의 전자부품에 대한 실장 위치를 향해 제1조명 각도로 광(光)을 방사(放射)하는 복수의 제1광 조명 유닛과, 실장 위치를 향해 제1 조명 각도와는 상이한 제2조명 각도로 광을 방사하는 복수의 제2광 조명 유닛을 포함하고,

   상기 이미지 픽업 장치의 저부(低部)에서, 상기 복수의 제1광 조명 유닛과 상기 복수의 제2광 조명 유닛이 기판의 표면을 따라 연장하는 하나의 동일면에 위치하는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
5. 제4항에 있어서,

   동일면 상의 상기 복수의 제1광 조명 유닛과 제2광 조명 유닛의 배치 영역은, 제2방향의 폭이 제1방향의 폭보다 짧게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 장치.
6. 전자부품 실장 장치에 있어서,

   상기 장치는

   작업 면을 따라 기판을 유지하는 기판 유지 유닛, 및

   제1 내지 제5항 중의 어느 하나에 정의된 이동 장치를 구비하고,

   기판 유지 유닛에 의해 유지된 기판 상에의 전자부품의 실장은, 상기 이동 장치에 의해 상기 작업 면에 평행하게 이동하는 실장 헤드에 의해 실행되는 것을 특징으로 하는 전자부품 실장 장치.

Images