[go: up one dir, main page]

KR20090065038A - 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법 - Google Patents

유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20090065038A
KR20090065038A KR1020070132461A KR20070132461A KR20090065038A KR 20090065038 A KR20090065038 A KR 20090065038A KR 1020070132461 A KR1020070132461 A KR 1020070132461A KR 20070132461 A KR20070132461 A KR 20070132461A KR 20090065038 A KR20090065038 A KR 20090065038A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
width
light source
adhesive
display panel
laser light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020070132461A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100910047B1 (ko
Inventor
이재정
신동수
Original Assignee
주식회사 엠엠티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엠엠티 filed Critical 주식회사 엠엠티
Priority to KR1020070132461A priority Critical patent/KR100910047B1/ko
Publication of KR20090065038A publication Critical patent/KR20090065038A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100910047B1 publication Critical patent/KR100910047B1/ko
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • H05B33/04Sealing arrangements, e.g. against humidity
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • H10K59/8722Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것이며, 그 목적은 가변형의 투과부를 이용하여, 패널 기판들에 마련된 접착부(접착제)의 다양한 형상에 대응하는 조사영역을 구현함으로서, 패널의 종류별 다양한 실시를 구현할 수 있는 가변형의 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법을 제공함에 있다.
본 발명은 발광소자가 형성된 화소영역과 이 화소영역의 외연에 형성되는 비화소영역을 포함하는 제1 및 2기판과, 상기 화소영역을 보호하게 제1 및 2기판의 비화소영역 상에 접착제를 용융시켜 밀봉 접착시키는 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 있어서; 일정한 폭과 너비의 조사영역을 갖는 레이저 발생기와, 다수개의 가동블록들을 구비하는 가변형 마스크를 포함한 광학계를 구비하는 레이저 조사장치를 접착부의 한쪽 시점에 위치시킨 후, 접착부의 반대쪽 종점을 향해 레이저 광원을 직선 이동시키며 조사하되; 레이저 광원의 이동과 함께 접착부의 패턴과 대응하도록 다수개의 가동블록들을 연동하여 상대 이동시켜, 레이저 광원의 너비를 조절하거나 분할시키며, 연속적인 접착을 수행하도록 한 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
평판 디스플레이 패널, 레이저, 합착, 실링, 밀봉, 가변형 마스크

Description

유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법{A Sealing Method of FPD using Flexible Irradiating Area of Laser}
본 발명은 레이저를 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종래 접착부(프릿)의 패턴 형상에 대한 레이저 광원의 추적식 조사 작업을 수행함으로 인해 접착부의 굴곡부와 코너부 등에서 발생되었던 열응력 및 잔류응력을 방지하고, 패널 기판에 마련된 다양한 형상 및 크기와 무관하게 조사(실링)작업의 공정 단축을 수행할 수 있는 유연한 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 관한 것이다.
평판 디스플레이 패널의 단위 셀을 이루는 소자는, 제1전극과 제2전극사이에 발광층을 포함한 적어도 하나 이상의 유기막층을 갖는 구조를 이루게 된다. 상기 제1전극은 모 기판상에 형성되어 있으며, 정공을 주입하는 양극의 기능을 하고, 상기 제1전극의 상부에는 유기막층이 형성된다. 이 유기막층 상에는 전자를 주입하는 음극의 기능을 하는 제2전극이 상기 제1전극과 대향하도록 형성되어 있다.
이러한 디스플레이소자는 주위로부터 산소, 수분이 내부로 유입되는 경우, 전극물질의 산화, 박리 등의 문제로부터 그 수명이 단축되거나 디스플레이의 성능이 저하되는 문제가 발생되어, 그 제조 시 외부로부터 소자를 격리하기 위한 실링(sealing)작업이 수행되는 것이다.
통상 유기전계 발광소자의 제2 전극 상부에 PET(polyester) 등의 유기 고분자를 라미네이팅하거나, 흡습제를 포함하는 금속이나 유리로 커버, 캡(cap) 등의 상부기판을 형성하고, 그 내부에 질소가스를 충진시킨 후, 상기 커버, 캡 등의 상부기판의 테두리를 에폭시와 같은 밀봉재(접착제)로 실링하는 방법이 사용되고 있다. 또는 미국 공개특허 공보 [제2004-0207314호]에 의하면 상기 밀봉재(접착제)로 프릿(frit: 이하 '접착제라 칭함')을 사용하여 소자의 모기판과 상부기판 간의 밀착성을 향상시키는 실링방법이 고안되었다.
한편, 이렇게 도포된 접착제를 경화시켜 기판들을 합착(실링)하기 위한 열원으로서는 레이저에서 조사되는 열파장(800nm)대의 에너지를 열원으로 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법이 제시되고 있다.
도 1은 기판 상에 도포된 접착제에 대한 열원공급수단으로서, 종래 레이저 조사장치의 작동상태를 보이는 것으로, 레이저 발생기(6)와, 발생된 광원의 방향전환 및 이동을 구현하는 광학계(7)로 이루어지는 조사장치(5)가 구비되고, 기판(1)(2)상에 도포된 접착제(P)의 패턴과 동일하게 패터닝된 투과부(3a)를 갖는 고정식 마스크(3)가 레이저 조사장치(5)와 기판(1)(2) 사이에 배치된다. 또한, 도시되진 않았으나, 광학계(7) 혹은 광학계를 포함한 조사장치(5)에는 기판(1)(2)에 대 한 X-Y방향의 이동수단이 구비된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 이러한 구조로부터 레이저 조사장치(5)는, 접착부(P)의 폭보다 큰 직경을 갖는 점(spot)형태의 조사영역을 가진다.
이러한 점(spot) 형태의 조사와 함께 광학계(7)를 이용한 X-Y좌표에 대한 이동을 통해 하나의 단위 셀이 갖는 접착부(P)를 따라 광원(L)을 이동시키며 실링(조사)작업을 수행하게 된다. 이러한 하나의 단위 셀의 접착부(P)를 따르는 일련의 조사 작업이 완료된 후에는 기판(1)(2)으로부터 X 혹은 Y방향으로 1스텝 이동시켜 이웃하는 단위 셀로 이동하여 해당 접착부(P)에 대한 반복된 조사 작업을 수행하게 된다.
하지만, 이러한 종래의 레이저 조사장치를 이용한 실링공정은, 하나의 단위 셀이 갖는 접착부(P)에 대한 조사 작업이 그 길이를 따라 추적식 형태로 이루어지는 바, 레이저 광원의 조사 시작부와 종착부 및 사각패턴(대개 화소영역은 사각의 패턴을 가지게 됨)에 의한 코너부에서 광원의 조사가 중첩되는 현상이 발생되거나 조사의 끊김 현상이 발생하게 되어, 이로 인한 접착력의 저하로 밀봉력이 감소하여 차후 발광소자가 열화 및 변질되는 문제점이 발생하게 된다.
또한, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 종래 점 타입의 광원(L)은 그 중심에서 가장 높은 열의 집중현상이 발생되며, 그 양쪽으로 가며 상대적으로 낮은 온도패턴을 보이게 되는 바, 이러한 온도편차는 앞서 설명한 접착부(P)의 시작부, 종착부 및 코너뿐만 아니라, 접착부(P)의 전체적인 폭(ℓ)방향에 대한 온도편차를 발생시키게 되었다.
무엇보다, 종래의 레이저 조사장치(5)는, 화소영역(A)에 대응하여 그 둘레를 따라 배치된 접착부(P)의 형상을 따르는 추적식 주행운동으로 인해, 하나의 단위 셀뿐만 아니라 기판에 대한 전체적인 실링작업에 많은 작업시간을 가중시키게 되었다.
또한, 기판에 도포된 접착부(P)의 두께, 크기, 그 모양에 따른 다양한 종류에 대응하는 각각의 고정식 마스크(3)를 개별적으로 구비하여야 했으며, 이로 인한 실링장비의 제작비를 가중시키게 되었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 가변형의 투과부를 이용하여, 패널 기판들에 마련된 접착부(접착제)의 다양한 형상에 대응하는 조사영역을 구현함으로서, 패널의 종류별 다양한 실시를 구현할 수 있다.
또한, 일정한 폭과 너비를 갖는 광원의 조사영역을 이용하여, 하나의 화소영역에 대한 접착부를 따라 1회의 직선구동을 통해 하나의 화소영역에 대한 접착부 및 전체 패널 기판에 형성된 다수개의 접착부를 대한 조사(실링)작업을 수행함으로서, 공정시간을 현저히 단축시킬 수 있는 것이다.
또한, 종래와 같이 접착부의 길이방향을 따라 점(spot)형의 광원 조사영역을 이용하여 주행식 이동 조사하는 것이 아닌 가변형 너비를 가지며 그 너비에 대해 균일한 에너지 분포를 갖는 선(line)형의 광원 조사영역을 이용함으로서, 접착부의 폭방향에 대한 가열 열원의 온도편차를 줄이는 한편, 접착부의 코너부에서 발생되는 가열 열원의 중첩현상과 집중현상을 배제할 수 있는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법을 제공함에 있다.
상기한 바와 같은 과제를 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 본 발명은 발광소자가 형성된 화소영역과 이 화소영역의 외연에 형성되는 비화소영역을 포함 하는 제1 및 2기판과, 상기 화소영역을 보호하게 제1 및 2기판의 비화소영역 상에 접착제를 용융시켜 밀봉 접착시키는 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 있어서,
일정한 폭과 너비의 조사영역을 갖는 레이저 발생기와, 다수개의 가동블록들을 구비하는 가변형 마스크를 포함한 광학계를 구비하는 레이저 조사장치를 접착부의 한쪽 시점에 위치시킨 후, 접착부의 반대쪽 종점을 향해 레이저 광원을 직선 이동시키며 조사하되;
레이저 광원의 이동과 함께 접착부의 패턴과 대응하도록 다수개의 가동블록들을 연동하여 상대 이동시켜, 레이저 광원의 너비를 조절하거나 분할시키며, 연속적인 접착을 수행하도록 한 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 화소영역은 사각영역이 구비되고, 이에 대응하는 접착부는 소정의 폭을 갖는 사각패턴이 구비된 것으로서,
상기 접착부는, 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 너비가 사각패턴의 한쪽 변 길이를 갖도록 유지한 채, 접착부의 폭만큼 이동시키는 제1접착 단계; 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 너비를 사각패턴의 양쪽 변의 폭을 갖도록 유지한 채, 양쪽 변의 길이만큼 이동시키는 제2접착 단계; 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 너비가 사각패턴의 나머지 변 길이를 갖도록 유지한 채, 접착부의 폭만큼 이동시키는 제3접착 단계를 통해 밀봉 접착되도록 한다.
또한, 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원을 완전히 차단시키는 이동단계를 더 포함하여 이웃하는 다른 접착부로 연속하여 이동할 수 있다.
이때, 상기 조사되는 레이저 광원의 너비는 사각패턴을 이루는 접착부의 어느 한쪽 변의 길이보다 큰 길이를 유지하도록 한다.
상기와 같은 수단들을 통한 본 발명은 패널 기판에 마련된 접착부(프릿)의 크기에 대응하여 가열수단인 레이저 광원의 조사영역의 유연성을 구현함으로서, 도포된 접착부(프릿)의 크기, 폭 변화 등은 물론 다양한 크기와 형상을 가지는 화소영역에 대한 실링작업을 수행할 수 있는 것이며, 아울러 하나의 화소영역에 대한 접착부(프릿)를 따라 1회의 직선구동을 통해 해당 화소영역에 대한 접착부(프릿)에 대한 실링완료는 물론 전체 패널 기판에 배열된 다수개의 접착부(프릿)에 대한 실링작업을 짧은 시간에 수행할 수 있어, 전체적으로 공정시간의 단축과 함께 작업효율을 향상시킬 수 있는 것이다.
또한, 종래와 같이 점(spot)형 광원을 이용하여, 패널 기판에 마련된 접착부(프릿)의 길이방향을 따라 추적형의 조사단계를 수행하는 것이 아닌, 가변성 너비를 갖는 선(line)형 광원을 이용함으로서, 접착부(프릿)의 패턴에 따른 굴곡, 코너부에서 레이저 광원이 중첩, 집중되는 현상을 방지하고 이러한 열응력 및 잔류응력으로부터 야기되는 균열, 크랙발생 등의 결함을 최소화하는 등 고품질의 패널 기 판을 제공할 수 있는 효과가 있는 것이다.
또한, 굴곡과 코너부를 갖는 접착부(프릿)의 형상변화에 대응하여 광원의 출력량, 진행방향의 조절과 관련된 구동프로그램의 간소화를 이룰 수 있는 효과가 있는 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 실링방법의 개념도를, 도 4는 본 발명에 의한 레이저 조사장치의 광학계로부터 출력되는 광원의 다양한 조사형태를 보이는 것으로, 도 3 및 도 4를 참조하면,
우선 본 발명에 적용되는 평판 디스플레이 패널은, 발광소자가 형성된 하나 이상의 화소영역(A)과 이 화소영역(A)의 외연에 형성되는 비화소영역(B)을 포함하는 제1 및 2기판(1)(2)과, 상기 화소영역(A)을 보호하게 상기 제1,2기판(1)(2)들 중 어느 하나의 비화소영역(B) 상에 접착제(P)가 도포된 상태를 이룬다.
이러한 제1 및 2기판(1)(2)들은, 실링작업을 위한 스테이지(미 도시)상에서 정렬된 상태를 이루게 된다.
이때 레이저 조사장치(10)는 기판(1)(2)들은 도시된 바와 같이 기판들의 상부, 혹은 도시되진 않았으나 스테이지의 하부에 배치될 수 있다.
또한, 본 발명에 적용되는 레이저 조사장치(10)는 레이저 발생기(11), 광학계(12) 및 마스크(20)를 포함하는 일체형으로 구성될 수 있다.
레이저 조사장치(10)는, 기판(1)(2)들의 X-Y방향으로의 이동수단(미 도시)이 구성된다.
이러한 레이저 조사장치(10)는, 이동수단을 통해, 레이저 발생기(11) 및 마스크(20)를 포함한 광학계(12)가 기판(1)(2)들의 X-Y방향으로 일체로 이동할 수 있 으며, 마스크(20)를 포함한 광학계(12)만이 X-Y방향으로 이동될 수 있다. 이러한 레이저 조사장치(10)의 X-Y방향 이동수단은, 예컨대 광학스테이지를 이용하여 전체 조사장치의 이동을 구현한다거나 혹은 다수의 반사거울, 투영거울을 이용한 광학계 내에서의 이동으로부터 구현될 수 있으며, 관련한 레이저 광원의 이동기술에 관한 공지 공용된 상세설명은 생략한다.
계속해서, 본 발명에 적용되는 레이저 발생기(11)는, 그 출력헤드(11a)를 통해 일정한 폭(d)과 너비(ℓ)를 가지는 선(line)형의 광원(L)을 출력시킨다.
광학계(12)는 이러한 선형 광원(L)의 방향을 전환시키며, 기판(1)(2)들을 향해 광원(L)을 출력시킨다. 이때 본 발명에 적용되는 마스크(20)는 광학계(12)의 출력단에 설치되어, 광학계(12)로부터 출력되는 광원의 너비(ℓ)를 조절하거나 다수개의 광원으로 분할시켜 기판(1)(2)에 마련된 접착부(P)의 패턴과 동일한 조사영역을 구현하게 된다.
아울러, 본 발명에 적용되는 일정 폭(w)과 너비(ℓ)를 가지는 광원(l)은, 광학계(12)내에 포함되어 구성되는 균질기(미 도시)를 통해 구현된다.
이러한 균질기는 원통형 렌즈들의 집합체로 구성되는데, 도 8b에 도시된 바와 같이, 균질기의 기능은 레이저 발생기(11)에 의해 출력된 레이저 광원을 수직방향으로 평행한 광원들로 전환하여 수직방향에 있어서의 광학적 보정을 행하는 기능을 가진다. 이 수직방향에 있어서의 광학적 보정은, 최종적으로 레이저 광원의 폭(w)방향에 있어서의 에너지밀도를 균일화하는데 기여한다. 또한 균질기는 레이저 광원을 수평방향으로 전환하여 수평방향에 있어서의 광학적 보정을 행하는 기능을 가진다. 이 수평방향에 있어서의 광학적 보정은, 최종적으로 레이저 광원의 너비(ℓ)방향에 있어서의 에너지밀도를 균일화하는데 기여하게 된다.
상기와 같은 레이저 발생기(11) 및 광학계(12)의 공지된 상세한 설명은 생략하기로 한다.
계속해서, 마스크(20)는 레이저 조사장치(10)에 포함되어 구성되는 것으로, 광학계(12)와 연동하여 기판(1)(2)과 나란한 X-Y방향으로 연동하여 이동하게 된다.
또한, 이러한 마스크(20)는, 종래의 정해진 형상으로 패터닝(patterning)된 투과부를 갖는 고정식 마스크가 아닌 다양한 접착부(P)의 패턴에 대응하여 가변될 수 있는 가변형 마스크(20)의 구성을 이루도록 한다.
이러한 가변형 마스크(20)는, 광학계(12)의 출력단에 설치되어 광학계(12) 혹은 조사장치(10)의 X-Y구동과 연동 이동하는 것과 동시 이와 함께 상대 운동좌표 X'-Y'내에서 구속되는 다수개의 가동블록을 구비하게 된다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 이러한 상대좌표 X'-Y'방향에 대한 가동블록들의 이동을 통해, 일정 폭(d)과 너비(ℓ)로 조사되는 광원(L)의 너비(ℓ)의 크기를 조절하거나 혹은 다수개의 광원으로 분할하도록 한다. 즉, 도 4d에서와 같이, 초기 레이저 발생기(11)로부터 출력된 일정 폭(d)과 너비(ℓ)를 갖는 광원을 기판을 향해 전체 조사(a)되거나, 전체 차단(a)되거나, 부분 차단(c)(d)되거나, 2개, 3개소의 조사영역으로 분할(e)(f)하게 된다.
즉, 기판(1)(2)들과 나란한 레이저 조사장치(10)의 이동좌표(X-Y)에 대한 이 동과 연동하여 상대좌표(X'-Y')를 갖는 마스크(20)의 가동블록(21)(22)들의 연동된 이동을 이용하여, 레이저 발생기(11)로부터 출력되는 광원(L)의 너비(ℓ)를 조절하거나 분할시켜, 실질적으로 가동블록(21)(22)들의 사이공간을 지나며 형성되는 새로운 너비를 갖는 광원을 레이저 조사장치(10)로부터 출력시키게 된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 가변형 마스크(20)를 지나며 새로이 조절된 너비를 갖는 레이저 광원은 이동 중 대향하는 접착부(P)의 패턴과 동일한 조사영역을 구현하게 되는 것이다.
일반적인 사각영역을 갖는 화소영역에 대응하여 그 둘레에 소정의 폭(t)을 가지며 사각(x-y)패턴으로 프릿(접착부)이 도포된 상태를 이루는 하나의 화소영역에 대한 실링작업을 설명하면 다음과 같다.
먼저 도 6에 도시된 바와 같이, 레이저 발생기로부터 생성된 광원(L)은 출력헤드를 지나며 일정 폭(d)과 너비(ℓ)를 가지는 선(line)형 타입을 생성시키되, 이때 광원의 너비(ℓ)는 사각(x-y)패턴을 이루는 접착부(P)의 어느 한쪽 길이보다 큰 길이를 유지하도록 한다.
아울러, 광학계의 출력단에 설치되는 가변형 마스크(20)에 구비되는 다수개의 가동블록(23)(24)(25)(26)들은, 레이저 조사장치의 X-Y축 방향으로의 구동과 연동하는 동시 이 X-Y축에 대한 상대적인 별도의 X'-Y'방향의 구동수단을 구비하게 된다.
이러한 레이저 광원의 이동좌표계(X-Y)상에서 연동하는 상대좌표계(X'-Y')에 의한 다수개의 가동블록들을 이용하여, 일정 폭(d)과 너비(ℓ)를 갖는 선(line)형 광원(L)의 너비(ℓ)를 가변시키거나 분할시키게 된다.
이와 관련하여 본 발명의 실시예로 적용된 사각(x-y)패턴의 이동을 위해서는 아래 설명에서와 같이 필요로 하는 조사영역의 대응하여 3가지 패턴의 가변 투과부를 생성하기 위한 작업단계를 필요로 하게 될 것이다.
즉, 초기 이러한 레이저 조사장치(10)는 초기 X-Y방향 구동을 이용하여 단위 셀의 한쪽 시점에 위치시킨다.
이때 가변형 마스크(20)의 가동블록(23)(26)들은, 광원(L)의 진행방향에 수직한 방향 즉, X'축 이동하며 사각(x-y)패턴의 한쪽 변(x) 길이를 유지시키게 된다.
이후, 레이저 조사장치(10)는 레이저 광원(L)의 조사와 함께 접착부(P)의 폭(t)만큼 Y축 이동하며 접착을 수행하게 된다. (도 7a, b 참조)
이때, 또 다른 가동블록(24)(25)들은 X'-Y'축 이동하여, 접착부(P)의 안쪽 화소영역에 미리 배치시킨다. 도시된 실시예에서는 두개의 가동블록(24)(25)을 이용하여 접착부(P)의 안쪽 화소영역에 대한 광원(L)의 조사를 차단하도록 하고 있으나, 크기를 달리하는 하나 혹은 그 이상의 가동블록들을 이용하여 차단시킬 수 있다.
이후, 레이저 조사장치(10)의 계속적인 Y축 이동과 연동하여 한 쌍의 가동블록(23)(24)과 다른 한 쌍의 가동블록(25)(26)을 통해 사각(x-y)패턴의 양쪽 변의 폭(t)에 해당하는 2개의 분할된 조사영역을 구현하게 된다.
이렇게 2개의 분할된 조사영역을 이용하여 접착부(P)의 양쪽 변(y)의 길이만큼 레이저 조사장치(10)를 Y축 이동하여 접착을 수행하게 된다. (도 7c 내지 e 참조)
이후, 접착부(P)의 안쪽 화소영역에 배치된 두개의 가동블록(24)(25)은 Y'축 구동이 정지되고, 연속하여 레이저 조사장치(10)는 접착부(P)의 폭(t)만큼 Y축 이동하여 접착을 마무리 하게 된다. ( 도 7f, g 참조)
이후, 도시되진 않았으나, 이상과 같은 하나의 단위 셀에 대한 일련의 조사 작업을 종료하고 종점에 레이저 조사장치(10)가 도착하면, 가변형 마스크(20)의 가동블록들은 X'-Y'축 이동을 통해 레이저 광원(L)을 모두 차단시키게 되며 이후, 이웃하는 다른 단위 셀의 시점으로 이동하게 되며, 상기와 같은 일련의 단위 셀에 대한 반복된 조사 작업을 수행하게 되는 것이다.
이상과 같이, 레이저 조사장치(10)는 패널 기판에 대해 X-Y축 방향으로 연속하여 이동하는 동시 이와 연동하여 상대좌표 X'-Y'축 이동하는 가변형 마스크(20)의 가동블록들을 통해 하나의 단위 셀 혹은 X-Y축 방향으로 배열된 다수개의 단위 셀에 대한 연속적인 조사 작업을 수행하게 된다.
이러한 하나의 단위 셀에 대한 X축 혹은 Y축 방향의 대한 레이저 조사장치의 1회 직선구동을 통해 하나 혹은 다수개의 화소영역에 대한 접착공정의 시간을 현저히 단축시킬 수 있다.
아울러, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 조사되는 레이저 광원의 너비 (ℓ)가 이와 나란하게 위치하는 접착부(P)의 어느 한 쪽 변(x, x')의 길이보다 큰 길이를 유지하는 경우, 그 길이 성분을 따라 균일한 온도패턴을 유지하게 되는 바, 이러한 균일한 온도분포 영역 내에 항상 접착부(P)가 위치하게 됨으로 인해 접착부(P)의 폭(t)방향에 대한 온도편차를 줄일 수 있다.
또한, 조사되는 레이저 광원의 X축 혹은 Y축 방향의 이동함에 따라 접착부(P)에 대한 조사 작업의 시점, 종점 및 코너부를 배제할 수 있어, 광원의 이동속도, 중첩에 따른 가열 열원이 국부 위치에 편중되는 현상을 방지할 수 있다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
도 1은 종래의 레이저 조사방법을 보이는 개념도
도 2a 및 도 2b는 종래 레이저 조사방법에 의한 접착부의 온도편차를 보이는 예시도
도 3은 본 발명에 따른 실링작업의 개념도
도 4는 본 발명의 레이저 조사방법에 따른 다양한 조사영역을 보이는 예시도
도 5는 본 발명에 의한 접착부의 형상에 대응하는 가변형의 레이저 조사영역을 보이는 작업예시도
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 사각(x-y)패턴의 접착부에 대한 실링작업을 위한 평면도
도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 일 실시예에 의한 실링작업의 단계를 보이는 평면 예시도
도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 레이저 조사방법에 의한 접착부의 온도편차를 보이는 예시도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
(1)(2) : 기판
(10) : 레이저 조사장치
(11) : 레이저 발생기
(12) : 광학계
(20) : 가변형 마스크
(21)(22)(23)(24)(25)(26) : 가동블록
(A) : 화소영역
(B) : 비화소영역
(P) : 접착부(프릿)
(L) : 레이저 광원
(d) : (광원) 폭
(ℓ) : (광원) 너비
(t) : (접착부) 폭

Claims (5)

  1. 발광소자가 형성된 화소영역과 이 화소영역의 외연에 형성되는 비화소영역을 포함하는 제1 및 2기판과, 상기 화소영역을 보호하게 제1 및 2기판의 비화소영역 상에 접착제를 용융시켜 밀봉 접착시키는 평판 디스플레이 패널의 실링방법에 있어서,
    일정한 폭(d)과 너비(ℓ)의 조사영역에 대해 균일한 에너지 분포를 가지는 레이저 발생기와, 다수개의 가동블록들을 구비하는 가변형 마스크를 포함한 광학계를 구비하는 레이저 조사장치를 접착부(P)의 한쪽 시점에 위치시킨 후, 접착부(P)의 반대쪽 종점을 향해 레이저 광원을 직선 이동시키며 조사하되;
    레이저 광원의 이동과 함께 접착부(P)의 패턴과 대응하도록 다수개의 가동블록들을 연동하여 상대 이동시켜, 레이저 광원의 너비(ℓ)를 조절하거나 분할시키며, 연속적인 접착을 수행하도록 한 것을 특징으로 하는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 화소영역은 사각영역이 구비되고, 이에 대응하는 접착부(P)는 소정의 폭(t)을 갖는 사각(x-y)패턴이 구비된 것을 특징으로 하는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 접착부(P)는, 가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 너비(ℓ)가 사각(x-y)패턴의 한쪽 변(x) 길이를 갖도록 유지한 채, 접착부(P)의 폭(t)만큼 이동시키는 제1접착 단계;
    가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 너비(ℓ)를 사각(x-y)패턴의 양쪽 변(y, y')의 폭(t)을 갖도록 유지한 채, 양쪽 변(y)의 길이만큼 이동시키는 제2접착 단계; 및
    가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원의 너비(ℓ)가 사각(x-y)패턴의 나머지 변(x') 길이를 갖도록 유지한 채, 접착부(P)의 폭(t)만큼 이동시키는 제3접착 단계;
    를 통해 밀봉 접착되는 것을 특징으로 하는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법.
  4. 제3항에 있어서,
    가변형 마스크의 다수개의 가동블록들을 작동시켜, 조사되는 레이저 광원을 완전히 차단시키는 이동단계;
    를 더 포함하여 이웃하는 다른 접착부로 연속하여 이동하도록 한 것을 특징으로 하는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 디스플레이 패널의 실링방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 조사되는 레이저 광원의 너비(ℓ)는 사각(x-y)패턴을 이루는 접착부(P)의 어느 한쪽 변의 길이보다 큰 길이를 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의 실링방법.
KR1020070132461A 2007-12-17 2007-12-17 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법 Expired - Fee Related KR100910047B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070132461A KR100910047B1 (ko) 2007-12-17 2007-12-17 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070132461A KR100910047B1 (ko) 2007-12-17 2007-12-17 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090065038A true KR20090065038A (ko) 2009-06-22
KR100910047B1 KR100910047B1 (ko) 2009-07-30

Family

ID=40993502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070132461A Expired - Fee Related KR100910047B1 (ko) 2007-12-17 2007-12-17 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100910047B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9201245B2 (en) 2012-12-21 2015-12-01 Samsung Display Co., Ltd. Optical system and substrate sealing method
US9263709B2 (en) 2013-09-17 2016-02-16 Samsung Display Co., Ltd. Flexible display apparatus and manufacturing method thereof
US9287078B2 (en) 2014-08-01 2016-03-15 Samsung Display Co., Ltd. Display sealing apparatus and method of manufacturing display apparatus by using the same
CN106058078A (zh) * 2016-06-27 2016-10-26 昆山国显光电有限公司 基板激光封装方法
US9707744B2 (en) 2014-05-08 2017-07-18 Samsung Display Co., Ltd. Lamination apparatus
CN112018269A (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 上海微电子装备(集团)股份有限公司 激光封装方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100477146B1 (ko) * 1999-09-28 2005-03-17 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 레이저천공 가공방법 및 가공장치
KR100776472B1 (ko) * 2006-02-20 2007-11-16 삼성에스디아이 주식회사 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계 발광표시장치의제조방법

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9201245B2 (en) 2012-12-21 2015-12-01 Samsung Display Co., Ltd. Optical system and substrate sealing method
US9263709B2 (en) 2013-09-17 2016-02-16 Samsung Display Co., Ltd. Flexible display apparatus and manufacturing method thereof
US9707744B2 (en) 2014-05-08 2017-07-18 Samsung Display Co., Ltd. Lamination apparatus
US9287078B2 (en) 2014-08-01 2016-03-15 Samsung Display Co., Ltd. Display sealing apparatus and method of manufacturing display apparatus by using the same
CN106058078A (zh) * 2016-06-27 2016-10-26 昆山国显光电有限公司 基板激光封装方法
CN112018269A (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 上海微电子装备(集团)股份有限公司 激光封装方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100910047B1 (ko) 2009-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101117732B1 (ko) 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
JP6378760B2 (ja) ガラス封止構造体と封止方法
KR100910047B1 (ko) 유연성 레이저 조사영역을 이용한 평판 디스플레이 패널의실링방법
KR101722026B1 (ko) 평판 표시 패널, 평판 표시 패널용 원장기판, 및 평판 표시 패널 제조 방법
EP2353768B1 (en) Laser beam irradiation apparatus for substrate sealing, substrate sealing method, and method of manufacturing organic light emitting display device using the same
JP4809368B2 (ja) ガラスパッケージをフリット封止するためのシステムおよび方法
CN101867022B (zh) 密封设备和方法、光照射设备和制造平板显示装置的方法
EP2745974B1 (en) Laser beam irradiation apparatus and substrate sealing method
KR101759347B1 (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
JP6584748B2 (ja) 密封装置及び基板密封方法
WO2019082359A1 (ja) フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置
JP2009104841A (ja) 封止装置、封止方法、電子デバイス、および電子デバイスの製造方法
KR20070088682A (ko) 글래스 기판을 밀봉하기 위한 방법
JP2010037194A (ja) 平板表示装置の製造方法
KR20130018734A (ko) 전기 장치 및 그의 제조 방법
JP2007264525A (ja) 表示デバイスおよび表示デバイスの製造方法
TWI623120B (zh) Laser sealed glass package packaging system and packaging method
CN109434307A (zh) 一种柔性屏幕的激光切割方法和激光切割装置
JP5527877B2 (ja) 光照射装置及びそれを用いた有機電界発光表示装置の製造方法
TWI403377B (zh) 使用雷射密封寬玻璃膠的方法
JPWO2019215833A1 (ja) フレキシブル発光デバイスの製造方法および製造装置
JP4825448B2 (ja) 表示装置を製造する製造装置
KR20140118554A (ko) 광학계 및 기판 밀봉 방법
US10340481B2 (en) Manufacturing method of OLED display panel
JP4734023B2 (ja) 表示装置の製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20071217

PA0201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20090204

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20090423

PG1501 Laying open of application
GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20090723

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20090724

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120525

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20120525

Start annual number: 4

End annual number: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee