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KR20090058365A - LCD and its manufacturing method - Google Patents

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KR20090058365A
KR20090058365A KR1020070125110A KR20070125110A KR20090058365A KR 20090058365 A KR20090058365 A KR 20090058365A KR 1020070125110 A KR1020070125110 A KR 1020070125110A KR 20070125110 A KR20070125110 A KR 20070125110A KR 20090058365 A KR20090058365 A KR 20090058365A
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KR
South Korea
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color filter
filter layer
substrate
forming
color
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020070125110A
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Korean (ko)
Inventor
신세종
김봉철
양기섭
이태형
김학운
전홍명
강동우
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to KR1020070125110A priority Critical patent/KR20090058365A/en
Publication of KR20090058365A publication Critical patent/KR20090058365A/en
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Abstract

본 발명은 액정표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액정표시장치는 기판과, 상기 기판 상에 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차되는 영역에 배치된 박막 트랜지스터와, 상기 기판 상의 화소 영역에 형성된 제1, 제2 및 제3 컬러필터층과, 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터 영역과 상응하는 영역에 형성되는 컬러패턴을 포함한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same. The liquid crystal display device according to the present invention includes a substrate, gate wirings and data wirings arranged on the substrate to define a pixel region, and the gate wirings and data wirings. Thin film transistors disposed in the crossing regions, first, second and third color filter layers formed in the pixel regions on the substrate, and color patterns formed in regions corresponding to the gate wirings, data wirings and thin film transistor regions. Include.

Description

액정표시장치 및 그 제조방법{Liquid Crystal Display Device And Method For Fabricating The Same}Liquid crystal display device and method for manufacturing the same {Liquid Crystal Display Device And Method For Fabricating The Same}

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 공정의 단순화 및 비용절감을 꾀할 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same, which can simplify the process and reduce the cost.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시장치(LCD)가 각광을 받고 있다. Recently, with the development of various portable electronic devices such as mobile phones, PDAs, and notebook computers, there is a growing demand for flat panel display devices for light and thin applications. Such flat panel displays are being actively researched, such as LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), FED (Field Emission Display), VFD (Vacuum Fluorescent Display), but mass production technology, ease of driving means, Liquid crystal displays (LCDs) are in the spotlight for reasons of implementation.

일반적으로, 액정표시장치는 하부기판과 상부기판 및 그 사이에 형성된 액정층으로 이루어진다. 상기 하부기판은 박막트랜지스터(TFT: thin film transisor)와 같은 스위칭소자 및 화소전극이 형성되는 박막트랜지스터 기판이고, 상부기판은 칼라필터층 및 블랙매트릭스가 형성되는 칼라필터기판이다. 또한, 상기 하부기판의 측면에는 구동회로부가 구비되어 하부기판에 형성된 박막 트랜지스터와 화소전극 및 공통전극에 각각 신호를 인가한다. In general, a liquid crystal display device includes a lower substrate, an upper substrate, and a liquid crystal layer formed therebetween. The lower substrate is a thin film transistor substrate on which a switching element such as a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed, and the upper substrate is a color filter substrate on which a color filter layer and a black matrix are formed. In addition, a driving circuit is provided on the side of the lower substrate to apply a signal to the thin film transistor, the pixel electrode, and the common electrode formed on the lower substrate, respectively.

상기와 같이 구성된 액정표시장치는 상부기판과 하부기판 사이에 형성된 액정층이 상기 하부기판에 형성된 박막트랜지스터에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다. In the liquid crystal display device configured as described above, the liquid crystal layer formed between the upper substrate and the lower substrate displays the information by controlling the amount of light passing through the liquid crystal layer by driving the liquid crystal molecules by the thin film transistor formed on the lower substrate.

한편, 최근에는 상부기판과 하부기판의 합착마진에 의해 블랙매트릭스의 면적이 넓어짐에 따라 개구율이 저하되는 것을 방지하기 위해 칼라필터 및 블랙매트릭스를 하부기판에 형성하는 COT(color filter on 박막트랜지스터)구조가 제안되고 있다. On the other hand, in recent years, a color filter on thin film transistor (COT) structure in which a color filter and a black matrix are formed on the lower substrate to prevent the opening ratio from decreasing as the area of the black matrix increases due to the bonding margin between the upper substrate and the lower substrate. Is being proposed.

그러나, 박막 트랜지스터, 오버코트층, 화소전극, 블랙 매트릭스 및 컬러필터층등이 형성된 COT구조 액정표시장치의 하부기판 제작은 다수 번의 마스크 공정을 통해서만 진행되는 데, 각 패턴들을 형성하기 위해 진행되는 마스크공정은 사진 식각공정으로, 사진 식각공정은 패턴이 형성될 기판에 포토레지스트를 코팅하고, 마스크에 형성된 패턴을 포토레지스트 위에 노광 및 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하고, 이를 마스크로 원하는 물질층을 식각한 후 포토레지스트 패턴을 제거하는 일련의 복잡한 과정으로 이루어진다. However, fabrication of a lower substrate of a COT structure liquid crystal display device in which a thin film transistor, an overcoat layer, a pixel electrode, a black matrix, and a color filter layer are formed is performed only through a plurality of mask processes. The mask process is performed to form each pattern. In the photolithography process, a photolithography process is performed by coating a photoresist on a substrate on which a pattern is to be formed, exposing and developing the pattern formed on the mask on the photoresist to form a photoresist pattern, and etching the desired material layer using the mask. It consists of a series of complex processes of removing the photoresist pattern.

따라서, 마스크 공정수가 증가할수록 공정시간 및 공정비가 증가하여 생산성이 저하되는 문제점이 있다. Therefore, as the number of mask processes increases, the process time and the process cost increase, and thus there is a problem in that productivity decreases.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 마스크 공정의 횟수를 최소한으로 줄여 생산성을 높이고 공정 마진을 확보하기 위한 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.In order to solve the above problems, there is provided a liquid crystal display and a method of manufacturing the same to increase the productivity and to secure a process margin by reducing the number of times of the mask process to a minimum.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치는 기판과, 상기 기판 상에 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차되는 영역에 배치된 박막 트랜지스터와, 상기 기판 상의 화소 영역에 형성된 제1, 제2 및 제3 컬러필터층과, 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터 영역과 상응하는 영역에 형성되는 컬러패턴을 포함한다. According to an exemplary embodiment of the present invention, a liquid crystal display device includes a substrate, a gate wiring and a data wiring crossing the substrate to define a pixel region, and the gate wiring and a data wiring intersecting with each other. A thin film transistor disposed in a region, first, second and third color filter layers formed in a pixel region on the substrate, and a color pattern formed in a region corresponding to the gate wiring, data wiring, and thin film transistor region.

상기 컬러패턴은 상기 제1, 제2 및 제3 컬러필터층 중 어느 하나의 형성공정과 동시에 형성되고, 상기 컬러패턴 형성공정 및 상기 컬러패턴 형성공정과 동시에 수행되는 컬러필터층 형성공정은 사진공정을 통해 형성되고, 나머지 컬러필터층 형성공정보다 먼저 형성되고, 상기 나머지 컬러필터층 형성공정은 잉크젯 공정을 통해 형성된다. The color pattern is formed at the same time as the forming process of any one of the first, second and third color filter layers, and the color filter layer forming process is performed simultaneously with the color pattern forming process and the color pattern forming process through a photo process. It is formed, and formed before the remaining color filter layer forming process, the remaining color filter layer forming process is formed through the inkjet process.

상기 컬러패턴 및 상기 컬러패턴 형성공정과 동시에 수행되어 형성된 컬러필터층은 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질이 첨가된다. The color filter layer formed by being performed simultaneously with the color pattern and the color pattern forming process is added with a fluoroalkylsiloxane-based material.

상기 컬러패턴은 1.2~ 2.0㎛의 높이로 형성된다. The color pattern is formed to a height of 1.2 ~ 2.0㎛.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 기판 상에 게이트 배선과 데이터 배선이 교차되도록 형성하여 화소 영역을 정의하고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 게이트 배선, 데이터 배선 및 박막 트랜지스터가 형성된 기판 상에 보호막을 형성하는 단계와, 상기 보호막이 형성된 기판 상에 사진공정을 통해 제1 컬러필터층 및 컬러패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 컬러필터층 및 컬러패턴이 형성된 기판 상에 잉크젯 공정을 통해 제2 컬러필터층 및 제3 컬러필터층을 각각 형성하는 단계와, 상기 제2 컬러필터층 및 제3 컬러필터층이 형성된 기판 상에 오버코트층을 형성하는 단계와, 상기 오버코트층이 형성된 기판 상에 콘택홀을 형성한 후, 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, in which a gate line and a data line are intersected on a substrate to define a pixel area, and an intersection area of the gate line and the data line. The method may include forming a thin film transistor, forming a passivation layer on a substrate on which the gate line, data line, and the thin film transistor are formed, and forming a first color filter layer and a color pattern on the substrate on which the passivation layer is formed by a photo process. And forming a second color filter layer and a third color filter layer on the substrate on which the first color filter layer and the color pattern are formed, respectively, by an inkjet process, and on the substrate on which the second color filter layer and the third color filter layer are formed. Forming an overcoat layer on the substrate, and forming a contact hole on the substrate on which the overcoat layer is formed, Forming a small electrode.

상기 컬러패턴은 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터 영역과 상응하는 영역에 형성된다. The color pattern is formed in a region corresponding to the gate wiring, the data wiring, and the thin film transistor region.

상기 컬러패턴 및 제1 컬러필터층은 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질이 첨가된 컬러레진을 통해 형성한다. The color pattern and the first color filter layer are formed through a color resin to which a fluoroalkylsiloxane-based material is added.

본 발명에 따른 액정표시장치 및 그의 제조방법은 컬러 필터층 형성공정시 사진공정과 사진 공정보다 단순한 잉크젯 공정이 각각 사용됨으로써, COT 구조 액정표시장치의 하부기판 제작공정 단계를 단축할 수 있게 되는 효과가 있다. The liquid crystal display according to the present invention and the manufacturing method thereof have the effect of shortening the lower substrate manufacturing process step of the COT structure liquid crystal display by using the inkjet process rather than the photo process and the photo process in the color filter layer forming process, respectively. have.

또한, 본 발명에 따른 액정표시장치 및 그의 제조방법은 적색 컬러필터층(R) 형성공정시 격벽 역할을 수행하는 컬러패턴을 형성함으로써, 상기 녹색 컬러필터층(G) 및 청색 컬러필터층(B) 형성을 위한 잉크젯 공정시 각 컬러잉크가 이웃 단위화소영역으로 침범하는 것을 방지하게 되고, 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R) 을 형성하는 적색 컬러레진에 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질을 첨가함으로써, 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)의 표면이 소수성을 띄게 되어 잉크젯 공정시 수반되는 컬러잉크의 퍼짐을 방지하게 되어 원하는 영역에 정확히 컬러필터층을 형성할 수 있게 되는 효과가 있다. In addition, the liquid crystal display according to the present invention and a method of manufacturing the same by forming a color pattern that serves as a partition wall during the red color filter layer (R) forming process, thereby forming the green color filter layer (G) and blue color filter layer (B). In the inkjet process, each color ink is prevented from invading into neighboring unit pixel areas, and a fluoroalkylsiloxane-based material is added to the red color resin forming the color pattern 111 and the red color filter layer R. As a result, the surfaces of the color pattern 111 and the red color filter layer R may be hydrophobic to prevent spreading of the color ink accompanying the inkjet process, thereby accurately forming the color filter layer in a desired area.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 COT구조의 액정표시장치를 도시한 평면도이고, 도 1b는 도 1의 A-A'선상의 단면도이다. 1A and 1B are plan views illustrating a liquid crystal display device having a COT structure according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1.

도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, COT구조를 갖는 액정표시장치는 제1 기판(130)과 제2 기판(100) 및 그 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 이루어진다. As shown in FIGS. 1A and 1B, a liquid crystal display having a COT structure includes a first substrate 130, a second substrate 100, and a liquid crystal layer (not shown) formed therebetween.

상기 제1 기판(130)은 공통전극(131) 및 칼럼 스페이서(135)가 형성되고, 제2 기판(100)은 박막트랜지스터(TFT: thin film transisor)와 같은 스위칭소자, 화소전극이 형성되는 박막트랜지스터 기판 및 컬러필터층이 형성된다. The first substrate 130 includes a common electrode 131 and a column spacer 135, and the second substrate 100 includes a switching element such as a thin film transistor (TFT) and a thin film on which a pixel electrode is formed. The transistor substrate and the color filter layer are formed.

이때, 본 발명의 제1 기판(130)에는 공통전극(131)이 형성되지만, 제2 기판(100) 또는 제1 기판(130) 중 어느 한 기판에 공통전극이 형성될 수 있다. In this case, although the common electrode 131 is formed on the first substrate 130 of the present invention, the common electrode may be formed on any one of the second substrate 100 and the first substrate 130.

먼저, 제1 기판(100) 상에 게이트 전극(101)이 형성되고, 게이트 전극(101)상에는 게이트 절연막(103)이 형성되고, 게이트 절연막(103) 상부의 게이트 전극(101)과 상응하는 위치에 액티브층(105), 오믹콘택층(106)이 순차적으로 적층되고, 오믹 콘택층(106)상에는 일정 간격 이격된 소스 및 드레인 전극(107a, 107b)이 형성되고, 소스 및 드레인 전극(107a, 107b)간의 이격구간에는 채널영역이 형성된다. 이로써, 상기 게이트 전극(101), 액티브층(105), 오믹콘택층(106), 소스 및 드레인 전극(107a, 107b) 및 채널영역은 박막트랜지스터를 형성한다. 그리고, 상기 게이트 전극(101)과 연결되어 제1 방향으로 게이트 배선(110)이 형성되고, 상기 제1 방향과 교차되는 제2 방향으로 상기 소스 전극(107a)과 연결되는 데이터 배선(108)이 형성되고, 이 게이트 배선(110) 및 데이터 배선(108)이 교차되는 영역에는 박막 트랜지스터가 배치되고, 게이트 배선(110) 및 데이터 배선(108)이 교차하여 화소 영역을 정의한다. 상기 박막트랜지스터 상부에는 보호막(109)이 형성되고, 상기 단위화소영역 상에 녹색(G), 적색(R), 청색(B) 컬러필터층이 형성되고, 각 칼라필터층 전면에 오버코트층(115)가 형성되고, 오버코트층(115), 칼라필터층 및 보호막(109)을 관통하는 드레인 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극(107b)와 연결되는 화소전극(18)이 형성된다. First, a gate electrode 101 is formed on the first substrate 100, a gate insulating film 103 is formed on the gate electrode 101, and a position corresponding to the gate electrode 101 on the gate insulating film 103. The active layer 105 and the ohmic contact layer 106 are sequentially stacked on the source layer, and the source and drain electrodes 107a and 107b spaced at regular intervals are formed on the ohmic contact layer 106, and the source and drain electrodes 107a, A channel region is formed in the separation section between 107b). As a result, the gate electrode 101, the active layer 105, the ohmic contact layer 106, the source and drain electrodes 107a and 107b and the channel region form a thin film transistor. In addition, the gate line 110 is connected to the gate electrode 101 in the first direction, and the data line 108 is connected to the source electrode 107a in the second direction crossing the first direction. The thin film transistor is formed in an area where the gate line 110 and the data line 108 cross each other, and the gate line 110 and the data line 108 cross each other to define a pixel area. A passivation layer 109 is formed on the thin film transistor, and green (G), red (R), and blue (B) color filter layers are formed on the unit pixel region, and an overcoat layer 115 is formed on each color filter layer. A pixel electrode 18 is formed and connected to the drain electrode 107b through a drain contact hole penetrating through the overcoat layer 115, the color filter layer, and the passivation layer 109.

그리고, 각 녹색(G), 적색(R), 청색(B) 컬러필터층에 상응하는 높이로 형성되고, 보호막(109) 상의 화소영역의 경계영역 즉, 게이트 배선(110), 데이터 배선(108), 박막 트랜지스터 영역과 상응하는 영역에 칼라패턴(111)이 형성된다. 상기 칼라패턴은 적색(R) 컬러필터층으로 형성되어 있지만, 어떤 컬러필터층을 형성하여도 무방하다. Each of the green (G), red (R), and blue (B) color filter layers is formed to have a height corresponding to each of the boundary regions of the pixel region on the passivation layer 109, that is, the gate wiring 110 and the data wiring 108. The color pattern 111 is formed in a region corresponding to the thin film transistor region. The color pattern is formed of a red (R) color filter layer, but may be any color filter layer.

상기 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)은 적색 컬러레진을 도포한 후 마스크를 이용한 사진공정을 통해 형성되고, 나머지 녹색 컬러필터층(G) 및 청색 컬러필터층(B)은 컬러잉크를 분사하는 잉크젯 공정을 통해 형성된다. 이와 같이, 상 기 컬러 필터층 형성공정시 사진공정과 사진 공정보다 단순한 잉크젯 공정이 각각 사용됨으로써, COT 구조 액정표시장치의 하부기판 제작공정 단계를 단축할 수 있게 된다. 다시 말해, 사진공정은 포토레지스트 증착단계, 소프트 베이킹 단계, 마스크를 이용한 노광 및 현상단계 및 하드 베이킹 단계로 수행되고, 잉크젯 공정은 잉크 분사단계 및 소프트 베이킹 및 하드 베이킹 단계등으로 수행되므로, 잉크젯 공정은 사진공정보다 단순한 단계로 수행된다. The color pattern 111 and the red color filter layer R are formed through a photo process using a mask after applying a red color resin, and the remaining green color filter layer G and the blue color filter layer B spray color ink. It is formed through an inkjet process. In this way, the ink filter process is used in the color filter layer forming process than the photo process and the photo process, respectively, it is possible to shorten the lower substrate manufacturing process step of the COT structure liquid crystal display device. In other words, the photolithography process is performed by a photoresist deposition step, a soft baking step, an exposure and development step using a mask, and a hard baking step, and the inkjet process is performed by an ink jet step, a soft baking and a hard baking step, and an inkjet process. Is performed in a simpler step than the photographic process.

또한, 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)의 형성으로 인해, 상기 녹색 컬러필터층(G) 및 청색 컬러필터층(B) 형성을 위한 잉크젯 공정시 각 컬러잉크가 이웃 단위화소영역으로 침범하는 것을 방지하는 격벽 역할을 수행하게 되고, 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)을 형성하는 적색 컬러레진에 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질이 첨가되어 있어, 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)의 표면이 소수성을 띄게 됨으로써, 잉크젯 공정시 수반되는 컬러잉크의 퍼짐을 방지하게 되어 원하는 영역에 정확히 컬러필터층을 형성할 수 있게 된다. In addition, due to the formation of the color pattern 111 and the red color filter layer R, each color ink may invade neighboring unit pixel areas during the inkjet process for forming the green color filter layer G and the blue color filter layer B. It serves as a barrier to prevent the barrier material, and a fluoroalkylsiloxane series material is added to the red color resin forming the color pattern 111 and the red color filter layer R, and thus the color pattern 111 and the red color. Since the surface of the color filter layer R becomes hydrophobic, it is possible to prevent spreading of the color ink accompanying the inkjet process, thereby forming the color filter layer accurately in a desired area.

이와 같이 컬러필터층 형성공정시 사진공정과 잉크젯 공정이 사용되는 본 발명에 따른 COT구조 액정표시장치의 제조방법을 도면을 참조하여 설명하고자 한다. As described above, a method of manufacturing a COT structure liquid crystal display device according to the present invention, in which a photo process and an ink jet process are used in the color filter layer forming process, will be described with reference to the drawings.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 COT구조를 갖는 액정표시장치의 제조방법을 도시한 공정 순서도로써, 도 1의 A-A' 선상의 단면도이다. 2A to 2E are cross-sectional views taken along line AA ′ of FIG. 1, illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device having a COT structure according to the present invention.

도 2a에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에 게이트 라인(도 1의 110), 게이트 전극(101)이 형성된다. 게이트 라인(도 1의 110) 및 게이트 전극(101)은 절연 기판(100) 상에 게이트 도전물질을 형성한 후, 제1 마스크를 이용한 사진 식각공정으로 패터닝함으로써 형성된다. As shown in FIG. 2A, a gate line (110 of FIG. 1) and a gate electrode 101 are formed on the substrate 100. The gate line 110 and the gate electrode 101 are formed by forming a gate conductive material on the insulating substrate 100 and patterning the same by a photolithography process using a first mask.

이어, 상기 게이트 전극(101), 게이트 라인(도 1의 102)이 형성된 기판 (100) 전면에 게이트 절연막(103)을 형성한다. Subsequently, a gate insulating layer 103 is formed on the entire surface of the substrate 100 on which the gate electrode 101 and the gate line 102 of FIG. 1 are formed.

그리고, 게이트 절연막(103)이 형성된 기판(100) 상에 채널층(105) 및 오믹 콘택층(106)이 형성된다. 상기 채널층(105) 및 오믹콘택층(106)은 게이트 절연막(103)이 형성된 기판(100)상에 순수 비정질 실리콘막과 도핑된 비정질 실리콘막을 차례대로 형성한 후, 제2 마스크를 이용한 사진 식각공정으로 패터닝함으로써 형성된다. The channel layer 105 and the ohmic contact layer 106 are formed on the substrate 100 on which the gate insulating layer 103 is formed. The channel layer 105 and the ohmic contact layer 106 form a pure amorphous silicon film and a doped amorphous silicon film in order on the substrate 100 on which the gate insulating layer 103 is formed, and then photoetch using a second mask. It is formed by patterning in the process.

다음으로, 상기 채널층(105) 상부에 소스/드레인 전극(107a, 107b), 데이터 라인(도 1의 108)이 형성된다. 상기 소스/드레인 전극(107a, 107b), 데이터 라인(도 1의 108)은 채널층(105)과 오믹 콘택층(106)이 형성된 기판(100) 상에 데이터 도전물질을 형성한 후, 제3 마스크를 이용한 사진 식각공정으로 패터닝함으로써 형성된다. Next, source / drain electrodes 107a and 107b and a data line 108 of FIG. 1 are formed on the channel layer 105. The source / drain electrodes 107a and 107b and the data line 108 in FIG. 1 form a data conductive material on the substrate 100 on which the channel layer 105 and the ohmic contact layer 106 are formed. It is formed by patterning with a photolithography process using a mask.

이로써, 상기 게이트라인(도 1의 110) 및 데이터라인(도 1의 108)의 형성으로 인해, 단위 화소 영역이 정의되고, 게이트 전극(101), 채널층(105), 오믹 콘택층(106) 및 소스/드레인 전극(107a, 107b)이 형성된 박막 트랜지스터가 형성된다.Thus, due to the formation of the gate line 110 (in FIG. 1) and the data line (108 in FIG. 1), a unit pixel area is defined, and the gate electrode 101, the channel layer 105, and the ohmic contact layer 106 are formed. And a thin film transistor having source / drain electrodes 107a and 107b formed thereon.

한편, 상기 채널층(105) 및 오믹 콘택층(106)을 형성하는 제2 마스크 공정과 소스/드레인 전극(107a, 107b)을 형성하는 제3 마스크 공정은 회절 노광마스크를 사용하여 통합할 수도 있다. Meanwhile, the second mask process for forming the channel layer 105 and the ohmic contact layer 106 and the third mask process for forming the source / drain electrodes 107a and 107b may be integrated using a diffraction exposure mask. .

다음으로, 상기 소스/드레인 전극(107a, 107b), 데이터 라인(도 1의 108)이 형성된 기판(100)상에 보호막(109)이 형성된다. Next, a passivation layer 109 is formed on the substrate 100 on which the source / drain electrodes 107a and 107b and the data line (108 of FIG. 1) are formed.

도 2b에 도시된 바와 같이, 보호막(109)이 형성된 기판(100) 상에 사진공정을 통해 적색 컬러 필터층(R) 및 컬러패턴(111)이 형성된다. 이때, 적색 컬러필터층(R)은 적색용 단위화소영역에 형성되고, 컬러패턴(111)은 박막 트랜지스터 영역, 게이트 배선(110), 데이터 배선(108) 상에 형성된다. 상기 적색 컬러필터층(R) 및 컬러패턴(111)은 기판 전면에 적색 컬러레진을 도포한 후 제4 마스크를 이용한 사진공정을 통해 형성된다. 한편, 상기 적색 컬러레진에는 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질이 첨가되는 데, 이 물질로 인해 적색 컬러필터층(R) 및 컬러패턴(111)은 표면이 소수성을 갖게 된다. As shown in FIG. 2B, the red color filter layer R and the color pattern 111 are formed on the substrate 100 on which the passivation layer 109 is formed through a photo process. In this case, the red color filter layer R is formed in the red unit pixel region, and the color pattern 111 is formed on the thin film transistor region, the gate wiring 110, and the data wiring 108. The red color filter layer R and the color pattern 111 are formed through a photo process using a fourth mask after applying a red color resin to the entire surface of the substrate. Meanwhile, a fluoroalkylsiloxane-based material is added to the red color resin, and the red color filter layer R and the color pattern 111 have hydrophobic surfaces.

이때, 적색 컬러필터층(R)은 본 발명의 실시예와 같이 이웃한 게이트 라인(108) 및 데이터 라인(110) 상에 형성되는 컬러패턴(111)과 서로 연결되어 형성될 수도 있고, 이웃한 게이트 라인(108) 및 데이터 라인(110) 상에 형성되는 컬러패턴(111)과 서로 분리되어 형성될 수도 있다. In this case, the red color filter layer R may be formed by being connected to each other with the color pattern 111 formed on the neighboring gate line 108 and the data line 110, as in the embodiment of the present invention. The color pattern 111 formed on the line 108 and the data line 110 may be separated from each other.

또한, 상기 컬러패턴(111)은 1.2~ 2.0㎛ 정도의 높이로 형성된다. In addition, the color pattern 111 is formed to a height of about 1.2 ~ 2.0㎛.

도 2c에 도시된 바와 같이, 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)이 형성된 기판(100)상에 컬러잉크를 분사하는 잉크젯 공정을 통해 녹색 컬러필터층(G) 및 청색 컬러필터층(B)이 형성된다. As shown in FIG. 2C, the green color filter layer G and the blue color filter layer B are formed through an inkjet process of spraying color ink onto the substrate 100 on which the color pattern 111 and the red color filter layer R are formed. Is formed.

상기 녹색 컬러필터층(G)은 제1 분사노즐(113a)을 통해 녹색 컬러잉크를 녹색용 단위화소영역에 분사하여 형성되고, 상기 청색 컬러필터층(B)은 제2 분사노 즐(113b)를 통해 청색 컬러잉크를 청색용 단위화소영역에 분사하여 형성된다. The green color filter layer G is formed by spraying the green color ink into the green unit pixel region through the first spray nozzle 113a, and the blue color filter layer B is formed through the second spray nozzle 113b. The blue color ink is formed by spraying the blue unit pixel region.

여기서 상기 녹색 컬러잉크 및 청색 컬러잉크가 각 단위화소영역에 분사될 때, 상기 표면이 소수특성을 갖는 컬러패턴(111) 및 적색 컬러필터층(R)으로 인해, 녹색 컬러잉크 및 청색 컬러잉크가 이웃 단위화소영역으로 침범하는 것을 방지하게 된다. Here, when the green color ink and the blue color ink are sprayed on each unit pixel area, the green color ink and the blue color ink are adjacent to each other due to the color pattern 111 and the red color filter layer R having a hydrophobic characteristic. Invasion to the unit pixel area is prevented.

도 2d에 도시된 바와 같이, 녹색 컬러필터층(G) 및 청색 컬러필터층(B)이 형성된 기판(100)상에 오버 코트층(115)이 형성된다. As shown in FIG. 2D, an overcoat layer 115 is formed on the substrate 100 on which the green color filter layer G and the blue color filter layer B are formed.

도 2e에 도시된 바와 같이, 오버코트층(115)가 형성된 기판(100)상에 박막 트랜지스터의 드레인 전극(107b)과 접촉하는 화소전극(117)이 형성됨으로써, 본 공정을 완료한다. 상기 화소전극(117)은 상기 오버코트층(115)가 형성된 기판(100)을 제5 마스크를 이용한 사진 식각공정을 통해 오버코트층(115), 컬러필터층, 보호막(109)을 패터닝하여 드레인전극(107b)을 노출하는 드레인 콘택홀을 형성한 후, 드레인 콘택홀이 형성된 기판(100) 전면에 투명 도전막을 형성하고, 제6 마스크를 이용한 사진 식각공정으로 패터닝함으로써 형성된다. As shown in FIG. 2E, the pixel electrode 117 in contact with the drain electrode 107b of the thin film transistor is formed on the substrate 100 on which the overcoat layer 115 is formed, thereby completing this process. The pixel electrode 117 patterns the overcoat layer 115, the color filter layer, and the protective layer 109 by using a photolithography process using a fifth mask on the substrate 100 on which the overcoat layer 115 is formed. After forming the drain contact hole exposing the drain contact hole, a transparent conductive film is formed on the entire surface of the substrate 100 where the drain contact hole is formed, and patterned by a photolithography process using a sixth mask.

한편, 본 발명을 구현하는 상기 실시예에서는 적색 컬러필터층 형성공정시 컬러패턴을 형성하지만, 컬러패턴은 적색 컬러필터층 뿐만 아니라 녹색 컬러필터층 또는 청색 컬러필터층으로 형성될 수도 있다. Meanwhile, in the above embodiment of the present invention, the color pattern is formed during the red color filter layer forming process, but the color pattern may be formed of not only the red color filter layer but also the green color filter layer or the blue color filter layer.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 도시한 평면도 및 단면도1A and 1B are a plan view and a cross-sectional view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 도시한 공정 순서도2A to 2E are process flowcharts illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

Claims (9)

기판과, Substrate, 상기 기판 상에 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, Gate wiring and data wiring arranged on the substrate to define a pixel region; 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 교차되는 영역에 배치된 박막 트랜지스터와, A thin film transistor disposed in an area where the gate line and the data line cross each other; 상기 기판 상의 화소 영역에 형성된 제1, 제2 및 제3 컬러필터층과, First, second, and third color filter layers formed in the pixel region on the substrate; 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터 영역과 상응하는 영역에 형성되는 컬러패턴을 포함하는 액정표시장치. And a color pattern formed in a region corresponding to the gate wiring, the data wiring, and the thin film transistor region. 제1 항에 있어서, 상기 컬러패턴은 The method of claim 1, wherein the color pattern is 상기 제1, 제2 및 제3 컬러필터층 중 어느 하나의 형성공정과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치. And at the same time as the forming process of any one of the first, second and third color filter layers. 제1 항에 있어서, 상기 컬러패턴 형성공정 및 상기 컬러패턴 형성공정과 동시에 수행되는 컬러필터층 형성공정은 사진공정을 통해 형성되고, 나머지 컬러필터층 형성공정보다 먼저 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the color filter layer forming step and the color filter layer forming step performed simultaneously with the color pattern forming step are formed through a photographic step and are formed before the remaining color filter layer forming step. 제3 항에 있어서, 상기 나머지 컬러필터층 형성공정은 잉크젯 공정을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치. The liquid crystal display of claim 3, wherein the remaining color filter layer forming process is performed through an inkjet process. 제2 항에 있어서, 상기 컬러패턴 및 상기 컬러패턴 형성공정과 동시에 수행되어 형성된 컬러필터층은 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질이 첨가되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the color filter layer formed by being performed simultaneously with the color pattern and the color pattern forming process is added with a fluoroalkylsiloxane series material. 제1 항에 있어서, 상기 컬러패턴은 1.2~ 2.0㎛의 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the color pattern is formed at a height of 1.2 to 2.0 mu m. 기판 상에 게이트 배선과 데이터 배선이 교차되도록 형성하여 화소 영역을 정의하고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와, Forming a pixel region by crossing the gate wiring and the data wiring on the substrate, and forming a thin film transistor in the crossing region of the gate wiring and the data wiring; 상기 게이트 배선, 데이터 배선 및 박막 트랜지스터가 형성된 기판 상에 보호막을 형성하는 단계와, Forming a protective film on the substrate on which the gate wiring, the data wiring and the thin film transistor are formed; 상기 보호막이 형성된 기판 상에 사진공정을 통해 제1 컬러필터층 및 컬러패턴을 형성하는 단계와, Forming a first color filter layer and a color pattern on the substrate on which the protective film is formed through a photo process; 상기 제1 컬러필터층 및 컬러패턴이 형성된 기판 상에 잉크젯 공정을 통해 제2 컬러필터층 및 제3 컬러필터층을 각각 형성하는 단계와, Forming a second color filter layer and a third color filter layer, respectively, on the substrate on which the first color filter layer and the color pattern are formed by an inkjet process; 상기 제2 컬러필터층 및 제3 컬러필터층이 형성된 기판 상에 오버코트층을 형성하는 단계와, Forming an overcoat layer on the substrate on which the second color filter layer and the third color filter layer are formed; 상기 오버코트층이 형성된 기판 상에 콘택홀을 형성한 후, 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법. And forming a pixel electrode after forming a contact hole on the substrate on which the overcoat layer is formed. 제7 항에 있어서, 상기 컬러패턴은 The method of claim 7, wherein the color pattern is 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 박막 트랜지스터 영역과 상응하는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법. And a region corresponding to the gate wiring, the data wiring, and the thin film transistor region. 제7 항에 있어서, 상기 컬러패턴 및 제1 컬러필터층은The method of claim 7, wherein the color pattern and the first color filter layer is 플루오르알킬실록산(Fluoroalkylsiloxane)계열의 물질이 첨가된 컬러레진을 통해 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법. A method of manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that it is formed through a color resin to which a fluoroalkylsiloxane series material is added.
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Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20071204

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