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KR20080104492A - 언로드 버퍼장치 및 이를 이용한 반도체소자 언로딩 방법 - Google Patents

언로드 버퍼장치 및 이를 이용한 반도체소자 언로딩 방법 Download PDF

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KR20080104492A
KR20080104492A KR1020070051351A KR20070051351A KR20080104492A KR 20080104492 A KR20080104492 A KR 20080104492A KR 1020070051351 A KR1020070051351 A KR 1020070051351A KR 20070051351 A KR20070051351 A KR 20070051351A KR 20080104492 A KR20080104492 A KR 20080104492A
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buffer
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Abstract

본 발명은 테스트가 완료된 복수개의 반도체소자가 적재되는 테스트 트레이와 상기 반도체소자가 전달될 커스터머 트레이 사이에 설치되는 언로드 버퍼장치에 관한 것으로, 상기 테스트 트레이에 안착된 복수개의 반도체소자가 테스트 등급에 따라 분류 적재되는 제1ㆍ제2버퍼플레이트, 및 상기 제1버퍼플레이트와 상기 제2버퍼플레이트의 위치를 서로 교환시키는 구동부를 포함하되, 상기 제1버퍼플레이트가 상기 테스트 트레이 측에 위치되면, 상기 제2버퍼플레이트는 상기 커스터머 트레이 측에 위치되는 것이 특징이다.
본 발명에 의하면, 제1ㆍ제2버퍼플레이트에 테스트 트레이 전체를 적재시킬 수 있다. 따라서, 테스트 트레이의 교체 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
Figure P1020070051351
버퍼, 언로드, 반도체소자, 테스트 트레이, 테스트 핸들러, 커스터머 트레이

Description

언로드 버퍼장치 및 이를 이용한 반도체소자 언로딩 방법{Unload buffer device and method for unloading semiconductor device using the same}
도 1은 종래의 테스트 핸들러 시스템에서 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 트레이에서 커스터머 트레이로 전달하는 언로드 버퍼장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 언로드 버퍼장치의 사시도,
도 3은 본 발명의 언로드 버퍼장치의 저면사시도,
도 4는 본 발명의 언로드 버퍼장치의 정면도,
도 5는 본 발명의 언로드 버퍼장치에 구비된 구동실린더의 저면 사시도,
도 6a 내지 도 6f는 본 발명의 언로드 버퍼장치의 동작을 도시한 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 몸체 110 : 제1프레임
120 : 제2프레임 130,140 : 연결부재
200 : 제1버퍼플레이트 210,310 : 안착홈
300 : 제2버퍼플레이트 400a : 제1구동부
400b : 제2구동부 410a : 제1구동모터
410a-1 : 제1원동풀리 410a-2,410b-2 : 벨트
410a-3 : 제1피동풀리 410a-4,410b-4 : 제1종동풀리
410a-5,410b-5 : 제2종동풀리 410a-6 : 제1벨트
410b : 제2구동모터 410b-1 : 제2원동풀리
410b-3 : 제2피동풀리 410b-6 : 제2벨트
420a : 제1구동실린더 420a-1 : 제1승강안내부재
420a-2 : 제1승강부재 420b : 제2구동실린더
420b-1 : 제2승강안내부재 420b-2 : 제2승강부재
본 발명은 언로드 버퍼장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 트레이 측에서 커스터머 트레이 측으로 이송하는 언로드 버퍼장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체소자는 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 최종 제품으로 완성된다. 그리고, 상기와 같은 반도체소자를 자동으로 테스트하는데 사용되는 장치가 핸들러(Handler)이다.
이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하여 상기 반도체소자가 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
이러한 테스트 핸들러의 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 대한민국 특허 등록번호 제031280호와 제0551996호를 참조하도록 하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
첨부된 도 1은 테스트 핸들러 시스템에서 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 트레이에서 커스터머 트레이로 전달하는데 이용되는 언로드 버퍼장치의 사시도이다.
도시된 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 버퍼장치(10)는 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12), 제1ㆍ제2구동부(13,14)로 크게 구성된다. 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12)는 테스트 핸들러에서 검사가 완료된 반도체소자가 적재되는 것으로서, 초기 상태에서는 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12) 모두 반도체소자가 안착되지 않은 빈 버퍼플레이트로 구비된다.
그리고, 상기 반도체소자의 검사가 완료되면 제1피커유닛(미도시)에 의해 반도체소자를 제1버퍼플레이트(11)에 안착시킨다. 즉, 상기 테스트 핸들러에 구비된 테스트 트레이에 안착된 반도체소자를 제1피커유닛에 의해 상기 제1버퍼플레이트(11)로 상기 반도체소자를 안착시키게 되는 것이다.
상기 반도체소자의 안착이 완료되면 상기 제1구동부(13)가 상기 제1버퍼플레이트(11)를 X축 방향으로 이동시켜 커스터머 트레이 측에 위치시킨다. 그리고, 제2피커유닛(미도시)이 상기 제1버퍼를레이트(11)에 안착된 반도체소자를 픽업하여 상기 커스터머 트레이에 적재시키게 되는 것이다.
이때, 상기 제2버퍼플레이트(12)는 테스트 트레이 측에 위치되고, 검사가 완 료된 반도체소자를 상기 제1피커유닛이 상기 제2버퍼플레이트(12)에 안착시키게 되는 것이다.
즉, 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12)는 테스트 핸들러에서 검사가 완료된 반도체소자를 제1피커유닛이 각각 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12)에 안착시키고, 제1ㆍ제2구동부(13,14)에 의해 X축 방향으로 이동되어 제2피커유닛에 의해 커스터머 트레이에 상기 반도체소자를 안착시키게 되는 것이다.
그런데, 상기한 바와 같이 이루어진 종래의 버퍼장치는, 제1버퍼플레이트(11)와 제2버퍼플레이트(12)가 횡측 방향으로 평행하게 위치된다. 따라서, 상기 제1버퍼플레이트(11)와 상기 제2버퍼플레이트(12)의 사이즈를 상대적으로 작게 구현할 수밖에 없었다.
상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12)에는 상기 반도체소자가 안착되는 다수개의 안착홈(11',12')이 형성되는데, 이 안착홈(11',12')의 개수에 따라 검사 전후의 반도체소자의 이송 시간이 결정되는 것이다.
즉, 상기 제1버퍼플레이트(11)와 상기 제2버퍼플레이트(12)는 X축 방향으로 슬라이딩 왕복운동을 수행하게 되는데, 상기 안착홈(11',12')의 개수가 50개인 상태에서 상기 제1버퍼플레이트(11)와 상기 제2버퍼플레이트(12)가 1시간 동안 왕복운동 되는 횟수를 100번이라고 가정하도록 한다.
여기서, 상기 안착홈(11',12')의 개수가 100개인 경우에는 상기 제1버퍼플레이트(11)와 상기 제2버퍼플레이트(12)의 1시간 동안 왕복운동 되는 횟수가 50번으 로 줄어들게 되는 것이다.
그런데, 종래의 제1버퍼플레이트(11)와 제2버퍼플레이트(12)는 앞서도 언급했듯이 서로 수평방향으로 평행하게 위치되어 슬라이딩 왕복운동 되기 때문에, 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(11,12)의 사이즈를 위와 같이 확장시킬 경우 두 버퍼 간의 상호 간섭이 발생되어 확장된 개수를 갖는 상기 안착홈(11',12')이 구비된 버퍼를 구현할 수 없었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 하나의 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 한 번에 이송할 수 있는 버퍼플레이트를 제공하여 반도체소자의 이송 시간을 단축시킬 수 있는 언로드 버퍼장치를 제공하는 데 있다.
또한, 제1ㆍ제2버퍼플레이트의 X축 방향 이송시 두 플레이트 간의 간섭이 발생되지 않는 언로드 버퍼장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 언로드 버퍼장치는, 테스트가 완료된 복수개의 반도체소자가 적재되는 테스트 트레이와 상기 반도체소자가 전달될 커스터머 트레이 사이에 설치되는 언로드 버퍼장치에 있어서, 상기 테스트 트레이에 안착된 복수개의 반도체소자를 테스트 등급에 따라 분류 적재되는 제1ㆍ제2버퍼플레이트; 및 상기 제1버퍼플레이트와 상기 제2버퍼플레이트의 위치를 서로 교환시키는 구동부;를 포함하되, 상기 제1버퍼플레이트가 상기 테스트 트레이 측에 위치되면, 상기 제2버퍼플레이트는 상기 커스터머 트레이 측에 위치되는 것이 특징 이다.
본 발명의 언로드 버퍼장치에 있어서, 테스트가 완료된 상기 반도체소자가 상기 테스트 트레이에서 상기 제1버퍼플레이트로 언로딩될 때, 상기 제2버퍼플레이트에 적재된 상기 반도체소자는 상기 커스터머 트레이로 언로딩 된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치에 있어서, 상기 구동부는 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트를 수평방향으로 각각 슬라이딩 왕복운동시키는 제1구동부; 및 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트를 수직방향으로 각각 승강시키는 제2구동부;가 포함된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치에 있어서, 상기 버퍼장치는 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트가 왕복운동되는 방향으로 설치되고, 상기 제1구동부가 설치되는 제1프레임; 및 상기 제1프레임과 평행하게 위치되고, 상기 제2구동부가 설치되는 제2프레임;이 포함된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치에 있어서, 상기 제1구동부는 상기 제1버퍼플레이트의 X축 방향 구동을 담당하는 제1구동모터; 상기 제1버퍼플레이트의 Z축 방향 구동을 담당하는 제1구동실린더;를 포함하고, 상기 제2구동부는 상기 제2버플레이트의 X축 방향 구동을 담당하는 제2구동모터; 상기 제2버퍼플레이트의 Z축 방향 구동을 담당하는 제2구동실린더;가 포함된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치에 있어서, 상기 제1ㆍ제2구동모터는 상기 제1구동모터의 회전축에 결합되는 제1원동풀리, 및 상기 제2구동모터의 회전축에 결합되는 제2원동풀리; 상기 제1원동풀리에 벨트로 연결되는 제1피동풀리, 및 상기 제2원동풀리에 벨트로 연결되는 제2피동풀리; 상기 제1ㆍ제2피동풀리와 연결되는 샤프트 에 결합되고, 상기 제1ㆍ제2프레임의 양측 끝단부에 각각 설치되는 한 쌍의 제1ㆍ제2종동풀리; 및 한 쌍의 상기 제1ㆍ제2종동풀리를 연결하여 상기 제1ㆍ제2버퍼의 X축 방향 왕복운동을 구현하는 제1ㆍ제2벨트;가 포함된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치에 있어서, 상기 제1ㆍ제2구동실린더는 상기 제1벨트에 결합되는 제1승강안내부재, 및 상기 제2벨트에 결합되는 제2승강안내부재; 상기 제1승강안내부재에 대하여 승강되는 제1승강부재, 및 상기 제2승강안내부재에 대하여 승강되는 제2승강부재;가 포함된다.
한편, 본 발명의 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자의 언로드 방법은, (a) 테스트 트레이에 적재된 검사가 완료된 반도체소자를 제1피커유닛에 의해 제1버퍼플레이트에 언로딩하는 단계; (b) 상기 제1버퍼플레이트가 X축 방향으로 슬라이딩되어 커스터머 트레이 측으로 이송되는 단계; (c) 빈 트레이의 제2버퍼플레이트가 상기 테스트 트레이 측에 위치되는 단계;를 포함한다.
본 발명의 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자의 언로드 방법에 있어서, (d) 제2피커유닛이 상기 제1버퍼플레이트에 안착된 상기 반도체소자를 상기 커스터머 트레이에 언로딩시킬 때, 상기 제1피커유닛은 상기 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 상기 제2버퍼플레이트에 언로딩하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자의 언로드 방법에 있어서, 상기 (c) 단계는, 상기 제2버퍼플레이트가 Z축 방향으로 상승되는 단계;가 더 포함된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자의 언로드 방법에 있어서, (e) 상기 제1버퍼플레이트에 안착된 반도체소자가 상기 커스터머 트레이에 언로딩 완료되면 상기 제1버퍼플레이트를 Z축 방향으로 하강시키는 단계; (f) 상기 제1버퍼플레이트는 상기 테스트 트레이 측으로 이동되고, 상기 제2버퍼플레이트는 상기 커스터머 트레이 측으로 이동되는 단계; (g) 빈 트레이의 상기 제1버퍼플레이트가 Z축 방향으로 상승하는 단계;가 더 포함된다.
본 발명의 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자의 언로드 방법에 있어서, 상기 제2버퍼플레이트에 안착된 상기 반도체소자를 제2피커유닛이 상기 커스터머 트레이에 적재시키는 단계;가 더 포함된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 언로드 버퍼장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
첨부된 도 2 내지 도 5에서 보는 바와 같이, 상기 언로드 버퍼장치는 몸체(100), 상기 몸체(100)에 설치되는 제1버퍼플레이트(200)와 제2버퍼플레이트(300), 및 제1ㆍ제2구동부(410a,410b)로 크게 구성된다.
상기 몸체(100)는 제1ㆍ제2프레임(110,120)과 상기 제1ㆍ제2프레임(110,120)을 연결하는 연결부재(130,140)로 구성된다.
상기 제1프레임(110)와 상기 제2프레임(120)은 서로 평행하게 동일한 방향으로 길이를 갖도록 구비된다. 상기 제1ㆍ제2프레임(110,120)의 일측은 테스트 핸들러에 구비된 테스트 트레이 측에 위치되고, 상기 제1ㆍ제2프레임(110,120)의 타측은 테스트가 완료된 반도체소자가 적재되는 커스터머 트레이 측에 위치된다.
상기 연결부재(130,140)는 상기 제1ㆍ제2프레임(110,120)의 양측 끝단을 서로 연결하는 부재로서, 별도의 부재에 결합되어 상기 몸체(100)를 안정적으로 지지할 수 있도록 구성된다. 즉, 상기 연결부재(130,140)에는 다수개의 체결공이 구비되는 것이다.
상기 제1버퍼플레이트(200)와 상기 제2버퍼플레이트(300)에는 다수개의 안착홈(210,310)이 형성된다. 도시된 도면에서 보는 바와 같이, 각각 X축 방향으로 10개, Y축 방향으로 8개의 안착홈(210,310)이 형성된 두 개의 안착 영역이 구비되는 것이다. 즉, 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)는 각각 160개의 안착홈(210,310)이 형성된다. 이 안착홈(210,310)의 개수는 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)의 크기에 따라 달라질 수도 있는 것이다.
그러나, 종래의 버퍼플레이트는 상기와 같은 동일한 크기를 갖는 버퍼플레이트에 각각 80개의 안착홈이 형성되어 있었다.
상기 제1버퍼플레이트(200)와 상기 제2버퍼플레이트(300)는 각각 상기 제1ㆍ제2프레임(110,120)의 길이 방향을 따라 X축 방향으로 이동되고, 상기 제1ㆍ제2프레임(110,120)의 양 끝단에서 상승 및 하강된다. 즉, 상기 테스트 트레이 측에서는 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)가 상승되고, 상기 커스터머 트레이 측에서는 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)가 하강되는 것이다. 이러한 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)의 구동은 후술되는 제1ㆍ제2구동부(410a,410b) 설명에서 상세하게 설명하도록 한다.
또한, 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)는 각각 동일한 역할을 수행한다. 즉, 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)는 각각 테스트 핸들러에서 테스트가 완료된 반도체소자를 커스터머 트레이에 전달하는 것이다.
상기 반도체소자는 상기 테스트 핸들러에서 테스트가 완료된다. 이후 상기 테스트 핸들러에 구비된 테스트 트레이에 상기 반도체소자가 일시적으로 안착되고, 제1피커유닛(미도시)이 상기 반도체소자를 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)에 선택적으로 안착시키게 된다.
그리고, 상기 반도체소자가 안착된 버퍼플레이트를 X축 방향으로 이동시킨다. 즉, 상기 커스터머 트레이 측으로 이동시키게 되는 것이다. 이후, 제2피커유닛(미도시)이 상기 버퍼플레이트에 안착된 반도체소자를 픽업하여 상기 커스터머 트레이에 전달하게 되는 것이다.
한편, 상기 제1구동부(400a)는 제1구동모터(410a)와 제1구동실린더(420a)로 구분되며, 상기 제2구동부(400b)는 제2구동모터(410b)와 제2구동실린더(420b)로 구분된다.
먼저, 상기 제1구동부(400a)와 상기 제2구동부(400b)는 각각 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)를 X축 방향으로 이동시키기도 하고, 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)를 Z축 방향으로 승강시키기도 한다.
상기 제1구동모터(410a)는 상기 제1프레임(110)의 일측 끝단부 외측에 설치된다. 그리고, 상기 제2구동모터(410b)는 상기 제2프레임(120)의 일측 끝단부 외측 에 설치된다. 즉, 상기 제1ㆍ제2구동모터(410a,410b)는 각각 커스터머 트레이 측과 인접된 위치에 구비된다. 그러나, 첨부된 도면에서는 본 발명의 언로드 버퍼장치의 일예를 도시한 것이므로, 상기 제1구동모터(410a)와 상기 제2구동모터(410b)의 위치는 이에 한정되지 않는다. 여기서, 상기 제1구동모터(410a)와 상기 제2구동모터(410b)는 정방향, 또는 역방향 회전이 모두 가능하다.
상기 제1구동모터(410a)는 제1원동풀리(410a-1), 벨트(410a-2), 제1피동풀리(410a-3), 제1ㆍ제2종동풀리(410a-4,410a-5), 제1벨트(410a-6)로 구성되고, 상기 제2구동모터(410b)는 제2원동풀리(410b-1), 벨트(410b-2), 제2피동풀리(410b-3), 제1ㆍ제2종동풀리(410b-4,410b-5), 제2벨트(410b-6)로 구성된다. 여기서, 상기 제1구동모터(410a)와 상기 제2구동모터(410b)의 구성은 모두 동일하다. 다만 그 구성의 설명에 있어서 각각 "제1"과 "제2"로 구분하여 기재한 것이다. 그리고, 상기 제1ㆍ제2종동풀리(410a-4,410a-5,410b-4,410b-5)는 동일한 명칭으로 기재하였다.
상기 제1구동모터(410a)의 회전축에는 상기 제1원동풀리(410a-1)가 결합된다. 또한, 상기 제1프레임(110)의 외측에 제1피동풀리(410a-3)가 위치되고, 상기 제1원동풀리(410a-1)와 상기 제1피동풀리(410a-3)는 벨트(410a-2)로 연결된다.
그리고, 상기 제1피동풀리(410a-3)의 타측에는 제1종동풀리(410a-4)가 위치되는데, 상기 제1피동풀리(410a-3)와 상기 제1종동풀리(410a-4)는 샤프트로 연결되고, 상기 샤프트는 상기 제1프레임(110)에 대하여 베어링에 의해 안내되어 회전된다. 즉, 상기 샤프트의 양 끝단에 각각 상기 제1피동풀리(410a-3)와 상기 제1종동풀리(410a-4)가 결합되고, 상기 샤프트는 상기 제1피동풀리(410a-3)가 회전될 때 상기 베어링에 의해서 상기 제1종동풀리(410a-4)를 동일한 방향으로 회전시키게 되는 것이다.
또한, 상기 제1종동풀리(410a-4)의 타측에는 제2종동풀리(410a-5)가 설치된다. 즉, 상기 제1종동풀리(410a-4)는 커스터머 트레이 측에 위치되고, 상기 제2종동풀리(410a-5)는 테스트 트레이 측에 위치되는 것이다. 상기 제1ㆍ제2종동풀리(410a-4,410a-5)는 제1벨트(410a-6)에 의해 연결된다.
한편, 상기 제2구동모터(410b)는 그 구성이 상기 제1구동모터(410a)와 동일하다. 따라서, 상기 제2구동모터(410b)의 구성에 대한 설명은 상기 제1구동모터(410a)의 설명을 참조하도록 한다. 다만, 상기 제1구동모터(410a)에는 제1벨트(410a-6)가 구비되는데, 이 제1벨트(410a-6)는 후술되는 제1구동실린더(420a)가 연결된다. 그리고, 상기 제2구동모터(410b)에는 제2벨트(410b-6)가 구비되는데, 이 제2벨트(410b-6)는 후술되는 제2구동실린더(420b)가 연결된다.
즉, 상기 제1구동모터(410a)는 전술되어진 제1버퍼플레이트(200)만을 X축 방향으로 이동시키고, Z축 방향으로 승강시키게 된다. 또한, 상기 제2구동모터(410b)는 전술되어진 제2버퍼플레이트(300)만을 X축 방향으로 이동시키고, Z축 방향으로 승강시키게 되는 것이다.
상기 제1구동실린더(420a)는 제1승강안내부재(420a-1)와 제1승강부재(420a-2)로 크게 구성된다. 그리고, 상기 제2구동실린더(420b)는 제2승강안내부재(420b- 1)와 제2승강부재(420b-2)로 크게 구성된다. 또한, 상기 제1승강안내부재(420a-1)는 상기 제1벨트(410a-6)에 고정 결합되는 것이고, 상기 제2승강안내부재(420b-1)는 상기 제2벨트(410b-6)에 고정 결합된다.
상기 제1승강안내부재(420a-1)와 상기 제1승강부재(420a-2)는 각각 가이드돌기와 가이드홈이 형성되며, 상기 제1승강부재(420a-2)가 상기 제1승강안내부재(420a-1)에 대하여 승강되는 것이다. 그리고, 상기 제1승강부재(420a-2)는 에어의 공급에 따라 상기 제1승강안내부재(420a-1)를 따라 상승되거나 하강되는 것이다.
또한, 상기 제1승강부재(420a-2)에는 제1버퍼플레이트(200)의 일측이 결합되며, 상기 제2승강부재(420b-2)에는 제2버퍼플레이트(300)의 일측이 결합된다.
여기서, 상기 제2구동실린더(420b)의 구성은 상기 제1구동실린더(420a)의 구성과 동일하다. 따라서, 상기 제2구동실린더(420b)의 상세한 설명은 상기 제1구동실린더(420a)의 구성 기재를 참조하도록 한다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 언로드 버퍼장치의 사용상태 및 이 언로드 버퍼장치를 이용하여 검사가 완료된 반도체소자의 언로드 방법을 설명하면 다음과 같다.
상기 제1버퍼플레이트(200)와 제2버퍼플레이트(300)의 초기 상태는 안착홈(210,310)에 반도체소자가 적재되지 않은 비어 있는 상태로 구비된다.
먼저, 도시된 도 6a에서 보는 바와 같이, 상기 언로드 버퍼장치의 구동 전 상태는 상기 제1버퍼플레이트(200)와 상기 제2버퍼플레이트(300)가 커스터머 트레이 측에 위치된다.
이후, 도 6b에서 보는 바와 같이, 상기 제1버퍼플레이트(200)가 제1구동모터(410a)의 동작에 따라 횡 방향으로 이동된다. 즉, 상기 제1버퍼플레이트(200)는 테스트 트레이 측으로 위치 이동되는 것이다.
그리고, 도 6c와 같이 상기 제1버퍼플레이트(200)가 제1구동실린더(420a)에 의해 상승된다. 이때, 상기 제2버퍼플레이트(300)는 제2구동실린더(420b)에 의해 하강되는 것이다.
상기 제1버퍼플레이트(200)가 상승되면, 도시된 도 6d에서 보는 바와 같이, 테스트 핸들러에서 반도체소자의 테스트가 완료된 반도체소자가 제1피커유닛에 의해 상기 제1버퍼플레이트(200)에 적재된다. 상기 제1버퍼플레이트(200)에 상기 반도체소자의 적재가 완료되면 도 6e에서 보는 바와 같이, 상기 제1버퍼플레이트(200)는 커스터머 트레이 측으로 위치 이동된다. 이때, 상기 제1버퍼플레이트(200)의 이동은 앞서 언급한 제1구동모터(410a)에 의해 구현된다.
그리고, 상기 제1버퍼플레이트(200)에 적재된 반도체소자는 제2피커유닛이 픽업하여 상기 커스터머 트레이에 적재되는 것이다. 이때, 상기 제2버퍼플레이트(300)는 제2구동모터(410b)에 의해 상기 테스트 트레이 측으로 이동되고, 제2구동실린더(420b)에 의해 상기 테스트 트레이 측에서 상승된다. 그리고, 상기 제1버퍼플레이트(200)에 적재된 반도체소자가 커스터머 트레이에 적재될 때, 상기 제1피커유닛은 상기 제2버퍼플레이트(300)에 반도체소자를 적재하게 되는 것이다.
상기 제1버퍼플레이트(200)와 상기 제2버퍼플레이트(300)는 각각 횡 방향으로 슬라이딩 되고, 상기 테스트 트레이 측에서는 상승만 하게 된다. 그리고, 상기 커스터머 트레이 측에서는 하강만 하게 되는 것이다.
상기 제1버퍼플레이트(200)와 상기 제2버퍼플레이트(300)는 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 제1피커유닛에 의해서 각각 상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)에 언로딩 시키게 된다. 그리고, 상기 반도체소자의 적재가 완료된 어느 하나의 버퍼플레이트는 제2피커유닛이 커스터머 트레이에 언로딩되는 것이다.
상기한 제1ㆍ제2버퍼플레이트(200,300)의 동작 구현은 제1ㆍ제2구동부(400a,400b)에 의해 수행된다. 상기 제1버퍼플레이트(200)의 구동은 도 6a의 초기 상태에서 상기 제1구동부(400a)에 구비된 제1구동모터(410a)가 정방향으로 회전된다. 이때, 상기 제1구동모터(410a)의 회전축에 결합된 제1원동풀리(410a-1)가 회전되고, 벨트(410a-2)와 연결된 제1피동풀리(410a-3)가 동일한 방향으로 회전된다. 그리고, 상기 제1피동풀리(410a-3)와 동심축을 갖는 제1종동풀리(410a-4)가 회전됨에 따라, 제1벨트(410a-6)와 연결된 제2종동풀리(410a-5)가 회전되는 것이다.
따라서, 상기 제1벨트(410a-6)에 고정 결합된 제1버퍼플레이트(200)가 도 6b와 같이 커스터머 트레이 측에서 테스트 트레이 측으로 위치 이동되는 것이다.
그리고, 상기 제1버퍼플레이트(200)는 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 언로딩 받기 위해 도 6c와 같이 상승되는데, 이때, 상기 제1구동부(400a)에 구비된 제1구동실린더(420a)의 동작에 따라 상기한 동작을 수행하게 된다.
즉, 상기 제1구동실린더(420a)에 에어가 공급되면 제1승강부재(420a-2)가 제1승강안내부재(420a-1)를 따라 상승되는 것이다. 그리고, 6d와 같이 제1피커유닛에 의해 테스트 트레이에서 상기 제1버퍼플레이트(200)로 반도체소자의 언로딩이 완료되면 상기 제1구동모터(410a)의 동작에 따라 6e와 같이 위치 이동된다.
이때, 상기 제1구동모터(410a)의 회전 방향은 역방향으로 회전되고, 앞서 언급한 제1원동풀리(410a-1), 벨트(410b-2), 제1피동풀리(410a-3), 제1종동풀리(410b-4), 제1벨트(410a-6), 제2종동풀리(410b-5)를 통해 상기 제1버퍼플레이트(200)가 상기 커스터머 트레이 측으로 이동되는 것이다.
앞서 언급한 제2버퍼플레이트(300)의 동작 구현은 상기한 제1버퍼플레이트(200)의 동작과 동일하다. 즉, 상기 제2버퍼플레이트(300)의 X축 방향 이동은 제2구동부(400b)에 구비된 제2구동모터(410b)의 동작에 따라 제2원동풀리(410b-1), 벨트(410b-2), 제2피동풀리(410b-3), 제1종동풀리(410b-4), 제2벨트(410b-6), 제2종동풀리(410b-5)를 통해 상기 제2버퍼플레이트(300)의 X축 방향 이동을 구현할 수 있다. 그리고, 상기 제2버퍼플레이트(300)의 상승 및 하강은 제2구동부(400b)에 구비된 제2구동실린더(420b)의 동작에 따라 수행된다.
한편, 상기 제1버퍼플레이트(200)와 상기 제2버퍼플레이트(300)는 도 6a와 같이 커스터머 트레이 측의 모두 위치될 수도 있으며, 도 6f와 같이 테스트 트레이 측의 모두 위치될 수도 있다. 이러한 경우는, 테스트 트레이에 적재된 반도체소자가 제1피커유닛을 통해 상기 제1버퍼플레이트(200)에 언로딩하는 시간, 또는 상기 제2버퍼플레이트(300)에 적재된 반도체소자가 제2피커유닛에 의해 커스터머 트레이 에 언로딩되는 시간에 따라 상기한 위치를 갖게 될 수도 있는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 언로드 버퍼장치는, 테스트 트레이에 안착된 반도체소자 전부를 확장된 제1ㆍ제2버퍼플레이트에 모두 적재시킬 수 있다. 따라서, 테스트 트레이의 교체 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 제1ㆍ제2버퍼플레이트의 사이즈를 확장시켜 반도체소자가 적재되는 안착홈의 개수가 증대된다. 따라서, 테스트 트레이에 장작된 반도체소자가 언로딩 된 버퍼플레이트를 커스터머 트레이에 언로딩시키기 위해 이동되는 횟수를 줄일 수 있다.

Claims (12)

  1. 테스트가 완료된 복수개의 반도체소자가 적재되는 테스트 트레이와 상기 반도체소자가 전달될 커스터머 트레이 사이에 설치되는 언로드 버퍼장치에 있어서,
    상기 테스트 트레이에 안착된 복수개의 반도체소자가 테스트 등급에 따라 분류 적재되는 제1ㆍ제2버퍼플레이트; 및
    상기 제1버퍼플레이트와 상기 제2버퍼플레이트의 위치를 서로 교환시키는 구동부;를 포함하되,
    상기 제1버퍼플레이트가 상기 테스트 트레이 측에 위치되면, 상기 제2버퍼플레이트는 상기 커스터머 트레이 측에 위치되는 것을 특징으로 하는 언로드 버퍼장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 언로드 버퍼장치는,
    테스트가 완료된 상기 반도체소자가 상기 테스트 트레이에서 상기 제1버퍼플레이트로 언로딩될 때, 상기 제2버퍼플레이트에 적재된 상기 반도체소자는 상기 커스터머 트레이로 언로딩 되는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트를 수평방향으로 각각 슬라이딩 왕복운동시키는 제1구동부; 및
    상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트를 수직방향으로 각각 승강시키는 제2구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 버퍼장치는,
    상기 제1ㆍ제2버퍼플레이트가 왕복운동되는 방향으로 설치되고, 상기 제1구동부가 설치되는 제1프레임; 및
    상기 제1프레임과 평행하게 위치되고, 상기 제2구동부가 설치되는 제2프레임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 제1구동부는,
    상기 제1버퍼플레이트의 X축 방향 구동을 담당하는 제1구동모터; 및
    상기 제1버퍼플레이트의 Z축 방향 구동을 담당하는 제1구동실린더;를 포함하고,
    상기 제2구동부는,
    상기 제2버플레이트의 X축 방향 구동을 담당하는 제2구동모터; 및
    상기 제2버퍼플레이트의 Z축 방향 구동을 담당하는 제2구동실린더;를 포함하 는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제1ㆍ제2구동모터는,
    상기 제1구동모터의 회전축에 결합되는 제1원동풀리, 및 상기 제2구동모터의 회전축에 결합되는 제2원동풀리;
    상기 제1원동풀리에 벨트로 연결되는 제1피동풀리, 및 상기 제2원동풀리에 벨트로 연결되는 제2피동풀리;
    상기 제1ㆍ제2피동풀리와 연결되는 샤프트에 결합되고, 상기 제1ㆍ제2프레임의 양측 끝단부에 각각 설치되는 한 쌍의 제1ㆍ제2종동풀리; 및
    한 쌍의 상기 제1ㆍ제2종동풀리를 연결하여 상기 제1ㆍ제2버퍼의 X축 방향 왕복운동을 구현하는 제1ㆍ제2벨트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제1ㆍ제2구동실린더는,
    상기 제1벨트에 결합되는 제1승강안내부재, 및 상기 제2벨트에 결합되는 제2승강안내부재; 및
    상기 제1승강안내부재에 대하여 승강되는 제1승강부재, 및 상기 제2승강안내부재에 대하여 승강되는 제2승강부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치.
  8. 반도체소자가 적재되는 제1제2버퍼플레이트가 테스트 트레이와 커스터머 트레이를 왕복 운동하여 상기 반도체소자를 이송하는 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자 언로딩 방법에 있어서,
    (a) 검사가 완료되어 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 제1피커유닛에 의해 제1버퍼플레이트에 이송하는 단계;
    (b) 상기 제1버퍼플레이트가 X축 방향으로 슬라이딩되어 커스터머 트레이 측으로 이동되는 단계; 및
    (c) 빈 트레이의 제2버퍼플레이트가 상기 테스트 트레이 측에 이동되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자 언로딩 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    (d) 제2피커유닛이 상기 제1버퍼플레이트에 안착된 상기 반도체소자를 상기 커스터머 트레이에 언로딩시킬 때, 상기 제1피커유닛은 상기 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 상기 제2버퍼플레이트에 언로딩하는 단계;를 더 포함하는 상기 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자 언로딩 방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 (c) 단계는,
    상기 제2버퍼플레이트가 Z축 방향으로 상승되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자 언로딩 방법.
  11. 제 8항에 있어서,
    (e) 상기 제1버퍼플레이트에 안착된 반도체소자가 상기 커스터머 트레이에 언로딩 완료되면 상기 제1버퍼플레이트를 Z축 방향으로 하강시키는 단계;
    (f) 상기 제1버퍼플레이트는 상기 테스트 트레이 측으로 이동되고, 상기 제2버퍼플레이트는 상기 커스터머 트레이 측으로 이동되는 단계; 및
    (g) 빈 트레이의 상기 제1버퍼플레이트가 Z축 방향으로 상승하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자 언로딩 방법.
  12. 제 8항에 있어서,
    상기 제2버퍼플레이트에 안착된 상기 반도체소자를 제2피커유닛이 상기 커스터머 트레이에 적재시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 언로드 버퍼장치를 이용한 반도체소자 언로딩 방법.
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