KR20070073457A - 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법 및 이를이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법 - Google Patents
유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법 및 이를이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법 및 상기 도너 필름을 이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 도너 필름의 제조 방법은, 기재 필름을 마련하는 단계; 및 상기 기재 필름 위에, 디스펜서 바늘을 통해 유동성 유기재료를 토출하는 디스펜싱 방식으로 유기 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 유기 전계 발광소자의 제조 방법은, 기판상에 제1전극 패턴을 마련하는 단계; 도너 필름을 마련하는 단계; 상기 기판과 상기 도너 필름을 정렬시키고 전사하여 상기 제1전극 패턴 위에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층 위에 제2전극 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
유기 전계 발광소자(OLED), 도너 필름, 유기 발광층, 디스펜싱(dispensing)
Description
도 1은 본 발명에 따른 도너 필름 제조 방법의 일 실시예에 따라 제조된 유기 전계 방출소자용 도너 필름을 보이는 단면도이다.
도 2는 상기 도 1에 도시된 도너 필름을 위에서 보이는 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 도너 필름 제조 방법의 다른 실시예에 따라 제조된 유기 전계 방출소자용 도너 필름을 보이는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따라 롤 형태의 도너 필름 제조하는 모습을 보이는 사시도이다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명에 따른 유기 전계 발광소자 제조 방법의 일 실시예를 보이는 공정도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
60: 시린지 61; 디스펜서 바늘
100: 기재 필름 101R,G,B: 도너 필름
110: 투명성 고분자 필름 120: 광-열 변환층
130R,G,B: 유기 발광층 200: 기판
210: 뱅크 220: 제1전극
230: 제2전극
본 발명은 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 기재 필름상에 디스펜싱 방식에 의해 유기 발광층을 패터닝하여 도너 필름을 제조하는 방법 및 이렇게 제조된 도너 필름을 이용하여 유기 전계 발광소자를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 전계 발광소자, 즉 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode)란 저분자 또는 고분자의 유기물 박막에서 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합(recombination)하며 여기자(exciton)을 형성하고, 형성된 여기자의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는, 이른바 유기 전계발광(Organic electroluminescence) 현상을 이용한 발광소자를 말한다.
유기 전계 발광소자는 애노드와 캐소드 및 상기 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기 발광층을 포함한다. 이때 상기 유기 발광층은 기능에 따라 다시 여러 층으로 구성될 수 있는데, 일반적으로 발광층(emitting layer)을 포함하고, 정공 주입층(HIL), 정공 전달층(HTL), 정공 저지층(HBL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 중 적어도 하나 이상의 층을 포함하는 다층구조로 이루어질 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자의 제조를 위해서는 전극 패턴이 형성된 기판상에 상기 전극 패턴에 대응되는 유기 발광층을 형성할 필요가 있다. 특히,컬러 이미지를 구현이 가능한 유기 전계 발광소자를 제공하기 위해서는 여러 원색에 해당하는 각각의 유기 발광층을 마련해야 한다. 상기 전극 패턴 위에 유기 발광층을 형성하는 방법으로, 저분자 유기 전계 발광소자의 경우는 섀도우 마스크(shadow mask)를 이용하여 증착하는 방법이 있고, 고분자 유기 전계 발광소자의 경우에도 적용될 수 있는 방법으로서 잉크젯 프린팅(ink-jet printing) 또는 레이저 열전사법(LITI: laser induced thermal imaging) 등이 있다. 특히, 상기 레이저 열전사법은 건식 공정이라는 장점이 있다.
레이저 열전사법에 의한 유기 발광층 형성 방법은 기판상의 전극 패턴 위에 전사될 유기 발광 물질층을 구비하는 도너 필름을 필요로 한다. 상기 도너 필름은 광-열 변환층(LTHC)을 포함한다. 상기 광-열 변환층에 전사하고자 하는 패턴 형태로 레이저 빔이 조사되면 그 빛 에너지가 흡수되면서 열에너지로 변환되고, 그 열에너지에 의해 상기 유기 발광 물질층이 상기 기판상으로 전사된다. 이러한 레이저 열전사법에 관하여는 한국 공개특허 1998-51844호와 미국 특허 제5,998,085호, 및 제6,214,520호 등에 개시된 바 있다.
그런데, 종래의 레이저 열전사법에 따르면 도너 필름 전체 면에 유기 발광 물질층이 형성되어 있어서 도너 필름에서 레이저 빔이 조사된 영역의 유기 발광 물질층이 전사될 때 나머지 영역과의 분리에 어려움이 따른다. 이는 전사된 유기 발광층의 가장자리가 고르지 못한 형상을 가지는 원인이 된다. 또한, 전사되지 않고 남은 유기 발광 물질층이 버려진다는 점에서 재료의 낭비가 문제된다.
본 발명은 기재 필름상에 유기 발광층 패턴을 미리 형성함으로써 패턴 분리 문제를 해결하고, 또한 디스펜싱 방식으로 상기 유기 발광층 패턴을 형성함으로써 패턴 가장자리가 고른 형상을 가지도록 한 도너 필름의 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 디스펜싱 방식으로 낱장 또는 롤 형태의 도너 필름을 제공하고, 이를 이용하여 유기 전계 발광소자를 제조하는 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법은, 기재 필름을 마련하는 단계; 및 상기 기재 필름 위에, 디스펜서 바늘을 통해 유동성 유기재료를 토출하는 디스펜싱 방식으로 유기 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
각 기재 필름에 대하여 직선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 경우, 유동성 유기재료의 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리를 일정하게 유지하면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름을 직선 이동시켜 직선형 유기 발광층 패턴을 형성할 수 있다.
각 기재 필름에 대하여 점선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 경우는, 유동성 유기재료의 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리를 주기적으로 변화시키면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름을 직선 이동시켜 점선형 유기 발광층 패턴을 형성할 수 있다.
상기 도너 필름은 낱장 형태뿐만 아니라 롤 형태로도 제조될 수 있다. 롤 형태로 제조하는 경우 디스펜서 바늘을 중심으로 양쪽에 배치된 두 개의 롤을 이용하여 상기 기재 필름을 진행시키면서 유기 발광층 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 유기 발광층 패턴 형성 단계에서, 상기 디스펜서 바늘의 내경, 상기 유동성 유기 재료의 점도와 토출 압력, 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리 및 토출 중인 디스펜서 바늘의 상기 기재 필름에 대한 이동속도를 조절하여 상기 유기 발광층 패턴의 선폭 및 두께를 조절할 수 있다.
본 발명에 따른 유기 전계 발광소자의 제조 방법은, 기판상에 제1전극 패턴을 마련하는 단계; 기재 필름상에 상기 제1전극 패턴에 대응되는 유기 발광층 패턴이 형성된 도너 필름을 마련하는 단계; 상기 기판과 상기 도너 필름을 정렬시키고 전사하여 상기 제1전극 패턴 위에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층 위에 제2전극 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 도너 필름 마련 단계는 전술한 도너 필름의 제조 방법을 따른다.
컬러 유기 전계 발광소자를 제조하는 경우, 각 원색에 해당하는 유기 발광층 패턴이 형성된 도너 필름을 각각 마련하고, 각각의 도너 필름을 순차적으로 상기 기판에 대하여 정렬시키고 전사하는 것이 바람직하다.
상기 도너 필름이 롤 상태로 제공된 경우에는, 상기 기판을 중심으로 양쪽에 배치된 두 개의 롤을 이용하여 상기 도너 필름을 진행시키면서 상기 유기 발광층 패턴을 전사할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 도면에 있어서 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 나타내고, 도면에 표시된 구성 요소들의 두께나 크기 등은 이해를 돕기 위해 과장된 것일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 도너 필름 제조 방법의 일 실시예에 따라 제조된 유기 전계 방출소자용 도너 필름(101R)을 보이는 단면도이다. 먼저 기재 필름(100)을 마련하고, 그 위에 후술할 디스펜싱 방식에 의해 단색(일 예로서 본 실시예에서는 빨간색)의 유기 발광층 패턴(130R)을 소정 간격으로 형성한다.
여기서 기재 필름(100)은 광-열전사용 기재 필름으로서, 레이저 빔을 투과시키는 투명성 고분자 필름(110) 위에 광-열 변환층(120)을 형성하여 마련될 수 있다. 상기한 투명성 고분자로는 폴리에틸렌, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 또는 폴리스티렌 계열의 고분자 재료가 채용될 수 있으며, 본 실시예에서는 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 채용한다. 상기 기재 필름(100)은 필름 또는 기판 형태를 가질 수 있으며 투광성과 기계적 안정성을 가지는 것이 바람직하다. 상기 광-열 변환층(120)은 적외선, 가시광선 또는 자외선 등의 빛을 흡수하여 상기 빛의 적어도 일부를 열로 변환시키는 층으로, 적절한 광학 밀도(optical density)를 가져야 하며, 광 흡수성 물질을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 광-열 변환층(120)을 형성하는 광 흡수성 물질로는 알루미늄 산화물, 알루미늄 황화물, 카본 블랙, 흑연 또는 적외선 염료 등을 들 수 있으며, 재료의 선택 및 적층 방법에 관하여는 종래에 알려진 다양한 기술을 적용할 수 있다.
한편, 상기 기재 필름(100)은 도면에 도시되지는 않았으나, 열전사용 기재 필름으로서, 써멀 헤드(thermal head)에서 발생한 열이 상기 유기 발광층 패턴(130R)로 직접 전달되도록 하는 열전도성 필름 또는 다공성 필름일 수도 있다.
또한, 상기 유기 발광층 패턴(130R)은 전계 발광성 유기막을 포함하고, 정공 주입성 유기막, 정공 전달성 유기막, 정공 차단성 유기막, 전자 전달성 유기막 및 전자 주입성 유기막으로 이루어진 군에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 막을 더 포함할 수 있다. 상기 유기막들의 재료로는 저분자 물질뿐만 아니라 고분자 물질도 채용될 수 있다.
또한, 상기 전계 발광성 유기막, 정공 주입성 유기막, 정공 전달성 유기막, 정공 차단성 유기막, 전자 전달성 유기막 및 전자 주입성 유기막은 일반적으로 사용되는 재료이면 모두 가능하다. 바람직하게는 상기 전계 발광성 유기막으로는 적색발광재료인 Alq3(호스트)/DCJTB(형광도판트), Alq3(호스트)/DCM(형광도판트), CBP(호스트)/PtOEP(인광 유기금속 착체) 등의 저분자 물질과 PFO계 고분자, PPV계 고분자등의 고분자물질을 사용할 수 있으며, 녹색발광재료인 Alq3, Alq3(호스트)/C545t(도판트), CBP(호스트)/IrPPy(인광 유기금속 착체) 등의 저분자 물질과 PFO계 고분자, PPV계 고분자등의 고분자물질을 사용할 수 있다. 또한, 청색발광재료인 DPVBi, 스피로-DPVBi, 스피로-6P, 디스틸벤제(DSB), 디스티릴아릴렌(DSA) 등의 저분자 물질과 PFO계 고분자, PPV계 고분자등의 고분자물질을 사용할 수 있다. 상기 정공주입성 유기막으로는 CuPc, TNATA, TCTA, TDAPB와 같은 저분자와 PANI, PEDOT와 같은 고분자물질을 사용할 수 있으며, 정공전달성 유기막으로는 아릴아민계 저분자, 히드라존계 저분자, 스틸벤계 저분자 스타버스트계 저분자로 NPB, TPD, s- TAD, MTADATA등의 저분자와 카바졸계 고분자, 아릴아민계 고분자, 페릴렌계 및 피롤계 고분자로 PVK와 같은 고분자물질을 사용할 수 있다. 상기 전자전달성 유기막으로는 PBD, TAZ, spiro-PBD와 같은 고분자와 Alq3, BAlq, SAlq와 같은 저분자 물질을 사용할 수 있다. 또한 상기 전자주입성 유기막으로는 Alq3, 갈륨 혼합물(Ga complex), PBD와 같은 저분자 물질이나 옥사디아졸계 고분자 물질을 사용할 수 있다.
도 2는 상기 도 1에 도시된 도너 필름(101R)을 위에서 보이는 평면도이다. 본 발명에 의한 도너 필름의 제조 방법에 따르면, 각 기재 필름(100) 위에 디스펜싱 방식으로 단일 색상의 유기 전계 발광층 패턴(130R)을 형성한다. 디스펜싱 방식이란 디스펜서 바늘이 구비된 시린지(syringe)에 유동성 재료를 주입하고 상기 시린지에 소정의 토출 압력을 가하여 상기 유동성 재료를 토출하는 방식을 말한다.
낱장의 도너 필름(101R)에 직선형 유기 발광층 패턴(130R)을 형성하는 경우, 디스펜서의 시린지에 일정한 토출 압력을 인가하여 유동성 유기재료를 토출하면서 디스펜서 바늘을 기재 필름(100)에 대하여 직선상으로 상대 이동시킨다. 이렇게 해서 하나의 직선형 유기 발광층 패턴(130R)이 형성되고 나면 유동성 유기재료의 토출을 멈추고 상기 디스펜서 바늘을 직선형 패턴(130R)에 수직한 방향으로 일정한 거리만큼 상대적으로 이동시킨다. 그런 다음 상기와 같은 동작을 반복하면서 다수의 직선형 유기 발광층 패턴(130R)을 형성한다.
또한, 도면에는 도시되지 않았으나 각각의 디스펜서 바늘이 소정의 간격을 갖도록 배치된 다수의 시린지를 이용하여 동시에 여러 개의 직선형 유기 발광층 패 턴(130R)을 형성할 수도 있다. 상기 소정의 간격은 형성하고자 하는 유기 발광층 패턴들 사이의 간격과 실질적으로 같다. 상기 소정의 간격은 나란히 배치될 시린지의 지름보다 작은 경우, 디스펜싱 바늘들을 서로 가까운 방향으로 기울여서 그 팁들이 원하는 간격으로 배치되도록 할 수 있다.
디스펜서 바늘(미도시)과 기재 필름(100) 사이의 상대적인 이동은, 기재 필름(100)을 고정하고 디스펜서 바늘을 갖는 시린지를 이동시키는 방법이나 시린지를 고정하고 기재 필름(100)이 장착된 스테이지(미도시)를 이동시키는 방법으로 수행될 수 있다. 그리고, 상기 다수의 직선형 발광층 패턴(130R)들 사이의 간격은 해당 색상의 유기 발광층이 형성되어야 할 전극 패턴들 사이의 간격에 따른다. 예를 들어, 컬러 이미지 구현을 위해 빨간색(R), 녹색(G) 및 파란색(B)의 삼원색 유기 발광층이 요구되는 경우, 두 개의 빨간색의 유기 발광층 패턴(130R)들 사이에 녹색 및 파란색의 유기 발광층 패턴(도 1의 130G, 130B)이 배치될 수 있을 정도의 간격을 두는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유기 발광층 패턴(130R)의 선폭 및 두께는 상기 디스펜서 바늘의 내경, 상기 유동성 유기 재료의 점도와 토출 압력, 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리 및 토출 중인 디스펜서 바늘의 상기 기재 필름에 대한 이동속도를 조절함으로써 조절할 수 있다. 예를 들면, 내경 80 마이크로미터의 디스펜서 바늘을 이용하여 상기 기재 필름과 사이의 거리를 50 마이크로미터로 유지하면서 200mm/sec의 속도로, 점도 10cps의 유기발광재료 용액을 토출 할때, 두께 100nm, 폭 80 마이크로미터의 선패턴을 얻을 수 있다
이렇게 디스펜싱 방식으로 형성된 상기 유기 발광층 패턴(130R)은 잉크젯 방식 등으로 형성된 패턴에 비해 그 가장자리 부분이 고른 특성을 보인다. 이러한 특성은 전극 패턴상에 전사된 후의 유기 발광층의 프로파일(profile)에도 긍정적인 영향을 미친다.
도 3은 본 발명에 따른 도너 필름 제조 방법의 다른 실시예에 따라 제조된 유기 전계 방출소자용 도너 필름(102R)을 보이는 평면도이다. 본 실시예에 따른 제조 방법은 상기 도 2를 통해 설명한 제조 방법과 유사하나 직선형이 아닌 점선형 유기 발광층 패턴(131R)을 형성한다는 점에 차이가 있다.
이 경우, 시린지에 인가되는 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름(100) 사이의 거리를 주기적으로 변화시키면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름(100)을 직선 이동시켜 점선형 유기 발광층 패턴(131R)을 형성한다. 예를 들어 좀더 구체적으로 설명하면, 디스펜서 바늘을 상기 도 3의 세로 방향으로 이동시킨다. 그와 동시에 상기 디스펜서 바늘을 상기 기재 필름(100) 면에 수직한 방향으로 움직여 거리를 좁히고, 좁은 거리를 유지하면서 유동성 유기재료를 토출하여 점선형 유기 발광층 패턴(131R)의 한 조각을 형성한다. 토출을 멈춘 상태로 다음 조각이 시작되는 위치로 이동한 뒤 다시 토출을 시작하며, 이러한 동작을 주기적으로 반복한다. 유동성 유기재료의 토출을 멈출 때는 시린지에 인가되는 토출 압력을 낮출 수도 있고, 상기 디스펜서 바늘 입구에 밸브를 설치하여 상기 유동성 유기 재료의 흐름을 차단할 수도 있다. 또한 디스펜서 바늘과 기재 필름 사이의 거리는 상기 유동성 유기 재료 토출 시에만 가깝게 좁혀질 수 있다.
도 4는 본 발명에 따라 롤 형태의 도너 필름 제조하는 모습을 보이는 사시도이다. 시린지(60)에 마련된 디스펜서 바늘(61)을 중심으로 양쪽에 배치된 두 개의 롤(70, 80)을 이용하여 상기 기재 필름(100)을 진행시키면서 유기 발광층 패턴(130)을 형성한다. 상기 시린지(60)는 도시되지 않은 디스펜싱 헤드에 장착되어 상기 기재 필름의 폭 방향 및 상기 기재 필름(100) 면에 대해 수직한 방향으로 움직일 수 있다. 상기 기재 필름(100)의 펼쳐진 부분 아래에는 상기 기재 필름(100)을 지지하는 스테이지(미도시)가 마련될 수 있다.
상기 두 개의 롤은 그 기능에 따라 공급롤(70)과 권취롤(80)로 구분할 수 있다. 공급롤(70)에는 새 기재 필름(100)이 감겨있고, 권취롤(80)에는 유기 발광층 패턴(130)이 형성된 필름, 즉 완성된 도너 필름이 감기게 된다. 상기 공급롤(70)과 권취롤(80)을 이용하여 기재 필름(100)을 진행시키면서 이들 사이의 펼쳐진 구간에서 전술한 바와 같이, 디스펜싱 방식으로 유기 발광층 패턴(130)을 형성한다. 유기 발광층 패턴(130)이 형성된 후에는 상기 권취롤(80)에 감기기 전에 건조 과정을 거치는 것이 바람직하다.
이하에서는, 이상에서 설명한 방법으로 제조된 도너 필름을 이용하여 유기 전계 발광소자를 제조하는 방법을 일 실시예를 통해 설명한다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명에 따른 유기 전계 발광소자 제조 방법의 일 실시예를 보이는 공정도이다. 먼저 도 5a에 도시된 바와 같이, 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어진 기판(200)상에 제1전극(220) 및 서브픽셀 영역을 정의하는 뱅크(210)를 마련한다. 배면 발광 구조의 유기 전계 발광소자를 제조하는 경우, 상기 기판(200) 및 상기 제1전극(220)은 투명한 재료로 형성한다. 투명 전극 재료로는 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide)등이 사용될 수 있다. 전면 발광 구조인 경우, 상기 제1전극(220)은 반사막 역할을 하도록 금속 재료로 형성될 수 있다.
다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 기판(200) 위에 빨간색(R) 유기 발광층 패턴(130R)이 형성된 빨간색 도너 필름(101R)을 도입하고, 빨간색 서브픽셀 영역(R)에 상기 빨간색 유기 발광층 패턴(130R)이 대응되게 상기 빨간색 도너 필름(101R)을 정렬시킨다. 그런 다음, 상기 유기 발광층 패턴(130R)을 각각 대응되는 상기 제1전극(220) 위로 전사한다.
전사 방법은 전술한 기재 필름(100)에 따라 달라질 수 있다. 상기 기재 필름(100)이 광-열 변환층(120)을 포함하는 경우 상기 도너 필름(101R)의 배면에 레이저 빔 등의 빛을 조사한다. 이러한 빛의 조사는 종래의 레이저 전사 방식에서와 같이 전사하고자 하는 영역에 대하여 제한적으로 이루어질 수도 있고, 전면(全面)에 걸쳐 비제한적으로 이루어질 수도 있다. 한편, 상기 기재 필름(100)이 열전사용 기재 필름인 경우는 써멀 헤드 등을 이용하여 상기 도너 필름(101R)의 배면에 직접 열을 가할 수 있다. 이때에도 역시, 제한적으로 또는 비제한적으로 열을 가할 수 있다.
다음으로, 도 5c에 도시된 바와 같이, 빨간색 유기 발광층(130R)이 형성된 기판(200) 위에 녹색 유기 발광층 패턴(130G)이 마련된 녹색 도너 필름(101G)을 도입하고, 녹색 서브픽셀 영역에 상기 녹색 유기 발광층 패턴(130G)이 대응되게 상기 녹색 도너 필름(101G)을 정렬시킨다. 그런 다음, 상기 유기 발광층 패턴(130G)을 각각 대응되는 상기 제1전극(220) 위로 전사한다. 전사하는 방법은 상기 빨간색 도너 필름(101R)의 경우와 동일하다.
다음으로, 도 5d에 도시된 바와 같이, 빨간색 및 녹색 유기 발광층(130R, 130G)이 형성된 기판(200) 위에 파란색 유기 발광층 패턴(130B)이 마련된 파란색 도너 필름(101B)을 도입하고, 파란색 서브픽셀 영역에 상기 파란색 유기 발광층 패턴(130B)이 대응되게 상기 파란색 도너 필름(101G)을 정렬시킨다. 그런 다음, 상기 유기 발광층 패턴(130B)을 각각 대응되는 상기 제1전극(220) 위로 전사한다. 전사하는 방법은 상기 빨간색 및 녹색 도너 필름(101R, 101G)의 경우와 동일하다.
다음으로, 도 5e에 도시된 바와 같이, 빨간색, 녹색 및 파란색 유기 발광층(130R, 130G, 130B) 위에 제2전극(230)을 형성한다. 배면 발광 구조의 유기 전계 발광소자를 제조하는 경우 상기 제2전극(230)은 전도성이 우수하고 반사막으로서의 기능을 수행할 수 있는 금속막으로 형성될 수 있다. 다만, 상면 발광 구조의 경우에, 상기 제2전극(230)은 앞서 기술한 투명 전극 재료로 형성될 필요가 있다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다, 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니라 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
전술한 발명의 구성에 의하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법은 기재 필름상에 유기 발광층 패턴을 미리 형성함으로써 패턴 분리 문제를 해결하고, 유기 발광층 재료의 낭비를 방지한다. 또한 디스펜싱 방식으로 상기 유기 발광층 패턴을 형성함으로써 패턴 가장자리가 고른 형상을 가지도록 하는 효과가 있다.
또한, 디스펜싱 방식을 이용하여 낱장 또는 롤 형태로 제공된 도너 필름을 이용하여 효율적으로 유기 전계 발광소자를 제조하는 방법을 제공하는 효과가 있다.
Claims (15)
- 기재 필름을 마련하는 단계; 및상기 기재 필름 위에, 디스펜서 바늘을 통해 유동성 유기재료를 토출하는 디스펜싱 방식으로 유기 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 유기 발광층 패턴 형성 단계는, 소정 간격마다 단일 색상의 직선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 제2항에 있어서,유동성 유기재료의 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리를 일정하게 유지하면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름을 직선 이동시켜 직선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 유기 발광층 패턴 형성 단계는, 소정 간격마다 단일 색상의 점선형 유 기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 제4항에 있어서,유동성 유기재료의 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리를 주기적으로 변화시키면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름을 직선 이동시켜 점선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 기재 필름을 마련하는 단계는, 공급롤에 말려있는 기재 필름을 디스펜서 바늘을 중심으로 건너편에 마련된 권취롤에 감으면서 상기 기재 필름을 진행시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 방광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 유기 발광층 패턴 형성 단계는, 상기 디스펜서 바늘의 내경, 상기 유동성 유기 재료의 점도와 토출 압력, 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리 및 토출 중인 디스펜서 바늘의 상기 기재 필름에 대한 이동속도를 조절하여 상기 유기 발광층 패턴의 선폭 및 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자용 도너 필름의 제조 방법.
- 기판상에 제1전극 패턴을 마련하는 단계;기재 필름상에 상기 제1전극 패턴에 대응되는 유기 발광층 패턴이 형성된 도너 필름을 마련하는 단계;상기 기판과 상기 도너 필름을 정렬시키고 전사하여 상기 제1전극 패턴 위에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및상기 유기 발광층 위에 제2전극 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 도너 필름 마련 단계는,기재 필름을 마련하는 단계; 및기재 필름상에 디스펜서 바늘을 통해 유동성 유기재료를 토출하는 디스펜싱 방식으로 유기 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 도너 필름 마련 단계는 각 원색에 해당하는 유기 발광층 패턴이 형성된 도너 필름을 각각 마련하고,상기 유기 발광층 형성 단계는 상기 기판과 상기 각 원색에 해당하는 각각의 도너 필름을 정렬시키고 순차적으로 전사하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 유기 발광층 패턴 형성 단계는, 소정 간격마다 단일 색상의 직선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
- 제10항에 있어서,유동성 유기재료의 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리를 일정하게 유지하면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름을 직선 이동시켜 직선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 유기 발광층 패턴 형성 단계는, 소정 간격마다 단일 색상의 점선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,유동성 유기재료의 토출 압력 및 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리를 주기적으로 변화시키면서, 상기 디스펜서 바늘 또는 상기 기재 필름을 직선 이동시켜 점선형 유기 발광층 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 기재 필름을 마련하는 단계는, 디스펜서 바늘을 중심으로 양쪽에 배치된 두 개의 롤을 이용하여 상기 기재 필름을 진행시키고,상기 유기 발광층 형성 단계는, 상기 기판을 중심으로 양쪽에 배치된 두 개의 롤을 이용하여 상기 도너 필름을 진행시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 방광소자의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 유기 발광층 패턴 형성 단계는, 상기 디스펜서 바늘의 내경, 상기 유동성 유기 재료의 점도와 토출 압력, 상기 디스펜서 바늘과 상기 기재 필름 사이의 거리 및 토출 중인 디스펜서 바늘의 상기 기재 필름에 대한 이동속도를 조절하여 상기 유기 발광층 패턴의 선폭 및 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.
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US5110615A (en) * | 1990-01-31 | 1992-05-05 | Asymptotic Technologies, Inc. | Method for dispensing viscous materials a constant height above a workpiece surface |
US5998085A (en) * | 1996-07-23 | 1999-12-07 | 3M Innovative Properties | Process for preparing high resolution emissive arrays and corresponding articles |
US6114088A (en) * | 1999-01-15 | 2000-09-05 | 3M Innovative Properties Company | Thermal transfer element for forming multilayer devices |
TW512543B (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing an electro-optical device |
US6711466B2 (en) * | 2002-01-07 | 2004-03-23 | International Business Machines Corporation | Method and system for maintaining a desired distance between a dispenser and a surface |
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2006
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Publication number | Publication date |
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US20070151659A1 (en) | 2007-07-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20060105 |
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PG1501 | Laying open of application | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
PN2301 | Change of applicant |
Patent event date: 20081120 Comment text: Notification of Change of Applicant Patent event code: PN23011R01D |
|
PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |