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KR20070019137A - Flat optical waveguide with wavelength division multiplexing filter and its manufacturing method - Google Patents

Flat optical waveguide with wavelength division multiplexing filter and its manufacturing method Download PDF

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KR20070019137A
KR20070019137A KR1020050073641A KR20050073641A KR20070019137A KR 20070019137 A KR20070019137 A KR 20070019137A KR 1020050073641 A KR1020050073641 A KR 1020050073641A KR 20050073641 A KR20050073641 A KR 20050073641A KR 20070019137 A KR20070019137 A KR 20070019137A
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KR
South Korea
Prior art keywords
optical waveguide
division multiplexing
wavelength division
filter
optical
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Ceased
Application number
KR1020050073641A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
노병섭
임정운
최민호
박철희
박해령
Original Assignee
한국광기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국광기술원 filed Critical 한국광기술원
Priority to KR1020050073641A priority Critical patent/KR20070019137A/en
Publication of KR20070019137A publication Critical patent/KR20070019137A/en
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Abstract

본 발명은 양방향용 평탄형 광도파로를 사용하는 구조에서 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 평탄형 광도파로의 파장분할 다중화 필터를 직접 부착하는 부착형과 광도파로 단면에 직접 파장분할 다중화 필터를 코팅하는 필터 코팅형에 관한 것이다. 본 발명의 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로는 상기 광도파로의 단면에 특정한 파장만을 선택하여 빛을 반사 및 투과시키는 광필터를 직접 부착하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 광도파로의 제작공정이 간소화되고, 공정비용의 절감 및 공정의 간소화를 꾀할 수 있다.The present invention relates to a flat type optical waveguide having a wavelength division multiplexing filter and a method for manufacturing the same in a structure using a bidirectional flat type optical waveguide, and an attachment type and an optical waveguide directly attaching a wavelength division multiplexing filter to a flat type optical waveguide. A filter coating type for coating a wavelength division multiplexing filter directly on a cross section. The planar optical waveguide having the wavelength division multiplexing filter of the present invention is characterized by directly attaching an optical filter for reflecting and transmitting light by selecting only a specific wavelength on the cross section of the optical waveguide. According to the present invention, the manufacturing process of the optical waveguide can be simplified, the process cost can be reduced, and the process can be simplified.

평탄형 광도파로, 파장분할 다중화 Flat waveguide, wavelength division multiplexing

Description

파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로 및 이의 제조 방법{Architecture of Optical WDM Filter on Planar Lightwave Circuit and Manufacturing Method thereof}Flat waveguide with wavelength-division multiplexing filter and its manufacturing method {Architecture of Optical WDM Filter on Planar Lightwave Circuit and Manufacturing Method}

도 1a와 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 파장분할 다중화 필터 코팅형의 구조이다.1a and 1b is a structure of a wavelength division multiplexed filter coating type according to an embodiment of the present invention.

도 2a와 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 파장분할 다중화 필터 부착형 구조의 단면도이다. 2A and 2B are cross-sectional views of a wavelength division multiplexing filter attachment structure according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 서브마운트 2 : 파장분할 다중화 코팅면1: submount 2: wavelength division multiplexed coating surface

3 : 광수신용 포토다이오드 4 : TIA(Trans Impedance Amplifier)3: photodiode for light reception 4: TIA (Trans Impedance Amplifier)

5 : 레이저다이오드(LD)와 모니터용 포토다이오드(mPD) 일체형 5: Integrated laser diode (LD) and monitor photodiode (mPD)

6 : 광도파로(웨이브가이드)6: optical waveguide (wave guide)

7 : 평탄형 광도파로(PLC) 8 : 실리콘 웨이퍼7: planar optical waveguide (PLC) 8: silicon wafer

10 : 실리카 클래딩 11 : 실리카 코어10: silica cladding 11: silica core

21 : 파장분할 다중화 필터 22 : 포토다이오드를 포함한 실리콘광학벤치21: wavelength division multiplexing filter 22: silicon optical bench including photodiode

본 발명은 양방향용 평탄형 광도파로를 사용하는 구조에서 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평탄형 광도파로의 파장분할 다중화 필터를 직접 부착하는 부착형과 광도파로 단면에 직접 파장분할 다중화 필터를 코팅하는 필터 코팅형 광도파로 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flat type optical waveguide having a wavelength division multiplexing filter and a method for manufacturing the same in a structure using a bidirectional flat type optical waveguide, and more particularly, an attachment for directly attaching a wavelength division multiplexing filter of a flat optical waveguide. The present invention relates to a filter-coated optical waveguide and a method for manufacturing the same.

현재 사용되고 있는 평탄형 광도파로(PLC)는 실리콘(Si) 웨이퍼 위에 실리카(Silica) 또는 폴리머(Polymer)로 클래딩과 코어를 형성하여 광신호가 진행할 수 있는 광도파로를 형성한다. 이러한 광도파로에 양방향 진행의 광신호를 전송하는데 있어서 광도파로의 특정 위치를 절단하여 홈을 만든 후에 특정 파장만을 반사 및 투과 시키는 파장분할 다중화 필터를 삽입하는 파장분할 다중화 필터 삽입형 구조가 사용되고 있다. 현재 사용되고 있는 구조의 경우 파장분할 다중화 필터를 삽입하기 위해 정밀하게 평탄형 광도파로(PLC)의 특정 위치를 절단하고 필터를 삽입하여야 하는 공정이 필요해 대량 생산에 제한을 받게 된다.Currently used flat optical waveguides (PLCs) form a cladding and a core of silica or polymer on a silicon wafer to form an optical waveguide through which an optical signal can proceed. In the transmission of an optical signal of bidirectional propagation to such an optical waveguide, a wavelength division multiplexing filter inserting structure is used in which a wavelength division multiplexing filter which cuts a specific position of the optical waveguide to make a groove and then reflects and transmits only a specific wavelength is inserted. The current structure is limited in mass production because it requires a process of precisely cutting a specific position of a flat optical waveguide (PLC) and inserting a filter to insert a wavelength division multiplexing filter.

따라서, 위에서 상술한 문제점을 해결하기 위해서는 파장분할 다중화 필터의 형성 방법이 개선되어야 할 필요가 있으며 이를 감안하여 기존의 파장분할 다중화 필터를 삽입하지 않고 파장분할 다중화 필터를 장착할 수 있는 새로운 방법이 필요한 것이다.Therefore, in order to solve the above problems, the method of forming the wavelength division multiplexing filter needs to be improved, and in view of this, a new method for mounting the wavelength division multiplexing filter without inserting the existing wavelength division multiplexing filter is needed. will be.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로써, 그 목적은 파장분할 다중화 필터를 삽입하지 않고 파장분할 다중화 필터를 장착한 광도파로 및 이의 제조방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide an optical waveguide and a method of manufacturing the same, which are equipped with a wavelength division multiplexing filter without inserting a wavelength division multiplexing filter.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제 1측면에 따른 본 발명은 광소자 및 광도파로가 실장된 양방향용 평탄형 광도파로에 있어서, 상기 광도파로의 단면에 특정한 파장만을 선택하여 빛을 반사 및 투과시키는 광필터 코팅층을 구비하는 것을 특징으로 하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로를 제공한다. 이 경우 상기 광필터는 바람직하게는 파장분할 다중화(WDM) 필터이다.In order to solve the above problems, the present invention according to the first aspect of the present invention provides a flat optical waveguide for bidirectional mounting in which an optical element and an optical waveguide are mounted, and reflects and transmits light by selecting only a specific wavelength on a cross section of the optical waveguide. Provided is a planar optical waveguide having a wavelength division multiplexing filter comprising an optical filter coating layer. In this case, the optical filter is preferably a wavelength division multiplexing (WDM) filter.

제 2측면에 따른 본 발명은 광소자 및 광도파로가 실장된 양방향용 평탄형 광도파로에 있어서, 상기 광도파로의 단면에 특정한 파장만을 선택하여 빛을 반사 및 투과시키는 광필터가 직접 부착되어진 것을 특징으로 하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로를 제공한다. 이 경우 상기 광필터는 바람직하게는 파장분할 다중화(WDM) 필터이다.According to the second aspect of the present invention, in the bidirectional flat optical waveguide in which the optical element and the optical waveguide are mounted, an optical filter for directly reflecting and transmitting light by selecting only a specific wavelength is attached directly to the end face of the optical waveguide. A flat optical waveguide in which a wavelength division multiplexing filter is formed is provided. In this case, the optical filter is preferably a wavelength division multiplexing (WDM) filter.

본 발명은 상기 제 1측면에 따른 본 발명의 평탄형 광도파로를 제조하기 위하여, 코어와 클래드를 포함하는 광도파로를 형성하는 단계; 및 상기 코어부를 덮도록 상기 광도파로의 일측면을 파장분할 다중화 필터로 코팅하는 단계를 포함하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로의 제조방법을 제공한다.The present invention comprises the steps of: forming an optical waveguide including a core and a clad to manufacture the planar optical waveguide of the present invention according to the first aspect; And coating one side of the optical waveguide with a wavelength division multiplexing filter to cover the core part.

또한, 본 발명은 상기 제 2측면에 따른 본 발명의 평탄형 광도파로를 제조하기 위하여, 코어와 클래드를 포함하는 광도파로를 형성하는 단계; 및 상기 코어부를 덮도록 상기 광도파로의 일측면에 파장분할 다중화 필터를 직접 부착하는 단계를 포함하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로의 제조방법을 제공한다.In addition, the present invention comprises the steps of forming an optical waveguide comprising a core and a clad to produce a planar optical waveguide of the present invention according to the second aspect; And directly attaching a wavelength division multiplexing filter to one side of the optical waveguide so as to cover the core portion.

이와 같이 본 발명에서는 광소자 및 광도파로가 실장된 양방향용 평탄형 광도파로(PLC)를 사용하는 구조에서 원하는 파장만을 선택하여 반사 및 투과시키는 파장분할 다중화 필터를 형성하는 새로운 방법으로 광도파로에 필터를 삽입하기 위해 평탄형 광도파로(PLC)를 절단하여 삽입하지 않고, 파장분할 다중화 필터를 PLC 단면에 직접 부착하는 직접 부착형과 평탄형 광도파로의 단면에 직접 파장분할 다중화 코팅과 동일한 파장분할 다중화 코팅을 하는 파장분할 다중화 코팅형을 제안한다. As described above, in the present invention, the optical waveguide filter is a new method of forming a wavelength division multiplexing filter that selects and reflects and transmits only a desired wavelength in a structure using a bidirectional flat optical waveguide (PLC) mounted with an optical device and an optical waveguide. The same wavelength division multiplexing as the direct wavelength division multiplexing coating directly attached to the cross-section of the flat-type optical waveguide and the direct-attach wavelength division multiplexing filter directly attached to the PLC cross-section without cutting and inserting the flat optical waveguide (PLC) to insert the A wavelength division multiplexed coating type for coating is proposed.

이러한 방법은 기존의 공정에 비해 간단하고 정밀도를 요하는 평탄형 광도파로의 절단 공정을 제거하여 공정비용 절감 등의 효과를 얻을 수 있을 뿐만 아니라 파장분할 다중화 코팅형은 파장분할 다중화 필터 제작시 필요한 유리판(glass)을 사용하지 않기 때문에 비용 절감 효과를 극대화시킬 수 있다.This method can reduce the process cost by eliminating the cutting process of the flat optical waveguide, which is simpler and more accurate than the conventional process, and the wavelength division multiplexing coating type is required for manufacturing the wavelength division multiplexing filter. Since no glass is used, cost savings can be maximized.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가 지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to the components of the following drawings, the same components only have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings, it is determined that may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention Detailed descriptions of well-known functions and configurations will be omitted.

도 1a 는 본 발명의 일 실시예에 따른 파장분할 다중화 필터 코팅형의 사시도이다.1A is a perspective view of a wavelength division multiplexing filter coated type according to an embodiment of the present invention.

상기 실시예로서 제시되는 파장분할 다중화 필터는 광도파로의 일측 전면에 코팅되는 방법을 개략적으로 나타낸 것이다.The wavelength division multiplexing filter presented as the above embodiment schematically shows a method of coating on one side of the optical waveguide.

본 발명의 파장분할 다중화 필터를 포함하는 광도파로는 서브마운트(1), 파장분할 다중화 필터 코팅부(2), 광수신용 포토다이오드(3), 포토다이오드에서 발생되는 전류신호를 전압신호로 변화 및 증폭해주는 TIA(트랜스임피던스 앰플리파이어)(4), 레이저다이오드(5), 광도파로(웨이브 가드)(6) 및 평탄형 광도파로(Planar Lightwave Circuit, 'PLC')(7)를 포함한다.The optical waveguide including the wavelength division multiplexing filter of the present invention converts the current signal generated from the submount (1), the wavelength division multiplexing filter coating (2), the photoreceiving photodiode (3), the photodiode into a voltage signal, and It includes a TIA (transimpedance amplifier) 4, a laser diode 5, an optical waveguide (wave guard) 6, and a planar lightwave circuit (PLC) 7 for amplifying.

도 1a를 참조하면, 광소자 및 광도파로가 실장된 양방향(BiDi)용 평탄형 광도파로(PLC) 구조에서 광도파로(6)를 이용하여 양방향으로 진행되는 광신호중 평탄형 광도파로(7)를 이용하여 진행되어 포토다이오드로 이동될 광신호는 파장분할 다중화 필터(2)에 의해서 레이저다이오드(5)로 진행되지 않도록 차단되며 또한, 포토다이오드(3)로 입사되기 위해서 파장분할 다중화 필터를 투과한다.Referring to FIG. 1A, a planar optical waveguide 7 of optical signals traveling in both directions using an optical waveguide 6 in a bidirectional flat optical waveguide (PLC) structure in which an optical device and an optical waveguide are mounted is shown. By using the wavelength division multiplexing filter 2, the optical signal to be moved to the photodiode is blocked so as not to proceed to the laser diode 5, and also passes through the wavelength division multiplexing filter to enter the photodiode 3. .

도 1b는 파장분할 다중화 필터가 구비된 광도파로만을 나타낸 것인데, 상기 광도파로에는 실리콘 웨이퍼(8), 실리카 클래딩(10), 실리카 코어(11) 및 파장분할 다중화 필터 코팅부(2)를 포함한다. 도 1b의 광도파로에서 상기 파장분할 다중화 필터는 상기 광도파로의 일측에 코팅이 된다.FIG. 1B shows only an optical waveguide with a wavelength division multiplexing filter, which includes a silicon wafer 8, a silica cladding 10, a silica core 11, and a wavelength division multiplexing filter coating 2. . In the optical waveguide of FIG. 1B, the wavelength division multiplexing filter is coated on one side of the optical waveguide.

도 1b를 참조하면, 레이저 다이오드에서 나온 광신호는 파장분할 다중화(WDM) 필터에 의해서 포토다이오드로 입사되지 않고 반사되어 광도파로를 따라 진행한다. 이러한 평탄형 광도파로는 실리콘 웨이퍼(8)를 기판으로 실리카 클래딩(10)과 실리카 코어(11)로 구성된다. Referring to FIG. 1B, the optical signal emitted from the laser diode is reflected by the wavelength division multiplexing (WDM) filter without being incident on the photodiode and travels along the optical waveguide. The planar optical waveguide comprises a silicon cladding 10 and a silica core 11 as a substrate.

WDM (Wavelength Division Multiplexing) 필터 코팅은 광학설계에 따라 100여층 이상의 박막을 광도파로의 단면에 증착함으로써, 특정파장대역은 통과시키고 나머지 파장은 반사시키는 작용을 하는 광학 필터이다.WDM (Wavelength Division Multiplexing) filter coating is an optical filter that functions to pass a specific wavelength band and reflect the remaining wavelengths by depositing more than 100 layers of thin films on the cross section of the optical waveguide according to the optical design.

도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 파장분할 다중화 필터를 직접 부착한 광도파로 패키지의 사시도이다.2A is a perspective view of an optical waveguide package directly attaching a wavelength division multiplexing filter according to another exemplary embodiment of the present invention.

상기 실시예에서, 파장분할 다중화 필터를 직접 부착한 광도파로 패키지는 파장분할 다중화 필터(21), 포토다이오드를 포함하는 실리콘광학벤치(Silicon Optical Bench, SiOB)(22), TIA(4), 레이저 다이오드(5), 광도파로(웨이브 가이드)(6) 및 평탄형 광도파로(PLC)(7)를 포함한다.In the above embodiment, the optical waveguide package to which the wavelength division multiplexing filter is directly attached includes a silicon optical bench (SiOB) 22 including a wavelength division multiplexing filter 21 and a photodiode 22, a TIA 4, and a laser. A diode 5, an optical waveguide (wave guide) 6 and a planar optical waveguide (PLC) 7.

상기 실시예는, 상기 파장분할 다중화 필터가 직접 부착되는 방법을 개략적으로 나타낸 것이다.This embodiment schematically shows how the wavelength division multiplexing filter is directly attached.

도 2a를 참조하면, 상기 파장분할 다중화 필터를 직접 부착한 광도파로 패키지의 구조는 상기 도 1a의 광도파로 패키지와 구성상 거의 유사하다. 도 2b는 상기 파장분할 다중화 필터를 직접 부착한 광도파로 부분만을 나타낸 사시도인데, 도 2b를 참조하면, 실리카 코어의 단면을 전부 덮도록 상기 다중화 필터가 직접 부착된 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 2A, the structure of the optical waveguide package to which the wavelength division multiplexing filter is directly attached is substantially similar in structure to the optical waveguide package of FIG. 1A. FIG. 2B is a perspective view showing only an optical waveguide portion directly attaching the wavelength division multiplexing filter. Referring to FIG. 2B, it can be seen that the multiplexing filter is directly attached to cover the entire cross section of the silica core.

필터를 직접 광도파로의 단면에 밀착시킨 후 광도파로의 단면과 필터와의 공간에 발생할 수 있는 빛의 굴절을 방지하기 위하여 광도파로의 코어와 동일한 굴절률을 가지고 있는 굴절률 매칭 오일을 사용하여 공간을 채워준다. 그런 후에 실리콘 에폭시를 이용하여 필터와 광도파로를 붙인 후 실리콘 에폭시가 경화되도록 UV 빛을 방사시켜준다.Directly adhere the filter to the cross section of the optical waveguide and fill the space with refractive index matching oil having the same refractive index as the core of the optical waveguide to prevent the refraction of light that may occur in the cross section of the optical waveguide and the space between the filter. give. Thereafter, the silicon epoxy is used to attach the filter and the optical waveguide and then emit UV light to cure the silicon epoxy.

본 발명에서는 광소자 및 광도파로가 실장된 양방향용 평탄형 광도파로(PLC)를 사용하는 구조에서 원하는 파장만을 선택하여 반사 및 투과시키는 파장분할 다중화 필터를 형성하는 새로운 방법으로 광도파로에 필터를 삽입하기 위해 평탄형 광도파로를 절단하여 삽입하지 않고, 파장분할 다중화 필터를 평탄형 광도파로 단면에 직접 부착하는 직접 부착형과 평탄형 광도파로의 단면에 직접 파장분할 다중화 코팅과 동일한 파장분할 다중화 코팅을 하는 파장분할 다중화 코팅형을 제안한다. In the present invention, a filter is inserted into an optical waveguide as a new method of forming a wavelength division multiplexing filter that selects, reflects, and transmits only a desired wavelength in a structure using a bidirectional flat optical waveguide (PLC) mounted with an optical device and an optical waveguide. Instead of cutting and inserting the flat optical waveguide, a wavelength-division multiplexing coating similar to the direct-attach type and the direct wavelength division multiplexing coating on the cross section of the flat optical waveguide is directly attached to the cross section of the flat optical waveguide without cutting and inserting the flat optical waveguide. A wavelength division multiplexed coating type is proposed.

이러한 방법은 기존의 공정에 비해 간단하고 정밀도를 요하는 평탄형 광도파로의 절단 공정을 제거하여 공정비용 절감 등의 효과를 얻을 수 있을 뿐만 아니라 파장분할 다중화 코팅형은 파장분할 다중화 필터 제작시 필요한 유리판(glass)을 사용하지 않기 때문에 비용 절감 효과를 극대화시킬 수 있다.This method can reduce the process cost by eliminating the cutting process of the flat optical waveguide, which is simpler and more accurate than the conventional process, and the wavelength division multiplexing coating type is required for manufacturing the wavelength division multiplexing filter. Since no glass is used, cost savings can be maximized.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영 역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and modified within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be appreciated that it can be changed.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 광도파로의 제작공정이 간소화되고, 공정비용의 절감 및 공정의 간소화를 꾀할 수 있다.As described above, according to the present invention, the manufacturing process of the optical waveguide can be simplified, and the process cost can be reduced and the process can be simplified.

Claims (6)

광소자 및 광도파로가 실장된 양방향용 평탄형 광도파로에 있어서,A bidirectional flat optical waveguide in which an optical element and an optical waveguide are mounted, 상기 광도파로의 단면에 특정한 파장만을 선택하여 빛을 반사 및 투과시키는 광필터 코팅층을 구비하는 것을 특징으로 하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로.And an optical filter coating layer for reflecting and transmitting light by selecting only a specific wavelength on a cross section of the optical waveguide. 제 1항에 있어서, 상기 광필터는 파장분할 다중화(WDM) 필터인 것을 특징으로 하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로.The planar optical waveguide according to claim 1, wherein the optical filter is a wavelength division multiplexing (WDM) filter. 광소자 및 광도파로가 실장된 양방향용 평탄형 광도파로에 있어서,A bidirectional flat optical waveguide in which an optical element and an optical waveguide are mounted, 상기 광도파로의 단면에 특정한 파장만을 선택하여 빛을 반사 및 투과시키는 광필터가 직접 부착되어진 것을 특징으로 하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로.A flat type optical waveguide having a wavelength division multiplexing filter, wherein an optical filter for reflecting and transmitting light by selecting only a specific wavelength is directly attached to a cross section of the optical waveguide. 제 3항에 있어서, 상기 광필터는 파장분할 다중화(WDM) 필터인 것을 특징으로 하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로.4. The flat optical waveguide according to claim 3, wherein the optical filter is a wavelength division multiplexing (WDM) filter. 코어와 클래드를 포함하는 광도파로를 형성하는 단계; 및Forming an optical waveguide comprising a core and a clad; And 상기 코어부를 덮도록 상기 광도파로의 일측면을 파장분할 다중화 필터로 코 팅하는 단계를 포함하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로의 제조방법.And coating one side of the optical waveguide with a wavelength division multiplexing filter to cover the core portion. 코어와 클래드를 포함하는 광도파로를 형성하는 단계; 및Forming an optical waveguide comprising a core and a clad; And 상기 코어부를 덮도록 상기 광도파로의 일측면에 파장분할 다중화 필터를 직접 부착하는 단계를 포함하는 파장분할 다중화 필터가 형성된 평탄형 광도파로의 제조방법.And attaching a wavelength division multiplexing filter directly to one side of the optical waveguide so as to cover the core portion.
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