KR20050095400A - Low temperature co-firing ceramics and the making method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 850℃ 이하의 낮은 온도 범위에서 소결이 가능한 TiTe3O8-ZnNb2O 6계의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상기한 유전체 세라믹 조성물은; TiO2와 TeO2 의 분말과, ZnO와 Nb2O 5의 분말을 원하는 정량비로 평량하고 알코올을 분산매로 하고 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간동안 혼합 분쇄(Ball-mill)하는 과정, 상기 혼합 분쇄되어 제공된 TiTe3O8와 ZnNb2O6를 100℃의 온도에서 24시간 동안 건조시키고, 상기 건조가 끝난 TiTe3 O8분말은 650℃에서 3시간 동안 하소시키며 상기 ZnNb2O6분말은 1000℃에서 3시간 동안 하소시키는 과정, 상기 하소한 TiTe3O8와 ZnNb2O6분말을 몰비에 따라 평량하여 알코올을 분산매로 하고 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간동안 혼합 분쇄(Ball-mill)를 재 수행하는 과정, 상기 혼합 분쇄된 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더를 건조하고 100메쉬(mesh) 단위를 갖는 용구(sieve)를 이용하여 채가름을 수행하는 과정, 상기 채가름이 행해진 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더에 일정한 압력을 가하여 성형체를 얻는 과정 및, 상기 성형체를 720℃~820℃의 소결 온도범위에서 10분 내지 1시간 동안의 소결유지 시간내에서 소결시키는 과정에 의해 제조되며, 또한 상기 혼합 분쇄된 TiTe3O8-ZnNb2O6 파우더의 소결온도를 낮추기 위하여 저온소결용첨가제가 중량비(WT%)로 첨가되는 과정이 더 포함되게 된다.The present invention relates to a microwave dielectric ceramic composition for low-temperature sintering of TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 system and a method for manufacturing the same, which can be sintered at a low temperature range of 850 ° C. or less. The powder of TiO 2 and TeO 2 and the powder of ZnO and Nb 2 O 5 are weighed in a desired ratio, the alcohol is used as a dispersion medium, and mixed pulverized for a predetermined time using zirconia ball, the mixed pulverization is performed. The TiTe 3 O 8 and ZnNb 2 O 6 provided were dried at a temperature of 100 ° C. for 24 hours, the dried TiTe 3 O 8 powder was calcined at 650 ° C. for 3 hours and the ZnNb 2 O 6 powder was dried at 1000 ° C. The calcining process for 3 hours, the calcined TiTe 3 O 8 and ZnNb 2 O 6 powder to a basis weight according to the molar ratio to the alcohol as a dispersion medium and using a zirconia ball to perform a mixed milling (Ball-mill) for a predetermined time Process, drying and pulverizing the mixed and ground TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 powder and using a sieve having a mesh unit of 100 mesh (sieve), the TiTe 3 O 8 - constant pressure on ZnNb 2 O 6 powder And a process of obtaining a formed body and, is made by a process of sintering in the sintering holding time of the formed body at the sintering temperature range of 720 ℃ ~ 820 ℃ for 10 minutes to 1 hour, and the mixed and pulverized TiTe 3 O 8 - In order to lower the sintering temperature of the ZnNb 2 O 6 powder, the low temperature sintering additive is further included in the weight ratio (WT%).
상기한 과정에 의해 제조된 유전체 세라믹 조성물은 저온 소결 다층기판의 제조에 이용될 수 있어 적층 칩 필터 및 안테나 등에 요구되는 특성을 제공할 수 있게 된다. The dielectric ceramic composition prepared by the above process can be used in the manufacture of a low temperature sintered multilayer substrate to provide the characteristics required for the laminated chip filter and antenna.
Description
본 발명은 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 큰 유전율과 품질계수를 가지며 소결온도가 850℃이하의 낮은 온도 범위에서 소결이 가능하도록 한 TiTe3O8-ZnNb2O6 계의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering and a method of manufacturing the same. More specifically, the present invention relates to a TiTe 3 O 8 -having a high dielectric constant and quality factor and enabling sintering at a low temperature range of 850 ° C or lower. A microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering of a ZnNb 2 O 6 system and a method of manufacturing the same.
현재, 개인 휴대용 통신 단말기와 이동통신 및 위성통신 등 마이크로파를 이용하는 이동통신시스템의 보급이 증대되고 있고, 그러한 이동 정보통신 분야의 발전에 따라 이동통신시스템 단말기 및 그에 사용되는 부품들에 대하여 소형화, 고 경량화, 표면 실장화가 가능한 적층형 부품의 개발이 절실히 요구되고 있다.Nowadays, the spread of personal communication devices and mobile communication systems using microwaves such as mobile communication and satellite communication is increasing. With the development of the mobile information communication field, the mobile communication system terminals and parts used therein are miniaturized and high. There is an urgent need for the development of laminated components that can be lightweight and surface mounted.
이는 종래 이동 통신용 기기의 핵심 수동 부품 예컨대 필터 및 안테나 등의 소자는 소형화를 하는데 어려운 점이 있었으나, 근래들어 PCB 기판의 집적화와 상기 수동 부품의 모듈화를 동시에 구현할 수 있도록 하는 다중칩 모듈 기법 등이 제안되고 있다. This is difficult to miniaturize the core passive components of the conventional mobile communication devices, such as filters and antennas, but in recent years, a multi-chip module technique is proposed that allows the integration of the PCB substrate and the modularization of the passive components at the same time. have.
상기 다중칩 모듈 기법은 은(Ag) 및 구리(Cu) 등의 전극과 동시 소성이 가능한 저온 소결 소자를 이용할 경우 소형화 된 후막 적층 칩 소자의 개발이 가능하도록 하는 것이다. The multi-chip module technique enables the development of a miniaturized thick film stacked chip device when using a low temperature sintered device capable of co-firing with an electrode such as silver (Ag) and copper (Cu).
상기 저온 소결 소자를 이용하도록 하는 저온 동시 소성 세라믹(Low Temperature Co-fired Ceramic ; LTCC) 기술은 소자 및 회로가 인쇄된 세라믹 후막 그린 시트들을 적층하고 비어(Via) 및 측면 인터커넥션을 구성하여 회로를 3차원적으로 연결한 후, 이를 대략 1000℃ 이하의 저온에서 동시 소성하여 구현하는 일체화된 세라믹 모듈을 말한다. 상기한 일체화된 세라믹 모듈은 배선의 폭을 10㎛ 정도 수준까지 유지할 수 있고 50층 이상의 적층 구조를 채택할 수 있으며 층간의 두께는 100㎛정도로서 매우 얇게 유지할 수 있어 단위 면적당 또는 단위 중량당 배선 밀도를 증대시킬 수 있다.Low Temperature Co-fired Ceramic (LTCC) technology, which utilizes the low temperature sintered element, stacks ceramic thick film green sheets printed with the element and the circuit, forms vias and side interconnections, and After connecting three-dimensionally, it refers to an integrated ceramic module which is realized by co-firing at a low temperature of about 1000 ° C. or less. The integrated ceramic module can maintain the width of the wiring to the level of about 10㎛ and can adopt a laminated structure of 50 layers or more, and the thickness between the layers can be kept very thin, about 100㎛, so that the wiring density per unit area or per unit weight can be maintained. You can increase it.
따라서, 상기 저온 동시 소성 세라믹 기술을 이용하면 인덕터, 캐피시터, 저항을 하나의 모듈 내에 리드선 없이 구현할 수 있으므로, 패키지의 크기를 현저하게 줄일 수 있었다.Accordingly, the low-temperature cofired ceramic technology enables the inductor, the capacitor, and the resistor to be implemented without a lead wire in one module, thereby significantly reducing the size of the package.
그러나, 앞으로서의 통신 시스템은 수십㎓의 초고주파 대역을 사용할 수 밖에 없는데 이때 10㎓ 이상으로 주파수가 상승하게 되면 λ/4 의 크기가 저온 동시 세라믹 모듈의 크기에 비슷하게 접근하고, 30㎓ 이상의 주파수가 되면 파장의 길이가 밀리미터 범위까지 떨어지게 된다. However, future communication systems are forced to use dozens of ultra-high frequency bands. When the frequency rises above 10 GHz, the size of λ / 4 approaches the size of the low-temperature simultaneous ceramic module, The wavelength will then fall to the millimeter range.
이에 따라 유전율이 높은 고유전율 저온 소결용 마이크로파 유전체 세락믹 조성물이 필요하게 되었다.Accordingly, there is a need for a high dielectric constant microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering.
이에 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 850℃ 이하의 낮은 온도 범위에서 소결이 가능한 TiTe3O8-ZnNb2O6계의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and provides a TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6- based microwave dielectric ceramic composition for low-temperature sintering capable of sintering at a low temperature range of 850 ℃ or less and a method of manufacturing the same. Has its purpose.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물은, 소결온도가 850℃ 이하이고 일정 시간의 소결유지시간과 15~40정도의 유전율을 갖도록 몰비에 따라 혼합되는 TiTe3O8- ZnNb2O6로 이루어진 파우더에 소결온도를 낮추는데 사용되는 저온소결용첨가제가 중량비(WT%)로 첨가되어 제조되는 것을 특징으로 한다.The microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering of the present invention for achieving the above object, the sintering temperature is 850 ℃ or less and mixed according to the molar ratio so as to have a sintering holding time of about a certain time and a dielectric constant of about 15 to 40 TiTe 3 O 8- The low temperature sintering additive used to lower the sintering temperature in the powder made of ZnNb 2 O 6 is characterized in that it is prepared by adding in a weight ratio (WT%).
또한, 본 발명의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물의 제조방법은, TiO2와 TeO2 의 분말과, ZnO와 Nb2O5의 분말을 원하는 정량비로 평량하고 알코올을 분산매로 하고 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간동안 혼합 분쇄(Ball-mill)하는 과정, 상기 혼합 분쇄되어 제공된 TiTe3O8와 ZnNb2O6를 100℃의 온도에서 24시간 동안 건조시키고, 상기 건조가 끝난 TiTe3O8분말은 650℃에서 3시간 동안 하소시키며 상기 ZnNb2O6분말은 1000℃에서 3시간 동안 하소시키는 과정, 상기 하소한 TiTe3O8와 ZnNb2O6분말을 몰비에 따라 평량하여 알코올을 분산매로 하고 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간동안 혼합 분쇄(Ball-mill)를 재 수행하는 과정, 상기 혼합 분쇄된 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더를 건조하고 100메쉬(mesh) 단위를 갖는 용구(sieve)를 이용하여 채가름을 수행하는 과정, 상기 채가름이 행해진 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더에 일정한 압력을 가하여 성형체를 얻는 과정 및, 상기 성형체를 720℃~820℃의 소결 온도범위에서 10분 내지 1시간 동안의 소결유지 시간내에서 소결시키는 과정을 포함하며, 상기 혼합 분쇄된 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더의 소결온도를 낮추기 위하여 저온소결용첨가제가 중량비(WT%)로 첨가되는 과정이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.In addition, the method for producing a microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering of the present invention is based on the weight ratio of TiO 2 and TeO 2 powder and ZnO and Nb 2 O 5 in a desired quantitative ratio, using alcohol as a dispersion medium and using zirconia ball. In the process of mixed-milling for a predetermined time, the TiTe 3 O 8 and ZnNb 2 O 6 provided by the mixed milling are dried at a temperature of 100 ° C. for 24 hours, and the dried TiTe 3 O 8 powder is 650 The calcined at 3 ℃ for 3 hours and the ZnNb 2 O 6 powder is calcined at 1000 ℃ for 3 hours, the calcined TiTe 3 O 8 and ZnNb 2 O 6 powder to a basis weight ratio according to the molar ratio of alcohol as a dispersion medium and zirconia ball Process of re-mixing (Ball-mill) for a predetermined time using a dry, the mixed and ground TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 powder and using a sieve having a mesh unit of 100 mesh (mesh) Can be sifted by Process, the holding separator is performed TiTe 3 O 8 to-sinter during ZnNb 2 O 6 the process of obtaining a molded article by applying a constant pressure to the powder, and, the molded body at a sintering temperature of 720 ℃ ~ 820 ℃ 10 minutes to 1 hour Sintering within the holding time, further comprising the step of adding a low-temperature sintering additive in a weight ratio (WT%) to lower the sintering temperature of the mixed pulverized TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 powder It features.
상술한 제조방법에 따라 만들어진 TiTe3O8-ZnNb2O6계의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물은, 소결온도가 850℃이하의 낮은 온도 범위에서 소결이 가능하고 유전율과 품질계수가 종래의 저온 소결용 유전체 세라믹보다 향상되게 된다.The microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering of TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 system made according to the above-described manufacturing method is capable of sintering at a low temperature range of sintering temperature of 850 ° C. or lower, and the dielectric constant and quality factor of conventional low temperature It is improved over the dielectric ceramic for sintering.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 TiTe3O8-ZnNb2O6계의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물은 일반적인 산화물 혼합법을 사용한다.The microwave dielectric ceramic composition for low temperature sintering of the TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 system of the present invention uses a common oxide mixing method.
먼저, TiO2와 TeO2 분말을 원하는 정량비로 평량한 후(S100), 알코올을 분산매로 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간 바람직하게는 24시간 동안 혼합 분쇄(Ball-mill)한다(S102).First, TiO 2 and TeO 2 powders are weighed in a desired quantitative ratio (S100), and then mixed and crushed (Ball-mill) for a predetermined time, preferably 24 hours, using zirconia ball as an alcohol as a dispersion medium (S102).
그리고, 상기 분쇄과정을 통해 생성된 TiTe3O8를 100℃의 온도에서 24시간 동안 건조시키고, 상기 건조가 끝난 TiTe3O8분말을 650℃에서 3시간 동안 하소시킨다(S104, S106).Then, the TiTe 3 O 8 produced through the grinding process is dried for 24 hours at a temperature of 100 ℃, the dried TiTe 3 O 8 powder is calcined at 650 ℃ for 3 hours (S104, S106).
한편, 동일한 방법에 의하여 ZnO와 Nb2O5분말도 원하는 정량비로 평량하고(S110), 알코올을 분산매로 하는 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간 바람직하게는 24시간 동안 혼합 분쇄(Ball-mill)한다(S112).Meanwhile, ZnO and Nb 2 O 5 powders are also weighed in a desired quantitative ratio by the same method (S110), and mixed and pulverized for a predetermined time, preferably for 24 hours, using a zirconia ball having an alcohol as a dispersion medium ( S112).
그리고, 상기 분쇄과정을 통해 생성된 ZnNb2O6를 100℃의 온도에서 24시간 동안 건조시키고, 마찬가지로 상기 건조가 끝난 ZnNb2O6분말을 1000℃에서 3시간 동안 하소시키게 된다(S114,S116).Then, the ZnNb 2 O 6 produced through the grinding process is dried for 24 hours at a temperature of 100 ℃, and similarly the dried ZnNb 2 O 6 powder is calcined at 1000 ℃ for 3 hours (S114, S116) .
상기와 같은 과정에 의해 각각 하소하여 얻게 되는 TiTe3O8와 ZnNb2O6 를 원하는 몰비로 평량하고 (1-x)TiTe3O8- xZnNb2O6(여기서 x=0,0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6,0.7,0.8,0.9,1)로 파우더를 제조한다. 상기 파우더 제조 후에 알코올을 분산매로 하고 지르코니아볼을 사용하여 소정 시간 바람직하게는 24시간 동안 혼합 분쇄(Ball-mill)하는 과정을 다시 수행한다(S118).TiTe 3 O 8 and ZnNb 2 O 6 obtained by calcining by the above process are weighed in a desired molar ratio and (1-x) TiTe 3 O 8 -xZnNb 2 O 6 (where x = 0,0.1,0.2, 0.3,0.4,0.5,0.6,0.7,0.8,0.9,1) to prepare powder. After preparing the powder, alcohol is used as a dispersion medium, and a process of mixing and crushing (Ball-mill) for a predetermined time, preferably 24 hours, using zirconia ball is performed again (S118).
계속해서, 상기 혼합 분쇄된 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더를 충분히 건조한 후 100메쉬(mesh) 단위를 갖는 용구(sieve)를 이용하여 채가름을 수행한다(S120).Subsequently, the mixed and pulverized TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 powder is sufficiently dried, and then subjected to coloration using a sieve having 100 mesh units (S120).
그리고 상기 채가름이 행해진 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더를 금형 몰더내에 넣고 소정 압력(1000㎏/㎠)으로서 성형체를 얻은 다음(S122), 상기 성형체를 공기중에서 720℃~820℃의 소결 온도범위로 대략 10분에서 1시간 동안 소결시켜 유전체 세라믹 조성물을 제조하게 된다(S124, S126).Then, the TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 powder subjected to the sieving was put in a mold molder to obtain a molded body at a predetermined pressure (1000 kg / cm 2) (S122), and the molded body was sintered at 720 ° C. to 820 ° C. in air. Sintering for about 10 minutes to 1 hour in the temperature range to prepare a dielectric ceramic composition (S124, S126).
이때, 상기 혼합분쇄된 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더에는 특정의 소결 온도 저하용 산화물, 즉 소결조제를 첨가하여 소결 온도를 850℃ 이하로 낮출수 있도록 한다. 이는 일반적인 유전체 세라믹 조성물은 마이크로파 특성이 우수하지만 상기 850℃ 이상의 소결 온도를 갖는 경우 세라믹 조성물의 내부 전극 또한 상기 소결 온도 이상의 온도에서 견딜 수 있는 소자 등을 사용할 수 밖에 없기 때문에 전기 전도도가 나빠지게 되고 고주파에서의 사용이 어려운 점이 있었던 것이다.In this case, a specific sintering temperature lowering oxide, that is, a sintering aid is added to the mixed and pulverized TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 powder to lower the sintering temperature to 850 ° C or lower. This is because general dielectric ceramic compositions have excellent microwave properties, but when the sintering temperature is higher than 850 ° C., the internal electrode of the ceramic composition also has to use an element that can withstand temperatures higher than the sintering temperature. It was difficult to use in.
따라서, 상기 TiTe3O8- ZnNb2O6 파우더에 인산(P2O 5), Bi2O3, LiCO3 와 같은 소결온도를 낮추는데 사용되는 저온소결용첨가제를 중량비(WT%)로 첨가하도록 한다.Thus, the TiTe 3 O 8 - ZnNb 2 O 6 phosphate powder (P 2 O 5), Bi 2 O 3, to add an additive for low temperature sintering that is used to lower the sintering temperature, such as LiCO 3 ratio by weight (WT%) do.
이때, 전술한 상기 TiTe3O8- ZnNb2O6 을 0 내지 1의 조성 범위내에서 각 몰비에 따라 혼합한 이후 중량비로 저온소결용첨가제를 첨가하였을 때 다음 [표 1]과 같이 나타낼 수 있다.At this time, when the above-mentioned TiTe 3 O 8 -ZnNb 2 O 6 It is mixed according to each molar ratio in the composition range of 0 to 1 and when the low-temperature sintering additive is added in a weight ratio can be represented as shown in the following [Table 1]. .
[표 1]TABLE 1
여기서, 상기 T는 TiTe3O8, 상기 Z는 ZnNb2O6, 상기 M은 MgTiO 3을 나타낸다.Here, T represents TiTe 3 O 8 , Z represents ZnNb 2 O 6 , and M represents MgTiO 3 .
상기 [표 1]에 기재된 조성물에 대하여 설명하면 다음과 같다.The composition described in [Table 1] is as follows.
상기 (1-x)TiTe3O8- xZnNb2O6을 조성할 때에 그 조성 비율이 0.7TiTe3O8- 0.3ZnNb2O6로 혼합 분쇄되고, 전술한 바 있는 일련의 과정에 따라 성형 처리된 조성물의 소결온도를 저하시키기 위하여 저온소결용첨가제인 인산(P2O5), Bi2O 3, LiCO3, H3BO3 등을 중량비로 첨가됩니다. 이때 소결온도와 소결시간과 품질계수와 유전율 및 온도계수는 상기 [표 1]과 같이 나타난다.Wherein (1-x) TiTe 3 O 8 - xZnNb time to raise 2 O 6 that the composition ratio 0.7TiTe 3 O 8 - is mixed and ground with 0.3ZnNb 2 O 6, the molding process in accordance with the series of processes in the foregoing To reduce the sintering temperature of the prepared composition, phosphoric acid (P 2 O 5 ), Bi 2 O 3 , LiCO 3 , H 3 BO 3, etc. At this time, the sintering temperature, the sintering time, the quality coefficient, the dielectric constant and the temperature coefficient are shown in Table 1 above.
그와 같이, 상기 전술한 바와 같은 과정을 통해 얻어지는 마이크로파 유전체 세라믹 조성물은 850℃ 이하의 소결온도를 갖으며 유전율함수는 15~40를 갖게되고 품질계수는 3,000에서 50,000를 갖게 된다.As such, the microwave dielectric ceramic composition obtained through the process as described above has a sintering temperature of 850 ° C. or less, the dielectric constant is 15 to 40 and the quality factor is 3,000 to 50,000.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 소결온도가 850℃ 이하의 낮은 온도범위에서도 은(Ag) 전극을 사용한 동시 소성이 가능한 마이크로파용 유전체 세라믹 조성물을 얻을 수 있으며, 유전율이 15에서 40으로 부품 적용이 가능한 큰 품질계수(3,000에서 50,000) 값을 제공할 수 있게 되어, 공진 주파수의 온도계수가 안정되는 저온 동시소성용 마이크로파 유전체 조성물을 제공할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a dielectric ceramic composition for microwaves capable of co-firing using silver (Ag) electrodes even in a low temperature range of 850 ° C. or less, and has a dielectric constant of 15 to 40. It is possible to provide this large quality factor (3,000 to 50,000) value, which has the effect of providing a microwave dielectric composition for low temperature cofired with stable temperature coefficient of resonant frequency.
한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the invention claimed in the claims. will be.
도 1은 본 발명의 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹 조성물을 제조하는 과정을 보인 실시예 흐름도이다.1 is a flow chart of an embodiment showing a process for producing a microwave dielectric ceramic composition for low-temperature sintering of the present invention.
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