KR20050065858A - 광 스플리터 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광 스플리터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 광 스플리터는 입력 광섬유가 고정된 입력단과, 상기 입력단으로부터 일정 거리만큼 이격되어 있으며 다수의 출력 광섬유들이 고정된 출력단이 일체로 구비되어 있는 플랫폼과; 상기 입력 광섬유와 정렬된 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있으며, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에 장착된 PLC 기판으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 입력 및 출력 광섬유를 고정시킬 수 있는 플랫폼을 형성하고, 이 플랫폼에 광도파로가 형성된 PLC(Planar Lightwave Circuit) 기판과 입력 및 출력 광섬유를 정렬 및 고정시킴으로써, 종래 기술과 같은 고가의 6축 광학 정렬 스테이지에 의한 정렬을 수행하지 않아도 되어, 정렬 시간을 단축시킬 수 있으며, 평면상에 밀림도 발생하지 않는 효과가 있다.
Description
본 발명은 광 스플리터(Splitter) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 입력 및 출력 광섬유를 고정시킬 수 있는 플랫폼을 형성하고, 이 플랫폼에 광도파로가 형성된 PLC(Planar Lightwave Circuit) 기판과 입력 및 출력 광섬유를 정렬 및 고정시킴으로써, 종래 기술과 같은 고가의 6축 광학 정렬 스테이지에 의한 정렬을 수행하지 않아도 되어, 정렬 시간을 단축시킬 수 있으며, 평면상에 밀림도 발생하지 않는 광 스플리터 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 광 스플리터(Splitter)는 하나의 광을 입력받아, 다수의 광으로 분리하여 출력시키는 소자이다.
도 1은 종래 기술에 따른 광 스플리터의 사시도로서, 입력 광섬유(10)가 고정된 입력 광섬유 블록(11)과; 상기 입력 광섬유(10)에 광학적으로 정렬되어 있는 입력 광도파로 코어(21)와, 이 입력 광도파로 코어(21)로부터 다수 분기된 출력 광도파로 코어들(22)을 갖는 PLC 기판(20)과; 상기 PLC 기판(20)의 출력 광도파로 코어들(22)에 각각 광학적으로 정렬되는 출력 광섬유들(31)이 고정된 출력 광섬유 블록(30)으로 구성된다.
이러한, 종래 기술의 광 스플리터는 입력 광섬유 블록(11), PLC 기판(20)과 출력 광섬유 블록(30)이 분리되어 있으므로, 각각을 정렬하여야 한다.
그러므로, PLC 기판(20)의 입력 광도파로 코어(21) 및 출력 광도파로 코어들(22)을 각각 입력 광섬유(10) 및 출력 광섬유들(31)과 정렬하기 위해서는, x, y, z, , , 의 방향으로 정렬이 가능한 고가의 6축 고정밀 광학 스테이지가 필요로 하며, 6축 방향으로 정밀하게 정렬하기 위해서는 상당한 소요시간이 요구되는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 입력 및 출력 광섬유를 고정시킬 수 있는 플랫폼을 형성하고, 이 플랫폼에 광도파로가 형성된 PLC 기판과 입력 및 출력 광섬유를 정렬 및 고정시킴으로써, 종래 기술과 같은 고가의 6축 광학 정렬 스테이지에 의한 정렬을 수행하지 않아도 되어, 정렬 시간을 단축시킬 수 있으며, 평면상에 밀림도 발생하지 않는 광 스플리터 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 PLC 기판에서 광도파로의 하부 클래드층 상면을 PLC 기판의 상면과 일치킴으로써, 광섬유와 정밀하게 정렬될 광도파로 제조 공정 중에서 하부 클래딩층 두께를 정밀하게 조절할 필요 없이 단지 하부 크래드층 상부에 형성되는 광도파로 코어의 두께만을 정밀하게 제어하면 됨으로써, 광도파로 제조 공정의 난이도를 한단계 줄일 수 있는 광 스플리터 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 입력 광섬유가 고정된 입력단과, 상기 입력단으로부터 일정 거리만큼 이격되어 있으며 다수의 출력 광섬유들이 고정된 출력단이 일체로 구비되어 있는 플랫폼과;
상기 입력 광섬유와 정렬된 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있으며, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에 장착된 PLC 기판으로 구성된 광 스플리터가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는, 입력단에 입력 광섬유를 삽입시킬 수 있으며, 상기 입력단으로부터 일정 거리만큼 이격되어 있는 출력단에 다수의 출력 광섬유들을 삽입시킬 수 있는 V-홈들이 형성되어 있으며, 상기 입력단과 출력단 사이에 홈이 형성되어 있는 플랫폼을 준비하는 제 1 단계와;
상기 입력 광섬유와 정렬되는 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬되는 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있는 PLC 기판을 준비하는 제 2 단계와;
상기 플랫폼의 홈에 상기 PLC 기판의 광도파로를 삽입시켜 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 제 3 단계와;
상기 플랫폼의 입력단 및 출력단의 각각의 V-홈들에 광섬유를 삽입시켜 정렬 및 고정시키는 제 4 단계로 구성된 광 스플리터의 제조 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 광 스플리터의 평면도로서, 광 스플리터(300)는 입력 광섬유(301)가 고정된 입력단과, 상기 입력단으로부터 일정 거리만큼 이격되어 있으며 다수의 출력 광섬유들(302)이 고정된 출력단이 일체로 구비되어 있는 플랫폼(100)과; 상기 입력 광섬유(301)와 정렬된 입력 광도파로 코어(241)와, 이 입력 광도파로 코어(241)에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들(302)과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들(242)을 갖는 광도파로(255)가 형성되어 있으며, 상기 플랫폼(100)의 입력단과 출력단 사이에 장착된 PLC 기판(260)으로 구성된다.
도 3은 본 발명에 따른 광 스플리터의 플랫폼 평면도로서, 플랫폼(100)의 입력단에는 입력 광섬유를 고정 및 정렬시키기 위한 V-홈(110)이 형성되어 있으며, 출력단에는 다수의 출력 광섬유들을 각각 정렬 및 고정시키기 위한 V-홈들(131,132,134,134,135)이 형성되어 있다.
상기 플랫폼(100) 제작에 <100>면 실리콘 기판을 사용하며 상기 실리콘 기판을 KOH 또는 TMAH 습식식각 방법을 이용하여 상기 v-홈들을 형성한다.
그리고, 상기 플랫폼(100)의 입력단과 출력단 사이의 공간, 도 3과 같이, PLC기판 장착 영역에는 PLC기판을 장착하기 위한 홈(120)이 형성되어 있다.
또한, 상기 홈(120)의 양측에 해당하는 입력단과 출력단 사이(PLC기판 장착 영역)에는 PLC기판 고정용 V-홈들(121)이 형성되어 있다.
더불어, 상기 입력단의 V-홈(110)과 출력단의 V-홈들(131,132,134,134,135)이 각각 상기 PLC기판을 장착하기 위한 홈(120)과 접하는 영역들에는 상기 V-홈들(110,131,132,134,134,135)과 수직하며, 일정간격을 갖는 홈(141,142)이 각각 형성되어 있다.
이 수직한 홈(141,142)은 PLC 기판이 플랫폼에 장착될 때, PLC 기판의 광도파로(255)의 양끝 부분이 홈(120)의 모서리와 접촉되어 파손되는 것을 방지하고, 광섬유와 광도파로 코어의 정렬을 용이하게 한다.
도 4a 내지 4c는 도 3의 A-A'선, B-B'선과 C-C'선의 단면도로서, 먼저, 도 4a는 도 3의 A-A'선 단면도이므로, 입력단 및 출력단과 PLC 기판 장착 영역의 각각의 사이에는 홈(141,142)이 형성되어 있고, PLC 기판 장착 영역에는 PLC기판 고정용 V-홈들(121)이 형성되어 있다.
그리고, 도 3의 B-B'선인 도 4b에서는, 플랫폼(100) 출력단의 단면도이므로, 다수의 출력 광섬유들을 각각 정렬 및 고정시키기 위한 V-홈들(131,132,134,134,135)이 형성되어 있다.
또한, 도 4c는 도 3의 C-C'선의 단면도로서, PLC 기판 장착 영역에는 PLC기판을 장착하기 위한 홈(120)이 형성되어 있으며, 상기 홈(120)의 양측에 해당하는 입력단과 출력단 사이(PLC기판 장착 영역)에는 PLC기판 고정용 V-홈들(121)이 형성되어 있다.
도 5a 내지 5e는 본 발명에 따른 광 스플리터 플랫폼에 장착되는 PLC 기판의 제조 공정도로서, 먼저, 광 스플리터로 사용되어지는 광도파로의 하부 클래드층을 만들기 위해 <100>면 실리콘 기판(200) 상부를 KOH 또는 TMAH 습식 식각 또는 실리콘 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 건식 식각 방법으로 형성할 하부 크래딩층 두께로 식각하여 홈(210)을 형성한다.(도 5a)
그 후, 도 5b와 같이, 상기 식각된 홈(210) 내부에 실리카 재료를 FHD(Flame Hydrolysis) 공정을 이용하여 도포한 후, CMP(Chemical Mechanical Polishing) 연마공정을 수행하여 도포된 실리카 재료의 상면을 실리콘 기판의 상면과 일치시켜서 하부 클래드층(220)을 형성한다.
그 다음, 제조된 PLC 기판을 플랫폼에 장착시키기 위한 V-홈(230)을 KOH 또는 TMAH 습식 식각하여 형성한다.(도 5c)
연이어, 광도파로의 코어로 사용될 실리카 층을 상기 하부 클래드층(220) 상부에 FHD 공정으로 증착하고, 증착된 실리카층을 CPM 연마공정으로 연마한 다음, 반응성 이온 식각(RIE) 방법으로 코어 부분만을 남기고 나머지 코어층을 식각하여 광도파로 코어(240)를 형성한다.(도 5d)
계속하여, 도 5e에 도시된 바와 같이, 상기 광도파로 코어(240)를 완전히 감싸며, 하부 클래드층(220) 상부에 하부 클래드층과 동일한 굴절률을 갖는 실리카 재료를 FHD 공정으로 증착하고, CMP 연마 공정 수행하여 평탄화시켜, 상부 클래드층(250)을 형성함으로써, 실리콘 기판 상에 광도파로(255)가 형성되어, 결국, 1xN 광 스플리터 PLC 기판(260)이 완성된다.
그럼으로, 본 발명은 하부 클래드층의 상면을 실리콘 기판의 상면과 일치시켜 형성함으로써, 광섬유(301, 302)와 정밀하게 정렬될 광도파로(255) 제조 공정 중에서 하부 클래딩층(220) 두께를 정밀하게 조절할 필요없이 단지 하부 클래딩층 상부에 형성되는 광도파로 코어(240)의 두께만을 정밀하게 제어하면 됨으로써, PLC 기판 제조 난이도를 줄이 수 있다는 장점을 갖는다.
도 6은 본 발명에 따른 광 스플리터의 PLC 기판의 평면도로서, PLC 기판(260)은 입력 광섬유와 정렬되는 입력 광도파로 코어(241)와, 이 입력 광도파로(241)에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들(242)이 형성되어 있다.
물론, 상기 입력 및 출력 광도파도 코어들(241,242)은 도 5a 내지 5e의 제조 공정을 수행하여, 하부 및 상부 클래드층(220,250) 내부에 개재됨으로, 광도파로(255)는 하부 및 상부 클래드층(220,250)과, 입력 및 출력 광도파도 코어들(241,242)로 이루어진다.
그리고, PLC 기판을 플랫폼에 장착시키기 위한 V-홈들(230)이 PLC 기판에는 형성되어 있다.
도 7은 본 발명에 따라 플랫폼과 PLC 기판이 결합된 단면도로서, PLC기판(260)으로부터 돌출된 광도파로(255)가 플랫폼(100)의 홈(120)에 삽입되며, 플랫폼(100)의 각각의 V-홈(121)에 고정용 광섬유(501)의 일측이 삽입되고, 상기 고정용 광섬유의 타측이 PLC기판(100) 각각의 V-홈(230)에 삽입된다.
이 때, 상기 플랫폼(100) 각각의 V-홈(121)과 PLC기판(100) 각각의 V-홈(230)은 대응되어 위치된다.
여기서, V-홈에 삽입되는 고정용 광섬유(501)는 광도파로에 정렬되는 광섬유와 동일한 직경으로 형성하며, 이로서, 플랫폼과 PLC 기판이 고정될 때, 평면상에서 어느 방향으로도 밀림이 발생하지 않고 안정적으로 정확하게 정렬된다.
도 8은 본 발명에 따라 하나의 고정용 광섬유가 플랫폼과 PLC 기판의 V-홈에 삽입된 상태를 도시한 단면도로서, 플랫폼(100)과 PLC 기판(260)에 형성된 V-홈(121,230)의 폭(W1,W2)은 동일한 크기로 제작되어지며, V-홈(121,230) 사이에 고정용 광섬유(501)를 삽입하여 플랫폼(100)과 PLC 기판(260)이 움직이지 않도록 고정한다.
도 9는 본 발명에 따라 광도파로와 광섬유의 정확한 광축 정렬을 위하여 V-홈의 폭(W)을 산출하기 위한 개념도로서, PLC 기판(260)의 광도파로 코어(240)와 광 전달을 위해 플랫폼에 정렬되어지는 고정용 광섬유(501)의 광축을 정확하게 정렬하기 위해, 광도파로의 코어(240) 중심 높이(h)에 따른 광 전달을 위한 광섬유 정렬 V-홈과, 플랫폼과 PLC 기판의 정렬 및 고정하기 위한 V-홈의 폭(W)은 동일한 크기로, 하기 식(1)을 만족하는 것이 바람직하다.
---------- (1)
여기서, D는 광섬유의 직경이고, h는 PLC 기판 상부면에서 광도파로 코어의 중심까지 높이이다.
도 10과 11은 본 발명의 다른 실시예에 따라 구(球)를 사용하여 PLC 기판과 플랫폼을 정렬 및 고정하기 위한 플랫폼과 PLC 기판의 평면도로서, 이 실시예에서는 PLC 기판과 플랫폼을 정렬 및 고정하기 위하여 광섬유를 사용하지 않고 광섬유 직경과 동일한 직경을 갖는 구(球)를 사용하는 것이다.
즉, 도 10과 같이, 플랫폼(100)의 PLC기판 장착 영역에는 입구가 정사각 형상인 고정용 V-홈들(601)이 형성되어 있고, 상기 플랫폼(100)의 V-홈들(601)과 대응되는 위치에 도 11과 같이, 입구가 정사각 형상인 고정용 V-홈들(602)이 형성되어 있다.
이러한, 입구가 정사각 형상인 고정용 V-홈들(603)은 도 12와 같이, 구(球)(701)가 삽입되어 고정되도록, 입구가 가로와 세로의 폭(W3)이 동일한 정사각형이다.
그리고, 상기 입구가 정사각 형상인 고정용 V-홈들(603)은 KOH용액 또는 TMAH용액에서 습식 식각하여 형성한다.
전술된 바와 같이, 본 발명은, 입력단에 입력 광섬유를 삽입시킬 수 있으며, 상기 입력단으로부터 일정거리만큼 이격되어 있는 출력단에 다수의 출력 광섬유들을 삽입시킬 수 있는 V-홈들이 형성되어 있으며, 상기 입력단과 출력단 사이에 홈이 형성되어 있는 플랫폼을 준비하는 제 1 단계와; 상기 입력 광섬유와 정렬되는 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬되는 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있는 PLC 기판을 준비하는 제 2 단계와; 상기 플랫폼의 홈에 상기 PLC 기판의 광도파로를 삽입시켜 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 제 3 단계와; 상기 플랫폼의 입력단 및 출력단의 각각의 V-홈들에 광섬유를 삽입시켜 정렬 및 고정시키는 제 4 단계를 수행하여 광 스플리터를 제조한다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 입력 및 출력 광섬유를 고정시킬 수 있는 플랫폼을 형성하고, 이 플랫폼에 광도파로가 형성된 PLC 기판과 입력 및 출력 광섬유를 정렬 및 고정시킴으로써, 종래 기술과 같은 고가의 6축 광학 정렬 스테이지에 의한 정렬을 수행하지 않아도 되어, 정렬 시간을 단축시킬 수 있으며, 평면상에 밀림도 발생하지 않는 효과가 있다.
또한, PLC 기판에서 광도파로의 하부 클래드층 상면을 PLC 기판의 상면과 일치시킴으로써, 광섬유와 정밀하게 정렬될 광도파로 제조 공정 중에서 하부 클래딩층 두께를 정밀하게 조절할 필요 없이 단지 하부 클래드층 상부에 형성되는 광도파로 코어의 두께만을 정밀하게 제어하면 됨으로써, 광도파로 제조 공정의 난이도를 한단계 줄일 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 광 스플리터의 사시도
도 2는 본 발명에 따른 광 스플리터의 평면도
도 3은 본 발명에 따른 광 스플리터의 플랫폼 평면도
도 4a 내지 4c는 도 3의 A-A'선, B-B'선과 C-C'선의 단면도
도 5a 내지 5e는 본 발명에 따른 광 스플리터 플랫폼에 장착되는 PLC(Planar Lightwave Circuit) 기판의 제조 공정도
도 6은 본 발명에 따른 광 스플리터의 PLC 기판의 평면도
도 7은 본 발명에 따라 플랫폼과 PLC 기판이 결합된 단면도
도 8은 본 발명에 따라 하나의 고정용 광섬유가 플랫폼과 PLC 기판의 V-홈에 삽입된 상태를 도시한 단면도
도 9는 본 발명에 따라 광도파로와 광섬유의 정확한 광축 정렬을 위하여 V-홈의 폭(W)을 산출하기 위한 개념도
도 10과 11은 본 발명의 다른 실시예에 따라 구(球)를 사용하여 PLC 기판과 플랫폼을 정렬 및 고정하기 위한 플랫폼과 PLC 기판의 평면도
도 12는 본 발명에 따라 정사각 형상의 고정용 V-홈에 구(球)가 삽입된 상태를 도시한 평면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 플랫폼
110,121,131,132,133,134,135,221,230 : V-홈
120,141,142,210 : 홈 200 : 실리콘 기판
220 : 하부 클래드층 240,241,242 : 광도파로 코어
250 : 상부 클래드층 255 : 광도파로
300 : 광스플리터 301,302,501 : 광섬유
601,602,603 : 정사각형 형상의 고정용 V-홈
Claims (13)
- 입력 광섬유가 고정된 입력단과, 상기 입력단으로부터 일정거리만큼 이격되어 있으며 다수의 출력 광섬유들이 고정된 출력단이 일체로 구비되어 있는 플랫폼과;상기 입력 광섬유와 정렬된 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있으며, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에 장착된 PLC 기판으로 구성된 광 스플리터.
- 제 1 항에 있어서,상기 플랫폼의 입력단과 출력단에는 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 입력 광섬유와 출력 광섬유는 상기 V-홈에 각기 삽입되어 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터.
- 제 2 항에 있어서,상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 상기 PLC기판을 장착하기 위한 홈이 더 형성되어 있으며;상기 홈에 PLC 기판의 광도파로가 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터.
- 제 3 항에 있어서,상기 입력단의 V-홈과 출력단의 V-홈들이 각각 상기 PLC기판을 장착하기 위한 홈과 접하는 영역들에는,상기 V-홈들과 수직하며, 일정간격을 갖는 홈이 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터.
- 제 3 항에 있어서,상기 홈의 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 플랫폼과 PLC 기판의 고정용 V-홈들 각각에는 광섬유가 삽입되어, 상기 PLC 기판이 상기 플랫폼에 정렬 및 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터.
- 제 5 항에 있어서,상기 플랫폼과 PLC 기판의 고정용 V-홈들 각각에 삽입되어 있는 광섬유는 상기 입력 및 출력 광섬유와 직경이 동일한 것을 특징으로 하는 광 스플리터.
- 제 3 항에 있어서,상기 홈의 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 플랫폼과 PLC 기판의 정사각형 고정용 V-홈들 각각에는 구(球)가 삽입되어, 상기 PLC 기판이 상기 플랫폼에 정렬 및 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터.
- 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 입력 및 출력 광섬유가 삽입되는 V-홈과, 플랫폼과 PLC 기판 고정용 V-홈의 폭(W)은, 하기 식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법.---------- (1)여기서, D는 광섬유의 직경이고, h는 PLC 기판 상부면에서 광도파로 코어의 중심까지 높이이다.
- 입력단에 입력 광섬유를 삽입시킬 수 있으며, 상기 입력단으로부터 일정거리만큼 이격되어 있는 출력단에 다수의 출력 광섬유들을 삽입시킬 수 있는 V-홈들이 형성되어 있으며, 상기 입력단과 출력단 사이에 홈이 형성되어 있는 플랫폼을 준비하는 제 1 단계와;상기 입력 광섬유와 정렬되는 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬되는 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있는 PLC 기판을 준비하는 제 2 단계와;상기 플랫폼의 홈에 상기 PLC 기판의 광도파로를 삽입시켜 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 제 3 단계와;상기 플랫폼의 입력단 및 출력단의 각각의 V-홈들에 광섬유를 삽입시켜 정렬 및 고정시키는 제 4 단계로 구성된 광 스플리터의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 2 단계에서,상기 PLC 기판은 실리콘 기판이며;상기 광도파로는,실리콘 기판 상부를 식각하여 홈을 형성하는 단계와,상기 식각된 홈 내부에 실리카 재료를 도포한 후, CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 수행하여 도포된 실리카 재료의 상면을 실리콘 기판의 상면과 일치시켜 하부 클래드층을 형성하는 단계와;상기 실리카층을 하부 클래드층 상부에 증착하고, 증착된 실리카층을 반응성 이온 식각(RIE) 방법으로 식각하여 광도파로 코어를 형성하는 단계와;상기 광도파로 코어를 감싸며, 하부 클래드층 상부에 하부 클래드층과 동일한 굴절률을 갖는 실리카 재료를 증착하여 상부 클래드층을 형성하는 단계를 수행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1 단계의 플랫폼의 홈 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 제 2 단계의 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 제 3 단계에, 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들 각각에 광섬유들을 삽입시킨 후, 각각의 광섬유들에 PLC 기판의 고정용 V-홈들을 삽입시켜, 상기 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 것이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1 단계의 플랫폼의 홈 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 제 2 단계의 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 제 3 단계에, 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들 각각에 구(球)들을 삽입시킨 후, 각각의 구(球)들에 PLC 기판의 고정용 V-홈들을 삽입시켜, 상기 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 것이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법.
- 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 입력 및 출력 광섬유가 삽입되는 V-홈과, 플랫폼과 PLC 고정용 V-홈의 폭(W)은, 하기 식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법.---------- (1)여기서, D는 광섬유의 직경이고, h는 PLC 기판 상부면에서 광도파로 코어의 중심까지 높이이다.
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