KR20050065823A - Repair apparatus for liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시소자의 리페어 함과 아울러 프로브를 이용하여 리페어 상태를 확인할 수 있도록 한 액정표시소자용 리페어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a repair apparatus for a liquid crystal display device that allows repair of a liquid crystal display device and a repair state can be checked using a probe.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치는 리페어 하고자 하는 기판이 안착되는 척과, 상기 기판 상의 불량 부위에 레이저를 조사하여 상기불량 부위를 리페어 함과 아울러 상기 불량 부위를 촬상하는 리페어 유닛과, 상기 리페어 유닛에 설치되어 상기 리페어 유닛의 리페어 공정 후에 상기 기판의 리페어 부위에 접촉되어 리페어의 성공유무를 검출하는 검사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment of the present invention, a repair apparatus for a liquid crystal display device includes a chuck on which a substrate to be repaired is mounted, a repair unit for irradiating a laser to a defective portion on the substrate, repairing the defective portion, and imaging the defective portion; And an inspection unit installed in the repair unit and contacting a repair portion of the substrate after the repair process of the repair unit to detect the success or failure of the repair.
이러한, 본 발명은 액정표시소자의 제조공정시 각 레이어별 리페어용 레이저의 조건설정이 용이하고 리페어 공정 직후 리페어 공정의 성공여부를 즉시 확인함으로써 리페어 공정의 실패일 경우 리페어 공정의 재작업을 실시 할 수 있다. 따라서, 본 발명은 리페어 공정의 성공률을 높임으로써 액정표시소자의 생산 수율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 종래에서와 같이 리페어 공정이 실패된 액정표시소자가 후속 공정으로 누출되는 것을 방지함으로써 액정표시소자의 원가를 저감시킬 수 있다.In the present invention, it is easy to set the conditions of the repair laser for each layer in the manufacturing process of the liquid crystal display device, and immediately check whether the repair process is successful immediately after the repair process, and if the repair process fails, the repair process may be reworked. Can be. Therefore, the present invention can improve the production yield of the liquid crystal display by increasing the success rate of the repair process. In addition, the present invention can reduce the cost of the liquid crystal display device by preventing the liquid crystal display device having a repair process failed to leak in a subsequent process as in the prior art.
Description
본 발명은 액정표시소자용 리페어 장치에 관한 것으로, 특히 액정표시소자의 리페어 함과 아울러 프로브를 이용하여 리페어 상태를 확인할 수 있도록 한 액정표시소자용 리페어 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a repair apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to a repair apparatus for a liquid crystal display device capable of repairing a liquid crystal display device and confirming a repair state using a probe.
액정표시소자(Liquid Crystal Display Device : "LCD"라 함)는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다. 여기에서 하판의 제조공정은 기판 상에 전극 물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭 작업을 통한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)부의 형성과 기타 전극부의 형성 과정을 포함한다. 액정 주입 및 봉지 공정을 거친 다음 상/하판의 양쪽 면에 편광판이 부착되어 액정패널이 완성되면 최종적인 검사 작업이 이루어지게 된다. Liquid Crystal Display Device ("LCD") is a manufacturing process of the upper and lower panels of the panel accompanied with the process of forming a liquid crystal cell forming a pixel unit, the formation and rubbing process of the alignment film for the alignment of the liquid crystal And it is completed through a number of processes, such as the step of bonding the upper and lower plates, and the process of injecting and encapsulating the liquid crystal between the bonded upper and lower plates. Here, the manufacturing process of the lower plate includes forming a thin film transistor ("TFT") portion and forming another electrode portion by applying and etching an electrode material, a semiconductor layer, and an insulating film on a substrate. After the liquid crystal injection and encapsulation process, the polarizing plates are attached to both sides of the upper and lower plates, and the final inspection operation is performed when the liquid crystal panel is completed.
최종 검사 과정에서는 완성된 액정패널의 화면에 테스트(Test) 패턴을 띄우고 불량화소의 유무를 탐지하여 불량화소가 발견되었을 때 이에 대한 리페어 작업을 행하게 된다. 액정패널의 불량에는 화소셀 별 색상 불량, 휘점(항상 켜져 있는 셀), 암점(항상 꺼져 있는 셀) 등의 점 결함과, 인접한 데이터 라인간의 단락(Short)으로 인해 발생하는 선 결함(Line Defect) 등이 있다. In the final inspection process, a test pattern is displayed on the screen of the completed liquid crystal panel and the presence or absence of defective pixels is detected and repaired when the defective pixels are found. The defects of the liquid crystal panel include color defects for each pixel cell, point defects such as bright spots (cells that are always on), dark spots (cells that are always off), and line defects caused by short circuits between adjacent data lines. Etc.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 액정표시소자용 리페어 장치는 장치의 외관을 형성하는 베이스 프레임(10)과, 베이스 프레임(10) 내에 마련되는 스테이지(12)와, 스테이지(12) 상에 마련되며 리페어 하고자 하는 LCD(20)가 안착되는 척(16)과, 스테이지(12)에 설치되어 척(16)을 X축 및 Y축 방향으로 이송시키는 이송수단(18)과, 척(16)에 안착된 LCD(20)의 불량 픽셀을 촬상하여 표시함과 아울러 레이저를 이용하여 불량 픽셀을 리페어하는 리페어 유닛(50)을 구비한다.Referring to FIGS. 1 and 2, a general repair apparatus for a liquid crystal display device includes a base frame 10 forming an external appearance of a device, a stage 12 provided in the base frame 10, and a stage 12. The chuck 16 is provided and the LCD 20 to be repaired is mounted, the transfer means 18 installed on the stage 12 to transfer the chuck 16 in the X-axis and Y-axis directions, and the chuck 16. A repair unit 50 for capturing and displaying a defective pixel of the LCD 20 mounted on the LCD 20 and repairing the defective pixel using a laser is provided.
베이스 프레임(10)은 스테이지(12)를 지지하면서 각종 전기장치들을 포함한다.The base frame 10 includes various electrical devices while supporting the stage 12.
이송수단(18)은 LM 가이드를 이용하여 척(16)을 X축 및 Y축 방향으로 이송시키게 된다. 이 때, 이송수단(18)은 도시하지 않은 제어부로부터 공급되는 제어신호에 응답하여 척(16)을 원하는 좌표로 이송시키게 된다.The conveying means 18 feeds the chuck 16 in the X-axis and Y-axis directions using the LM guide. At this time, the transfer means 18 transfers the chuck 16 to desired coordinates in response to a control signal supplied from a controller (not shown).
리페어 유닛(50)은 도 2에 도시된 바와 같이 레이저를 발생하고 세기와 굵기를 조절하는 레이저 헤드(30)와, 레이저 헤드(30)로부터 조사되는 레이저의 초점 및 표시배율을 조절하기 위한 다수의 렌즈(42)를 포함하는 현미경 광학계(44)를 구비한다. As shown in FIG. 2, the repair unit 50 includes a laser head 30 for generating a laser and adjusting intensity and thickness, and a plurality of laser beams for adjusting focus and display magnification of the laser irradiated from the laser head 30. A microscope optical system 44 including a lens 42 is provided.
레이저 헤드(30)는 레이저를 발생하여 다수의 렌즈(42) 중 어느 하나를 통해 LCD(20)에 조사하게 된다.The laser head 30 generates a laser to irradiate the LCD 20 through any one of the plurality of lenses 42.
현미경 광학계(44)는 서로 다른 배율을 가지는 다수의 렌즈(42) 중 어느 하나를 선택하여 원하는 레이저의 초점 및 굵기를 설정하게 된다. 이를 위해, 현미경 광학계(44)는 다수의 렌즈(42) 중 원하는 배율의 렌즈(42)를 선택하기 위한 도시하지 않은 회전수단을 포함한다. 이에 따라, 현미경 광학계(44)는 회전수단을 이용하여 레이저의 초점 및 굵기에 해당하는 렌즈(42)를 선택하고, 선택된 렌즈(42)를 통해 레이저 헤드(30)로부터 조사되는 레이저를 LCD(20)에 조사하게 된다.The microscope optical system 44 selects any one of a plurality of lenses 42 having different magnifications to set a desired laser focus and thickness. To this end, the microscope optical system 44 includes rotating means, not shown, for selecting the lens 42 of the desired magnification among the plurality of lenses 42. Accordingly, the microscope optical system 44 selects the lens 42 corresponding to the focal point and thickness of the laser by using the rotating means, and displays the laser irradiated from the laser head 30 through the selected lens 42 to the LCD 20. Checked out).
한편, LCD(20) 상에 조사되는 레이저의 좌표는 다수의 렌즈(42) 중 원하는 배율에 의해 선택된 렌즈(42)를 통해 도시하지 않은 모니터 상에 표시되는 LCD(20)의 촬상 화면을 통해 설정하게 된다.On the other hand, the coordinates of the laser irradiated on the LCD 20 are set through the image pickup screen of the LCD 20 displayed on the monitor (not shown) through the lens 42 selected by the desired magnification among the plurality of lenses 42. Done.
이와 같은, 종래의 LCD용 리페어 장치는 리페어 하고자 하는 LCD(20)를 척(16) 상에 안착시킨 후, 리페어 하고자 하는 불량 픽셀의 좌표를 다수의 렌즈(42)를 통하여 찾게 된다. 그런 다음, LCD(20)의 불량 픽셀에 좌표 상에 대응되도록 회전수단을 이용하여 레이저의 초점 및 굵기에 해당하는 렌즈(42)를 선택하고, 선택된 렌즈(42)를 통해 레이저 헤드(30)로부터 조사되는 레이저를 LCD(20)에 조사하게 된다. 따라서, 종래의 LCD용 리페어장치는 렌즈(42)를 통과하여 LCD(20)의 불량 픽셀에 레이저를 조사함으로써 불량 픽셀을 컷팅(Cutting), 용접(Welding) 및 증착(Deposition) 등의 방법을 이용하여 리페어 공정을 실시한 후, 렌즈(42)를 통해 도시하지 않는 모니터에 표시되는 불량 픽셀의 리페어 상태를 확인하게 된다.As described above, in the conventional LCD repair apparatus, the LCD 20 to be repaired is seated on the chuck 16, and the coordinates of the defective pixel to be repaired are found through the plurality of lenses 42. Then, the lens 42 corresponding to the focus and thickness of the laser is selected using the rotating means so as to correspond to the defective pixel of the LCD 20 on the coordinates, and from the laser head 30 through the selected lens 42. The irradiated laser is irradiated onto the LCD 20. Therefore, the conventional LCD repair apparatus uses a method such as cutting, welding, and depositing defective pixels by irradiating a laser to the defective pixels of the LCD 20 through the lens 42. After the repair process is performed, the repair state of the defective pixel displayed on the monitor (not shown) is confirmed through the lens 42.
이와 같은 종래의 액정표시소자용 리페어장치는 레이저를 조사하여 LCD( 20)의 불량 픽셀을 컷팅할 경우 레이저의 세기 및 굵기에 따라 컷팅하고자 하는 컷팅면이 완전히 절단되거나 그렇지 않게 된다. 이러한, 레이저에 의해 리페어된 리페어 상태는 렌즈(42)를 통해 촬상되어 모니터에 표시되는 화상으로 리페어의 이상유무를 확인하게 된다. 따라서, 종래의 액정표시소자용 리페어장치는 레이저에 의한 컷팅면이 미세하게 연결된 경우에는 렌즈(42)를 통해 촬상되는 화상만으로는 이상유무를 확인할 수 없는 문제점이 있다. 이러한 경우 리페어 공정에서의 리페어 불량의 경우 후속 공정에 의한 완성된 LCD(20)의 최종검사에서 발견되기 때문에 이로 인한 손실이 발생하여 액정표시소자의 생산 수율을 감소시키는 원인이 된다. In the conventional repair apparatus for a liquid crystal display device, when cutting a defective pixel of the LCD 20 by irradiating a laser, a cutting surface to be cut is completely cut or not according to the intensity and thickness of the laser. The repair state repaired by the laser is an image displayed through the lens 42 to confirm whether there is an abnormality in the repair. Therefore, the conventional repair apparatus for liquid crystal display devices has a problem in that abnormality cannot be confirmed only by an image captured by the lens 42 when the cutting surface of the laser is finely connected. In this case, since the repair failure in the repair process is found in the final inspection of the completed LCD 20 by the subsequent process, a loss caused by this occurs, which causes a decrease in the production yield of the liquid crystal display device.
따라서, 본 발명의 목적은 액정표시소자의 리페어 함과 아울러 프로브를 이용하여 리페어 상태를 확인할 수 있도록 한 액정표시소자용 리페어 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a repair apparatus for a liquid crystal display device that allows repair of the liquid crystal display device and the repair state by using a probe.
또한, 본 발명의 다른 목적은 액정표시소자의 레이어 중 레이저 조사에 어려운 레이어에 대한 레이저 조사의 정확성을 높여 리페어 공정의 성공률을 높일 수 있도록 한 액정표시소자용 리페어 장치를 제공하는데 있다. In addition, another object of the present invention is to provide a repair apparatus for a liquid crystal display device that can increase the success rate of the repair process by increasing the accuracy of the laser irradiation to the layer difficult to laser irradiation of the liquid crystal display device.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치는 리페어 하고자 하는 기판이 안착되는 척과, 상기 기판 상의 불량 부위에 레이저를 조사하여 상기 불량 부위를 리페어 함과 아울러 상기 불량 부위를 촬상하는 리페어 유닛과, 상기 리페어 유닛에 설치되어 상기 리페어 유닛의 리페어 공정 후에 상기 기판의 리페어 부위에 접촉되어 리페어의 성공유무를 검출하는 검사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a repair apparatus for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention repairs the defective portion while irradiating a laser to a defective portion on the substrate and a chuck on which the substrate to be repaired is mounted, and the defective portion. And a repair unit for photographing the site, and an inspection unit provided in the repair unit and contacting the repair site of the substrate after the repair process of the repair unit to detect the success or failure of the repair.
상기 리페어 장치는 상기 척을 2차원 방향으로 이송시키기 위한 이송 수단과, 상기 리페어 장치를 제어하는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.The repair apparatus may further include a conveying means for conveying the chuck in a two-dimensional direction, and a control unit for controlling the repair apparatus.
상기 리페어 장치에서 상기 리페어 유닛은 상기 레이저를 발생하는 레이저 헤드와, 상기 레이저 헤드로부터의 상기 레이저를 상기 기판 상에 조사함과 아울러 상기 불량 부위를 촬상하여 표시하는 현미경 광학계를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the repair unit includes a laser head for generating the laser, and a microscope optical system that irradiates the laser from the laser head onto the substrate, and captures and displays the defective part. .
상기 리페어 장치에서 상기 현미경 광학계는 서로 배율을 가지는 다수의 렌즈들과, 상기 제어부로부터의 제어신호에 응답하여 상기 다수의 렌즈들을 회전시켜 상기 다수의 렌즈들 중 어느 하나를 선택하기 위한 회전수단과, 상기 선택된 렌즈를 통해 촬상되는 상기 불량 부위를 표시하기 위한 표시부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the microscope optical system includes a plurality of lenses having a magnification of each other, rotation means for selecting any one of the plurality of lenses by rotating the plurality of lenses in response to a control signal from the controller; And a display unit for displaying the defective portion captured by the selected lens.
상기 리페어 장치에서 상기 검사 유닛은, 상기 현미경 광학계의 일측에 설치되는 구동부와, 상기 구동부에 설치되고 상기 구동부에 의해 상기 기판 쪽으로 이송되어 상기 리페어된 불량 부위의 양단에 접촉되는 한 쌍의 프로브를 구비하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the inspection unit includes a driving unit installed on one side of the microscope optical system, and a pair of probes installed on the driving unit and transferred to the substrate by the driving unit to contact both ends of the repaired defective part. Characterized in that.
상기 리페어 장치에서 상기 기판은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차부마다 박막 트랜지스터 및 전극배선이 형성되는 액정표시소자인 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the substrate may be a liquid crystal display device in which thin film transistors and electrode wirings are formed at intersections of gate lines and data lines.
상기 리페어 장치에서 상기 제어부에는 상기 박막 트랜지스터 및 전극 배선의 각층에 대응되도록 최적화되는 상기 레이저의 초점 및 굵기에 대한 데이터가 저장되는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the controller may store data about a focal point and a thickness of the laser optimized to correspond to each layer of the thin film transistor and the electrode wiring.
상기 리페어 장치에서 상기 제어부는 상기 저장된 데이터에 기초하여 상기 다수의 렌즈들 중 어느 하나가 선택되도록 상기 회전수단을 제어하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the controller controls the rotation means such that any one of the plurality of lenses is selected based on the stored data.
상기 리페어 장치에서 상기 리페어 유닛은 상기 레이저를 이용하여 상기 불량 부위를 컷팅하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the repair unit may cut the defective portion using the laser.
상기 리페어 장치에서 상기 한 쌍의 프로브는 상기 레이저에 의해 컷팅된 상기 불량 부위의 양단 저항을 검출하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the pair of probes may detect resistance at both ends of the defective portion cut by the laser.
상기 리페어 장치에서 상기 리페어 유닛은 상기 레이저를 이용하여 상기 불량 부위를 용접하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the repair unit may weld the defective portion by using the laser.
상기 리페어 장치에서 상기 리페어 유닛은 상기 레이저를 이용하여 상기 불량 부위를 증착하는 것을 특징으로 한다.In the repair apparatus, the repair unit may deposit the defective portion using the laser.
상기 리페어 장치에서 상기 한 쌍의 프로브는 상기 불량 부위에 접촉되어 통전 상태를 검출하는 것을 특징으로 한다. In the repair apparatus, the pair of probes are in contact with the defective portion to detect an energized state.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 7.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자의 리페어 장치는 장치의 외관을 형성하는 베이스 프레임(110)과, 베이스 프레임(110) 내에 마련되는 스테이지(112)와, 스테이지(112) 상에 마련되며 리페어 하고자 하는 액정표시소자(120)가 안착되는 척(116)과, 스테이지(112)에 설치되어 척(116)을 X축 및 Y축 방향으로 이송시키는 이송수단(118)과, 척(116)에 안착된 액정표시소자(120)의 불량 픽셀을 촬상하여 표시함과 아울러 레이저를 이용하여 불량 픽셀을 리페어하는 리페어 유닛(150)과, 리페어 유닛(150)에 설치되어 리페어 완료된 액정표시소자의 불량 픽셀에 직접 접촉하여 저항을 측정하여 리페어 상태의 성공유무를 검출하는 검사 유닛(160)을 구비한다.3 and 4, a repair apparatus for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a base frame 110 forming an exterior of the device, a stage 112 provided in the base frame 110, and A chuck 116 provided on the stage 112 and mounted with a liquid crystal display device 120 to be repaired, and a transfer means installed on the stage 112 to transfer the chuck 116 in the X-axis and Y-axis directions ( 118 and a repair unit 150 for capturing and displaying a defective pixel of the liquid crystal display device 120 mounted on the chuck 116 and repairing the defective pixel using a laser, and the repair unit 150. And an inspection unit 160 which detects the success or failure of the repair state by measuring the resistance by directly contacting the defective pixel of the repaired liquid crystal display device.
베이스 프레임(110)은 스페이지(112)를 지지하면서 각종 전기장치들을 포함한다.The base frame 110 supports various pages 112 and includes various electrical devices.
이송수단(118)은 LM 가이드를 이용하여 척(116)을 X축 및 Y축 방향으로 이송시키게 된다. 이 때, 이송수단(118)은 도시하지 않은 제어부로부터 공급되는 제어신호에 응답하여 척(116)을 원하는 좌표로 이송시키게 된다.The conveying means 118 conveys the chuck 116 in the X-axis and Y-axis directions using the LM guide. At this time, the transfer means 118 transfers the chuck 116 to desired coordinates in response to a control signal supplied from a controller (not shown).
리페어 유닛(150)은 도 5에 도시된 바와 같이 레이저를 발생하고 레이저의 세기와 굵기를 조절하는 레이저 헤드(130)와, 레이저 헤드(130)로부터 조사되는 레이저의 초점과 표시배율을 조절하기 위한 다수의 렌즈(142)와, 다수의 렌즈(142) 중 어느 하나로부터 촬상되는 액정표시소자(120)의 불량 픽셀을 표시하기 위한 표시부(134)를 포함하는 현미경 광학계(144)를 구비한다.As shown in FIG. 5, the repair unit 150 generates a laser and adjusts the laser head 130 for adjusting the intensity and thickness of the laser, and for adjusting the focus and display magnification of the laser emitted from the laser head 130. A microscope optical system 144 includes a plurality of lenses 142 and a display unit 134 for displaying defective pixels of the liquid crystal display device 120 picked up from any one of the plurality of lenses 142.
레이저 헤드(130)는 레이저를 발생하여 다수의 렌즈(142) 중 어느 하나를 통해 액정표시소자(120)에 조사하게 된다.The laser head 130 generates a laser to irradiate the liquid crystal display device 120 through any one of the plurality of lenses 142.
현미경 광학계(144)는 서로 다른 배율을 가지는 다수의 렌즈(142) 중 어느 하나를 선택하여 원하는 레이저의 세기와 초점 및 굵기를 설정하게 된다. 이를 위해, 현미경 광학계(144)는 다수의 렌즈(142) 중 원하는 배율의 렌즈(142)를 선택하기 위한 회전수단(136)을 포함한다. 이에 따라, 현미경 광학계(144)는 회전수단(136)을 이용하여 레이저의 초점 및 굵기에 해당하는 렌즈(142)를 선택하고, 선택된 렌즈(142)를 통해 레이저 헤드(130)로부터 조사되는 레이저를 액정표시소자(120)에 조사하게 된다.The microscope optical system 144 selects any one of the plurality of lenses 142 having different magnifications to set the desired intensity, focus, and thickness of the laser. To this end, the microscope optical system 144 includes a rotating means 136 for selecting a lens 142 of a desired magnification among the plurality of lenses 142. Accordingly, the microscope optical system 144 selects the lens 142 corresponding to the focal point and thickness of the laser using the rotating means 136, and receives the laser irradiated from the laser head 130 through the selected lens 142. The liquid crystal display device 120 is irradiated.
한편, 액정표시소자(120) 상에 조사되는 레이저의 좌표는 다수의 렌즈(142) 중 원하는 배율에 의해 선택된 렌즈(142)를 통해 표시부(134) 상에 표시되는 액정표시소자(120)의 촬상 화면을 통해 설정하게 된다. 또한, 액정표시소자(120) 상에 조사되는 레이저의 세기와 초점 및 굵기는 액정표시소자(120)의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor)부 및 기타 전극부를 형성하는 각 공정의 층이 형성된 별도의 테스트 액정표시소자(120)에 레이저를 조사함으로써 최적화된다. 구체적으로, 렌즈(142)의 배율에 따라 테스트 액정표시소자(120)의 박막 트랜지스터부 및 기타 전극부의 각층에 레이저를 조사하고 프로브로 쇼트여부를 체크함으로써 레이저의 세기와 초점 및 굵기에 대응되는 최적화된 데이터를 얻게 된다. 이렇게 얻어진 레이저의 세기와 초점 및 굵기에 대응되는 최적화된 데이터는 액정표시소자(120)의 리페어 장치의 제어부(132)에 저장된다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치의 제어부(132)는 저장된 데이터를 이용하여 현미경 광학계(144)의 회전수단을 구동시켜 다수의 렌즈(142) 중 렌즈(142)를 선택함으로써 리페어 하고자 하는 액정표시소자(120)의 각 층에 따라 레이저의 세기와 초점 및 굵기를 최적화시킬 수 있다.On the other hand, the coordinates of the laser irradiated on the liquid crystal display device 120 is captured by the liquid crystal display device 120 displayed on the display unit 134 through the lens 142 selected by the desired magnification among the plurality of lenses 142. It is set through the screen. In addition, the intensity, focus, and thickness of the laser irradiated on the liquid crystal display device 120 may include a separate test in which a layer of each process of forming a thin film transistor portion and other electrode portions of the liquid crystal display device 120 is formed. The liquid crystal display device 120 is optimized by irradiating a laser. Specifically, the laser beam is irradiated to each layer of the thin film transistor unit and the other electrode unit of the test liquid crystal display device 120 according to the magnification of the lens 142, and an optimization corresponding to the laser intensity, focus, and thickness is checked by checking whether a short is detected by a probe. You get the data. The optimized data corresponding to the intensity, focus, and thickness of the laser thus obtained are stored in the controller 132 of the repair apparatus of the liquid crystal display device 120. Accordingly, the controller 132 of the repair apparatus for a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention drives the rotating means of the microscope optical system 144 using the stored data to operate the lens 142 of the plurality of lenses 142. By selecting, the intensity, focus and thickness of the laser can be optimized according to each layer of the liquid crystal display device 120 to be repaired.
검사 유닛(160)은 도 5에 도시된 바와 같이 현미경 광학계(144)의 하면 후단(즉, 다수의 렌즈(142)의 뒤쪽)에 설치되는 구동부(162)와, 구동부(162)의 배면에 설치되어 구동부(162)에 의한 상하로 수직 운동하는 한 쌍의 프로브(164)를 구비한다.As illustrated in FIG. 5, the inspection unit 160 is installed at the rear of the lower surface of the microscope optical system 144 (that is, behind the plurality of lenses 142) and the rear surface of the driving unit 162. And a pair of probes 164 vertically moved up and down by the driving unit 162.
구동부(162)는 도시하지 않은 모터를 이용하여 한 쌍의 프로브(164) 각각을 수직방향으로 이송시키게 된다. 이에 따라, 구동부(162)는 한 쌍의 프로브(164)의 미세한 이송을 위하여 정밀모터를 사용하게 된다.The driver 162 transfers each of the pair of probes 164 in a vertical direction by using a motor (not shown). Accordingly, the driving unit 162 uses a precision motor for fine transfer of the pair of probes 164.
프로브(164)는 구동부(162)의 구동에 의해 레이저에 의해 리페어된 액정표시소자(120)의 불량 픽셀 쪽으로 이송하여 리페어 부위 양단에 직접 접촉하여 양단의 저항을 검출하여 제어부(132)에 공급한다. 제어부(132)는 한 쌍의 프로브(164)로부터 검출되는 리페어 부위의 양단 저항에 따라 리페어 상태의 불량 유무를 판단하고, 불량일 경우 리페어 공정을 재 작업하도록 제어하게 된다.The probe 164 transfers to the defective pixel of the liquid crystal display 120 repaired by the laser by driving the driving unit 162 and directly contacts both ends of the repair part to detect resistance of both ends and supplies the resistance to the control unit 132. . The controller 132 determines whether the repair state is defective according to the resistance of both ends of the repair site detected by the pair of probes 164, and controls the repair process to be reworked if the repair state is defective.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치는 리페어 하고자 하는 액정표시소자(120)를 척(116) 상에 안착시킨 후, 리페어 하고자 하는 불량 픽셀의 좌표를 다수의 렌즈(142)를 통하여 찾게 된다. 그런 다음, 제어부(132)에 저장된 최적화된 데이터를 기초하여 회전수단을 이용하여 액정표시소자(120)의 불량 픽셀에 좌표 상에 대응되는 레이저의 초점 및 굵기에 해당하는 렌즈(142)를 선택하고, 선택된 렌즈(142)를 통해 레이저 헤드(130)로부터 조사되는 레이저를 액정표시소자(120)에 조사하게 된다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 LCD용 리페어 장치는 렌즈(42)를 통과하여 액정표시소자(120)의 불량 픽셀에 레이저를 조사함으로써 불량 픽셀을 컷팅(Cutting), 용접(Welding) 및 증착(Deposition) 등의 방법을 이용하여 리페어하게 된다.As described above, in the repair apparatus for a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, the liquid crystal display device 120 to be repaired is mounted on the chuck 116, and then a plurality of lenses 142 are used to coordinate coordinates of the defective pixel to be repaired. To be found. Then, the lens 142 corresponding to the focal point and thickness of the laser corresponding to the coordinates of the defective pixel of the liquid crystal display device 120 is selected using the rotation means based on the optimized data stored in the controller 132. The laser irradiated from the laser head 130 through the selected lens 142 is irradiated to the liquid crystal display device 120. Therefore, in the LCD repair apparatus according to the embodiment of the present invention, the defective pixels are cut, welded, and deposited by irradiating a laser to the defective pixels of the liquid crystal display device 120 through the lens 42. Deposition) or the like to repair.
그런 다음, 본 발명의 실시 예에 다른 액정표시소자용 리페어 장치는 검사 유닛(160)의 한 쌍의 프로브(164)를 액정표시소자(120)의 리페어 부위의 양단에 접촉하도록 구동부(162)를 구동시키게 된다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 다른 액정표시소자용 리페어 장치는 액정표시소자(120)의 리페어 부위의 양단에 접촉된 한 쌍의 프로브(164)에 의한 리페어 부위의 양단 저항을 검출함으로써 컷팅 후 절연상태, 용접이나 증착 후 통전 상태를 수치화하여 표시부에 표시하게 된다.Then, according to the embodiment of the present invention, the repair apparatus for the liquid crystal display device may include the driving unit 162 such that the pair of probes 164 of the inspection unit 160 contact both ends of the repair portion of the liquid crystal display device 120. Will be driven. Accordingly, the repair apparatus for a liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention is cut after detecting the resistance at both ends of the repair portion by a pair of probes 164 in contact with both ends of the repair portion of the liquid crystal display device 120. The insulation state and the energization state after welding or deposition are numerically displayed on the display unit.
예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이 게이트 라인들(GL)과 데이터 라인들(DL)의 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(TFT)에 접속되는 화소전극(176)의 형성공정 중에 화소전극(176)의 일측이 데이터 라인(DL)에 중첩될 경우, 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)으로 인하여 데이터 라인(DL)과 화소전극(176) 간의 기생 커패시터 값이 달라지기 때문에 상술한 리페어 장치를 이용하여 화소전극(176)을 컷팅하게 된다. 이를 상세히 하면, 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)을 렌즈(142)를 통해 촬상하여 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)에 대한 좌표에 따라 척(116)을 이송시키게 된다. 그런 다음, 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)의 좌표에 대응되는 레이저의 세기와 초점 및 굵기를 제어부(132)에 저장된 데이터에 기초하여 다수의 렌즈(142) 중 하나를 선택하게 된다. 이어서, 선택된 렌즈(142)를 통해 레이저 헤드(130)로부터 발생되는 레이저를 조사하여 도 7에 도시된 바와 같이 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)을 컷팅(185)하여 리페어 하게 된다. 이에 따라, 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)에 조사되는 레이저에 의해 데이터 라인(DL)과 화소전극(176) 사이의 화소전극(176)이 컷팅되어 분리된다.For example, as illustrated in FIG. 6, the pixel electrode 176 during the process of forming the pixel electrode 176 connected to the thin film transistor TFT formed at each intersection of the gate lines GL and the data lines DL. When one side of the top layer overlaps the data line DL, the parasitic capacitor value between the data line DL and the pixel electrode 176 is reduced due to the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176. Since it is different, the pixel electrode 176 is cut using the repair apparatus described above. In detail, the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176 is imaged through the lens 142 to the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176. The chuck 116 is transferred according to the coordinates of the. Then, the plurality of lenses 142 based on data stored in the controller 132 of the intensity, focus, and thickness of the laser corresponding to the coordinates of the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176. You will select one. Subsequently, the laser generated from the laser head 130 is irradiated through the selected lens 142 to cut the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176 as illustrated in FIG. 7. Will be repaired. Accordingly, the pixel electrode 176 between the data line DL and the pixel electrode 176 is cut and separated by a laser irradiated to the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176. .
이러한, 데이터 라인(DL)과 화소전극(176)의 중첩되는 부분(180)의 리페어 공정의 불량 유무를 확인하기 위하여, 검사 유닛(160)의 구동부(162)는 한 쌍의 프로브(164)를 하강시켜 레이저에 의해 컷팅된 데이터 라인(DL)과 중첩되는 화소전극(180)과 박막 트랜지스터(TFT)에 접속된 화소전극(176)에 접촉시키게 된다. 이에 따라, 한 쌍의 프로브(164)는 데이터 라인(DL)과 중첩되는 화소전극(180)과 박막 트랜지스터(TFT)에 접속된 화소전극(176) 간의 저항을 검출하여 제어부(132)에 공급한다. 따라서, 제어부(132)는 한 쌍의 프로브(164)에 의해 검출된 저항값을 수치화하여 표시하게 된다. 따라서, 작업자는 제어부(132)에 의해 표시부(134)에 표시되는 수치를 참조하여 리페어 공정의 불량 유무를 즉시 확인하여 불량이 리페어 공정을 재작업을 실시하게 된다.In order to confirm whether the repair process of the overlapping portion 180 of the data line DL and the pixel electrode 176 is defective, the driving unit 162 of the inspection unit 160 operates the pair of probes 164. The lower surface is brought into contact with the pixel electrode 180 overlapping the data line DL cut by the laser and the pixel electrode 176 connected to the thin film transistor TFT. Accordingly, the pair of probes 164 detects a resistance between the pixel electrode 180 overlapping the data line DL and the pixel electrode 176 connected to the thin film transistor TFT and supplies the resistance to the controller 132. . Accordingly, the controller 132 digitizes and displays the resistance value detected by the pair of probes 164. Accordingly, the operator immediately checks whether the repair process is defective by referring to the numerical value displayed on the display unit 134 by the control unit 132, and performs the rework of the repair process.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치는 액정표시소자(120)의 불량 픽셀에 대한 리페어 공정을 실시 한 후, 한 쌍의 프로브(164)를 이용하여 리페어 부위의 양단 저항을 검출하여 수치화함으로써 리페어 공정의 불량유무를 즉시 확인하고 리페어 공정의 불량인 경우 즉시 리페어 공정을 다시 실시할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치는 리페어 공정의 성공률을 높임으로써 액정표시소자의 생산 수율을 향상시킬 수 있다. As described above, the repairing apparatus for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention performs a repair process for a defective pixel of the liquid crystal display device 120, and then uses a pair of probes 164 to resist both ends of the repair portion. By detecting and digitizing the repair process, the repair process can be immediately confirmed whether the repair process is defective, and if the repair process is defective, the repair process can be immediately performed again. Accordingly, the repair apparatus for the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention can improve the production yield of the liquid crystal display device by increasing the success rate of the repair process.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치는 레이저가 방출되는 현미경 광학계의 뒤에 한 쌍의 프로브를 설치하여 리페어 공정 직후에 리페어 부위의 양단을 직접 접촉하여 리페어 부위의 양단 저항을 검출함으로써 리페어 공정에 따른 컷팅 후 절연상태, 용접 또는 증착 후의 통전상태를 수치로 표시하게 된다. 이로 인하여, 액정표시소자의 제조공정시 각 레이어별 리페어용 레이저의 조건설정이 용이하고 리페어 공정 직후 리페어 공정의 성공여부를 즉시 확인함으로써 리페어 공정의 실패일 경우 리페어 공정의 재작업을 실시 할 수 있다. 따라서, 본 발명은 리페어 공정의 성공률을 높임으로써 액정표시소자의 생산 수율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 종래에서와 같이 리페어 공정이 실패된 액정표시소자가 후속 공정으로 누출되는 것을 방지함으로써 액정표시소자의 원가를 저감시킬 수 있다.As described above, in the repair apparatus for a liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention, a pair of probes are installed behind a microscope optical system in which a laser is emitted, and both ends of the repair site are directly contacted at both ends of the repair site immediately after the repair process. By detecting the resistance, the insulation state after cutting according to the repair process, and the energization state after welding or deposition are displayed numerically. Therefore, it is easy to set the condition of the repair laser for each layer during the manufacturing process of the liquid crystal display device, and immediately check whether the repair process succeeds immediately after the repair process, so that the repair process can be reworked if the repair process fails. . Therefore, the present invention can improve the production yield of the liquid crystal display by increasing the success rate of the repair process. In addition, the present invention can reduce the cost of the liquid crystal display device by preventing the liquid crystal display device having a repair process failed to leak in a subsequent process as in the prior art.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.
도 1은 종래의 액정표시소자용 리페어 장치를 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing a conventional repair apparatus for a liquid crystal display element.
도 2는 도 1에 도시된 리페어 유닛을 나타내는 사시도.FIG. 2 is a perspective view illustrating the repair unit shown in FIG. 1. FIG.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시소자용 리페어 장치를 나타내는 사시도.3 is a perspective view illustrating a repair apparatus for a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 도 3에 도시된 액정표시소자용 리페어 장치를 개략적으로 나타내는 블록도.FIG. 4 is a block diagram schematically illustrating a repair apparatus for a liquid crystal display shown in FIG. 3.
도 5는 도 3에 도시된 리페어 유닛을 나타내는 사시도.FIG. 5 is a perspective view illustrating the repair unit shown in FIG. 3. FIG.
도 6은 도 3에 도시된 액정표시소자 상의 불량 픽셀을 나타내는 평면도.FIG. 6 is a plan view showing a bad pixel on the liquid crystal display shown in FIG.
도 7은 도 6에 도시된 불량 픽셀의 리페어 및 검사 공정을 나타내는 평면도. FIG. 7 is a plan view illustrating a repair and inspection process of a bad pixel shown in FIG. 6; FIG.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10, 110 : 베이스 프레임 12, 112 : 스테이지10, 110: base frame 12, 112: stage
16, 116 : 척 18, 118 : 이송수단16, 116: Chuck 18, 118: transfer means
20, 120 : LCD 30, 130 : 레이저 헤드 20, 120: LCD 30, 130: laser head
42, 142 : 렌즈 44, 144 : 현미경 광학계42, 142: lens 44, 144: microscope optical system
50, 150 : 리페어 유닛 134 : 표시부50, 150 repair unit 134: display unit
136 : 회전수단 160 : 검사 유닛136: rotation means 160: inspection unit
162 : 구동부 164 : 프로브 162: drive unit 164: probe
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100879456B1 (en) * | 2007-06-07 | 2009-01-23 | 참앤씨(주) | Probe unit having a pogo pin and a substrate repair device using the same. |
| KR100909959B1 (en) * | 2008-01-28 | 2009-07-30 | 참앤씨(주) | LC panel repair apparatus and method |
| KR20170121788A (en) * | 2016-04-25 | 2017-11-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus of reparing and inspection for substrate, and reparing and inspection method for substrate using the apparatus |
| CN110108447A (en) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 江苏才道精密仪器有限公司 | A kind of flexible screen laser repairing detection machine |
| CN113359336A (en) * | 2021-06-30 | 2021-09-07 | 苏州科韵激光科技有限公司 | Moving device for laser repairing equipment |
| CN114879389A (en) * | 2022-05-23 | 2022-08-09 | 南京阿德庞斯信息科技有限公司 | Liquid crystal display defect repairing equipment and repairing method thereof |
| CN114932308A (en) * | 2022-04-11 | 2022-08-23 | 深圳市韵腾激光科技有限公司 | Dynamic Mini display unit repair system |
-
2003
- 2003-12-24 KR KR1020030096716A patent/KR20050065823A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100879456B1 (en) * | 2007-06-07 | 2009-01-23 | 참앤씨(주) | Probe unit having a pogo pin and a substrate repair device using the same. |
| TWI460431B (en) * | 2007-06-07 | 2014-11-11 | Charm & Ci Co Ltd | Pogo probe unit and repair apparatus for flat panel display by the same |
| KR100909959B1 (en) * | 2008-01-28 | 2009-07-30 | 참앤씨(주) | LC panel repair apparatus and method |
| KR20170121788A (en) * | 2016-04-25 | 2017-11-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus of reparing and inspection for substrate, and reparing and inspection method for substrate using the apparatus |
| CN110108447A (en) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 江苏才道精密仪器有限公司 | A kind of flexible screen laser repairing detection machine |
| CN113359336A (en) * | 2021-06-30 | 2021-09-07 | 苏州科韵激光科技有限公司 | Moving device for laser repairing equipment |
| CN114932308A (en) * | 2022-04-11 | 2022-08-23 | 深圳市韵腾激光科技有限公司 | Dynamic Mini display unit repair system |
| CN114932308B (en) * | 2022-04-11 | 2024-01-30 | 深圳市韵腾激光科技有限公司 | Dynamic Mini display unit repairing system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20031224 |
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| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |