KR200495352Y1

KR200495352Y1 - Two port valve

Info

Publication number: KR200495352Y1
Application number: KR2020170006823U
Authority: KR
Inventors: 이쿠오 칸자카
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2017-01-04
Filing date: 2017-12-29
Publication date: 2022-05-06
Anticipated expiration: 2027-12-29
Also published as: KR20180002160U

Abstract

(과제) 시일부재에의 디포짓의 부착을 억제함으로써 시일부재의 시일성의 저하를 방지할 수 있는 2포트 밸브를 제공한다.
(해결수단) 2포트 밸브(1)에 있어서, 밸브체(20)에 의한 제1유로 개구(12a)의 폐쇄시에 상기 유로 개구(12a) 둘레를 기밀하게 시일하는 제1시일부재(15)를 밸브 시트(10)에 설치하고, 또한, 상기 시일부재(15) 전체를 축선(L1) 방향에 있어서 상기 제1유로 개구(12a)를 형성하는 개구벽(16)의 선단(16a), 및, 상기 제2유로 개구(13a)의 둘레가장자리 중 밸브 시트(10)에 가장 근접한 끝가장자리(13b)보다 상기 개구벽(16)의 기단측으로 후퇴시킨 위치에 배치했다.(Problem) To provide a two-port valve capable of preventing a decrease in the sealing property of the sealing member by suppressing adhesion of the deposit to the sealing member.
(Solution) In the two-port valve (1), when the first flow passage opening (12a) is closed by the valve body (20), a first sealing member (15) for sealing the periphery of the flow passage opening (12a) hermetically is provided on the valve seat 10, and the entire sealing member 15 is positioned at the tip 16a of the opening wall 16 forming the first flow passage opening 12a in the direction of the axis L1; , disposed at a position retracted to the proximal end side of the opening wall 16 rather than the end edge 13b closest to the valve seat 10 among the peripheral edges of the second flow passage opening 13a.

Description

2-port valve {TWO PORT VALVE}

본 고안은, 예를 들면, 반도체의 제조 장치에 있어서, 프로세스 가스를 사용하는 진공 챔버의 감압 등에 사용하기 위한 2포트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to, for example, a two-port valve for use in, for example, depressurization of a vacuum chamber using a process gas in a semiconductor manufacturing apparatus.

반도체의 제조 장치에 있어서는 프로세스 가스를 이용하여 반도체 기판 상에 성막 처리를 실시할 경우, 진공 챔버내에서 그 처리가 행해진다. 그 때, 진공 챔버의 감압에는 진공 펌프가 사용되고, 이들 진공 펌프와 진공 챔버를 연결하는 외부유로의 개폐에 2포트 밸브가 사용된다. 이 2포트 밸브는 예를 들면, 특허문헌 1에 나타내듯이, 진공 챔버에 접속하기 위한 제1포트부와, 진공 펌프에 접속하기 위한 제2포트부와, 이들 제1포트부와 제2포트부를 접속하는 유로와, 이 유로 중에 있어서의 제1포트부측에 설치된 밸브 시트와, 이 밸브 시트에 접촉이간하는 밸브체를 구비하고 있고, 이 밸브체에 시일부재가 부착되어 있다.In a semiconductor manufacturing apparatus, when a film forming process is performed on a semiconductor substrate using a process gas, the process is performed in a vacuum chamber. At that time, a vacuum pump is used for depressurizing the vacuum chamber, and a two-port valve is used for opening and closing an external flow path connecting the vacuum pump and the vacuum chamber. As shown in Patent Document 1, for example, this two-port valve includes a first port portion for connecting to a vacuum chamber, a second port portion for connecting to a vacuum pump, and these first and second port portions. A flow path to be connected, a valve seat provided on the side of the first port portion in the flow path, and a valve body to be in contact with the valve seat are provided, and a sealing member is attached to the valve body.

그런데, 이러한 2포트 밸브에서는 시일부재와 제1포트부의 상기 유로에 개구하는 개구가 서로 대향하고 있는 점에서 밸브체를 밸브 시트로부터 이간시켜서 밸브를 개방하면, 제1포트부로부터 유입하는 프로세스 가스가 밸브체에 부착되어 있는 시일부재에 직접 닿게 된다. 그 때문에 시일부재에 부생성물(성막에 의한 생성물 이외의 생성물) 등의 디포짓이 부착되기 쉬워 시일부재의 시일성의 저하를 초래할 우려가 있다.However, in such a two-port valve, when the valve body is separated from the valve seat and the valve is opened at a point where the sealing member and the opening opening to the flow path of the first port portion are opposite to each other, the process gas flowing in from the first port portion is It comes into direct contact with the sealing member attached to the valve body. For this reason, deposits such as by-products (products other than the product by film formation) easily adhere to the sealing member, and there is a fear that the sealing properties of the sealing member are deteriorated.

일본 특허공개 2006-312981호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2006-312981

그래서, 본 고안의 기술적 과제는 시일부재에의 디포짓의 부착을 억제함으로써 시일부재의 시일성의 저하를 방지할 수 있는 2포트 밸브를 제공하는 것에 있다.Then, the technical subject of this invention is providing the 2-port valve which can prevent the fall of the sealing property of a sealing member by suppressing adhesion of a deposit to a sealing member.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 고안의 2포트 밸브는 축선방향으로 이어지는 주밸브부와 밸브 구동부를 갖고, 상기 주밸브부는 상기 축선방향으로 형성된 1차측 포트부, 상기 축선에 대해서 직교하는 방향으로 형성된 2차측 포트부, 및 이들 양 포트부를 연결하는 유로부를 갖는 밸브 하우징과, 상기 1차측 포트부에 있어서의 상기 유로부에 형성된 제1유로 개구를 둘러싸도록 형성된 밸브 시트와, 상기 밸브 시트에 접촉이간해서 상기 제1유로 개구를 개폐하는 밸브체를 갖고, 상기 밸브 구동부에 의해 상기 밸브체를 상기 축선방향으로 구동함으로써 상기 밸브체가 상기 밸브 시트에 접촉이간되는 2포트 밸브로서, 상기 제1유로 개구는 상기 밸브 시트의 내주측으로부터 상기 유로부측을 향해서 상기 축선방향으로 세워서 설치된 환상의 개구벽에 의해 형성되고, 상기 밸브 시트는 상기 밸브체가 접촉이간하는 제1시일부재를 상기 개구벽을 둘러싸도록 갖고, 상기 개구벽은 상기 축선방향에 있어서 상기 제1시일부재의 정단보다 상기 유로부측으로 돌출하고 있고, 상기 밸브체는 상기 제1시일부재에의 접촉시에 상기 개구벽과의 간섭을 피하기 위한 도피부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the two-port valve of the present invention has a main valve part and a valve driving part extending in an axial direction, and the main valve part has a primary port part formed in the axial direction, and a secondary side formed in a direction orthogonal to the axis line. A valve housing having a port portion and a flow passage connecting both port portions, a valve seat formed to surround a first flow passage opening formed in the flow passage portion in the primary port portion, and a contact space between the valve seat and the valve seat A two-port valve having a valve body for opening and closing the first flow path opening, wherein the valve body is contacted and separated from the valve seat by driving the valve body in the axial direction by the valve driving unit, wherein the first flow path opening includes: is formed by an annular opening wall installed upright in the axial direction from the inner peripheral side of the valve seat toward the flow passage side, the valve seat having a first sealing member with which the valve body is in contact with the opening wall to surround the opening wall , the opening wall protrudes toward the flow passage side from the top end of the first sealing member in the axial direction, and the valve body escapes to avoid interference with the opening wall when in contact with the first sealing member. characterized by wealth.

이 경우에 있어서, 상기 2차측 포트부가 상기 유로부에 개구된 제2유로 개구를 갖고, 상기 축선방향에 있어서 상기 제2유로 개구의 둘레가장자리 중 상기 밸브 시트에 가장 근접한 끝가장자리가 상기 제1시일부재의 정단보다 상기 유로부측에 위치하고 있는 것이 바람직하다.In this case, the secondary port portion has a second flow passage opening opened to the flow passage portion, and among the peripheral edges of the second flow passage opening in the axial direction, an edge closest to the valve seat is the first seal. It is preferable that it is located on the said flow path part side rather than the front end of a member.

또한 상기 밸브 하우징은 상기 1차측 포트부를 갖는 1차측 하우징부와, 상기 2차측 포트부 및 상기 유로부를 갖는 하우징 본체부로 구성되고, 상기 유로부는 상기 하우징 본체부의 내주벽에 의해 형성되고, 상기 내주벽에 있어서의 상기 밸브 시트와 인접하는 부위는 상기 유로부측으로부터 밸브 시트를 향해서 축경되는 테이퍼상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the valve housing includes a primary housing part having the primary port part, a housing body part having the secondary port part and the flow path part, and the flow path part is formed by an inner peripheral wall of the housing body part, and the inner peripheral wall Preferably, the portion adjacent to the valve seat is formed in a tapered shape that is reduced in diameter from the flow passage side toward the valve seat.

이 경우에 있어서, 상기 1차측 하우징부와 상기 하우징 본체부는 각각 별체로 형성되고, 상기 1차측 하우징부에 상기 밸브 시트가 형성되고, 상기 밸브 하우징은 상기 1차측 하우징부와 하우징 본체부를 서로 연결함으로써 형성되어 있는 것이 바람직하다.In this case, the primary housing part and the housing body part are formed separately, the valve seat is formed in the primary housing part, and the valve housing is formed by connecting the primary housing part and the housing body part to each other. It is preferable that it is formed.

또한, 상기 2포트 밸브의 바람직한 실시형태에 있어서는, 상기 밸브체에 있어서의 상기 밸브 시트와의 대향면은 환상 볼록부를 포함하고 있고, 상기 환상 볼록부에 있어서의 상기 밸브 시트와의 대향면이 상기 제1시일부재에 대해서 접촉이간하는 시일면을 형성하고 있다. Further, in a preferred embodiment of the two-port valve, a surface of the valve body opposite to the valve seat includes an annular convex portion, and a surface opposite to the valve seat in the annular convex portion is configured as described above. A sealing surface to be in contact with the first sealing member is formed.

이 때, 바람직하게는, 상기 도피부는 상기 환상 볼록부로 둘러싸여진 오목부에 의해 형성되어 있다.At this time, preferably, the relief portion is formed by a concave portion surrounded by the annular convex portion.

또한 상기 2포트 밸브의 바람직한 실시형태에 있어서는, 상기 밸브체에 있어서의 상기 밸브 구동부측을 향하는 면에는 상기 축선방향으로 연장되는 밸브 샤프트가 고정되고, 상기 밸브 구동부는 상기 밸브 샤프트에 대해서 고정된 피스톤과, 상기 피스톤을 상기 축선방향으로 왕복동시키기 위한 실린더실을 갖고, 상기 주밸브부와 밸브 구동부는 상기 밸브 샤프트를 기밀하고 또한 슬라이딩 가능하게 삽입통과시키는 삽입통과구멍이 상기 축선방향으로 관통된 연결부재에 의해 서로 연결되어 있고, 상기 연결부재에 의해, 상기 주밸브부의 유로부 및 밸브 구동부의 실린더실이 각각 기밀하게 구획되어 있다.Further, in a preferred embodiment of the two-port valve, a valve shaft extending in the axial direction is fixed to a surface of the valve body facing the valve driving unit, and the valve driving unit is a piston fixed to the valve shaft. and a cylinder chamber for reciprocating the piston in the axial direction, wherein the main valve unit and the valve driving unit have an insertion hole through which the valve shaft is hermetically and slidably inserted through the connecting member in the axial direction. are connected to each other by the above-mentioned connecting member, and the flow path part of the main valve part and the cylinder chamber of the valve driving part are airtightly partitioned, respectively.

이 때, 바람직하게는, 상기 밸브체에 있어서의 상기 밸브 구동부측을 향하는 면에는 상기 제1유로 개구의 개방시에, 상기 연결부재에 접촉해서 상기 유로부와 상기 삽입통과구멍 사이를 기밀하게 시일하기 위한 제2시일부재가 상기 밸브 샤프트를 둘러싸도록 설치되어 있다.At this time, it is preferable that the surface of the valve body facing the valve driving section is in contact with the connecting member when the first flow passage opening is opened to airtightly seal between the flow passage portion and the insertion hole. A second sealing member for closing the valve is provided to surround the valve shaft.

또한 보다 바람직하게는, 상기 제2시일부재가 상기 연결부재에 접촉하고 있을 때에, 상기 밸브체의 전체가 상기 축선방향에 있어서, 상기 제2유로 개구의 둘레가장자리에 있어서의 상기 연결부재에 가장 근접한 끝가장자리보다 상기 연결부재측에 위치하고 있다.More preferably, when the second sealing member is in contact with the connecting member, the entire valve body is closest to the connecting member at the peripheral edge of the second flow passage opening in the axial direction. It is located on the side of the connecting member rather than the end edge.

또한, 보다 바람직하게는, 상기 실린더실은 상기 축선방향에 있어서 상기 피스톤에 의해 상기 연결부재측의 제1압력실과, 상기 제1압력실과 반대측의 제2압력실로 구획되어 있고, 이들 압력실에는 압축 유체를 급배하기 위한 포트가 각각 형성되어 있고, 상기 삽입통과구멍에는 상기 제1압력실로부터 상기 삽입통과구멍의 시일부재를 넘어서 새어나온 압축 유체를 대기로 배출하기 위한 통과구멍이 형성되어 있다.Further, more preferably, the cylinder chamber is partitioned by the piston in the axial direction into a first pressure chamber on the side of the connection member and a second pressure chamber on the opposite side to the first pressure chamber, and these pressure chambers contain a compressed fluid Ports for supplying and discharging air are respectively formed, and a through hole is formed in the insertion hole for discharging the compressed fluid leaking from the first pressure chamber over the sealing member of the insertion hole to the atmosphere.

그리고, 더 바람직하게는, 상기 밸브 샤프트에 있어서의 상기 밸브체와 반대측의 단부에는 상기 실린더실을 형성하는 실린더 하우징을 상기 축선방향으로 기밀하고 또한 슬라이딩 가능하게 관통해서 상기 밸브 구동부에 의한 밸브체의 왕복동에 따라 상기 실린더 하우징의 내외로 출몰하는 인디케이터가 부착되어 있고, 상기 피스톤이 상기 밸브 샤프트와 상기 인디케이터 사이에서 협지되어서 상기 밸브 샤프트에 대해서 고정되어 있다.And, more preferably, an end of the valve shaft on the opposite side to the valve body passes through a cylinder housing forming the cylinder chamber in the axial direction in an airtight and slidable manner in the valve drive unit. An indicator protruding into and out of the cylinder housing according to reciprocation is attached, and the piston is fixed to the valve shaft by being sandwiched between the valve shaft and the indicator.

(고안의 효과)(Effect of the design)

본 고안에 의하면, 1차측 포트부에 있어서의 제1유로 개구는 밸브 시트의 내주측으로부터 유로부측을 향해서 축선방향으로 세워서 설치된 환상의 개구벽에 의해 형성되고, 상기 밸브 시트는 밸브체가 접촉이간하는 제1시일부재를, 상기 개구벽을 둘러싸도록 갖고, 상기 개구벽은 상기 축선방향에 있어서, 상기 제1시일부재의 정단보다 상기 유로부측으로 돌출하고 있다. 그 때문에 1차측 포트부로부터 2차측 포트부를 향해서 흐르는 유체가 밸브체에 부착되어 있는 시일부재에 직접 닿는 것을 방지할 수 있고, 시일부재에의 디포짓의 부착을 억제함으로써 시일부재의 시일성 저하를 방지할 수 있다.According to the present invention, the first flow path opening in the primary port portion is formed by an annular opening wall installed upright in the axial direction from the inner peripheral side of the valve seat toward the flow passage side, and the valve seat is spaced apart from the valve body. and a first sealing member that surrounds the opening wall, wherein the opening wall protrudes toward the flow passage side from the top end of the first sealing member in the axial direction. Therefore, it is possible to prevent the fluid flowing from the primary port portion toward the secondary port portion from directly contacting the sealing member attached to the valve body, and by suppressing adhesion of the deposit to the sealing member, a decrease in the sealing performance of the sealing member is reduced. can be prevented

도 1은 본 고안에 따른 2포트 밸브의 실시형태를 나타내는 폐쇄 밸브 상태의 단면도이다.
도 2는 도 1의 2포트 밸브의 개방 밸브 상태의 단면도이다.
도 3은 도 1의 요부 파단 확대도이다.1 is a cross-sectional view of a closing valve state showing an embodiment of a two-port valve according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of an open valve state of the two-port valve of FIG. 1 .
3 is an enlarged exploded view of the main part of FIG. 1 .

이하, 본 고안에 따른 2포트 밸브의 일실시형태에 대해서, 도면을 이용하여 상세하게 설명한다. 본 실시형태에 따른 2포트 밸브(1)는 도 1 및 도 2에 나타내듯이, 밸브 시트(10) 및 상기 밸브 시트(10)에 접촉이간하는 밸브체(20)를 구비한 주밸브부(2)와, 상기 밸브체(20)를 구동하는 밸브 구동부(3)를 갖고 있고, 축선(L1) 방향에 있어서 상기 주밸브부(2)를 제1단측에 배치함과 아울러 상기 밸브 구동부(3)를 제2단측에 배치하고, 이들 주밸브부(2)와 밸브 구동부(3)를 서로 연결함으로써 구성되어 있다.Hereinafter, an embodiment of a two-port valve according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2 , the two-port valve 1 according to the present embodiment has a main valve part 2 including a valve seat 10 and a valve body 20 that is in contact with and spaced apart from the valve seat 10 . ) and a valve driving unit 3 for driving the valve body 20, the main valve unit 2 is disposed on the first end side in the axial line L1 direction, and the valve driving unit 3 is provided It is arrange|positioned at the 2nd end side, and it is comprised by connecting these main valve part 2 and the valve drive part 3 with each other.

상기 주밸브부(2)는 축선(L1) 방향으로 형성되어서 도시하지 않은 반도체 제조 장치의 진공 챔버 등에 접속되는 1차측 포트부(12)와, 이 축선(L1)에 대해서 직교하는 축선(L2) 방향으로 형성되어서 도시하지 않은 진공 펌프 등에 접속되는 2차측 포트부(13)와, 이들 양 포트부(12,13)를 연통시키는 유로부(11)가 형성된 밸브 하우징(5)을 갖고 있다. 이 밸브 하우징(5)은 1차측 포트부(12)가 형성된 1차측 하우징부(6)와, 2차측 포트부(13) 및 유로부(11)가 형성된 하우징 본체부(7)로 이루어져 있다. 상기 1차측 하우징부(6)와 하우징 본체부(7)는 별체로 형성되어 있고, 상기 밸브 하우징(5)은 상기 1차측 하우징부(6)와 하우징 본체부(7)를 시일부재를 통해 서로 기밀하게 연결함으로써 구성되어 있다.The main valve part 2 is formed in the axial line L1 direction and includes a primary port part 12 connected to a vacuum chamber or the like of a semiconductor manufacturing apparatus (not shown), and an axial line L2 direction orthogonal to this axis L1. It has a valve housing 5 in which a secondary port part 13 formed of , not shown and connected to a vacuum pump or the like, and a flow path part 11 for communicating these port parts 12 and 13 are formed. The valve housing 5 is composed of a primary housing portion 6 having a primary port portion 12 formed thereon, and a housing body portion 7 having a secondary port portion 13 and a flow path portion 11 formed therein. The primary housing part 6 and the housing body part 7 are formed separately, and the valve housing 5 connects the primary housing part 6 and the housing body part 7 to each other through a sealing member. It is constructed by secretly connecting.

1차측 하우징부(6)의 유로부(11)측(유로부(11)와 1차측 포트부(12)의 경계)에는 상기 유로부(11)에 개구된 상기 1차측 포트부(12)의 제1유로 개구(12a)가 형성되어 있고, 이 제1유로 개구(12a)의 주위를 둘러싸도록 밸브 시트(10)가 형성되어 있다. 또한 도 3에 나타내듯이, 이 밸브 시트(10)에는 환상의 오목홈(14)이 형성되어 있고, 이 오목홈(14)에는 예를 들면 고무 등의 합성수지로 이루어지는 환상의 제1시일부재(15)가 끼워 넣어져 있다. 그리고, 상기 밸브체(20)가 이 제1시일부재(15)에 접촉이간함으로써, 상기 제1유로 개구(12a)가 개폐되게 되어 있다. 즉, 이 2포트 밸브(1)에 있어서는 제1유로 개구(12a)의 폐쇄시에 1차측 포트부(12)와 유로부(11) 사이의 기밀성을 확보하기 위한 시일부재(15)가 상기 밸브체(20)가 아닌 밸브 시트(10)에 설치되어 있다.On the flow path part 11 side of the primary housing part 6 (the boundary between the flow path part 11 and the primary port part 12 ), the primary port part 12 opened in the flow path part 11 has a A first flow passage opening 12a is formed, and a valve seat 10 is formed to surround the first flow passage opening 12a. Also, as shown in Fig. 3, an annular concave groove 14 is formed in the valve seat 10, and the annular first sealing member 15 made of a synthetic resin such as rubber, for example, is formed in the concave groove 14. ) is inserted. Then, when the valve body 20 comes into contact with the first sealing member 15, the first flow passage opening 12a is opened and closed. That is, in this two-port valve 1, the sealing member 15 for ensuring airtightness between the primary port part 12 and the flow path part 11 when the 1st flow path opening 12a is closed is the said valve. It is provided on the valve seat 10 instead of the sieve 20 .

또한, 도 3에 나타내듯이, 밸브 시트(10)의 지름방향에 있어서의 내주측으로부터는 환상이며 통형상을 이루는 개구벽(16)이 상기 유로부(11)측을 향해서 상기 축선(L1) 방향으로 세워서 설치되어 있고, 상기 개구벽(16)의 선단(16a)에 의해 둘러싸진 영역이 상기 제1유로 개구(12a)를 형성하고 있다. 그리고, 상기 밸브 시트(10)의 제1시일부재(15)는 상기 제1유로 개구(12a)를 형성하는 개구벽(16)의 외주측에 그 주위를 둘러싸도록 배치되어 있다. 이 때, 개구벽(16)은 상기 시일부재(15)에 있어서의 상기 밸브체(20)가 접촉하는 정단(15a)보다 축선(L1) 방향에 있어서 상기 유로부(11)에 대해서 상기 밸브체(20)의 개방 방향(즉 유로부(11)측)으로 돌출되어 있다. 환언하면, 상기 제1시일부재(15)의 전체(즉 상기 밸브 시트(10)의 전체)가 상기 축선(L1) 방향에 있어서 상기 제1유로 개구(12a)(즉 개구벽(16)의 선단(16a))보다 상기 개구벽(16)의 기단측으로 후퇴시킨 위치에 배치되어 있다.Further, as shown in Fig. 3, the opening wall 16, which is annular and cylindrical from the inner peripheral side of the valve seat 10 in the radial direction, is directed toward the flow passage section 11 in the direction of the axis L1. It is installed upright, and the area|region surrounded by the front-end|tip 16a of the said opening wall 16 forms the said 1st flow path opening 12a. Further, the first sealing member 15 of the valve seat 10 is disposed on the outer peripheral side of the opening wall 16 forming the first flow passage opening 12a to surround the periphery thereof. At this time, the opening wall 16 is the valve body with respect to the flow path part 11 in the axial line L1 direction rather than the top end 15a of the sealing member 15 with which the valve body 20 comes into contact. It protrudes in the opening direction of (20) (that is, the flow path part 11 side). In other words, the entirety of the first sealing member 15 (that is, the entire valve seat 10) is the first flow passage opening 12a (that is, the tip of the opening wall 16) in the direction of the axis L1. (16a)), it is arrange|positioned at the position retracted to the proximal end side of the said opening wall 16.

그렇게 함으로써, 1차측 포트부(12)를 통해서 제1유로 개구(12a)로부터 유로부(11)에 유입된 프로세스 가스 등의 기체의 흐름이 그대로 직접 제1시일부재(15)에 닿는 것을 피할 수 있다. 따라서, 이러한 기체에 포함되는 부생성물(성막에 의한 생성물 이외의 생성물) 등의 디포짓이 상기 제1시일부재(15)에 부착되어서 퇴적하는 것을 억제하는 것이 가능해지고, 그 결과, 제1시일부재(15)의 장수명화를 꾀할 수 있어 밸브체(20)로 제1유로 개구(12a)를 폐쇄했을 때에 있어서의 기밀성을 보다 길게 유지하는 것이 가능해진다. 또, 상기 1차측 포트부(12)에 있어서 상기 개구벽(16)의 내경 즉 축선(L1)의 제1유로 개구(12a)의 지름과, 상기 개구벽(16)의 내주면에 이어진 부분의 내경은 서로 같게 되어 있다.By doing so, it is possible to avoid direct contact with the first sealing member 15 by the flow of gas such as process gas flowing into the flow passage 11 from the first passage opening 12a through the primary port portion 12 as it is. there is. Accordingly, it becomes possible to suppress deposits such as by-products (products other than the product by film formation) contained in the gas from adhering to and depositing on the first sealing member 15, and as a result, the first sealing member The life of (15) can be increased, and the airtightness when the first flow passage opening 12a is closed with the valve body 20 can be maintained longer. Further, in the primary port portion 12 , the inner diameter of the opening wall 16 , that is, the diameter of the first flow passage opening 12a along the axis L1 , and the inner diameter of the portion connected to the inner peripheral surface of the opening wall 16 . are equal to each other.

한편, 상기 하우징 본체부(7)는 중공으로 형성되어 있고, 그 내주벽에 의해 상기 유로부(11)가 형성됨과 아울러, 축선(L1) 방향의 양단에 제1개구부(17) 및 제2개구부(18)를 각각 갖고 있다. 그리고, 상기 제1개구부(17)에는 상술한 바와 같이, 상기 1차측 포트부(12)를 구비한 1차측 하우징부(6)가 시일부재를 통해 기밀하게 부착되어 있다. 또한 상기 제2개구부(18)에는 후술하는 연결부재(30)가 시일부재를 통해 기밀하게 끼워맞춰져 있다.On the other hand, the housing body part 7 is hollow, and the flow passage part 11 is formed by the inner peripheral wall thereof, and the first opening part 17 and the second opening part are formed at both ends in the axial line L1 direction. (18) respectively. And, as described above, the primary side housing part 6 provided with the primary side port part 12 is hermetically attached to the first opening part 17 through the sealing member. In addition, a connecting member 30 to be described later is airtightly fitted to the second opening 18 through a sealing member.

또한, 상기 하우징 본체부(7)에 있어서의 상기 제1개구부(17)와 제2개구부(18) 사이에는 상기 제1포트부(12)와 직교하는 방향을 따라 상기 2차측 포트부(13)가 개구되어 있다. 그리고, 상기 유로부(11)의 내주벽에 있어서의 2차측 포트부(13)와의 경계에는 상기 유로부(11)에 형성된 상기 2차측 포트부(13)의 제2유로 개구(13a)가 형성되어 있다. 이 때, 상기 축선(L1) 방향에 있어서, 상기 제2유로 개구(13a)의 둘레가장자리 중 상기 밸브 시트(10)에 가장 근접한 끝가장자리(13b)가 상기 제1시일부재(15)의 정단(15a)이나 상기 개구벽(16)의 선단(16a)보다 밸브체(20)의 개방 방향(즉 유로부(11)측)으로 위치하고 있다. 또한 축선(L2) 방향에 있어서는 상기 끝가장자리(13b)는 상기 밸브 시트(10)보다 외주측에 위치하고 있다.In addition, between the first opening 17 and the second opening 18 in the housing main body 7, the secondary port portion 13 is disposed along a direction perpendicular to the first port portion 12. is opened. A second passage opening 13a of the secondary port portion 13 formed in the passage portion 11 is formed at a boundary with the secondary port portion 13 in the inner peripheral wall of the passage portion 11 . has been At this time, in the axial line L1 direction, among the peripheral edges of the second flow passage opening 13a, the end edge 13b closest to the valve seat 10 is the top end of the first sealing member 15 ( 15a) or the front end 16a of the opening wall 16, it is located in the opening direction of the valve body 20 (that is, the flow path portion 11 side). Further, in the direction of the axis L2 , the end edge 13b is located on the outer peripheral side of the valve seat 10 .

그리고, 상기 유로부(11)의 내주벽에 있어서의 상기 밸브 시트(10)와 인접하는 부위는 상기 유로부(11)측(즉 상기 제2개구부(18)측)으로부터 상기 밸브 시트(10)를 향해서 축경되는 환상의 테이퍼면(7a)을 이루고 있다. 그것에 의해, 상기 제2유로 개구(13a)의 끝가장자리(13b)와 상기 밸브 시트(10) 사이에 연장되는 내주벽도 상기 테이퍼면(7a)을 이루고 있다.A portion of the inner peripheral wall of the flow path portion 11 adjacent to the valve seat 10 is from the flow passage portion 11 side (ie, the second opening portion 18 side) to the valve seat 10 . An annular tapered surface 7a whose diameter is reduced toward As a result, the inner peripheral wall extending between the end edge 13b of the second flow passage opening 13a and the valve seat 10 also forms the tapered surface 7a.

이렇게, 본 실시형태에 있어서는 상기 제1시일부재(15)를 포함하는 상기 밸브 시트(10)에 의해 저면이 형성되고, 상기 개구벽(16) 및 테이퍼면(7a)에 의해 측벽이 형성된 환상의 오목홈이 상기 1차측 포트부(12)의 제1유로 개구(12a)보다 외주측에 형성되어 있고, 또한, 축선(L1) 방향에 있어서, 상기 제2유로 개구(13a)의 전체가 상기 오목홈보다 밸브체(20)의 개방 방향, 즉 상기 제2개구부(18)측에 배치되어 있다. 그 때문에 상기 유로부(11)에 대해서 상기 제1유로 개구(12a)로부터 유입해서 상기 제2유로 개구(13a)로부터 유출하는 유체의 흐름이 밸브 시트(10)의 제1시일부재(15)에 직접적으로 닿는 것을 억제할 수 있다. 또한, 가령 상기 유체의 흐름이 이 오목홈 속으로 유입해도, 상기 테이퍼면(7a)에 의해 조속히 이 오목홈의 밖이나 상기 제2유로 개구(13a)로 유도해서 이 오목홈내에 유체가 체류하는 것을 억제할 수 있다.Thus, in this embodiment, the bottom surface is formed by the said valve seat 10 containing the said 1st sealing member 15, and the side wall is formed by the said opening wall 16 and the tapered surface 7a. A concave groove is formed on the outer circumferential side of the first flow passage opening 12a of the primary port portion 12, and in the axial line L1 direction, the entire second flow passage opening 13a is the concave. It is arranged in the opening direction of the valve body 20 rather than the groove, that is, on the side of the second opening 18 . Therefore, the flow of the fluid flowing in from the first flow passage opening 12a to the flow passage portion 11 and flowing out from the second passage opening 13a is directed to the first sealing member 15 of the valve seat 10 . Direct contact can be avoided. Further, even if the flow of the fluid flows into the concave groove, the tapered surface 7a promptly leads to the outside of the concave groove or to the second flow passage opening 13a so that the fluid stays in the concave groove. can be restrained

상기 밸브체(20)는 원형의 디스크 형상 또는 대략 원기둥형상으로 형성되어 있고, 상기 축선(L1) 상에 설치되어 있다. 상기 밸브체(20)에 있어서의 상기 밸브 시트(10)측을 향한 제1대향면(21)은 상기 제1유로 개구(12a)의 폐쇄시, 즉 상기 밸브체(20)가 제1시일부재에 접촉했을 때에, 개구벽(16)과의 간섭을 피하기 위한 도피부(22)를 갖고 있다. 또한 상기 제1대향면(21)은 환상 볼록부(23)를 포함하고 있고, 상기 환상 볼록부(23)에 있어서의 상기 밸브 시트(10)와 대향하는 제1대향면(21)이 상기 제1시일부재(15)에 대해서 접촉이간하는 시일면(24)을 형성하고 있다. 그리고, 상기 도피부(22)는 상기 환상 볼록부(23)로 둘러싸여진 오목부에 의해 형성되어 있다.The said valve body 20 is formed in the circular disk shape or substantially cylindrical shape, and is provided on the said axis line L1. The first opposing surface 21 of the valve body 20 facing the valve seat 10 is formed when the first flow passage opening 12a is closed, that is, the valve body 20 is a first sealing member. It has the escape part 22 for avoiding the interference with the opening wall 16 when it contacts. Further, the first opposing surface 21 includes an annular convex portion 23, and the first opposing surface 21 in the annular convex portion 23 opposing the valve seat 10 is the second A sealing surface 24 to be separated in contact with the one sealing member 15 is formed. In addition, the relief 22 is formed by a concave portion surrounded by the annular convex portion 23 .

한편, 이 밸브체(20)에 있어서의 상기 밸브 구동부(3)측을 향한 제2대향면(25)은 상기 연결부재(30)에 대향하고 있다. 이 제2대향면(25)의 중앙에는 축선(L1) 방향으로 연장되는 밸브 샤프트(26)가 고정적으로 설치되어 있다. 즉, 상기 밸브체(20)와 밸브 샤프트(26)는 일체로 성형되어 있고, 상기 밸브 샤프트(26)의 선단부에 밸브체(20)가 설치되어 있다. 또한 이 제2대향면(25)에는 상기 밸브 샤프트(26)를 둘러싸도록 환상의 도브테일홈(27)이 형성되어 있고, 이 도브테일홈(27)에는 상기 제1유로 개구(12a)의 개방시에 상기 연결부재(30)에 접촉하는 환상의 제2시일부재(28)가 끼워 넣어져 있다. 그리고, 상기 제1유로 개구(12a)의 개방시에는 상기 밸브체(20)의 전체가 상기 축선(L1) 방향에 있어서, 상기 제2유로 개구(13a)의 둘레가장자리에 있어서의 상기 연결부재(30)에 가장 근접한 끝가장자리(13c)보다 상기 연결부재(30)측에 위치하고 있다. 그것에 의해, 상기 제1유로 개구(12a)의 개방시에 상기 유로부(11)내에 있어서의 유체의 흐름을 상기 제1유로 개구(12a)로부터 제2유로 개구(13a)로 보다 원활하게 도입하는 것이 가능해진다.On the other hand, the second opposing surface 25 facing the valve driving unit 3 side of the valve body 20 faces the connecting member 30 . A valve shaft 26 extending in the direction of the axis L1 is fixedly provided at the center of the second opposing surface 25 . That is, the valve body 20 and the valve shaft 26 are integrally formed, and the valve body 20 is provided at the distal end of the valve shaft 26 . In addition, an annular dovetail groove 27 is formed on the second opposing surface 25 to surround the valve shaft 26, and the dovetail groove 27 is provided in the dovetail groove 27 when the first flow passage opening 12a is opened. An annular second sealing member (28) in contact with the connecting member (30) is fitted. And, when the first flow passage opening 12a is opened, the entire valve body 20 in the direction of the axis L1, the connecting member at the peripheral edge of the second flow passage opening 13a ( 30) is located on the side of the connecting member 30 rather than the closest end edge 13c. Thereby, when the first flow passage opening 12a is opened, the flow of the fluid in the flow passage part 11 is more smoothly introduced from the first flow passage opening 12a to the second flow passage opening 13a. thing becomes possible

상기 연결부재(30)는 축선(L1) 방향의 양단에 상기 밸브체(20)의 제2대향면(25)측(즉 유로부(11)측)을 향한 제1면(31a)과, 상기 제1면(31a)와 배향해서 상기 밸브 구동부(3)측을 향한 제2면(31b)을 갖고 있다. 그리고, 이들 제1면(31a)과 제2면(31b) 사이에는 상기 밸브 샤프트(26)를 기밀하고 또한 슬라이딩 가능하게 삽입통과하기 위한 삽입통과구멍(32)이 축선(L1) 방향으로 관통되어 있다. 여기에서, 상기 제1면(31a)은 상기 유로부(11)의 내벽을 형성하고 있고, 상기 유로부(11)를 기밀하게 구획하고 있다. 그리고, 상기 제1유로 개구(12a)의 개방시에 상기 제1면(31a)에 상기 밸브체(20)의 제2시일부재(28)가 접촉함으로써 상기 유로부(11)와 상기 삽입통과구멍(32) 사이를 기밀하게 시일할 수 있게 되어 있다. 또, 상기 삽입통과구멍(32)내에는 밸브 샤프트(26)의 표면에 부착된 슬러지 등의 이물이 침입하는 것을 저지하는 스크레이퍼(33)와, 밸브 샤프트(26)를 슬라이딩 가능하게 지지하는 베어링부재(36)와, 상기 삽입 구멍(32)과 밸브 샤프트(26) 사이를 기밀하게 시일하는 제3시일부재(35)가 상기 제1면측(31a)으로부터 제2면측(31b)을 향해서 순차 설치되어 있다.The connecting member 30 has a first surface 31a facing the second opposite surface 25 side of the valve body 20 (that is, the flow path portion 11 side) at both ends in the direction of the axis L1, and the It has a 2nd surface 31b which is oriented with the 1st surface 31a and faces the said valve drive part 3 side. And, between the first surface (31a) and the second surface (31b), an insertion hole 32 for passing through the valve shaft 26 in an airtight and slidable manner is penetrated in the axial line (L1) direction. there is. Here, the first surface 31a forms an inner wall of the flow path part 11 and air-tightly partitions the flow path part 11 . And, when the first flow passage opening 12a is opened, the second sealing member 28 of the valve body 20 comes into contact with the first surface 31a, so that the flow passage part 11 and the insertion hole (32) It is possible to seal the gap airtightly. In addition, a scraper 33 that prevents foreign substances such as sludge adhering to the surface of the valve shaft 26 from entering into the insertion hole 32, and a bearing member that slidably supports the valve shaft 26 (36) and a third sealing member (35) that airtightly seals between the insertion hole (32) and the valve shaft (26) is sequentially installed from the first surface side (31a) toward the second surface side (31b), there is.

한편, 상기 밸브 구동부(3)는 상기 밸브 샤프트(26)에 대해서 고정된 피스톤(41)과, 상기 피스톤(41)을 상기 축선(L1) 방향으로 왕복동시키기 위한 실린더실(40)과, 상기 실린더실(40)이 내부에 형성된 실린더 하우징(8)을 구비하고 있다. 이 실린더 하우징(8)은 축선(L1) 방향의 상기 연결부재(30)측에 제2개구부(18)를 갖고 있고, 마찬가지로, 상기 실린더실(40)도 상기 연결부재(30)측에 개구하고 있다. 그리고, 상기 개구부(18)에 상기 연결부재(30)의 제2면(31b)측이 기밀하게 끼워맞춰져 있고, 그 결과, 상기 연결부재(30)의 제2면(31b)에 의해 상기 밸브 구동부(3)의 실린더실(40)이 기밀하게 구획되어 있다. 이렇게 해서, 상기 주밸브부(2)와 밸브 구동부(3), 즉 밸브 하우징(5)과 실린더 하우징(8)이 양자간에 개재시킨 상기 연결부재(30)에 의해 기밀하게 연결되어 있다.On the other hand, the valve driving unit 3 includes a piston 41 fixed to the valve shaft 26 , a cylinder chamber 40 for reciprocating the piston 41 in the axis line L1 direction, and the cylinder The seal 40 has a cylinder housing 8 formed therein. The cylinder housing (8) has a second opening (18) on the side of the connecting member (30) in the direction of the axis (L1), and similarly, the cylinder chamber (40) also opens on the side of the connecting member (30). there is. And, the second surface 31b side of the connecting member 30 is hermetically fitted to the opening 18 , and as a result, the valve driving unit is driven by the second surface 31b of the connecting member 30 . The cylinder chamber 40 of (3) is airtightly partitioned. In this way, the main valve part 2 and the valve driving part 3, ie, the valve housing 5 and the cylinder housing 8, are airtightly connected by the connecting member 30 interposed between them.

상기 실린더실(40)은 축선(L1) 방향에 있어서 상기 피스톤(41)에 의해 상기 연결부재(30)의 제2면측(31b)에 위치하는 제1압력실(42)과, 그것과 반대측의 제2압력실(43)로 각각 구획되어 있고, 이들 압력실(42,43)에는 파일롯 유체로서의 압축 유체를 급배하기 위한 제1포트(44) 및 제2포트(45)가 각각 형성되어 있다. 그리고, 이들 포트(44,45)를 통해서 압축 유체를 각 압력실(42,43)에 급배하고, 상기 실린더실(40)내에 있어서 피스톤(41)을 축선(L1) 방향으로 왕복동시킴으로써, 상기 밸브체(20)를 축선(L1) 방향으로 왕복동시켜서 상기 제1유로 개구(12a)를 개폐할 수 있게 되어 있다.The cylinder chamber 40 includes a first pressure chamber 42 positioned on the second surface side 31b of the connection member 30 by the piston 41 in the axial line L1 direction, and the opposite side thereto. Each of the second pressure chambers 43 is partitioned, and a first port 44 and a second port 45 for supplying and discharging a compressed fluid as a pilot fluid are formed in these pressure chambers 42 and 43, respectively. Then, a compressed fluid is supplied and discharged to each of the pressure chambers 42 and 43 through these ports 44 and 45, and the piston 41 is reciprocated in the direction of the axis L1 in the cylinder chamber 40, so that the valve The first flow passage opening 12a can be opened and closed by reciprocating the sieve 20 in the direction of the axis L1.

또, 상기 삽입통과구멍(32)내에는 상기 제3시일부재(35)보다 제1압력실(42)측(즉 제2면(31b)측)에 상기 제1압력실측으로부터의 유체는 시일하지만, 그 역측으로부터의 유체의 흐름은 허용하는 립상 시일부재(34)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 립상 시일부재(34)와 상기 제3시일부재(35) 사이에는 상기 제1압력실(42)로부터 상기 립상 시일부재(34)를 넘어서 삽입통과구멍(32)내로 새어나온 압축 유체를 대기로 배출하기 위한 통과구멍(37)이 상기 연결부재를 지름방향으로 관통해서 형성되어 있다.Further, in the insertion hole 32, the fluid from the first pressure chamber side is sealed to the first pressure chamber 42 side (that is, the second surface 31b side) rather than the third sealing member 35. , is provided with a granular sealing member 34 that allows the flow of the fluid from the opposite side. And, between the granular sealing member 34 and the third sealing member 35, the compressed fluid leaking out from the first pressure chamber 42 beyond the granular sealing member 34 into the insertion hole 32 is applied. A through hole 37 for discharging to the atmosphere is formed through the connecting member in the radial direction.

또한, 상기 밸브 샤프트(26)에 있어서의 상기 밸브체(20)와 반대측의 단부, 즉 상기 밸브 샤프트(26)의 상기 제2압력실(43)내에 위치하는 기단부로부터는 상기 1차측 포트부(12)와 2차측 포트부(13)의 연통 상태를 표시하기 위한 가늘고 긴 환봉형상으로 형성된 인디케이터(46)가 상기 밸브 샤프트(24)와 동축을 이뤄서 축선(L1) 방향으로 연장설치되어 있다. 또한 상기 실린더 하우징(8)에는 상기 제2압력실(43)과 외부 사이를 축선(L1) 상에 있어서 관통하는 관통구멍(47)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 관통구멍(47)에 상기 인디케이터(46)가 기밀하고 또한 슬라이딩 가능하게 삽입통과되어 있고, 상기 밸브체(20)의 왕복동에 따라 실린더 하우징(8) 내외로 출몰하도록 되어 있다.In addition, the primary port portion ( 12) and an indicator 46 formed in the shape of an elongated round bar for indicating the communication state of the secondary port part 13 is coaxial with the valve shaft 24 and extended in the axial line (L1) direction. Further, a through hole 47 is formed in the cylinder housing 8 through the second pressure chamber 43 and the outside on the axis L1. In addition, the indicator 46 is airtightly and slidably inserted through the through hole 47 , and moves in and out of the cylinder housing 8 according to the reciprocating movement of the valve body 20 .

구체적으로는 상기 밸브체(20)가 밸브 시트(10)의 제1시일부재(15)에 접촉해서 상기 1차측 포트부(12)와 2차측 포트부(13) 사이가 차단되어 있는 상태에서는 상기 인디케이터의 전체가 실린더 하우징내에 숨고, 반대로, 밸브체가 밸브 시트로부터 이간해서 그 상기 제2시일부재가 연결부재의 제1면에 접촉함으로써 상기 1차측 포트부와 2차측 포트부 사이가 연통되어 있는 상태에서는 상기 인디케이터(46)의 선단이 실린더 하우징으로부터 돌출하게 되어 있다. Specifically, in a state in which the valve body 20 contacts the first sealing member 15 of the valve seat 10 and the primary port part 12 and the secondary port part 13 are blocked, the The entire indicator is hidden in the cylinder housing, and, conversely, the valve body is separated from the valve seat and the second sealing member comes into contact with the first surface of the connecting member, so that the primary port portion and the secondary port portion communicate with each other. In this case, the tip of the indicator 46 protrudes from the cylinder housing.

여기에서, 상기 인디케이터(46)의 기단부는 상기 밸브 샤프트(26)의 기단부에 대해서 나사결합 등의 수단으로 연결되어 있고, 그리고, 상기 피스톤(41)은 축선(L1) 상에 있어서, 상기 밸브 샤프트(26)의 기단부와 상기 인디케이터(46)의 기단부에 의해 협지되어서, 상기 밸브 샤프트에 대해서 고정적으로 부착되어 있다.Here, the proximal end of the indicator 46 is connected to the proximal end of the valve shaft 26 by screwing or the like, and the piston 41 is on the axis L1, so that the valve shaft It is pinched by the proximal end of 26 and the proximal end of the indicator 46, and is fixedly attached to the valve shaft.

또, 이 2포트 밸브(1)를 동작시킴에 있어서는, 상기 제1포트(44)를 통해서 제1압력실(42)로부터 압축 유체를 배기함과 아울러, 상기 제2포트(45)를 통해서 제2압력실(43)에 압축 유체를 급기했을 때에는 밸브체(20)의 시일면(24)이 밸브 시트(10)의 제1시일부재(15)에 접촉함으로써, 1차측 포트부(12)와 2차측 포트부(13) 사이가 차단된다. 반대로, 상기 제1포트(44)를 통해서 제1압력실(42)에 압축 유체를 급기함과 아울러, 상기 제2포트(45)를 통해서 제2압력실(43)로부터 압축 유체를 배기했을 때에는 밸브체(20)의 시일면(24)이 밸브 시트(10)의 제1시일부재(15)로부터 이간하고, 상기 밸브체(20)의 제2시일부재(28)가 상기 연결부재(30)의 제1면(31a)에 접촉함으로써, 1차측 포트부(12)와 2차측 포트부(13) 사이가 연통된다.Further, in operating the two-port valve (1), the compressed fluid is exhausted from the first pressure chamber (42) through the first port (44), and the compressed fluid is discharged through the second port (45). When compressed fluid is supplied to the second pressure chamber 43 , the sealing surface 24 of the valve body 20 comes into contact with the first sealing member 15 of the valve seat 10 , so that the primary port portion 12 and Between the secondary side port part 13 is blocked. Conversely, when the compressed fluid is supplied to the first pressure chamber 42 through the first port 44 and the compressed fluid is exhausted from the second pressure chamber 43 through the second port 45, The sealing surface 24 of the valve body 20 is spaced apart from the first sealing member 15 of the valve seat 10 , and the second sealing member 28 of the valve body 20 is connected to the connecting member 30 . By contacting the first surface 31a of the primary side port portion 12 and the secondary side port portion 13 is communicated.

이렇게, 본 실시형태에 따른 2포트 밸브(1)에 의하면, 밸브체(20)에 의한 제1유로 개구(12a)의 폐쇄시에 상기 유로 개구(12a) 주위를 기밀하게 시일하는 제1시일부재(15)를 밸브 시트(10)에 설치하고, 또한, 상기 시일부재(15)의 전체를 축선(L1) 방향에 있어서, 상기 제1유로 개구(12a)를 형성하는 개구벽(16)의 선단(16a) 및 상기 제2유로 개구(13a)의 끝가장자리(13b)보다, 상기 개구벽(16)의 기단측으로 후퇴시킨 위치에 배치했기 때문에, 제1유로 개구(12a)로부터 유로부(11)에 유입한 프로세스 가스 등의 유체의 흐름에, 상기 제1시일부재(15)가 직접적으로 노출되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 상기 제1시일부재(15)에의 디포짓의 부착이 억제되어 제1시일부재(15)의 시일성의 저하를 방지할 수 있다.In this way, according to the two-port valve 1 according to the present embodiment, the first sealing member that hermetically seals the periphery of the flow passage opening 12a when the first flow passage opening 12a is closed by the valve body 20 . (15) is provided on the valve seat (10), and the entire sealing member (15) is in the axial line (L1) direction at the tip of the opening wall (16) forming the first flow passage opening (12a). Since it is disposed at a position retracted to the proximal end side of the opening wall 16 from the end edge 13b of the second flow path opening 13a and 16a, the flow path portion 11 is moved from the first flow path opening 12a. It is possible to suppress the direct exposure of the first sealing member 15 to the flow of a fluid, such as a process gas, which has flowed into it. As a result, adhesion of the deposit to the first sealing member 15 is suppressed, and a decrease in the sealing property of the first sealing member 15 can be prevented.

이상, 본 고안에 따른 2포트 밸브의 일실시형태에 대해서 상세하게 설명해 왔지만, 본 고안은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 실용신안등록 청구범위의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 설계변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다.As mentioned above, although one embodiment of the two-port valve according to the present invention has been described in detail, the present invention is not limited to the above embodiment, and various design changes are possible without departing from the spirit of the utility model registration claims. needless to say

예를 들면 제2시일부재는 본 실시형태와 같이 반드시 밸브체에 설치할 필요성은 없고, 연결부재(30)의 제1면(31a)에 설치해도 좋다.For example, the 2nd sealing member does not necessarily need to be provided in the valve body like this embodiment, You may provide in the 1st surface 31a of the connection member 30. As shown in FIG.

1: 2포트 밸브
2: 주밸브부
3: 밸브 구동부
5: 밸브 하우징
6: 1차측 하우징부
7: 하우징 본체부
7a: 테이퍼면
8: 실린더 하우징
10: 밸브 시트
11: 유로부
12: 1차측 포트부
12a: 제1유로 개구
13: 2차측 포트부
13a: 제2유로 개구
13b,13c: 끝가장자리
15: 제1시일부재
15a: 제1시일부재의 정단
16: 개구벽
16a: 개구벽의 선단
20: 밸브체
21: 제1대향면
22: 도피부
23: 환상 볼록부
24: 시일면
25: 제2대향면
26: 밸브 샤프트
28: 제2시일부재
30: 연결부재
31a: 연결부재의 제1면
31b: 연결부재의 제2면
32: 삽입통과구멍
34: 립상 시일부재
37: 통과구멍
40: 실린더실
41: 피스톤
42: 제1압력실
43: 제2압력실
46: 인디케이터
L1, L2: 축선1: 2-port valve
2: Main valve part
3: valve actuator
5: valve housing
6: Primary side housing part
7: housing body
7a: tapered face
8: cylinder housing
10: valve seat
11: Euro
12: primary port part
12a: first flow passage opening
13: secondary port part
13a: second flow path opening
13b, 13c: end edge
15: first sealing member
15a: the top end of the first sealing member
16: opening wall
16a: the tip of the opening wall
20: valve body
21: first facing surface
22: escape
23: annular convex portion
24: seal face
25: second facing surface
26: valve shaft
28: second sealing member
30: connection member
31a: the first surface of the connecting member
31b: second surface of the connecting member
32: insertion hole
34: granular sealing member
37: through hole
40: cylinder chamber
41: piston
42: first pressure chamber
43: second pressure chamber
46: indicator
L1, L2: axis

Claims

It has a main valve part and a valve driving part connected in the axial direction,
The main valve portion includes a valve housing having a primary port portion formed in the axial direction, a secondary port portion formed in a direction orthogonal to the axis, and a flow path portion connecting these port portions, and in the primary port portion a valve seat formed to surround the first flow passage opening formed in the flow passage portion, and a valve body configured to open and close the first flow passage opening by contacting the valve seat;
A two-port valve in which the valve body is in contact with the valve seat by driving the valve body in the axial direction by the valve driving unit,
The first flow passage opening is formed by an annular opening wall installed upright in the axial direction from the inner peripheral side of the valve seat toward the flow passage side,
The valve seat has a concave groove opening toward the flow passage to surround the opening wall,
A first sealing member with which the valve body is in contact with the concave groove is accommodated, and a portion including the top end of the first sealing member in the axial direction protrudes toward the flow passage rather than the opening of the concave groove,
the opening wall protrudes toward the flow passage side from the top end of the first sealing member in the axial direction;
The two-port valve according to claim 1, wherein the valve body has an escape portion for avoiding interference with the opening wall when it comes into contact with the first sealing member.

The method of claim 1,
The secondary port portion has a second passage opening formed in the passage portion,
and an end edge closest to the valve seat among the peripheral edges of the second flow passage opening in the axial direction is located on the flow passage side side than the top end of the first sealing member.

3. The method according to claim 1 or 2,
The valve housing includes a primary housing part having the primary port part, and a housing body part having the secondary port part and the flow path part;
The flow path portion is formed by the inner peripheral wall of the housing body portion,
A portion of the inner peripheral wall adjacent to the valve seat is formed in a tapered shape that is reduced in diameter from the flow passage side toward the valve seat.

4. The method of claim 3,
The primary side housing part and the housing body part are each formed separately,
The valve seat is formed in the primary side housing portion,
The valve housing is a two-port valve, characterized in that formed by connecting the primary side housing portion and the housing body portion to each other.

3. The method according to claim 1 or 2,
A surface of the valve body opposite to the valve seat includes an annular convex portion,
A two-port valve, wherein a surface of the annular convex portion opposite to the valve seat forms a sealing surface that is spaced apart in contact with the first sealing member.

6. The method of claim 5,
wherein the relief is formed by a concave portion surrounded by the annular convex portion.

3. The method according to claim 1 or 2,
A valve shaft extending in the axial direction is fixed to a surface of the valve body facing the valve driving unit,
The valve driving unit has a piston fixed with respect to the valve shaft, and a cylinder chamber for reciprocating the piston in the axial direction,
The main valve unit and the valve driving unit are connected to each other by a connecting member through which an insertion hole for passing through the valve shaft in an airtight and slidable manner is penetrated in the axial direction,
The two-port valve, characterized in that air-tight division between the flow path part of the main valve part and the cylinder chamber of the valve driving part by the connection member.

8. The method of claim 7,
A second sealing member is provided on a surface of the valve body facing the valve driving section to contact the connecting member when the first flow passage opening is opened and to seal the space between the flow passage portion and the insertion hole in an airtight manner. A 2-port valve, characterized in that it is installed so as to surround the valve shaft.

3. The method of claim 2,
A valve shaft extending in the axial direction is fixed to a surface of the valve body facing the valve driving unit,
The valve driving unit has a piston fixed with respect to the valve shaft, and a cylinder chamber for reciprocating the piston in the axial direction,
The main valve unit and the valve driving unit are connected to each other by a connecting member through which an insertion hole for passing through the valve shaft in an airtight and slidable manner is penetrated in the axial direction,
The flow path part of the main valve part and the cylinder chamber of the valve driving part are each hermetically partitioned by the connection member,
A second sealing member is provided on a surface of the valve body facing the valve driving section to contact the connecting member when the first flow passage opening is opened and to seal the space between the flow passage portion and the insertion hole in an airtight manner. installed to surround the valve shaft,
When the second sealing member is in contact with the connecting member, the entire valve body is on the side of the connecting member rather than the end edge closest to the connecting member at the peripheral edge of the second flow passage opening in the axial direction. A 2-port valve, characterized in that it is located in the.

10. The method of claim 9,
the cylinder chamber is partitioned by the piston into a first pressure chamber on the side of the connecting member and a second pressure chamber on the opposite side to the first pressure chamber in the axial direction;
Ports for supplying and discharging compressed fluid are formed in each of these pressure chambers,
The two-port valve, characterized in that the insertion hole is formed with a passage hole for discharging the compressed fluid leaking from the first pressure chamber over the sealing member of the insertion hole to the atmosphere.

11. The method of claim 10,
An end of the valve shaft on the opposite side to the valve body passes through a cylinder housing forming the cylinder chamber in the axial direction in an airtight and slidable manner, so that the Indicators that appear inside and outside are attached,
wherein the piston is interposed between the valve shaft and the indicator and fixed with respect to the valve shaft.