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KR200470895Y1 - 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프 - Google Patents

면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프 Download PDF

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KR200470895Y1
KR200470895Y1 KR2020110005613U KR20110005613U KR200470895Y1 KR 200470895 Y1 KR200470895 Y1 KR 200470895Y1 KR 2020110005613 U KR2020110005613 U KR 2020110005613U KR 20110005613 U KR20110005613 U KR 20110005613U KR 200470895 Y1 KR200470895 Y1 KR 200470895Y1
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Abstract

본 고안은 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프에 관련되며, 구성에 특징으로 살펴보면, 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되는 밸브본체(10); 상기 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되어 제1기밀면(12a)(14a)과 대응하는 위치에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 어느 일측 제2기밀면(20a)상에 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성되는 로드블럭(20); 및 상기 밸브본체(10) 일측에 설치되고, 펌프피스톤(31)이 왕복이송되도록 형성되는 펌핑실(32)과, 펌핑실(32) 상단에 주입공(15)과 연통되도록 형성되는 제1이송공(32a)과 유체공급공(33), 펌핑실(32) 하단에 주입토출공(16)과 연통되는 제2이송공(32b)이 구비되는 펌프본체(30);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 고안은 로드블럭와 고정ㆍ유동블럭이 기밀면을 통하여 면접촉식으로 밀착되어 기밀성 유지됨에 따라 유체공급 정밀도가 향상됨과 더불어 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품 공급용으로 사용하더라도 마모로 인한 손상이 방지되고, 특히 로드블럭의 왕복이송력에 의해 펌핑작동이 수행되는 간단하고 콤팩트한 구조로 인해 장소에 구애받지 않고 설치가 용이한 효과가 있다.

Description

면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프{side contact type valve and volumetric pump using the same}
본 고안은 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약품, 윤활유를 포함하는 유체의 공급량을 정밀하게 제어하기 위한 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프에 관한 것이다.
일반적으로 정량펌프는 반도체, 식품, 약품제조등을 포함하는 정밀산업분야에서 배합비를 정밀하게 제어하기 위해 사용하는 장치로서, 정량펌프의 경우 피스톤의 왕복운동에 의해 주입구를 통하여 투입된 액체가 토출구를 통하여 원하는 장소로 공급되는 구조를 가지고, 이때 정량펌프를 구성하는 각각의 부품들은 오링에 의존하여 기밀성이 유지되고 있다.
종래에 개시된 정량펌프를 살펴보면, 실용신안 등록번호 제20-0352227호의 "정량토출펌프"는 계량피스톤의 흡입력에 의해 액체가 계량실내로 흡입충진되게 함과 동시에 토출 역시 계량피스톤의 전진운동에 의해 이루어지게 하되 액체의 유입과 토출통로의 구성이 간단하게 이루어지고, 토출량의 미세조정이 가능하도록 하고 있다.
그러나, 상기한 정량토출펌프는 액체의 토출량을 정량으로 유지함과 동시에 토출량을 미세조절 가능케 하려는데 목적이 있지만, 사용상에 있어 많은 문제점이 제기되었다.
첫째, 정량펌프의 작동속도에 따라 계량실린더 내부압력이 변화되면서 순간적으로 토출되는 액체량이 일정하게 유지되지 못하고, 또 오링이 수축하면서 액체가 수용되는 체적의 변화를 가져오므로 액체 토출량이 1/1000 ~ 3/10000의 공차를 유지해야함에도 불구하고 정밀제어가 불가능한 실정이다.
둘째, 1일에 수천회의 반복작동으로 인해 오링이 쉽게 마모되어 3~7일 주기로 오링을 교체해야 하고, 특히 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품 공급용으로 사용시 오링의 수명이 더욱 단축되는 문제점이 따랐다.
셋째, 액체를 흡입하기 위해 계량피스톤이 승강시 액체를 흡입하기 위해 계량실린더의 내압이 낮아지고, 이때 계량피스톤과 오링사이로 공기 혹은 이물질이 유입되어 액체가 변출되거나 토출량의 정밀도가 저하되는 폐단이 따랐다.
한편, 유체의 이송을 제어하는 밸브는 상기 전술하는 정량펌프와 동일한 문제점을 가지는바, 즉 단속로드의 이송에 의해 유체공급을 ON/OFF하도록 구성되고, 각각의 구성부품이 오링에 의존하여 기밀성이 유지됨에 따라 1일에 수천회의 반복작동으로 인해 오링이 쉽게 마모되어 3~7일 주기로 오링을 교체해야 하고, 또 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품 공급용으로 사용시 오링의 수명이 더욱 단축되는 문제점이 따랐다.
이에 따라 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위해 착안 된 것으로서, 작동속도 변화에 영향을 받지 않고 토출량이 정밀하게 제어되고, 또 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품용으로 적합하도록 내식성 및 내화학성, 내구성이 우수한 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 고안의 특징은, 이격되도록 설치되어 서로 대향하는 위치에 제1기밀면(12a)(14a)이 형성되는 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되는 밸브본체(10); 상기 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되어 제1기밀면(12a)(14a)과 대응하는 위치에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 어느 일측 제2기밀면(20a)상에 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성되는 로드블럭(20);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 연통라인(22)은 유동블럭(14)과 대응하는 제2기밀면(20a)상에 장공홈형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연통라인(22)은 주입공(15)ㆍ주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)ㆍ토출공(17)을 연결하도록 V자형 라인으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연통라인(22)은 고정블럭(12)측으로 관통되는 압력상쇄홈(20b)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유동블럭(14)은 로드블럭(20)상에 밀착되도록 일측에 스프링(14b)이 구비되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 이격되도록 설치되어 서로 대향하는 위치에 제1기밀면(12a)(14a)이 형성되는 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되는 밸브본체(10);
상기 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되어 제1기밀면(12a)(14a)과 대응하는 위치에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 어느 일측 제2기밀면(20a)상에 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성되는 로드블럭(20); 및
상기 밸브본체(10) 일측에 설치되고, 펌프피스톤(31)이 왕복이송되도록 형성되는 펌핑실(32)과, 펌핑실(32) 상단에 주입공(15)과 연통되도록 형성되는 제1이송공(32a)과 유체공급공(33), 펌핑실(32) 하단에 주입토출공(16)과 연통되는 제2이송공(32b)이 구비되는 펌프본체(30);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 연통라인(22)은 유동블럭(14)과 대응하는 제2기밀면(20a)상에 장공홈형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연통라인(22)은 주입공(15)ㆍ주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)ㆍ토출공(17)을 연결하도록 V자형 라인으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연통라인(22)은 고정블럭(12)측으로 관통되는 압력상쇄홈(20b)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유동블럭(14)은 로드블럭(20)상에 밀착되도록 일측에 스프링(14b)이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 펌프피스톤(31)은 일단에 구비되는 마이크로게이지(40)에 의해 왕복이송구간이 정밀제어되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 펌프본체(30)는 유체공급라인(52)이 형성되는 베이스플레이트(50)상에 연설되고, 유체공급라인(52)은 각각의 펌프본체(30)에 형성되는 유체공급공(33)과 연결되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성 및 작용에 의하면, 본 고안은 로드블럭와 고정ㆍ유동블럭이 기밀면을 통하여 면접촉식으로 밀착되어 기밀성 유지됨에 따라 유체공급 정밀도가 향상됨과 더불어 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품 공급용으로 사용하더라도 마모로 인한 손상이 방지되고, 특히 로드블럭의 왕복이송력에 의해 펌핑작동이 수행되는 간단하고 콤팩트한 구조로 인해 장소에 구애받지 않고 설치가 용이한 효과가 있다.
도 1은 본 고안에 따른 면접촉식 밸브의 내부구성을 전체적으로 나타내는 절개사시도.
도 2a 내지 2b는 본 고안에 따른 면접촉식 밸브의 작동상태를 나타내는 구성도.
도 3은 본 고안에 따른 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프의 내부구성을 전체적으로 나타내는 절개사시도.
도 4a 내지 4b는 본 고안에 따른 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프의 작동상태를 나타내는 구성도.
도 5은 본 고안에 따른 면접촉식 밸브 및 이를 이용한 정량펌프를 연설한 상태를 나타내는 구성도.
도 6a 내지 6d는 본 고안에 따른 연통라인을 나타내는 구성도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
[실시예 1]
본 고안의 일실시예에 따른 면접촉식 밸브는 작동속도 변화에 영향을 받지 않고 토출량이 정밀하게 제어되고, 또 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품용으로 적합하도록 하기 위해 밸브본체(10), 로드블럭(20)을 포함하여 주요구성으로 이루어진다.
본 고안에 따른 밸브본체(10)는 이격되도록 설치되어 서로 대향하는 위치에 제1기밀면(12a)(14a)이 형성되는 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성된다. 밸브본체(10)는 후술하는 로드블럭(20)을 왕복이송가능하게 지지하되, 이때 로드블럭(20)은 고정ㆍ유동블럭(12)(14)의 제1기밀면(12a)(14a)과 면접되어 왕복이송가능하도록 지지된다.
이때, 제1기밀면(12a)(14a)은 고조도로 평활하게 가공되어 로드블럭(20)의 제2기밀면(20a)과 긴밀하게 밀착되어 면접촉식으로 기밀성이 고도로 유지되므로, 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품 공급용으로 사용하더라도 마모로 인한 기밀성 저하 현상이 방지되는 이점이 있다.
그리고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되되, 주입공(15)은 유체가 주입되도록 관통형성되고, 주입토출공(16)은 후술하는 펌핑실(32)에서 유체를 흡입시 주입공(15)과 연통되어 유체를 펌핑실(32)로 안내하며, 토출공(17)은 펌핑실(32)에 충진된 유체를 토출시 주입토출공(16)과 연통되어 유체를 필요한 장소로 공급하게 된다.
이때 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)은 후술하는 연통라인(22)의 위치에 따라 선택적으로 연통되도록 동일한 간격으로 배치되고, 이에 따른 작동상의 상세한 설명은 후술하는 내용을 참조한다.
또한, 상기 유동블럭(14)은 로드블럭(20)상에 밀착되도록 일측에 스프링(14b)이 구비된다. 스프링(14b)은 유동블럭(14) 일측에 적어도 2개소에 설치되고, 스프링(14b)의 탄성력에 의해 유동블럭(14)의 밀착력이 상시 일정하게 작용함에 따라 로드블럭(20)와 고정ㆍ유동블럭(12)(14)의 마모로 인한 위치보정 및 로드블럭(20)이 미세유동시 함께 따라 유동되며 기밀성이 유지되는 유연성이 확보된다.
한편, 스프링(14b)이 구비되는 유동블럭(14)과 밸브본체(10)사이에는 기밀패킹이 구비되어 유동블럭(14)이 미세 유동시 발생되는 갭부분의 기밀성이 유지된다.
또한, 본 발명에 따른 로드블럭(20)은 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되어 제1기밀면(12a)(14a)과 대응하는 위치에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 어느 일측 제2기밀면(20a)상에 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성된다. 로드블럭(20)은 양단에 고조도로 평활하게 가공되는 제2기밀면(20a)이 고정ㆍ유동블럭(12)(14)의 제1기밀면(12a)(14a)과 면접되고, 실린더를 포함하는 구동원(C)의 작동에 의해 왕복이송된다.
그리고 로드블럭(20)의 이송위치에 따라 연통라인(22)이 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하되, 연통라인(22)은 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17) 사이의 배치간격과 동일한 길이로 형성된다.
도 6a에서 상기 연통라인(22)은 유동블럭(14)과 대응하는 제2기밀면(20a)상에 장공홈형태로 형성되는 구성을 나타내고, 도 6b에서 연통라인(22)은 주입공(15)ㆍ주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)ㆍ토출공(17)을 연결하도록 V자형 라인으로 형성된 상태를 도시하며, 도 6c에서 연통라인(22)이 압력상쇄홈(20b)에 의해 고정블럭(12)측으로 관통되는 상태를 나타내며, 도 6d에서 연통라인(22)은 고정블럭(12)과 대응하는 로드블럭(20) 일면에 장공홈형태로 확장형성된 상태를 도시한다.
이에 도 2a처럼 로드블럭(20)의 승강이송에 의해 연통라인(22)이 주입공(15)과 주입토출공(16)을 연결하거나, 도 2b는 로드블럭(20)의 하강이송에 의해 연통라인(22)이 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하게 된다.
그리고, 도 6a처럼 유체가 주입공(15)에서 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)에서 토출공(17)으로 이송시 연통라인(22)에서의 압력상승으로 로드블럭(20)이 고정블럭(14)상에 가압되되, 이때 도 6b와 같이 연통라인(22)을 V자형 라인으로 형성함에 따라 유체압력에 의해 로드블럭(20)이 고정블럭(14)상으로 작용하는 가압면적이 축소되고, 또 도 6c 내지 6d처럼 압력상쇄홈(20b)으로 유입된 유체의 압력에 의해 로드블럭(20)이 유동블럭(12)방향으로 가압되도록 반발력이 작용함에 따라 로드블럭(20) 양측에서 작용하는 유체압력이 평형상태로 유지되어 로드블럭(20)의 왕복이송이 보다 원활하게 이루어지는 이점이 있다.
[실시예 2]
본 발명의 다른 실시예에 따른 면접촉식 밸브를 이용한 정량펌프는 이격되도록 설치되어 서로 대향하는 위치에 제1기밀면(12a)(14a)이 형성되는 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되는 밸브본체(10); 상기 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되어 제1기밀면(12a)(14a)과 대응하는 위치에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 어느 일측 제2기밀면(20a)상에 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성되는 로드블럭(20); 및 상기 밸브본체(10) 일측에 설치되고, 펌프피스톤(31)이 왕복이송되도록 형성되는 펌핑실(32)과, 펌핑실(32) 상단에 주입공(15)과 연통되도록 형성되는 제1이송공(32a)과 유체공급공(33), 펌핑실(32) 하단에 주입토출공(16)과 연통되는 제2이송공(32b)이 구비되는 펌프본체(30);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 고안에 따른 밸브본체(10)는 이격되도록 설치되어 서로 대향하는 위치에 제1기밀면(12a)(14a)이 형성되는 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성된다. 밸브본체(10)는 후술하는 로드블럭(20)을 왕복이송가능하게 지지하되, 이때 로드블럭(20)은 고정ㆍ유동블럭(12)(14)의 제1기밀면(12a)(14a)과 면접되어 왕복이송가능하도록 지지된다.
이때, 제1기밀면(12a)(14a)은 고조도로 평활하게 가공되어 로드블럭(20)의 제2기밀면(20a)과 긴밀하게 밀착되어 면접촉식으로 기밀성이 고도로 유지되므로, 입자가 포함된 필라 혹은 전지액을 포함하는 강성화공약품 공급용으로 사용하더라도 마모로 인한 기밀성 저하 현상이 방지되는 이점이 있다.
그리고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되되, 주입공(15)은 유체가 주입되도록 관통형성되고, 주입토출공(16)은 후술하는 펌핑실(32)에서 유체를 흡입시 주입공(15)과 연통되어 유체를 펌핑실(32)로 안내하며, 토출공(17)은 펌핑실(32)에 충진된 유체를 토출시 주입토출공(16)과 연통되어 유체를 필요한 장소로 공급하게 된다.
이때 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)은 후술하는 연통라인(22)의 위치에 따라 선택적으로 연통되도록 동일한 간격으로 배치되고, 이에 따른 작동상의 상세한 설명은 후술하는 내용을 참조한다.
또한, 상기 유동블럭(14)은 로드블럭(20)상에 밀착되도록 일측에 스프링(14b)이 구비된다. 스프링(14b)은 유동블럭(14) 일측에 적어도 2개소에 설치되고, 스프링(14b)의 탄성력에 의해 유동블럭(14)의 밀착력이 상시 일정하게 작용함에 따라 로드블럭(20)와 고정ㆍ유동블럭(14)(12)의 마모로 인한 위치보정 및 로드블럭(20)이 미세유동시 함께 따라 유동되며 기밀성이 유지되는 유연성이 확보된다.
한편, 스프링(14b)이 구비되는 유동블럭(14)과 밸브본체(10)사이에는 기밀패킹이 구비되어 유동블럭(14)이 미세 유동시 발생되는 갭부분의 기밀성이 유지된다.
또한, 본 발명에 따른 로드블럭(20)은 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되어 제1기밀면(12a)(14a)과 대응하는 위치에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 어느 일측 제2기밀면(20a)상에 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성된다. 로드블럭(20)은 양단에 고조도로 평활하게 가공되는 제2기밀면(20a)이 고정ㆍ유동블럭(12)(14)의 제1기밀면(12a)(14a)과 면접되고, 실린더를 포함하는 구동원(C)의 작동에 의해 왕복이송된다.
그리고 로드블럭(20)의 이송위치에 따라 연통라인(22)이 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하되, 연통라인(22)은 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17) 사이의 배치간격과 동일한 길이로 형성된다.
도 6a에서 상기 연통라인(22)은 유동블럭(14)과 대응하는 제2기밀면(20a)상에 장공홈형태로 형성되는 구성을 나타내고, 도 6b에서 연통라인(22)은 주입공(15)ㆍ주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)ㆍ토출공(17)을 연결하도록 V자형 라인으로 형성되는 것을 도시하며, 도 6c은 연통라인(22)이 고정블럭(12)측으로 관통되는 압력상쇄홈(20b)이 형성된 상태를 나타내며, 도 6d에서 연통라인(22)은 고정블럭(12)과 대응하는 로드블럭(20) 일면에 장공홈형태로 확장형성된 상태를 도시한다.
이에 도 4a처럼 로드블럭(20)의 승강이송에 의해 연통라인(22)이 주입공(15)과 주입토출공(16)이 연결되거나, 도 4b와 같이 로드블럭(20)의 하강이송에 의해 연통라인(22)이 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하게 된다.
그리고, 도 6a처럼 유체가 주입공(15)에서 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)에서 토출공(17)으로 이송시 연통라인(22)에서의 압력상승으로 로드블럭(20)이 고정블럭(14)상에 가압되되, 이때 도 6b와 같이 연통라인(22)을 V자형 라인으로 형성함에 따라 유체압력에 의해 로드블럭(20)이 고정블럭(14)상으로 작용하는 가압면적이 축소되고, 또 도 6c 내지 6d처럼 압력상쇄홈(20b)으로 유입된 유체의 압력에 의해 로드블럭(20)이 유동블럭(12)방향으로 가압되도록 반발력이 작용함에 따라 로드블럭(20) 양측에서 작용하는 유체압력이 평형상태로 유지되어 로드블럭(20)의 왕복이송이 보다 원활하게 이루어지는 이점이 있다.
본 고안에 따른 펌프본체(30)는 유체공급공(33)을 통하여 유체가 상시 일정한 압력으로 공급되고, 면접촉식 밸브의 작동과 연계하여 유체의 공급압력에 의해 펌프피스톤(31)이 승하강작동하며 펌핑실(32) 내부에 유체를 흡입/토출하게 된다.
즉, 로드블럭(20)의 승강이송에 의해 주입공(15)과 주입토출공(16)이 연통되도록 위치되면 유체공급공(33)을 통하여 공급되는 유체가 제1, 2이송공(32a)(32b)을 통하여 펌핑실(32) 내부에 충진되되, 이때 펌프피스톤(31) 저면의 단면적이 크게 형성됨에 따라 펌프피스톤(31)이 승강이송된 상태로 펌프피스톤(31) 하부에 유체가 충진되고, 이어서 로드블럭(20)의 하강이송에 의해 주입공(15)은 폐쇄되면서 주입토출공(16)과 토출공(17)이 연통되면 유체이송공(33)으로 주입되는 유체의 상시 공급압력에 의해 펌프피스톤(31)이 하강하면서 펌핑실(32)에 충진된 유체가 토출공(17)을 통하여 필요한 장소로 공급된다.
또한, 상기 펌프피스톤(31)은 일단에 구비되는 마이크로게이지(40)에 의해 왕복이송구간이 정밀제어된다. 마이크로게이지(40)는 피치에 의해 게이지봉의 돌출길이가 정밀제어되는 통상의 게이지부재로서, 게이지봉의 단부가 펌프피스톤(31) 일단부에 대응하게 설치되고, 게이지봉의 돌출길이에 따라 펌프피스톤(31)의 이송거리가 제한되면서 액체 공급량이 정밀제어된다.
또한, 상기 펌프본체(30)는 유체공급라인(52)이 형성되는 베이스플레이트(50)상에 연설되고, 유체공급라인(52)은 각각의 펌프본체(30)에 형성되는 유체공급공(33)과 연결되도록 구비된다. 이때 유체공급공(33)은 도 5처럼 밸브본체(10)와 대칭되는 펌프본체(30) 일측에 형성되고, 유체공급공(33)이 형성된 펌프본체(30) 일면을 베이스플레이트(50)상에 고정되는 방식으로 연설하게 된다.
이에 단일의 베이스플레이트(50)상에 다수개의 면접촉식 밸브를 이용한 정량밸브가 정렬배치되어 콤팩트한 구조로 형성됨에 따라 장소에 구애받지 않고 다수개의 면접촉식 밸브를 이용한 정량밸브를 일체형으로 설치가능한 이점이 있다.
10 : 밸브본체 20: 로드블럭
30: 펌프본체 40: 마이크로게이지
50: 베이스플레이트

Claims (12)

  1. 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되는 밸브본체(10);
    상기 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되고, 일측에 상기 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성되는 로드블럭(20);
    상기 연통라인(22)에는 고정블럭(12)측으로 관통되는 압력상쇄홈(20b)이 형성되고, 압력상쇄홈(20b)을 통하여 연통라인(22) 내에서 작용하는 유체압력이 고정블럭(12)측으로 작용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 압력상쇄홈(20b)은 고정블럭(12)과 대응하는 로드블럭(20) 일면에 장공홈형태로 확장형성되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브.
  3. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    상기 연통라인(22)은 V자형 라인으로 형성되어, 일측이 로드블럭(20)의 일면에서 주입공(15)ㆍ주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)ㆍ토출공(17)을 연결하도록 구비되고, 다른 일측에 고정블럭(12)측으로 관통되는 압력상쇄홈(20b)이구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브.
  4. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    상기 로드블럭(20)은 양측에 제2기밀면(20a)이 형성되고, 제2기밀면(20a)과 대응하는 고정ㆍ유동블럭(12)(14)상에 제1기밀면(12a)(14a)이 형성되어, 제1, 2기밀면이 서로 면접된 상태로 기밀이 유지되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브.
  5. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    상기 유동블럭(14)은 일측에 스프링(14b)이 구비되어, 로드블럭(20) 측으로 밀착되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브.
  6. 고정ㆍ유동블럭(12)(14)이 구비되고, 유동블럭(14)상에 주입공(15) 및 주입토출공(16), 토출공(17)이 형성되는 밸브본체(10);
    상기 고정블럭(12)과 유동블럭(14)사이에 삽입되어 구동원(C)에 의해 왕복이송되도록 구비되고, 일측에 상기 주입공(15)과 주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)과 토출공(17)을 연결하도록 연통라인(22)이 형성되는 로드블럭(20);
    상기 밸브본체(10) 일측에 설치되고, 펌프피스톤(31)이 왕복이송되도록 형성되는 펌핑실(32)과, 펌핑실(32) 상단에 주입공(15)과 연통되도록 형성되는 제1이송공(32a)과 유체공급공(33), 펌핑실(32) 하단에 주입토출공(16)과 연통되는 제2이송공(32b)이 구비되는 펌프본체(30);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 연통라인(22)은 V자형 라인으로 형성되어, 로드블럭(20)이 왕복이송시 주입공(15)ㆍ주입토출공(16) 또는 주입토출공(16)ㆍ토출공(17)을 연결하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
  8. 제 6항 또는 7항에 있어서,
    상기 연통라인(22)은 고정블럭(12)측으로 관통되는 압력상쇄홈(20b)이 형성되고, 압력상쇄홈(20b)을 통하여 연통라인(22) 내에서 작용하는 유체압력이 고정블럭(12)측으로 작용하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 압력상쇄홈(20b)은 고정블럭(12)과 대응하는 로드블럭(20) 일면에 장공홈형태로 확장형성되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
  10. 제 6항 또는 7항에 있어서,
    상기 유동블럭(14)은 일측에 스프링(14b)이 구비되어, 로드블럭(20) 측으로 밀착되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
  11. 제 6항 또는 7항에 있어서,,
    상기 펌프피스톤(31)은 일단에 구비되는 마이크로게이지(40)에 의해 왕복이송구간이 정밀제어되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
  12. 제 6항 또는 7항에 있어서,
    상기 펌프본체(30)는 유체공급라인(52)이 형성되는 베이스플레이트(50)상에 연설되고, 유체공급라인(52)은 각각의 펌프본체(30)에 형성되는 유체공급공(33)과 연결되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 면접촉식 밸브를 이용한 펌프.
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