KR200427961Y1

KR200427961Y1 - 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터

Info

Publication number: KR200427961Y1
Application number: KR2020060014212U
Authority: KR
Inventors: 송형천
Original assignee: 송형천
Priority date: 2006-05-26
Filing date: 2006-05-26
Publication date: 2006-10-04

Abstract

본 고안은 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터에 관한 것으로, 프로브장치의 베이스 플레이트에 결합되고 일측에 수직절개부가 형성된 지지아암과, 상기 지지아암의 일측에 구비되는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 슬라이드이동가능하게 결합되는 슬라이더, 상기 슬라이더의 결합되고 일측에 수평절개부가 형성된 지지블록, 상기 지지블록에 대하여 지지아암을 탄성지지하는 탄성스프링, 상기 지지블록의 수직절개부와 지지아암의 수평절개부에 나사식으로 출입하면서 그 절개부의 폭을 조절하는 폭조절피스 및, 상기 폭조절피스와 볼트결합되는 너트부재를 포함하는 구성에 의해, 프로브블록에 장착된 다수개의 프로브들이 모두 동시에 피검사체의 표면에 접촉될 수 있도록 프로브블록의 수평을 간편하게 맞출 수 있게 된다.

프로브, PDP, LCD, 검사, 탐침

Description

평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터{MANIPULATOR IN A DEVICE FOR PROBING A PANEL}

도 1은 종래의 기술에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 일예를 나타낸 사시도,

도 2는 도 1의 결합측면도,

도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터를 나타낸 분해사시도,

도 4는 도 3의 지지블록을 나타낸 정면도,

도 5는 도 4의 우측면도,

도 6은 도 4의 배면도,

도 7은 도 3의 지지아암을 나타낸 일측면도,

도 8은 도 7의 평면도,

도 9는 도 3의 결합측면도,

도 10은 도 5의 A-A선을 따라 절개한 측단면도,

도 11은 도 8의 B-B선을 따라 절개한 측단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 지지아암 11 : 수직절개부

11a : 수직절개부면 11b : 수직관통구멍

11ba : 수직테이퍼면 11c : 헤드안착홈

12 : 아암고정부 13 : 아암변형부

20 : 가이드레일 30 : 슬라이더

40 : 지지블록 41 : 수평절개부

41a : 수평절개부면 41b : 수평관통구멍

41ba : 수평테이퍼면 41c : 헤드안착홈

42 : 블록고정부 43 : 블록변형부

50 : 탄성스프링 60 : 폭조절피스

70 : 너트부재

본 고안은 평판형 피검사체 프로브장치에 관한 것으로, 특히 평판형 피검사체 프로브장치의 프로브블록을 지지하는 매니퓰레이터에 관한 것이다.

일반적으로, 평판형 피검사체 프로브장치는 TFT-LCD, PDP와 같은 평판형 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 장비로, 제조공정 중 셀공정의 최종검사단계에서 피검사체의 모든 전극에 일괄 접촉시켜 검사를 실시하게 된다.

종래의 평판형 피검사체 프로브장치의 일예가 등록실용 제0400661호에 개시되어 있다.

도 1과 도 2를 참조하면 평판형 피검사체 프로브장치는, 신호 발생기로부터 피검사체를 테스트하기 위한 소정의 신호를 PCB를 통해 전달받는 포고블록(1) 및 FPC(2)와, 상기 소정의 전기적 신호를 프로브의 입력단에 전달하는 TCP블록(3)과, 피검사체의 전극과 접촉하여 테스트를 위한 전기적신호를 인가하는 프로브의 집합체인 프로브블록(4)과, 상기 프로브블록(4)을 베이스 플레이트에 대하여 지지하는 매니퓰레이터(5)를 포함한다.

상기 프로브블록(4)은 다수개의 프로브가 피검사체의 상부 표면에 모두 동시에 접촉해야 한다. 그러나, 프로브블록(4)의 수평/수직높이가 맞지 않을 경우 일부 프로브가 피검사체의 상부 표면 전극에 접촉하지 못하고 손상되는 문제점이 있었다.

또한, 매니퓰레이터(5)가 탄성적으로 슬라이드동작을 하면서 완충작용을 하기는 하나, 프로브의 접촉시 충격을 충분히 흡수하지 못하여 패널의 패턴이 손상되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기한 바와 같은 종래 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터가 가지는 문제점들을 개선하기 위해 창출된 것으로, 프로브블록에 장착된 다수개의 프로브들이 모두 동시에 피검사체의 표면에 접촉될 수 있도록 프로브블록의 수평을 맞출 수 있는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터를 제공함에 그 목적이 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 의한 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터는, 평판형 피검사체 프로브장치의 베이스 플레이트에 지지아암이 결합되고, 상기 지지아암에 프로브블록을 지지하는 지지블록이 결합되며, 상기 지지아암과 지지블록 중 적어도 어느 하나의 일측에 절개부가 형성되고, 상기 절개부에 나사식으로 출입하면서 그 절개부의 폭을 조절하는 폭조절피스가 구비된 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 절개부의 내측 선단에 테이퍼진 관통구멍이 연장되어 형성되고, 그 관통구멍에 상기 폭조절피스와 볼트결합되는 너트부재가 삽입되어 구비된다.

바람직하게는, 상기 지지아암과 지지블록에 절개부가 모두 형성된 경우, 상기 지지아암의 절개부에 의해 형성되는 절개부면과 지지블록의 절개부에 의해 형성되는 절개부면은 서로 평행하지 않게 각각 형성된다.

바람직하게는, 상기 지지아암의 절개부에 의해 형성되는 선회축과 지지블록의 절개부에 의해 형성되는 선회축이 서로 수직하게 형성된다.

바람직하게는, 상기 지지블록은 지지아암에 탄성적으로 슬라이드이동가능하게 결합된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 3 내지 도 9를 참조하면, 본 고안의 일실시예에 따른 평판형 피검사체 프 로브장치의 매니퓰레이터는, 프로브장치의 베이스 플레이트에 결합되고 일측에 수직절개부(11)가 형성된 지지아암(10)과, 상기 지지아암(10)의 일측에 구비되는 가이드레일(20)과, 상기 가이드레일(20)에 슬라이드이동가능하게 결합되는 슬라이더(30), 상기 슬라이더(30)의 결합되고 일측에 수평절개부(41)가 형성된 지지블록(40), 상기 지지블록(40)에 대하여 지지아암(10)을 탄성지지하는 탄성스프링(50), 상기 지지블록(40)의 수직절개부(11)와 지지아암(10)의 수평절개부(41)에 나사식으로 출입하면서 그 절개부의 폭을 조절하는 폭조절피스(60) 및, 상기 폭조절피스(60)와 볼트결합되는 너트부재(70)를 포함한다.

상기 지지아암(10)은 베이스 플레이트에 탈착가능하게 나사결합되고, 상기 지지블록(40)을 탄성적으로 슬라이드가능하게 지지한다.

상기 지지아암(10)의 일측에는 수직절개부(11)가 형성되고, 그 수직절개부(11)의 내측 선단에는 수직관통구멍(11b)이 형성되어 있다.

상기 지지아암(10)은 수직절개부(11)를 중심으로 아암고정부(12)와 아암변형부(13)로 구분할 수 있다. 상기 아암고정부(12)는 수직절개부(11)에서 베이스 플레이트쪽에 결합되는 부분이고, 상기 아암변형부(13)는 수직절개부(11)에 의해 아암고정부(12)에 탄성변형가능하게 지지된다.

상기 수직절개부(11)는 지지아암(10)의 폭방향으로 형성되어 1쌍의 서로 마주보는 수직절개부면(11a)을 형성하게 되고, 그 수직절개부면(11a)은 사각형상을 이루고 있다.

상기 수직절개부(11)는 수직절개부면(11a)을 중심으로 볼때 아래쪽을 제외한 나머지 3방향이 모두 개방되어 형성된다. 또한, 상기 수직절개부면(11a)의 아래쪽 모서리에는 수직관통구멍(11b)이 그 모서리의 길이방향을 따라 형성되어 있다.

따라서, 상기 아암변형부(13)가 아암고정부(12)에 대하여 변형할 때 상기 수직관통구멍(11b)이 선회축의 역할을 하고, 그로 인해 상기 아암변형부(13)는 아암고정부(12)에 대하여 선회하면서 변형가능하게 된다.

상기 수직절개부(11)의 상단에는 폭조절피스(60)의 머리부를 수용하는 헤드안착홈(11c)이 함입되어 형성되어 있다.

상기 수직관통구멍(11b)은 그 내측벽에 수직테이퍼면(11ba)을 구비하고 있다.

상기 수직관통구멍(11b)에는 그 수직테이퍼면(11ba)을 따라 이동하면서 상기 폭조절피스(60)와 볼트결합되는 너트부재(70)가 삽입된다.

상기 지지아암(10)의 일측에는 가이드레일(20)이 고정되어 결합되고, 그 가이드레일(20)에 슬라이더(30)가 슬라이드이동가능하게 결합된다.

상기 슬라이더(30)에는 지지블록(40)이 고정되어 결합된다. 상기 지지블록(40)은 탄성스프링(50)에 의해 아암변형부(13)의 일측에 탄성지지된다.

따라서, 상기 지지블록(40)은 슬라이더(30)에 의해 가이드레일(20)을 따라 슬라이드이동하면서 상기 탄성스프링(50)에 의해 원래의 위치로 복원되는 운동을 하게 된다.

상기 지지블록(40)의 일측에는 수평절개부(41)가 형성되고, 그 수평절개부(41)의 내측 선단에는 수평관통구멍(41b)이 형성되어 있다.

상기 지지블록(40)은 수평절개부(41)를 중심으로 블록고정부(42)와 블록변형부(43)로 구분할 수 있다. 상기 블록고정부(42)는 수평절개부(41)에서 상기 탄성스프링(50)과 슬라이더(30)에 결합되는 부분이고, 상기 블록변형부(43)는 수평절개부(41)에 의해 블록고정부(42)에 탄성변형가능하게 지지된다.

상기 수평절개부(41)는 지지블록(40)의 폭방향으로 형성되어 1쌍의 서로 마주보는 수평절개부면(41a)을 형성하게 되고, 그 수평절개부면(41a)은 사각형상을 이루고 있다.

상기 수평절개부(41)는 수평절개부면(41a)을 중심으로 볼때 4개의 모서리 중 일측을 제외한 나머지 3방향이 모두 개방되어 형성된다. 또한, 그 수평절개부면(41a)의 일측 모서리에는 수평관통구멍(41b)이 그 모서리의 길이방향을 따라 형성되어 있다.

따라서, 상기 블록변형부(43)가 블록고정부(42)에 대하여 변형할 때 상기 수평관통구멍(41b)이 선회축의 역할을 하고, 그로 인해 상기 블록변형부(43)는 블록고정부(42)에 대하여 선회하면서 변형가능하게 된다.

여기서, 상기 지지아암(10)의 수직절개부(11)에 의해 형성되는 수직절개부면(11a)과 상기 지지블록(40)의 수평절개부(41)에 의해 형성되는 수평절개부면(41a)은 서로 수직하게 형성된다.

즉, 상기 지지아암(10)의 수직절개부(11)에 의해 형성되는 선회축과 상기 지지블록(40)의 수평절개부(41)에 의해 형성되는 선회축이 서로 수직하게 형성된다. 다시말하면, 상기 아암변형부(13)의 선회방향과 상기 블록변형부(43)의 선회방향이 서로 수직을 이루게 된다.

따라서, 피검사체의 상부 평면에 대하여 프로브블록(4)의 수직/수평을 조절할 수 있게 된다. 상기 아암변형부(13)는 수직높이를 조절할 수 있게 하고, 상기 블록변형부(43)는 수평을 조절할 수 있게 한다.

상기 수평관통구멍(41b)은 그 내측벽에 수평테이퍼면(41ba)을 구비하고 있다.

상기 수평관통구멍(41b)에는 그 수평테이퍼면(41ba)을 따라 이동하면서 상기 폭조절피스(60)와 볼트결합되는 너트부재(70)가 삽입된다.

상기 수평절개부(41)의 상단에는 폭조절피스(60)의 머리부를 수용하는 헤드안착홈(41c)이 함입되어 형성되어 있다.

상기 폭조절피스(60)는 적어도 일측에 나사산이 형성된 볼트로, 상기 지지블록(40)의 수직절개부(11)와 지지아암(10)의 수평절개부(41)에 삽입되고, 하단이 상기 너트부재(70)와 볼트결합된다.

상기 너트부재(70)는 테이퍼진 사라리꼴 형상의 블록으로, 상기 수직테이퍼면(11ba)이나 수평테이퍼면(41ba)과 접촉한다.

도 10과 도 11을 참조하면, 상기 폭조절피스(60)를 조이게 되면 상기 너트부재(70)가 수직절개부(11)나 수평절개부(41)쪽으로 이동하면서 틈새의 폭을 넓히게 되고, 그로 인해 아암변형부(13)나 블록변형부(43)가 선회하여 변형하게 된다.

반대로, 상기 폭조절피스(60)를 풀어 상기 너트부재(70)를 수직절개부(11)나 수평절개부(41)쪽에서 멀어지도록 이동시키면 틈새의 폭이 좁아지게 된다.

이와 같이, 상기 폭조절피스(60)와 너트부재(70)의 조임동작에 의해 너트부재(70)가 이동하면서 수직절개부(11)와 수평절개부(41)의 틈새 폭을 조절할 수 있게 된다. 즉, 상기 폭조절피스(60)의 조임정도에 따른 너트부재(70)의 이동거리에 따라 아암변형부(13)와 블록변형부(43)의 선회각이 달라지게 된다.

따라서, 상기 아암변형부(13)가 아암고정부(12)에 대하여 선회하면서 변형하게 되어 프로브블록(4)의 수직높이를 맞추게 된다. 또한, 상기 블록변형부(43)가 블록고정부(42)에 대하여 선회하면서 변형하여 프로브블록(4)의 수평을 맞추게 된다.

상기한 본 고안의 상세한 설명은 첨부된 도면에 따른 바람직한 실시예를 설명한 것에 지나지 않으며, 본 고안의 범위는 이에 한정되는 것이 아니다. 본 고안의 기술적 사상을 벗어남이 없이 다양한 형태로 변형된 것은 본 고안의 범위에 포함된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 따른 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터에 의하면, 프로브블록에 장착된 다수개의 프로브들이 모두 동시에 피검사체의 표면에 접촉될 수 있도록 프로브블록의 수평을 간편하게 맞출 수 있고, 피검사체의 표면과 프로브의 부분접촉으로 인한 피검사체와 프로브의 손상을 방지할 수 있으며, 탄성적인 선회동작으로 인해 피검사체의 표면에 프로브가 접촉할 때의 충격을 완화하여 프로브와 피검사체 패턴의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

평판형 피검사체 프로브장치의 베이스 플레이트에 지지아암이 결합되고, 상기 지지아암에 프로브블록을 지지하는 지지블록이 결합된 매니퓰레이터에 있어서,

상기 지지아암(10)과 지지블록(40) 중 적어도 어느 하나의 일측에 수직절개부(11) 또는 수평절개부(41) 또는 이들 모두가 형성되고, 상기 수직절개부(11) 또는 수평절개부(41) 또는 이들 모두에 나사식으로 출입하면서 그 수직절개부(11) 또는 수평절개부(41) 또는 이들 모두의 폭을 조절하는 폭조절피스가 구비된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항에 있어서,

상기 수직절개부(11) 또는 수평절개부(41) 또는 이들 모두의 내측 선단에 테이퍼진 관통구멍이 연장되어 형성되고, 그 관통구멍에 상기 폭조절피스와 볼트결합되는 너트부재가 삽입되어 구비되는 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 지지아암에 수직절개부(11)가 형성되고 상기 지지블록에 수평절개부(41)가 형성된 경우, 상기 지지아암의 수직절개부(11)에 의해 형성되는 절개부면과 지지블록의 수평절개부(41)에 의해 형성되는 절개부면은 서로 평행하지 않게 각각 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제3항에 있어서,

상기 지지아암의 수직절개부(11)에 의해 형성되는 선회축과 지지블록의 수평절개부(41)에 의해 형성되는 선회축이 서로 수직하게 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.
제1항 내지 제2항에 있어서,

상기 지지블록은 지지아암에 탄성적으로 슬라이드이동가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 평판형 피검사체 프로브장치의 매니퓰레이터.