KR20040036685A

KR20040036685A - 밀폐식 메커니컬 부스터

Info

Publication number: KR20040036685A
Application number: KR10-2003-7013163A
Authority: KR
Inventors: 마사시 요시무라; 아키토 후쿠다; 기요시 후쿠하라
Original assignee: 다이코 기카이 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2001-10-23
Filing date: 2001-12-14
Publication date: 2004-04-30
Also published as: WO2003036089A1; DE10197228T5; JP2003129979A; TW588142B; US20040219045A1

Abstract

본 발명은, 메커니컬 부스터의 축 밀봉부의 신뢰성 향상과 구조의 간소화를 도모하는 것을 목적으로 하여, 메커니컬 부스터 본체(2)에 밀착하고, 메커니컬 부스터 본체의 축부(4)를 회전시키는 모터(3)를 구비하는 메커니컬 부스터(1)에 있어서, 모터(3)의 회전축측의 스테이터와 외측의 고정 코일 사이의 간극에 금속제의 원통판을 삽입하고, 원통판으로 스테이터측과 고정코일을 이격하고, 모터(3)의 회전축의 양단측을 윤활제 밀봉식의 베어링으로 지지하고, 모터 커버(30)의 베어링 끼워맞춤부를 원통판의 내측에 삽입하면서 실 링으로 밀봉했다. 원통판은 스테인레스제이다. 모터 커버(30)의 외주측에 수냉용의 재킷을 갖는다. 메커니컬 부스터 본체(2)의 축부(4)를 윤활제 밀봉식의 베어링으로 지지했다.

Description

밀폐식 메커니컬 부스터{ENCLOSED MECHANICAL BOOSTER}

도 4∼도 5는 종래의 메커니컬 부스터를 도시하는 것이다.

메커니컬 부스터(61)는, 메커니컬 부스터 본체(62)와 모터(63)를 조합하여 구성되고, 후단 펌프로서의 수봉식(水封式) 진공 펌프, 루츠식 다단 드라이 펌프 또는 스크류식 진공 펌프 등과 같은 펌프의 전단 펌프로서 사용되고, 고진공역에서의 배기속도를 도 6에 도시하는 바와 같이 크게 하거나, 도달 진공도를 후단 펌프(80)보다 늘릴 목적으로 사용된다. 도 4∼도 5에서 메커니컬 부스터 본체(62)내의 한쌍의 로터 또는 임펠러는 도시를 생략하고 있다.

일반적으로 흡인측을 전단 펌프, 대기측을 후단 펌프라고 하고 있고, 메커니컬 부스터(61)는 전단 펌프로서 채용된다. 예를 들면 대기로부터 에어를 흡인하는 경우, 후단 펌프(80)(도 6)로부터 흡인을 개시하고, 어떤 진공도가 되면 진공 스위치(도 6)(81)가 작동하여 메커니컬 부스터(61)가 기동된다. 도 6(b)에서 횡축은 진공도(P), 종축은 배기속도(S), Pu는 도달 진공도, ATM은 대기압을 각각 나타내고 있다.

메커니컬 부스터(61)는, 고진공측에서 배기속도를 크게 하거나, 도달 진공도를 향상시킬 목적상, 축 밀봉부로부터 대기가 새는 것을 피하고, 모터(63)에 접속되는 로터 또는 임펠러의 주축(64)의 단부에 메커니컬 실(65)되는 기계식 축 밀봉을 채용하고 있다.

주축(64)은 스파이더(17)와 커플링(18)으로 모터(63)의 구동축(66)에 연결되어 있다. 주축(64)과 평행하게 부축(67)이 배치되고, 각 축부(64, 67)의 양단부는 각각 베어링(68)으로 회전운동 자유롭게 지지되고, 모터(63)는 반대측의 단부가 타이밍 기어(22)을 통하여 역방향 회전운동 자유롭게 연결되어 있다. 각 축부(64, 67)에는 베어링(68) 보다도 축방향 내측에 고리형상의 립 실(8)이 배치되고, 립 실(8)은 홀더(10)내에 유지되고, 홀더(10)는 격벽(7, 28)에 고정되고, 격벽(7, 28)은 구동측의 커버(베어링 커버)(85) 또는 기어 박스(21)와 케이싱(6) 사이에 O링(12)을 통하여 밀착 고정되어 있다. 케이싱(6)내에 로터 또는 임펠러(도시 생략)가 수용되고, 케이싱(6)은 상하로 흡입구(69)와 토출구(70)를 갖고 있다.

주축(64)에는 모터측에서 베어링(68)의 축방향 외측 위치에 오일 실(71)이 배치되는 동시에, 오일 실(71)의 축방향 외측에 근접하여 금속제의 회전 고리(72)가 주축(64)에 고정하여 설치되고, 회전 고리(72)의 외측 위치에서 회전 고리(72)에 슬라이딩 자유롭게 접촉하여 금속제의 고정 고리(73)가 설치되고, 고정 고리(73)는 홀더(74)에 고정되고, 홀더(74)는 O링(75)을 통하여 구동측의 커버(85)의 수직한 중간 격벽(76)에 고정되고, 커버(85)는 모터측의 플랜지에 O링을 통하여 볼트 체결로 고정되어 있다. 회전 고리(72)와 고정 고리(73)로 메커니컬 실(65)이구성되어 있다. 오일 실(71)이나 메커니컬 실(65) 등에 의해 베어링(68)측과 모터(63)측이 격리되어 있다.

구동측의 커버(85)와 반대측의 기어 박스(21) 내측에는 각각 윤활용의 오일(24)이 주입되어 있고, 커버(85)내의 부축(67)의 선단과 타이밍 기어(22)에 각각 스플래셔(25)가 고정되어 있다. 스플래셔(25)로 쓸어 올려진 오일에 의해 메커니컬 실(65)의 슬라이딩면이나 실(71)이나 베어링(68) 등이 윤활된다.

각 오일의 양은 레벨 게이지(77)(도 4)로 감시된다. 구동측의 커버(85)와 기어 박스(21)의 각 공간(78, 26)은 상부측의 균압관(27)으로 접속되어 있다. 오일의 새어 들어감이나, 균압관(27)(도 5)을 통과하여 오일 미스트가 이동함으로써 오일 레벨이 변동하는 것을 방지하기 때문에, 커버(85)와 기어 박스(21)의 하부측이 연통관(오일 통로)(79)(도 4)으로 접속되어 있다.

모터(63)는 밀폐 구조가 아닌 전폐 아우터 팬형의 플랜지 모터이며, 예를 들면 외측에 냉각용의 공기를 유도하여 내뿜는 구조를 갖고 있다.

상기 종래의 메커니컬 부스터(61)에 있어서는, 메커니컬 실(65)로 축 밀봉을 행하고 있고, 메커니컬 실(65)의 슬라이딩면을 밀봉성이 양호한 경계윤활상태로 유지하기 위해, 스플래셔(25) 등으로 커버(85)내의 오일로 윤활을 행하고 있는데, 상술과 같이 메커니컬 부스터(61)는 전단 펌프로서 사용되기 때문에, 사용시에 메커니컬 실(65)이 위치하는 구동측의 커버(85)내의 공간(78)이 진공상태로 되어, 유막이 슬라이딩면에 형성되기 어렵고, 요동면의 유막떨어짐을 일으켜서, 슬라이딩면의 거침이나 마모저항의 증대를 생기게 하고, 그것에 의해 이상음의 발생이나 에어의흡인이나 커버(85)로부터의 오일누출을 일으키기 쉽다는 문제가 있었다. 오일누출을 일으킨 경우에는 모터(63)가 불량하게 될 우려가 있었다. 메커니컬 실(65)로부터 에어가 샐 때, 임펠러 또는 로터측에 흡인된 에어와 함께 커버(85)내의 오일이 케이싱(6)내에 혼입되어, 메커니컬 부스터(61)의 분해 청소가 대단한 일이라는 문제가 있었다. 또, 축 밀봉의 수단으로서 복잡한 구조의 메커니컬 실(65)이나 각종 실 부재를 필요로 하기 때문에, 구조가 복잡화·대형화한다는 문제도 있었다.

본 발명은, 루츠식 임펠러 등을 사용한 메커니컬 부스터 본체와 구동용의 모터를 조합하여 구성되는 밀폐식 메커니컬 부스터에 관한 것이다.

도 1은, 본 발명에 관계되는 밀폐식 메커니컬 부스터의 1실시형태를 도시하는 횡단면도이다.

도 2는, 동일하게 밀폐식 메커니컬 부스터를 도시하는 종단면도이다.

도 3은, 밀폐식 메커니컬 부스터의 모터를 도시하는 반단면도(상반분을 단면으로 한 측면도)이다.

도 4는, 종래의 메커니컬 부스터를 도시하는 횡단면도이다.

도 5는, 종래의 메커니컬 부스터를 도시하는 종단면도이다.

도 6(a)는, 전단 펌프와 후단 펌프의 관계를 도시하는 배치도, 도 6(b)는, 동일하게 양쪽 펌프의 배기속도(S)와 진공도(P)의 관계를 도시하는 그래프이다.

본 발명은, 상기한 점을 감안하여, 메커니컬 실에 기인하는 상기 문제를 해소하고, 신뢰성이 높고, 게다가 축 밀봉부의 구조가 간단하고 컴팩트한 메커니컬 부스터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 청구항 1에 관계되는 밀폐식 메커니컬 부스터는, 메커니컬 부스터 본체에 밀착하고, 이 메커니컬 부스터 본체의 축부를 회전시키는 모터를 구비하는 메커니컬 부스터에 있어서, 상기 모터의 회전축측의 스테이터와 외측의 고정 코일 사이의 간극에 금속제의 원통판을 삽입하고, 이 원통판으로 스테이터측과 고정 코일측을 격리하고, 이 모터의 회전축의 양단측을 고진공측의 증기압의 불소 그리스 등의 밀봉식의 베어링으로 지지하고, 모터 커버의 베어링 끼워맞춤부를 이 원통판의 내측에 삽입하면서 실 링으로 밀봉하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 모터내부가 원통판과 양쪽 밀봉식의 베어링으로 기밀로 유지되고, 메커니컬 부스터 본체내의 모터 밀착측의 공간이 기밀로 유지되기 때문에, 종래의 모터와 메커니컬 부스터 본체를 격리하는 메커니컬 실이 불필요하게 되어, 메커니컬 실에 기인하는 여러 문제가 해소된다. 밀봉용의 원통판은 메커니컬 실과 다른 정적인 실 작용을 행하므로, 마모 등이 일어나지 않아, 밀봉의 신뢰성이 높아진다. 또, 메커니컬 실 이외에도 윤활용의 오일이나 스플래셔나 메커미컬 실 지지용의 격벽 등이 불필요하게 된다.

청구항 2에 관계되는 밀폐식 메커니컬 부스터는, 청구항 1기재의 밀폐식 메커니컬 부스터에 있어서, 상기 원통판이 스테인레스로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 스테인레스제의 원통판은 부식되지 않고, 이 원통판으로 차단되어 있으므로, 부식 가스의 영향을 받기 쉬운 고정 코일이 부식 가스로부터 보호된다.

청구항 3에 관계되는 밀폐식 메커니컬 부스터는, 청구항 1 또는 2기재의 밀폐식 메커니컬 부스터에서, 상기 모터 커버의 외주측에 수냉용의 재킷를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 모터가 효율좋게 냉각되는 동시에, 워터재킷에 의해 모터 내부가 대기측과 차단되어서, 기밀성이 높아진다.

청구항 4에 관계되는 밀폐식 메커니컬 부스터는, 청구항 1∼3중 어느 하나에 기재된 밀폐식 메커니컬 부스터에 있어서, 상기 메커니컬 부스터 본체의 축부중, 구동측의 축부가, 불소 그리스 등의 저포화 증기압의 윤활제를 밀봉한 베어링으로 지지된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 축부를 지지하는 베어링이 외부로부터의 오일 윤활을 불필요하기 때문에, 오일의 사용에 기인하는 오일누출 등의 문제가 해소된다.

이하에 본 발명의 실시형태를 도면을 기초하여 상세하게 설명한다.

도 1∼도 2는, 본 발명에 관계되는 밀폐식 메커니컬 부스터의 일실시형태를 도시하는 것이다.

이 밀폐식 메커니컬 부스터(1)는, 메커니컬 부스터 본체(2)와, 메커니컬 부스터 본체(2)에 밀착 고정된 모터(3)로 구성되고, 메커니컬 부스터 본체(2)의 주축(4)측에서 종래의 메커니컬 실을 제거하고, 그것 대신에 주축구동용의 모터(3)를 밀폐 구조로 한 것을 특징으로 하고 있다.

모터(3)와 메커니컬 부스터 본체(2)의 구동측(모터(3) 근처)의 부분 이외의구성은 종래와 거의 동일하므로, 종래와 동일한 구성 부분에는 동일한 부호를 붙여서 상세한 설명을 생략한다. 메커니컬 실 이외에 종래의 구동측의 커버내에서의 오일이나 오일 쓸어 올리기용의 스플래셔, 오일 확인용의 레벨 게이지, 오일 도통용의 연통관, 커버내의 격벽이 제거되어 있다. 메커니컬 실이나 오일 레저버나 스플래셔 등이 사라진 만큼, 구동측의 커버(5)가 소형화·컴팩트화 되고, 주축(4)도 단축되고 있다. 물론, 종래의 메커니컬 실에 기인하는 문제가 없어진 것은 말할 필요도 없다.

주축(4)은 케이싱(6)으로부터 돌출한 선단부분이 격벽(7)내에서 립 실(실 부재)(8)로 밀봉되고, 립 실(8) 전방측에서 베어링(9)으로 회전운동 자유롭게 지지되어 있다. 립 실(8)은 홀더(10)내에 고정되고, 홀더(10)는 격벽(7)에 O링(실 링)(11)을 통하여 기밀로 고정되어 있다. 격벽(7)은 O링(실 링)(12)을 통하여 케이싱(6)과 구동측의 커버(5)의 단면으로 끼워 고정되어 있다. 커버(5)는 O링(실 링)(13)을 개재하여 플랜지로 모터(3)에 고정되어 있다. 커버(5)내의 공간(14)은 외부로부터 기밀로 차단되고, 또한 케이싱(6)내의 공간(15)으로부터도 립 실(8)이나 O링(12)이나 양쪽 밀봉식의 베어링(9) 등으로 기밀로 차단되어 있다.

구동측(모터 근처)의 베어링(9)은 윤활제로서 불소 그리스를 충전한 양쪽 밀봉식의 것이고, 볼의 전후양측의 개구가 고리형상 실(도시하지 않음)로 밀폐되어 있다. 따라서 구동측의 커버(5)내에서 종래의 베어링 윤활용의 오일은 불필요하게 되어 있다. 베어링(9)은 홀더(16)내에 고정되고, 홀더(16)는 격벽(7)에 고정되어 있다. 베어링(9)의 전방에서 주축(4)이, 스파이더(17)를 포함하는 커플링(축연결수단)(18)으로 모터(3)의 구동축(19)에 연결되어 있다.

부축(20)도 주축(4)과 동일하게 격벽(7)내에서 립 실(8)로 축 밀봉되고, 베어링(9)으로 회동 자유롭게 지지되어 있다. 부축(20)의 선단에 종래의 스플래셔가 없는 만큼, 부축(20)이 조금 짧아져 있다.

모터(3)와는 반대측의 (사이드 커버)(21)내에서의 구조는 종래와 동일하고, 주축(4)과 부축(20)은 타이밍 기어(22)로 맞물려서, 양 축의 임펠러 또는 로터(도시하지 않음)가 역방향으로 회저운동 자유롭게 되어 있다. 기어 박스(21) 내에서 양 축부(4, 20)는 축방향 내측이 립 실(8)로 밀봉되고, 외측이 베어링(23)으로 지지되어 있다. 실 립(8)이나 베어링(23)은 각 홀더를 통하여 격벽(28)에 고정되어 있다.

기어 박스(21)내에는 오일(24)(도 2)이 주입되고, 타이밍 기어(22)에 고정한 스플래셔(25)로 베어링(23)이나 립 실(8)에 오일(24)을 공급할 수 있다. 구동측의 커버(5)의 내측공간(1, 4)과 기어 박스(21)의 내측공간(26)은 상부의 균압 구멍(27)(도 2)으로 연달아 통해 있다.

도 3은 모터(3)를 도시하는 반단면도이고, 모터(3)를 밀폐하기 위한 수단으로서, 회전축(구동축)(19')에 고정된 스테이터(철심)(29)와, 모터 커버(30)의 외통부(31)에 고정된 고리형상의 고정 코일(32) 사이의 고리형상의 좁은 간극(33)에, 판두께가 약 0.3mm 정도의 스테인레스제의 고리형상의 원통판(34)을 삽입하고, 회전축(19')의 축방향 전후 양측을 각각 양쪽 밀봉식의 베어링(35)으로 회전운동 자유롭게 지지하고, 모터 커버(30)의 고리형상의 각 베어링 끼워맞춤부(36)를원통판(34)의 내측에 삽입하여 원통판(34)을 위치결정 고정시키고, 베어링 끼워맞춤부(36)의 외주면과 원통판(34)의 내주면 사이에 O링(실 링)(37)을 개재시키고 있다. 베어링 끼워맞춤부(36)의 외주측에 형성된 링 홈에 O링(37)이 끼워 붙여져 있다.

모터(3)는 교류식의 것이고, 외측의 고정 코일(32)은 중앙의 심부(32a)와 전후 양측의 코일 부분(32b)으로 구성되고, 심부(32a)가 커버 외통부(31)에 고정되고, 심부(32a)와 스테이터(29) 사이의 간극(33)에 원통판(34)이 삽입되어서 전후의 코일 부분(32b)과 스테이터(29)의 전후의 코일 부분(29b)을 격리하고 있다. 스테이터(29)는 회전축(19')과 일체로 회전하고, 고정 코일(32)은 스테이터(29)의 외측에서 부동으로 위치한다. 원통판(34)은 적어도 스테이터(29)와는 비접촉이다. 원통판(34)은 박판의 제작이 쉽고 전성이 우수한 스테인레스재이고, 비자성체이므로, 고정 코일(32)과 스테이터(29) 사이의 간극을 작게 설정할 수 있고, 모터(3)의 동력성능에 아무런 영향을 주지 않는다.

모터 커버(30)의 외통부(31)는 두께 방향 중간에 수냉용의 재킷(38)을 가지고, 전후 양측의 사이드 커버(39, 40)와 외통부(31)는 각각 , O링(실 링)(42)을 통하여 기밀로 접합되어 있다. 외통부(31)는 하측에 냉각수 입구(43), 상측에 냉각수 출구(44)를 각각 갖고 있다. 밀폐용의 원통판(34)은 어느 일방의 사이드 커버(39 또는 40)를 장착하기 전에 고정 코일(32)과 스테이터(29) 사이에 삽입된다. 사이드 커버(39, 40)는 예를 들면 베어링(35)과 O링(37)을 장착한 상태에서 회전축(19')이나 원통판(34) 및 외통부(31)에 조립된다. 원통판(34)의 전후의 단부의 내주면을 따라서 전후의 고리형상의 베어링 끼워맞춤부(36)의 외주면이 삽입된다. 원통판(34)의 전후의 단면은 각 베어링 끼워맞춤부(36)의 외주의 단차부(45)에 맞닿아서, 축방향의 헐거움 없이 위치 결정된다.

각 베어링(35)은 윤활제로서 불소 그리스를 충전하고, 또한 베어링 볼의 양측을 고리형상의 실 부재(46)에서 덮은 양쪽밀봉식의 것이고, 각 베어링(35)의 내주면은 회전축(19')의 외주면에 기밀로 밀착하고, 각 베어링(35)의 외주면은 각 사이드 커버(39, 40)의 베어링 끼워맞춤부(36)의 내주면에 기밀로 밀착하고 있다. 각 베어링 끼워맞춤부(36)는 사이드 커버(39, 40)의 내면으로부터 고리형상에 돌출한 벽부이고, 내측에 베어링 끼워맞춤용의 오목부를 갖고 있다. 구동측의 오목부(47)는 회전축 삽입 통과구멍(48)에 동심으로 이어지고, 회전축(19')의 선단부는 상기 메커니컬 부스터 본체(2)(도 1)의 주축(4)과 연결되는 구동축(19)으로서 외부에 돌출해 있다. 구동 반대측의 오목부(49)는 사이드 커버(40)로 밀폐되어 있다.

구동축(19)의 돌출 기부의 직경방향 외측에서 사이드 커버(39)에 고리형상 벽(50)이 돌출 형성되고, 고리형상 벽(50)의 외주측에 링 홈이 형성되고, 링 홈에 O링(51)이 끼워 붙여져 있다. 고리형상 벽(50)은 도 1과 같이 메커니컬 부스터 본체(2)의 구동측의 커버(5)의 내주측의 고리형상의 오목부(52)에 끼워 맞춘다.

도 3의 모터(3)의 원통판(34)에 의해 회전축(19')측(스테이터(29)측)의 공실(53)이 외측의 고정 코일(32)측의 공실(54)로부터 기밀로 격리되고, 또한 전후의 양쪽 밀봉식의 베어링(35)에 의해 회전축(19')측의 공실(53)과 구동측의커버(5)내의 공실(14)(도 2)이 기밀로 격리된다. 특히 원통판(34)에 의해 모터 외부(대기)와 회전축측의 공실(53)이 정밀도 좋게 기밀로 격리된다. 이것들에 의해, 도 1의 구동측의 커버(5)내에서의 종래의 메커니컬 실이나 격벽 등이 불필요하게 되고, 커버내의 공실(14)과 모터 외부(대기)가 확실하게 기밀로 격리된다.

상기 메커니컬 부스터(1)에 의해, 종래의 메커니컬 실이나 구동측 커버내의 오일, 스플래셔, 레벨 게이지, 연통관, 격벽 등이 불필요하게 되고, 구조가 컴팩트화·경량화·저코스트화 되고, 종래의 메커니컬 실에 기인하는 기계적 이상음이나 기계적 누출, 대기흡인과 같은 문제가 해소되어, 메커니컬 부스터(1)의 신뢰성이 향상된다.

이상과 같이, 청구항 1 기재의 발명에 의하면, 종래의 모터와 메커니컬 부스터 본체를 격리하는 메커니컬 실이 불필요하게 되어, 메커니컬 실의 마모에 기인하는 이음이나 에어의 흡인이나 오일누출이나 오일의 흡인에 의한 메커니컬 부스터의 분해 청소 등의 문제가 해소되어, 메커니컬 부스터의 신뢰성이 향상된다. 특히 밀봉용의 원통판은 메커니컬 실과 달라 마모 등이 일어나지 않으므로, 밀봉의 신뢰성이 높아진다. 또, 메커니컬 실 이외에도 윤활용의 오일이나 스플래셔나 메커니컬 실 지지용의 격벽 등이 불필요하게 되어, 구조가 간소화, 컴팩트화, 저코스트화 된다.

청구항 2 기재의 발명에 의하면, 원통판의 산화가 방지되고, 모터내의 기밀성이 장기간에 걸쳐서 확보되므로, 밀봉의 신뢰성이 높아진다.

청구항 3 기재의 발명에 의하면, 모터가 효율 좋게 냉각되고, 메커니컬 부스터의 고회전, 장시간 운전이 가능하게 되는 동시에, 워터 재킷에 의해 모터 내부의 기밀성이 높아져, 밀봉의 신뢰성이 높아진다.

청구항 4 기재의 발명에 의하면, 메커니컬 부스터 본체의 구동측(모터 근처)의 베어링에 오일 윤활이 불필요하게 되고, 오일의 사용에 기인하는 오일누출이나 오일의 흡인 등의 문제가 해소되어, 메커니컬 부스터의 신뢰성이 향상되는 동시에, 오일이나 스플래셔 등의 부품이 제거되어, 구조가 컴팩트화, 저코스트화 된다.

Claims

메커니컬 부스터 본체에 밀착하고, 이 메커니컬 부스터 본체의 축부를 회전시키는 모터를 구비하는 메커니컬 부스터에 있어서, 상기 모터의 회전축측의 스테이터와 외측의 고정 코일 사이의 간극에 금속제의 원통판을 삽입하고, 이 원통판으로 스테이터측과 고정 코일측을 격리하고, 이 모터의 회전축의 양단측을 낮은 포화증기압의 윤활제의 밀봉된 베어링으로 지지하고, 모터 커버의 베어링 끼워맞춤부를 이 원통판의 내측에 삽입하면서 실 링으로 밀봉한 것을 특징으로 하는 밀폐식 메커니컬 부스터.
제 1 항에 있어서, 상기 원통판이 스테인레스로 형성된 것을 특징으로 하는 밀폐식 메커니컬 부스터.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 모터 커버의 외주측에 수냉용의 재킷을 구비한 것을 특징으로 하는 밀폐식 메커니컬 부스터.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 메커니컬 부스터 본체의 구동측의 축부가, 저포화 증기압의 윤활제를 밀봉한 베어링으로 지지된 것을 특징으로 하는 밀폐식 메커니컬 부스터.