KR200309330Y1 - 슬릿형 유체 분사 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 전면판과 후면판이 맞대어져 이루어지는 몸체의 내부에 몸체의 길이 방향으로 형성되는 버퍼 공간과 전면판과 후면판 사이의 몸체 하단에 몸체의 길이 방향으로 형성되는 노즐과 버퍼 공간과 노즐을 연통시키는 연통로를 구비하여, 공급원과 소통하는 입구를 통해 공급원으로부터 버퍼 공간으로 공급되는 유체가 노즐을 통해 하방으로 분사되는 유체 분사 장치다. 본 고안에 따른 유체 분사 장치는 연통로와 노즐 사이의 전면판에 몸체의 길이 방향으로 구비되는 보조 버퍼 공간과, 노즐 폭을 조절하도록 노즐의 길이 방향을 따라 소정 간격으로 설치되는 다수의 노즐 폭 조절용 볼트들을 더 포함한다. 노즐 폭 조절용 볼트들은 전면판의 하단으로부터 보조 버퍼 공간을 관통하도록 전면판에 설치된다. 몸체의 전면판은 그 하단이 후면판을 향해 하방으로 경사진 형상을 가지며, 보조 버퍼 공간은 전면판의 경사면을 따라 긴 단면 형상을 가진다. 후면판의 하단이 몸체의 길이 방향으로 휘는 것을 방지하기 위한 강체가 후면판 내에 삽입된다.

Description

슬릿형 유체 분사 장치{Slit Type Device for Jetting Fluid}

본 고안은 액정표시장치(LCD), 평판디스플레이(FPD) 또는 반도체 웨이퍼 등을 제조하는 공정에 있어서, 공정 사이에 설치되어 처리액이 다른 공정으로 누설되는 것을 방지하도록 공기를 분사하거나 기판 표면을 세정하도록 세정액을 분사하는 슬릿형 유체분사장치에 관한 것이다.

액정표시장치나 평판 디스플레이 또는 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 제조하는 과정에서 기판의 표면에 기계적 또는 화학적인 처리를 가하는 공정들이 있다.화학적인 처리를 가할 때에는 기판에 가해지는 처리액, 즉 화학 약품이 다른 공정으로 누출되는 것을 방지할 필요가 있으며, 이를 위해 인접한 두 공정 장치 사이에 에어 커튼이 설치된다. 또한, 처리된 기판의 표면을 깨끗하게 세정하는 공정이 수반되며, 이러한 세정 공정은 통상적으로 순수(純水)와 같은 유체를 기판의 표면에 고압으로 분사하여 기판의 표면에 잔류하는 미세 입자나 화학 약품들을 제거하는 것에 의해 이루어진다.

이와 같이, 에어 커튼이나 세정용 순수 분사기와 같은 유체 분사 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 전면판(1)과 후면판(2)이 맞대어져 몸체를 이루고 있으며, 일방향으로 긴 형태를 가지고 있다.

그리고, 도 2에 도시된 바와 같이, 몸체의 내부에는 버퍼 공간(3)이 몸체의 길이 방향으로 형성되어 있고, 전면판(1)과 후면판(2) 사이의 몸체 하단은 버퍼 공간(3)과 소통하는 슬릿형 노즐(4)로 이루어져 있다. 버퍼 공간(3)은 몸체의 유체 공급관(5)을 통해 몸체 외부의 유체 공급원(미도시)과 연결되어 있다. 또한, 노즐(4)에는 노즐 폭을 조절하기 위한 다수의 조절용 볼트(7)가 노즐(4)의 길이 방향을 따라 이격 설치되어 있다.

이에 따라, 유체 공급원으로부터 몸체 내부의 버퍼 공간(3)으로 공급된 유체는 버퍼 공간(3)으로부터 노즐(4)을 통해 분사 장치의 하방으로 분사된다.

그러나, 이러한 종래의 유체 분사 장치는 유체 공급원으로부터 버퍼 공간으로 공급된 유체가 곧바로 노즐을 통해 분사되기 때문에 길게 형성된 노즐 전체의유체 분사 압력이 균일하게 유지되기 어렵다는 단점이 있다. 더욱이, 노즐 폭을 조절하기 위한 조절용 볼트가 노즐의 길이 방향을 따라 노즐을 가로질러 설치되어 있으므로 이 볼트들이 유체의 흐름에 간섭되어 유체의 분사 압력이 노즐 전체에서 균일하게 유지되기 어려웠다.

본 고안은, 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 유체의 분사 압력이 노즐 전체에서 매우 균일해질 수 있는 유체 분사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 일반적인 슬릿형 유체 분사 장치의 사시도.

도 2는 종래의 슬릿형 유체 분사 장치의 단면도.

도 3은 본 고안에 따른 슬릿형 유체 분사 장치의 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 전면판 12 : 후면판

13 : 버퍼 공간 14 : 보조 버퍼 공간

15 : 노즐 17 : 노즐 폭 조절용 볼트

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 전면판과 후면판이 맞대어져 이루어지는 몸체의 내부에 몸체의 길이 방향으로 형성되는 버퍼 공간과 전면판과 후면판 사이의 몸체 하단에 몸체의 길이 방향으로 형성되는 노즐과 버퍼 공간과 노즐을 연통시키는 연통로를 구비하여, 공급원과 소통하는 입구를 통해 공급원으로부터 버퍼 공간으로 공급되는 유체가 노즐을 통해 하방으로 분사되는 유체분사장치로서, 연통로와 노즐 사이의 전면판에 몸체의 길이 방향으로 구비되는 보조 버퍼 공간을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 본 고안에 따른 유체 분사 장치는 노즐 폭을 조절하도록 노즐의 길이 방향을 따라 소정 간격으로 설치되는 다수의 노즐 폭 조절용 볼트들을 더 포함한다. 이 노즐 폭 조절용 볼트들은 전면판의 하단으로부터 보조 버퍼 공간을 관통하도록 전면판에 설치된다.

더 바람직하게는, 몸체의 전면판은 그 하단이 후면판을 향해 하방으로 경사진 형상을 가지며, 보조 버퍼 공간은 전면판의 경사면을 따라 긴 단면 형상을 가진다.

또한 바람직하게는, 후면판의 하단이 몸체의 길이 방향으로 휘는 것을 방지하기 위한 강체가 후면판 내에 삽입된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

본 고안의 일 실시예에 따른 유체 분사 장치는 그 외형적인 형상에 있어서는, 대체로 도 1에 도시된 종래의 유체 분사 장치와 동일하게 전면판과 후면판이 맞대어진 형태로 이루어져 있다.

반면, 본 고안의 일 실시예에 따른 유체 분사 장치의 내부 구조는 도 3에 도시된 바와 같다. 즉, 몸체의 길이 방향으로 전면판(11)의 상부를 관통하여 버퍼 공간(13)이 형성되어 있으며, 이 버퍼 공간(13)은 후면판(12)에 의해 폐쇄된다. 그리고, 전면판(11)과 후면판(12)의 하단은 야간 떨어져 노즐(15)로 이루어진다. 이 노즐(15)은 몸체의 길이 방향을 따라 길게 슬릿 형상을 가진다. 버퍼 공간(13)과 노즐(15) 사이에는 버퍼 공간(13)으로부터 노즐(15)로 유체가 이동할 수 있도록 연통로(18)가 형성된다.

또한, 버퍼 공간(13)과 노즐(15) 사이, 즉 연통로(18)의 하단에 보조 버퍼 공간(14)이 형성된다. 이 보조 버퍼 공간(14)은 도면에 도시된 바와 같이, 대체로 45。로 경사진 전면판(11)의 하면과 평행하게 전면판(11)의 내측으로 길게 들어가도록 형성된다.

그리고, 노즐(15)의 폭을 조절하기 위한 다수의 볼트들(17)은 보조 버퍼 공간(14)을 관통하도록 전면판(11)의 하면으로부터 전면판(11)에 체결되어 있다.

한편, 후면판의 내부 하측에는 후면판의 길이 방향 휨을 방지하도록 후면판의 하단을 보강하기 위한 강체(16)가 삽입된다. 이 강체(16)는 강철판과 같이 강성이 큰 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

유체 공급관(19)을 통해 유체 공급원(미도시)으로부터 버퍼 공간(13)으로 공급된 유체는 연통로(18)를 통해 보조 버퍼 공간(14)으로 유입된 다음 보조 버퍼 공간(14)으로부터 노즐(15)을 통해 몸체 하부로 분사된다. 종래와 달리, 버퍼 공간(13)의 유체가 직접 노즐(15)을 통해 분사되지 않고 보조 버퍼 공간(14)을 거쳐서 노즐(15)을 통해 분사되기 때문에, 보조 버퍼 공간(14) 내에서 유체의 압력 평형이 이루어져 노즐(15)을 통해 분사되는 유체의 분사 압력이 노즐(15) 전체에서 매우 균일하게 유지될 수 있다.

또한, 노즐 폭 조절용 볼트들(14)의 체결 정도를 조절하는 것에 의해 후면판(12)과 대향하는 전면판(11)의 하단이 상하로 움직이면서 노즐(15)의 폭이 조절된다. 여기서, 노즐 폭 조절용 볼트들(17)이 종래와 달리 노즐(15) 사이를 가로질러 체결되지 않고, 보조 버퍼 공간(14)을 관통하는 구조로 전면판(11)에만 체결되기 때문에 노즐(15)을 통해 분사되는 유체가 노즐 폭 조절용 볼트들(17)에 간섭되지 않는다. 따라서, 노즐(15)을 통해 분사되는 유체의 분사 압력이 노즐(15) 전체에서 종래에 비하여 매우 균일하게 유지될 수 있다.

상기된 바와 같이, 본 고안에 따른 슬릿형 유체 분사 장치는 버퍼 공간과 노즐 사이에 보조 버퍼 공간이 구비되어 있기 때문에 노즐을 통해 분사되는 유체의 분사 압력이 훨씬 균일해질 수 있는 장점이 있다. 더욱이, 본 고안에 따른 슬릿형 유체 분사 장치는 노즐의 폭을 조절하기 위한 볼트들이 노즐을 가로지르지 않기 때문에, 노즐을 통해 분사되는 유체가 볼트들에 간섭되지 않아 그 분사 압력이 휠씬 더 균일해질 수 있다.

이상에서는 본 고안을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 고안은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 얼마든지 다양하게 변경실시할 수 있음은 자명한 사실이다.

Claims (4)

1. 전면판과 후면판이 맞대어져 이루어지는 몸체의 내부에 몸체의 길이 방향으로 형성되는 버퍼 공간과 상기 전면판과 후면판 사이의 상기 몸체 하단에 몸체의 길이 방향으로 형성되는 노즐과 상기 버퍼 공간과 노즐을 연통시키는 연통로를 구비하여, 공급원과 소통하는 입구를 통해 공급원으로부터 버퍼 공간으로 공급되는 유체가 상기 노즐을 통해 하방으로 분사되는 유체분사장치에 있어서,

   상기 연통로와 노즐 사이의 상기 전면판에 상기 몸체의 길이 방향으로 구비되는 보조 버퍼 공간을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿형 유체 분사 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 노즐 폭을 조절하도록 상기 노즐의 길이 방향을 따라 소정 간격으로 설치되는 다수의 노즐 폭 조절용 볼트들을 더 포함하며, 상기 노즐 폭 조절용 볼트들은 상기 전면판의 하단으로부터 상기 보조 버퍼 공간을 관통하도록 상기 전면판에 설치되는 것을 특징으로 하는 슬릿형 유체 분사 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 몸체의 전면판은 그 하단이 후면판을 향해 하방으로 경사진 형상을 가지며, 상기 보조 버퍼 공간은 상기 전면판의 경사면을 따라 긴 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 슬릿형 유체 분사 장치.
4. 제 1항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 후면판의 하단이 몸체의길이 방향으로 휘는 것을 방지하기 위한 강체가 상기 후면판의 내에 삽입되는 것을 특징으로 하는 슬릿형 유체 분사 장치.