KR20020089832A - 웨이퍼 이송용 핑거 - Google Patents

Abstract

본 발명은 세라믹 진공 라인을 형성하여 이를 통해 웨이퍼에 진공에 의한 흡착력이 발생토록 하여 웨이퍼가 정확히 안착되어 있도록 함으로써 이송시의 안정성을 한층 더 높일 수 있도록 하고, 진공압에 따라 핑거에의 웨이퍼 안착유무를 확인할 수 있도록 하며, 사각 형태의 웨이퍼 및 LCD에도 적용 가능토록 한 웨이퍼 이송용 핑거를 제공한다.

이는 이송용 로봇의 아암에 설치되는 몸체부와; 상기 몸체부에 연장 형성되며, 웨이퍼가 안착되는 일측이 개방된 형태의 웨이퍼 안착부와; 상기 웨이퍼 안착부의 제1 및 제2아암의 소정 부위에 형성되며, 일측이 경사면으로 형성되어 웨이퍼가 슬라이딩되어 센터링될 수 있도록 하는 사각 형태의 센터링 가이드와; 상기 몸체부의 하측에 형성되어 상기 웨이퍼의 하면을 진공상태로 만들기 위한 진공형성부재를 구비함에 의해 달성된다.

Description

웨이퍼 이송용 핑거{FINGER FOR WAFER TRANSFERENCE}

본 발명은 웨이퍼 이송용 핑거에 관한 것으로, 특히 센터링 가이드와 진공을 이용하여 웨이퍼 이송시 안정성을 높일 수 있도록 한 웨이퍼 이송용 핑거에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 공정에서 웨이퍼와 같은 반송 대상물의 이송은 이송용 로봇의 아암에 설치되는 웨이퍼 이송용 핑거를 이용하여 행하고 있으며, 통상 웨이퍼 이송용 핑거는 센터링 가이드와 웨이퍼 가이드에 의해 웨이퍼의 센터링(Centering) 및 웨이퍼가 핑거로부터 떨어지지 않도록 하고 있다.

그러나 종래의 웨이퍼 이송용 핑거는 센터링 가이드가 원형 구조로 되어 있어 사각 글래스에는 적용하기 곤란할 뿐만 아니라, 웨이퍼의 플랫 존 보다 크기가 커야하기 때문에 고온용 시스템일 경우 센터링 가이드에 사용되는 고가의 재질 낭비가 심하였다.

또한, 종래의 웨이퍼 이송용 핑거는 웨이퍼를 고정시키는 기능이 없어 이송시 고가의 웨이퍼가 파손될 위험이 있었으며, 웨이퍼가 제대로 안착되지 않았을 경우에도 이를 확인할 방법이 없었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 세라믹 진공 라인을 형성하여 이를 통해 웨이퍼에 진공에 의한 흡착력이 발생토록 하여 웨이퍼가 정확히 안착되어 있도록 함으로써 이송시의 안정성을 한층 더 높일 수 있도록 한 웨이퍼 이송용 핑거를 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 사각 형태의 웨이퍼 및 LCD에도 적용 가능토록 한 웨이퍼 이송용 핑거를 제공함에 있다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 핑거의 사시도.

도 2는 본 발명의 배면도.

도 3은 도 1의 센터링 가이드의 상세도.

도 4는 도 1의 웨이퍼 가이드의 상세도.

도 5는 도 1의 진공형성부재의 상세 구성도.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 몸체부 20 : 웨이퍼 안착부

21,22 : 제1, 제2암 23 : 센터링 가이드

24 : 웨이퍼 가이드 30 : 진공형성부재

31 : 진공형성공 32 : 진공형성통로

33,34 : 상판, 하판 35 : 트임부

36 : 브라켓 37 : 볼트

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 핑거는, 이송용 로봇의 아암에 설치되는 몸체부와; 상기 몸체부에 연장 형성되며, 웨이퍼가 안착되는 일측이 개방된 형태의 웨이퍼 안착부와; 상기 웨이퍼 안착부의 제1 및 제2아암의 소정 부위에 형성되며, 일측이 경사면으로 형성되어 웨이퍼가 슬라이딩되어 센터링될 수 있도록 하는 사각 형태의 센터링 가이드와; 상기 몸체부의 하측에 형성되어 상기 웨이퍼의 하면을 진공상태로 만들기 위한 진공형성부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 웨이퍼 안착부는 원형 또는 사각 형태로 구성되며, 상기 진공형성부재는 그 일측 단부에 웨이퍼 하면의 진공을 위한 공기가 출력되는 진공형성공이 형성되며, 그 내측에는 상기 진공형성공에 연이어 진공형성기기로부터 공급되는 공기를 진공형성공에 공급하기 위한 통로인 진공형성통로가 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조로 하여 보다 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 핑거의 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 이의 배면도를 나타낸 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 이송용 로봇의 아암에 설치되는 몸체부(10)와, 상기 몸체부(10)에 연장 형성되며, 웨이퍼가 안착되는 일측이 개방된 원형 형태의 웨이퍼 안착부(20)로 구성되며, 상기 웨이퍼 안착부(20)는 상기 몸체부(10)로부터 분기된 제1아암(21)과 제2아암(22)으로 구성된다.

또한, 상기 제1 및 제2아암(21),(22)의 소정 부위에는 웨이퍼의 센터링을 위한 센터링 가이드(23) 및 웨이퍼의 낙하를 방지하기 위한 웨이퍼 가이드(24)가 설치된다.

상기 센터링 가이드(23)는 도 3에 도시한 바와 같이, 사각형태로 구성되되, 핑거 안측 즉, 웨이퍼가 안착되는 측이 경사면(23a)으로 되어, 이 경사면(23a)을 따라 웨이퍼가 슬라이딩되어 안착되도록 구성되고, 웨이퍼 가이드(24)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제1 및 제2아암(21),(22)으로부터 웨이퍼 안착부(20)의 내측으로 돌출되어 형성되되, 그 끝단의 소정부위에 걸림턱(24a)이 형성되어 웨이퍼 안착시 낙하를 방지할 수 있도록 된다.

또한, 상기 몸체부(10)의 하측에는 상기 웨이퍼 하면을 진공상태로 만들기 위한 진공형성부재(30)가 형성되는데, 진공형성부재(30)는 그 일측 단부에 진공을 위한 공기가 출력되는 진공형성공(31)이 형성되며, 그 내측에는 상기 진공형성공(31)에 연이어 도시하지 않은 진공형성기기로부터 공급되는 공기를 진공형성공(31)에 공급하기 위한 통로인 진공형성통로(32)가 형성된다.

여기서, 상기 진공형성공(31)은 몸체부(10)로부터 웨이퍼가 안착될 방향으로 돌출되도록 형성되며, 이때 돌출되는 정도는 웨이퍼의 가장자리 하면을 진공상태로 만들 수 있도록 돌출되거나 또는 도 1의 점선과 같이 웨이퍼의 중심부분의 하면을진공상태로 만들 수 있도록 돌출될 수 있다.

그리고 상기 진공형성부재(30)는 세라믹 재질로 형성되며, 그 중앙에 기계가공을 통해 상기 진공형성통로(32)를 형성하고, 그 끝단에 진공형성공(31)을 형성하거나 또는 도 5에 도시한 바와 같이, 상판(33)과 하판(33)으로 구성하되, 상판(33)의 일측 단부에는 상기 진공형성공(31)을 형성하고, 또한 상판(33)의 저면에는 양측부를 제외한 길이방향의 중앙부위에 하판(34)과 결합시 상기 진공형성공(31)에 진공형성기기로부터 공급되는 공기를 전달할 진공형성통로(32)가 될 트임부(35)를 형성하며, 이와 같이 형성된 상판(33)에 하판(34)을 접착제 등에 의해 접착함에 의해 상기 트임부(35)가 진공형성통로(32)로 형성되도록 할 수 있다.

이와 같이 형성된 진공형성부재(30)는 도 2에 도시한 바와 같이, 브라켓(36)에 볼트(37) 등을 이용하여 몸체부(10)에 고정설치 된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 이송용 핑거는 이송용 로봇의 아암에 설치되어 웨이퍼를 이송하게 되는데, 웨이퍼를 이송하기 위해 웨이퍼 안착부(20)에 웨이퍼가 놓이면 상기 센터링 가이드(23)의 경사면(23a)을 따라 웨이퍼가 슬라이딩되면서 센터링되어 웨이퍼 안착부(20)에 안착되게 되며, 웨이퍼 가이드(24)에 의해 낙하되지 않고 핑거 위에 웨이퍼가 놓이게 된다.

이때, 상기 웨이퍼를 잡아주기 위해 도시하지 않은 진공형성기기를 작동시키면 진공형성기기로부터 공기가 상기 진공형성통로(32)를 따라 진공형성공(31)으로 공급되어 웨이퍼 하면이 진공상태가 된다.

따라서 웨이퍼는 핑거의 웨이퍼 안착부(20)에 진공에 의해 흡착되어 고속 이송시에도 안정적으로 이송할 수 있게 된다.

한편, 본 발명은 상기 안착부(20)에의 웨이퍼의 안착유무를 확인하기 위해 도시하지 않은 상기 이송용 로봇에 진공압을 센싱하는 센서를 부착하여, 상기 웨이퍼 안착부(20) 상측의 진공압을 센싱하여 이를 바탕으로 상기 웨이퍼 안착부(20)에의 웨이퍼 안착유무를 확인할 수 있다. 즉, 상기 웨이퍼 안착부(20) 상측의 진공압이 크면 웨이퍼가 안착되어 있지 않은 상태이고, 진공압이 작으면 웨이퍼가 안착되어 있는 상태로 판단할 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예를 도시한 것으로, 이는 4각 웨이퍼 및 LCD에 적용 가능한 실시 예로써, 몸체부(50)에 연장되는 웨이퍼 안착부(60)가 일측이 개방된 사각 형태로 형성되는 것으로, 상기 실시 예에서 설명한 바와 같이 센터링 가이드(23)가 사각 형태로 형성됨에 따라 4각 웨이퍼 및 LCD에 적용 가능한 것으로, 기타 사항은 상기 실시 예와 동일하므로 그 상세한 설명은 약한다.

본 발명은 상기에 기술된 실시 예에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 진공을 이용한 흡착력에 의해 웨이퍼가 보다 정확히 안착되어 있을 수 있도록 함으로써 고속 이송시의 안정성을 높일 수 있게 되며, 또한 핑거에의 웨이퍼 안착유무를 확인할 수 있어 프로세서 성능과 신뢰성을 향상시킬 수 있게 있다.

또한, 웨이퍼의 형상 및 종류(Flat Zone Wafer, Notch Wafer, 원형 Glass, 4각 Glass 등)에 관계없이 센터링이 가능하며, 고온용 시스템일 경우 센터링 가이드에 사용되는 고가의 재질도 최소화할 수 있어 비용을 절감할 수 있게 된다.

Claims (5)

1. 이송용 로봇의 아암에 설치되는 몸체부와;

   상기 몸체부에 연장 형성되며, 웨이퍼가 안착되는 일측이 개방된 형태의 웨이퍼 안착부와;

   상기 웨이퍼 안착부의 제1 및 제2아암의 소정 부위에 형성되며, 일측이 경사면으로 형성되어 웨이퍼가 슬라이딩되어 센터링될 수 있도록 하는 사각 형태의 센터링 가이드와;

   상기 몸체부의 하측에 형성되어 상기 웨이퍼의 하면을 진공상태로 만들기 위한 진공형성부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핑거.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 안착부는

   원형 또는 사각 형태로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핑거.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 진공형성부재는

   그 일측 단부에 웨이퍼 하면의 진공을 위한 공기가 출력되는 진공형성공이 형성되며, 그 내측에는 상기 진공형성공에 연이어 진공형성기기로부터 공급되는 공기를 상기 진공형성공에 공급하기 위한 통로인 진공형성통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핑거.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 진공형성부재는

   세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핑거.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2아암에 형성된 웨이퍼의 낙하를 방지하기 위한 웨이퍼 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 핑거.