KR20010004233A - Method for inspecting short of electrode in plasma display panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플라즈마디스플레이패널에 관한 것으로, 특히 전극 형성 후 상기 전극의 결함을 보다 간단하게 검사하여 재료비 및 공정시간을 단축하기 위한 방법으로써, 이를 위한 본 발명은, 다수의 전극을 구비하는 플라즈마디스플레이패널의 전극 결함 검사방법에 있어서, 다수의 제1전극에 양의 단자를 연결하고 다수의 제2전극들에 음의 단자를 연결하여 교류전압을 인가하므로써, 상기 제1 및 제2전극이 서로 단락되었는가의 여부를 검사하는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a method of shortening the material defect and processing time by inspecting a defect of the electrode after the formation of the electrode. In the electrode defect inspection method of the present invention, is the first and second electrodes shorted to each other by applying an AC voltage by connecting a positive terminal to a plurality of first electrodes and a negative terminal to a plurality of second electrodes? It is characterized by checking whether or not.
Description
본 발명은 평판 디스플레이(flat panel display) 기술에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, 이하 PDP라 약칭함)의 전극의 결함을 검사하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to flat panel display technology, and more particularly to a method for inspecting a defect of an electrode of a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP).
일반적으로, PDP는 기체 방전시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 영상을 표시하는 소자로 기체 방전 표시(gas discharge display) 소자라고도 부른다. PDP는 크게 플라즈마를 형성하기 위해 외부에서 가해주는 전압인가를 위해 사용되는 전극이 플라즈마에 직접 노출이 되어 전도전류가 전극을 통해 직접 흐르는 직류(DC)형과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출이 되지 않아 변위전류가 흐르게 되는 교류(AC)형으로 구분된다. 그리고, 방전 셀의 전극구조에 따라 대향 방전형, 표면 방전형, 격벽(barrier rib) 방전형 등으로 분류가 되며, 방전가스로부터 나오는 가시광을 직접 이용하는 경우는 대부분 단색표시 PDP 소자에서 이용되는데, 대표적인 것으로 Ne 가스에서 나오는 오렌지색을 이용한 PDP가 있으며, 풀 칼라(full color) 표시가 요구될 경우, Kr이나 Xe와 같은 방전가스로부터 나오는 자외선이 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체를 여기시켜 나오는 가시광을 이용하게 된다. 그러나, 아직까지 휘도와 명암비가 낮고, 구동전압이 타 소자에 비해 높고 전력 소비 효율이 낮으며, 대형화에 따른 제조 공정기술이 까다로워 생산 수율이 낮은 문제점들이 있어 상기의 특성의 개선과 더불어 저가격화가 이루어져야 하는 과제를 안고 있다.In general, a PDP is a device that displays characters or images by using light emitted from a plasma generated during gas discharge, and is also called a gas discharge display device. PDP is largely exposed to direct plasma because the electrode used to apply external voltage to form plasma is directly exposed because the direct current (DC) type and conduction current flowing through the electrode are covered with dielectric. Therefore, it is classified into AC type through which displacement current flows. In addition, depending on the electrode structure of the discharge cell, it is classified into a counter discharge type, a surface discharge type, a barrier rib discharge type, and the like. In the case of directly using the visible light emitted from the discharge gas, it is used in a monochromatic display PDP device. There is an orange PDP from Ne gas, and when full color display is required, ultraviolet light emitted from discharge gas such as Kr or Xe is red (R), green (G) and blue (B) phosphor. Using the visible light to excite the. However, there are still problems such as low brightness and contrast ratio, high driving voltage, low power consumption efficiency, and low manufacturing yield due to the difficulty in manufacturing process technology due to large size. I have a problem to do.
한편, 상술한 바와 같은 PDP의 전극 형성 후에 실시하는 상기 PDP 전극의 오픈(Open)과 쇼트(Short) 검사의 수행을 위해서는 통상적으로 오픈/쇼트 테스터기(Open/Short Tester) 및 현미경이 장착되어 상기 형성된 각각의 전극을 확인하는 패턴 인스펙션(Pattern Inspection)장비를 이용하여 상기 전극 형성 다음 몇 단계의 공정을 거친 후 패널 안정화 공정인 에이징(AGING) 공정 시에 검사를 수행한다.On the other hand, in order to perform the open and short inspection of the PDP electrode performed after the formation of the electrode of the PDP as described above, an open / short tester and a microscope are usually mounted and formed. After the electrode formation is performed using a pattern inspection apparatus for identifying each electrode, inspection is performed during an aging process, which is a panel stabilization process.
그러나, 상기와 같은 장비를 사용하여 패널 하나를 검사하는 데는 시간이 많이 걸리고 또한, 정확하게 모든 결함을 찾아내기가 어렵다는 문제점을 가지고 있다. 즉, 패널을 배기/봉착 단계 후 패널 안정화 공정인 에이징(AGING) 공정 전까지는 전극의 실제 동작을 알아내기가 어렵다.However, there is a problem in that it takes a long time to inspect a panel using such equipment, and it is difficult to accurately find all the defects. That is, it is difficult to find out the actual operation of the electrode until the aging (AGING) process, which is a panel stabilization process after the exhaust / sealing step of the panel.
또한, 상기 패널 안정화 공정인 에이징(AGING) 공정 전까지는 많은 공정이 있고, 배면판도 모든 공정을 거친 것을 사용해야 하므로 종래기술인 오픈/쇼트 테스터기(Open/Short Tester) 및 패턴 인스펙션(Pattern Inspection)장비를 이용하여 검사를 수행할 시에는 전극의 결함을 찾아냈다 하더라도 상기 결함을 수정할 수도 없고 대부분의 공정을 마친 패널을 버려야 한다. 따라서, 수율의 감소에 따른 제조단가가 높아지는 문제점도 발생하게 된다.In addition, there are many processes until the Aging process, which is the panel stabilization process, and the back plate also needs to go through all the processes, so that the conventional open / short tester and pattern inspection equipment are used. When the inspection is performed, even if the electrode is found to be defective, the defect cannot be corrected and the panel which has completed most processes should be discarded. Therefore, a problem arises in that the manufacturing cost increases due to a decrease in yield.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 실제로 패널에 전압을 인가하는 직접적인 방법으로 검사를 수행하여 재료비 및 공정시간을 단축하여 생산성을 개선할 수 있는 PDP전극 결함 검사방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems described above, and provides a PDP electrode defect inspection method that can improve the productivity by reducing the material cost and process time by performing the inspection by a direct method of actually applying a voltage to the panel Its purpose is to.
도1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극 결함 검사 방법을 도시한 도면.1 is a view showing an electrode defect inspection method according to an embodiment of the present invention.
도2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배기/봉착로에서의 전극 결함 검사 방법을 도시한 도면.2 is a view illustrating an electrode defect inspection method in an exhaust / sealing path according to another embodiment of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 유리기판 20 : 전극10: glass substrate 20: electrode
30 : 전압 인가를 위한 쇼트 바(short bar)30: short bar for voltage application
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 다수의 전극을 구비하는 플라즈마디스플레이패널의 전극 결함 검사방법에 있어서, 다수의 제1전극에 양의 단자를 연결하고 다수의 제2전극들에 음의 단자를 연결하여 교류전압을 인가하므로써, 상기 제1 및 제2전극이 서로 단락되었는가의 여부를 검사하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, in the electrode defect inspection method of the plasma display panel having a plurality of electrodes, connecting a positive terminal to the plurality of first electrodes and a negative terminal to the plurality of second electrodes By connecting and applying an AC voltage, it is characterized in that whether the first and second electrodes are short-circuited with each other.
바람직하게 본 발명은, 플라즈마디스플레이패널의 전극 결함 검사방법에 있어서, 전극, 유전체 및 씰층 형성공정이 끝난 전면판 및 배면판을 가시창이 장착된 진공챔버 내에서 배기/가스주입하는 제1 단계; 상기 전면판 및 배면판을 정렬한 후 방전을 시켜 상기 전면판 및 배면판의 전극의 결함을 검사하는 제2 단계; 및 상기 진공챔버에 장착된 상기 가시창을 통한 방전관찰로 전극의 결함 유/무를 판단하여 결한이 있는 경우에는 봉착공정을 진행하지 않고 상기 전면판 및 배면판을 교체하고, 결함이 없는 경우에는 봉착공정을 진행하는 제3 단계를 포함하여 이루어진다.Preferably, the present invention provides a method for inspecting an electrode defect of a plasma display panel, the method comprising: exhausting / gas-injecting an electrode, a dielectric and a seal layer forming process in a vacuum chamber equipped with a front window and a back plate; A second step of aligning the front plate and the back plate and performing discharge to inspect the defects of the electrodes of the front plate and the back plate; And if the defect is found by determining whether or not the electrode is defective by the discharge observation through the visible window mounted on the vacuum chamber, the front plate and the back plate are replaced without performing the sealing process, and when there is no defect, the sealing is performed. And a third step of proceeding with the process.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do.
도1은 본 발명에 따른 PDP에서 형성된 전극의 결함을 간단하게 검사할 수 있는 방법의 일실시예를 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an embodiment of a method for easily inspecting a defect of an electrode formed in a PDP according to the present invention.
도1에 도시된 바와 같이 유리기판(10) 위에 각각 유지전극 및 주사전극(20)의 배치를 교대로 하여 형성한다. 이때 상기 각각의 유지전극 및 주사전극(20)의 단자를 번갈아서 반대쪽으로 더 나오도록 하여 추후 설치할 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)의 연결을 용이하게 한다.As shown in FIG. 1, the sustain electrodes and the scan electrodes 20 are alternately arranged on the glass substrate 10. At this time, the terminals of each of the sustain electrodes and the scan electrodes 20 alternately come out to the opposite side to facilitate the connection of a short bar 30 to be installed later.
다음으로 상기 각각의 유지전극 및 주사전극(20)의 양 단자부분에 전류를 인가할 수 있는 두 개의 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)를 각각 연결하고, 상기 각각의 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)에 교류전압(V)을 인가할 수 있도록 한다.Next, each of the two electrode inspection short bars 30 that can apply current to both terminal portions of each of the sustain electrodes and the scan electrodes 20 is connected to the respective electrode bars. Allow AC voltage (V) to be applied to (Short Bar, 30).
상기와 같은 구성으로써, PDP 전극의 결함을 검사하는 방법에 대해 구체적으로 설명한다.With the above configuration, a method for inspecting a defect of the PDP electrode will be specifically described.
먼저, 상기 구성에서의 교류전압(V)을 인가하게 되면, 상기 각각의 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)에 연결된 상기 유지전극 및 주사전극(20) 각각에 전압이 인가되고 이때, 각각의 전극들 중 결함이 발생하지 않은 부분, 즉 쇼트(short)가 발생하지 않은 경우에는 서로 절연이 되므로 상기 인가한 전류가 흐르지 않게 되고, 만약 쇼트(short)가 발생한 경우에는 상기 인가한 전류가 흐르게 되어 상기 쇼트(short)가 발생한 부분이 전류에 의해 취약해지므로 고온이 발생하여 빨갛게 노출이 된다.First, when the AC voltage V in the configuration is applied, a voltage is applied to each of the sustain electrode and the scan electrode 20 connected to the respective short test bars 30. When the short is not generated, the applied current does not flow, and if the short does not occur, the applied current does not flow. As a result, the short portion becomes vulnerable to the electric current, and thus a high temperature is generated and the red portion is exposed.
또한, 전류 인가시간이 오래 경과하게 되면 상기 쇼트(short)가 발생한 부분이 고온에 의해 타버리게 된다.In addition, when the current application time elapses for a long time, the portion in which the short occurs is burned out by the high temperature.
상기와 같은 방법으로써, 상기 종래기술에 따른 PDP전극 결함 검사방법보다 정확하고 간단하게 결함 부위를 찾아낼 수 있고, 또한 상기 결함부위에 인가하는 전류의 인가시간을 오래하여 상기 결함 부위를 타버리게 하여 자동으로 수정도 가능하게 할 수 있다.By the above-described method, it is possible to find the defect site more accurately and simply than the PDP electrode defect inspection method according to the prior art, and to burn the defect site by prolonging the application time of the current applied to the defect site. You can also make corrections automatically.
도2는 본 발명에 따른 PDP전극 결함검사 방법의 다른 실시예로써, 배기/봉착로에서 직접 PDP전극 결함을 검사할 수 있는 방법을 도시한 도면이다.2 is a view illustrating a method of directly inspecting a PDP electrode defect in an exhaust / sealing path as another embodiment of the PDP electrode defect inspection method according to the present invention.
도2를 참조하여 살펴보면, 도시된 바와 같이 최근 제안되고 있는 팁관이 없이 배기/봉착하는 장치에 적용하는 경우로써, 상기 본 발명의 일실시예에서와 같이 전면판(10) 및 배면판(20)의 양쪽 전극단자에 각각 두 개씩의 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)를 연결하고 상기 각각의 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)에 전원(전면판:Vs, 배면판:Va)을 연결시킨 PDP배면판 및 전면판을 가시창이 장착된 진공챔버(40) 내에 넣고 가열/배기 한 후 방전가스를 주입하고 정렬(Align)한다. 다음으로 상기 정렬(Align)된 패널을 클립 등으로 고정시켜 실제 패널에서의 봉착 단계 후의 조건과 비슷하게 한다.Referring to Figure 2, as shown in the case of applying to the device that is exhausted / sealed without the tip tube has been proposed recently, the front plate 10 and the back plate 20 as in the embodiment of the present invention Connect two electrode inspection short bars (Short Bars) 30 to both electrode terminals of the power supply, and supply the power supply (front panel: Vs, back plate: Va) to the respective Short Bars for electrode inspection. The PDP back plate and the front plate connected to each other are placed in a vacuum chamber 40 equipped with a visible window, heated / exhausted, and then injected with discharge gas to align. Next, the aligned panel is fixed with a clip or the like so as to be similar to the condition after the sealing step in the actual panel.
그리고, 상기 전면판(10) 및 배면판(20)의 단자에 연결된 상기 전극 검사용 쇼트 바(Short Bar, 30)에 전원을 인가하여 상기 다수의 전극에 방전을 일으킨다. 이때, 인가되는 전압은 패널의 실제 동작과 같은 조건의 전압이거나 실제 동작조건의 전압보다 가혹한 전압을 인가하여 결함이 없더라도 배기/봉착 공정 진행 후 결함 발생 가능성이 있는 것을 미리 발생하게 하도록 한다. 다음으로, 상기 진공챔버(40)에 장착된 가시창을 통한 방전 관찰로 전극의 결함 유/무를 판단하여 결함이 있는 경우 봉착공정을 진행하지 않고 결함이 있는 기판을 새 기판으로 교체하고, 결함이 없는 경우에는 봉착공정을 진행한다.In addition, power is applied to the short bar 30 for inspecting the electrodes connected to the terminals of the front plate 10 and the back plate 20 to cause discharge of the plurality of electrodes. In this case, the applied voltage may be a voltage under the same condition as the actual operation of the panel or a voltage more severe than the voltage under the actual operating condition so that there may be a defect after the exhaust / sealing process even if there is no defect. Next, the discharge observation through the visible window mounted on the vacuum chamber 40 determines whether the electrode is defective or not, and if there is a defect, the defective substrate is replaced with a new substrate without a sealing process, and the defect is If not, proceed with the sealing process.
상기와 같은 전극 결함검사 방법으로써, 상기 종래 기술에서의 오픈/쇼트 테스터기(Open/Short Tester) 및 패턴 인스펙션(Pattern Inspection)장비를 사용하여 발견하지 못한 결함도 정확하게 찾을 수 있고, 또한 상기 종래 기술에서는 안정화(AGING) 공정 전에는 전극의 결함을 알 수 없고 공정이 거의 끝난 후에야 알 수 있었으나, 상기 본 발명의 일실시예 및 다른 실시예에서 상술한 방법을 적용하면 미리 안정화(AGING) 공정 전에 상기 PDP전극의 결함을 발견하여 수정 또는 폐기여부를 판단할 수 있어 재료비 및 공정시간이 낭비되는 것을 방지할 수 있다.As the electrode defect inspection method as described above, defects which were not found using the open / short tester and pattern inspection equipment in the prior art can be accurately found, and also in the prior art Before the stabilization (AGING) process, the electrode was not known and after the process was almost finished, it was known, but in one embodiment and the other embodiments of the present invention by applying the above-described method before the stabilization (AGING) process before the PDP electrode Defects can be found to determine whether to correct or discard, thereby avoiding waste of material costs and processing time.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical idea of the present invention has been described in detail according to the above preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 PDP 전극의 결함 검사방법으로써, 재료비 및 공정시간이 낭비를 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As the defect inspection method of the PDP electrode according to the present invention as described above, there is an effect that the material cost and processing time can be prevented from being wasted to improve productivity.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19990628 |
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PG1501 | Laying open of application | ||
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PN2301 | Change of applicant |
Patent event date: 20020615 Comment text: Notification of Change of Applicant Patent event code: PN23011R01D |
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PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20040628 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 19990628 Comment text: Patent Application |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20051206 Patent event code: PE09021S01D |
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E601 | Decision to refuse application | ||
PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20060327 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20051206 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |