KR20000007400A - Image obtaining method of computer tomography system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 비파괴 검사, 예컨대 인쇄회로기판이나 전자 부품 및 기계 부품의 검사에 널리 이용되는 단층사진 촬영 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 피측정물에 대한 하나의 단층면 영상을 획득한 후, 이 기준 단층면의 영상을 가지고 특정 구간내의 임의의 높이에 있는 단층면 영상을 더 이상의 X선 조사나 피측정물의 이동없이 계산으로 구하여 얻는 단층사진 촬영 시스템의 영상 획득방법에 관한 것이다.The present invention relates to a tomography system widely used for non-destructive inspection, such as inspection of printed circuit boards, electronic components, and mechanical components. More specifically, after acquiring one tomographic image of an object to be measured, The present invention relates to a method for acquiring a tomography image obtained by calculating a tomographic image at an arbitrary height within a specific section with an image of a tomographic surface without any further X-ray irradiation or moving the object under measurement.
단층사진 촬영 시스템은, 비파괴 검사 영역에서 매우 효율적으로 이용되고 있다. 예를 들어, 각종의 전자 부품이 실장되어 있는 인쇄회로기판(PCB)상의 납땜 부위는, 경우에 따라 그 상태(납땜 불량 여부 등)를 직접 육안으로 확인 할 수 없는 경우가 있다. 이와 같은 경우에는 피측정물의 단층 영상을 이용하여 검사할 수 있다.Tomography systems have been used very efficiently in the non-destructive inspection area. For example, in some cases, soldering portions on a printed circuit board (PCB) on which various electronic components are mounted may not be able to directly check the state (such as poor soldering). In such a case, the test may be performed using a tomography image of the object to be measured.
피측정물에 대한 단층 영상을 얻을 수 있는 단층사진 촬영 시스템이 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 살펴보면 다음과 같다.A tomography system for obtaining a tomography image of an object to be measured is illustrated in FIG. 1, which is briefly described as follows.
도시된 바와 같이, 단층사진 촬영 시스템은 피측정물(1)이 탑재되는 XYZ 테이블(10), 이 XYZ 테이블(10)에 탑재된 피측정물(1)에 대하여 X선을 조사하는 X선 조사기(Scanning X-ray Tube)(20), 피측정물(1)을 투과한 X선을 육안으로 확인할 수 있는 가시 광선으로 변환시키는 영상 증배관(Image Intensifier)(30), 이 영상 증배관(30)에 투영된 영상 중에 필요한 부분만 선택하여 보내는 뷰 셀렉터(View Selestor)(40) 및 상기 뷰 셀렉터(40)에서 받은 영상을 전기 신호로 바꾸어 주는 카메라(50)를 포함하고 있다.As shown, the tomography system includes an X-ray irradiator for irradiating X-rays to the XYZ table 10 on which the object 1 is mounted and the object 1 mounted on the XYZ table 10. (Scanning X-ray Tube) (20), Image Intensifier (30) for converting X-rays transmitted through the object (1) into visible light that can be seen with the naked eye, this image multiplier (30) ) Includes a view selector 40 which selects and sends only a necessary portion of the image projected on the image) and a camera 50 which converts the image received from the view selector 40 into an electrical signal.
또한, 도시하지는 않았으나, 단층사진 촬영 시스템은 상기한 XYZ 테이블(10)을 이동시키기 위한 구동부, X선 조사기(20)에서 발생되는 X선을 편향시키는 편향코일을 제어하기 위한 제어부 및 상기 카메라(50)에 컴퓨터를 매개로 연결되는 모니터 등을 더 포함하고 있다.In addition, although not shown, the tomography system includes a driver for moving the XYZ table 10, a controller for controlling a deflection coil for deflecting X-rays generated by the X-ray irradiator 20, and the camera 50. ) Also includes a monitor connected via a computer.
상기와 같이 이루어지는 단층사진 촬영 시스템을 이용한 검사방법은 다음과 같다.The inspection method using the tomography system as described above is as follows.
우선, 검사하고자 하는 피측정물(1)을 XYZ 테이블(10)상에 고정한 후, XYZ 테이블(10)을 상하 및 좌우로 이동시키면서 필요한 단층면의 높이를 시스템의 초점 평면에 맞춘다.First, after fixing the to-be-measured object 1 to be examined on the XYZ table 10, the height of the tomographic plane required while moving the XYZ table 10 up and down and left and right is adjusted to the focal plane of the system.
그런 다음, X선 조사기(20)로부터 발생된 X선을 XYZ 테이블(10)의 피측정물(1)에 조사시킨다. 이 때 X선 점 광원이 조사기 끝단에서 피측정물과 평행하도록 원주를 따라 회전하면서 조사된다.Then, the X-rays generated from the X-ray irradiator 20 are irradiated to the measurement object 1 of the XYZ table 10. At this time, the X-ray point light source is irradiated while rotating along the circumference so as to be parallel to the object under test at the end of the irradiator.
상기와 같이 조사되는 X선은 피측정물(1)을 투과하여 영상 증배관(30)에서 가시 광선의 투과 영상으로 맺히고, 이 투과 영상은 뷰 셀렉터(40)에 의해 필요한 부분만이 선택되어 카메라(50)로 보내지며, 카메라(50)에 입력된 영상은 모니터로 보내져 출력된다.The X-rays irradiated as described above are transmitted through the object 1 to form a transmission image of visible light in the image multiplier 30, and the transmission image is selected by the view selector 40 so that the camera is selected. It is sent to 50, the image input to the camera 50 is sent to the monitor and output.
상기와 같은 방법으로 진행되는 검사 과정에서 피측정물의 필요한 단층 영상을 얻는 방법을 첨부한 도 2를 참조하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.The method of obtaining the required tomography image of the object to be measured in the above-described inspection process will be described in detail with reference to FIG. 2.
도 2는 도 1에 나타낸 시스템으로부터 단층 영상을 획득하는 기본적인 원리를 설명하기 위한 도면으로써, 시스템의 중심축에 대한 단면을 나타내고 있다. 또 실제 시스템에서는 X선이 빔 회전면(2-1)을 회전하지만 도면에서는 중심축(C)에 대한 단면을 나타내고 양끝의 두 위치에 대해서만 도식화하고 있다. 따라서 X선이 빔 회전면(2-1)의 Rs에 있을 때, 단층면(2-2)에 있는 피측정물의 투과 영상은 대각선 방향에 영상 Rs(2-4)와 같이 나타난다. 같은 방식으로 X선이 빔 회전면(2-1)의 -Rs에 있을 때, 피측정물의 투과 영상은 대각선 방향에 영상 -Rs(2-5)와 같이 나타난다.FIG. 2 is a view for explaining the basic principle of acquiring a tomography image from the system shown in FIG. 1 and shows a cross section of the central axis of the system. In the actual system, the X-rays rotate the beam rotating surface 2-1, but in the drawing, the cross section of the central axis C is shown and only the two positions at both ends are illustrated. Therefore, when the X-ray is at Rs of the beam rotating surface 2-1, the transmitted image of the measurement object in the tomographic surface 2-2 appears as an image Rs (2-4) in the diagonal direction. In the same way, when the X-ray is at -Rs of the beam rotating surface 2-1, the transmitted image of the measurement object appears like the image -Rs (2-5) in the diagonal direction.
상기와 같이 투과 영상면(2-3)에 맺히는 영상 Rs(2-4)와, 영상 -Rs(2-5)를 단층면(2-2)상의 물체의 중심을 기준으로 이 중심점(O)이 겹치도록 합성하고, 이를 평균(합성한 것을 2로 나눈다)하는 방법으로 우리가 원하는 단층면(2-2)을 대표하는 단층 영상(사진)을 얻을 수 있다.As described above, the center point O of the image Rs (2-4) and the image -Rs (2-5) formed on the transmission image plane 2-3 is based on the center of the object on the tomographic plane 2-2. By synthesizing so that they overlap and averaging them (dividing them by 2), we can obtain a tomographic image (photo) representing the tomographic plane 2-2 we want.
한편, 빔 회전면(2-1)에서의 X선 조사 위치(Rs와 -Rs)를 도시예에서와 같이, 180도로 배치하지 않고, 이 각을 더욱 세분화하여 여러 사진을 중첩후 평균하는 방법으로 보다 선명한 단층 영상을 얻을 수 있다. 이 사진의 특징은 단층면(2-2)상의 물체는 뚜렷하게 보이나 그 위나 아랫면은 흐리게 보인다는 것이다.On the other hand, the X-ray irradiation positions (Rs and -Rs) on the beam rotating surface 2-1 are not arranged at 180 degrees, as shown in the example. Clear tomographic images can be obtained. The feature of this photo is that the object on the fault plane (2-2) is clearly visible, but above or below it is blurred.
따라서, 원하는 단층면의 선명한 단층 영상을 얻기 위해서는, 피측정물에서의 필요한 단층면의 높이를 시스템의 단층면에 정확히 맞추어야 하고, 다시 방사선을 조사하여야 한다. 예를 들면, 인쇄회로기판의 상,하면에 각종 전자 제품이 실장되어 있는 경우, 단층면의 높이를 맞추고 방사선을 조사하여 일측 전자 제품의 납땜부에 대한 단층 영상을 촬영한 후, 타측 전자 제품의 남땜부에 대한 단층 영상을 촬영하기 위하여, 이 부분의 단층면 높이를 맞추는 작업을 하고 다시 방사선을 조사하여 촬영해야 한다.Therefore, in order to obtain a clear tomographic image of the desired tomographic plane, the height of the required tomographic plane in the object to be measured must be exactly matched to the tomographic plane of the system, and the radiation is again irradiated. For example, when various electronic products are mounted on the upper and lower surfaces of a printed circuit board, the tomographic surface is adjusted, the radiation is irradiated to take a tomographic image of a soldering part of one electronic product, and the In order to take a tomographic image of the soldering part, it is necessary to adjust the height of the tomographic plane of this part, and then radiate it again.
상기에서 살펴본 바와 같이, 종래의 방법은 원하는 단층면의 선명한 단층 영상을 얻기 위해서 피측정물을 상,하로 이동시키면서 필요한 단층면의 높이를 시스템의 단층 초점에 맞추는 작업을 하여야 하므로, 작업이 번거로울 뿐만 아니라 촬영 시간이 길어지고, 또 각 높이마다 방사선을 조사하여 단층 사진을 얻으므로 불필요한 방사선을 조사해야 하는 단점이 있었다.As described above, in order to obtain a clear tomographic image of a desired tomography, the conventional method has to work to adjust the height of the tomography plane to the tomographic focus of the system while moving the measured object up and down. It takes a long time and has the disadvantage of irradiating unnecessary radiation because a tomographic image is obtained by irradiating radiation at each height.
본 발명은 상기와 같은 단점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 한 단층 사진을 획득하면 특정 범위내에서는 피측정물의 상,하 이동 및 추가의 방사선 조사 없이 필요한 높이의 단층 영상을 계산으로 구하여 얻는 단층사진 촬영 시스템의 영상 획득방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned disadvantages, and when a tomographic image is obtained, a tomographic image obtained by calculating a tomographic image of a required height without moving up or down and additional irradiation within a specific range within a specific range is obtained. It is an object of the present invention to provide a method for acquiring an image of a photographing system.
도 1은 일반적인 단층 사진 촬영 시스템의 구성을 보인 사시도.1 is a perspective view showing the configuration of a general tomography system.
도 2는 도 1에 나타낸 시스템으로부터 단층 영상을 획득하는 기본적인 원리를 설명하기 위한 도면.2 is a view for explaining the basic principle of obtaining a tomography image from the system shown in FIG.
도 3은 본 발명에 의한 단층 영상 획득방법의 원리를 설명하기 위한 도면.3 is a view for explaining the principle of a tomographic image acquisition method according to the present invention.
도 4는 본 발명의 방법에 의해 얻을 수 있는 최대 단층 영상의 한계를 설명하기 위한 도면.4 is a view for explaining the limit of the maximum tomographic image obtainable by the method of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1;피측정물 10;XYZ 테이블1; Measurement object 10; XYZ table
20;X선 조사기 30;영상 증배관20; X-ray irradiator 30; Image multiplier
40;뷰 셀렉터 50;카메라40; view selector 50; camera
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 단층사진 촬영 시스템의 영상 획득방법은, 피측정물에 대한 한 단층면의 높이를 시스템의 초점 평면에 맞추는 단계; X선 조사기로부터 발생된 X선을 X선 조사기 원주상의 적어도 2개소 이상의 위치에서 상기 피측정물에 대하여 조사하는 단계; 상기 피측정물을 투과하여 영상 증배관의 일정 위치에 맺히는 가시 광선 형태의 적어도 2개 이상의 투과 영상을 그 중심점이 겹치도록 합성하고 평균하여 기준 단층면에 대한 단층 영상을 획득하는 단계; 상기 기준 단층면 상,하의 임의의 높이에 있는 단층면에 해당하는 가상의 투과 영상을 작도로써 구하고, 이 작도로부터 얻어진 투과 영상의 중심점(D)을 구하는 단계; 및 상기 단계의 투과 영상을 그 중심점(D)이 겹치도록 합성하고 평균하여 임의의 높이에 있는 단층면에 대한 새로운 단층 영상을 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of acquiring an image of a tomography system, the method comprising: adjusting a height of one tomography surface to be measured to a focal plane of the system; Irradiating the X-rays generated from the X-ray irradiator with respect to the measured object at at least two or more positions on the circumference of the X-ray irradiator; Synthesizing and averaging at least two or more visible images in the form of visible light passing through the measurement object at a predetermined position of an image multiplier such that their center points overlap and obtaining a tomographic image of a reference tomographic plane; Obtaining a virtual transmission image corresponding to a tomographic plane at an arbitrary height above and below the reference tomographic surface as a drawing, and obtaining a center point (D) of the transmitted image obtained from the drawing; And synthesizing and averaging the transmitted images of the above steps so that their center points (D) overlap, and obtaining a new tomographic image for the tomographic plane at any height.
여기서, 상기 중심점 D는 기준 단층면에 해당하는 투과 영상의 중심거리(Ri)로부터 단층면의 높이 변화에 대응하여 커진 투과 영상의 거리(dRi)의 합, 즉 Ri+dRi로 구할 수 있다. 상기 Ri는 -Rs * Hi / Ho의 식으로, 또 dRi는 -Rs(Hi+dH) / (Ho-dH)-Ri의 식으로 구할 수 있다.Here, the center point D may be calculated as the sum of the distances dRi of the transmitted images, corresponding to the height change of the tomography plane, that is, Ri + dRi, corresponding to the change in the height of the tomography plane from the center distance Ri of the transmitted image corresponding to the reference tomography plane. Ri may be obtained by the formula -Rs * Hi / Ho and dRi by the formula of -Rs (Hi + dH) / (Ho-dH) -Ri.
위 식에서 Rs, Ho, Hi는 시스템 광학계 입력값으로, Rs는 빔 회전면에서의 빔 조사 위치, Ho는 빔 회전면으로부터 단층면까지의 거리, Hi는 단층면으로부터 투과 영상면까지의 거리이다. 또한 dH는 사용자가 의도한 기준 단층면으로부터의 높이이다.In the above formula, Rs, Ho, Hi are the system optical input values, Rs is the beam irradiation position in the beam rotation plane, Ho is the distance from the beam rotation plane to the tomographic plane, Hi is the distance from the tomographic plane to the transmission image plane. DH is also the height from the reference fault plane intended by the user.
또한, 본 발명은 임의의 높이의 단층면에 대한 단층 영상을 획득한 후, 이 단층 영상의 크기(R2)를 기준 단층면 영상의 크기와 동일한 크기로 조정하는 배율 조정 단계를 더 포함할 수 있다. 여기서 상기 R2는 R1* (Ho - dH) / Ho의 식에 의해 구할 수 있다.In addition, the present invention may further include a magnification adjustment step of acquiring a tomography image of the tomography plane having an arbitrary height, and then adjusting the size R 2 of the tomography image to the same size as that of the reference tomography image. Wherein R 2 can be obtained by the formula R 1 * (Ho-dH) / Ho.
이하, 본 발명의 일 실시예에 의한 단층 영상 획득방법에 대한 원리를 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.Hereinafter, the principle of the tomographic image acquisition method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
앞에서도 설명한 바와 같이, 피측정물에 대한 단층 영상을 얻기 위해서는, 단층면의 영상 중심을 찾은 후, 이 점을 중심으로 2개 영상(이는, X선을 빔 회전면의 2개소 위치에서 조사하는 경우이며, 보다 세분화가 가능하다)을 합성하여 평균을 구하면 된다.As described above, in order to obtain a tomographic image of an object to be measured, the center of the image of the tomographic plane is found, and then two images (the X-rays are irradiated from two positions on the beam rotation surface) around this point. Can be further refined to obtain an average.
상기와 같은 단층 영상을 얻는 기본적인 원리를 이용하여, 이미 획득한 단층 영상으로부터 상하의 임의의 높이에 있는 단층 영상을 피측정물의 이동이나 추가의 방사선 조사없이 도 3에 나타낸 바와 같은 작도로써 가상의 투과 영상을 구한 후, 이 투과 영상의 새로운 중심점(D)을 찾아, 원하고자 하는 피측정물의 임의의 높이에 있는 단층 영상을 얻을 수 있다.Using the basic principle of obtaining the tomographic image as described above, the virtual tomographic image of the tomographic image at an arbitrary height above and below from the acquired tomographic image is obtained by drawing as shown in FIG. 3 without moving the object or additional irradiation. Then, the new center point (D) of the transmitted image can be found to obtain a tomographic image at an arbitrary height of the desired target object.
이를 도 3에 나타낸 작도를 참조로 구체적으로 설명하면 다음과 같다.This will be described in detail with reference to the drawing shown in FIG. 3.
빔 회전면(2-1)에서 'Ho'만큼 떨어진 단층면(2-2)의 영상 중심은 작도에서 보인 바와 같이, 빔 회전면(2-1)의 중심에서 'Ri'만큼 떨어진 점 "E"이다. 같은 작도에 의해 빔 회전면(2-1)에서 'Ho-dH'만큼 떨어진 곳, 즉 우리가 새로이 계산에 의해 알고자 하는 단층면(2-2)의 영상 중심은 빔 회전면(2-1)의 중심에서 'Ri+dRi'만큼 떨어진 점 "D"이다. 따라서 투과 영상면(2-3)의 영상을 빔 회전면의 중심에서 'Ri+dRi'만큼 떨어진 점 "D"를 기준으로 좌우 영상을 더해 평균을 구하면, 우리가 의도한 곳의 단층 영상을 구할 수 있다.The image center of the tomographic plane 2-2 away from the beam rotating surface 2-1 by 'Ho' is the point "E" away from the center of the beam rotating surface 2-1 by 'Ri' as shown in the drawing. By the same drawing, the image center of the tomographic plane 2-2 away from the beam rotating surface 2-1 by 'Ho-dH', that is, the new calculation we want to know is the center of the beam rotating surface 2-1. Is the point "D" that is separated by 'Ri + dRi' from. Therefore, if the image of the transmission image plane (2-3) is added to the left and right images based on the point "D" separated by 'Ri + dRi' from the center of the beam rotation plane, and averaged, the tomographic image of the intended place can be obtained. have.
여기서, 새로운 중심점 "D"를 찾는 방법을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Here, the method of finding a new center point "D" will be described in detail.
도 3의 작도에서 Ho ; Hi = -Rs : Ri의 식으로 나타낼 수 있다.……식 ⓛHo in the scheme of FIG. 3; Hi = -Rs: It can be expressed by Ri. … Expression ⓛ
상기의 식 ①에서 m = Hi/Ho라 높으면, △ABO와 △OCD는 닮은꼴이므로,In the above formula ①, when m = Hi / Ho, ΔABO and ΔOCD are similar.
(Ho-dH) : (Hi+dH) = -Rs : (Ri+dRi)가 된다.(Ho-dH): (Hi + dH) = -Rs: (Ri + dRi).
이를 dRi에 대하여 정리하면, dRi = -Rs(Hi+dH)/(Ho-dH)-Ri로 되고, 이는 다시 dRi = -Rs{(Hi+dH)/(Ho-dH)-m}로 나타낼 수 있다.………식 ②Summarizing this for dRi, dRi = -Rs (Hi + dH) / (Ho-dH) -Ri, again represented by dRi = -Rs {(Hi + dH) / (Ho-dH) -m} Can… … … Equation ②
여기서, 새로운 중심점 "D"의 거리는 Ri + dRi 이므로,Here, the distance of the new center point "D" is Ri + dRi,
Ri는 상기 식 ①에 의해 알 수 있고, dRi는 식 ②에 의해 다음 네 값을 대입하여 구할 수 있다.Ri can be known by the above equation ①, and dRi can be obtained by substituting the following four values by equation ②.
상기 식에서 Rs, Ho 및 Hi는 시스템 광학계 입력값으로써, Rs는 빔 회전면에서(2-1)의 빔 조사 위치, Ho는 빔 회전면(2-1)으로부터 기준 단층면(2-2)까지의 거리, Hi는 기준 단층면(2-2)으로부터 투과 영상면(2-3)까지의 거리이다. 또한 dH는 사용자가 의도한 기준 단층면(2-2)으로부터의 높이이다. 그리고, Ri는 기준 단층면에 해당하는 투과 영상의 중심거리 이고, dRi는 단층면의 높이 변화에 대응하여 커진 투과 영상의 거리이다.In the above formula, Rs, Ho and Hi are system optical system input values, Rs is the beam irradiation position in the beam rotating surface (2-1), Ho is the distance from the beam rotating surface 2-1 to the reference tomographic surface 2-2, Hi is the distance from the reference tomographic plane 2-2 to the transmission image plane 2-3. DH is also the height from the reference tomographic plane 2-2 intended by the user. Ri is the center distance of the transmitted image corresponding to the reference tomographic plane, and dRi is the distance of the transmitted image increased in correspondence to the height change of the tomographic plane.
상기의 식에 의해 투과 영상의 중심점 "D"를 구한 후, 이 중심점을 기준으로 좌우 양측의 투과 영상을 합성하고 평균하는 방법으로 우리가 의도하는 곳, 즉 기준 단층면으로부터 임의의 높이에 있는 새로운 단층면에 대한 단층 영상을 얻을 수 있다.After obtaining the center point "D" of the transmitted image by the above formula, the new tomographic plane at any height from the intended tomographic plane is synthesized and averaged by synthesizing and averaging the transmitted images on both the left and right sides based on this center point. A tomographic image of can be obtained.
그리고, 도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 기준 단층면에서의 영상 배율은 (Hi+Ho)/Ho인 반면에, dH만큼 떨어진 평면상의 물체는 투과 영상면에 다음의 배율로 투사된다.As can be seen in FIG. 3, the image magnification at the reference tomographic plane is (Hi + Ho) / Ho, whereas an object on a plane separated by dH is projected on the transmission image plane at the next magnification.
dH에서의 배율 = (Hi+Ho)/(Ho-dH)Magnification at dH = (Hi + Ho) / (Ho-dH)
즉, dH>0 이어서 윗면인 경우, 투사된 이미지의 배율은 기준 단층면의 배율보다 더 커져있게 마련이다. 따라서 다음 식에 의해 기준 단층면상의 배율과 같게 해줄 수 있다.That is, in the case where dH> 0 followed by the top surface, the magnification of the projected image is larger than that of the reference tomographic plane. Therefore, the following magnification can be made equal to the magnification on the reference tomographic plane.
R2= R1* (Ho - dH) / Ho ………………식 ③R 2 = R 1 * (Ho-dH) / Ho. … … … … … Equation ③
위 식에서 R1은 기준 단층면의 영상 크기, Ho는 빔 회전면으로부터 단층면까지의 거리, dH는 사용자가 의도한 기준 단층면으로부터의 높이이다.In the above equation, R 1 is the image size of the reference tomographic plane, Ho is the distance from the beam rotation plane to the tomographic plane, and dH is the height from the reference tomographic plane intended by the user.
상기한 바와 같은 배율 조정을 행하여, 우리가 원하는 곳의 단층 영상을 기준 단층면의 배율과 같게 함으로써, 두 단층면을 보다 효과적으로 비교할 수 있다.By performing the magnification adjustment as described above, the tomographic image where we want is equal to the magnification of the reference tomographic plane, whereby the two tomographic planes can be compared more effectively.
한편, 상기와 같은 본 발명에 의한 단층 영상 획득방법은 피측정물의 모든 높이의 단층 사진을 구할 수 있는 것은 아니다. 즉 기준 단층면에서 계측에 의해 얻은 단층 사진으로부터 위/아래면의 단층 사진을 계산할 때, 그 상,하 단층의 범위 한계가 있다. 이를 보면 다음과 같다.On the other hand, in the tomography image acquisition method according to the present invention as described above it is not possible to obtain a tomographic image of all the height of the object to be measured. That is, when calculating the tomographic image of the upper and lower surfaces from the tomographic image obtained by measurement in the reference tomographic surface, there is a range limitation of the upper and lower tomographic layers. This is as follows.
상기 식 ②을 dH에 관해서 풀면,Solving the above formula ② with respect to dH,
dH*(-Rs)+Hi*(-Rs) = Ho(Ri+dRi) - dH(Ri+dRi)dH * (-Rs) + Hi * (-Rs) = Ho (Ri + dRi)-dH (Ri + dRi)
dH(-Rs+Ri+dRi) = Ho(Ri+dRi) - Hi*(-Rs)dH (-Rs + Ri + dRi) = Ho (Ri + dRi)-Hi * (-Rs)
dH = {Ho(Ri+dRi) - Hi* -Rs}/(-Rs+Ri+dRi) 이다.dH = {Ho (Ri + dRi) -Hi * -Rs} / (-Rs + Ri + dRi).
상기 식으로부터 알 수 있는 바와 같이, dH가 윗방향(+)에서 최대인 경우는 도 4의 작도에서 보는 바와 같이, dRi가 카메라의 필드 오프 뷰(Field Of View)의 1/2인 경우로 양수이다. 한편, dH가 아랫방향(-)에서 최대인 경우는, dRi가 카메라의 필드 오프 뷰(Field Of View)의 1/2인 경우로 음수이다. 이와 같은 방법에 의해 합성에 의한 영상의 복원 한계를 미리 할 수 있으므로 시행 착오를 줄일 수 있다.As can be seen from the above equation, when dH is maximum in the upward direction (+), as shown in the drawing of FIG. 4, the number of dRi is 1/2 of the field of view of the camera. to be. On the other hand, when dH is maximum in the downward direction (−), it is negative when dRi is 1/2 of a field of view of the camera. In this way, the restoration limit of the image by the synthesis can be preset, and trial and error can be reduced.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 단층 영상 획득방법은, 피측정물의 기준 단층면에 대한 영상을 통상의 방법대로 획득하면, 이 단층 영상을 기준으로 이로부터 특정 범위내에 있는 임의의 높이에 대한 단층 영상을 별도의 방사선 조사나 피측정물의 이동없이 계산에 의해 정확하면서도 신속하게 얻을 수 있다.As described above, in the tomographic image acquisition method according to the present invention, when an image of the reference tomographic plane of the object to be measured is acquired according to a conventional method, a tomographic image of any height within a specific range is determined based on this tomographic image. Can be obtained accurately and quickly by calculation without separate irradiation or movement of the EUT.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 특정 구간내의 단층을 한 번 촬영한 영상을 가지고, 더 이상의 방사선 조사나 피측정물의 이동없이 그 상,하의 임의의 높이의 단층 영상을 계산에 의해 구할 수 있으므로 피측정물의 검사 작업을 편리하면서도 빠르게 할 수 있다. 또 방사선 조사를 절제할 수 있으므로 방사선 피폭 피해를 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to obtain an image of a tomography within a specific section once, and to calculate a tomography image of any height above and below without any further irradiation or movement of the measured object. As a result, the inspection work on the workpiece can be performed conveniently and quickly. In addition, radiation exposure can be controlled to reduce the radiation exposure damage.
이상에서는 본 발명에 의한 단층사진 촬영 시스템의 영상 획득방법을 실시하기 위한 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.In the above has been shown and described with respect to a preferred embodiment for carrying out the image acquisition method of the tomography imaging system according to the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, of the invention claimed in the claims below Various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention.
Claims (2)
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