KR19990023791A - Spacer manufacturing method of flat panel display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판표시소자의 스페이서 제조방법에 관한 것으로서, 일차로 인쇄용 마스크로 스페이서를 인쇄하고, 마스크와 기판 사이에 상기 마스크와 유사한 홀들을 구비하는 지지판을 개재시켜 설치한 후, 후속 인쇄 공정을 반복진행하여 원하는 높이의 스페이서를 형성함으로써, 스페이서의 높이를 몇 배 더 높게 할 수 있으므로 애노드부에 보다 높은 전압을 인가시킬 수 있게 하여 고휘도와 고발광 효율의 패널을 구성할 수 있고, 적층 인쇄 공정에서 인쇄 횟수 증가에 따른 1회 인쇄당 인쇄되는 높이의 감소를 방지하여 인쇄효율을 증가시켜 공정수율 및 소자동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a spacer of a flat panel display device, wherein a spacer is first printed by a printing mask, and a support plate having holes similar to the mask is installed between the mask and the substrate, and then the subsequent printing process is repeated. By proceeding to form a spacer having a desired height, the height of the spacer can be several times higher, so that a higher voltage can be applied to the anode portion, whereby a panel of high brightness and high luminous efficiency can be constructed. It is possible to improve the printing efficiency by increasing the printing efficiency by preventing the reduction of the height printed per print according to the increase in the number of printing, thereby improving the process yield and the reliability of device operation.
Description
본 발명은 전계방출표시소자(field emission display; 이하 FED라 칭함)등의 평판표시소자의 스페이서 제조방법에 관한 것으로서, 특히 인쇄 마스크와 기판 사이에 개재되는 인쇄용 지지판을 사용한 인쇄법으로 스페이서를 형성하여 인쇄법으로도 스페이서를 높게 형성할 수 있고, 애노드부에 높은 전압을 인가시킬 수 있어 고휘도와 고발광 효율의 패널을 제조할 수 있는 평판표시소자의 스페이서 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a spacer of a flat panel display device such as a field emission display (hereinafter referred to as a FED), and in particular, a spacer is formed by a printing method using a printing support plate interposed between a printing mask and a substrate. The present invention relates to a spacer manufacturing method of a flat panel display device which can form a high spacer by a printing method and can apply a high voltage to an anode portion to produce a panel having high brightness and high light emitting efficiency.
최근에는 초고집적 반도체 제조기술과 초고진공 기술이 급속히 발달함에 따라 새로운 형태인 마이크론 크기의 삼극 진공관 소자의 연구가 활기를 띠고 있으며, 이러한 소자를 디스플레이에 응용하여 CRT와 LCD의 장점을 갖는 새로운 평판 디스플레이를 개발하는데 주목하고 있다.In recent years, with the rapid development of ultra-high density semiconductor manufacturing technology and ultra-high vacuum technology, research on new micron-sized triode tube devices has been invigorating, and new flat panel displays having advantages of CRT and LCD by applying these devices to displays Pay attention to develop.
FED는 평판 디스플레이의 일종으로서 각이진 부분에 전계가 집중되는 현상을 이용하여 비교적 낮은 전압, 예를 들어 200∼10㎸ 정도의 전압을 인가하여 냉전자를 방출시키는 소자로서, 이를 이용하여 형성되는 FED는 CRT의 고선명성과 LCD의 경박화의 장점을 모두 갖추고 있어 차세대 표시장치로서 주목받고 있다.FED is a type of flat panel display that emits cold electrons by applying a relatively low voltage, for example, a voltage of about 200 to 10 kV by using a phenomenon in which an electric field is concentrated on an angled part. It is attracting attention as the next generation display device because it has both the high definition of CRT and the thinning of LCD.
이러한 FED는 전자를 방출하는 팁형 또는 웨지형 캐소드와 형광체가 도포된 애노드를 구성하고, 다수의 마이크로 팁으로부터 전자 방출을 유도하여, 형광체가 자극을 받아 형광체의 최외각 전자들이 여기되어 천이되는 과정에서 발생된 빛을 이용하여 원하는 화상 표시를 나타내도록 하고 있다.The FED constitutes a tip or wedge cathode that emits electrons and an anode coated with a phosphor, and induces electron emission from a plurality of micro tips so that the phosphor is stimulated to excite and transition the outermost electrons of the phosphor. The generated light is used to display a desired image display.
즉, FED는 진공 내에서 금속 혹은 도체에 전기장을 인가하면 전자들이 고체로부터 진공 밖으로 양자역학적인 터널링을 통해 튀어나오게 되는데, 이것들이 맞은 편의 후면 전극에 인가된 전압에 의하여 가속되어 전극 위에 형성된 형광층을 때려서 발광시킴으로써 영상을 표시하는 디스플레이 소자이다.In other words, when FED applies an electric field to a metal or a conductor in a vacuum, electrons are ejected from the solid through quantum mechanical tunneling out of the vacuum, and they are accelerated by the voltage applied to the opposite rear electrode and formed on the electrode. It is a display element which displays an image by hitting and emitting light.
특히 FED는 경박형의 제작이 가능할 뿐만 아니라, LCD의 결정적인 단점인 공정수율, 제조단가 및 대형화의 문제점들을 해결할 수 있다. 즉 LCD는 하나의 단위화소라도 불량이 발생되면 제품전체가 불량 처리되지만, FED는 하나의 화소 그룹에 그보다 작은 다수 개의 단위화소들이 형성되어 있어 한 두개의 단위화소에 불량이 발생하여도 화소 그룹의 동작에는 이상이 없어 제품 전체의 수율이 향상된다.In particular, the FED can not only manufacture the thin and thin, but also solve the problems of process yield, manufacturing cost, and enlargement, which are crucial disadvantages of the LCD. That is, in case of LCD, even if one unit pixel is defective, the whole product is treated badly. However, FED has a smaller number of unit pixels in one pixel group, so even if one or two unit pixels are defective, There is no problem in operation, and the yield of the whole product is improved.
또한 FED는 LCD에 비해 시야각, 휘도, 응답속도, 소모전력 등의 특성이 우수하여 대형표시장치에 적합하다는 이점이 있다.In addition, FED has advantages in that it is suitable for large display devices because it has superior characteristics such as viewing angle, brightness, response speed, and power consumption than LCD.
초기의 FED는, 공동에 의해 외부로 노출되어 있으며 꼭지부를 갖는 원뿔형 에미터와, 상기 에미터의 양측에 정렬되어 있는 게이트와 상기 게이트와 일정간격 이격되어 있는 애노드로 구성되어 각각이 CRT의 캐소드, 그리드 및 애노드와 대응된다.Initially, the FED consists of a conical emitter having a vertex and exposed to the outside by a cavity, a gate arranged on both sides of the emitter, and an anode spaced apart from the gate by a cathode of the CRT, Corresponds to the grid and anode.
상기의 FED는 에미터에 전압을 인가하여 애노드의 꼭지부에 집중된 전장에 의해 전자가 방출되며, 상기 방출된 전자는 양의 전압이 인가된 애노드에 의해 인도되어 애노드에 도포되어 있는 형광물질을 발광시키고, 상기 게이트는 전자의 방향 및 양을 조절한다.The FED applies a voltage to the emitter and emits electrons by the electric field concentrated at the top of the anode, and the emitted electrons are guided by the anode to which a positive voltage is applied to emit the fluorescent material applied to the anode. The gate controls the direction and amount of electrons.
상기의 FED는 상판과 하판의 사이에 일정한 간격을 유지하기 위한 스페이서가 설치되어 있다.The FED is provided with a spacer for maintaining a constant gap between the upper plate and the lower plate.
상기 스페이서는 FED 내부의 고진공에 의한 압축 응력에 의해 기판이 파괴되거나 휘어지는 것을 방지하며, 통상적으로 상판과 하판을 100∼3000㎛의 간격으로 유지시키는 역할을 하는 구조체이다.The spacer is a structure that prevents the substrate from being broken or bent due to compressive stress due to high vacuum inside the FED, and typically serves to maintain the upper plate and the lower plate at intervals of 100 to 3000 μm.
이러한 FED는 기판간의 간격이 100∼3000㎛의 범위에 있지만 고휘도와 고 발광 효율의 패널을 위해서는 1㎜ 이상이 되도록 하여야 하는데, 이렇게 하는 것은 기술적으로 많은 문제점이 있으며, 이를 해결하기 위한 여러 가지의 스페이서 형성 방법이 거론되고 있다.The FED has a distance between the substrates in the range of 100 to 3000 µm, but should be 1 mm or more for high brightness and high luminous efficiency panels. However, there are many technical problems. Formation methods have been discussed.
이러한 스페이서 형성을 위한 종래의 방법에는, 캐소드 어레이와 게이트 전극이 형성되어 있는 하판에 스페이서용 물질을 균일하게 도포하고 이를 패터닝하는 사진 식각법이나, 스페이서용 미세 입자를 기판 위에 산포하는 방법, 개별 공정으로 스페이서를 제조하고 이 스페이서를 하판에 배열시키는 방법 또는 인쇄법 등이 있다.Conventional methods for forming such spacers include a photolithography method of uniformly applying and patterning a spacer material on a lower plate on which a cathode array and a gate electrode are formed, or a method of dispersing spacer fine particles on a substrate, or an individual process. For example, there is a method of manufacturing a spacer and arranging the spacer on a lower plate or printing method.
그러나, 상술한 방법들은 각각 큰 문제점을 가지고 있다. 사진식각법은 미세한 스페이서를 제조하는데 큰 장점을 가지고 있지만, 스페이서재로 형성된 물질상에 감광막을 형성하여 스페이서재를 패터닝하고 잔존하는 감광막 패턴을 제거하는 등의 공정이 복잡하고, 스페이서용 재료의 선정에 어려움이 있고, 스페이서용 미세입자를 기판 위에 산포하는 방법은 고밀도의 패널 제작이 어려우며, 패널 전체에 산포하는 경우 캐소드 팁들을 손상시킬 수 있다.However, the above-mentioned methods each have a big problem. Although the photolithography method has a great advantage in manufacturing a fine spacer, the process of forming a photoresist film on a material formed of the spacer material to pattern the spacer material and removing the remaining photoresist pattern is complicated. In this case, the method of dispersing the spacer microparticles on the substrate is difficult to manufacture a high-density panel, and the scattering of the cathode tips may occur when scattering the entire panel.
또한 개별 공정으로 스페이서를 제조하여 배열하는 경우, 스페이서를 정확한 위치에 정렬·고정시키기 어려우며, 인쇄법의 경우 기존의 PDP에서 사용되고 있는 격벽 형성방법을 응용하여 이용할 수 있으나 좁은 폭으로 높은 높이를 갖는 스페이서를 형성하기 어려운 단점이 있다. 이는 적층 인쇄를 계속적으로 여러 회 실행함에 따라서 마스크와 인쇄된 면의 상단부간의 갭이 바뀌게 되고 인쇄압도 바뀌게 되어 공정조건의 조절이 어렵고, 기존에 인쇄된 부분이 후속 마스크 패턴홀에 약간씩 끼게 됨으로써 적층 인쇄를 실행할수록 1 회당 누적되는 인쇄 두께가 점차 감소되어 두꺼운 스페이서의 형성이 어렵기 때문이다.In addition, when manufacturing and arranging the spacers in individual processes, it is difficult to align and fix the spacers at the correct position.In the case of the printing method, spacers having a narrow width and high height can be used by applying the partition formation method used in the conventional PDP. There is a disadvantage that is difficult to form. This is because the gap between the mask and the upper part of the printed surface is changed and the printing pressure is changed as the printing of the printing is continuously performed several times, and thus the process conditions are difficult to control, and the previously printed portions are slightly sandwiched in the subsequent mask pattern holes. This is because, as the printing is executed, the print thickness accumulated per one gradually decreases, making it difficult to form a thick spacer.
상술한 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 통상의 인쇄법에 사용되는 인쇄마스크와 기판 사이에 다수 개의 인쇄 지지판을 순차적으로 개재시키면서 인쇄하여 높은 스페이서를 용이하게 형성함으로써, 애노드부에 높은 전압을 인가시켜 고휘도와 고발광 효율을 가지는 패널을 제조할 수 있는 평판표시소자의 스페이서 제조방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above problems is to form a high spacer by printing a plurality of printing support plates sequentially between a printing mask and a substrate used in a conventional printing method to easily form a high voltage on the anode portion. The present invention provides a method for manufacturing a spacer of a flat panel display device capable of manufacturing a panel having high brightness and high light emitting efficiency by applying a.
도 1a 내지 도 1h는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시소자의 스페이서 제조공정도.1A to 1H illustrate a spacer manufacturing process of a flat panel display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 도 1e에서 사용한 인쇄지지판을 설명하기 위한 개략도.Figure 2 is a schematic diagram for explaining the print support plate used in Figure 1e.
도 3은 본 발명에 사용된 다른 형상의 인쇄지지판을 설명하기 위한 개략도.Figure 3 is a schematic diagram for explaining the printing support plate of another shape used in the present invention.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시소자의 스페이서 제조공정도.4A through 4F are diagrams illustrating a spacer manufacturing process of a flat panel display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 기판 12 : 스페이서10 substrate 12 spacer
20 : 인쇄마스크 26 : 지지층20: print mask 26: support layer
30 : 인쇄지지판 32 : 지지판 홀30: printing support plate 32: support plate hole
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자의 스페이서제조방법의 특징은,Features of the spacer manufacturing method of a flat panel display device according to the present invention for achieving the above object,
스페이서를 형성하기 위한 기판상에 인쇄 마스크를 정렬시키는 공정과,Aligning the print mask on a substrate for forming the spacer;
상기 인쇄마스크의 홀을 통하여 기판상에 스페이서를 인쇄 및 건조하는 제1단계 인쇄공정과,A first step printing process of printing and drying a spacer on a substrate through holes in the printing mask;
상기 인쇄마스크와 기판사이에 상기 스페이서로 예정된 부분을 노출시키는 홀들을 구비하는 인쇄지지판을 설치하는 공정과,Installing a printing support plate having holes between the printing mask and the substrate to expose a predetermined portion of the spacer;
상기 인쇄지지판 상에 인쇄마스크를 정렬시켜 스페이서의 인쇄 및 건조 공정을 원하는 높이까지 행하는 제2단계 인쇄공정을 구비함에 있다.And a second step printing process of aligning a printing mask on the printing support plate and performing a printing and drying process of the spacer to a desired height.
본 발명에 따른 평판표시소자용 스페이서 제조방법의 다른 특징은,Another feature of the manufacturing method of the spacer for a flat panel display device according to the present invention,
기판의 스페이서가 형성되기로 한 부분을 노출시키는 홀을 구비하는 제1 인쇄 마스크를 정렬시키는 공정과,Aligning a first printing mask having holes for exposing portions of the substrate to be formed with spacers;
상기 홀을 통하여 기판상에 스페이서를 인쇄하는 제1단계 인쇄공정과,A first step of printing the spacer on the substrate through the hole;
상기 제1단계 인쇄에서 형성된 스페이서를 노출시키는 홀을 구비하고, 하부에 지지층이 형성되어있어 두께가 상기 제1인쇄마스크 보다 두꺼운 제2인쇄마스크를 기판상에 설치하는 공정과,Providing a second printing mask on the substrate, the second printing mask having a hole exposing the spacer formed in the first step printing and having a support layer formed thereon, the thickness being thicker than the first printing mask;
상기 제2인쇄마스크를 통하여 스페이서의 인쇄 및 건조 공정을 원하는 높이까지 행하는 제2단계 인쇄공정을 구비함에 있다.And a second step printing step of performing a printing and drying process of the spacer to a desired height through the second printing mask.
이하, 본 발명에 따른 평판표시소자의 스페이서 제조방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a spacer of a flat panel display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도1a 내지 도1h는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시소자 스페이서의 제조공정도로서, 인쇄마스크와 기판 사이에 인쇄지지판을 사용한 예이다.1A to 1H are manufacturing process diagrams of a flat panel display spacer according to a first embodiment of the present invention, in which a printing support plate is used between a printing mask and a substrate.
먼저, 스페이서를 인쇄할 기판(10)에서 스페이서 형성이 예정되어 있는 부분을 노출시키는 홀(22)이 형성되어 있는 스페이서용 인쇄 마스크(20)를 기판(10)상에 정렬시킨 후, 스페이서(12)를 1회 인쇄·건조한다. 여기서 상기 기판(10)은 애노드판이나 케소드판 모두 될 수 있으나, 팁(tip)의 손상 문제를 고려할 때 애노드 기판이 유리하다. 또한 상기 인쇄마스크(20)를 사용하여 일차로 형성된 스페이서(12)는 높이가 상기 인쇄마스크(20) 두께의 약 3/4 정도가 적당하다. (도 1a 내지 도 1d).First, the spacer printing mask 20 in which the holes 22 exposing portions where the spacers are to be formed on the substrate 10 to be printed is formed is aligned on the substrate 10, and then the spacers 12 ) Print and dry once. Here, the substrate 10 may be both an anode plate and a cathode plate, but an anode substrate is advantageous when considering a problem of damage to a tip. In addition, the spacer 12 formed primarily using the printing mask 20 has a suitable height of about 3/4 of the thickness of the printing mask 20. (FIGS. 1A-1D).
그 다음 상기 인쇄마스크(20)와 기판(10)의 사이에 전회 인쇄된 스페이서(12)와 유사한 두께로서 스페이서(12)를 노출시키는 홀(32)을 구비하는 인쇄지지판(30)을 개재시킨 후, 후속 인쇄 공정을 반복 진행하여 희망하는 높이의 스페이서(12)를 형성하고, 열처리하여 스페이서(12)를 완성한다. 여기서 상기 인쇄용 지지판(30)은 어느 재료든 구애받지 않는다. (도 1e 내지 도 1h).Then, between the printing mask 20 and the substrate 10 is interposed between the printing support plate 30 having a hole 32 for exposing the spacer 12 to a thickness similar to the previously printed spacer 12 Subsequently, the subsequent printing process is repeated to form a spacer 12 having a desired height, and heat treated to complete the spacer 12. Here, the printing support plate 30 is not limited to any material. (FIGS. 1E-1H).
또한 상기 스페이서(12)의 소성 공정은 인쇄 후 1회로 이루어질 수도 있고, 적층 인쇄 진행 중에 소성을 하고 다시 인쇄를 할 수도 있다.In addition, the firing process of the spacer 12 may be performed once after printing, or may be baked and printed again during the progress of lamination printing.
또한 상기 스페이서(12)는 일반적으로 인쇄 특성 및 배기 콘덕턱스를 고려하여 타당한 높이와 폭으로 설계되어야 하며, 실험적으로 스페이서(12)의 장축방향의 길이는 약 2.3mm가 적당하지만, 실험에서 고려되지 않은 요인들에 의해서 달라질 수 있는 것으로 이해되어져야 하며, 단위 면적당 스페이서(12)의 수도 마찬가지이며, 당해 기술 분야에서 숙련된 자에게 타당하게 설계될 수 있기에 이에 대한 설명은 생략한다.In addition, the spacer 12 should generally be designed with a reasonable height and width in consideration of printing characteristics and exhaust conductance. Experimentally, the length of the long axis of the spacer 12 is about 2.3 mm, but is not considered in the experiment. It is to be understood that the number of spacers 12 per unit area is the same, and the description thereof will be omitted since it may be properly designed to those skilled in the art.
상기 인쇄용 지지판의 형태는 스페이서용 인쇄 마스크와 거의 동일하지만, 인쇄 마스크의 홀이 후속 인쇄공정시에 인쇄용 지지판에 의해서 방해를 받지 않게 하기 위하여 인쇄용 마스크 홀보다 다소 커야 한다.The shape of the printing support plate is almost the same as that of the spacer printing mask, but should be somewhat larger than the printing mask hole so that the holes of the printing mask are not obstructed by the printing support plate in the subsequent printing process.
예를 들면, 도 2에 도시되어 있는 인쇄용 지지판(30)은, 기판상의 열 방향으로 일렬로 늘어선 스페이서를 모두 내부에 포함시키는, 열방향으로 형성된 직사각형의 홀(32)들을 가지며, 다른 예로서 도 3에 도시되어 있는 인쇄용 지지판(30)에서는, 기판상의 각각의 스페이서용 인쇄 마스크의 패턴홀 크기보다 약간 크게 형성된 다수의 홀(32)들을 구비한다.For example, the printing support plate 30 shown in FIG. 2 has rectangular holes 32 formed in the column direction to include all the spacers arranged in a row in the column direction on the substrate therein. The printing support plate 30 shown in Fig. 3 includes a plurality of holes 32 formed slightly larger than the pattern hole size of each printing mask for spacers on the substrate.
이러한 지지판은 매 인쇄 공정마다 기판과 마스크 사이에 재정렬 또는 제거할 필요없이 처음 정렬할 때 지지판의 한쪽을 테이프 또는 접착제 등의 고정수단으로 기판에 고정시켜 놓으면, 인쇄시 정렬 및 제거하기가 수월하다.This support plate is easy to align and remove during printing, if one side of the support plate is fixed to the substrate by a fixing means such as tape or adhesive at the time of initial alignment without the need to rearrange or remove between the substrate and the mask in every printing process.
또한 이러한 지지판의 사용은 스페이서가 첫 회 인쇄 및 건조된 후부터 사용하여, 매 회 인쇄 때마다 전회 인쇄로 올라갈 수 있는 두께만큼의 높이를 갖는 지지판을 추가할 필요가 있으며, 2∼3회 인쇄 후 한 번씩 지지판의 높이를 증가시켜도 된다.In addition, the use of such a support plate is required after the first printing and drying of the spacer, it is necessary to add a support plate having a height as thick as possible to go up to the previous printing every time, and after two or three printing You may increase the height of the support plate once.
도 4a 내지 도 4f는 본발명의 제2실시예에 따른 평판표시소자의 스페이서 제조공정도로서, 인쇄용 지지판을 따로 만들어서 매인쇄시마다 마스크와 기판 사이에 개재시키지 않고, 인쇄 마스크의 하부에 지지판 역할을 하는 별도의 지지층을 구비하는 인쇄마스크를 이용하는 예이다.4A to 4F are process diagrams for manufacturing a spacer of a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention, and a separate supporting plate is provided as a support plate at a lower portion of the printing mask without making a printing support plate separately between the mask and the substrate for every printing. It is an example using the printing mask provided with the support layer of this.
먼저, 인쇄마스크(20)를 사용하는 도1a 내지 도 1d의 공정을 순차적으로 진행하여 기판(10)상에 스페이서(12)를 일차로 형성하고, (도 4a 참조), 상기 기판(10)상에 다시 지지층(26)을 구비하는 제1변형 인쇄마스크(24)을 설치한 후, 이차인쇄하여 스페이서(12)를 보다 높게 형성한다. 여기서 상기 지지층(26)은 제1실시예의 지지판과 같은 역할을 수행하는데, 제1변형 인쇄마스크(24)의 하부에 감광막을 사진 현상 및 건조시켜 형성하거나, 적정 두께의 접착테이프를 사용하여 인쇄마스크상에 부착할 수도 있다. (도 4b 및 도 4c 참조).First, the processes of FIGS. 1A to 1D using the printing mask 20 are sequentially performed to form a spacer 12 first on the substrate 10 (see FIG. 4A), and then onto the substrate 10. After the first modified printing mask 24 having the support layer 26 is provided on the substrate, the spacer 12 is further formed by secondary printing. Here, the support layer 26 performs the same role as the support plate of the first embodiment, which is formed by photo developing and drying a photosensitive film on the lower portion of the first modified printing mask 24 or by using an adhesive tape having an appropriate thickness. It can also be attached to the top. (See FIGS. 4B and 4C).
그다음 상기 제1변형인쇄마스크(24)를 제거하고 다시 지지층(26)이 보다 높게 형성되어있는 제2변형 인쇄마스크(25)를 사용하여 3단계 인쇄를 실시하면 원하는 높이의 스페이서(12)를 형성할 수 있다. (도 4d 내지 도 4f 참조).Then, the first modified printing mask 24 is removed, and the third modified printing mask 25 is formed using the second modified printing mask 25 having a higher support layer 26 to form a spacer 12 having a desired height. can do. (See FIGS. 4D-4F).
상기에서 두차례의 변형 인쇄마스크 사용을 예로 들었으나, 변형 인쇄마스크는 원하는 회수 만큼 사용할 수도 있다.Although the use of the two modified printing masks has been exemplified above, the modified printing mask may be used as many times as desired.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 평판표시소자의 제조방법은 일차로 인쇄용 마스크로 스페이서를 인쇄하고, 마스크와 기판 사이에 상기 마스크 보다 큰 홀들을 구비하는 지지판을 개지시켜 설치한 후, 후속 인쇄 공정을 반복진행하여 원하는 높이의 스페이서를 형성하였으므로, 스페이서의 높이를 몇 배 더 높게 할 수 있으므로 애노드부에 보다 높은 전압을 인가시킬 수 있게 하여 고휘도와 고발광 효율의 패널을 구성할 수 있고, 적층 인쇄 공정에서 인쇄 횟수 증가에 따른 1회 인쇄당 인쇄되는 높이의 감소를 방지하여 인쇄효율을 증가시켜 공정수율 및 소자동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, the method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention first prints a spacer with a printing mask, installs a support plate having holes larger than the mask between the mask and the substrate, and then installs the subsequent printing process. Since the spacers of the desired height were formed by repeating the process, the height of the spacers can be several times higher, so that a higher voltage can be applied to the anode portion, thereby making it possible to construct a panel with high brightness and high luminous efficiency. In the process, the printing efficiency is improved by preventing the decrease in the height printed per print according to the increase in the number of printing, thereby improving the process yield and the reliability of device operation.
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KR100786832B1 (en) * | 2001-08-29 | 2007-12-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | Negative pattern printing method using cross printing method and field emission display device having gate hole formed by this method |
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KR100399653B1 (en) * | 2001-04-25 | 2003-09-29 | 삼성에스디아이 주식회사 | Method for printing negative pattern of flat panel display device and flat panel display device having pattern made by the same method |
KR100786832B1 (en) * | 2001-08-29 | 2007-12-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | Negative pattern printing method using cross printing method and field emission display device having gate hole formed by this method |
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PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19980821 |
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PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |