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KR19990012974A - 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유의 수동정렬 장치 - Google Patents

정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유의 수동정렬 장치 Download PDF

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KR19990012974A
KR19990012974A KR1019970036556A KR19970036556A KR19990012974A KR 19990012974 A KR19990012974 A KR 19990012974A KR 1019970036556 A KR1019970036556 A KR 1019970036556A KR 19970036556 A KR19970036556 A KR 19970036556A KR 19990012974 A KR19990012974 A KR 19990012974A
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optical
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이태형
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윤종용
삼성전자 주식회사
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    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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Abstract

본 발명은 집적광학 소자의 입출력광도파로에 광섬유를 수동정렬하는 광섬유 수동정렬장치에 관한 것으로서, 소정의 간격으로 광섬유들이 실장되며, 광섬유의 길이방향으로 소정의 간격으로 위치한 정렬용 안내홈과, 실장된 광섬유들을 기판에 고정시키는 광섬유고정용 판을 구비한 광섬유어레이 블록; 광섬유들과 결합되도록, 광섬유들과 대응되게 형성된 입출력 광도파로 어레이를 내장하며, 정렬용 안내구를 구비한 광도파로소자칩; 및 정렬용 안내홈이 실장되도록 정렬용 안내홈과 같은 간격으로 형성된 정렬용 안내레일과, 정렬용 안내구와 결합되게 요철관계인 정렬용 안내주를 구비하며, 광섬유 어레이 블록의 광섬유 고정용 판과 접촉되지 않도록 정렬용 안내레일 사이에 빈 공간이 확보된 정렬용 플랫폼을 포함함이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 능동정렬에서 요구되는 광원과 광검출기가 필요치 않으며, 6개의 자유도를 갖는 정렬축에 대하여 정밀하게 정렬하여야 하는 까다로운 정렬 과정이 필요치 않아 광도파로 소자 칩에 광섬유를 부착하는데 소요되는 많은 시간과 비용을 절감할 수 있다.

Description

정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유의 수동정렬 장치
본 발명은 입출력광도파로에 광섬유를 수동정렬하는 광섬유 수동정렬장치에 관한 것으로서, 특히 평면 기판 상에 여러 가지 기능을 하는 광도파로 소자를 하나의 기판 상에 집적하여 제작하는 집적광학 소자의 입출력 광도파로에 광섬유를 정렬용 플랫폼을 이용하여 수동정렬하는 장치에 관한 것이다.
광도파로 소자에 광섬유를 부착하는 일반적인 방법은 광섬유나 광도파로 소자에 입력광을 도파시킨 후 광섬유의 위치를 정밀 조절하여 광도파로나 광섬유의 출력 도파로에서의 광파워를 관측하여 광섬유와 광도파로 간의 결합이 최대가 되는 상태에서 광섬유와 광도파로를 고정시키는 능동정렬 방법이다. 이와 달리 광섬유와 광도파로의 결합시 광을 도파하지 않고 단순히 결합부의 형태나 구조에 의해 자동적으로 광섬유와 광도파로의 정밀 정렬이 이루어 지도록 하는 방법이 있는데, 이를 수동정렬 방법이라 한다.
상기 능동정렬 방법은 광섬유와 광도파로의 정렬시 광원과 광검출기를 필요로 하며, 6개의 자유도를 갖는 정렬축(세개의 서로 수직한 직선축과 세개의 직선축에 대하여 회전을 필요로 함)에 대하여 동시에 서브미크론(submicron) 정도의 정밀도로 정밀하게 정렬하여야 하므로 정렬이 어려우며 많은 시간이 소요된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 광도파로 소자 칩에 광섬유를 부착하는데 소요되는 많은 시간과 비용을 절감하기 위해, 정렬용 안내주와 안내 레일을 갖는 정렬용 플랫폼을 이용하여 광섬유와 광도파로를 수동으로 손쉽게 정렬할 수 있는 광섬유 수동정렬장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치의 구성을 도시한 것이다.
도 2의 (a), (b) 및 (c)는 정렬용 플랫폼의 바람직한 일실시예에 따른 평면도, 정면도 및 측면도를 도시한 것이다.
도 3의 (a), (b) 및 (c)는 광섬유어레이블록의 바람직한 일실시예에 따른 평면도, 정면도 및 측면도를 도시한 것이다.
도 4의 (a), (b) 및 (c)는 광도파로소자칩의 바람직한 일실시예에 따른 평면도, 정면도 및 측면도를 도시한 것이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 광도파로 소자 칩, 110 : 광도파로
120 : 정렬용 안내구, 200 : 정렬용 플랫폼
210 : 정렬용 안내주, 220 : 정렬용 안내 레일
300 : 광섬유 어레이 블록, 310 : 광섬유,
320 : 정렬용 안내홈, 330 : 광학용 접착제
340 : 광섬유 고정용 판(plate)
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한, 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치는, 소정의 간격으로 상기 광섬유들이 실장되며, 상기 광섬유의 길이방향으로 소정의 간격으로 위치한 정렬용 안내홈과, 상기 실장된 광섬유들을 기판에 고정시키는 광섬유고정용 판을 구비한 광섬유어레이 블록; 상기 광섬유들과 결합되도록, 상기 광섬유들과 대응되게 형성된 입출력 광도파로 어레이를 내장하며, 정렬용 안내구를 구비한 광도파로소자칩; 및 상기 정렬용 안내홈이 실장되도록 상기 정렬용 안내홈과 같은 간격으로 형성된 정렬용 안내레일과, 상기 정렬용 안내구와 결합되게 요철관계인 정렬용 안내주를 구비하며, 상기 광섬유 어레이 블록의 광섬유 고정용 판과 접촉되지 않도록 상기 정렬용 안내레일 사이에 빈 공간이 확보된 정렬용 플랫폼을 포함함이 바람직하다.
그리고 상기 광도파로소자칩의 타측에 결합되는 상기 광섬유어레이블록과 동일한 제2광섬유 어레이블록을 더 구비하고, 상기 정렬용플랫폼은 상기 정렬용플랫폼의 타측에 상기 제2광섬유 어레이블록과 결합되게 하는 제2정렬용 안내레일 및 상기 제2광섬유 어레이블록과 결합될 때 접촉되지 않게 하는 상기 제2정렬용 안내레일 사이에 빈 공간을 더 구비한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 광섬유 수동정렬장치의 구성을 도시한 것으로서, 정렬용 안내주와 안내 레일을 갖는 정렬용 플랫폼(200), 정렬용 안내홈을 갖는 광섬유 어레이 블록(300), 정렬용 안내구를 갖는 광도파로 소자 칩(100)으로 이루어진다.
상기 정렬용 플랫폼(200)은 도 1에서와 같이 평면상에 凸형으로 제작된 정렬용 안내주(210) 및 정렬용 안내레일(220)이 평면상의 일정한 위치에 형성된 블록이다. 이를 제작하는 바람직한 일실시 예는 실리콘(Si) 기판을 이용하는 방법으로, 실리콘 기판상에 凸형의 주 및 레일이 형성될 부분에 사진식각(photolithography)방법으로 적당한 폭과 길이를 갖도록 SiO2혹은 Si3N4로 스트립(strip) 패턴을 형성하고, KOH 용액에서 습식 식각하는 방법이다. 이러한 방법은 광섬유를 일정한 간격의 어레이 형태로 배열하기 위한 Si V형 홈 제작시 흔히 사용하는 방법이다. 이때 Si 결정 기판의 (100)면을 사용하고 비등방성 식각 특성을 이용하면 단면의 형태가 삼각형 혹은 사다리꼴 형태인 주 및 레일을 얻을 수 있다. 이러한 방법 외에도 정밀한 기계적 가공이나 정밀 금형을 이용한 몰딩(molding) 방법으로 다양한 재질의 정렬용 안내 레일을 제작할 수 있다. 그리고 상기 정렬용 플랫폼(200) 상의 주 및 레일 단면의 형태는 본 발명의 목적에 부합되도록 다양한 변형된 형태가 될 수 있다. 또한 정렬용 플랫폼(200) 상의 안내레일(220) 사이는 광섬유 어레이 블록(300)과의 결합시 광섬유 고정용 판(340)이 정렬용 플랫폼(200)과 부딪히지 않도록 제거한다. 도 2의 (a), (b) 및 (c)는 상기 정렬용 플랫폼(200)의 바람직한 일실시예에 따른 평면도, 정면도 및 측면도를 나타낸다.
상기 광섬유 어레이 블록(300)은 일정한 간격으로 상기 광섬유들이 실장되며, 상기 광섬유의 길이방향으로 소정의 간격으로 위치한 정렬용 안내홈(320)과, 상기 실장된 광섬유들을 기판에 고정시키는 광섬유고정용 판(340)을 구비한다. 즉 여러 개의 광섬유(310)를 일정한 간격의 어레이 형태로 배열하기 위한 V형 홈의 어레이를 가지며, 광섬유 지지를 위한 V형 홈 어레이 영역 외부의 좌우에 정렬용 안내 레일(220)의 두 개의 레일 간격과 동일한 간격을 갖는 적절한 깊이의 凹형의 정렬용 안내홈(320)을 갖는 형태이다.
이러한 정렬용 안내홈(120)을 갖는 광섬유 어레이 블록(100)을 제작하는 바람직한 일실시 예는 Si 결정 기판을 이용하는 방법으로, SiO2혹은 Si3N4가 박막 형태로 형성된 (100) Si 기판상에 SiO2혹은 Si3N4를 증착하고 사진식각(photolithography) 방법으로 적당한 폭을 갖도록 SiO2혹은 Si3N4를 스트립 패턴 형태로 제거하고, KOH 용액에서 습식 식각하는 방법이다. 이러한 방법으로 광섬유(310) 지지를 위한 V형 홈 어레이의 제작과 동시에 정렬용 안내홈(320)의 제작도 가능하다. 도 3의 (a), (b) 및 (c)는 상기 광섬유어레이블록(300)의 바람직한 일실시예에 따른 평면도, 정면도 및 측면도를 도시한 것이다.
일반적으로 광섬유(310)의 클래드 지름은 125㎛ 이고, 광섬유 지지용 V형 홈의 간격은 250㎛ 로 제작한다. 이러한 블록의 제작후 광섬유(310)들을 광섬유 지지용 V형 홈 위에 올려 놓고 광학용 접착제(330)를 도포한 후 광섬유 고정용 판(340)을 덮어 광섬유를 고정한다. 광섬유 어레이 블록(300)의 단면은 광도파로 소자의 광도파로(110)와 광섬유(310)의 결합시 결합 손실을 최소화 하도록 잘 연마한다. 이러한 방법 외에도 정밀한 기계적 가공이나 정밀 금형을 이용한 molding방법 등으로 다양한 재질의 정렬용 안내홈(320)을 갖는 광섬유 어레이 블록(300)을 제작할 수 있다. 정렬용 안내홈(320)의 형태는 본 발명의 목적에 부합되는 다양하게 변형된 형태가 될 수 있다.
광도파로 소자칩(100)은 일반적인 광도파로 소자의 제작 후 입출력 광도파로 어레이(170) 영역 외부에 정렬용 플랫폼(200) 상의 정렬용 안내주(210)의 위치와 일치하도록 적절한 깊이의 凹형의 정렬용 안내구(120)을 갖는 형태이다. 도 4의 (a), (b) 및 (c)는 상기 광도파로소자칩(100)의 바람직한 일실시예에 따른 평면도, 정면도 및 측면도를 도시한 것이다.
정렬용 안내구(120)을 갖는 광도파로 소자칩(100)을 제작하는 바람직한 일실시 예를 설명하면 다음과 같다. 먼저 Si 기판 위에 화염가수분해증착(flame hydrolysis deposition : FHD)법으로 하부 클래드가 되는 실리카 층을 형성하고, 클래드층 보다 높은 굴절율을 갖는 조성으로 코아를 형성할 실리카층을 FHD 방법으로 형성한 후 사진식각 공정과 반응성 이온 식각(reactive ion etching: RIE) 등의 방법을 이용하여 채널 형태의 광도파로를 제작한다. 이때 입출력 광도파로(110) 의 간격은 정렬용 안내홈(320)을 갖는 광섬유 어레이 block(300)에서의 광섬유 지지용 V형 홈 간의 간격, 즉 광섬유(310) 간의 간격과 일치하도록 제작한다. 일반적으로 그 간격은 250㎛로 제작한다. 이어 상부 클래드 실리카 층을 FHD 방법으로 형성하여 광도파로 소자의 제작을 완성한다. 이렇게 제작된 광도파로 소자칩(100) 위에 사진식각 방법으로 입출력 광도파로 어레이(110) 로부터 일정한 위치에 적당한 형태로 실리카층을 제거하여 수 개의 정렬용 안내구(120)를 제작한다. 이때 정렬용 안내구(120)의 위치는 정렬용 플랫폼(200) 상의 정렬용 안내주(210)의 위치와 일치하게 제작한다. 그리고 광도파로 chip(100)의 단면은 광도파로 소자의 입출력 광도파로(110)와 광섬유(310)의 결합시 결합 손실을 최소화 하도록 잘 연마한다.
정렬용 안내구(120)을 갖는 광도파로 소자칩(100)의 제작은 실리카 광도파로 뿐만아니라 폴리머 광도파로, 유리 광도파로, 리튬나이오베이트(lithium niobate : LiNbO3) 광도파로 등 다양한 도파로 소자에 적용될 수 있다.
이러한 방법 외에도 반응성이온식각(RIE) 등의 건식 식각 방법이나 정밀한 기계적 가공을 통하여 광도파로 chip 상에 정렬용 안내구(120)을 제작할 수 있다. 정렬용 안내구(120)의 형태는 정렬용 플랫폼(200) 상의 안내주(210)와 안정적으로 결합될 수 있도록 다양하게 변형할 수 있다.
한편, 상기 3개의 구성요소의 결합에 의한 광섬유와 광도파로의 수동정렬 방법에 관하여 설명하기로 한다. 본 발명의 구성요소들 간의 결합은 정렬용 플랫폼(200) 상에서 이루어 진다. 먼저 광도파로 소자칩(100)은 칩 상의 정렬용 안내구(120)와 정렬용 플랫폼(200) 상의 정렬용 안내주(210)가 결합되도록 뒤집어 실장한다. 실장 상태에서 광도파로 소자칩(100)은 정렬용 플랫폼(200)상에 위치가 고정된다.
이후 정렬용 플랫폼(200)의 정렬용 레일(220)상에 광섬유 어레이 블록(300)의 정렬용 안내홈(320)이 일치하여 결합되도록 광섬유 어레이 블록(300)을 뒤집어 실장하여 이미 실장된 광도파로 chip(100) 쪽으로 이동하여 밀착 결합한다.
이러한 결합 상태에서 광섬유(310)의 코아 중심의 상하 좌우 위치와 광도파로(110) 코아 중심의 상하 좌우 위치는 일치하게 된다. 좌우의 위치는 광섬유 어레이 block(300)에서의 안내홈(320)과 광섬유 어레이(310) 간의 상대적인 위치가, 정렬용 플랫폼(200) 상에 결합된 광도파로소자칩(100)의 광도파로 어레이(110) 간의 상대적인 위치와 일치하도록 제작하여, 정렬용 안내 레일(210) 상의 안내 레일에 광섬유 어레이 블록(300)의 안내홈(320)이 일치하도록 올려 놓음으로써 자연스럽게 정렬되게 된다. 상하의 위치는 광섬유 어레이 블록(300) 상의 안내홈(320)의 깊이와 광도파로 chip(100) 상의 안내구(120)의 깊이를 제작시 조절하여 정렬용 플랫폼(200) 상의 안내 레일(220) 및 안내주(210) 위에 올려 놓았을때 광섬유(310) 코아와 광도파로(110)의 코아가 일치하게 함으로써 자연스럽게 정렬이 되게 된다.
이와 같이 정렬용 플랫폼(200)위에서 광섬유 어레이 블록(300)과 광도파로 블록(100)을 결합한 후 광학용 접착제를 사용하거나, 광섬유 어레이 블록(300)과 광도파로 블록(100)의 뒷면에 금속을 증착한 후 용접으로 고정하여 영구적인 결합을 형성한다.
한편, 상기 광섬유 수동결합장치는 상기 광도파로소자칩의 타측에 결합되는 상기 광섬유어레이블록(300)과 동일한 제2광섬유 어레이블록(400)을 더 구비하고, 상기 정렬용플랫폼(200)은 상기 정렬용플랫폼(200)의 타측에 상기 제2광섬유 어레이블록(400)과 결합되게 하는 제2정렬용 안내레일(230) 및 상기 제2광섬유 어레이블록과 결합될 때 접촉되지 않게 하는 상기 제2정렬용 안내레일(230) 사이에 빈 공간을 더 구비한다. 이에 대한 제작방법 및 동작원리는 상술한 바와 설명을 생략하기로 한다.
본 발명에 의하면, 광섬유와 광도파로의 결합을 수동정렬 방법으로 손쉽게 구현할 수 있다.
또한 능동정렬에서 요구되는 광원과 광검출기가 필요치 않으며, 6개의 자유도를 갖는 정렬축(세개의 서로 수직한 직선축과 세개의 직선축에 대하여 회전을 필요로 함)에 대하여 동시에 서브미크론(submicron )정도의 정밀도로 정밀하게 정렬하여야 하는 까다로운 정렬 과정이 필요치 않아 광도파로 소자 칩에 광섬유를 부착하는데 소요되는 많은 시간과 비용을 절감할 수 있다.

Claims (14)

  1. 집적광학 소자의 입출력광도파로에 광섬유를 수동정렬하는 광섬유 수동정렬장치에 있어서,
    소정의 간격으로 상기 광섬유들이 실장되며, 상기 광섬유의 길이방향으로 소정의 간격으로 위치한 정렬용 안내홈과, 상기 실장된 광섬유들을 기판에 고정시키는 광섬유고정용 판을 구비한 광섬유어레이 블록;
    상기 광섬유들과 결합되도록, 상기 광섬유들과 대응되게 형성된 입출력 광도파로 어레이를 내장하며, 정렬용 안내구를 구비한 광도파로소자칩; 및
    상기 정렬용 안내홈이 실장되도록 상기 정렬용 안내홈과 같은 간격으로 형성된 정렬용 안내레일과, 상기 정렬용 안내구와 결합되게 요철관계인 정렬용 안내주를 구비하며, 상기 광섬유 어레이 블록의 광섬유 고정용 판과 접촉되지 않도록 상기 정렬용 안내레일 사이에 빈 공간이 확보된 정렬용 플랫폼을 포함함을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유수동정렬장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 정렬용 안내주 및 정렬용 안내레일은
    평면상에 凸 형으로 형성됨을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 정렬용 플랫폼은
    실리콘 기판상에 凸 형의 상기 정렬용 안내주 및 정렬용 안내레일이 형성될 부분에 사진식각 방법으로 소정의 폭과 길이를 갖도록 SiO2혹은 스트립 패턴을 형성하고, KOH 용액에서 습식식각하여 제작됨을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  4. 제3항에 있어서,
    단면의 형태가 삼각형 또는 사다리꼴 형태의 정렬용 안내주 및 정렬용 안내레일을 얻기위해, 상기 실리콘 결정기판의 (100) 면을 사용하고, 비등방성시각 특성을 이용함을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 정렬용 플랫폼은
    정밀한 기계적 가공 또는 정밀금형을 이용한 몰딩방법으로 제작됨을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광섬유어레이블록은
    SiO2혹은 Si3N4가 박막 형태로 형성된 (100) 실리콘 기판상에 SiO2혹은 Si3N4를 증착하고, 사진식각 방법으로 소정의 폭을 갖도록 SiO2혹은 Si3N4를 스트립 패턴 형태로 제거하고, KOH 용액에서 습식 식각하여 제조됨을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 광섬유어레이블록의 정렬용 안내홈은
    V형 홈임을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 광섬유 어레이블록은
    정밀한 기계적 가공 또는 정밀금형을 이용한 몰딩 방법으로 제작됨을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 광도파로소자칩의 정렬용 안내구는
    상기 정렬용 안내주의 위치와 일치하도록 소정의 깊이를 갖는 凹 형태를 가짐을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 광도파로소자칩의 제작은
    기판 위에 하부 클래드층을 형성하는 단계;
    클래드층 보다 높은 굴절율을 갖는 조성으로 코아층을 형성한 후 식각 방법을 이용하여 채널 형태의 광도파로를 제작하는 단계;
    상부 클래드층을 형성하여 광도파로 소자를 제작하는 단계; 및
    상기 광도파로 소자 위에 입출력 광도파로 어레이로부터 일정한 위치에 소정의 형태로 정렬용 안내구를 제작하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 광도파로는
    실리카 광도파로, 폴리머 광도파로, 유리 광도파로, 리튬나이오베이트 광도파로 중 어느 하나 임을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 광도파로 소자칩의 정렬용 안내구는
    정밀한 기계적 가공에 의해 제작됨을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 광도파로소자칩, 광섬유어레이블록 및 상기 정렬용플랫폼의 고정은
    광학용 접착제 또는 용접 중 어느 하나에 의하여 이루어짐을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 광도파로소자칩의 타측에 결합되는 상기 광섬유어레이블록과 동일한 제2광섬유 어레이블록을 더 구비하고,
    상기 정렬용플랫폼은
    상기 정렬용플랫폼의 타측에 상기 제2광섬유 어레이블록과 결합되게 하는 제2정렬용 안내레일 및 상기 제2광섬유 어레이블록과 결합될 때 접촉되지 않게 하는 상기 제2정렬용 안내레일 사이에 빈 공간을 더 구비함을 특징으로 하는 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유 수동정렬장치.
KR1019970036556A 1997-07-31 1997-07-31 정렬용 플랫폼을 이용한 광섬유의 수동정렬 장치 KR100248049B1 (ko)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100407372B1 (ko) * 2001-06-16 2003-12-01 주식회사 옵테론 광섬유 어레이
KR100436778B1 (ko) * 2002-10-09 2004-06-23 한국전자통신연구원 광모듈 및 그 제조방법
KR100601033B1 (ko) * 2004-12-29 2006-07-18 (주)포토닉솔루션 수동정렬형 오에스에이 모듈
KR100711506B1 (ko) * 2006-05-02 2007-04-27 유서종 모아레토포그래피용 격자 스크린

Families Citing this family (75)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3821971B2 (ja) * 1997-12-26 2006-09-13 日本碍子株式会社 光ファイバーアレイ
US6253011B1 (en) * 1998-12-30 2001-06-26 Mcdonnell Douglas Corporation Micro-aligner for precisely aligning an optical fiber and an associated fabrication method
FR2793037B1 (fr) * 1999-04-28 2001-08-10 France Telecom Assemblage d'une puce de circuit integre optique sur une plate-forme de connexion de fibres optiques pour former un composant optique miniature
GB9919847D0 (en) * 1999-08-20 1999-10-27 British Telecomm Alignment device
GB2358482A (en) * 2000-01-24 2001-07-25 Bookham Technology Ltd Optical fibre to waveguide junction
US6832016B2 (en) * 2000-04-13 2004-12-14 Shipley Company, L.L.C. Fiber array switch having micromachined front face with roller balls
US6826324B2 (en) * 2000-04-13 2004-11-30 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch
US6798933B2 (en) * 2000-04-14 2004-09-28 Shipley Company, L.L.C. Fiber optic array switch
US6842552B1 (en) 2000-04-13 2005-01-11 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch
US6633691B2 (en) * 2000-05-02 2003-10-14 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide switch having stepped waveguide holding member
US6748131B2 (en) * 2000-05-19 2004-06-08 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide devices and methods of fabricating the same
EP1168011A1 (en) * 2000-06-21 2002-01-02 Corning Incorporated Hybrid alignment of optical components using calibrated substrates
US7086134B2 (en) * 2000-08-07 2006-08-08 Shipley Company, L.L.C. Alignment apparatus and method for aligning stacked devices
US6737223B2 (en) * 2000-08-07 2004-05-18 Shipley Company, L.L.C. Fiber optic chip with lenslet array and method of fabrication
US6870981B2 (en) 2000-08-24 2005-03-22 Shipley Company, L.L.C. Optical switch and method for making
US6853764B2 (en) * 2000-08-28 2005-02-08 Shipley Company, L.L.C. Optical switch assembly and method for making
US6547454B2 (en) 2000-09-21 2003-04-15 Corona Optical Systems, Inc. Method to align optical components to a substrate and other optical components
US6620300B2 (en) 2000-10-30 2003-09-16 Lightmatrix Technologies, Inc. Coating for optical fibers and method therefor
US6810162B2 (en) * 2000-12-20 2004-10-26 Shipley Company, L.L.C. Optical switch assembly with flex plate and method for making
GB0100369D0 (en) * 2001-01-06 2001-02-14 Corning Ltd Alignment of optical components
US6556747B2 (en) 2001-02-09 2003-04-29 Lightmatrix Technologies, Inc. Chemical mill method and structure formed thereby
GB2372108A (en) * 2001-02-10 2002-08-14 Bookham Technology Plc Alignment of optical component using V-grooves in an optical chip
US6546172B2 (en) 2001-02-20 2003-04-08 Avanti Optics Corporation Optical device
US6546173B2 (en) 2001-02-20 2003-04-08 Avanti Optics Corporation Optical module
US6443631B1 (en) 2001-02-20 2002-09-03 Avanti Optics Corporation Optical module with solder bond
US20040212802A1 (en) * 2001-02-20 2004-10-28 Case Steven K. Optical device with alignment compensation
US20020168147A1 (en) * 2001-02-20 2002-11-14 Case Steven K. Optical circuit pick and place machine
US6956999B2 (en) 2001-02-20 2005-10-18 Cyberoptics Corporation Optical device
US6721479B2 (en) 2001-03-07 2004-04-13 Zygo Corporation Fiber collimator
US6788847B2 (en) * 2001-04-05 2004-09-07 Luxtera, Inc. Photonic input/output port
CA2445971A1 (en) * 2001-05-01 2002-11-07 Corona Optical Systems, Inc. Alignment apertures in an optically transparent substrate
GB2379747B (en) * 2001-06-22 2003-08-27 Bookham Technology Plc Optical Chip with optic fibre alignment features
WO2003012511A1 (de) * 2001-08-01 2003-02-13 Infineon Technologies Ag Optische kopplungseinheit und verfahren zum einfädeln von lichtwellenleitern in eine optische kopplungseinheit
US6654523B1 (en) 2001-08-10 2003-11-25 Lightwave Microsystems Corporation Optical alignment guide and method for aligning an optical fiber array with an optical integrated circuit
US6690867B2 (en) 2001-08-31 2004-02-10 Corning Cable Systems Llc Optical interconnect assemblies and methods therefor
GB2379995B (en) * 2001-09-21 2005-02-02 Kamelian Ltd An optical coupling
US6618514B1 (en) 2001-10-11 2003-09-09 Lightwave Microsystems Corporation Passive pigtail attachment apparatus and method for planar lightwave circuits
CN1302307C (zh) * 2001-11-08 2007-02-28 希普雷公司 光纤终端
US6778718B2 (en) * 2001-11-09 2004-08-17 Corning Incorporated Alignment of active optical components with waveguides
US6850675B1 (en) * 2002-02-04 2005-02-01 Siwave, Inc. Base, payload and connecting structure and methods of making the same
US6674585B1 (en) 2002-02-04 2004-01-06 Siwave, Inc. Flexure assemblies and methods of making the same
US6661955B1 (en) 2002-02-04 2003-12-09 Siwave, Inc. Kinematic and non-kinematic passive alignment assemblies and methods of making the same
US7813634B2 (en) 2005-02-28 2010-10-12 Tessera MEMS Technologies, Inc. Autofocus camera
US6838689B1 (en) 2002-02-14 2005-01-04 Finisar Corporation Backside alignment and packaging of opto-electronic devices
US7068891B1 (en) 2002-03-12 2006-06-27 Palomar Technologies, Inc. System and method for positioning optical fibers
US20040028348A1 (en) * 2002-03-15 2004-02-12 Marie-Claude Cote Method and apparatus for assembling optical devices
GB2408111A (en) * 2002-08-20 2005-05-18 Cyberoptics Corp Optical alignment mount with height adjustment
KR100476317B1 (ko) * 2002-10-24 2005-03-16 한국전자통신연구원 광결합 소자 및 그 제작 방법, 광결합 소자 제작을 위한마스터 및 그 제작 방법
US6860028B2 (en) * 2003-04-30 2005-03-01 Sun Microsystems, Inc. Alignment device and method of connecting a circuit card to a mid plane
DE602004007432T2 (de) * 2003-05-23 2008-03-13 Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C., Marlborough Halbleiterlaser mit externem Resonator enthaltend ein Etalon und Verfahren zur Herstellung desselben
US6963119B2 (en) * 2003-05-30 2005-11-08 International Business Machines Corporation Integrated optical transducer assembly
US7165893B2 (en) * 2004-09-10 2007-01-23 Hutchinson Technology Incorporated Multi-fiber optical connect
CN101382622B (zh) * 2007-09-05 2010-06-23 中国科学院微电子研究所 光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法及其组件制备
US7724992B2 (en) * 2007-10-29 2010-05-25 Corning Incorporated Glass-based micropositioning systems and methods
GB0813784D0 (en) * 2008-07-28 2008-09-03 Ct Integrated Photonics Ltd Optical intergration system
US8755655B2 (en) * 2009-09-22 2014-06-17 Oracle America, Inc. Edge-coupled optical proximity communication
JP4961493B2 (ja) * 2010-07-21 2012-06-27 日本航空電子工業株式会社 コネクタ、コネクタの製造方法、コネクタの製造装置
CN102798936B (zh) * 2011-05-23 2016-05-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 光纤耦合连接器
US8684612B2 (en) * 2011-07-01 2014-04-01 Intel Corporation Optical frame attached with alignment features microfabricated in die
US9217836B2 (en) * 2012-10-23 2015-12-22 Kotura, Inc. Edge coupling of optical devices
DE102012112683A1 (de) * 2012-12-19 2014-06-26 Reichle & De-Massari Ag Optische Leiterplatte
US10048455B2 (en) * 2016-01-18 2018-08-14 Cisco Technology, Inc. Passive fiber array connector alignment to photonic chip
CN105911644B (zh) * 2016-06-01 2019-06-04 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种光纤准直装置及其装配方法
US10191216B2 (en) 2016-08-30 2019-01-29 Corning Optical Communications LLC Fiber-to-waveguide optical interface device and components for photonic systems
US10228520B2 (en) 2016-08-30 2019-03-12 Corning Optical Communications LLC Fiber-to-waveguide optical interface devices and coupling devices with lenses for photonic systems
JP6813680B2 (ja) 2017-06-07 2021-01-13 日本電信電話株式会社 光導波路チップの接続構造
US10288812B1 (en) 2018-03-12 2019-05-14 Corning Incorporated Fiber optic-to-waveguide coupling assembly with overlap for edge coupling
US10656339B2 (en) 2018-03-14 2020-05-19 Cisco Technology, Inc. Fiber to chip alignment using passive vgroove structures
US11747577B2 (en) * 2019-05-22 2023-09-05 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Waveguide connection structure, waveguide chip, connector, and method of manufacturing waveguide connection component, and waveguide connecting method
US11886013B2 (en) 2019-06-17 2024-01-30 Aayuna Inc. Passively-aligned fiber array to waveguide configuration
CN111323878B (zh) * 2020-04-01 2021-10-15 联合微电子中心有限责任公司 一种激光器芯片与硅基光电子芯片的耦合对准装置及方法
US11586000B2 (en) 2020-04-30 2023-02-21 Corning Research & Development Corporation High-density FAUs and optical interconnection devices and related methods
GB202017243D0 (en) 2020-10-30 2020-12-16 Npl Management Ltd Chip assembly and method of making a chip assembly
CN112859238B (zh) * 2021-02-09 2022-11-29 西安理工大学 一种光纤阵列与光波导无源端面耦合方法及装置
CN117191358B (zh) * 2023-09-21 2024-02-13 苏州猎奇智能设备有限公司 硅光芯片测试装置及其测试方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH685521A5 (fr) * 1991-09-10 1995-07-31 Suisse Electronique Microtech Procédé pour coupler au moins une fibre optique avec un guide d'onde optique intégré et dispositif micromécanique de couplage obtenu.
DE4300652C1 (de) * 1993-01-13 1994-03-31 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung einer hybrid integrierten optischen Schaltung und Vorrichtung zur Emission von Lichtwellen
GB2293248B (en) * 1994-09-07 1998-02-18 Northern Telecom Ltd Providing optical coupling between optical components
KR0155508B1 (ko) * 1994-11-30 1998-10-15 정선종 자기 정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법
IT1271319B (it) * 1994-12-23 1997-05-27 Italtel Spa Sistema di accoppiamento autoallineante tra fibre ottiche e guide d'onda
US5703973A (en) * 1996-03-29 1997-12-30 Lucent Technologies Inc. Optical integrated circuit having passively aligned fibers and method using same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100407372B1 (ko) * 2001-06-16 2003-12-01 주식회사 옵테론 광섬유 어레이
KR100436778B1 (ko) * 2002-10-09 2004-06-23 한국전자통신연구원 광모듈 및 그 제조방법
KR100601033B1 (ko) * 2004-12-29 2006-07-18 (주)포토닉솔루션 수동정렬형 오에스에이 모듈
KR100711506B1 (ko) * 2006-05-02 2007-04-27 유서종 모아레토포그래피용 격자 스크린

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1195063A (ja) 1999-04-09
GB2328035B (en) 1999-11-03
CA2244496A1 (en) 1999-01-31
JP2918156B2 (ja) 1999-07-12
CN1215159A (zh) 1999-04-28
US6118917A (en) 2000-09-12
GB2328035A (en) 1999-02-10
CA2244496C (en) 2003-04-08
KR100248049B1 (ko) 2000-03-15
CN1136466C (zh) 2004-01-28
GB9816321D0 (en) 1998-09-23

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