KR19980025638A

KR19980025638A - Scanner's Scan Mirror Rotator

Info

Publication number: KR19980025638A
Application number: KR1019960043859A
Authority: KR
Inventors: 이재철
Original assignee: 손기락; 엘지정밀 주식회사
Priority date: 1996-10-04
Filing date: 1996-10-04
Publication date: 1998-07-15

Abstract

본 발명은, 모터의 회전력을 동력원으로 이용하는 스캐너의 스캔미러 회동장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scan mirror rotating apparatus of a scanner using a rotational force of a motor as a power source.

본 발명에 의한 스캔미러 회동장치는, 구동수단과, 상기 구동수단의 회전운동을 왕복운동으로 바꾸기 위한 변환수단과, 일단이 회동가능하게 지지되고 타단은 상기 변환수단의 왕복운동에 의하여 일정구간 반복회동하는 샤프트, 상기 샤프트상에 설치되어 샤프트와 같이 일정 각도 반복회동하는 스캔미러로 구성된다. 그리고 상기 변환수단은, 내측프로파일면과 외측프로파일면을 구비하는 캠홈과, 상기 캠홈의 내측프로파일면 및 외측 프로파일면에 각각 접한 상태로 지지되는 제1로울러 및 제2로울러를 일측단부에 구비하는 롤러샤프트로 구성되어, 캠홈의 회전에 따라 상기 롤러샤프트가 일정구간 왕복운동하도록 구성하고, 상기 샤프트는 일단이 상기 롤러샤프트에 회전가능하게 결합된 롤러아암과, 상기 롤러아암의 타단부에 연결되어 왕복운동에 의하여 일정각도 반복회동하는 미러샤프트로 구성된다.The scan mirror rotating apparatus according to the present invention includes a driving means, a converting means for converting the rotational motion of the driving means into a reciprocating motion, one end of which is rotatably supported, and the other end of which is repeated by a reciprocating motion of the converting means. The rotating shaft, which is installed on the shaft and consists of a scan mirror that rotates at a constant angle like the shaft. The converting means may include a cam groove having an inner profile surface and an outer profile surface, and a roller having a first roller and a second roller at one end thereof supported in contact with the inner profile surface and the outer profile surface of the cam groove, respectively. The roller shaft is configured to reciprocate a predetermined section according to the rotation of the cam groove, wherein the shaft is connected to the other end of the roller arm and one end of the roller arm rotatably coupled to the roller shaft It consists of a mirror shaft that rotates at a constant angle by motion.

Description

Scanner's Scan Mirror Rotator

제1도는 스캐너의 작동원리를 보인 사시도.1 is a perspective view showing the operating principle of the scanner.

제2도는 스캐너의 전체구성을 보인 사시도.2 is a perspective view showing the overall configuration of the scanner.

제3도는 스캐너의 갈바노미터의 내부 구성을 보인 개략도.3 is a schematic diagram showing an internal configuration of a galvanometer of a scanner.

제4도는 본 발명에 의한 스캔미러 회동장치의 사시도.4 is a perspective view of a scan mirror rotating device according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대산 부호의 설명** Explanation of the case code in the main part of the drawing

20..... 모터22..... 모터샤프트20 ..... Motor 22 ..... Motor Shaft

24..... 캠24a..... 캠홈24 ..... cam 24a ..... cam groove

24b..... 내측프로파일면24c..... 외측프로파일면24b ..... inner profile face 24c ..... outer profile face

26a..... 제1롤러26b..... 제2롤러26a ..... first roller 26b ..... second roller

28..... 롤러샤프트30..... 롤러아암28 ..... roller shaft 30 ..... roller arm

32..... 스캔미러34..... 미러샤프트32 ..... Scan Mirror 34 ..... Mirror Shaft

42, 42',44, 44'..... 베어링50..... 지지프레임42, 42 ', 44, 44' ..... bearing 50 ..... support frame

본 발명은 스캐너의 스캔미러 회동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 모터를 구동원으로 하여 스캔미러를 회동시키기 위한 충분한 토오크를 제고할 수 있는 스캔미러 회동장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scan mirror rotating apparatus of a scanner, and more particularly, to a scan mirror rotating apparatus capable of increasing a sufficient torque for rotating the scan mirror using a motor as a driving source.

일반적으로 스캐너는 타겟(Target)을 스캐닝함으로써, 타겟면의 영상정보를 얻을 수 있는 장치로서, 갈바노미터 방식의 스캐너가 널리 보급되어 있다. 제1도에는, 각각 X축스캐너(1) 및 Y축스캐너(2)를 사용하여 타겟(3)의 영상정보를 읽어내는 2차원 스캐닝의 예를 보이고 있다. 제2도에 도시한 바와 같이, 이와 같은 갈바노미터 방식의 스캐너는, 갈바노미너부(2a)와, 상기 갈바노미터부에 의하여 일정각도 회동하는 스캔미러(2b)로 구성된다.In general, a scanner is a device capable of obtaining image information of a target surface by scanning a target, and a galvanometer type scanner is widely used. FIG. 1 shows an example of two-dimensional scanning in which image information of the target 3 is read using the X-axis scanner 1 and the Y-axis scanner 2, respectively. As shown in FIG. 2, such a galvanometer type scanner consists of a galvanometer part 2a and a scan mirror 2b which rotates by an angle by the said galvanometer part.

스캔미러(2b)를 회동시키기 위한 갈바노미터부의 구성을 개략적으로 보인 제3도에 도시한 바와 같이, 스캐너용 갈바노미터부는, 드라이브코일(14)이 권취된 고정자(10)와, 상기 고정자(10)의 양측에 부착된 한쌍의 영구자석(12), 그리고 상기 고정자(10) 내부에서 회전하게 되는 회전자(16)으로 구성된다. 상기 회전자(16)는 스캔미러(2b)와 연결되어 있어서, 회전자(16)의 회전은 스캔미러(2b)의 회동운동으로 연결된다.As shown in FIG. 3 schematically showing the configuration of the galvanometer portion for rotating the scan mirror 2b, the scanner galvanometer portion includes a stator 10 on which a drive coil 14 is wound, and the stator. It consists of a pair of permanent magnets (12) attached to both sides of the (10), and the rotor 16 to rotate inside the stator (10). The rotor 16 is connected to the scan mirror 2b, so that the rotation of the rotor 16 is connected by the rotational movement of the scan mirror 2b.

회전자(16)와 고정자(10)의 사이에는 4개의 에어갭(Air Gap)이 만들어지고, 이러한 에어갭에는 영구자석(12)에 의해서 균형잡힌 자기플럭스가 발생되어 있다. 여기서 고정자(10)에 권취된 드라이브코일(14)에 제어된 전류를 공급하면, 대각선 방향의 에어갭에서, 한쌍의 에어갭에는 자기플럭스가 증가하고, 다른 한쌍의 에어갭에는 자기플럭스가 감소하게 된다. 이 때 회전자(16)는 강한 자기플럭스의 에어갭과 일치하는 방향으로 회전하게 된다.Four air gaps are formed between the rotor 16 and the stator 10, and the magnetic flux balanced by the permanent magnet 12 is generated in the air gap. In this case, when a controlled current is supplied to the drive coil 14 wound on the stator 10, in a diagonal air gap, the magnetic flux increases in the pair of air gaps, and the magnetic flux decreases in the other air gap. do. At this time, the rotor 16 rotates in a direction coinciding with the air gap of the strong magnetic flux.

상기 회전자(16)는 스캔미러(2b)와 연결되어 있어서, 회전자의 회전운동은 스캔미러(2b)의 회동으로 나타나게 된다. 이렇게 영구자석과 드라이브코일에 의해서 발생하는 불균형 자기플럭스의 방향 및 세기를 적절하게 조절하므로써 회전자와 연결되어 있는 스캔미러의 각도를 조절하게 되는 것이다. 이 때 회전자의 회동각도가 코일에 흐르는 전류와 비례하는 회전각으로 조정하기 위하여 토션스프링(Torsional spring)이 개재된다.The rotor 16 is connected to the scan mirror 2b, so that the rotational movement of the rotor is represented by the rotation of the scan mirror 2b. By adjusting the direction and intensity of the unbalanced magnetic flux generated by the permanent magnet and the drive coil, the angle of the scan mirror connected to the rotor is adjusted. At this time, a torsion spring is interposed to adjust the rotation angle of the rotor to a rotation angle proportional to the current flowing through the coil.

그러나 이와 같은 종래의 갈바노미터 방식의 스캐너에 있어서는 스캐너의 전체 크기에 비하여 스캔미러가 상대적으로 크기 때문에, 스캔미러의 회동에 필요한 회전토오크가 충분하지 않은 제약이 뒤따른다.However, in the conventional galvanometer type scanner, since the scan mirror is relatively large compared to the overall size of the scanner, the rotation torque required for rotating the scan mirror is limited.

그리고 이와 같은 종래의 갈바노미터식의 스캐너의 스캔미러 회동장치에 의하면, 온도 드리프트에 의한 스캔미러의 위치 에러가 발생하거나, 공급되는 전류에 대한 회동작의 히스테리시스가 생기고, 자기 노이즈가 발생하고, 생산성의 문제, 예를 들면 회전자의 정확한 회전각 조절을 위하여 삽입되는 토션스프링의 조립의 난이성 등이 있는 단점이 있다.According to such a conventional scan mirror rotating device of a galvanometer type scanner, a position error of the scan mirror occurs due to temperature drift, hysteresis of rotational motion with respect to the supplied current, magnetic noise, There are disadvantages in terms of productivity, for example, difficulty in assembling the torsion spring inserted for precise rotation angle control of the rotor.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 스캔미러를 회동시키기 위한 것으로 스캐너의 전체 크기에 비하여 큰 회전 토오크의 전달이 가능하고, 온도변화가 심한 환경에서도 스캔미러의 위치 결정이 정확한 스캔미러의 회동장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention is to solve this problem, and to rotate the scan mirror is possible to transmit a large rotational torque compared to the overall size of the scanner, the position of the scan mirror accurate positioning of the scan mirror even in a severe temperature change environment It is an object to provide a rotating device.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 스캔미러 회동장치는, 구동수단과, 상기 구동수단의 회전운동을 왕복운동으로 바꾸기 위한 변환수단과, 일단이 회동가능하게 지지되고, 타단은 상기 변환수단의 왕복운동에 의하여 일정구간 반복회동하는 샤프트, 그리고 상기 샤프트상에 설치되어 샤프트와 같이 일정 각도 반복회동하는 스캔미러로 구성된다.Scan mirror rotating apparatus according to the present invention for achieving the above object, the drive means, the conversion means for changing the rotational movement of the drive means to reciprocating movement, one end is rotatably supported, the other end is the conversion means It consists of a shaft repeatedly rotated by a reciprocating motion of a predetermined interval, and a scan mirror is installed on the shaft and rotated at a predetermined angle like the shaft.

그리고 상기 변환수단은, 내측프로파일면과 외측프로파일면을 구비하는 캠홈과, 상기 캠홈의 내측프로파일면 및 외측프로파일면에 각각 접한 상태로 지지되는 제1로울러 및 제2로울러를 일측단부에 구비하는 롤러샤프트로 구성되어, 캠홈의 회전에 따라 상기 롤러샤프트가 일정구간 왕복운동하도록 동작한다. 상기 샤프트는, 일단이 상기 롤러샤프트에 회동가능하게 결합된 롤러아암과, 상기 롤러아암의 타단부에 연결되어 왕복운동에 의하여 일정각도 반복회동하도록 구성된다.The converting means may include a cam groove having an inner profile surface and an outer profile surface, and a roller having a first roller and a second roller at one end thereof supported in contact with the inner profile surface and the outer profile surface of the cam groove, respectively. Consists of a shaft, the roller shaft is operated to reciprocate a predetermined section in accordance with the rotation of the cam groove. The shaft is configured such that a roller arm, one end of which is pivotally coupled to the roller shaft, is connected to the other end of the roller arm and repeatedly rotated at an angle by reciprocating motion.

이와 같은 본 발명에 의하면, 모터를 구동원으로 하기 때문에 스캔미러를 회동시키기 위한 충분한 토오크를 제공함과 동시에 스캔미러의 위치제어가 정확해진다. 또한 기계적으로 간단한 구성으로 실현이 가능하기 때문에 생산성 향상도 기대할 수 있다.According to the present invention as described above, since the motor is used as the driving source, while providing sufficient torque for rotating the scan mirror, the position control of the scan mirror is accurate. In addition, productivity can be expected because it can be realized by a mechanically simple configuration.

다음에는 도면에 도시된 실시예에 기초하면서 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기로 한다.Next, the present invention will be described in more detail with reference to the embodiments shown in the drawings.

제4도에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 스캔미러 회동장치는, 모터(20)와, 모터에 의하여 회전하는 캠(24)과, 상기 캠과 연동하여 캠의 회전을 일정범위의 원호운동으로 변환하는 롤러샤프트(28)와, 상기 롤러샤프트(28)의 일정구간 원호운동에 의하여 회동각이 조절되는 스캔미러(32)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 4, the scan mirror rotating apparatus according to the present invention includes a motor 20, a cam 24 that is rotated by the motor, and the cam rotation in conjunction with the cam. It comprises a roller shaft 28 to be converted to, and a scan mirror 32, the rotation angle is adjusted by a circular arc motion of the roller shaft 28.

구체적인 실시예를 보면, 모터(20)의 회전력은 모터샤프트(22)에 전달되어 회전하게 되고, 상기 모터샤프트(22)는 본 발명에 의한 장치를 지지하는 지지프레임(50)에 의하여 회전가능하게 지지되어 있다. 즉, 상기 모터샤프트(22)는 적정수의 베어링(42,42')에 의하여 지지프레임(50)에 회전가능하게 지지되어 있다.In a specific embodiment, the rotational force of the motor 20 is transmitted to the motor shaft 22 to rotate, and the motor shaft 22 is rotatable by the support frame 50 for supporting the device according to the present invention. Supported. That is, the motor shaft 22 is rotatably supported by the support frame 50 by an appropriate number of bearings 42 and 42 '.

상기 모터샤프트(22)의 타단은 캠(24)이 같이 회전하도록 결합되어 있다. 상기 캠(24)의 일측면에는 캠형상을 따른 캠홈(24a)이 성형되어 있다. 따라서 상기 캠홈(24a)의 원주방향의 내측 및 외측면은 각각 내측프로파일면(24b)과 외측프로파일면(24c)를 성형하고 있고, 이러한 프로파일면(24b, 24c)은, 후술하는 바와 같이 제1롤러(26a) 및 제2롤러(26b)가 접한 상태로 회전하게 될 것이다. 상기 캠홈(24a)은, 캠(24)의 중심측과의 거리가 일회전에 대하여 일정하게 변화하는 통상의 캠과 동일한 형상을 가지고 있다.The other end of the motor shaft 22 is coupled so that the cam 24 rotates together. On one side of the cam 24, a cam groove 24a is formed along the cam shape. Accordingly, the inner and outer surfaces of the cam groove 24a in the circumferential direction are formed into the inner profile surface 24b and the outer profile surface 24c, respectively. These profile surfaces 24b and 24c are the first as described later. The roller 26a and the second roller 26b will rotate in contact with each other. The cam groove 24a has the same shape as a normal cam in which the distance from the center side of the cam 24 changes constantly with respect to one rotation.

그리고 상기 캠홈(24a)과의 관계에 의하여 캠(24)의 일회전에 따라 일정간격의 원호운동을 반복하는 롤러샤프트(28)는, 상기 캠홈(24a)의 내측프로파일면(24a)와, 외측프로파일면(24c)에 각각 접한 상태로 회동가능하게 장착된 제1롤러(26a)와 제2롤러(26b)를 일측단부에 구비하고 있다. 따라서 상기 캠홈(24a)의 내측프로파일면(24b) 및 외측프로파일면(24c)에 각각 접촉한 상태를 유지하고 있는 제1롤러(26a) 및 제2롤러(26b)에 의하여, 캠(24)의 회전운동이 일정간격의 원호운동으로 바뀌어서 롤러샤프트(28)가 일정간격의 원호운동을 하게 된다.In addition, the roller shaft 28 which repeats the circular arc motion at a predetermined interval in accordance with one rotation of the cam 24 by the relationship with the cam groove 24a, the inner profile surface 24a and the outer side of the cam groove 24a; The 1st roller 26a and the 2nd roller 26b which were rotatably mounted in the state which contacted the profile surface 24c each, are provided in one side end part. Therefore, the cam 24 is driven by the first roller 26a and the second roller 26b which are in contact with the inner profile surface 24b and the outer profile surface 24c of the cam groove 24a, respectively. The rotational motion is changed to circular motion of a certain interval so that the roller shaft 28 is circular motion of a certain interval.

구체적으로 살펴보면, 중심측에서 내측프로파일면(24b)까지의 거리(C)가 길어지는 방향으로 캠(24)이 회전하면서, 상기 내측프로파일면(24b)과 접하고 있는 제1롤러(26a)는 캠(24)의 원주방향으로 중심축에서 멀어지는 방향으로 롤러샤프트(28)를 이동시킨다(화살표 A 방향). 그리고 중심축에서 외측프로파일면(24c) 까지의 거리(D)가 감소하는 방향으로 캠(24)이 회전하면, 상기 외측프로파일면(24c)와 접하고 있는 제2롤러(26b)는 캠(24)의 중심축을 향해서(화살표 B방향) 이동하기 한다. 이와 같은 원호방향의 반복이동은 캠의 회전에 의해서 이루어지는 것이다.Specifically, as the cam 24 rotates in a direction in which the distance C from the center side to the inner profile surface 24b is increased, the first roller 26a which is in contact with the inner profile surface 24b is cam. In the circumferential direction of 24, the roller shaft 28 is moved in a direction away from the central axis (arrow A direction). When the cam 24 rotates in the direction in which the distance D from the central axis to the outer profile surface 24c decreases, the second roller 26b in contact with the outer profile surface 24c is the cam 24. Move toward the central axis of the arrow (arrow B). Such repeated movement in the arc direction is achieved by the rotation of the cam.

상술한 바와 같이, 상기 롤러샤프트(28)가 이동함에 따라, 상기 롤러샤프트(28)와 회동가능하게 결합된 롤러아암(30)도 동일하게 운동하게 된다. 그리고 상기 롤러아암(30)의 하단부는 미러샤프트(34)에 고정되어 있어서, 결국 미러샤프트(34)가 일정간격 회전운동을 하게 되는 것이다. 미러샤프트(34)의 일정간격 회전운동은 미러샤프트(34)에 부착된 스캔미러(32)를 일정간격 회동시키는 것으로 된다. 그리고 상기 미러샤프트(34)는, 베어링(4,44')에 의하여 지지프레임(50)에 회동가능하게 지지되어 있으며, 롤러아암(30)과는 고정되어 있어서, 롤러아암(30)의 상부가 일정구간 회동하면 실질적으로 상기 미러샤프트(34)가 일정구간 회동하게 된다.As described above, as the roller shaft 28 moves, the roller arm 30 rotatably coupled to the roller shaft 28 also moves in the same manner. And the lower end of the roller arm 30 is fixed to the mirror shaft 34, so that the mirror shaft 34 is to be rotated at regular intervals. The constant interval rotational movement of the mirror shaft 34 rotates the scan mirror 32 attached to the mirror shaft 34 at a constant interval. The mirror shaft 34 is rotatably supported by the support frame 50 by bearings 4 and 44 ', and is fixed to the roller arm 30 so that the upper portion of the roller arm 30 is When the section rotates, the mirror shaft 34 substantially rotates.

그리고 본 실시예에 있어서, 스캔미러의 회동각도는 롤러암의 길이, 미러샤프트와 모터샤프트의 상호 위치 관계, 캠홈의 형상 등에 의해서 결정될 것이다.In the present embodiment, the rotation angle of the scan mirror will be determined by the length of the roller arm, the mutual positional relationship between the mirror shaft and the motor shaft, the shape of the cam groove, and the like.

상술한 바와 같은 본 발명에 의한 구성에 의하면, 모터의 회전을 동력원으로 이용하여 스캔미러를 일정 각도를 회동시키고 있다. 실질적으로 스캔미러의 회동동작은 일초에 수십번을 반복하고 있다는 점을 감안하면, 본 발명에 따라 스캔미러를 회동시키는 것은, 충분한 구동 토오크를 전달할 수 있으며, 정확한 제어가 가능하다는 잇점이 기대된다.According to the configuration according to the present invention as described above, the scan mirror is rotated by a predetermined angle using the rotation of the motor as a power source. In consideration of the fact that the rotational motion of the scan mirror is repeated dozens of times per second, the rotation of the scan mirror according to the present invention is expected to provide a sufficient driving torque and to allow an accurate control.

실질적으로 본 발명은, 모터의 동력을 캠을 이용하여 왕복운동으로 바꾸고, 이러한 왕복운동을 스캔미러에 전달함으로써 스캔미러를 회동시키고 있음을 알 수 있다. 이러한 본 발명의 기본적인 기술 사상의 범위내에서 다음과 같은 변형된 실시예를 생각할 수 있을 것이다.It can be seen that the present invention substantially rotates the scan mirror by converting the power of the motor into a reciprocating motion using a cam and transmitting the reciprocating motion to the scan mirror. Within the scope of the basic technical idea of the present invention will be considered the following modified embodiment.

먼저, 캠홈속에 위치하게 되는 제1롤러 및 제2롤러를 하나의 롤러로 하는 실시예를 생각할 수 있다. 하나의 롤러로 하는 경우에는 캠홈속에서 회동가능하게 수납되어야 하는 때문에 크기의 선정과 스캔미러의 회동각도 조절 사이에는 약간의 오차가 생길 수 있다. 이러한 실시예는 상기 오차가 무시될 수 있는 범위내에서 가능할 것이다. 예를 들면 스캔미러에서 반사하는 광의 손실을 무시할 수 있는 범위 내에서는 가능할 것이다.First, an embodiment in which the first roller and the second roller, which are located in the cam groove, is one roller can be considered. In the case of a single roller, a slight error may occur between the selection of the size and the adjustment of the rotation angle of the scan mirror since the rollers should be accommodated in the cam groove. Such an embodiment would be possible within the range that the error could be ignored. For example, it would be possible to ignore the loss of light reflected from the scan mirror.

다음에 캠홈 속에 로울러를 수납시켜 회동가능하게 지지하는 구성이 이외에, 캠홈을 대신하여 캠의 외주면에 하나의 로울러를 직접 회동가능하게 지지되도록 하는 것도 가능할 것이다. 이 때에는 롤러가 캠의 외주면에 항상 밀착된 상태를 유지하기 위하여, 스프링과 같은 탄성지지수단으로 롤러를 캠의 외주면에 밀착되도록 하여야 한다.Next, in addition to the configuration in which the roller is accommodated in the cam groove so as to be rotatable, it may be possible to directly support one roller on the outer circumferential surface of the cam instead of the cam groove. In this case, in order to keep the roller always in close contact with the outer circumferential surface of the cam, the roller should be in close contact with the outer circumferential surface of the cam by elastic support means such as a spring.

상술한 실시예에 있어서, 모터는 모터샤프트를 통해서 캠을 회전시키는 것으로 설명하였지만, 캠을 회전시키기 위한 구성에는 많은 변형예가 있을 것이다.In the above embodiment, the motor has been described as rotating the cam through the motor shaft, but there will be many modifications in the configuration for rotating the cam.

이상과 같은 본 발명은, 자기플럭스를 이용하여 회전자를 회동시키던 종래의 것에 비하여, 모터를 구동원으로 하고 있기 때문에 스캔미러의 회동에 필요한 충분한 토오크를 전달할 수 있을 것이다.In the present invention as described above, since the motor is used as the driving source, the torque required for the rotation of the scan mirror can be transmitted as compared with the conventional one which rotates the rotor using the magnetic flux.

그리고 모터의 회전을 구동원으로 하고 있기 때문에 자기플럭스에 의한 회동에 비하여, 온도변화가 심한 환경에서도 정확한 위치제어가 가능하며 기계적인 구성으로 인하여 생산성 향상의 효과가 기대된다. 또한 자기플럭스를 이용하던 종래의 것에 비하여 외부환경, 예를 들면 온도에 따른 위치제어의 손실과 같은 문제점을 해결할 수 있어서 제품의 신뢰성이 높아지는 등의 효과가 있는 것이다.In addition, since the rotation of the motor is used as the driving source, accurate position control is possible even in a severe temperature change environment compared to the rotation by the magnetic flux, and the improvement of productivity is expected due to the mechanical configuration. In addition, compared with the conventional magnetic flux, it is possible to solve problems such as loss of position control due to external environment, for example, temperature, thereby increasing the reliability of the product.

Claims

Drive means,

Conversion means for converting the rotational motion of the drive means into a reciprocating motion;

One end is rotatably supported, the other end is a shaft for repeated rotation for a predetermined period by the reciprocating motion of the conversion means;

And a scan mirror installed on the shaft, the scan mirror rotating at a predetermined angle like the shaft.

The method of claim 1, wherein the conversion means,

The cam groove includes a cam groove having an inner profile surface and an outer profile surface, and a roller shaft having a first roller and a second roller at one end thereof supported in contact with the inner profile surface and the outer profile surface of the cam groove, respectively. The scanning mirror rotating device of the scanner that the roller shaft is reciprocated for a certain period as the rotation of the.

The method of claim 2, wherein the shaft,

And a roller arm having one end rotatably coupled to the roller shaft, and a mirror shaft connected to the other end of the roller arm and repeatedly rotating at an angle by reciprocating motion.