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KR102771028B1 - Stripping composition for color filter and removing method using the same - Google Patents

Stripping composition for color filter and removing method using the same Download PDF

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KR102771028B1
KR102771028B1 KR1020190098842A KR20190098842A KR102771028B1 KR 102771028 B1 KR102771028 B1 KR 102771028B1 KR 1020190098842 A KR1020190098842 A KR 1020190098842A KR 20190098842 A KR20190098842 A KR 20190098842A KR 102771028 B1 KR102771028 B1 KR 102771028B1
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color filter
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stripping composition
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주식회사 이엔에프테크놀로지
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Abstract

본 발명은 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 박리 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 칼라 레지스트 제거 시 기판의 부식을 최소화하면서도 칼라 레지스트에 소요되는 시간이 짧은 효과가 있으며, 비교적 저온의 공정에서 기판 상의 칼라 레지스트를 제거할 수 있음에 따라 공정이 용이하고 칼라 필터의 재사용의 생산성을 향상시킬 수 있다.The present invention relates to a stripping agent composition for a color filter and a stripping method using the same. According to the present invention, the time required for removing color resist is shortened while minimizing corrosion of a substrate when removing color resist, and since the color resist on a substrate can be removed in a relatively low-temperature process, the process is easy and the productivity of reuse of color filters can be improved.

Description

칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 방법{STRIPPING COMPOSITION FOR COLOR FILTER AND REMOVING METHOD USING THE SAME}Stripping composition for color filter and method using the same {STRIPPING COMPOSITION FOR COLOR FILTER AND REMOVING METHOD USING THE SAME}

본 발명은 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a stripping composition for a color filter and a method using the same.

정보화 시대로 접어듦에 따라, 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이의 요구가 증대되고 있다. 이에, 저소비전력, 경량박형 및 고화질 구현 등이 가능함은 물론 공간활용을 극대화할 수 있는 휴대가 용이한 디스플레이의 개발이 필요하다.As we enter the information age, the demand for displays that process and display large amounts of information is increasing. Accordingly, it is necessary to develop portable displays that are low-power, lightweight, thin, and high-quality, as well as maximize space utilization.

디스플레이의 박형화 하려는 시도의 일 예로, 액정표시장치(LCD)의 칼라 필터층을 TFT 구조물 내에 직접 감광성 조성물로부터 형성하는 방법을 들 수 있다. 그러나, 현재까지는 TFT 구조물 위에 제조된 칼라 필터에서 불량이 발생된 경우, 패턴이 잘못된 부분만을 제거하여 수리하는 것이 거의 불가능하였다. 이에, 불량 칼라 필터가 형성된 기판은 수리 등의 재작업을 거치지 않고 대부분 바로 폐기 처리되고 있다.As an example of an attempt to make a display thinner, a method of forming a color filter layer of a liquid crystal display (LCD) directly from a photosensitive composition within a TFT structure can be cited. However, up to now, when a defect occurs in a color filter manufactured on a TFT structure, it has been almost impossible to repair it by removing only the portion with an incorrect pattern. Accordingly, most substrates on which a defective color filter is formed are immediately discarded without undergoing reworking such as repair.

이에, 칼라 레지스트의 제거를 위한 강력한 박리성능을 갖는 조성물에 대한 요구가 증가하고 있다. 게다가, 칼라 필터가 상부 기판이 아닌 하부 기판의 박막 트랜지스터 상에 형성될 경우, 칼라 레지스트를 제거할 시에 하부의 박막 트랜지스터, 특히 Al을 포함하는 금속으로 형성된 전극에까지 손상을 미치는 경우가 발생할 수 있어, 이를 개선한 박리성능 또한 요구되고 있다.Accordingly, there is an increasing demand for a composition having strong stripping performance for removing color resist. In addition, when a color filter is formed on a thin film transistor of a lower substrate rather than an upper substrate, damage may occur to the lower thin film transistor, especially to the electrode formed of a metal including Al, when removing the color resist. Therefore, improved stripping performance is also required.

칼라 레지스트의 제거를 위해 종래에는, 무기계 박리액과 플라즈마를 이용한 RIE(reactive ion etching)을 사용하였다. 그러나, 상기 무기계 박리액의 경우, 황산, 질산, 발연황산, 질산과 과산화수소의 혼합액 등을 고온으로 가열하여 사용되기 때문에, 작업자들의 안전성에 악영향을 미칠 뿐 아니라 가열에 따른 화재 위험성의 증대로 취급시에 세심한 주의를 요해야만 하는 불편함이 존재하였다. 이러한, 플라즈마를 이용한 RIE 방법은 특허문헌1 내지 특허문헌3에 구체적으로 개시하고 있다. 그러나, 이러한 플라즈마를 이용한 RIE 방법은 고진공, 고에너지가 요구될 뿐 아니라, 공정조건이 까다롭고 대면적에는 사용하기 어렵다는 문제점을 갖는다. 또한, 고가의 장비를 사용해야 된다는 단점을 갖는다. 이와 같이, 종래의 칼라 레지스트 등 유기막의 제거방법으로는 안정적으로 대면적의 칼라 레지스트를 제거하는 것이 곤란하고 작업자들의 안전성이 문제되거나 상업적으로 유리하지 않다.In the past, inorganic stripping solutions and RIE (reactive ion etching) using plasma were used to remove color resist. However, in the case of the above-mentioned inorganic stripping solutions, since sulfuric acid, nitric acid, fuming sulfuric acid, a mixture of nitric acid and hydrogen peroxide, etc. are used by heating them at high temperatures, not only does it have a negative impact on the safety of workers, but also there is an inconvenience that great care must be taken when handling them due to an increased risk of fire caused by heating. This RIE method using plasma is specifically disclosed in Patent Documents 1 to 3. However, this RIE method using plasma has the problems that not only does it require high vacuum and high energy, but also the process conditions are difficult and it is difficult to use on large areas. In addition, it has the disadvantage of requiring expensive equipment. In this way, it is difficult to stably remove large areas of color resist with the conventional method for removing organic films such as color resist, and the safety of workers is a problem or it is not commercially advantageous.

US 5756239 AUS 5756239 A US 5059500 AUS 5059500 A EP 0119337 B1EP 0119337 B1

본 발명은 기판의 손상을 야기하지 않고 단시간 내 효율적으로 칼라 레지스트 및 유기 절연막을 제거할 수 있는 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 박리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide a stripping agent composition for a color filter capable of efficiently removing a color resist and an organic insulating film in a short period of time without causing damage to a substrate, and a stripping method using the same.

상세하게, 본 발명은 박리력과 린스력이 뛰어나며, 부식 방지능이 우수한 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 박리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Specifically, the present invention aims to provide a stripping composition for a color filter having excellent stripping and rinsing power and excellent corrosion prevention ability, and a stripping method using the same.

상세하게, 본 발명은 비교적 저온의 공정조건으로 수행되며 기판의 부식을 최소화할 수 있는 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 박리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In detail, the present invention aims to provide a stripping agent composition for a color filter, which can be performed under relatively low-temperature process conditions and minimize corrosion of a substrate, and a stripping method using the same.

상술된 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에서는 무기염기; 리튬염 및 아연염에서 선택되는 금속염; 알칸올 아민 및 폴리 아민에서 선택되는 아민계 화합물; 고리형 알코올계 화합물; 및 물;을 포함하는 칼라 필터용 박리액 조성물이 제공된다.In order to solve the above-described problem, the present invention provides a stripping composition for a color filter, comprising: an inorganic base; a metal salt selected from lithium salts and zinc salts; an amine compound selected from alkanol amines and polyamines; a cyclic alcohol compound; and water.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 무기염기는 수산화 나트륨, 수산화 칼륨 또는 이들의 조합일 수 있다.In a stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the inorganic base may be sodium hydroxide, potassium hydroxide, or a combination thereof.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 금속염은 무기산염, 유기산염, 수산화물 또는 할로겐화물일 수 있다.In the stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the metal salt may be an inorganic acid salt, an organic acid salt, a hydroxide or a halide.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 총 중량을 기준으로, 상기 무기염기 1 내지 7중량%; 상기 금속염 0.01 내지 3중량%; 상기 아민계 화합물 5 내지 35중량%; 상기 고리형 알코올계 화합물 3 내지 20 중량%; 및 잔량의 물; 을 포함하는 것일 수 있다.A stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention may include, based on the total weight, 1 to 7 wt% of the inorganic base; 0.01 to 3 wt% of the metal salt; 5 to 35 wt% of the amine compound; 3 to 20 wt% of the cyclic alcohol compound; and the remainder of water.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 고리형 알코올계 화합물은 하기 화학식1 및 화학식2로 표시되는 화합물에서 선택되는 적어도 하나인 것일 수 있다.In a stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the cyclic alcohol compound may be at least one selected from compounds represented by the following chemical formulas 1 and 2.

[화학식1][Chemical formula 1]

Figure 112019082976488-pat00001
Figure 112019082976488-pat00001

[화학식2][Chemical formula 2]

Figure 112019082976488-pat00002
Figure 112019082976488-pat00002

[상기 화학식1및 화학식2에서,[In the above chemical formulas 1 and 2,

R1은 수소, 히드록시 또는 (C1-C4)알킬이고;R 1 is hydrogen, hydroxy or (C1-C4)alkyl;

A는 -NR-, -S- 또는 -O-이며, 상기 R은 수소 또는 히드록시(C1-C5)알킬이고;A is -NR-, -S- or -O-, wherein R is hydrogen or hydroxy(C1-C5)alkyl;

a, b 및 c는 서로 독립적으로 0 내지 5의 정수에서 선택되고, 상기 a 또는 b가 0의 정수인 경우 직접결합을 의미하고, 상기 c가 0의 정수인 경우 나머지 치환체 모두가 수소인 경우를 의미하고;a, b and c are independently selected from integers from 0 to 5, and when a or b is an integer of 0, it means a direct bond, and when c is an integer of 0, it means the case where all of the remaining substituents are hydrogen;

d 및 e는 서로 독립적으로 0 또는 1의 정수이고, 단 상기 d가 0의 정수인 경우 상기 A는 -NR-이고, 상기 R은 히드록시(C1-C5)알킬이고, 상기 e가 0의 정수인 경우 직접결합을 의미한다.]d and e are independently integers of 0 or 1, provided that when d is an integer of 0, A is -NR-, R is hydroxy(C1-C5)alkyl, and when e is an integer of 0, it means a direct bond.]

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 고리형 알코올계 화합물은 페놀, 크레졸, 크실레놀, 카테콜, 레조르시놀, 히드로퀴논, 피로갈롤, 벤젠트리올, 살리실알코올, 벤질알코올, 가스로디게닌, 페네틸알코올 및 티로솔 등에서 선택되는 방향족 고리형 알코올; 및 테트라히드로푸르푸릴알코올, 피롤리딘메탄올, 피롤리딘에탄올 피페리딘메탄올 및 피페리딘에탄올 등에서 선택되는 지환족 고리형 알코올; 에서 선택되는 하나 또는 둘이상일 수 있다.In the stripper composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the cyclic alcohol compound may be one or more selected from the group consisting of aromatic cyclic alcohols selected from phenol, cresol, xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, benzenetriol, salicyl alcohol, benzyl alcohol, gasrhodigenin, phenethyl alcohol, and tyrosol; and alicyclic cyclic alcohols selected from the group consisting of tetrahydrofurfuryl alcohol, pyrrolidinemethanol, pyrrolidineethanol, piperidinemethanol, and piperidineethanol.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 아민계 화합물은 상기 알칸올 아민 및 폴리 아민의 혼합물일 수 있으며, 상기 알칸올 아민 1 중량부를 기준으로, 상기 폴리 아민을 0.1 내지 5 중량부로 혼합한 혼합물일 수 있다.In a stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the amine compound may be a mixture of the alkanol amine and the poly amine, and may be a mixture in which 0.1 to 5 parts by weight of the poly amine is mixed based on 1 part by weight of the alkanol amine.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물을 더 포함하는 것일 수 있다.A stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention may further include an alkylene glycol alkyl ether compound.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 비이온성 계면활성제를 더 포함하는 것일 수 있다.A stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention may further include a nonionic surfactant.

또한, 본 발명에서는 상술된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 경화된 칼라 레지스트를 박리하는 단계를 포함하는, 박리 방법이 제공된다.In addition, the present invention provides a stripping method including a step of stripping a cured color resist using the stripping composition for a color filter described above.

또한, 본 발명에서는 상술된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 경화된 칼라 레지스트를 제거함으로써, 박막 트랜지스터 배열기판을 재활용하는 방법이 제공된다.In addition, the present invention provides a method for recycling a thin film transistor array substrate by removing a cured color resist using the above-described stripping composition for a color filter.

본 발명에 따르면, 액정표시장치 칼라 필터의 경화된 RGB 칼라 레지스트 패턴의 제거에 사용되어 칼라 레지스트를 기판으로부터 리프트-오프(lift-off)시키지 않고 용해시키는 방식으로 칼라 레지스트를 제거하므로 칼라 레지스트를 효과적으로 제거할 수 있고, 기판에 대한 손상을 최소화할 수 있다. 또한, 박리력과 린스력이 뛰어나 칼라 필터의 재사용의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the color resist is removed by dissolving the color resist without lifting it off from the substrate, thereby effectively removing the color resist and minimizing damage to the substrate. In addition, since the peeling power and rinsing power are excellent, the productivity of reuse of the color filter can be improved.

본 발명에 따르면, 비교적 저온 공정에서 수행될 수 있어 박리액 조성물의 휘발에 의한 석출이나 약액 내에서 석출물이 발생하지 않아 공정 상의 배관 또는 필터 막힘을 해결하였다. 또한, 박리성능의 저하를 방지하여, 효율적인 박리공정을 수행할 수 있음은 물론 분해에 의한 자극적인 냄새를 야기하지 않아 작업자의 안전성을 높인다.According to the present invention, since it can be performed at a relatively low temperature process, precipitation due to volatilization of the stripping composition or occurrence of precipitation within the solution is not caused, thereby resolving clogging of pipes or filters during the process. In addition, since deterioration of stripping performance is prevented, an efficient stripping process can be performed, and since it does not cause an irritating odor due to decomposition, it enhances the safety of workers.

본 발명에 따르면, 경화된 RGB 칼라 레지스트 패턴의 제거는 물론 이보다 높은 경화도와 화학적·열적 안정성이 높은 아크릴계 수지 등으로 형성된 유기 절연막의 제거에도 효과적이다. 특히, 박막 트랜지스터 상에 형성된 칼라 레지스트와 네가티브형 유기 절연막의 제거에 유용하여 하지의 박막 트랜지스터에 손상을 가하지 않으면서 박리공정을 진행할 수 있다는 이점을 갖는다.According to the present invention, it is effective not only for removing a cured RGB color resist pattern, but also for removing an organic insulating film formed of an acrylic resin having a higher degree of curing and higher chemical and thermal stability. In particular, it is useful for removing a color resist and a negative-type organic insulating film formed on a thin film transistor, and has the advantage of being able to perform a stripping process without damaging the underlying thin film transistor.

도1은 본 발명의 실시예1에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 대한 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험에서 광학현미경을 통해 TFT-기판의 표면을 관찰한 이미지이고,
도2는 본 발명의 비교예1에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 대한 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험에서 광학현미경을 통해 TFT-기판의 표면을 관찰한 이미지이고,
도3은 본 발명의 비교예1에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 대한 기판 손상 확인 시험에서 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)을 통해 기판의 표면과 단면을 관찰한 이미지이다.
Figure 1 is an image of the surface of a TFT substrate observed through an optical microscope in a removal test of an organic insulating film and a color resist using a stripping agent composition for a color filter according to Example 1 of the present invention.
Figure 2 is an image of the surface of a TFT substrate observed through an optical microscope in a removal test of an organic insulating film and a color resist using a stripping agent composition for a color filter according to Comparative Example 1 of the present invention.
Figure 3 is an image of the surface and cross-section of a substrate observed through a scanning electron microscope (SEM) in a substrate damage confirmation test for a stripping agent composition for a color filter according to Comparative Example 1 of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 방법에 대하여 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있으며, 이하 제시되는 도면들은 본 발명의 사상을 명확히 하기 위해 과장되어 도시될 수 있다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, a stripping composition for a color filter according to the present invention and a method using the same will be described in detail. The drawings introduced below are provided as examples so that those skilled in the art can sufficiently convey the idea of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the drawings presented below and may be embodied in other forms, and the drawings presented below may be exaggerated in order to clarify the idea of the present invention.

본 명세서에서 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.Unless otherwise defined, technical and scientific terms used in this specification have the meaning commonly understood by a person of ordinary skill in the art to which this invention belongs, and descriptions of well-known functions and configurations that may unnecessarily obscure the gist of the present invention are omitted in the following description and accompanying drawings.

본 명세서에서 사용되는 단수 형태는 문맥에서 특별한 지시가 없는 한 복수 형태도 포함하는 것으로 의도할 수 있다.As used herein, the singular form may be intended to include the plural form as well, unless the context clearly indicates otherwise.

또한, 본 명세서에서 특별한 언급 없이 사용된 단위는 중량을 기준으로 하며, 일 예로 % 또는 비의 단위는 중량% 또는 중량비를 의미하고, 중량%는 달리 정의되지 않는 한 전체 조성물 중 어느 하나의 성분이 조성물 내에서 차지하는 중량%를 의미한다.In addition, units used in this specification without special mention are based on weight, and for example, units of % or ratio mean weight% or weight ratio, and weight% means the weight% that one component of the entire composition occupies in the composition unless otherwise defined.

또한, 본 명세서에서 사용되는 수치 범위는 하한치와 상한치와 그 범위 내에서의 모든 값, 정의되는 범위의 형태와 폭에서 논리적으로 유도되는 증분, 이중 한정된 모든 값 및 서로 다른 형태로 한정된 수치 범위의 상한 및 하한의 모든 가능한 조합을 포함한다. 본 발명의 명세서에서 특별한 정의가 없는 한 실험 오차 또는 값의 반올림으로 인해 발생할 가능성이 있는 수치범위 외의 값 역시 정의된 수치범위에 포함된다.In addition, the numerical range used in this specification includes the lower limit and the upper limit and all values within that range, the increments logically derived from the shape and width of the defined range, all double-defined values, and all possible combinations of the upper and lower limits of the numerical range defined in different shapes. Unless otherwise specifically defined in the specification of the present invention, values outside the numerical range that may occur due to experimental error or rounding of values are also included in the defined numerical range.

또한, 본 명세서의 용어, '포함한다'는 '구비한다', '함유한다', '가진다' 또는 '특징으로 한다' 등의 표현과 등가의 의미를 가지는 개방형 기재이며, 추가로 열거되어 있지 않은 요소, 재료 또는 공정을 배제하지 않는다.Additionally, the term "includes" in this specification is an open description having an equivalent meaning to expressions such as "comprises," "contains," "has," or "characterized by," and does not exclude additional elements, materials, or processes not listed.

또한, 본 명세서의 용어, '실질적으로 포함하지 않는다'는 특정된 요소, 재료 또는 공정과 함께 열거되어 있지 않은 다른 요소, 재료 또는 공정 등이 발명의 적어도 하나의 기본적이고 신규한 기술적 사상에 허용할 수 없을 만큼의 현저한 영향을 미치지 않도록 존재하거나 전혀 존재하지 않는 것을 의미한다.Additionally, the term "substantially free of" in this specification means that other elements, materials or processes not listed together with the specified elements, materials or processes are present or not present at all so as not to have an unacceptably significant effect on at least one basic and novel technical idea of the invention.

본 발명자들은 칼라 레지스트의 제거를 위한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 칼라 필터용 박리액 조성물에 관한 특허(KR 10-2018-0024368 A)를 출원한 바 있다. 상기 특허에 따르면 단시간 내 기판의 하부막 손상없이 칼라 레지스트의 제거가 가능하였으나, 기판의 부식 억제 효과와 동시에 양립하기 어려운 한계가 있었다.In order to solve the problems of the prior art for removing color resist, the present inventors have applied for a patent (KR 10-2018-0024368 A) regarding a stripping agent composition for color filters. According to the above patent, color resist can be removed without damaging the lower film of the substrate within a short period of time, but there was a limitation that it was difficult to achieve the effect of inhibiting corrosion of the substrate at the same time.

이에 따라, 본 발명자들은 기판 상에 형성된 칼라 레지스트의 박리에 소요되는 시간을 최소화하면서도 하부막은 물론 기판의 부식을 효과적으로 억제할 수 있는 칼라 필터용 박리액 조성물에 대한 연구를 심화하였다. 그 결과, 소정의 금속염에서 선택되는 하나 또는 둘이상이 조합됨에 따라 목적하는 효과에 있어, 시너지를 부여할 수 있음을 확인하여 본 발명을 제안하고자 한다.Accordingly, the inventors of the present invention have intensified their research on a stripping composition for a color filter that can effectively suppress corrosion of the substrate as well as the underlying film while minimizing the time required for stripping the color resist formed on the substrate. As a result, they have confirmed that a synergy effect can be imparted when one or more selected from a predetermined metal salt is combined, thereby proposing the present invention.

본 발명에 따르면, 칼라 레지스트 등의 제거에 있어 효과적이며, 제거 공정시 알루미늄, 구리 등의 금속배선에 손상을 주지 않으며, 상기 금속배선과 기판의 부식을 동시에 억제할 수 있다는 장점을 갖는다. 또한, 칼라 레지스트와 유기 절연막에 대한 박리력 및 린스력이 뛰어나 칼라 필터에서 불량이 발생된 경우, 빠른 시간 내에 불량면을 제거할 수 있다. 이에, 공정수율 향상과 원가 절감의 효과를 제공할 수 있다.According to the present invention, it has the advantage of being effective in removing color resist, etc., not causing damage to metal wiring such as aluminum and copper during the removal process, and simultaneously suppressing corrosion of the metal wiring and the substrate. In addition, since it has excellent peeling power and rinsing power for color resist and organic insulating film, if a defect occurs in the color filter, the defective surface can be removed within a short period of time. Accordingly, it can provide the effect of improving process yield and reducing cost.

본 발명에 따르면, RGB 칼라 레지스트 패턴의 제거에 사용되어 리프트-오프 방식이 아닌 용해시키는 방식으로 칼라 레지스트를 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 칼라 레지스트와 유기 절연막에 대한 용해력이 뛰어나 상부 기판에 형성된 칼라 레지스트는 물론 하부 기판에 형성된 칼라 레지스트에도 사용할 수 있고, 포지티브형은 물론 네가티브형 유기 절연막에도 유용하게 사용할 수 있다. 또한, 금속배선과 기판의 부식을 동시에 효과적으로 억제한다. 이에, 본 발명에 따르면, 다양한 양태의 칼라 필터의 재사용의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the color resist can be effectively removed by dissolving rather than by lifting off, by being used for removing an RGB color resist pattern. In addition, since it has excellent solubility for a color resist and an organic insulating film, it can be used not only for a color resist formed on an upper substrate but also for a color resist formed on a lower substrate, and can be usefully used for not only a positive type but also a negative type organic insulating film. In addition, it effectively suppresses corrosion of metal wiring and a substrate at the same time. Therefore, according to the present invention, the productivity of reuse of color filters of various aspects can be improved.

또한, 본 발명에서는 칼라 레지스트 등의 박리공정 중 분해되어 약액 내 석출물을 야기할 수 있는 알킬암모늄 하이드록시드 등의 암모늄계 유기염기는 바람직하지 않다. 또한, 상기 암모늄계 유기염기를 사용하는 경우, 약액이 안정적이지 못하고 석출물이 발생되거나 약액 내 분해되어 자극적인 냄새를 야기하는 등 공정 상의 안전성에 불리함을 준다. 이에, 본 발명에서는 암모늄계 유기염기 등을 실질적으로 포함하지 않는 것이 좋다. 이로써, 약액 내 존재하는 금속이 석출되면서 약액의 조성을 변화시키는 문제점 등을 유발하지 않고, 공정 상의 이점을 제공할 수 있다는 이점을 제공한다.In addition, in the present invention, ammonium-based organic bases such as alkyl ammonium hydroxide, which may decompose during a stripping process of color resist, etc., and cause precipitates in the chemical solution, are not preferred. In addition, when the ammonium-based organic base is used, the chemical solution is not stable, precipitates are generated, or the chemical solution decomposes to cause an irritating odor, which is detrimental to the safety of the process. Therefore, in the present invention, it is preferred that ammonium-based organic bases, etc. are substantially not included. This provides an advantage in that it does not cause problems such as changing the composition of the chemical solution by precipitating a metal existing in the chemical solution, and provides advantages in the process.

이하, 본 발명에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

상술된 효과의 구현을 위해, 본 발명에서는 무기염기; 리튬염 및 아연염에서 선택되는 금속염; 알칸올 아민 및 폴리 아민에서 선택되는 아민계 화합물; 고리형 알코올계 화합물; 및 물;을 포함하는 칼라 필터용 박리액 조성물을 제공한다.To achieve the above-described effects, the present invention provides a stripping composition for a color filter, comprising: an inorganic base; a metal salt selected from lithium salts and zinc salts; an amine compound selected from alkanol amines and polyamines; a cyclic alcohol compound; and water.

이와 같은 조성을 만족하는, 본 발명의 칼라 필터용 박리액 조성물은 칼라 레지스트 또는 유기 절연막을 구성하는 고분자 성분으로의 침투 능력이 우수하고, 이의 박리력에 현저함을 보인다. 또한, 약액 조성의 변화가 미미하여, 휘발되어 고형분으로 석출되거나 약액의 조성 변화에 따른 기판 또는 하부막의 손상을 야기하지 않는다.The stripping agent composition for color filters of the present invention, which satisfies the above composition, has excellent penetration ability into polymer components constituting color resist or organic insulating films, and exhibits remarkable stripping power. In addition, since the change in the composition of the chemical solution is minimal, it does not volatilize and precipitate as a solid, or cause damage to the substrate or underlying film due to a change in the composition of the chemical solution.

즉, 리튬, 아연 또는 이들 조합의 금속염을 포함하는 본 발명에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 종래 기술 상에서 문제가 되었던 단시간 내 기판의 하부막 손상없이 칼라 레지스트의 제거와 기판의 부식 억제 효과를 동시에 만족시킬 수 있다는 점에서 주목된다. 허나, 이와 같은 효과에 있어서, 리튬 또는 아연과 동일 족의 금속을 포함하는 금속염의 사용에서는 이와 같은 효과가 확인되지 않는다는 점에서, 본 발명은 당해 기술분야의 통상의 기술자가 전혀 예측하지 못한 새로운 발견에 해당한다.That is, the stripper composition for color filters according to the present invention containing a metal salt of lithium, zinc or a combination thereof is noteworthy in that it can simultaneously satisfy the effects of removing color resist and inhibiting corrosion of the substrate without damaging the lower film of the substrate in a short period of time, which was a problem in the prior art. However, in terms of such effects, the present invention corresponds to a new discovery that was completely unexpected by those skilled in the art in that such effects were not confirmed when using a metal salt containing a metal of the same group as lithium or zinc.

일 예로, 리튬과 동일 족에 해당할 수 있는 알칼리금속인 나트륨, 칼륨 등을 포함하는 금속염의 사용에서는 기판과 하부막의 부식 억제를 동시에 만족시키지 못했다.For example, in the case of using metal salts containing alkali metals such as sodium and potassium that can belong to the same group as lithium, corrosion inhibition of both the substrate and the underlying film was not satisfied at the same time.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 무기염기는 수산화 나트륨, 수산화 칼륨 또는 이들의 조합일 수 있다.In a stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the inorganic base may be sodium hydroxide, potassium hydroxide, or a combination thereof.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 금속염은 무기산염, 유기산염, 수산화물 또는 할로겐화물일 수 있다.In the stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the metal salt may be an inorganic acid salt, an organic acid salt, a hydroxide or a halide.

일 예로, 상기 금속염은 리튬의 무기산염, 유기산염, 수산화물, 할로겐화물 또는 이들의 조합; 및 아연의 리튬의 무기산염, 유기산염, 수산화물, 할로겐화물 또는 이들의 조합; 에서 선택되는 하나 또는 둘이상일 수 있다.For example, the metal salt may be one or more selected from an inorganic acid salt, an organic acid salt, a hydroxide, a halide or a combination thereof of lithium; and an inorganic acid salt, an organic acid salt, a hydroxide, a halide or a combination thereof of zinc.

상기 무기산염은 통상의 것이라면 제한되지는 않으며, 전술한 금속의 탄산염, 인산염, 황산염 또는 질산염 등일 수 있다.The above inorganic acid salt is not limited to a conventional salt, and may be a carbonate, phosphate, sulfate or nitrate of the above-mentioned metal.

상기 유기산염은 통상의 것이라면 제한되지는 않으며, 전술한 금속의 아세트산염, 벤조산염, 말레산염, 프로피온산염, 푸마르산염, 이세티온산염, 시트르산염, 락트산염, 글루콘산염, 숙신산염, 옥살산염, 페닐아세트산염, 메탄설폰산염, 톨루엔설폰산염, 살리실산염, 벤젠설폰산염, 설파닐산염, 아스파르트산염, 글루탐산염, 스테아르산염, 팔미트산염, 올레산염, 라우르산염, 판토텐산염, 탄닌산염, 아스코르브산염, 발레르산염, 아디프산염, 보론산염, 알긴산염, 아스파르트산염, 캄포산염, 헵타노익산염 또는 헥사노익산염 등일 수 있다.The above organic acid salts are not limited as long as they are common ones, and may be acetate, benzoate, maleate, propionate, fumarate, isethionate, citrate, lactate, gluconate, succinate, oxalate, phenylacetate, methanesulfonate, toluenesulfonate, salicylate, benzenesulfonate, sulfanilate, aspartate, glutamate, stearate, palmitate, oleate, laurate, pantothenate, tannate, ascorbate, valerate, adipate, boronic acid, alginate, aspartate, camphorate, heptanoic acid or hexanoic acid of the above metals.

상기 할로화물은 통상의 것이라면 제한되지는 않으며, 전술한 금속의 불화물, 염화물, 브롬화물 또는 요오드화물 등일 수 있다.The above halide is not limited to a conventional one and may be a fluoride, chloride, bromide or iodide of the above-mentioned metal.

상기 수산화물은 리튬 수산화물 또는 아연 수산화물일 수 있다.The above hydroxide may be lithium hydroxide or zinc hydroxide.

일 예로, 상기 칼라 필터용 박리액 조성물은 인산염, 황산염, 질산염 등에서 선택되는 무기산염; 아세트산염, 벤조산염 등에서 선택되는 유기산염; 염화물; 및 수산화물; 에서 선택되는 적어도 하나 또는 둘이상의 금속염을 포함하는 것이 좋다.For example, the stripping composition for the color filter preferably includes at least one or two or more metal salts selected from inorganic acid salts selected from phosphates, sulfates, nitrates, etc.; organic acid salts selected from acetates, benzoates, etc.; chlorides; and hydroxides.

일 예로, 상기 칼라 필터용 박리액 조성물이 적어도 하나 이상의 아연염을 하는 경우, 약액의 안정성에 바람직할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.For example, when the stripping composition for the color filter contains at least one zinc salt, it may be desirable for the stability of the solution, but is not limited thereto.

일 예로, 상기 칼라 필터용 박리액 조성물 서로 상이한 2종의 금속염을 포함하는 경우, 1:0.1 내지 1:10 중량비로 혼합되어 사용될 수 있다.For example, when the stripping composition for the color filter contains two different metal salts, they can be mixed and used in a weight ratio of 1:0.1 to 1:10.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 총 중량을 기준으로, 상기 무기염기 1 내지 7중량%; 상기 금속염 0.01 내지 3중량%; 상기 아민계 화합물 5 내지 35중량%; 상기 고리형 알코올계 화합물 3 내지 20 중량%; 및 잔량의 물; 을 포함하는 것일 수 있다.A stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention may include, based on the total weight, 1 to 7 wt% of the inorganic base; 0.01 to 3 wt% of the metal salt; 5 to 35 wt% of the amine compound; 3 to 20 wt% of the cyclic alcohol compound; and the remainder of water.

일 예로, 상기 칼라 필터용 박리액 조성물은 상기 무기염기 2 내지 7중량%; 상기 금속염 0.05 내지 2중량%; 상기 아민계 화합물 5 내지 30중량%; 상기 고리형 알코올계 화합물 5 내지 20 중량%; 및 물 40 내지 80중량%; 을 포함하는 것일 수 있다.For example, the stripping composition for the color filter may include 2 to 7 wt% of the inorganic base; 0.05 to 2 wt% of the metal salt; 5 to 30 wt% of the amine compound; 5 to 20 wt% of the cyclic alcohol compound; and 40 to 80 wt% of water.

일 예로, 상기 칼라 필터용 박리액 조성물은 상기 무기염기 3.5 내지 6중량%; 상기 금속염 0.1 내지 1.0중량%; 상기 아민계 화합물 7 내지 20중량%; 상기 고리형 알코올계 화합물 8 내지 20 중량%; 및 물 45 내지 75중량%; 을 포함하는 것일 수 있다.For example, the stripping composition for the color filter may include 3.5 to 6 wt% of the inorganic base; 0.1 to 1.0 wt% of the metal salt; 7 to 20 wt% of the amine compound; 8 to 20 wt% of the cyclic alcohol compound; and 45 to 75 wt% of water.

상술한 바와 같이, 본 발명의 칼라 필터용 박리액 조성물은 다양한 사용량의 조합으로 사용될 수 있다. 이때, 고리형 알코올계 화합물이 통상의 첨가제의 사용량이상, 즉 5중량%초과로 사용되는 경우 칼라 레지스트를 제거할 시에 하부의 박막 트랜지스터, 특히 Al을 포함하는 금속으로 형성된 기판의 부식에 보다 효과적임을 확인하였다.As described above, the stripping composition for color filters of the present invention can be used in combinations of various amounts. At this time, it was confirmed that when the cyclic alcohol compound is used in an amount greater than that of a conventional additive, that is, in excess of 5 wt%, it is more effective in the corrosion of the underlying thin film transistor, particularly the substrate formed of a metal including Al, when removing the color resist.

상기 알코올계 화합물은 하기 화학식1 또는 화학식2로 표시되는 화합물일 수 있다.The above alcohol compound may be a compound represented by the following chemical formula 1 or chemical formula 2.

[화학식1][Chemical formula 1]

Figure 112019082976488-pat00003
Figure 112019082976488-pat00003

[화학식2][Chemical formula 2]

Figure 112019082976488-pat00004
Figure 112019082976488-pat00004

[상기 화학식1및 화학식2에서,[In the above chemical formulas 1 and 2,

R1은 수소, 히드록시 또는 (C1-C4)알킬이고;R 1 is hydrogen, hydroxy or (C1-C4)alkyl;

A는 -NR-, -S- 또는 -O-이며, 상기 R은 수소 또는 히드록시(C1-C5)알킬이고;A is -NR-, -S- or -O-, wherein R is hydrogen or hydroxy(C1-C5)alkyl;

a, b 및 c는 서로 독립적으로 0 내지 5의 정수에서 선택되고, 상기 a 또는 b가 0의 정수인 경우 직접결합을 의미하고, 상기 c가 0의 정수인 경우 나머지 치환체 모두가 수소인 경우를 의미하고;a, b and c are independently selected from integers from 0 to 5, and when a or b is an integer of 0, it means a direct bond, and when c is an integer of 0, it means the case where all of the remaining substituents are hydrogen;

d 및 e는 서로 독립적으로 0 또는 1의 정수이고, 단 상기 d가 0의 정수인 경우 상기 A는 -NR-이고, 상기 R은 히드록시(C1-C5)알킬이고, 상기 e가 0의 정수인 경우 직접결합을 의미한다.]d and e are independently integers of 0 or 1, provided that when d is an integer of 0, A is -NR-, R is hydroxy(C1-C5)alkyl, and when e is an integer of 0, it means a direct bond.]

일 예로, 상기 칼라 필터용 박리액 조성물은 적어도 하나이상의 지환족 고리형 알코올을 포함하는 것이 좋다.For example, it is preferable that the stripping composition for the color filter contain at least one alicyclic ring alcohol.

일 예로, 상기 지환족 고리형 알코올은 하기 화학식2-1 및 화학식2-2로 표시되는 화합물에서 선택되는 적어도 하나일 수 있다.For example, the alicyclic ring alcohol may be at least one selected from compounds represented by the following chemical formulas 2-1 and 2-2.

[화학식2-1][Chemical Formula 2-1]

Figure 112019082976488-pat00005
Figure 112019082976488-pat00005

[화학식2-2][Chemical Formula 2-2]

Figure 112019082976488-pat00006
Figure 112019082976488-pat00006

[상기 화학식2-1 및 화학식2-2에서,[In the above chemical formula 2-1 and chemical formula 2-2,

A'는 -S- 또는 -O-이고;A' is -S- or -O-;

b는 서로 독립적으로 0 내지 5의 정수에서 선택되고;b is independently selected from integers 0 to 5;

e는 서로 독립적으로 0 또는 1의 정수이다.]e is an integer 0 or 1, independently of each other.]

상기 알코올계 화합물의 비한정적인 일 예로는, 페놀, 크레졸, 크실레놀, 카테콜, 레조르시놀, 히드로퀴논, 피로갈롤, 벤젠트리올, 살리실알코올, 벤질알코올, 가스로디게닌, 페네틸알코올, 티로솔 및 푸르푸릴알코올 등에서 선택되는 방향족 고리형 알코올; 및 테트라히드로푸르푸릴알코올, 피롤리딘메탄올, 피롤리딘에탄올 피페리딘메탄올 및 피페리딘에탄올 등에서 선택되는 지환족 고리형 알코올;에서 선택되는 하나 또는 둘이상일 수 있다.Non-limiting examples of the alcohol compound include one or more selected from: aromatic cyclic alcohols selected from phenol, cresol, xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, benzenetriol, salicyl alcohol, benzyl alcohol, gasrhodigenin, phenethyl alcohol, tyrosol, and furfuryl alcohol; and alicyclic cyclic alcohols selected from tetrahydrofurfuryl alcohol, pyrrolidinemethanol, pyrrolidineethanol, piperidinemethanol, and piperidineethanol.

일 예로, 상기 지환족 고리형 알코올은 바람직하게 테트라히드로푸르푸릴알코올, 1-피롤리딘메탄올, 2-피롤리딘메탄올, 1-피롤리딘에탄올, 2-피롤리딘에탄올, 1-피페리딘메탄올, 2-피레리딘메탄올, 1-피페리딘에탄올 및 2-피페리딘에탄올 등에서 선택되는 것일 수 있다.For example, the alicyclic ring alcohol may be preferably selected from tetrahydrofurfuryl alcohol, 1-pyrrolidinemethanol, 2-pyrrolidinemethanol, 1-pyrrolidineethanol, 2-pyrrolidineethanol, 1-piperidinemethanol, 2-piperidinemethanol, 1-piperidineethanol, and 2-piperidineethanol.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 상기 아민계 화합물은 박리력 및 린스력을 증진시키는 역할을 하며, 칼라 레지스트 내 고분자로의 침투 및 팽윤을 가속화시킨다. 이와 같은 효과의 시너지를 위해, 상기 아민계 화합물은 알칸올 아민 및 폴리 아민을 동시에 포함하는 것이 좋으며, 상기 알칸올 아민 또는 폴리 아민이 단독으로 사용되는 양태 역시 본 발명에서 목적하는 효과를 보여 좋다.In the stripper composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, the amine compound plays a role of enhancing stripping power and rinsing power, and accelerates penetration and swelling into the polymer in the color resist. For such a synergy effect, it is preferable that the amine compound simultaneously includes an alkanol amine and a poly amine, and an embodiment in which the alkanol amine or the poly amine is used alone can also exhibit the effect desired in the present invention.

상기 알칸올 아민은 탄소수 1 내지 10의 알칸올기를 포함하는 것일 수 있다.The above alkanol amine may contain an alkanol group having 1 to 10 carbon atoms.

상기 알칸올 아민의 비한정적인 일 예로는, 모노메탄올아민, 모노에탄올아민, N-메틸에탄올아민, N-에틸에탄올아민, N-프로필에탄올아민, N-부틸에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민, N-메틸디에탄올아민, N-에틸디에탄올아민, 이소프로판올아민, 디이소프로판올아민, 트리이소프로판올아민, N-메틸이소프로판올아민, N-에틸이소프로판올아민, N-프로필이소프로판올아민, 2-아미노프로판-1-올, N-메틸-2-아미노프로판-1-올, N-에틸-2-아미노프로판-1-올, 1-아미노프로판-3-올, N-메틸-1-아미노프로판-3-올, N-에틸-1-아미노프로판-3-올, 1-아미노부탄-2-올, N-메틸-1-아미노부탄-2-올, N-에틸-1-아미노부탄-2-올, 2-아미노부탄-1-올, N-메틸-2-아미노부탄-1-올, N-에틸-2-아미노부탄-1-올, 3-아미노부탄-1-올, N-메틸-3-아미노부탄-1-올, N-에틸-3-아미노부탄-1-올, 1-아미노부탄-4-올, N-메틸-1-아미노부탄-4-올, N-에틸-1-아미노부탄-4-올, 1-아미노-2-메틸프로판-2-올, 2-아미노-2-메틸프로판-1-올, 1-아미노펜탄-4-올, 2-아미노-4-메틸펜탄-1-올, 2-아미노헥산-1-올, 3-아미노헵탄-4-올, 1-아미노옥탄-2-올, 5-아미노옥탄-4-올, 1-아미노프로판-2,3-디올, 2-아미노프로판-1,3-디올, 트리스(옥시메틸)아미노메탄, 1,2-디아미노프로판-3-올, 1,3-디아미노프로판-2-올 및 2-(2-아미노에톡시)에탄올 등의 지방족 알칸올아민일 수 있다.Non-limiting examples of the above alkanol amines include monomethanolamine, monoethanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, N-propylethanolamine, N-butylethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, isopropanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, N-methylisopropanolamine, N-ethylisopropanolamine, N-propylisopropanolamine, 2-aminopropan-1-ol, N-methyl-2-aminopropan-1-ol, N-ethyl-2-aminopropan-1-ol, 1-aminopropan-3-ol, N-methyl-1-aminopropan-3-ol, N-ethyl-1-aminopropan-3-ol, 1-aminobutan-2-ol, N-Methyl-1-aminobutan-2-ol, N-Ethyl-1-aminobutan-2-ol, 2-Aminobutan-1-ol, N-Methyl-2-aminobutan-1-ol, N-Ethyl-2-aminobutan-1-ol, 3-Aminobutan-1-ol, N-Methyl-3-aminobutan-1-ol, N-Ethyl-3-aminobutan-1-ol, 1-Aminobutan-4-ol, N-Methyl-1-aminobutan-4-ol, N-Ethyl-1-aminobutan-4-ol, 1-Amino-2-methylpropan-2-ol, 2-Amino-2-methylpropan-1-ol, 1-Aminopentan-4-ol, 2-Amino-4-methylpentan-1-ol, 2-Aminohexan-1-ol, 3-Aminoheptan-4-ol, 1-Aminooctan-2-ol, 5-Aminooctan-4-ol, It may be an aliphatic alkanolamine such as 1-aminopropane-2,3-diol, 2-aminopropane-1,3-diol, tris(oxymethyl)aminomethane, 1,2-diaminopropan-3-ol, 1,3-diaminopropan-2-ol, and 2-(2-aminoethoxy)ethanol.

일 예로, 상기 알칸올아민은 메탄올기(HO-CH2-*) 또는 에탄올기(HO-CH2CH2-*)를 포함하는 것이 좋다.For example, it is preferable that the alkanolamine contains a methanol group (HO-CH 2 -*) or an ethanol group (HO-CH 2 CH 2 -*).

상기 폴리 아민의 비한정적인 일 예로는, 에틸렌디아민, 프로필렌디아민, 부틸렌디아민, 트리메틸렌디아민, 테트라메틸렌디아민, 1,3-디아미노부탄, 2,3-디아미노부탄, 펜타메틸렌디아민, 2,4-디아미노펜탄, 헥사메틸렌디아민, 헵타메틸렌디아민, 옥타메틸렌디아민, 노나메틸렌디아민, N-메틸에틸렌디아민, N,N-디메틸에틸렌디아민, 트리메틸에틸렌디아민, N-에틸에틸렌디아민, N,N-디에틸에틸렌디아민, 트리에틸에틸렌디아민, 1,2,3-트리아미노프로판, 트리스(2-아미노에틸)아민, 테트라(아미노메틸)메탄, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라민, 테트라에틸렌펜타아민, 헵타에틸렌옥타아민 및 노나에틸렌데카아민 등일 수 있다.Non-limiting examples of the above polyamines include ethylenediamine, propylenediamine, butylenediamine, trimethylenediamine, tetramethylenediamine, 1,3-diaminobutane, 2,3-diaminobutane, pentamethylenediamine, 2,4-diaminopentane, hexamethylenediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, N-methylethylenediamine, N,N-dimethylethylenediamine, trimethylethylenediamine, N-ethylethylenediamine, N,N-diethylethylenediamine, triethylethylenediamine, 1,2,3-triaminopropane, tris(2-aminoethyl)amine, tetra(aminomethyl)methane, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentaamine, heptaethyleneoctaamine, and nonaethylenedecaamine.

일 예로, 상기 폴리 아민은 적어도 3개 이상의 아미노기를 포함하는 것이 좋다.For example, it is preferred that the polyamine contain at least three amino groups.

일 예로, 상기 폴리 아민은 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라민, 테트라에틸렌펜타아민, 헵타에틸렌옥타아민 및 노나에틸렌데카아민 등에서 선택되는 하나 또는 둘이상이 좋다.For example, the polyamine is preferably one or more selected from diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentaamine, heptaethyleneoctaamine, and nonaethylenedecaamine.

상술한 바와 같이, 상기 아민계 화합물은 상기 알칸올 아민 및 폴리 아민의 혼합물일 수 있다. 이때, 상기 알칸올 아민 1 중량부를 기준으로, 상기 폴리 아민을 0.1 내지 5 중량부로 혼합한 혼합물일 수 있다.As described above, the amine compound may be a mixture of the alkanol amine and the polyamine. In this case, the mixture may be a mixture in which 0.1 to 5 parts by weight of the polyamine is mixed based on 1 part by weight of the alkanol amine.

일 예로, 상기 아민계 화합물은 알칸올 아민(A)과 폴리 아민(B)의 혼합물로서, 1:0.1 내지 1:3의 중량비(A:B)로 혼합된 것일 수있다.For example, the amine compound may be a mixture of an alkanol amine (A) and a polyamine (B), mixed at a weight ratio (A:B) of 1:0.1 to 1:3.

일 예로, 상기 아민계 화합물은 알칸올 아민(A)과 폴리 아민(B)의 혼합물로서, 1:0.3 내지 1:2의 중량비(A:B)로 혼합된 것일 수있다.For example, the amine compound may be a mixture of an alkanol amine (A) and a polyamine (B), mixed at a weight ratio (A:B) of 1:0.3 to 1:2.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 칼라 레지스트의 용해력을 향상시키고, 약액의 안정도를 높이는 측면에서 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물을 더 포함할 수 있다. 또한, 경화되지 않은 칼라 레지스트의 제거에 효과적이기 때문에, 현상공정 후 세정단계, 또는 칼라 필터의 코팅을 위해 사용된 유기 절연막을 제거하는 단계, 등에 유용할 수 있다.The stripping agent composition for a color filter according to one embodiment of the present invention may further include an alkylene glycol alkyl ether compound in order to improve the solubility of the color resist and increase the stability of the solution. In addition, since it is effective in removing uncured color resist, it may be useful in a cleaning step after a developing process, a step of removing an organic insulating film used for coating a color filter, etc.

상기 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물은 통상의 것이라면 제한되지는 않으며, 표면장력의 저하를 위해 분자내에 에테르기와 수산기를 포함하며, 물과 혼합될 수 있는 것이라면 좋다.The above alkylene glycol alkyl ether compound is not limited as long as it is a conventional one, and it is preferable if it contains an ether group and a hydroxyl group in the molecule to reduce surface tension and can be mixed with water.

상기 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물은 모노알킬렌글리콜리콜 모노알킬에테르, 디알킬렌글리콜 모노알킬에테르 및 트리알킬렌글리콜 모노알킬에테르 등에서 선택되는 것일 수 있다. 상기 알킬렌 또는 알킬은 탄소수 1 내지 4인 것일 수 있다.The above alkylene glycol alkyl ether compound may be selected from monoalkylene glycol monoalkyl ether, dialkylene glycol monoalkyl ether, and trialkylene glycol monoalkyl ether. The alkylene or alkyl may have 1 to 4 carbon atoms.

일 예로, 상기 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물은 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 트리프로필글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 트리에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 트리프로필글리콜 모노에틸에테르, 에틸렌글리콜 모노프로필에테르, 디에틸렌글리콜 모노프로필에테르, 트리에틸렌글리콜 모노프로필에테르, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르, 디프로필렌글리콜 모노프로필에테르, 트리프로필글리콜 모노프로필에테르, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 트리에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 프로필렌글리콜 모노부틸에테르, 디프로필렌글리콜 모노부틸에테르 및 트리프로필글리콜 모노부틸에테르 등; 및 에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 트리에틸렌글리콜 디메틸에테르, 프로필렌글리콜 디메틸에테르, 디프로필렌글리콜 디메틸에테르, 트리프로필글리콜 디메틸에테르, 에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 트리에틸렌글리콜 디에틸에테르, 프로필렌글리콜 디에틸에테르, 디프로필렌글리콜 디에틸에테르, 트리프로필글리콜 디에틸에테르, 에틸렌글리콜 디프로필에테르, 디에틸렌글리콜 디프로필에테르, 트리에틸렌글리콜 디프로필에테르, 프로필렌글리콜 디프로필에테르, 디프로필렌글리콜 디프로필에테르, 트리프로필글리콜 디프로필에테르, 에틸렌글리콜 디부틸에테르, 디에틸렌글리콜 디부틸에테르, 트리에틸렌글리콜 디부틸에테르, 프로필렌글리콜 디부틸에테르, 디프로필렌글리콜 디부틸에테르 및 트리프로필글리콜 디부틸에테르 등;에서 선택되는 하나 또는 둘이상일 수 있다.For example, the alkylene glycol alkyl ether compound is selected from the group consisting of ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropyl glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, tripropyl glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, triethylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, tripropyl glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, and tripropyl glycol monobutyl ether; And ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, tripropyl glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, triethylene glycol diethyl ether, propylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, tripropyl glycol diethyl ether, ethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, triethylene glycol dipropyl ether, propylene glycol dipropyl ether, dipropylene glycol dipropyl ether, tripropyl glycol dipropyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, triethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol dibutyl ether, dipropylene glycol dibutyl ether, and tripropyl glycol dibutyl ether; one or more selected from the above.

또한, 상기 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물은 조성물 총 중량을 기준으로, 3 내지 30중량%로 포함될 수 있고, 구체적으로 3 내지 25중량%, 보다 구체적으로 5 내지 20중량%로 포함될 수 있다.In addition, the alkylene glycol alkyl ether compound may be included in an amount of 3 to 30 wt%, specifically 3 to 25 wt%, and more specifically 5 to 20 wt%, based on the total weight of the composition.

본 발명의 일 실시예에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 비이온성 계면활성제를 더 포함하는 것일 수 있다. 상기 비이온성 계면활성제는 소수성의 층간 유기 절연막에 대해 젖음성을 증가시켜, 칼라 레지스트 제거 후 기판 등에 대한 표면얼룩을 방지하기 위해서 사용할 수 있다.The stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention may further include a nonionic surfactant. The nonionic surfactant can be used to increase wettability for a hydrophobic interlayer organic insulating film, thereby preventing surface stains on a substrate or the like after color resist removal.

상기 비이온성 계면활성제는 통상의 것이라면 제한되지는 않으며, 폴리옥시에틸렌 알킬 에테르형, 폴리옥시에틸렌 알킬페닐 에테르형, 폴리옥시에틸렌 폴리옥시프로필렌 알킬 에테르형, 폴리옥시에틸렌 폴리옥시부틸렌 알킬 에테르형, 폴리옥시에틸렌 알킬아미노 에테르형, 폴리옥시에틸렌 알킬아미도 에테르형, 폴리에틸렌 글리콜 지방산 에스테르형, 솔비탄 지방산 에스테르형, 폴리옥시에틸렌솔비탄지방산에스테르형, 글리세린 지방산 에스테르형, 알키롤아미드형 및 글리세린 에스테르형 등에서 선택되는 것일 수 있다.The above nonionic surfactant is not limited as long as it is a conventional one, and may be selected from polyoxyethylene alkyl ether type, polyoxyethylene alkylphenyl ether type, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ether type, polyoxyethylene polyoxybutylene alkyl ether type, polyoxyethylene alkylamino ether type, polyoxyethylene alkylamido ether type, polyethylene glycol fatty acid ester type, sorbitan fatty acid ester type, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester type, glycerin fatty acid ester type, alkyrolamide type, and glycerin ester type.

또한, 상기 비이온성 계면활성제는 조성물 총 중량에 대하여, 0.01 내지 5 중량%로 포함될 수 있다.Additionally, the nonionic surfactant may be included in an amount of 0.01 to 5 wt% based on the total weight of the composition.

또한, 본 발명의 일 실시에에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물에 있어서, 알킬암모늄 하이드록시드 등의 암모늄계 유기염기를 더 포함하는 것 역시 본 발명의 일 양태로 할 수 있다. 이의 경우, 상기 액약 내 안정성을 확보하기 위한 측면에서 무기염기에 대하여 첨가제의 사용량으로 첨가될 수 있다.In addition, in the stripping composition for a color filter according to one embodiment of the present invention, it may also be an aspect of the present invention to further include an ammonium-based organic base such as alkyl ammonium hydroxide. In this case, the amount of additive may be added to the inorganic base in order to secure stability in the liquid.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물은 액정표시장치 칼라 필터의 경화된 RGB 칼라 레지스트 패턴의 제거에 사용되어 칼라 레지스트를 단시간 내 효과적으로 제거할 수 있음은 물론 금속배선은 물론 기판을 보호하여 이들의 부식 또는 손상을 획기적으로 억제할 수 있다. 또한, 유기 절연막에 대한 박리력 및 린스력이 뛰어나 이들을 동시에 제거하는 데 효과적일 수 있다. 즉, 본 발명에 따르면 강알칼리성의 칼라 필터용 박리액 조성물에 의한 기판 손상을 감소시키고, 칼라 필터에서 불량이 발생된 경우, 빠른 시간 내에 불량면을 제거할 수 있다.As described above, the stripping composition for a color filter according to the present invention can be used to remove a cured RGB color resist pattern of a color filter of a liquid crystal display device, and can effectively remove the color resist in a short period of time, and can protect not only metal wiring but also a substrate, thereby dramatically suppressing corrosion or damage thereof. In addition, since it has excellent stripping and rinsing powers for an organic insulating film, it can be effective in removing them simultaneously. That is, according to the present invention, damage to a substrate caused by a strongly alkaline stripping composition for a color filter is reduced, and when a defect occurs in a color filter, the defective surface can be removed in a short period of time.

따라서, 본 발명에 따르면 불량기판으로부터, TFT 배열기판을 효율적으로 재활용할 수 있어, 공정수율 향상과 원가 절감의 효과를 제공할 수 있어 좋다.Therefore, according to the present invention, a TFT array substrate can be efficiently recycled from a defective substrate, thereby providing the effects of improved process yield and cost reduction.

본 발명은 상술된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 경화된 칼라 레지스트를 박리하는 단계를 포함하는 것일 수 있다.The present invention may include a step of stripping a cured color resist using the above-described stripping composition for a color filter.

상기 박리하는 단계는 상술된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여 침적법 또는 분무법 등을 통해 기판 상에 형성된 칼라 레지스트, 즉 경화된 칼라 레지스트를 제거하는 단계일 수 있다.The above-described stripping step may be a step of removing the color resist, i.e., the cured color resist, formed on the substrate by a dipping method or a spraying method using the above-described stripping composition for color filters.

또한, 본 발명은 이와 같은 박리하는 단계를 포함하여, 박막 트랜지스터 배열기판을 재활용하는 방법을 제공한다. 이때, 상기 박막 트랜지스터 배열기판은 사용 후 폐기된 것일 수 있고, 불량으로 형성된 칼라 필터를 포함하는 것일 수 있다.In addition, the present invention provides a method for recycling a thin film transistor array substrate, including such a peeling step. At this time, the thin film transistor array substrate may be a discarded one after use and may include a color filter formed in a defective manner.

즉, 본 발명은 칼라 필터 공정에서 발생되는 불량 기판의 칼라 레지스트를 제거하여 상기 불량 기판을 재활용할 수 있는 방법을 제공할 수 있으며, 특히 높은 경화도를 가지는 아크릴계 수지, 노볼락계 페놀 수지 등의 유기 절연막을 포함하는 칼라 필터의 경우에서도 높은 제거 속도로 칼라 레지스트의 제거를 양호하게 완료할 수 있다.That is, the present invention can provide a method for recycling a defective substrate by removing the color resist of the defective substrate generated in the color filter process, and particularly, in the case of a color filter including an organic insulating film such as an acrylic resin or a novolak phenol resin having a high degree of curing, the color resist can be satisfactorily removed at a high removal speed.

일 예로, 경화된 칼라 레지스트를 제거하는 단계는 침적법, 분무법 등이 이용될 수 있다. 이때 침적, 분무의 수행온도는 크게 제한되지는 않으며, 15 내지 100 ℃에서 수행될 수 있고, 구체적으로는 40 내지 80 ℃에서 수행될 수 있다. 또한, 수행시간은 30 초 내지 40 분, 구체적으로는 1 분 내지 20 분일 수 있다. 본 명세서에서는 칼라 레지스트를 제거하는 단계의 수행시간이 10분 이내인 경우를 양호하게 완료하였다 판단한다.For example, a step of removing a hardened color resist may use a dipping method, a spraying method, etc. At this time, the temperature at which the dipping or spraying is performed is not particularly limited, and may be performed at 15 to 100°C, and specifically, may be performed at 40 to 80°C. In addition, the performing time may be 30 seconds to 40 minutes, and specifically, 1 minute to 20 minutes. In this specification, a step of removing a color resist is judged to have been successfully completed when the performing time is within 10 minutes.

이하 실시예를 통해 본 발명에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물 및 이를 이용한 박리 방법에 대하여 더욱 상세히 설명한다. 다만 하기 실시예는 본 발명을 상세히 설명하기 위한 하나의 참조일 뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 여러 형태로 구현될 수 있다. 또한 달리 정의되지 않은 한, 모든 기술적 용어 및 과학적 용어는 본 발명이 속하는 당업자 중 하나에 의해 일반적으로 이해되는 의미와 동일한 의미를 갖는다. 또한, 본 발명에서 설명에 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 효과적으로 기술하기 위함이고, 본 발명을 제한하는 것으로 의도되지 않는다.Hereinafter, the stripping composition for color filters and the stripping method using the same according to the present invention will be described in more detail through examples. However, the following examples are only a reference for describing the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto, and may be implemented in various forms. In addition, unless otherwise defined, all technical terms and scientific terms have the same meaning as generally understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, the terminology used in the description of the present invention is only for the purpose of effectively describing specific examples, and is not intended to limit the present invention.

(평가방법)(Evaluation method)

1.유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험1. Removal test of organic insulating film and color resist

하기 실시예 및 비교예로부터 제조된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험을 실시하였다.Using the stripping agent composition for color filters manufactured from the following examples and comparative examples, a removal test of an organic insulating film and a color resist was conducted.

구체적으로, 유기 절연막인 아크릴막을 포함하는 칼라 레지스트 감광제가 생성된 TFT-기판(Glass, 5㎝×5㎝)을 시편으로 하였다. 상기 시편을 75℃에서 각 칼라 필터용 박리액 조성물에 침지하여, 침지 초기에서부터 기판에서 유기 절연막 및 칼라 레지스트가 완전히 박리되기까지 소요되는 시간(min)을 광학현미경으로 관측하고, 그 결과를 하기 표3 및 도1 내지 도2에 도시하였다.Specifically, a TFT substrate (Glass, 5 cm × 5 cm) on which a color resist photosensitive agent including an acrylic film, which is an organic insulating film, was generated was used as a test piece. The test piece was immersed in a stripper composition for each color filter at 75°C, and the time (min) required from the beginning of immersion until the organic insulating film and the color resist were completely stripped from the substrate was observed using an optical microscope, and the results are shown in Table 3 and Figures 1 and 2 below.

유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험에 있어서, 이들의 제거 완료 시간의 바람직한 수치는 12분 이하일 수 있고, 보다 바람직한 수치는 10분 이하일 수 있다.In a removal test of an organic insulating film and a color resist, a preferable value of the time required for completion of their removal may be 12 minutes or less, and a more preferable value may be 10 minutes or less.

2.기판 손상 확인 시험(Glass)2. Test for damage to substrate (Glass)

하기 실시예 및 비교예로부터 제조된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 기판(Glass)에 손상을 미치는 정도를 정량적으로 평가하였다.The degree of damage to a substrate (glass) was quantitatively evaluated using the stripping agent composition for a color filter manufactured from the following examples and comparative examples.

구체적으로, Glass 위에 Poly ITO가 Patterning된 시편을 사용하였다. 각 시편은 60 분동안 실시예 또는 비교예 로부터 제조된 칼라 필터용 박리액 조성물에 침지한 후, 이를 초순수로 30 초동안 세정하고 질소로 10 초동안 건조하였다. 건조된 각 시편을 광학현미경 및 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 그 표면과 단면을 자세히 관찰하였다. 각 시편의 글라스(Glass)부식 정도를 정량적으로 알아보기 위해, 부식이 진행된 부분의 크기(nm)를 측정하고, 그 결과를 하기 표3 및 도3에 도시하였다.Specifically, specimens having Poly ITO Patterned on Glass were used. Each specimen was immersed in a stripping solution composition for color filters manufactured from Examples or Comparative Examples for 60 minutes, then washed with ultrapure water for 30 seconds and dried with nitrogen for 10 seconds. The surface and cross-section of each dried specimen were observed in detail using an optical microscope and a scanning electron microscope (SEM). In order to quantitatively determine the degree of glass corrosion of each specimen, the size (nm) of the corroded portion was measured, and the results are shown in Table 3 and Fig. 3 below.

기판 손상 확인 시험에 있어서, 바람직한 평가의 수치는 글라스 부식 30nm 이하일 수 있고, 보다 바람직한 수치는 글라스 부식 25nm 이하일 수 있다.In a substrate damage verification test, a desirable evaluation value may be glass corrosion of 30 nm or less, and a more desirable value may be glass corrosion of 25 nm or less.

3.기판 손상 확인 시험(하부막)3. Test for damage to the substrate (lower layer)

하기 실시예 및 비교예로부터 제조된 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 기판(하부막)에 손상을 미치는 정도를 정량적으로 평가하였다.The degree of damage to the substrate (substrate) was quantitatively evaluated using the stripping agent composition for color filters manufactured from the following examples and comparative examples.

구체적으로, 상기 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험에서 사용한 시편,즉 유기 절연막 및 칼라 레지스트가 제거된 시편을 사용하였다. 시편 각각을 동일한 조성의 새로운 칼라 필터용 박리액 조성물에 재침지하는 열악한 환경 조건에서 기판 손상 정도를 시험하였다. 이때, 각 시편은 60 분동안 실시예 또는 비교예로부터 제조된 칼라 필터용 박리액 조성물에 재침지한 후, 이를 초순수로 30 초동안 세정하고 질소로 10 초동안 건조하였다. 건조된 각 시편을 뒤짚어 하부막을 자세히 관찰하였다. 각 시편의 하부막의 부식 정도를 정량적으로 알아보기 위해 1x1cm 범위내에서 하부막 부식 개수를 정량하고 그 결과를 하기 표3 및 도1에 도시하였다.Specifically, the specimens used in the removal test of the organic insulating film and the color resist, i.e., the specimens from which the organic insulating film and the color resist were removed, were used. The degree of substrate damage was tested under harsh environmental conditions by re-immersing each specimen in a new stripper composition for color filters having the same composition. At this time, each specimen was re-immersed in the stripper composition for color filters prepared from the examples or comparative examples for 60 minutes, and then washed with ultrapure water for 30 seconds and dried with nitrogen for 10 seconds. Each dried specimen was turned over to closely observe the lower film. In order to quantitatively determine the degree of corrosion of the lower film of each specimen, the number of lower film corrosions was quantified within a range of 1x1 cm, and the results are shown in Table 3 and Fig. 1 below.

(실시예1 내지 실시예15)(Examples 1 to 15)

하기 표1에 기재된 함량으로서 각 성분을 혼합하여, 칼라 필터용 박리액 조성물(100g)을 제조하였다.A stripping composition (100 g) for a color filter was prepared by mixing each component in the amounts described in Table 1 below.

(표1)(Table 1)

(비교예1 내지 비교예12)(Comparative examples 1 to 12)

하기 표2에 기재된 함량으로서 각 성분을 혼합하여, 칼라 필터용 박리액 조성물(100g)을 제조하였다.A stripping composition (100 g) for a color filter was prepared by mixing each component in the contents described in Table 2 below.

(표2)(Table 2)

(표3)(Table 3)

상기 표3에서 전술한 금속염의 유무에 따른 효과를 살펴보면, 실시예1 내지 실시예15의 경우 모두에서 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 완료 시간이 10분 이내로 확인되어, 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험에 양호함을 보였다. 또한, 글라 의 부식 크기가 25 nm 이하로 확인되었으며, 하부막 결함이 전혀 확인되지 않았다.When examining the effect according to the presence or absence of the metal salt mentioned in Table 3 above, in all cases of Examples 1 to 15, the time for completing the removal of the organic insulating film and the color resist was confirmed to be within 10 minutes, showing good results in the removal test of the organic insulating film and the color resist. In addition, the corrosion size of the glass was confirmed to be 25 nm or less, and no defects in the lower film were confirmed at all.

반면, 전술한 금속염을 포함하지 않는 비교예1 및 비교예6의 경우 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 완료 시간이 10분을 초과함은 물론 글라스 부식의 크기도 현저하였다. 특히, 하부막 결함 개수가 확연히 증가하였다. 또한, 칼륨염을 포함하는 비교예11 및 비교예12의 경우 역시 글라스 및 하부막의 부식 억제에 효과적이지 않았다.On the other hand, in the case of Comparative Examples 1 and 6 that do not include the aforementioned metal salt, the time required to complete the removal of the organic insulating film and the color resist exceeded 10 minutes, and the size of the glass corrosion was also significant. In particular, the number of defects in the lower film significantly increased. In addition, in the case of Comparative Examples 11 and 12 that include a potassium salt, they were also not effective in inhibiting corrosion of the glass and the lower film.

유기염기인 테트라메틸암모늄 하이드록사이드를 사용한 경우 박리공정 중 유기염기 분해에 의한 자극적인 냄새를 유발하였다. 또한, 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 시험에 있어서, 낮은 박리력을 보였다. 이에, 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 완료 시간이 양호하지 않았다.When tetramethylammonium hydroxide, an organic base, was used, an irritating odor was generated due to decomposition of the organic base during the stripping process. In addition, in the removal test of the organic insulating film and the color resist, low stripping power was observed. Accordingly, the time required to complete the removal of the organic insulating film and the color resist was not good.

상기 표3에서 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물의 유무에 따른 효과를 살펴보면, 보다 빠른 유기 절연막 및 칼라 레지스트의 제거 완료 시간을 만족시킬 수 있음을 확인하였다. 이는 알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물에 의해, 유기 절연막 및 칼라 레지스트에 대한 젖음성을 증가시켜 제거 성능이 향상됨에 따른 것이라 할 수 있다.When examining the effect according to the presence or absence of the alkylene glycol alkyl ether compound in Table 3 above, it was confirmed that a faster organic insulating film and color resist removal completion time could be satisfied. This can be said to be because the alkylene glycol alkyl ether compound increases the wettability for the organic insulating film and color resist, thereby improving the removal performance.

하기 도1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여 박리공정을 수행하는 경우 칼라 레지스트는 물론 유기 절연막인 아크릴막을 단시간 내 충분히 제거할 수 있고, 기판의 표면과 단면에 손상을 거의 발생시키지 않음을 확인할 수 있었다. 반면, 하기 도2에 도시한 바와 같이, 비교예1의 경우 하부막 결함이 다수 발견되었다. 또한, 하기 도3에 도시한 바와 같이, 비교예1의 경우 글라스 부식이 매우 컸다.As illustrated in the following Figure 1, when a stripping process is performed using the stripping composition for a color filter according to the present invention, it was confirmed that not only the color resist but also the acrylic film, which is an organic insulating film, can be sufficiently removed in a short period of time, and almost no damage occurs to the surface and cross-section of the substrate. On the other hand, as illustrated in the following Figure 2, in the case of Comparative Example 1, a large number of lower film defects were found. In addition, as illustrated in the following Figure 3, in the case of Comparative Example 1, glass corrosion was very significant.

종합하건대, 본 발명의 칼라 필터용 박리액 조성물은 칼라 레지스트의 박리력이 우수하고, 글라스 및 하부막의 부식억제 특성이 현저함에 따라, 칼라 필터의 재사용의 생산성을 보다 현저히 향상시킬 수 있음을 확인하였다. 또한, 칼라 레지스트의 박리력은 물론 현상공정 중에 야기될 수 있는 경화되지 않은 잔류의 칼라 레지스트에 대한 린스력이 뛰어나 칼라 필터의 코팅을 위해 사용된 유기 절연막을 제거하는데에도 유용하게 사용될 수 있다.In summary, it was confirmed that the stripping agent composition for color filters of the present invention can significantly improve the productivity of reuse of color filters because it has excellent stripping power of color resist and remarkable corrosion inhibition properties of glass and lower films. In addition, it can be usefully used for removing organic insulating films used for coating color filters because it has excellent stripping power of color resist as well as rinsing power for uncured residual color resist that may occur during the developing process.

이상과 같이 본 발명에서는 특정된 사항들과 한정된 실시예 및 비교예에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, the present invention has been described by specific matters and limited examples and comparative examples, but these have been provided only to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above examples, and those skilled in the art to which the present invention pertains can make various modifications and variations from this description.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the idea of the present invention should not be limited to the described embodiments, and all things that are equivalent or equivalent to the claims described below as well as the claims are included in the scope of the idea of the present invention.

Claims (12)

무기염기;
리튬염 및 아연염에서 선택되는 금속염;
알칸올 아민 및 폴리 아민에서 선택되는 아민계 화합물;
고리형 알코올계 화합물; 및
물;을 포함하고,
상기 무기염기는 수산화 나트륨, 수산화 칼륨 또는 이들의 조합이고,
상기 금속염은 리튬의 무기산염, 유기산염 또는 이들의 조합; 및 아연의 무기산염, 유기산염, 수산화물 또는 이들의 조합;에서 선택되는 하나 또는 둘 이상인, 칼라 필터용 박리액 조성물.
inorganic base;
Metal salts selected from lithium salts and zinc salts;
An amine compound selected from alkanol amines and polyamines;
Cyclic alcohol compounds; and
Containing water;
The above inorganic base is sodium hydroxide, potassium hydroxide or a combination thereof,
A stripping composition for a color filter, wherein the metal salt is one or more selected from an inorganic acid salt, an organic acid salt, or a combination thereof of lithium; and an inorganic acid salt, an organic acid salt, a hydroxide, or a combination thereof of zinc.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
총 중량을 기준으로,
상기 무기염기 1 내지 7중량%;
상기 금속염 0.01 내지 3중량%;
상기 아민계 화합물 5 내지 35중량%;
상기 고리형 알코올계 화합물 3 내지 20 중량%; 및
잔량의 물;을 포함하는 것인, 칼라 필터용 박리액 조성물.
In paragraph 1,
Based on total weight,
1 to 7 wt% of the above inorganic base;
0.01 to 3 wt% of the above metal salt;
5 to 35 wt% of the above amine compound;
3 to 20 wt% of the above cyclic alcohol compound; and
A stripping composition for a color filter, comprising a residual amount of water.
제 1항에 있어서,
상기 고리형 알코올계 화합물은,
하기 화학식1 및 화학식2로 표시되는 화합물에서 선택되는 적어도 하나인, 칼라 필터용 박리액 조성물:
[화학식1]
Figure 112019082976488-pat00010

[화학식2]
Figure 112019082976488-pat00011

상기 화학식1및 화학식2에서,
R1은 수소, 히드록시 또는 (C1-C4)알킬이고;
A는 -NR-, -S- 또는 -O-이며, 상기 R은 수소 또는 히드록시(C1-C5)알킬이고;
a, b 및 c는 서로 독립적으로 0 내지 5의 정수에서 선택되고, 상기 a 또는 b가 0의 정수인 경우 직접결합을 의미하고, 상기 c가 0의 정수인 경우 나머지 치환체 모두가 수소인 경우를 의미하고;
d 및 e는 서로 독립적으로 0 또는 1의 정수이고, 단 상기 d가 0의 정수인 경우 상기 A는 -NR-이고, 상기 R은 히드록시(C1-C5)알킬이고, 상기 e가 0의 정수인 경우 직접결합을 의미한다.
In paragraph 1,
The above cyclic alcohol compound is,
A stripping agent composition for a color filter, wherein at least one compound is selected from compounds represented by the following chemical formulas 1 and 2:
[Chemical formula 1]
Figure 112019082976488-pat00010

[Chemical formula 2]
Figure 112019082976488-pat00011

In the above chemical formulas 1 and 2,
R 1 is hydrogen, hydroxy or (C1-C4)alkyl;
A is -NR-, -S- or -O-, wherein R is hydrogen or hydroxy(C1-C5)alkyl;
a, b and c are independently selected from integers from 0 to 5, and when a or b is an integer of 0, it means a direct bond, and when c is an integer of 0, it means the case where all of the remaining substituents are hydrogen;
d and e are independently integers of 0 or 1, provided that when d is an integer of 0, A is -NR-, R is hydroxy(C1-C5)alkyl, and when e is an integer of 0, it means a direct bond.
제 1항에 있어서,
상기 고리형 알코올계 화합물은,
페놀, 크레졸, 크실레놀, 카테콜, 레조르시놀, 히드로퀴논, 피로갈롤, 벤젠트리올, 살리실알코올, 벤질알코올, 가스로디게닌, 페네틸알코올 및 티로솔에서 선택되는 방향족 고리형 알코올; 및
테트라히드로푸르푸릴알코올, 피롤리딘메탄올, 피롤리딘에탄올, 피페리딘메탄올 및 피페리딘에탄올에서 선택되는 지환족 고리형 알코올;에서 선택되는 하나 또는 둘이상인, 칼라 필터용 박리액 조성물.
In paragraph 1,
The above cyclic alcohol compound is,
An aromatic cyclic alcohol selected from phenol, cresol, xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, benzenetriol, salicyl alcohol, benzyl alcohol, gasrhodigenin, phenethyl alcohol and tyrosol; and
A stripping composition for a color filter, comprising one or more cyclic alcohols selected from tetrahydrofurfuryl alcohol, pyrrolidine methanol, pyrrolidine ethanol, piperidine methanol and piperidine ethanol.
제 1항에 있어서,
상기 아민계 화합물은,
상기 알칸올 아민 및 상기 폴리 아민의 혼합물인, 칼라 필터용 박리액 조성물.
In paragraph 1,
The above amine compound is,
A stripping composition for a color filter, which is a mixture of the above alkanol amine and the above poly amine.
제 7항에 있어서,
상기 혼합물은,
상기 알칸올 아민 1 중량부를 기준으로,
상기 폴리 아민 0.1 내지 5 중량부로 혼합한 혼합물인, 칼라 필터용 박리액 조성물.
In Article 7,
The above mixture is,
Based on 1 part by weight of the above alkanol amine,
A stripping agent composition for a color filter, which is a mixture containing 0.1 to 5 parts by weight of the above polyamine.
제 1항에 있어서,
알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물을 더 포함하는, 칼라 필터용 박리액 조성물.
In paragraph 1,
A stripping composition for a color filter, further comprising an alkylene glycol alkyl ether compound.
제 1항에 있어서,
비이온성 계면활성제를 더 포함하는, 칼라 필터용 박리액 조성물.
In paragraph 1,
A stripping composition for a color filter, further comprising a nonionic surfactant.
제 1항에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 경화된 칼라 레지스트를 박리하는 단계를 포함하는, 박리 방법.A stripping method comprising a step of stripping a cured color resist using a stripping composition for a color filter according to claim 1. 제 1항에 따른 칼라 필터용 박리액 조성물을 이용하여, 경화된 칼라 레지스트를 제거함으로써, 박막 트랜지스터 배열기판을 재활용하는 방법.A method for recycling a thin film transistor array substrate by removing a cured color resist using a stripping composition for a color filter according to claim 1.
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