KR102758502B1

KR102758502B1 - 수소검출센서

Info

Publication number: KR102758502B1
Application number: KR1020220081524A
Authority: KR
Inventors: 김기범; 정승환; 김재정; 추성일; 도형록; 정의수
Original assignee: 주식회사 엠엔텍; 덕우전자주식회사
Priority date: 2022-07-01
Filing date: 2022-07-01
Publication date: 2025-01-22
Anticipated expiration: 2042-07-01
Also published as: WO2024005488A1; KR20240003670A

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서는, 기판; 상기 기판의 상부에 배치되고 내부에 히터 및 온도센서를 포함하는 절연층; 상기 절연층 상면에 형성되고, 수소 흡착에 의하여 전기 저항이 가역적으로 변하는 촉매금속과 전이금속의 합금으로 이루어지는 수소감지부;를 포함하고, 상기 수소감지부는 제1 합금층 및 상기 제2 합금층 상부에 적층 형성되는 제2 합금층을 포함하되, 상기 제1 합금층의 전이금속과 제2 합금층의 전이금속은 상호 이종이다.

Description

수소검출센서{A HYDROGEN GAS SENSOR}

본 발명은 수소검출센서에 관한 것으로, 구체적으로는 수소가 금속에 침투 및 흡착 시 해리되면서 발생하는 저항변화를 이용하여 수소를 검출할 수 있는 수소검출센서에 관한 것이다.

최근 친환경 에너지에 대한 관심도가 높아지고 있는 상황에서 수소가 클린 에너지로서 가장 유망한 신재생 에너지 자원 중 하나로서 고려되고 있다.

그러나 수소는 화염속도가 가장 빨라서 공기 중에 소량이라도 누출되면 조그만 착화열에도 쉽게 폭발하는 치명적인 단점 때문에 화석연료와 같이 널리 이용되려면 수소 누출사고에 대한 안전을 보장할 수 있는 수소검출센서의 사용이 필연적이다.

특히, 수소 연료 자동차의 상용화가 가속화되면서 수소가스 폭발사고 위험을 방지하고 안전을 보장하기 위해서 필연적으로 사용되는 고감도 수소검출센서 개발에 대한 중요성이 더욱 커지고 있다.

수소검출센서는 수소가스를 검지하고 수소가스 농도에 비례하여 이에 상응하는 크기의 전기적 신호를 발생할 수 있는 트랜스듀서(transducer) 소자라고 할 수 있다.

특히, MEMS와 같은 실리콘 공정기술이 적용됨으로써 획기적인 센서기술의 진척이 이루어졌고, 마이크로 크기의 초소형 센서 플랫폼 제작, 높은 가스 감도와 빠른 반응속도 및 센서소자의 소비전력을 크게 감소시키는 등 많은 장점을 가진 다양한 방식의 수소검출센서가 제안되고 있다.

이중 나노 팔라듐 박막을 이용하여 수소의 흡착과 침투에 의한 저항 변화에 기초하여 수소의 농도를 검출할 수 있는 수소검출센서는 감지대상 가스에 대한 선택성, 민감도 및 반응속도가 우수하다는 장점이 있는 센서로서, 반응속도의 추가 향상에 대한 요구가 높아지고 있는 상황이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상술한 수소검출센서의 요구사항을 반영하기 위하여 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다.

종래 대비 수소감지 반응속도가 향상된 수소검출센서를 제공하는 것이다.

또한, 히터의 전력 효율이 개선된 수소검출센서를 제공하는 것이다.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.

상기 촉매금속은 팔라듐(Pd)을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제1 합금층의 전이금속은 니켈(Ni)을 포함하고, 상기 제2 합금층의 전이금속은 금(Au)을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제1 합금층은 복수 개의 합금라인이 미리 설정된 방향을 따라서 형성된 라인패턴이고, 상기 제2 합금층은 상기 복수 개의 합금라인 상부에 적층 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제2 합금층의 두께는 상기 제1 합금층의 두께보다 작도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제1 합금층의 두께는 10nm 이상 60nm 이하의 두께로 형성되고, 상기 제2 합금층은 1nm 이상 5nm 이하의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 기판의 하부가 미리 설정된 형상으로 식각되어 식각영역을 형성하는 것이 바람직하다.

상기 식각영역은 상기 기판의 일측 및 타측 사이의 중간부에 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서는 수소감지부로 Pd-Ni 합금 및 Pd-Au 합금을 함께 적용함으로써 고농도에서의 수소 감지 안정성을 담보하는 동시에 수소감지 반응속도를 함께 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

또한, 기판의 하부에 식각영역을 형성함으로써 히터에서 발생되는 열전도성을 개선함으로써 히터의 전력 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서의 단면을 간략히 도시한 도면이다.
도 2는 23℃ 환경 하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서와 종래 수소검출센서에서의 1% 수소농도에 대한 수소 반응속도를 비교 도시한 그래프이다.
도 3은 23℃ 환경 하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서와 종래 수소검출센서에서의 1% 수소농도에 대한 수소가스 제거 후 회복속도를 비교 도시한 그래프이다.
도 4는 23℃ 환경 하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서와 종래 수소검출센서에서의 4% 수소농도에 대한 수소 반응속도를 비교 도시한 그래프이다.
도 5는 23℃ 환경 하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서와 종래 수소검출센서에서의 4% 수소농도에 대한 수소가스 제거 후 회복속도를 비교 도시한 그래프이다.
도 6은 제1 합금층 형성에 대한 추가 실시예를 설명하기 위한 수소검출센서의 평면도이다.
도 7은 도 6의 A-A’부의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수소검출센서의 단면을 간략히 도시한 도면이다
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 수소검출센서에서 식각영역의 깊이에 따른 열전도 모델링 결과를 도시한 도면이다.
도 10은 도 9의 모델링 결과에 기초하여 산출된 열전도율의 그래프이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.

이하 본 발명에 따른 수소검출센서를 도 1 내지 도 10을 참조하여 설명하도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(100), 절연층(200) 및 수소감지부(300)를 포함하도록 구성된다.

기판(100)은 후술할 절연층(200) 및 수소감지부(300)를 지지해주는 구성으로, 다양한 재료 및 구조의 기판이 사용될 수 있고, 종이, 고분자, 글라스, 금속, 세라믹 등으로 이루어진 기판이 사용될 수 있으며, 특히 실리콘 기판인 것이 바람직하지만 그 재료 및 구조가 특별히 제한되지 않는다.

절연층(200)은 기판(100) 상에 형성되는 구성으로, 내부에 히터(210) 및 온도센서(220)를 포함하도록 구성될 수 있으며, 특히 히터(210)의 고온 발열시에도 화학적 변화가 적은 물질로 형성되는 것이 바람직하며, 이러한 절연층(200)은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정을 통하여 형성된 실리콘 질화막(Silicon Nitride)으로 형성될 수 있다.

상술한 바와 같이 절연층(200)은 내부에 전원 인가를 통하여 열을 발생시키는 히터(210) 및 수소검출센서의 온도를 검출하기 위한 온도센서(220)를 포함한다.

수소검출센서는 온도가 상승하면 반응 속도가 증가하고 감도가 낮아지는 등 온도 및 습도 등 외부 환경에 의한 영향을 받기 때문에 온도센서(220)에서 검출한 온도에 기초하여 히터(210)를 실시간 제어함으로써 사용 목적 및 환경에 따라 수소검출센서의 적절한 온도 유지가 가능하게 된다.

아울러 히터(210) 및 온도센서(220)와 기판(100) 간의 절연을 위하여, 히터(210), 온도센서(220)와 기판(100) 과의 계면에는 추가적인 절연층(120)을 마련하는 것이 바람직하다.

수소감지부(300)는 절연층(200) 상부에 형성되어 수소 농도에 따른 전기 저항을 측정하는 기능을 수행하는 구성이고, 수소감지부(300)의 단부에는 복수 개의 수소감지전극(미도시)이 배치될 수 있다.

이러한 수소감지전극은 수소감지부(300)와 접촉할 수 있도록 구성되며 도전성 물질, 예를 들면, 금속으로 형성될 수 있고 그 형상이나 구조가 특별히 제한되지 않는다.

상술한 수소감지전극 이외에 수소검출센서는 히터(210) 및 온도센서(220)와의 전기적 연결을 위한 온도센서 전극 및 히터 전극을 구비하는데, 이러한 온도센서 전극 및 히트 전극은 제어유닛과 전기적으로 도통되도록 구성된다.

특히 수소감지부(300)는 수소의 흡착량이 증가할수록 전기 저항이 변화하는 촉매금속 및 전이금속의 합금 물질로 형성될 수 있는데 촉매금속으로는 팔라듐(Pd), 백금(Pt) 등을 포함할 수 있고, 상기 전이금속으로는 촉매금속의 결정상 변태를 억제시킬 수 있는 니켈(Ni), 마그네슘(Mg), 금(Au) 등을 포함할 수 있다.

한편, 순수 팔라듐은 수소를 흡착하는 능력이 강하고 상기 팔라듐의 결정상 중 알파(α) 상은 수소의 흡착량에 비례하여 전기 저항이 가역적으로 변할 수 있어서 수소 검출 물질로 일반적으로 사용되고 있으나, 수소의 흡착량이 지나치게 증가하는 경우, 즉 4% 이상의 고농도 수소에 노출되는 경우에는 결정상이 베타(β) 상으로 변태되는 문제점이 있다.

상기 베타(β) 상의 팔라듐은 수소의 흡착량이 증가하는 경우 전기 저항이 일정한 값으로 수렴하는 특성을 가져서 수소 검출 물질로 사용될 수 없을 뿐만 아니라 알파(α) 상에서 베타(β) 상으로 변태될 때 부피 팽창을 수반하므로 가역적인 수소와의 반응에 의해 내부에 균열 또는 파단이 발생하여 수소 감지부(300)의 내구성 및 수명을 저하시키는 문제점이 있다.

따라서 수소감지부(300)는 촉매금속인 팔라듐과 전이금속인 니켈 또는 마그네슘의 합금으로 형성되는 것이 바람직하며, 이때 알파(α) 상의 팔라듐이 니켈이나 마그네슘과 합금화되는 경우 상변태가 억제되어 고농도의 수소에 노출되더라도 알파(α) 상에서 베타(β) 상으로 변태되는 것을 방지할 수 있고, 그 결과, 팔라듐과 니켈의 합금을 수소 검출 물질로 사용하는 경우 고농도의 수소를 감지할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 수소감지부(300)는 제1 합금층(310) 및 제1 합금층(310)의 상부에 적층 형성되는 제2 합금층(320)으로 구성된다.

이때 제1 합금층(310)은 상술한 바와 같이 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni)의 합금으로 이루어지고, 제2 합금층(320)은 팔라듐(Pd) 및 금(Au)의 합금으로 이루어지는 것이 바람직하다.

이는 수소감지부(300)로 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni) 합금 적용시 고농도 수소 감지 안정성은 높지만 추가적으로 수소감지 반응 속도를 향상시키기 위하여 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni)의 합금으로 이루어지는 제1 합금층(310) 상부에 팔라듐(Pd) 및 금(Au)의 합금으로 이루어진 제2 합금층(320)을 적층 형성하며, 여기에서 제2 합금층(320)은 continuous한 layer로 형성될 수 있으나, 랜덤한 island type의 layer로 형성되는 것도 가능할 것이다.

상술한 제2 합금층(320)의 추가 형성에 의한 효과를 확인하기 위하여 수소농도가 1%인 상황 및 수소농도가 4%인 상황에서 제2 합금층(320)을 적용한 경우와 적용하지 않은 경우의 수소감지부(300)의 저항 변화량, 반응시간 및 회복시간을 확인한 결과는 하기 <표 1>과 같다.

H₂ 농도	저항 변화량(Ω)			반응시간(s)			회복시간(s)
H₂ 농도	No.1	No.2	No.3	No.1	No.2	No.3	No.1	No.2	No.3
0.1%	1.3	1.7	0.6	55	25	55	100	60	5
0.3%	2.0	2.5	0.84	26	15.1	7.1	100	50	6
0.5%	2.5	3.1	1.17	18.5	9.4	3.7	85	45	8.6
1%	3.7	4.0	1.62	11	6.5	3.0	68	35	6.2
2%	5.1	5.5	2.29	9.0	4.6	2.1	59	28	4
3%	6.1	6.5	2.96	7.2	3.7	1.8	50	25	3.7
4%	7.0	7.4	3.23	5.6	3.4	1.0	45	20	3.5

상기 표 1에서, No.1은 상온(22~23℃) 하에서 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni)의 합금으로 구성된 제1 합금층(310)만 형성한 수소검출센서이고, No.2는 상온(22~23℃) 하에서 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni)의 합금으로 구성된 제1 합금층(310) 에 팔라듐(Pd) 및 금(Au)의 합금으로 이루어진 제2 합금층(320)을 추가 형성한 수소검출센서이고, No.3은 80℃ 하에서 팔라듐(Pd) 및 니켈(Ni)의 합금으로 구성된 제1 합금층(310) 에 팔라듐(Pd) 및 금(Au)의 합금으로 이루어진 제2 합금층(320)을 추가 형성한 수소검출센서이다.

상기 표 1에서 확인되는 바와 같이 제1 합금층(310) 상에 제2 합금층(320)을 추가 형성한 No.2 수소검출센서의 경우, 제1 합금층(310)만을 적용한 No.1 수소검출센서 대비 저항 변화량이 1% 이하의 수소 농도 하에서는 20 ~ 30% 상승한 것으로 확인되며, 1% 이상의 농도에서는 6 ~ 8% 상승한 것으로 확인되며, 이를 통하여 제2 합금층(320)을 적용할 경우 민감도(농도변화에 따른 신호변화)는 제2 합금층(320)을 적용하지 않은 경우 대비 유사하거나 다소 증가되는 것으로 파악된다.

또한 수소반응시간의 경우 No.2 수소검출센서가 No.1 수소검출센서 대비 40 ~ 50% 감소하고, 회복시간 또한 No.2 수소검출센서가 No.1 수소검출센서 대비 40 ~ 50% 감소한 것으로 확인된다.

상술한 내용은 23℃ 및 1%의 수소농도의 환경 하에서, 제1 합금층(310) 및 제2 합금층(320)을 함께 적용한 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서와 제1 합금층(310)만을 적용한 종래의 수소검출센서의 저항 변화량, 수소 반응속도 및 회복속도를 비교 도시한 도 2 및 도 3에서 확인할 수 있다.

아울러 도 4 및 도 5는 23℃ 환경 하에서 제1 합금층(310) 및 제2 합금층(320)을 함께 적용한 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서와 제1 합금층(310)만을 적용한 종래의 수소검출센서에서 4% 수소농도에 대한 저항 변화량, 수소 반응속도 및 회복속도를 비교한 그래프이며, 상술한 바와 같이 고농도의 수소 검출시에도 제1 합금층(310) 및 제2 합금층(320)을 함께 적용한 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서의 수소반응속도 및 회복속도가 제1 합금층(310)만을 적용한 종래의 수소검출센서 대비 감소함을 확인할 수 있다.

상기 내용들을 고려해 볼 때, 제1 합금층(310) 상부에 제2 합금층(320)을 적층 형성할 경우, 수소검출센서의 민감도의 저하가 발생하지 않는 동시에 반응속도가 2배 이상 개선된 것을 확인할 수 있다.

나아가 상온이 아닌 고온(80℃) 하에서의 제1 합금층(310) 상에 제2 합금층(320)을 추가 형성한 No.3 수소검출센서의 경우 제2 합금층(320)을 추가 형성하지 않은 수소검출센서 대비 저항 변화량은 55 ~ 65%가 상승한 것으로 확인되며, 반응시간 및 회복시간은 각각 50 ~ 60% 및 80 ~ 90%가 감소한 것으로 확인되며, 이를 통하여 상온 뿐만 아니라 고온 하에서도 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서의 성능이 종래 수소검출센서 대비 향상됨을 알 수 있다.

제2 합금층(320)의 두께는 제1 합금층(310)의 두께보다 작도록 형성되는 것이 바람직하며, 이때 제1 합금층(310)의 두께는 continuous한 박막이 이루어지는 가장 작은 두께인 10nm 이상 60nm 이하의 두께로 형성되고, 제2 합금층(320)의 두께는 1nm 이상 5nm 이하의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.

아울러 제2 합금층(320)의 경우 continuous한 레이어로 형성될 수 있으나 랜덤한 island type의 레이어로 형성하는 것도 가능하며, 미세입자 형태의 Ni-Au를 제1 합금층(310)의 상부에 흩뿌리는 과정을 통하여 제2 합금층(320)을 형성할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 수소검출센서는 도 1에 도시된 바와 같이 단일 면적의 박막으로 구성될 수 있으나, 반응성을 높이기 위하여 제1 합금층(310)을 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 얇은 선폭을 구비한 복수 개의 합금라인으로 구성된 라인패턴 또는 복수 개의 나노 와이어(Nano Wire) 패턴으로 형성하고, 제2 합금층(320)을 복수 개의 합금라인 상부에 적층 형성할 수 있다.

이때 제1 합금층(310)을 구성하는 합금라인의 일측 및 타측을 각각 다른 수소감지전극과 각각 연결되도록 구성하고, 이러한 복수 개의 합금 라인이 가급적 상호 단락되지 않도록 구성한다.

이 경우 제1 합금층(310)과 수소와 접촉할 수 있는 표면적이 넓어지게 되며, 즉 수소가 합금라인의 상면 및 측면으로 확산해 들어가기 때문에 수소에 의한 각 합금라인의 저항 변화가 작은 수소농도 하에서도 크게 나타나고 나아가 수소의 확산 속도도 빠르다는 효과가 있다.

또한 각 합금라인이 병렬로 배치되어 병렬저항으로써 기능하며, 이로 인하여 제1 합금층(310)의 전체저항은 하기 수식 1과 같이 산출되게 되므로, 제1 합금층(310) 형성 과정에서 한 두개의 합금라인이 끊어지거나 잘못 형성되더라도 전체 저항의 변화를 쉽게 읽을 수 있게 된다는 효과를 기대할 수 있다.

<수식 1>

1/R = 1/R₁ + 1/R₂ + 1/R₃ + 1/R₄ + … + 1/R_n

(여기에서 R은 제1 합금층의 전체 저항이고, R₁, R₂, R₃, R₄ … R_n은 각 합금라인의 개별 저항임)

한편, 상술한 절연층(200)의 히터(210)의 경우 전력의 공급에 의하여 발열되도록 구성되는데, 이때 히터(210)의 발열을 위한 전력 공급을 최소화하는 것이 중요하다.

이를 위하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 수소검출센서는 도 8에 도시된 바와 같이 기판(100)의 하부에 미리 설정된 형상으로 식각되어 식각영역(110)을 형성하도록 구성될 수 있다.

이러한 식각영역(110)은 기판(100)의 일측 및 타측 사이의 중간부에 형성되는 것이 바람직하며, 이러한 식각영역(110)에 의하여 수소검출센서의 전체적인 부피가 줄어들게 되고, 결국 수소감지부(300)의 열용량 및 열전도성이 줄어들고, 수소검출센서의 소자 바닥으로 소실되는 열을 감쇠시킴으로써 히터(210)의 열 효율을 개선할 수 있게 된다.

특히 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 식각영역(110)의 깊이가 깊어질수록 열효율이 개선되는 것으로 확인되며, 이를 통하여 수소검출센서의 전체적인 전력효율을 극대화할 수 있다.

아울러 본 발명에 따른 수소검출센서는, 수소감지부(300), 히터(210) 및 온도센서(220) 중 적어도 하나와 연결되어 수소감지부(300)의 전기적 저항 변화를 측정하고 분석하는 제어유닛을 더 포함할 수 있다.

이러한 제어유닛은 수소검출센서의 기판(100)과 일체로 형성될 수도 있으며, 또는 독립적으로 형성될 수도 있으며, 나아가 제어유닛의 일부 구성만을 독립적으로 형성하는 것도 가능할 것이다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

100: 기판
110: 식각영역
200: 절연층
210: 히터
220: 온도센서
300: 수소감지부
310: 제1 합금층
320: 제2 합금층

Claims

기판;
상기 기판의 상부에 배치되고 내부에 히터 및 온도센서를 포함하는 절연층; 및
상기 절연층 상면에 형성되고, 수소 흡착에 의하여 전기 저항이 가역적으로 변하는 촉매금속과 전이금속의 합금으로 이루어지는 수소감지부;
를 포함하고,
상기 수소감지부는 제1 합금층 및 상기 제1 합금층 상부에 적층 형성되는 제2 합금층을 포함하되, 상기 제1 합금층의 전이금속과 제2 합금층의 전이금속은 상호 이종인 것을 특징으로 하며,
상기 촉매금속은 팔라듐(Pd)을 포함하며,
상기 제1 합금층의 전이금속은 니켈(Ni)을 포함하고, 상기 제2 합금층의 전이금속은 금(Au)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소검출센서.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 합금층은 복수 개의 합금라인이 미리 설정된 방향을 따라서 형성된 라인패턴이고,
상기 제2 합금층은 상기 복수 개의 합금라인 상부에 적층 형성되는 것을 특징으로 하는 수소검출센서.
청구항 1에 있어서,
상기 제2 합금층의 두께는 상기 제1 합금층의 두께보다 작도록 형성되되,
상기 제1 합금층의 두께는 10nm 이상 60nm 이하의 두께로 형성되고,
상기 제2 합금층의 두께는 1nm 이상 5nm 이하의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 수소검출센서.
청구항 1에 있어서,
상기 기판의 하부가 미리 설정된 형상으로 식각되어 식각영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 수소검출센서.
청구항 4에 있어서,
상기 식각영역은 상기 기판의 일측 및 타측 사이의 중간부에 형성되는 것을 특징으로 하는 수소검출센서.
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