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KR102749635B1 - Flowmether and liquid flow controller including the same - Google Patents

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KR102749635B1
KR102749635B1 KR1020220093191A KR20220093191A KR102749635B1 KR 102749635 B1 KR102749635 B1 KR 102749635B1 KR 1020220093191 A KR1020220093191 A KR 1020220093191A KR 20220093191 A KR20220093191 A KR 20220093191A KR 102749635 B1 KR102749635 B1 KR 102749635B1
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KR
South Korea
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conduit
cooling element
detection unit
temperature detection
temperature
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정호연
홍표현
송종현
채준
전석환
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엠케이피 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 유량계는, 냉각 소자, 관로, 및 제1 내지 제3 온도 검출부들을 포함할 수 있다. 상기 관로는 내부 공간에 유체가 흐르고, 서로 연결된 제1 내지 제3 관로들을 포함할 수 있다. 상기 제1 관로는 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에 배치될 수 있다. 상기 제2 관로는 상기 냉각 소자와 중첩하여 상기 냉각 소자에 의해 냉각될 수 있다. 상기 제3 관로는 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 후방에 배치될 수 있다. 상기 제2 관로는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로에 비해 상대적으로 폭이 넓고 높이가 낮은 타원형의 형상을 가질 수 있다. A flow meter according to an embodiment of the present invention may include a cooling element, a conduit, and first to third temperature detectors. The conduit may include first to third conduits through which a fluid flows in an internal space and which are connected to each other. The first conduit may be arranged in front of the cooling element in a direction in which the fluid flows. The second conduit may overlap the cooling element and be cooled by the cooling element. The third conduit may be arranged in a rear of the cooling element in a direction in which the fluid flows. The second conduit may have an oval shape that is relatively wider and shorter than the first conduit and the third conduit.

Description

유량계 및 이를 포함하는 유량 제어 장치 {FLOWMETHER AND LIQUID FLOW CONTROLLER INCLUDING THE SAME}FLOWMETHER AND LIQUID FLOW CONTROLLER INCLUDING THE SAME

본 발명은 유량계 및 이를 포함하는 유량 제어 장치에 관한 것으로, 상세하게는 열교환 방식의 유량계 및 이를 포함하는 유량 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flow meter and a flow control device including the same, and more particularly, to a heat exchange type flow meter and a flow control device including the same.

반도체, 디스플레이, 바이오 공정에서 액체의 유량을 정밀하게 제어하기 위해 냉각 소자를 활용한 열교환 원리를 이용한 유량 제어 장치가 개발되고 있다. A flow control device that uses the heat exchange principle with a cooling element is being developed to precisely control the flow rate of liquid in semiconductor, display, and bio processes.

열교환 방식의 유량 제어 장치는 냉각 소자를 통해 유량 측정 대상인 유체가 흐르는 관로를 냉각시키고, 냉각 전의 관로의 온도와 냉각 후의 관로의 온도 차이를 이용하여 유량을 산출하고 제어한다. A heat exchange type flow control device cools a pipe through which a fluid, which is the target of flow measurement, flows through a cooling element, and calculates and controls the flow rate by using the temperature difference between the pipe before cooling and the pipe after cooling.

하지만, 비열이 낮은 액체가 관로에 흐르는 경우 액체가 충분히 냉각되지 않거나 냉각 소자의 효율 등의 이유로, 냉각 전후의 관로의 온도 변화가 상대적으로 작을 수 있다. 이로 인하여 유량 제어 장치는 유량 변화에 따른 분해능이 낮아져 성능 저하가 발생할 수 있다. However, when a liquid with low specific heat flows through a pipe, the temperature change in the pipe before and after cooling may be relatively small due to reasons such as insufficient cooling of the liquid or the efficiency of the cooling element. As a result, the resolution of the flow control device according to the change in flow rate may be reduced, resulting in a decrease in performance.

본 발명은 관로에 흐르는 유체의 냉각 효율을 향상하여 유량 측정 분해능과 정확도를 향상시킬 수 있는 유량계 및 유량 제어 장치를 제공하기 위한 것이다. The present invention provides a flow meter and a flow control device capable of improving the cooling efficiency of a fluid flowing in a pipe and thereby improving the resolution and accuracy of flow rate measurement.

본 발명의 실시예에 따른 유량계는, 냉각 소자, 관로, 제1 온도 검출부, 제2 온도 검출부, 및 제3 온도 검출부를 포함할 수 있다.A flow meter according to an embodiment of the present invention may include a cooling element, a conduit, a first temperature detection unit, a second temperature detection unit, and a third temperature detection unit.

상기 냉각 소자는, 전기적 신호에 의해 온도가 제어될 수 있다. The above cooling element can have its temperature controlled by an electrical signal.

상기 관로는 내부 공간에 유체가 흐를 수 있다. The above conduit can allow fluid to flow through its internal space.

상기 제1 온도 검출부는, 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에서 상기 관로의 온도를 검출할 수 있다. The above first temperature detection unit can detect the temperature of the pipe in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows.

상기 제2 온도 검출부는, 상기 냉각 소자의 온도를 검출할 수 있다. The above second temperature detection unit can detect the temperature of the cooling element.

상기 제3 온도 검출부는 상기 냉각 소자에 의해 냉각된 상기 관로의 온도를 검출할 수 있다.The above third temperature detection unit can detect the temperature of the pipe cooled by the cooling element.

상기 관로는, 제1 내지 제3 관로를 포함할 수 있다.The above conduit may include first to third conduits.

상기 제1 관로는 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에 배치될 수 있다.The above first conduit may be arranged in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows.

상기 제2 관로는 상기 제1 관로와 연결되고, 상기 냉각 소자와 중첩하여 상기 냉각 소자에 의해 냉각될 수 있다.The above second conduit is connected to the above first conduit and overlaps the cooling element so that it can be cooled by the cooling element.

상기 제3 관로는 상기 제2 관로와 연결되고, 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 후방에 배치될 수 있다.The third conduit may be connected to the second conduit and may be positioned at the rear of the cooling element in the direction in which the fluid flows.

상기 냉각 소자의 일면에 수직한 높이 방향에서 바라볼 때 상기 제2 관로의 적어도 일부는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로 보다 큰 폭을 가질 수 있다.When viewed in a height direction perpendicular to one surface of the cooling element, at least a portion of the second conduit may have a wider width than the first conduit and the third conduit.

상기 제2 관로의 단면의 장축은 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 장축보다 클 수 있다.The major axis of the cross-section of the second conduit may be longer than the major axes of the first conduit and the third conduit.

상기 제2 관로는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로 보다 상기 높이 방향으로 작은 높이를 가질 수 있다.The second conduit may have a smaller height in the height direction than the first conduit and the third conduit.

상기 제1 관로, 상기 제2 관로, 및 상기 제3 관로는 서로 동일한 단면적을 가질 수 있다.The above first conduit, the above second conduit, and the above third conduit may have the same cross-sectional area.

본 발명의 실시예에서, 제1 연결 관로 및 제2 연결 관로를 더 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, a first connecting conduit and a second connecting conduit may be further included.

상기 제1 연결 관로는 상기 제1 관로와 상기 제2 관로를 연결할 수 있다.The above first connecting pipe can connect the above first pipe and the above second pipe.

상기 제2 연결 관로는 상기 제2 관로와 상기 제3 관로를 연결할 수 있다.The above second connecting pipe can connect the above second pipe and the above third pipe.

상기 제1 연결 관로와 상기 제2 연결 관로는 상기 냉각 소자와 중첩하지 않을 수 있다.The above first connecting pipe and the above second connecting pipe may not overlap the cooling element.

상기 높이 방향에서 바라볼 때 상기 제1 연결 관로는 상기 제1 관로로부터 멀어질수록 증가하는 폭을 가질 수 있다.When viewed from the height direction, the first connecting pipe may have a width that increases as it moves away from the first pipe.

상기 높이 방향에서 바라볼 때 상기 제2 연결 관로는 상기 제3 관로로부터 멀어질수록 증가하는 폭을 가질 수 있다.When viewed from the height direction, the second connecting pipe may have a width that increases as it moves away from the third pipe.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 연결 관로와 상기 제2 연결 관로는 상기 제1 관로와 상기 제3 관로 보다 상기 높이 방향으로 작은 높이를 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first connecting pipe and the second connecting pipe may have a smaller height in the height direction than the first pipe and the third pipe.

상기 제1 연결 관로와 상기 제2 연결 관로는 상기 제2 관로 보다 상기 높이 방향으로 큰 높이를 가질 수 있다.The above first connecting pipe and the above second connecting pipe may have a greater height in the height direction than the above second pipe.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최상단들은 상기 제2 관로의 최상단 보다 높게 위치할 수 있다.In an embodiment of the present invention, when viewed in a direction parallel to the one surface of the cooling element, the uppermost ends of the first conduit and the third conduit may be positioned higher than the uppermost end of the second conduit.

상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최하단들은 상기 제2 관로의 최하단과 동일한 높이에서 위치할 수 있다.When viewed in a direction parallel to the one surface of the cooling element, the lowermost ends of the first conduit and the third conduit can be positioned at the same height as the lowermost end of the second conduit.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최하단들은 상기 제2 관로의 최하단 보다 낮게 위치할 수 있다.In an embodiment of the present invention, when viewed in a direction parallel to the one surface of the cooling element, the lowermost ends of the first conduit and the third conduit may be positioned lower than the lowermost end of the second conduit.

상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최상단들은 상기 제2 관로의 최상단과 동일한 높이에서 위치할 수 있다.When viewed in a direction parallel to the one surface of the cooling element, the uppermost portions of the first conduit and the third conduit can be positioned at the same height as the uppermost portion of the second conduit.

본 발명의 실시예에서, 상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최상단들은 상기 제2 관로의 최상단 보다 높게 위치할 수 있다.In an embodiment of the present invention, when viewed in a direction parallel to the one surface of the cooling element, the uppermost ends of the first conduit and the third conduit may be positioned higher than the uppermost end of the second conduit.

상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때 상기 제1 관로 및 제3 관로의 최하단들은 상기 제2 관로의 최하단 보다 낮게 위치할 수 있다.When viewed in a direction parallel to the one surface of the cooling element, the lowermost ends of the first and third conduits may be positioned lower than the lowermost end of the second conduit.

본 발명의 실시예에서, 상기 제2 관로의 내벽에 복수의 돌기부가 제공될 수 있다.In an embodiment of the present invention, a plurality of protrusions may be provided on the inner wall of the second conduit.

상기 돌기부는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 내벽에 제공되지 않을 수 있다.The above protrusions may not be provided on the inner walls of the first conduit and the third conduit.

본 발명의 실시예에서, 상기 제2 관로의 내벽에 복수의 홈이 제공될 수 있다.In an embodiment of the present invention, a plurality of grooves may be provided on the inner wall of the second conduit.

상기 홈은 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 내벽에 제공되지 않을 수 있다.The above home may not be provided on the inner walls of the first conduit and the third conduit.

본 발명의 실시예에서, 상기 제1 내지 제3 온도 검출부들의 측정 값을 활용하여 상기 유체의 유량을 산출하는 제어부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a control unit may further be included that calculates the flow rate of the fluid by utilizing the measurement values of the first to third temperature detection units.

상기 제어부는 상기 제1 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이의 제1 거리 값을 기초로 상기 제1 온도 검출부의 측정 값을 보상한 제1 보상 온도를 산출할 수 있다.The control unit can calculate a first compensation temperature that compensates for the measurement value of the first temperature detection unit based on the first distance value between the first temperature detection unit and the cooling element.

상기 제어부는 상기 제3 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이의 제2 거리 값을 기초로 상기 제3 온도 검출부의 측정 값을 보상한 제2 보상 온도를 산출할 수 있다.The above control unit can calculate a second compensation temperature that compensates for the measurement value of the third temperature detection unit based on the second distance value between the third temperature detection unit and the cooling element.

상기 제어부는 상기 제1 보상 온도와 상기 제2 온도 검출부의 측정 값의 차이 값을 이용하여 상기 냉각 소자의 온도를 제어할 수 있다.The above control unit can control the temperature of the cooling element by using the difference value between the first compensation temperature and the measurement value of the second temperature detection unit.

상기 제어부는 상기 제2 보상 온도와 상기 제2 온도 검출부의 측정 값의 차이 값을 이용하여 유량을 산출할 수 있다.The above control unit can calculate the flow rate using the difference value between the second compensation temperature and the measurement value of the second temperature detection unit.

본 발명의 실시예에서, 상기 제2 관로의 일부분의 온도를 검출하는 제4 온도 검출부와 상기 제1 내지 제4 온도 검출부들의 측정 값을 활용하여 상기 유체의 유량을 산출하는 제어부를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the invention may further include a fourth temperature detection unit that detects the temperature of a portion of the second conduit and a control unit that calculates the flow rate of the fluid by utilizing the measurement values of the first to fourth temperature detection units.

상기 제3 온도 검출부는 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 제2 관로 상에 상기 제4 온도 검출부의 후방에 이격되어 배치될 수 있다.The third temperature detection unit may be arranged behind the fourth temperature detection unit on the second pipe in the direction in which the fluid flows.

상기 제어부는 상기 제3 온도 검출부의 측정 값과 상기 제4 온도 검출부의 측정 값을 기초로 상기 제3 온도 검출부의 측정 값을 보간한 보간 온도를 산출할 수 있다.The above control unit can calculate an interpolated temperature by interpolating the measurement value of the third temperature detection unit based on the measurement value of the third temperature detection unit and the measurement value of the fourth temperature detection unit.

상기 제어부는 상기 제1 온도 검출부의 측정 값과 상기 제2 온도 검출부의 측정 값의 차이 값을 이용하여 상기 냉각 소자의 온도를 제어할 수 있다.The above control unit can control the temperature of the cooling element by using the difference value between the measurement value of the first temperature detection unit and the measurement value of the second temperature detection unit.

상기 제어부는 상기 제2 온도 검출부의 측정 값과 상기 보간 온도의 차이 값을 이용하여 유량을 산출 할 수 있다.The above control unit can calculate the flow rate using the difference value between the measured value of the second temperature detection unit and the interpolated temperature.

본 발명의 실시예에서, 상기 제1 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이에서 상기 제1 관로에 결합된 방열 부재를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a heat dissipation member coupled to the first conduit between the first temperature detection unit and the cooling element may be further included.

본 발명의 실시예에서, 상기 제1 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이에서 상기 제1 관로의 일부분에 방열성 물질이 도포되어 있을 수 있다.In an embodiment of the present invention, a heat-dissipating material may be applied to a portion of the first conduit between the first temperature detection unit and the cooling element.

본 발명의 실시예에 따른 유량계 및 유량 제어 장치에 의하면, 관로의 일부는 상대적으로 폭이 넓고 높이가 낮은 타원형의 형상을 가짐으로써 냉각되는 면적을 상대적으로 크게 갖고, 결과적으로 관로에 흐르는 유체의 냉각 효율을 향상하여 유량 측정 분해능과 정확도를 향상시킬 수 있다.According to the flow meter and the flow control device according to an embodiment of the present invention, a part of the conduit has an elliptical shape with a relatively wide width and low height, thereby having a relatively large cooled area, and as a result, the cooling efficiency of the fluid flowing in the conduit is improved, thereby improving the resolution and accuracy of the flow rate measurement.

본 발명의 실시예에 의하면, 냉각 소자와 중첩하는 제2 관로가 상대적으로 폭이 넓고 높이가 낮은 타원형의 형상을 가지므로 열전도층과 접촉면적이 넓어지고 냉각 효율이 향상될 수 있다. 따라서, 유체의 유량을 정밀하게 계측하고 높은 분해능과 정확도를 갖는 유량계를 제공할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, since the second conduit overlapping the cooling element has an elliptical shape with a relatively wide width and low height, the contact area with the heat-conducting layer is widened and the cooling efficiency can be improved. Accordingly, a flow meter that precisely measures the flow rate of a fluid and has high resolution and accuracy can be provided.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유량 제어 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 도 1의 유량계를 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 기판에 구비된 제어부와 온도 검출부를 도시한 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에서, 도 2의 I-I`선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에서, 도 2의 Ⅱ-Ⅱ`선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에서, 도 2의 Ⅲ-Ⅲ` 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 7 내지 9는 본 발명의 일 실시예에서, 도 2의 Ⅳ-Ⅳ` 선을 따라 절단한 단면도들이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에서, 도 2의 I-I`선을 따라 절단한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에서 도2의 Ⅱ-Ⅱ`선을 따라 절단한 단면도이다.
도 12는 도 10을 참조하여 설명한 제2 관로(135)의 변형례를 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에서, 도 2의 기판에 구비된 제어부와 온도 검출부를 도시한 블록도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에서, 도 1의 유량계를 도시한 도면이다.
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a flow control device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a drawing illustrating the flow meter of Figure 1.
Figure 3 is a block diagram illustrating a control unit and a temperature detection unit provided on the substrate of Figure 2.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line II` of FIG. 2 in one embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II` of FIG. 2 in one embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line Ⅲ-Ⅲ` of FIG. 2 in one embodiment of the present invention.
FIGS. 7 to 9 are cross-sectional views taken along line Ⅳ-Ⅳ` of FIG. 2 in one embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line II` of FIG. 2 in another embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line II-II` of FIG. 2 in another embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a drawing illustrating a modified example of the second conduit (135) described with reference to FIG. 10.
FIG. 13 is a block diagram illustrating a control unit and a temperature detection unit provided on the substrate of FIG. 2 in another embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a drawing illustrating the flow meter of FIG. 1 according to another embodiment of the present invention.

이하에서 설명되는 모든 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위해 예시적으로 나타낸 것이며, 여기에 설명된 실시 예들과 다르게 변형되어 다양한 실시 형태로 실시될 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 공지 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 구체적인 설명은 생략하도록 한다.All embodiments described below are provided as examples to help understand the present invention, and may be implemented in various embodiments by modifying the embodiments described herein. In addition, when describing the present invention, if it is determined that a specific description of a related known function or known component may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the specific description will be omitted.

첨부된 도면은 발명의 이해를 돕기 위해서 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있으며, 각 구성요소들에 참조번호를 기재할 때, 동일한 구성요소들에 대해서는 다른 도면에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표시하였다.The attached drawings are not drawn to scale to help understand the invention, and the dimensions of some components may be exaggerated. When reference numbers are given to each component, identical components are indicated with the same reference numerals as much as possible even when shown in different drawings.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속될 수 있지만, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 또 다른 구성 요소가 '연결', '결합' 또는 '접속'될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, when describing components of embodiments of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b), etc. may be used. These terms are only intended to distinguish the components from other components, and the nature, order, or sequence of the components are not limited by the terms. When it is described that a component is "connected," "coupled," or "connected" to another component, it should be understood that the component may be directly connected, coupled, or connected to the other component, but another component may also be "connected," "coupled," or "connected" between the component and the other component.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 발명에 대한 다양한 변형 실시 예들이 있을 수 있다. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations illustrated in the drawings are only the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all of the technical ideas of the present invention, so there may be various modified embodiments of the present invention.

그리고, 본 명세서 및 청구범위에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.In addition, the terms or words used in this specification and claims should not be limited to their usual or dictionary meanings, and should be interpreted as meanings and concepts that conform to the technical idea of the present invention based on the principle that the inventor can appropriately define the concept of the term in order to explain his or her own invention in the best way.

또한, 본 출원에서 사용된 단수의 표현은 문맥상 명백히 다른 것을 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Additionally, singular expressions used in this application include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유량 제어 장치를 도시한 개략도이다.FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a flow control device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 유량 제어 장치(10)는 유량계(100), 밸브(200), 및 입출력 관로(300)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the flow control device (10) may include a flow meter (100), a valve (200), and an input/output line (300).

입출력 관로(300)는 유량계 입력 관로(310), 유량계 출력 관로(320), 밸브 입력 관로(330), 및 밸브 출력 관로(340)를 포함할 수 있다.The input/output conduit (300) may include a flow meter input conduit (310), a flow meter output conduit (320), a valve input conduit (330), and a valve output conduit (340).

본 발명의 실시예에서, 유체는, 유량계(100), 밸브(200)를 순차적으로 통과하여 제어될 수 있다. 본 실시예에서, 유체는 입출력 관로(300) 내에서 제1 방향(DR1)을 따라 흐르는 것을 예시적으로 도시하였다. In an embodiment of the present invention, the fluid can be controlled to sequentially pass through the flow meter (100) and the valve (200). In this embodiment, the fluid is exemplarily shown to flow along the first direction (DR1) within the input/output conduit (300).

유량계 입력 관로(310)는 제1 방향(DR1)으로 유량계(100)의 전방에서 유량계(100)에 연결되어 유체가 유량계(100)로 흐르는 통로를 제공한다. The flow meter input conduit (310) is connected to the flow meter (100) in the front of the flow meter (100) in the first direction (DR1) to provide a passage through which the fluid flows into the flow meter (100).

유량계 출력 관로(320)는 제1 방향(DR1)으로 유량계(100)의 후방에서 유량계(100)에 연결되어 유량계(100)를 통과한 유체가 흐르는 통로를 제공한다. The flow meter output conduit (320) is connected to the flow meter (100) from the rear of the flow meter (100) in the first direction (DR1) to provide a passage through which the fluid passing through the flow meter (100) flows.

밸브 입력 관로(330)는 유량계 출력 관로(320)와 연결되고, 제1 방향(DR1)으로 밸브(200)의 전방에서 밸브(200)에 연결되어 유체가 밸브(200)로 흐르는 통로를 제공한다.The valve input conduit (330) is connected to the flow meter output conduit (320) and is connected to the valve (200) in front of the valve (200) in the first direction (DR1) to provide a passage for the fluid to flow into the valve (200).

밸브 출력 관로(340)는 제1 방향(DR1)으로 밸브(200)의 후방에서 밸브(200)에 연결되어 밸브(200)를 통과한 유체가 흐르는 통로를 제공한다. The valve output conduit (340) is connected to the valve (200) from the rear of the valve (200) in the first direction (DR1) to provide a passage through which the fluid passing through the valve (200) flows.

유량계(100)는 입력되는 유체의 온도 변화를 기초로 유량을 측정할 수 있다. 유량계(100)의 구체적인 내용은 후술된다.The flow meter (100) can measure the flow rate based on the temperature change of the input fluid. The specific details of the flow meter (100) will be described later.

밸브(200)는 유량계(100)로부터 측정된 유량을 기초로 유량을 정밀하게 제어할 수 있다. The valve (200) can precisely control the flow rate based on the flow rate measured from the flow meter (100).

밸브(200)는 솔레노이드 밸브 또는 압전 액추에이터를 포함할 수 있다. 밸브(200)는 인가된 전기 신호에 따라 유체가 흐르는 통로의 단면적을 제어함으로써 유량을 제어할 수 있다. The valve (200) may include a solenoid valve or a piezoelectric actuator. The valve (200) may control the flow rate by controlling the cross-sectional area of the passage through which the fluid flows according to an applied electric signal.

도 2는 도 1의 유량계를 도시한 도면이다.Figure 2 is a drawing illustrating the flow meter of Figure 1.

유량계(100)는 기판(110), 냉각 소자(120), 관로(130), 및 온도 검출부(140)를 포함할 수 있다.The flow meter (100) may include a substrate (110), a cooling element (120), a conduit (130), and a temperature detection unit (140).

기판(110)은 인쇄회로기판(printed circuit board)으로 제공되고, 기판(110)에는 냉각 소자(120), 전원 공급부, 및 제어부가 배치될 수 있다.The substrate (110) is provided as a printed circuit board, and a cooling element (120), a power supply unit, and a control unit can be placed on the substrate (110).

냉각 소자(120)는 전원 공급부로부터 전기 신호를 공급받아 온도 변화를 발생시킬 수 있다. 냉각 소자(120)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 이루는 평면에 평행한 판상으로 제공될 수 있다. The cooling element (120) can receive an electric signal from a power supply unit and generate a temperature change. The cooling element (120) can be provided in a plate shape parallel to a plane formed by the first direction (DR1) and the second direction (DR2).

본 발명의 실시예에서, 냉각 소자(120)는 펠티어 소자일 수 있다. 냉각 소자(120)는 기판(110)과 상대적으로 먼 일면과 기판(110)과 상대적으로 가까운 타면을 갖고, 인가된 전기 신호에 따라 냉각 소자(120)의 일면은 냉각될 수 있다. 냉각 소자(120)의 타면은 방열 부재(미도시)와 접촉되어 냉각 소자(120)의 타면에서 발생한 열은 방열 부재를 통해 방출될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the cooling element (120) may be a Peltier element. The cooling element (120) has one surface relatively far from the substrate (110) and the other surface relatively close to the substrate (110), and the one surface of the cooling element (120) may be cooled according to an applied electric signal. The other surface of the cooling element (120) may be in contact with a heat dissipation member (not shown), so that heat generated at the other surface of the cooling element (120) may be dissipated through the heat dissipation member.

본 실시예에서, 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 이루는 냉각 소자(120)의 상기 일면에 수직한 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의될 수 있다. In this embodiment, the direction perpendicular to the surface of the cooling element (120) formed by the first direction (DR1) and the second direction (DR2) can be defined as a third direction (DR3).

관로(130)의 내부 공간에는 유체가 흐를 수 있다.Fluid can flow in the internal space of the conduit (130).

관로(130)는 냉각 소자(120)를 가로지르도록 배치되어 냉각 소자(120)에 의해 적어도 일부 영역이 냉각될 수 있다.The conduit (130) is arranged to cross the cooling element (120) so that at least a portion of the area can be cooled by the cooling element (120).

관로(130)는 상대적으로 열전도성이 높은 금속 재질로 이루어질 수 있다.The conduit (130) may be made of a metal material having relatively high thermal conductivity.

관로(130)는 제1 관로(131), 제2 관로(133), 제3 관로(135), 제1 연결 관로(137), 및 제2 연결 관로(139)를 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 관로들(131, 133, 135)과 제1 및 제2 연결 관로들(137, 139)은 서로 연결되어 입력된 유체가 연속적으로 흐를 수 있는 통로를 제공하나 설명의 편의를 위해 구분하여 설명한다.The conduit (130) may include a first conduit (131), a second conduit (133), a third conduit (135), a first connection conduit (137), and a second connection conduit (139). The first to third conduits (131, 133, 135) and the first and second connection conduits (137, 139) are connected to each other to provide a passage through which the input fluid can flow continuously, but are described separately for convenience of explanation.

제1 관로(131)는 제1 방향(DR1)으로 냉각 소자(120)의 전방에 배치될 수 있다. 제1 관로(131)는 제1 방향(DR1)으로 연장되어 유체는 제1 관로(131) 내에서 제1 방향(DR1)으로 흐를 수 있다.The first conduit (131) can be arranged in front of the cooling element (120) in the first direction (DR1). The first conduit (131) extends in the first direction (DR1), so that the fluid can flow in the first direction (DR1) within the first conduit (131).

제1 관로(131)의 전단에는 도 1의 유량계 입력 관로(310)와 연결되기 위한 연결 부재(미도시)가 구비될 수 있다.A connecting member (not shown) for connection to the flow meter input conduit (310) of Fig. 1 may be provided at the front end of the first conduit (131).

제2 관로(133)는 냉각 소자(120)와 중첩하여 냉각 소자(120)에 의해 냉각될 수 있다. 제2 관로(133)는 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. The second conduit (133) overlaps the cooling element (120) and can be cooled by the cooling element (120). The second conduit (133) can extend in the first direction (DR1).

제3 관로(135)는 제1 방향(DR1)으로 냉각 소자(120)의 후방에 배치될 수 있다. 제3 관로(135)는 제1 방향(DR1)으로 연장되어 유체는 제3 관로(135) 내에서 제1 방향(DR1)으로 흐를 수 있다. The third conduit (135) can be arranged at the rear of the cooling element (120) in the first direction (DR1). The third conduit (135) extends in the first direction (DR1) so that the fluid can flow in the first direction (DR1) within the third conduit (135).

제3 관로(135)의 후단에는 도 1의 유량계 출력 관로(320) 또는 밸브 입력 관로(330)와 연결되기 위한 연결 부재(미도시)가 구비될 수 있다.A connecting member (not shown) for connection to the flow meter output conduit (320) or valve input conduit (330) of Fig. 1 may be provided at the rear end of the third conduit (135).

제1 방향(DR1)에 교차하는 제2 방향(DR2)으로 제2 관로(133)의 폭(W1)은 제1 관로(131)의 폭(W2) 및 제3 관로(135)의 폭(W3) 보다 클 수 있다. 본 실시예에서 제2 방향(DR2)으로 제1 관로(131)의 폭(W2)은 제3 관로(135)의 폭(W3)과 실질적으로 동일할 수 있다. The width (W1) of the second conduit (133) in the second direction (DR2) intersecting the first direction (DR1) may be larger than the width (W2) of the first conduit (131) and the width (W3) of the third conduit (135). In the present embodiment, the width (W2) of the first conduit (131) in the second direction (DR2) may be substantially equal to the width (W3) of the third conduit (135).

제2 관로(135)는 냉각 소자(120)에 의해 충분히 냉각되어야 후술하는 것과 같이 유량을 측정하기 위한 제2 온도 검출부(143)의 측정값(T2)과 제3 온도 검출부(145)의 측정값(T3)의 차이 값(T3-T2)의 변화가 커질 수 있다.The second conduit (135) must be sufficiently cooled by the cooling element (120), so that the difference (T3-T2) between the measurement value (T2) of the second temperature detection unit (143) for measuring the flow rate and the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) may become large, as described later.

본 발명의 실시예에서, 제2 관로(133)는 제2 방향(DR2)으로 제1 관로(131) 및 제3 관로(135) 보다 큰 폭을 가짐으로써 냉각되는 면적을 상대적으로 크게 갖고, 결과적으로 제2 관로(133)에 흐르는 유체의 냉각 효율이 향상되어 유량 측정 분해능과 정확도가 향상될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the second conduit (133) has a width greater than that of the first conduit (131) and the third conduit (135) in the second direction (DR2), thereby having a relatively large cooled area, and as a result, the cooling efficiency of the fluid flowing in the second conduit (133) is improved, so that the flow rate measurement resolution and accuracy can be improved.

제1 연결 관로(137)는 제1 관로(131) 및 제2 관로(133) 사이에 배치되고, 제1 관로(131) 및 제2 관로(133)와 직접 연결될 수 있다.The first connecting pipe (137) is arranged between the first pipe (131) and the second pipe (133) and can be directly connected to the first pipe (131) and the second pipe (133).

제1 연결 관로(137)는 제3 방향(DR3)에서 바라볼 때 제2 방향(DR2)으로 제1 폭을 갖고, 제1 폭은 제1 관로(131)로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.The first connecting pipe (137) has a first width in the second direction (DR2) when viewed from the third direction (DR3), and the first width may increase as it gets farther away from the first pipe (131).

제1 연결 관로(137)에 의해 제2 방향(DR2)으로 서로 상이한 폭을 갖는 제1 관로(131)와 제2 관로(133)를 연결시킬 수 있다. The first conduit (131) and the second conduit (133) having different widths can be connected in the second direction (DR2) by the first connecting conduit (137).

제2 연결 관로(139)는 제2 관로(133) 및 제3 관로(135) 사이에 배치되고, 제2 관로(133) 및 제3 관로(135)와 직접 연결될 수 있다.The second connecting pipe (139) is arranged between the second pipe (133) and the third pipe (135) and can be directly connected to the second pipe (133) and the third pipe (135).

제2 연결 관로(139)는 제3 방향(DR3)에서 바라볼 때 제2 방향(DR2)으로 제2 폭을 갖고, 제2 폭은 제3 관로(135)로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.The second connecting pipe (139) has a second width in the second direction (DR2) when viewed from the third direction (DR3), and the second width may increase as it moves away from the third pipe (135).

제2 연결 관로(139)에 의해 제2 방향(DR2)으로 서로 상이한 폭을 갖는 제2 관로(133)와 제3 관로(135)를 연결시킬 수 있다.The second conduit (133) and the third conduit (135) having different widths in the second direction (DR2) can be connected by the second connecting conduit (139).

본 발명의 실시예에서 제1 연결 관로(137) 및 제2 연결 관로(139)는 상기 냉각 소자(120)와 비중첩하게 배치될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first connecting pipe (137) and the second connecting pipe (139) can be arranged so as not to overlap with the cooling element (120).

온도 검출부(140)는 제1 내지 제3 온도 검출부들(141, 143, 145)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 온도 검출부들(141, 143, 145)은 설치된 위치의 온도를 측정하고, 측정된 온도 값은 제어부(160)에 제공될 수 있다. The temperature detection unit (140) may include first to third temperature detection units (141, 143, 145). The first to third temperature detection units (141, 143, 145) measure the temperature of the installed location, and the measured temperature value may be provided to the control unit (160).

제1 온도 검출부(141)는 제1 방향(DR1)으로 냉각 소자(120)의 전방에서 제1 관로(131)의 온도를 검출할 수 있다. 제1 온도 검출부(141)는 냉각 소자(120)와 비중첩하게 배치될 수 있다. 제1 온도 검출부(141)는 열계면 재료(Thermal interface material)를 통해 제1 관로(131) 상에 부착될 수 있다.The first temperature detection unit (141) can detect the temperature of the first conduit (131) in front of the cooling element (120) in the first direction (DR1). The first temperature detection unit (141) can be arranged so as not to overlap with the cooling element (120). The first temperature detection unit (141) can be attached to the first conduit (131) through a thermal interface material.

제2 온도 검출부(143)는 냉각 소자(120)의 온도를 검출할 수 있다. 제2 온도 검출부(143)는 냉각 소자(120)에 중첩하게 배치될 수 있다. 제2 온도 검출부(143)는 열계면 재료(Thermal interface material)를 통해 냉각 소자(120)의 일면 상에 부착될 수 있다.The second temperature detection unit (143) can detect the temperature of the cooling element (120). The second temperature detection unit (143) can be arranged to overlap the cooling element (120). The second temperature detection unit (143) can be attached to one surface of the cooling element (120) through a thermal interface material.

제2 온도 검출부(143)는 평면상에서 냉각 소자(120)의 중심부에 위치하여 냉각 소자(120)의 온도에 미치는 외부의 영향을 최소화할 수 있다.The second temperature detection unit (143) is positioned at the center of the cooling element (120) on a plane to minimize external influences on the temperature of the cooling element (120).

제3 온도 검출부(145)는 냉각 소자(120)에 의해 냉각된 관로(130)의 온도를 검출할 수 있다. 본 실시예에서, 제3 온도 검출부(145)는 제3 관로(135)의 온도를 검출할 수 있다. 제3 온도 검출부(145)는 열계면 재료를 통해 제3 관로(135) 상에 부착될 수 있다.The third temperature detection unit (145) can detect the temperature of the conduit (130) cooled by the cooling element (120). In this embodiment, the third temperature detection unit (145) can detect the temperature of the third conduit (135). The third temperature detection unit (145) can be attached to the third conduit (135) through a thermal interface material.

도 2를 참조한 본 발명의 실시예에서, 제3 온도 검출부(145)는 냉각 소자(120)의 후방에서 제3 관로(135)에 부착되어 냉각 소자(120)에 비중첩한 것을 예시적으로 도시하였다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 제3 온도 검출부(145)는 냉각 소자(120)와 중첩하는 제2 관로(133) 상에 배치될 수 있다.In the embodiment of the present invention with reference to FIG. 2, the third temperature detection unit (145) is exemplarily shown as being attached to the third conduit (135) at the rear of the cooling element (120) and not overlapping the cooling element (120). However, it is not limited thereto, and the third temperature detection unit (145) may be placed on the second conduit (133) overlapping the cooling element (120).

유량계(100)는 열차단 부재(150)를 더 포함할 수 있다. 열차단 부재(150)는 제1 방향(DR1)으로 제1 온도 검출부(141)의 후방으로부터 냉각 소자(120)와 중첩하기 전까지의 제1 관로(131)의 일부 영역에 부착될 수 있다. The flow meter (100) may further include a heat blocking member (150). The heat blocking member (150) may be attached to a portion of the first conduit (131) from the rear of the first temperature detection unit (141) in the first direction (DR1) until it overlaps the cooling element (120).

열차단 부재(150)는 제1 관로(131)를 감싸도록 제1 관로(131)에 체결될 수 있다. 예시적으로, 열차단 부재(150)는 링 형태로 제1 관로(131)에 결합할 수 있다. 다만 이에 제한되는 것은 아니고, 열차단 부재(150)는 제1 관로(131)의 표면에 방열성 물질이 도포된 구조를 가질 수 있다. The heat blocking member (150) may be connected to the first conduit (131) so as to surround the first conduit (131). For example, the heat blocking member (150) may be connected to the first conduit (131) in a ring shape. However, the invention is not limited thereto, and the heat blocking member (150) may have a structure in which a heat-radiating material is applied to the surface of the first conduit (131).

열차단 부재(150)는 제1 관로(131)를 이루는 재질 보다 열전도성이 큰 물질로 이루어져 냉각 소자(120)로 인해 온도가 하락한 제1 관로(131)의 냉기를 외부로 방출할 수 있다. 예시적으로, 열차단 부재(150)는 알루미늄, 구리 및 방열성 폴리머 소재를 사용할 수 있다. 열차단 부재(150)에 의해 제1 온도 검출부(141)는 냉각 소자(120)의 영향을 받지 않고, 균일하게 냉각 소자(120)의 전방에서 관로(130)의 온도를 검출할 수 있다.The heat blocking member (150) is made of a material having a higher thermal conductivity than the material forming the first conduit (131) and can release cold air of the first conduit (131) whose temperature has dropped due to the cooling element (120) to the outside. For example, the heat blocking member (150) can use aluminum, copper, and a heat-dissipating polymer material. The first temperature detection unit (141) can detect the temperature of the conduit (130) uniformly in front of the cooling element (120) without being affected by the cooling element (120) due to the heat blocking member (150).

도 3은 도 2의 기판(110)에 구비된 제어부(160)와 온도 검출부(140)를 도시한 블록도이다. Figure 3 is a block diagram illustrating a control unit (160) and a temperature detection unit (140) provided on the substrate (110) of Figure 2.

도 2 및 3을 참조하면, 제어부(160)는 온도 검출부(140)에서 측정한 온도 값을 근거로 관로(130)에 흐르는 유량을 측정할 수 있다. Referring to FIGS. 2 and 3, the control unit (160) can measure the flow rate flowing in the pipe (130) based on the temperature value measured by the temperature detection unit (140).

제어부(160)는 냉각 소자 제어부(161) 및 유량 산출부(163)을 포함할 수 있다. The control unit (160) may include a cooling element control unit (161) and a flow rate calculation unit (163).

냉각 소자 제어부(161)는 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)과 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)의 차이 값(T1-T2)이 일정하도록 냉각 소자(120)의 온도를 제어할 수 있다. The cooling element control unit (161) can control the temperature of the cooling element (120) so that the difference value (T1-T2) between the measurement value (T1) of the first temperature detection unit (141) and the measurement value (T2) of the second temperature detection unit (143) is constant.

비교예에서, 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)과 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)의 차이 변화는 상대적으로 작아 유량 산출부(163)에서 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)과 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)의 차이를 기초로 유량을 산출한다면, 유량 측정 분해능이 낮게 된다. In the comparative example, the difference change between the measurement value (T1) of the first temperature detection unit (141) and the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) is relatively small, so if the flow rate is calculated based on the difference between the measurement value (T1) of the first temperature detection unit (141) and the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) in the flow rate calculation unit (163), the flow rate measurement resolution becomes low.

유체가 관로(130)를 흐르는 경우, 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)은 유체의 유량에 따라 상승할 수 있다. 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)과 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)의 차이 값(T3-T2)의 변화는 상대적으로 크므로, 유량 산출부(163)는 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)과 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)의 차이 값(T3-T2)을 기초로 관로(130)에 흐르는 유량을 산출한다. When the fluid flows through the pipe (130), the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) can increase according to the flow rate of the fluid. Since the change in the difference value (T3-T2) between the measurement value (T2) of the second temperature detection unit (143) and the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) is relatively large, the flow rate calculation unit (163) calculates the flow rate flowing through the pipe (130) based on the difference value (T3-T2) between the measurement value (T2) of the second temperature detection unit (143) and the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145).

도 4는 본 발명의 일 실시예에서, 도 2의 I-I`선을 따라 절단한 단면도이고, 도 5는 도 2의 Ⅱ-Ⅱ`선을 따라 절단한 단면도이다. 도 6은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ` 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line I-I` of FIG. 2 in one embodiment of the present invention, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line II-II` of FIG. 2, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line III-III` of FIG. 2.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 기판(110)에는 개구(OP)가 제공될 수 있고, 냉각 소자(120)는 기판(110)의 개구(OP)에 중첩하게 배치되거나, 개구(OP) 내에 삽입될 수 있다. Referring to FIGS. 4 to 6, an opening (OP) may be provided in the substrate (110), and a cooling element (120) may be positioned to overlap the opening (OP) of the substrate (110) or inserted into the opening (OP).

본 실시예에서, 유량계(100)는 열전도층(170)을 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the flow meter (100) may further include a heat conducting layer (170).

열전도층(170)은 냉각 소자(120)의 냉각된 일면(121) 상에 배치될 수 있다. 열전도층(170)은 상대적으로 열전도성이 높은 금속 재질 또는 전도성 폴리머로 이루어질 수 있다. A thermally conductive layer (170) may be placed on a cooled surface (121) of a cooling element (120). The thermally conductive layer (170) may be made of a metal material or a conductive polymer having relatively high thermal conductivity.

제2 온도 검출부(143)는 열전도층(170) 상에 배치되어 열전도층(170)의 온도를 냉각 소자(120)의 온도로서 측정할 수 있다.The second temperature detection unit (143) is arranged on the thermal conductive layer (170) and can measure the temperature of the thermal conductive layer (170) as the temperature of the cooling element (120).

제2 관로(133)는 열전도층(170) 상에 직접 접촉하여 냉각될 수 있다. 다만 이에 제한되는 것은 아니고, 제2 관로(133)와 열전도층(170) 사이에서 접촉 면적을 증대하기 위해 열전도성이 높은 물질로 이루어진 안착부재가 더 구비될 수 있다. The second conduit (133) can be cooled by direct contact with the heat-conducting layer (170). However, this is not limited to the above, and a mounting member made of a material with high heat conductivity can be further provided to increase the contact area between the second conduit (133) and the heat-conducting layer (170).

제2 관로(133)의 단면 형상은 타원형일 수 있고, 제3 관로(135)의 단면 형상은 원형일 수 있다. 제2 관로(133)의 단면의 장축은 제3 관로(135)의 단면의 장축 보다 클 수 있다. 제3 관로(135)의 단면 형상과 제1 관로(131)의 단면 형상은 동일할 수 있다.The cross-sectional shape of the second conduit (133) may be elliptical, and the cross-sectional shape of the third conduit (135) may be circular. The major axis of the cross-sectional shape of the second conduit (133) may be longer than the major axis of the cross-sectional shape of the third conduit (135). The cross-sectional shape of the third conduit (135) and the cross-sectional shape of the first conduit (131) may be the same.

도 4 내지 도 6을 참조하여, 냉각 소자(120)의 일면(121)에 평행한 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)에서 바라볼 때, 관로들(130)의 높이 관계를 설명한다. 도 4 내지 도 6에서 제1 방향(DR1)으로 바라본 관로들(130)의 형상을 도시하였다.Referring to FIGS. 4 to 6, the height relationship of the conduits (130) when viewed in a first direction (DR1) or a second direction (DR2) parallel to one surface (121) of the cooling element (120) is described. The shapes of the conduits (130) when viewed in the first direction (DR1) are illustrated in FIGS. 4 to 6.

본 발명의 실시예에서, 관로들(130)의 높이는 제3 방향(DR3)을 따라 정의될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the height of the conduits (130) can be defined along the third direction (DR3).

제2 관로(133)의 높이(H1)는 제3 관로(135)의 높이(H2) 및 제2 연결 관로(139)의 높이(H3)보다 작을 수 있다. 제3 관로(135)의 높이(H2)은 제2 연결 관로(139)의 높이(H3)보다 클 수 있다. 제1 관로(131)의 높이(미도시)는 제3 관로(135)의 높이(H2)와 동일할 수 있다.The height (H1) of the second conduit (133) may be smaller than the height (H2) of the third conduit (135) and the height (H3) of the second connecting conduit (139). The height (H2) of the third conduit (135) may be larger than the height (H3) of the second connecting conduit (139). The height (not shown) of the first conduit (131) may be equal to the height (H2) of the third conduit (135).

도시하지는 않았지만, 제1 관로(131)는 제3 관로(135)와 동일한 구조를 갖는다. Although not shown, the first conduit (131) has the same structure as the third conduit (135).

본 발명의 제1 내지 제3 관로(131, 133, 135)의 형상은, 원형의 단면 형상을 갖는 관로(130)를 냉각 소자(120)와 중첩하는 영역에서 상기 높이 방향의 일방향 또는 양방향으로 압착하여 형성할 수 있다.The shape of the first to third conduits (131, 133, 135) of the present invention can be formed by compressing a conduit (130) having a circular cross-sectional shape in one or both directions of the height direction in an area overlapping the cooling element (120).

따라서, 제1 내지 제3 관로(131, 133, 135)는 일체로 형성될 수 있다. 제1 및 제2 연결 관로(137, 139)의 폭은 제1 관로(131)의 폭 및 제3 관로(135)의 폭 보다 작고 제2 관로(133)의 폭 보다 클 수 있다. 제1 및 제2 연결 관로(137, 139)의 높이는 제1 관로(131)의 높이 및 제3 관로(135)의 높이 보다 작고 제2 관로(133)의 높이 보다 클 수 있다.Accordingly, the first to third conduits (131, 133, 135) may be formed integrally. The widths of the first and second connecting conduits (137, 139) may be smaller than the width of the first conduit (131) and the width of the third conduit (135) and larger than the width of the second conduit (133). The heights of the first and second connecting conduits (137, 139) may be smaller than the height of the first conduit (131) and the height of the third conduit (135) and larger than the height of the second conduit (133).

제1 관로(131)의 단면적, 제2 관로(133)의 단면적, 제3 관로(135)의 단면적, 제1 연결 관로(137)의 단면적 및 제2 연결 관로(139)의 단면적은 실질적으로 동일할 수 있다.The cross-sectional area of the first conduit (131), the cross-sectional area of the second conduit (133), the cross-sectional area of the third conduit (135), the cross-sectional area of the first connecting conduit (137), and the cross-sectional area of the second connecting conduit (139) may be substantially the same.

본 발명의 실시예에서, 제2 관로(133)의 단면은 상대적으로 폭이 넓고 높이가 낮은 타원 형상을 가짐으로써, 냉각 소자(120) 또는 냉각 소자(120)의 일면(121)에 배치된 열전도층(170)과의 접촉 면적을 상대적으로 크게 가질 수 있고, 제2 관로(133)와 열전도층(170)의 밀착력이 향상될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the cross-section of the second conduit (133) has an elliptical shape with a relatively wide width and low height, so that the contact area with the cooling element (120) or the heat-conducting layer (170) arranged on one surface (121) of the cooling element (120) can be relatively large, and the adhesion between the second conduit (133) and the heat-conducting layer (170) can be improved.

또한, 제2 관로의 형상으로 인해 제2 관로(1353)는 냉각 소자(120)에 의한 냉각 면적도 상대적으로 크게 가질 수 있다. 결과적으로, 제2 관로(133)에 흐르는 유체의 냉각 효율이 향상되어 유량 측정 분해능과 정확도가 향상될 수 있다.In addition, due to the shape of the second conduit, the second conduit (1353) can have a relatively large cooling area by the cooling element (120). As a result, the cooling efficiency of the fluid flowing in the second conduit (133) can be improved, thereby improving the flow rate measurement resolution and accuracy.

도 7 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에서, 도 2의 Ⅳ-Ⅳ` 선을 따라 절단한 단면도들이다.FIGS. 7 to 9 are cross-sectional views taken along line IV-IV` of FIG. 2 in one embodiment of the present invention.

도 7 내지 도 9를 참조하여, 냉각 소자(120)의 일면(121)에 평행한 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)에서 바라볼 때, 관로들(130)의 높이 관계를 설명한다. 도 7 내지 도 9에서 제2 방향(DR2)으로 바라본 관로들(130)의 형상을 도시하였다.Referring to FIGS. 7 to 9, the height relationship of the conduits (130) when viewed in a first direction (DR1) or a second direction (DR2) parallel to one surface (121) of the cooling element (120) is described. The shape of the conduits (130) when viewed in the second direction (DR2) is illustrated in FIGS. 7 to 9.

본 발명의 실시예에서, 관로들(130)의 높이는 제3 방향(DR3)을 따라 정의될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the height of the conduits (130) can be defined along the third direction (DR3).

도 7 내지 도 9을 참조하면, 기판(110)에는 개구(OP)가 제공될 수 있고, 냉각 소자(120)는 기판(110)의 개구(OP)에 중첩하게 배치되거나, 개구(OP) 내에 삽입될 수 있다. Referring to FIGS. 7 to 9, an opening (OP) may be provided in the substrate (110), and a cooling element (120) may be positioned to overlap the opening (OP) of the substrate (110) or inserted into the opening (OP).

도 7을 참조하면, 제1 관로(131) 및 제3 관로(135)의 최상단들은 제2 관로(133)의 최상단 보다 높게 위치하고, 제1 관로(131) 및 제3 관로(135)의 최하단들은 제2 관로(133)의 최하단과 동일한 높이에서 위치할 수 있다.Referring to FIG. 7, the uppermost portions of the first conduit (131) and the third conduit (135) may be positioned higher than the uppermost portion of the second conduit (133), and the lowermost portions of the first conduit (131) and the third conduit (135) may be positioned at the same height as the lowermost portion of the second conduit (133).

제1 연결 관로(137)의 최상단은 제1 관로(131)와 멀어질수록 높이가 낮게 위치할 수 있고, 제2 관로(133)와 멀어질수록 높이가 높게 위치할 수 있다.The top of the first connecting pipe (137) may be positioned at a lower height as it gets farther away from the first pipe (131), and may be positioned at a higher height as it gets farther away from the second pipe (133).

제2 연결 관로(139)의 최상단은 제3 관로(135)와 멀어질수록 높이가 낮게 위치할 수 있고, 제2 관로(133)와 멀어질수록 높이가 높게 위치할 수 있다.The top of the second connecting pipe (139) may be positioned at a lower height as it gets farther away from the third pipe (135), and may be positioned at a higher height as it gets farther away from the second pipe (133).

도 7의 실시예의 형상은 원형 관로의 냉각 소자(120)와 중첩하는 영역에 상부에서 하부 방향으로 압력을 가해서 형성될 수 있다.The shape of the embodiment of Fig. 7 can be formed by applying pressure from top to bottom to an area overlapping with the cooling element (120) of the circular pipe.

도 8을 참조하면, 제1 관로(131) 및 제3 관로(135)의 최하단들은 제2 관로(133)의 최하단 보다 낮게 위치하고, 제1 관로(131) 및 제3 관로(135)의 최상단들은 제2 관로(133)의 최상단과 동일한 높이에 위치할 수 있다.Referring to FIG. 8, the lowermost portions of the first conduit (131) and the third conduit (135) may be positioned lower than the lowermost portion of the second conduit (133), and the uppermost portions of the first conduit (131) and the third conduit (135) may be positioned at the same height as the uppermost portion of the second conduit (133).

제1 연결 관로(137)의 최상단은 제1 관로(131)와 멀어질수록 높이가 높게 위치할 수 있고, 제2 관로(133)와 멀어질수록 높이가 낮게 위치할 수 있다.The top of the first connecting pipe (137) may be positioned higher the farther away it is from the first pipe (131), and may be positioned lower the farther away it is from the second pipe (133).

제2 연결 관로(139)의 최상단은 제3 관로(135)와 멀어질수록 높이가 높게 위치할 수 있고, 제2 관로(133)와 멀어질수록 높이가 낮게 위치할 수 있다.The top of the second connecting pipe (139) may be positioned higher the farther away it is from the third pipe (135), and may be positioned lower the farther away it is from the second pipe (133).

도 8의 실시예의 형상은 원형 관로의 냉각 소자(120)와 중첩하는 영역에 하부에서 상부 방향으로 압력을 가해서 형성될 수 있다.The shape of the embodiment of Fig. 8 can be formed by applying pressure from the bottom to the top to an area overlapping with the cooling element (120) of the circular pipe.

도 9를 참조하면, 제1 관로(131) 및 제3 관로(135)의 최상단들은 제2 관로(133)의 최상단보다 높게 위치하고, 제1 관로(131) 및 제3 관로(135)의 최하단들은 제2 관로(133)의 최하단 보다 낮게 위치할 수 있다.Referring to FIG. 9, the uppermost portions of the first conduit (131) and the third conduit (135) may be positioned higher than the uppermost portion of the second conduit (133), and the lowermost portions of the first conduit (131) and the third conduit (135) may be positioned lower than the lowermost portion of the second conduit (133).

제1 연결 관로(137)의 최상단은 제1 관로(131)와 멀어질수록 높이가 낮아질 수 있고, 제1 연결 관로(137)의 최하단은 제1 관로(131)와 멀어질수록 높이가 높아질 수 있다.The uppermost part of the first connecting pipe (137) may have a lower height as it gets farther away from the first pipe (131), and the lowermost part of the first connecting pipe (137) may have a higher height as it gets farther away from the first pipe (131).

제2 연결 관로(139)의 최상단은 제3 관로(135)와 멀어질수록 높이가 낮아질 수 있고, 제2 연결 관로(139)의 최하단은 제3 관로(135)와 멀어질수록 높이가 높아질 수 있다. The uppermost part of the second connecting pipe (139) may have a lower height as it gets further away from the third pipe (135), and the lowermost part of the second connecting pipe (139) may have a higher height as it gets further away from the third pipe (135).

도 9의 실시예의 형상은 원형 관로의 냉각 소자(120)와 중첩하는 영역에 상부와 하부의 양방향에서 압력을 가해서 형성될 수 있다.The shape of the embodiment of Fig. 9 can be formed by applying pressure from both the upper and lower directions to an area overlapping with the cooling element (120) of the circular pipe.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에서, 도 2의 I-I`선을 따라 절단한 단면도이다. 도 11은 본 발명의 다른 실시예에서 도 2의 Ⅱ-Ⅱ`선을 따라 절단한 단면도이다.Fig. 10 is a cross-sectional view taken along line I-I` of Fig. 2 in another embodiment of the present invention. Fig. 11 is a cross-sectional view taken along line II-II` of Fig. 2 in another embodiment of the present invention.

도 10 내지 도 11을 참조하면, 기판(110)에는 개구(OP)가 제공될 수 있고, 냉각 소자(120)는 기판(110)의 개구(OP)에 중첩하게 배치되거나, 개구(OP) 내에 삽입될 수 있다. Referring to FIGS. 10 and 11, an opening (OP) may be provided in a substrate (110), and a cooling element (120) may be positioned to overlap the opening (OP) of the substrate (110) or inserted into the opening (OP).

도 10을 참조하면, 제2 관로(133)의 내벽에는 복수의 돌기부(181)가 제공될 수 있다. 돌기부(181)는 열전도성이 높은 금속 재질로 이루어질 수 있다.Referring to Fig. 10, a plurality of protrusions (181) may be provided on the inner wall of the second conduit (133). The protrusions (181) may be made of a metal material having high thermal conductivity.

도 11을 참조하면, 제3 관로(135)의 내벽에는 돌기부(181)가 제공되지 않을 수 있다. 도시하지는 않았지만, 제1 관로(131)는 제3 관로(135)와 동일한 구조를 갖고 있으며, 제1 관로(131)의 내벽에도 돌기부(181)가 제공되지 않을 수 있다.Referring to Fig. 11, the inner wall of the third conduit (135) may not be provided with a protrusion (181). Although not shown, the first conduit (131) has the same structure as the third conduit (135), and the inner wall of the first conduit (131) may not be provided with a protrusion (181).

제2 관로(133)의 돌기부(181)는 제2 관로(133)의 내부 표면적을 증대시킴으로써 제2 관로(133)와 제2 관로(133) 내부에 흐르는 유체 사이에서 접촉 면적을 증대 시킬 수 있고, 결과적으로 제2 관로(133)에 흐르는 유체의 냉각 효율이 향상되어 유량 측정 분해능과 정확도가 향상될 수 있다.The protrusion (181) of the second conduit (133) can increase the contact area between the second conduit (133) and the fluid flowing inside the second conduit (133) by increasing the internal surface area of the second conduit (133), and as a result, the cooling efficiency of the fluid flowing in the second conduit (133) can be improved, thereby improving the flow rate measurement resolution and accuracy.

도 12는 도 10을 참조하여 설명한 제2 관로(135)의 변형례를 도시한 도면이다.FIG. 12 is a drawing illustrating a modified example of the second conduit (135) described with reference to FIG. 10.

도 12를 참조하면, 기판(110)에는 개구(OP)가 제공될 수 있고, 냉각 소자(120)는 기판(110)의 개구(OP)에 중첩하게 배치되거나, 개구(OP) 내에 삽입될 수 있다. Referring to FIG. 12, an opening (OP) may be provided in the substrate (110), and a cooling element (120) may be positioned to overlap the opening (OP) of the substrate (110) or inserted into the opening (OP).

도 12를 참조하면, 제2 관로(133)의 내벽에는 복수의 홈(183)이 제공될 수 있다. Referring to Fig. 12, a plurality of grooves (183) may be provided on the inner wall of the second conduit (133).

제2 관로(133)의 홈(183)은 제2 관로(133)의 내부 표면적을 증대시킴으로써 제2 관로(133)와 제2 관로(133) 내부에 흐르는 유체 사이에서 접촉 면적을 증대 시킬 수 있고, 결과적으로 제2 관로(133)에 흐르는 유체의 냉각 효율이 향상되어 유량 측정 분해능과 정확도가 향상될 수 있다.The groove (183) of the second conduit (133) can increase the internal surface area of the second conduit (133), thereby increasing the contact area between the second conduit (133) and the fluid flowing inside the second conduit (133), and as a result, the cooling efficiency of the fluid flowing in the second conduit (133) can be improved, thereby improving the resolution and accuracy of the flow rate measurement.

도 13은 본 발명의 다른 실시예에서, 도 2의 기판에 구비된 제어부(160)와 온도 검출부(140)를 도시한 블록도이다.FIG. 13 is a block diagram illustrating a control unit (160) and a temperature detection unit (140) provided on the substrate of FIG. 2 in another embodiment of the present invention.

제어부(165)는 온도 보상부(166), 냉각 소자 제어부(167), 및 유량 산출부(168)을 포함할 수 있다.The control unit (165) may include a temperature compensation unit (166), a cooling element control unit (167), and a flow rate calculation unit (168).

냉각 소자(120)와 제1 온도 검출부(141) 사이의 거리에 따라 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)은 영향을 받을 수 있다. 또한, 냉각 소자(120)와 제3 온도 검출부(145) 사이의 거리에 따라 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)은 영향을 받을 수 있다.The measurement value (T1) of the first temperature detection unit (141) may be affected depending on the distance between the cooling element (120) and the first temperature detection unit (141). In addition, the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) may be affected depending on the distance between the cooling element (120) and the third temperature detection unit (145).

온도 보상부(166)는 제1 온도 검출부(141)와 냉각 소자(120) 사이의 제1 거리 값(d1)을 기초로 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)을 보상하여 제1 보상 온도(T1`)를 산출할 수 있다. 온도 보상부(166)는 제3 온도 검출부(145)와 냉각 소자(120) 사이의 제2 거리 값(d2)을 기초로 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)을 보상하여 제2 보상 온도(T3`)를 산출할 수 있다.The temperature compensating unit (166) can calculate a first compensation temperature (T1`) by compensating the measurement value (T1) of the first temperature detecting unit (141) based on the first distance value (d1) between the first temperature detecting unit (141) and the cooling element (120). The temperature compensating unit (166) can calculate a second compensation temperature (T3`) by compensating the measurement value (T3) of the third temperature detecting unit (145) based on the second distance value (d2) between the third temperature detecting unit (145) and the cooling element (120).

냉각소자 제어부(167)는 제1 보상 온도(T1`)와 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)의 차이 값(T1`-T2)이 일정하도록 냉각 소자(120)의 온도를 제어할 수 있다.The cooling element control unit (167) can control the temperature of the cooling element (120) so that the difference value (T1`-T2) between the first compensation temperature (T1`) and the measured value (T2) of the second temperature detection unit (143) remains constant.

유량 산출부(163)는 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)과 제2 보상 온도(T3`)의 차이 값(T3`-T2)을 기초로 관로(130)에 흐르는 유량을 산출한다.The flow rate calculation unit (163) calculates the flow rate flowing in the pipe (130) based on the difference value (T3`-T2) between the measured value (T2) of the second temperature detection unit (143) and the second compensation temperature (T3`).

냉각소자 제어부(167)에서 제1 보상 온도(T1`)를 사용함으로써, 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)에 제1 온도 검출부(141)와 냉각 소자(120)와의 거리에 대한 온도 편차를 보상할 수 있고, 정확한 냉각 소자(120)의 온도 제어가 가능하다.By using the first compensation temperature (T1`) in the cooling element control unit (167), the temperature deviation due to the distance between the first temperature detection unit (141) and the cooling element (120) can be compensated for in the measured value (T1) of the first temperature detection unit (141), and accurate temperature control of the cooling element (120) is possible.

유량 산출부(163)에서 제2 보상 온도(T3`)를 사용함으로써, 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)에 제3 온도 검출부(145)와 냉각 소자(120)와의 거리에 대한 온도 편차를 보상할 수 있고, 정확한 유량 측정이 가능하다.By using the second compensation temperature (T3`) in the flow rate generating unit (163), the temperature deviation due to the distance between the third temperature detecting unit (145) and the cooling element (120) can be compensated for in the measured value (T3) of the third temperature detecting unit (145), and accurate flow rate measurement is possible.

도 14는 본 발명의 다른 실시예에서, 도 1 의 유량계(100)를 도시한 도면이다.FIG. 14 is a drawing illustrating the flow meter (100) of FIG. 1 in another embodiment of the present invention.

온도 검출부(140)는 제4 온도 검출부(147)를 더 포함할 수 있다.The temperature detection unit (140) may further include a fourth temperature detection unit (147).

제4 온도 검출부(147)는 설치된 위치의 온도를 측정하고, 측정된 온도 값을 제어부(165)에 제공될 수 있다.The fourth temperature detection unit (147) measures the temperature of the installed location and can provide the measured temperature value to the control unit (165).

제3 온도 검출부(145)는 열계면 재료를 통해 냉각 소자(120)와 중첩하는 제2 관로(133) 상에 부착될 수 있다.The third temperature detection unit (145) can be attached to the second conduit (133) overlapping the cooling element (120) through a thermal interface material.

제4 온도 검출부(147)는 열계면 재료를 통해 냉각 소자(120)와 중첩하는 제2 관로(133) 상에 부착될 수 있다.The fourth temperature detection unit (147) can be attached to the second conduit (133) overlapping the cooling element (120) through a thermal interface material.

제3 온도 검출부(145)와 제4 온도 검출부(147)는 이격 될 수 있다. 제3 온도 검출부(145)는 제1 방향(DR1)으로 제4 온도 검출부(147)의 후방에서 제2 관로(133)의 온도를 검출할 수 있다.The third temperature detection unit (145) and the fourth temperature detection unit (147) can be spaced apart. The third temperature detection unit (145) can detect the temperature of the second conduit (133) at the rear of the fourth temperature detection unit (147) in the first direction (DR1).

도 13 및 도 14를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에서, 냉각 소자(120)를 제어하는 방법과 관로(130)에 흐르는 유량을 산출하는 과정을 설명한다.Referring to FIGS. 13 and 14, in another embodiment of the present invention, a method for controlling a cooling element (120) and a process for calculating a flow rate flowing in a conduit (130) are described.

제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3) 및 제4 온도 검출부(147)의 측정 값(T4)은 냉각 소자(120)와 중첩된 제2 관로(133)상에 부착된 위치에 따라 냉각 소자(120)에 의한 냉각 정도가 서로 상이하여 상이한 온도 값이 측정될 수 있다. The measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) and the measurement value (T4) of the fourth temperature detection unit (147) may have different cooling degrees by the cooling element (120) depending on the position attached to the second conduit (133) overlapping with the cooling element (120), and thus different temperature values may be measured.

제어부(165)는 온도 보상부(166), 냉각 소자 제어부(167), 및 유량 산출부(168)을 포함할 수 있다.The control unit (165) may include a temperature compensation unit (166), a cooling element control unit (167), and a flow rate calculation unit (168).

온도 보상부(166)는 제3 온도 검출부(145)의 측정 값(T3)과 제4 온도 검출부(147)의 측정 값(T4)을 보간한 보간 온도(T5)를 산출할 수 있다.The temperature compensation unit (166) can calculate an interpolated temperature (T5) by interpolating the measurement value (T3) of the third temperature detection unit (145) and the measurement value (T4) of the fourth temperature detection unit (147).

냉각 소자 제어부(167)은 제1 온도 검출부(141)의 측정 값(T1)과 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)의 차이 값(T1-T2)이 일정하도록 냉각 소자(120)의 온도를 제어할 수 있다.The cooling element control unit (167) can control the temperature of the cooling element (120) so that the difference value (T1-T2) between the measurement value (T1) of the first temperature detection unit (141) and the measurement value (T2) of the second temperature detection unit (143) is constant.

유량 산출부(168)는 제2 온도 검출부(143)의 측정 값(T2)과 보간 온도(T5)의 차이 값(T5-T2)을 기초로 관로(130)에 흐르는 유량을 산출한다.The flow rate calculation unit (168) calculates the flow rate flowing in the pipe (130) based on the difference value (T5-T2) between the measured value (T2) of the second temperature detection unit (143) and the interpolated temperature (T5).

유량 산출부(168)에서 보간 온도(T5)를 사용함으로써, 냉각 소자(120)에 의해 냉각된 관로의 온도를 정확히 산출할 수 있고, 따라서 정확한 유량 측정이 가능하다.By using the interpolated temperature (T5) in the flow rate calculation unit (168), the temperature of the pipe cooled by the cooling element (120) can be accurately calculated, and thus accurate flow rate measurement is possible.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시 예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the attached drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made within the scope of the technical idea of the present invention.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to explain it, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary and not restrictive in all aspects. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the rights of the present invention.

10: 유량계 110: 기판
120: 냉각 소자 121: 냉각 소자의 일면
130: 관로 131: 제1 관로
133: 제2 관로 135: 제3 관로
137: 제1 연결 관로 139: 제2 연결 관로
140: 온도 검출부 141: 제1 온도 검출부
143: 제2 온도 검출부 145: 제3 온도 검출부
147: 제4 온도 검출부 150: 단열 부재
160: 제어부 161: 냉각 소자 제어부
163: 유량산출부 165: 제어부
166: 온도 보상부 167: 냉각 소자 제어부
168: 유량 산출부 170: 열전도층
181: 돌기부 183: 홈
10: Flow meter 110: Substrate
120: Cooling element 121: One side of cooling element
130: Pipe 131: Pipe 1
133: 2nd pipeline 135: 3rd pipeline
137: First connecting pipe 139: Second connecting pipe
140: Temperature detection unit 141: First temperature detection unit
143: Second temperature detection unit 145: Third temperature detection unit
147: 4th temperature detection unit 150: Insulating member
160: Control unit 161: Cooling element control unit
163: Flow rate calculation unit 165: Control unit
166: Temperature compensation unit 167: Cooling element control unit
168: Flow rate producing section 170: Heat conducting layer
181: protrusion 183: home

Claims (15)

전기적 신호에 의해 온도가 제어되는 냉각 소자;
내부 공간에 유체가 흐르는 관로;
상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에서 상기 관로의 온도를 검출하는 제1 온도 검출부;
상기 냉각 소자의 온도를 검출하는 제2 온도 검출부; 및
상기 냉각 소자에 의해 냉각된 상기 관로의 온도를 검출하는 제3 온도 검출부를 포함하고,
상기 관로는,
상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에 배치된 제1 관로;
상기 제1 관로와 연결되고, 상기 냉각 소자와 중첩하여 상기 냉각 소자에 의해 냉각되는 제2 관로; 및
상기 제2 관로와 연결되고, 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 후방에 배치된 제3 관로를 포함하고,
상기 냉각 소자의 일면에 수직한 높이 방향에서 바라볼 때 상기 제2 관로는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로 보다 큰 폭을 갖고,
상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때,
상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최상단들은 상기 제2 관로의 최상단 보다 높게 위치하고,
상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최하단들은 상기 제2 관로의 최하단과 동일한 높이에서 위치하는 유량계.
A cooling element whose temperature is controlled by an electrical signal;
A conduit through which fluid flows within an internal space;
A first temperature detection unit for detecting the temperature of the conduit in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows;
A second temperature detection unit for detecting the temperature of the cooling element; and
A third temperature detection unit is included that detects the temperature of the conduit cooled by the cooling element,
The above pipeline,
A first conduit arranged in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows;
A second conduit connected to the first conduit and overlapping the cooling element and cooled by the cooling element; and
A third conduit connected to the second conduit and positioned at the rear of the cooling element in the direction in which the fluid flows,
When viewed in a vertical height direction perpendicular to one surface of the cooling element, the second conduit has a wider width than the first conduit and the third conduit,
When viewed in a direction parallel to the above surface of the above cooling element,
The uppermost parts of the first and third conduits are positioned higher than the uppermost part of the second conduit,
A flow meter in which the lowermost portions of the first and third conduits are positioned at the same height as the lowermost portion of the second conduit.
제1항에 있어서,
상기 제2 관로의 단면의 장축은 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 장축 보다 큰 유량계.
In the first paragraph,
A flow meter in which the major axis of the cross-section of the second conduit is longer than the major axes of the first conduit and the third conduit.
제1항에 있어서,
상기 제2 관로는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로 보다 상기 높이 방향으로 작은 높이를 갖는 유량계.
In the first paragraph,
A flow meter wherein the second conduit has a height smaller in the height direction than the first conduit and the third conduit.
제1항에 있어서,
상기 제1 관로, 상기 제2 관로, 및 상기 제3 관로는 실질적으로 서로 동일한 단면적을 갖는 유량계.
In the first paragraph,
A flow meter wherein the first conduit, the second conduit, and the third conduit have substantially the same cross-sectional areas.
제1항에 있어서,
상기 제1 관로와 상기 제2 관로를 연결하는 제1 연결 관로; 및
상기 제2 관로와 상기 제3 관로를 연결하는 제2 연결 관로를 더 포함하고,
상기 제1 연결 관로와 상기 제2 연결 관로는 상기 냉각 소자와 중첩하지 않고,
상기 높이 방향에서 바라볼 때,
상기 제1 연결 관로는 상기 제1 관로로부터 멀어질수록 증가하는 폭을 갖고,
상기 제2 연결 관로는 상기 제3 관로로부터 멀어질수록 증가하는 폭을 갖는 유량계.
In the first paragraph,
A first connecting pipe connecting the first pipe and the second pipe; and
Further comprising a second connecting pipe connecting the second pipe and the third pipe,
The above first connecting pipe and the above second connecting pipe do not overlap with the cooling element,
When viewed from the above height direction,
The above first connecting pipe has a width that increases as it moves away from the above first pipe,
A flow meter in which the second connecting pipe has a width that increases as it moves away from the third pipe.
제5 항에 있어서,
상기 제1 연결 관로와 상기 제2 연결 관로는 상기 제1 관로와 상기 제3 관로 보다 상기 높이 방향으로 작은 높이를 가지고,
상기 제1 연결 관로와 상기 제2 연결 관로는 상기 제2 관로 보다 상기 높이 방향으로 큰 높이를 갖는 유량계.
In clause 5,
The above first connecting pipe and the above second connecting pipe have a smaller height in the height direction than the above first pipe and the above third pipe,
A flow meter wherein the first connecting pipe and the second connecting pipe have a greater height in the height direction than the second pipe.
삭제delete 전기적 신호에 의해 온도가 제어되는 냉각 소자;
내부 공간에 유체가 흐르는 관로;
상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에서 상기 관로의 온도를 검출하는 제1 온도 검출부;
상기 냉각 소자의 온도를 검출하는 제2 온도 검출부; 및
상기 냉각 소자에 의해 냉각된 상기 관로의 온도를 검출하는 제3 온도 검출부를 포함하고,
상기 관로는,
상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에 배치된 제1 관로;
상기 제1 관로와 연결되고, 상기 냉각 소자와 중첩하여 상기 냉각 소자에 의해 냉각되는 제2 관로; 및
상기 제2 관로와 연결되고, 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 후방에 배치된 제3 관로를 포함하고,
상기 냉각 소자의 일면에 수직한 높이 방향에서 바라볼 때 상기 제2 관로는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로 보다 큰 폭을 갖고,
상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때,
상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최하단들은 상기 제2 관로의 최하단 보다 낮게 위치하고,
상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최상단들은 상기 제2 관로의 최상단과 동일한 높이에 위치하는 유량계.
A cooling element whose temperature is controlled by an electrical signal;
A conduit through which fluid flows within an internal space;
A first temperature detection unit for detecting the temperature of the conduit in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows;
A second temperature detection unit for detecting the temperature of the cooling element; and
A third temperature detection unit is included that detects the temperature of the conduit cooled by the cooling element,
The above pipeline,
A first conduit arranged in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows;
A second conduit connected to the first conduit and overlapping the cooling element and cooled by the cooling element; and
A third conduit connected to the second conduit and positioned at the rear of the cooling element in the direction in which the fluid flows,
When viewed in a vertical height direction perpendicular to one surface of the cooling element, the second conduit has a wider width than the first conduit and the third conduit,
When viewed in a direction parallel to the above surface of the above cooling element,
The lowermost portions of the first and third conduits are positioned lower than the lowermost portion of the second conduit,
A flow meter in which the uppermost portions of the first and third pipes are located at the same height as the uppermost portion of the second pipe.
전기적 신호에 의해 온도가 제어되는 냉각 소자;
내부 공간에 유체가 흐르는 관로;
상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에서 상기 관로의 온도를 검출하는 제1 온도 검출부;
상기 냉각 소자의 온도를 검출하는 제2 온도 검출부; 및
상기 냉각 소자에 의해 냉각된 상기 관로의 온도를 검출하는 제3 온도 검출부를 포함하고,
상기 관로는,
상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 전방에 배치된 제1 관로;
상기 제1 관로와 연결되고, 상기 냉각 소자와 중첩하여 상기 냉각 소자에 의해 냉각되는 제2 관로; 및
상기 제2 관로와 연결되고, 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 냉각 소자의 후방에 배치된 제3 관로를 포함하고,
상기 냉각 소자의 일면에 수직한 높이 방향에서 바라볼 때 상기 제2 관로는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로 보다 큰 폭을 갖고,
상기 냉각 소자의 상기 일면에 평행한 방향에서 바라볼 때,
상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 최상단들은 상기 제2 관로의 최상단보다 높게 위치하고,
상기 제1 관로 및 제3 관로의 최하단들은 상기 제2 관로의 최하단 보다 낮게 위치하는 유량계.
A cooling element whose temperature is controlled by an electrical signal;
A conduit through which fluid flows within an internal space;
A first temperature detection unit for detecting the temperature of the conduit in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows;
A second temperature detection unit for detecting the temperature of the cooling element; and
A third temperature detection unit is included that detects the temperature of the conduit cooled by the cooling element,
The above pipeline,
A first conduit arranged in front of the cooling element in the direction in which the fluid flows;
A second conduit connected to the first conduit and overlapping the cooling element and cooled by the cooling element; and
A third conduit connected to the second conduit and positioned at the rear of the cooling element in the direction in which the fluid flows,
When viewed in a vertical height direction perpendicular to one surface of the cooling element, the second conduit has a wider width than the first conduit and the third conduit,
When viewed in a direction parallel to the above surface of the above cooling element,
The uppermost parts of the first and third conduits are positioned higher than the uppermost part of the second conduit,
A flow meter in which the lowermost portions of the first and third conduits are positioned lower than the lowermost portion of the second conduit.
제1항에 있어서,
상기 제2 관로의 내벽에 복수의 돌기부가 제공되고,
상기 돌기부는 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 내벽에 제공되지 않는 유량계.
In the first paragraph,
A plurality of protrusions are provided on the inner wall of the second conduit,
A flow meter in which the above protrusions are not provided on the inner walls of the first conduit and the third conduit.
제1항에 있어서,
상기 제2 관로의 내벽에 복수의 홈이 제공되고,
상기 홈은 상기 제1 관로 및 상기 제3 관로의 내벽에 제공되지 않는 유량계.
In the first paragraph,
A plurality of grooves are provided on the inner wall of the second conduit,
The above home is a flow meter not provided on the inner wall of the first conduit and the third conduit.
제1항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 온도 검출부들의 측정 값을 활용하여 상기 유체의 유량을 산출하는 제어부를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 제1 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이의 제1 거리 값을 기초로 상기 제1 온도 검출부의 측정 값을 보상한 제1 보상 온도를 산출하고,
상기 제3 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이의 제2 거리 값을 기초로 상기 제3 온도 검출부의 측정 값을 보상한 제2 보상 온도를 산출하고,
상기 제1 보상 온도와 상기 제2 온도 검출부의 측정 값의 차이 값을 이용하여 상기 냉각 소자의 온도를 제어하고,
상기 제2 보상 온도와 상기 제2 온도 검출부의 측정 값의 차이 값을 이용하여 유량을 산출하는 유량계.
In the first paragraph,
It further includes a control unit that calculates the flow rate of the fluid by utilizing the measurement values of the first to third temperature detection units.
The above control unit,
A first compensation temperature is calculated by compensating the measurement value of the first temperature detection unit based on the first distance value between the first temperature detection unit and the cooling element,
A second compensation temperature is calculated by compensating the measurement value of the third temperature detection unit based on the second distance value between the third temperature detection unit and the cooling element,
Controlling the temperature of the cooling element by using the difference value between the first compensation temperature and the measured value of the second temperature detection unit,
A flow meter that calculates the flow rate by using the difference value between the second compensation temperature and the measured value of the second temperature detection unit.
제1항에 있어서,
제2 관로의 일부분의 온도를 검출하는 제4 온도 검출부; 및
상기 제1 내지 제4 온도 검출부들의 측정 값을 활용하여 상기 유체의 유량을 산출하는 제어부를 더 포함하고,
상기 제3 온도 검출부는 상기 유체가 흐르는 방향으로 상기 제2 관로 상에 상기 제4 온도 검출부의 후방에 이격되어 배치되고,
상기 제어부는,
상기 제3 온도 검출부의 측정 값과 상기 제4 온도 검출부의 측정 값을 기초로 상기 제3 온도 검출부의 측정 값을 보간한 보간 온도를 산출하고,
상기 제1 온도 검출부의 측정 값과 상기 제2 온도 검출부의 측정 값의 차이 값을 이용하여 상기 냉각 소자의 온도를 제어하고,
상기 제2 온도 검출부의 측정 값과 상기 보간 온도의 차이 값을 이용하여 유량을 산출하는 유량계.
In the first paragraph,
A fourth temperature detection unit for detecting the temperature of a portion of the second conduit; and
It further includes a control unit that calculates the flow rate of the fluid by utilizing the measurement values of the first to fourth temperature detection units.
The third temperature detection unit is positioned behind the fourth temperature detection unit on the second pipe in the direction in which the fluid flows,
The above control unit,
Based on the measurement value of the third temperature detection unit and the measurement value of the fourth temperature detection unit, an interpolated temperature is calculated by interpolating the measurement value of the third temperature detection unit,
Controlling the temperature of the cooling element by using the difference between the measurement value of the first temperature detection unit and the measurement value of the second temperature detection unit,
A flow meter that calculates the flow rate by using the difference value between the measured value of the second temperature detection unit and the interpolated temperature.
제1항에 있어서,
상기 제1 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이에서 상기 제1 관로에 결합된 방열 부재를 더 포함하는 유량계.
In the first paragraph,
A flow meter further comprising a heat dissipation member coupled to the first conduit between the first temperature detection unit and the cooling element.
제1항에 있어서,
상기 제1 온도 검출부와 상기 냉각 소자 사이에서 상기 제1 관로의 일부분에 방열성 물질이 도포되어 있는 유량계.
In the first paragraph,
A flow meter in which a heat-dissipating material is applied to a portion of the first conduit between the first temperature detection unit and the cooling element.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006105847A (en) * 2004-10-07 2006-04-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Thermal type flowmeter
KR101824866B1 (en) * 2016-08-18 2018-02-05 한국표준과학연구원 Thermal Micro Flow Meter and Flow Measuring Method Using Thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008090839A1 (en) * 2007-01-26 2008-07-31 Horiba Stec, Co., Ltd. Flowmeter
KR20100115557A (en) * 2009-04-20 2010-10-28 노한웅 Stack type thermoelectric flow sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006105847A (en) * 2004-10-07 2006-04-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Thermal type flowmeter
KR101824866B1 (en) * 2016-08-18 2018-02-05 한국표준과학연구원 Thermal Micro Flow Meter and Flow Measuring Method Using Thereof

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