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KR102723866B1 - 레일 구조물 및 이를 포함하는 물품 반송 장치 - Google Patents

레일 구조물 및 이를 포함하는 물품 반송 장치 Download PDF

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KR102723866B1
KR102723866B1 KR1020220087516A KR20220087516A KR102723866B1 KR 102723866 B1 KR102723866 B1 KR 102723866B1 KR 1020220087516 A KR1020220087516 A KR 1020220087516A KR 20220087516 A KR20220087516 A KR 20220087516A KR 102723866 B1 KR102723866 B1 KR 102723866B1
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명에 의하면, 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직선 레일; 상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직선 레일로부터 분기되는 분기 레일; 상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재; 상기 직선 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직선 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 반송 차량의 진행 경로를 조절하기 위한 조향 레일; 및 상기 복수의 서포트 부재를 연결하기 위한 복수의 연결 프레임을 포함하고, 상기 조향 레일을 지지하는 상부 프레임을 포함하는 레일 구조물이 제공될 수 있다.

Description

레일 구조물 및 이를 포함하는 물품 반송 장치{RAIL ASSEMBLY, AND ARTICLE TRANSPORT DEVICE INCLUDING THE SAME}
본 발명은 제조 공장에서 물품을 반송하기 위한 레일 구조물 및 이를 포함하는 물품 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 클린룸이란 공기 중의 부유 미립자가 규정된 청정도 이하로 관리되고, 또한 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 물 등에 대해서도 요구되는 청정도가 유지되면서 필요에 따라서 온도/습도/압력 등의 환경조건 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말하며, 그 이외에 실내 기류 형성과 속도/유해가스/진동/실내조도 등이 관리항목으로 요구되고 있다.
한편, 근래에는 건물이 고층화 되고, 대형화 됨에 따라 건물 내에 화재가 발생할 경우 소방차가 신속하게 출동하여 고가사다리차를 이용하여 화재를 진압한다고 하더라도 고가사다리차의 상측 이동에 높이 제한을 받을 뿐만 아니라 건물의 내부 깊숙히 발생되는 불길의 진화는 어려움이 있었다.
따라서 화재가 발생하였을 때 효과적으로 화재를 진압할 수 있는 새로운 화재 진압 기구가 점차적으로 실용화되고 대중화됨에 따라 고층 건물의 각 층 천정부에는 고압의 물을 급수하여 살포함으로써 화재를 초기에 진압할 수 있는 스프링쿨러가 의무적으로 설치되어 사용되는 실정이다.
그리고 이러한 스프링쿨러는 천정의 내부로 용수를 공급하는 주 급수관을 설치하고, 이 주 급수관에 다수의 분지 급수관을 연결하는 연결관을 설치하고, 천정 밖에서 스프링쿨러 헤드를 상기 연결관에 연결한 것으로서 즉, 스프링쿨러는 화재발생지점(화점)을 정확하게 감지하여 화재 초기에 신속하게 발생지점을 향해 자동으로 소화수를 살수함으로써 화재를 신속히 진압하고 손실을 예방하는데 중요한 역할을 하는 자동식 고정 소화 설비이다. 따라서 이와 같은 스프링쿨러는 안전을 위해 클린룸에도 적용된다.
클린룸 내에는 물품 반송 장치의 반송 차량이 천장의 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물(물품)을 이송한다. 또한, 반송 차량은 대상물을 이적재한다. 주행 레일은 직선 구간, 분기 합류 구간, 경사 구간, 곡선 구간 등을 포함할 수 있다.
그 중, 분기 합류 구간은 서로 인접하는 두 주행 레일들에 주행 레일들과 동시에 연결되는 분기 구조물을 구비하여 형성될 수 있다. 분기 구조물은 서로 인접하는 두 주행 레일들을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재, 복수의 서포트 부재를 상호 연결하는 상부 플레이트 등을 포함하여 주행 레일들을 지지하는 형태로 제공될 수 있다. 도 1 및 도 2는 일반적인 분기 구조물을 포함하는 레일 구조물의 예를 도시한다.
앞서 설명한 바와 같이, 스프링쿨러의 살수 목적은 화재 시 초기 진압을 위한 것이고, 건설법, 소방법, 산업 안전법 등과 같은 법령에 의하면 스프링쿨러의 살수 반경에 해당하는 영역(구간)에는 장애물을 설치하지 않는 것이 원칙이다. 그러나, 70% 이상의 개구율을 갖는 구성 요소는 설치 가능하다는 예외 규정이 존재한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 일반적인 분기 구조물(10)은 서로 인접하는 두 주행 레일(11, 12)을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재(14)와 복수의 서포트 부재(14)를 상호 연결하기 위한 상부 플레이트(13)를 포함한다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일반적인 분기 구조물(10)의 상부 플레이트(13)는 상면으로부터 하면으로 관통된 복수의 개구부(13a)를 갖지만, 개구율이 70%에 미치지 못한다. 즉, 일반적인 분기 구조물(10)을 분기 합류 구간에 적용하는 경우, 스프링쿨러의 살수 반경 영역에 분기 합류 구간을 설치할 수 없다. 그러므로, 주행 레일에 대한 설계 자유도가 저하될 수 있다.
본 발명은 스프링쿨러의 살수 반경 영역과의 간섭을 회피할 수 있는 분기 합류 구간을 포함하는 레일 구조물 및 이를 갖는 물품 반송 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 스프링쿨러의 살수 반경 영역에도 설치 가능한 레일 구조물 및 이를 갖는 물품 반송 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직선 레일; 상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직선 레일로부터 분기되는 분기 레일; 상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재; 상기 직선 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직선 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 반송 차량의 진행 경로를 조절하기 위한 조향 레일; 및 상기 복수의 서포트 부재를 연결하기 위한 복수의 연결 프레임을 포함하고, 상기 조향 레일을 지지하는 상부 프레임을 더 포함하는 레일 구조물이 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 상부 프레임은 상기 분기 영역의 상부에 제공되고, 상기 복수의 서포트 부재는 하단부가 상기 직선 레일 또는 상기 분기 레일에 고정되고 상단부가 상기 상부 프레임의 하면에 고정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 서포트 부재의 상단부는 상기 연결 프레임의 하면에 고정되고, 상기 연결 프레임은 내부가 빈 직사각형 형태로 제공되며, 상기 연결 프레임에 의하여 상기 복수의 서포트 부재 중 서로 마주보는 서포트 부재가 서로 연결됨으로써 상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간 연결이 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 조향 레일은 상기 연결 프레임의 하면에 고정됨으로써 상기 상부 프레임에 지지될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 조향 레일은, 상기 직선 레일을 따라 구비되어 상기 반송 차량이 상기 직선 레일을 따라 주행하도록 하는 직선 조향 레일; 및 상기 분기 레일을 따라 구비되어 상기 반송 차량이 상기 분기 레일을 따라 주행하도록 하는 분기 조향 레일을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 상부 프레임은, 상기 연결 프레임을 모두 연결하기 위한 외부 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직선 레일; 상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직선 레일로부터 분기되는 분기 레일; 상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재; 상기 직선 레일 및 상기 분기 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향을 위한 조향 부재를 가지며, 물품을 파지하여 상기 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 반송 차량; 상기 직선 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직선 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 상기 반송 차량의 진행 경로를 조절하기 위한 조향 레일; 및 상기 분기 영역의 상부에 제공되고 상기 복수의 서포트 부재를 연결하고 상기 조향 레일을 지지함으로써 상기 직선 레일 및 상기 분기 레일을 지지하는 상부 프레임을 포함하는 물품 반송 장치가 제공될 수 있다.
본 발명에 의하면, 스프링쿨러의 살수 반경 영역과 무관하게 분기 구간을 배치할 수 있으므로 비히클 주행 레일의 설계 자유도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 분기 구조물을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 상면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 분기 구조물을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 상면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 분기 구조물을 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5의 상면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
이하, 설명의 편의를 위하여 복수 개로 구성될 수 있는 모든 구성 요소들이 하나로 구성된 것을 예로 설명하기로 한다.
본 발명은 반도체 소자를 제작하기 위한 공정 장비(제조 설비)들이 연속적으로 배치된 클린룸 내에서 물품을 반송하는 반송 차량(예: 비히클)의 이동 경로를 제공하기 위하여 천장에 제공되고 직선 구간, 분기 합류 구간, 경사 구간, 곡선 구간 등을 포함하는 레일 구조물에 관한 것으로 분기 합류 구간에서 레일들의 연결을 위하여 제공되는 상부 플레이트의 형상을 변경함으로써 스프링쿨러의 살수 반경과 무관하게 분기 합류 구간을 설치할 수 있게 함으로써 레일 구조물의 설계 자유도를 높일 수 있는 기술을 제공한다.
반송 차량은 크게 이동을 위한 주행부와 물품의 이적재를 위한 물품 핸들링부로 구성될 수 있다. 주행부는 주행 레일(직선 레일, 분기 레일 등)과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향을 위한 조향 부재를 포함할 수 있다. 물품 핸들링부는 물품을 파지하기 위한 핸드 유닛, 공정 장비의 로드 포트를 향하여 핸드 유닛을 수평 이동시키는 슬라이드 유닛, 핸드 유닛을 하강 및 상승시키는 호이스트 유닛 등을 포함할 수 있다. 반송 차량은 주행부와 핸들링부에 의하여 물품을 파지하여 주행 레일을 따라 주행할 수 있다. 다만, 본 발명은 반송 차량의 이동 경로를 제공하기 위한 레일 구조물에 관한 것이고, 물품 반송 차량에 관한 선행 문헌이 이미 많이 존재하므로 물품 반송 차량에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 레일 구조물을 도시한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 레일 구조물(100A)은 직선 레일(110), 분기 레일(120), 상부 프레임(130), 서포트 부재(140), 조향 레일(131, 132)을 포함한다.
직선 레일(110)은 공정 장비들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다. 예를 들어 공정 장비들은 반도체를 제작하기 위한 공정 장비들일 수 있다.
분기 레일(120)은 천장을 따라 구비되며, 직선 레일(110)로부터 분기된다.
직선 레일(110)과 분기 레일(120)은 각각 한 쌍의 레일로 이루어질 수 있다. 직선 레일(110)과 분기 레일(120)이 분기되는 분기 영역의 상부에는 직선 레일(110)과 분기 레일(120)을 지지하기 위한 상부 프레임(130)이 제공될 수 있다.
상부 프레임(130)은 속이 빈 프레임의 형태로 제공되고, 복수의 연결 프레임(133)을 포함하고, 조향 레일(131, 132)을 지지할 수 있다. 연결 프레임(133)은 내부가 빈 직사각형 형태로 제공될 수 있다. 연결 프레임(133)의 개수는 서포트 부재(140)의 개수의 반만큼 구비될 수 있다. 이때, 상부 프레임(130)의 두께는 최소 20T 이상으로 구성되고, 연결 프레임(133)의 폭은 최소 30mm 이상으로 구성되는 것이 바람직할 수 있다.
서포트 부재(140)는 복수로 구비되고 직선 레일(110)과 분기 레일(120)을 연결하거나 한 쌍의 분기 레일(120)을 서로 연결할 수 있다. 복수의 서포트 부재(140)는 하단부가 직선 레일(110) 또는 분기 레일(120)에 고정되고, 상단부가 상부 프레임(130)의 하면에 고정될 수 있다. 구체적으로, 각 서포트 부재(140)의 상단부는 상부 프레임(130)의 연결 프레임(133)의 하면에 하나씩 고정될 수 있다. 서로 마주보는 위치에 배치된 한 쌍의 서포트 부재(140)는 연결 프레임(133)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 직선 레일(110)과 분기 레일(120)은 복수의 서포트 부재(140)가 연결 프레임(133)에 의하여 상부 프레임(130)에 지지될 수 있다.
조향 레일(131, 132)은 각 연결 프레임(133)의 하면에 고정됨으로써 상부 프레임(130)에 지지될 수 있다. 예를 들어, 조향 레일(131, 132)은 각 연결 프레임(133)의 하면 중앙에 고정될 수 있다.
조향 레일(131, 132)은 직선 조향 레일(131)과 분기 조향 레일(132)을 포함할 수 있다.
직선 조향 레일(131)은 하나의 레일로 이루어지며, 직선 레일(110)들 사이에서 직선 레일(110)을 따라 구비될 수 있다.
분기 조향 레일(132)은 하나의 레일로 이루어지며, 분기 레일(120)들 사이에서 분기 레일(120)을 따라 구비될 수 있다. 일 예로, 분기 조향 레일(132)은 직선 분기 레일(131)로부터 분기 레일(120) 방향으로 분기되도록 구성될 수 있다.
또는, 별도의 연결 부재에 의하여 직선 조향 레일(131)과 분기 조향 레일(132)이 연결될 수도 있다.
일 예로, 조향 레일(131, 132)은 전자석으로 이루어지고 선택적으로 자기력이 인가될 수 있다. 반송 차량을 직선 레일(110)을 따라 주행시키기 위해서는 직선 조향 레일(131)에 전류를 제공함으로써 자기력을 인가하고, 반송 차량을 분기 레일(120)을 따라 주행시키기 위해서는 분기 조향 레일(132)에 전류를 제공함으로써 자기력을 인가할 수 있다. 분기 영역에서 직선 레일(110)과 분기 레일(120)을 선택하는 방식은 필요에 따라 다양한 방식으로 선택될 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제2 실시예에 의한 레일 구조물을 도시한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 레일 구조물(100B)은 직선 레일(110), 분기 레일(120), 상부 프레임(130), 서포트 부재(140), 조향 레일(131, 132)을 포함한다.
본 발명의 제2 실시예에 의한 레일 구조물(100B)은 본 발명의 제1 실시예에 의한 레일 구조물(100A)과 상부 프레임(130)의 형태를 제외한 구성이 모두 동일하므로 동일한 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
레일 구조물(100B)의 상부 프레임(130)은 외부 프레임(135)을 더 포함할 수 있다. 외부 프레임(135)은 복수의 연결 프레임(133)을 모두 서로 연결하면서 하부에 위치한 레일들과 유사한 형상을 가지도록 제공될 수 있다. 외부 프레임(135)에 의하여 상부 프레임(130)의 안전율이 향상될 수 있고 강성 확보에 유리할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 분기 합류 구간의 상부 플레이트를 프레임 형태로 변경함으로써 스프링 쿨러의 살수 반경 영역에도 설치가 가능한 레일 구조물 및 그를 포함하는 물품 반송 장치를 제공할 수 있다. 본 발명의 제1 실시예에 의한 레일 구조물(100A)는 스프링 쿨러의 살수 반경 영역과의 간섭을 최대한 회피할 수 있고, 본 발명의 제2 실시예에 의한 레일 구조물(100B)은 외부 프레임(135)에 의하여 개구부(130a)가 형성되지만 70% 이상의 개구율을 달성할 수 있다. 이에 따라 분기 합류 구간을 포함하는 레일 구조물의 설계 자유도를 향상시킬 수 있는 효과가 있고, 주행 레일들의 지지 구조가 단순화되고 경량화되는 효과 또한 구현될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100(100A, 100B): 레일 구조물
110: 직선 레일
120: 분기 레일
130: 상부 프레임
130a: 개구부
131: 직선 조향 레일
132: 분기 조향 레일
133: 연결 프레임
135: 외부 프레임
140: 서포트 부재

Claims (7)

  1. 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직선 레일;
    상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직선 레일로부터 분기되는 분기 레일;
    상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재;
    상기 직선 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직선 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 반송 차량의 진행 경로를 조절하기 위한 조향 레일; 및
    상기 복수의 서포트 부재를 연결하기 위한 복수의 연결 프레임을 포함하는 상부 프레임을 포함하고,
    상기 복수의 서포트 부재는 하단부가 상기 직선 레일 또는 상기 분기 레일에 고정되고 상단부는 상기 연결 프레임의 하면에 고정됨으로써 상기 연결 프레임에 의하여 상기 복수의 서포트 부재 중 서로 마주보는 서포트 부재가 서로 연결되고,
    상기 조향 레일은 상기 연결 프레임의 하면에 고정됨으로써 상기 상부 프레임에 지지되는 레일 구조물.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 프레임은 상기 분기 영역의 상부에 제공되는 레일 구조물.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연결 프레임은 내부가 빈 직사각형 형태로 제공되며,
    상기 연결 프레임에 의하여 상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간 연결이 형성되는 레일 구조물.
  4. 삭제
  5. 제3항에 있어서,
    상기 조향 레일은,
    상기 직선 레일을 따라 구비되어 상기 반송 차량이 상기 직선 레일을 따라 주행하도록 하는 직선 조향 레일; 및
    상기 분기 레일을 따라 구비되어 상기 반송 차량이 상기 분기 레일을 따라 주행하도록 하는 분기 조향 레일을 포함하는 레일 구조물.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 상부 프레임은,
    상기 연결 프레임을 모두 연결하기 위한 외부 프레임을 더 포함하는 레일 구조물.
  7. 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직선 레일;
    상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직선 레일로부터 분기되는 분기 레일;
    상기 직선 레일과 상기 분기 레일 또는 상기 분기 레일 간을 연결하기 위한 복수의 서포트 부재;
    상기 직선 레일 및 상기 분기 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향을 위한 조향 부재를 가지며, 물품을 파지하여 상기 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 반송 차량;
    상기 직선 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직선 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 상기 반송 차량의 진행 경로를 조절하기 위한 조향 레일; 및
    상기 분기 영역의 상부에 제공되고 상기 복수의 서포트 부재를 연결하고 상기 조향 레일을 지지함으로써 상기 직선 레일 및 상기 분기 레일을 지지하는 상부 프레임을 포함하고,
    상기 상부 프레임은 복수의 연결 프레임을 포함하고,
    상기 복수의 서포트 부재는 하단부가 상기 직선 레일 또는 상기 분기 레일에 고정되고 상단부는 상기 연결 프레임의 하면에 고정됨으로써 상기 연결 프레임에 의하여 상기 복수의 서포트 부재 중 서로 마주보는 서포트 부재가 서로 연결되고,
    상기 조향 레일은 상기 연결 프레임의 하면에 고정됨으로써 상기 상부 프레임에 지지되는 물품 반송 장치.
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