KR102711754B1 - Wafer storage container - Google Patents
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Abstract
웨이퍼 수납 용기가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 웨이퍼 수납 용기는, 웨이퍼를 수용하는 수용 공간 및 상기 수용 공간을 외부와 연통시키는 개구부를 구비하는 하우징; 및 상기 수용 공간과 상기 외부 사이가 개폐되도록 상기 하우징에 결합되는 도어; 를 포함하고, 상기 도어는, 상기 개구와 대응되도록 형성되고, 그 외측에 형성되는 복수의 결합 홈이 구비되는 도어 바디부; 상기 도어 바디부와 상기 하우징 사이를 실링하는 실링부; 및 상기 하우징의 상기 개구부에 접촉되고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈에 삽입되는 도어 가이드부; 를 포함하고, 상기 도어 가이드부는, 상기 하우징의 상기 개구부와 접촉하고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈 중 하나에 삽입되는 제1 결합부; 상기 제1 결합부로부터 연장되는 연장부; 및 상기 하우징의 상기 개구부와 접촉하고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈 중 다른 하나에 삽입되는 제2 결합부; 를 포함할 수 있다. A wafer storage container is disclosed. According to one aspect of the present invention, a wafer storage container comprises: a housing having a receiving space for receiving a wafer and an opening for communicating the receiving space with the outside; and a door coupled to the housing so as to be opened and closed between the receiving space and the outside; wherein the door comprises: a door body portion formed to correspond to the opening and having a plurality of engaging grooves formed on an outer side thereof; a sealing portion sealing between the door body portion and the housing; and a door guide portion contacting the opening of the housing and inserted into the plurality of engaging grooves of the door body portion; wherein the door guide portion may include: a first engaging portion contacting the opening of the housing and inserted into one of the plurality of engaging grooves of the door body portion; an extension portion extending from the first engaging portion; and a second engaging portion contacting the opening of the housing and inserted into another of the plurality of engaging grooves of the door body portion.
Description
본 발명은 웨이퍼 수납 용기에 관한 것이다. The present invention relates to a wafer storage container.
반도체는 특화된 장비에 의해 처리되는 복수의 단계를 거쳐 제조되며, 반도체 제조의 핵심 재료인 웨이퍼는 각 제조 단계마다 이동된다. 이동시, 웨이퍼는 컨테이너에 수용되거나 적재되어 이송된다. 이러한 이동시에 주변 환경에 의하여 웨이퍼는 손상이나 오염에 노출되게 된다. Semiconductors are manufactured through multiple steps that are processed by specialized equipment, and wafers, which are the core material for semiconductor manufacturing, are moved at each manufacturing step. During the movement, wafers are stored in containers or loaded and transported. During this movement, wafers are exposed to damage or contamination by the surrounding environment.
이러한 오염이나 손상을 차단하기 위하여, 웨이퍼를 주변 환경에 의한 오염 등으로부터 격리시키기는 웨이퍼 컨테이너가 이용된다. 이러한 컨테이너의 일반적인 구성은 웨이퍼가 수용되는 내부 공간을 밀폐시킬 수 있는 도어나 밀폐부를 포함하되, 더 효과적인 밀폐를 위하여 실링 부재가 사용되는 경우가 많다. To prevent such contamination or damage, wafer containers are used to isolate wafers from contamination by the surrounding environment, etc. The general configuration of such containers includes a door or sealing part that can seal the internal space in which the wafers are accommodated, but a sealing member is often used for more effective sealing.
이러한 실링 부재는 도어나 컨테이너의 개구부에 설치되어 도어와 컨테이너 사이에 틈이 생기는 것을 방지하여 내부 수용 공간을 밀폐하는 것이 일반적이다. These sealing elements are typically installed in the opening of a door or container to seal the internal storage space by preventing a gap from forming between the door and the container.
또한, 실링 부재가 도어나 컨테이너의 개구부에 적절히 설치되더라도, 웨이퍼 수납 용기의 이송 중에 발생할 수 있는 흔들림이나 충격에 의하여, 설치된 실링 부재가 도어나 컨테이너의 개구로부터 이탈될 수 있으므로, 도어나 개구부에 설치가 용이하고 이송 중에 발생할 수 있는 웨이퍼 수납 용기의 흔들림이나 충격이 있어도 실링 부재가 도어나 컨테이너의 개구부로부터 이탈되지 않고 고정될 수 있는 웨이퍼 수납 용기의 개발이 요구되고 있다. In addition, even if a sealing member is properly installed in the opening of a door or a container, the installed sealing member may come off from the opening of the door or the container due to shaking or impact that may occur during transport of the wafer storage container. Therefore, there is a demand for the development of a wafer storage container that is easy to install in a door or an opening and in which the sealing member is fixed without coming off from the opening of the door or the container even when the wafer storage container is shaken or impacted during transport.
그리고, 이러한 도어의 개폐시, 즉 도어가 컨테이너의 개구부에 고정되거나 분리되는 과정에서, 도어의 마모로 인하여 불순물이 발생되고, 이러한 불순물이 웨이퍼에 부착되는 문제가 있다. And, when opening and closing these doors, that is, in the process of the door being fixed or separated from the opening of the container, there is a problem that impurities are generated due to wear of the door, and these impurities become attached to the wafer.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 웨이퍼 수납 용기의 이송 중에 발생하는 흔들림이나 충격에도 웨이퍼 수납 용기의 내부 수용 공간을 안정적으로 밀폐시키는 웨이퍼 수납 용기를 제공하는 것이다. The present invention is intended to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a wafer storage container that stably seals the internal storage space of the wafer storage container even when shaken or shocked during transport of the wafer storage container.
또한, 본 발명의 목적은 도어의 개폐시, 도어의 마모로 인하여 불순물이 발생되는 것을 방지하는 웨이퍼 수납 용기를 제공하는 것이다. In addition, an object of the present invention is to provide a wafer storage container that prevents impurities from being generated due to wear of the door when the door is opened and closed.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The tasks of the present invention are not limited to the tasks mentioned above, and other tasks not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art to which the present invention belongs from the description below.
본 발명의 일 측면에 따르면, 웨이퍼를 수용하는 수용 공간 및 상기 수용 공간을 외부와 연통시키는 개구부를 구비하는 하우징; 및 상기 수용 공간과 상기 외부 사이가 개폐되도록 상기 하우징에 결합되는 도어; 를 포함하고, 상기 도어는, 상기 개구와 대응되도록 형성되고, 그 외측에 형성되는 복수의 결합 홈이 구비되는 도어 바디부; 상기 도어 바디부와 상기 하우징 사이를 실링하는 실링부; 및 상기 하우징의 상기 개구부에 접촉되고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈에 삽입되는 도어 가이드부; 를 포함하고, 상기 도어 가이드부는, 상기 하우징의 상기 개구부와 접촉하고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈 중 하나에 삽입되는 제1 결합부; 상기 제1 결합부로부터 연장되는 연장부; 및 상기 하우징의 상기 개구부와 접촉하고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈 중 다른 하나에 삽입되는 제2 결합부; 를 포함하는, 웨이퍼 수납 용기가 제공된다.According to one aspect of the present invention, a wafer storage container is provided, comprising: a housing having a receiving space for receiving a wafer and an opening communicating the receiving space with the outside; and a door coupled to the housing so as to be opened and closed between the receiving space and the outside; wherein the door comprises: a door body portion formed to correspond to the opening and having a plurality of engaging grooves formed on an outer side thereof; a sealing portion sealing between the door body portion and the housing; and a door guide portion contacting the opening of the housing and inserted into the plurality of engaging grooves of the door body portion; wherein the door guide portion comprises: a first engaging portion contacting the opening of the housing and inserted into one of the plurality of engaging grooves of the door body portion; an extension portion extending from the first engaging portion; and a second engaging portion contacting the opening of the housing and inserted into another of the plurality of engaging grooves of the door body portion.
이 때, 상기 도어 바디부는, 상기 복수의 결합 홈 중 하나인 제1 결합 홈이 구비되는 상측부; 상기 상측부로부터 연장되고, 곡면을 가지는 모서리부; 및 상기 모서리부로부터 연장되고, 상기 복수의 결합 홈 중 다른 하나인 제2 결합 홈이 구비되는 측면부를 포함할 수 있다. At this time, the door body portion may include an upper portion provided with a first coupling groove, which is one of the plurality of coupling grooves; a corner portion extended from the upper portion and having a curved surface; and a side portion extended from the corner portion and provided with a second coupling groove, which is another one of the plurality of coupling grooves.
이 때, 상기 연장부는 상기 모서리부와 대응되도록 형성될 수 있다. At this time, the extension portion can be formed to correspond to the corner portion.
이 때, 상기 제1 결합부는 상기 제1 결합 홈에 삽입되고, 상기 제2 결합부는 상기 제2 결합 홈에 삽입될 수 있다. At this time, the first coupling part can be inserted into the first coupling groove, and the second coupling part can be inserted into the second coupling groove.
이 때, 상기 도어 바디부는, 외부에 노출되는 외측부; 및 상기 외측부의 반대편에 형성되는 내측부를 포함하고, 상기 복수의 결합 홈은 상기 내측부보다 상기 외측부에 인접하게 형성될 수 있다. At this time, the door body portion includes an outer portion exposed to the outside; and an inner portion formed on the opposite side of the outer portion, and the plurality of joining grooves may be formed closer to the outer portion than to the inner portion.
이 때, 상기 제1 결합부는, 상기 내측부로부터 멀어지는 방향으로 상기 제1 결합부의 높이가 높아지도록 경사지게 형성되는 제1 경사면; 및 상기 제1 경사면으로부터 연장되고, 상기 개구부에 접촉되어 고정되는 제1 고정면을 구비하고, 상기 제2 결합부는, 상기 내측부로부터 멀어지는 방향으로 상기 제2 결합부의 높이가 높아지도록 경사지게 형성되는 제2 경사면; 및 상기 제2 경사면으로부터 연장되고, 상기 개구부에 접촉되어 고정되는 제2 고정면을 구비할 수 있다. At this time, the first coupling portion may have a first inclined surface formed to be inclined so that the height of the first coupling portion increases in a direction away from the inner portion; and a first fixing surface extended from the first inclined surface and fixed in contact with the opening, and the second coupling portion may have a second inclined surface formed to be inclined so that the height of the second coupling portion increases in a direction away from the inner portion; and a second fixing surface extended from the second inclined surface and fixed in contact with the opening.
이 때, 상기 제1 결합부는 상기 제1 결합 홈에서 이탈을 방지하는 제1 후크를 구비하고, 상기 제2 결합부는 상기 제2 결합 홈에서 이탈을 방지하는 제2 후크를 구비하고, 상기 제1 후크와 상기 제2 후크 각각은 상기 제1 경사면과 상기 제2 경사면 각각이 경사진 방향과 수직한 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. At this time, the first coupling part has a first hook that prevents separation from the first coupling groove, the second coupling part has a second hook that prevents separation from the second coupling groove, and each of the first hook and the second hook can be formed so as to protrude in a direction perpendicular to the direction in which the first inclined surface and the second inclined surface are inclined.
이 때, 상기 연장부에는 상기 모서리부를 향하여 돌출 형성되는 고정 돌기가 구비되고, 상기 모서리부에는 상기 고정 돌기가 삽입되는 고정 홈이 구비될 수 있다. At this time, the extension portion may be provided with a fixing projection that protrudes toward the corner portion, and the corner portion may be provided with a fixing groove into which the fixing projection is inserted.
상기의 구성에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기는, 도어 바디부에 결합된 도어 가이드부가 하우징의 개구부에 접촉됨에 따라, 도어가 하우징에 안정적으로 결합되어 하우징의 내부 공간을 외부와 밀폐시킬 수 있다. According to the above configuration, in a wafer storage container according to an embodiment of the present invention, when a door guide part coupled to a door body part comes into contact with an opening of a housing, the door can be stably coupled to the housing to seal the internal space of the housing from the outside.
또한, 상기 도어 가이드부가 경사지게 형성됨으로써, 하우징과의 접촉에 의한 불순물의 발생을 최소화할 수 있다. In addition, since the door guide part is formed to be inclined, the generation of impurities due to contact with the housing can be minimized.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타내는 분리 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 다른 측면에서 바라본 분리 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어에서 도어 가이드부가 분리된 모습을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어를 다른 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어의 단면의 일부를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어에서 도어 가이드부가 결합된 모습을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어에서 도어 가이드부가 분리된 모습을 나타내는 도면이다. Figure 1 is a perspective view showing a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an exploded perspective view of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention viewed from another side.
FIG. 4 is a drawing showing a door guide portion separated from a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a drawing showing a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a drawing of a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention viewed from another side.
FIG. 7 is a drawing showing a part of a cross-section of a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a drawing showing a state in which a door guide part is combined in a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a drawing showing a door guide portion separated from a door of a wafer storage container according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 도면에서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. Hereinafter, with reference to the attached drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice the present invention. The present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly describe the present invention, parts that are not related to the description are omitted in the drawings, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다. The words and terms used in this specification and claims should not be construed as limited to their usual or dictionary meanings, but should be interpreted as having meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention, in accordance with the principles by which the inventor can define terms and concepts in order to best describe his or her invention.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations illustrated in the drawings correspond to a preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical ideas of the present invention, so the corresponding configuration may have various equivalents and modified examples that can replace it at the time of filing of the present invention.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. In this specification, it should be understood that terms such as “include” or “have” are intended to describe the presence of a feature, number, step, operation, component, part or combination thereof described in the specification, but do not exclude in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다. When a component is said to be "in front of," "behind," "above," or "below" another component, unless there are special circumstances, it includes not only being positioned "in front of," "behind," "above," or "below" the other component in direct contact with it, but also cases where there are other components intervening therebetween. Furthermore, when a component is said to be "connected" to another component, unless there are special circumstances, it includes cases where they are indirectly connected to each other as well as cases where they are directly connected to each other.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 설명한다. Hereinafter, a wafer storage container according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타내는 분리 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 다른 측면에서 바라본 분리 사시도이다. FIG. 1 is a perspective view showing a wafer storage container according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an isolated perspective view showing a wafer storage container according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an isolated perspective view looking from another side of the wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기(100)는 하우징(110) 및 도어(120)를 포함한다. Referring to FIGS. 1 to 3, a wafer storage container (100) according to an embodiment of the present invention includes a housing (110) and a door (120).
상기 하우징(110)은 대략적으로 박스 형태로 이루어진다. 다만, 상기 하우징(110)은 박스 형태로 이루어지는 것에 한정되지 않고, 원통 형태와 같이 다양한 형태로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 하우징(110)은 웨이퍼(미도시)를 수용하는 수용 공간(110a)이 구비된다. The housing (110) is formed roughly in a box shape. However, the housing (110) is not limited to being formed in a box shape, and may be formed in various shapes, such as a cylindrical shape. In addition, the housing (110) is provided with a receiving space (110a) for receiving a wafer (not shown).
그리고, 상기 하우징(110)은 상기 수용 공간(110a)을 외부와 연통시키는 개구부(111)를 구비한다. 상기 웨이퍼는 상기 개구부(111)를 통해 외부로부터 상기 수용 공간(110a)으로 유입된다. 또한, 상기 개구부(111)는 내측에서 외측 방향으로 갈수록 상기 개구부(111)에 의해 형성되는 개구의 단면적이 증가되도록 형성된다. And, the housing (110) has an opening (111) that connects the receiving space (110a) with the outside. The wafer is introduced from the outside into the receiving space (110a) through the opening (111). In addition, the opening (111) is formed so that the cross-sectional area of the opening formed by the opening (111) increases as it goes from the inside to the outside.
그리고, 상기 하우징(110)은 플라스틱 재질로 이루어진다. 다만, 상기 하우징(110)은 플라스틱 재질로 이루어지는 것에 한정되지 않고, 외부의 충격을 흡수하면서 상기 웨이퍼를 보호할 수 있는 다양한 재질로 이루어질 수 있다. And, the housing (110) is made of a plastic material. However, the housing (110) is not limited to being made of a plastic material, and may be made of various materials that can absorb external impact and protect the wafer.
상기 도어(120)는 대략적으로 플레이트 형태로 이루어진다. 상기 도어(120)는 상기 개구부(111)에 의해 형성된 상기 개구에 배치된다. The above door (120) is formed roughly in the shape of a plate. The door (120) is placed in the opening formed by the opening (111).
그리고, 상기 도어(120)는 플라스틱 재질로 이루어진다. 다만, 상기 도어(120)는 플라스틱 재질로 이루어지는 것에 한정되지 않고, 외부의 충격을 흡수하면서 상기 웨이퍼를 보호할 수 있는 다양한 재질로 이루어질 수 있다. And, the door (120) is made of plastic material. However, the door (120) is not limited to being made of plastic material, and may be made of various materials that can protect the wafer while absorbing external impact.
이 때, 상기 도어(120)는 도어 바디부(120a), 실링부(130) 및 도어 가이드부(140)를 포함한다. At this time, the door (120) includes a door body part (120a), a sealing part (130), and a door guide part (140).
상기 도어 바디부(120a)는 상기 개구부(111)에 의해 형성된 상기 개구와 대응되도록 형성된다. The above door body part (120a) is formed to correspond to the opening formed by the above opening part (111).
상기 실링부(130)는 상기 도어 바디부(120a)와 상기 개구부(111) 사이를 실링한다. 이 때, 상기 실링부(130)는 상기 개구부(111)의 내측면을 따라 띠 형태로 이루어진다. 그리고, 상기 실링부(130)는 고무 또는 실리콘 재질로 이루어진다. 다만, 상기 실링부(130)는 고무 또는 실리콘 재질로 이루어지는 것에 한정되지 않고, 탄력성을 가지는 다양한 재질로 이루어질 수 있다. The sealing portion (130) seals between the door body portion (120a) and the opening (111). At this time, the sealing portion (130) is formed in a band shape along the inner surface of the opening (111). In addition, the sealing portion (130) is formed of a rubber or silicone material. However, the sealing portion (130) is not limited to being formed of a rubber or silicone material, and may be formed of various elastic materials.
이에 따라, 상기 실링부(130)는 상기 하우징(110)과 상기 도어(120) 사이의 틈이 발생되는 것을 방지하여, 상기 하우징(110)의 상기 수용 공간(110a)으로 외부의 이물질이 유입되는 것이 방지된다. Accordingly, the sealing portion (130) prevents a gap from occurring between the housing (110) and the door (120), thereby preventing external foreign substances from entering the receiving space (110a) of the housing (110).
상기 도어 가이드부(140)는 상기 도어 바디부(120a)에 결합된다. 그리고, 상기 도어 가이드부(140)는 상기 개구부(111)와 접촉됨에 따라, 상기 도어(120)가 상기 하우징(110)에 고정된다. The above door guide part (140) is coupled to the door body part (120a). Then, as the door guide part (140) comes into contact with the opening part (111), the door (120) is fixed to the housing (110).
이 때, 상기 도어 가이드부(140)는 복수로 구성된다. 상기 복수의 도어 가이드부(140)는 상기 도어 바디부(120a)의 모서리부에 각각 배치된다. At this time, the door guide part (140) is configured in multiples. The multiple door guide parts (140) are each placed at a corner of the door body part (120a).
이에 따라, 상기 복수의 도어 가이드부(140)는 상기 개구부(111)의 접촉됨에 따라, 상기 도어(120)는 상기 도어 가이드부(140)에 의해 상기 하우징(110)에 고정된다. 즉, 상기 복수의 도어 가이드부(140)는 상기 도어 바디부(120a)가 직접적으로 상기 개구부(111)에 접촉되는 것을 최소화함으로써, 상기 도어(120)와 상기 하우징(110)의 접촉에 의해 불순물이 발생되는 것이 방지된다. Accordingly, as the plurality of door guide parts (140) come into contact with the opening (111), the door (120) is fixed to the housing (110) by the door guide parts (140). That is, the plurality of door guide parts (140) minimize the direct contact of the door body part (120a) with the opening (111), thereby preventing the generation of impurities due to contact between the door (120) and the housing (110).
상기 도어 가이드부(140)에 대한 설명은 이후 도면을 참조하여 자세하게 설명하기로 한다. The above door guide part (140) will be described in detail later with reference to the drawings.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어에서 도어 가이드부가 분리된 모습을 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어를 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어를 다른 측면에서 바라본 도면이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어의 단면의 일부를 나타내는 도면이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어에서 도어 가이드부가 결합된 모습을 나타내는 도면이다. FIG. 4 is a drawing showing a state in which a door guide part is separated from a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a drawing showing a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a drawing showing a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention as seen from another side, FIG. 7 is a drawing showing a part of a cross-section of a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a drawing showing a state in which a door guide part is combined in a door of a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
도 4 내지 도 8을 참조하면, 상기 도어 바디부(120a)는 외측부(121), 내측부(122), 상측부(123), 모서리부(126) 및 측면부(124)를 포함한다. Referring to FIGS. 4 to 8, the door body portion (120a) includes an outer portion (121), an inner portion (122), an upper portion (123), a corner portion (126), and a side portion (124).
상기 외측부(121)는 외부에 노출되도록 형성된다.The above outer portion (121) is formed to be exposed to the outside.
상기 내측부(122)는 상기 외측부(121)의 반대편에 형성된다. 그리고, 상기 내측부(122)는 상기 하우징(110, 도 2 참조)의 상기 수용 공간(110a, 도 2 참조)을 대면하도록 구비된다. The inner part (122) is formed on the opposite side of the outer part (121). In addition, the inner part (122) is provided to face the receiving space (110a, see Fig. 2) of the housing (110, see Fig. 2).
상기 상측부(123)는 상기 외측부(121)와 상기 내측부(122) 사이에 형성된다. 이 때, 상기 상측부(123)에는 상기 도어 가이드부(140, 도 2 참조)가 삽입되는 상기 복수의 결합 홈(125) 중 하나인 제1 결합 홈(125a)이 구비된다. The upper part (123) is formed between the outer part (121) and the inner part (122). At this time, the upper part (123) is provided with a first coupling groove (125a), which is one of the plurality of coupling grooves (125) into which the door guide part (140, see FIG. 2) is inserted.
그리고, 상기 제1 결합 홈(125a)은 제1 길이(T1)만큼 상기 외측부(121)로부터 이격되어 형성된다. 그리고, 상기 제1 결합 홈(125a)의 길이(T2)는 상기 제1 길이(T1)보다 길다. 그리고, 상기 제1 결합 홈(125a)은 제3 길이(T3)만큼 상기 내측부(122)로부터 이격되어 형성된다. 여기서, 상기 제3 길이(T3)는 상기 제1 결합 홈(125a)의 길이(T2)보다 작다.And, the first coupling groove (125a) is formed spaced apart from the outer portion (121) by a first length (T1). And, the length (T2) of the first coupling groove (125a) is longer than the first length (T1). And, the first coupling groove (125a) is formed spaced apart from the inner portion (122) by a third length (T3). Here, the third length (T3) is shorter than the length (T2) of the first coupling groove (125a).
이 때, 상기 제1 길이(T1)와 상기 제3 길이(T3)는 동일할 수 있다.At this time, the first length (T1) and the third length (T3) may be the same.
또한, 본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 상기 제1 길이(T1)와 상기 제3 길이(T3)는 서로 다를 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 길이(T1)는 상기 제3 길이(T3)보다 작을 수 있다. 즉, 상기 제1 결합 홈(125a)은 상기 내측부(122)보다 상기 외측부(121)에 인접하게 형성될 수 있다. In addition, according to various embodiments of the present invention, the first length (T1) and the third length (T3) may be different from each other. For example, the first length (T1) may be smaller than the third length (T3). That is, the first coupling groove (125a) may be formed closer to the outer portion (121) than to the inner portion (122).
상기 모서리부(126)는 상기 상측부(123)로부터 연장된다. 상기 모서리부(126)는 곡면을 갖도록 형성된다. The above corner portion (126) extends from the upper portion (123). The above corner portion (126) is formed to have a curved surface.
상기 측면부(124)는 상기 외측부(121)와 상기 내측부(122) 사이에 형성된다. 상기 측면부(124)는 상기 모서리부(126)로부터 연장된다. 그리고, 상기 측면부(124)는 상기 상측부(123)와 수직한 방향으로 구비된다. 이 때, 상기 측면부(124)에는 상기 도어 가이드부(140, 도 2 참조)가 삽입되는 상기 복수의 결합 홈(125) 중 다른 하나인 제2 결합 홈(125b)이 구비된다. The side portion (124) is formed between the outer portion (121) and the inner portion (122). The side portion (124) extends from the corner portion (126). In addition, the side portion (124) is provided in a direction perpendicular to the upper portion (123). At this time, the side portion (124) is provided with a second coupling groove (125b), which is another one of the plurality of coupling grooves (125) into which the door guide portion (140, see FIG. 2) is inserted.
그리고, 상기 제2 결합 홈(125b)은, 상기 제1 결합 홈(125a)과 마찬가지로, 제1 길이(T1)만큼 상기 외측부(121)로부터 이격되어 형성된다. 그리고, 상기 제2 결합 홈(125b)의 길이(T2)는 상기 제1 길이(T1)보다 길다. 그리고, 상기 제2 결합 홈(125b)은 제3 길이(T3)만큼 상기 내측부(122)로부터 이격되어 형성된다. 여기서, 상기 제3 길이(T3)는 상기 제1 결합 홈(125a)의 길이(T2)보다 작다.And, the second coupling groove (125b), like the first coupling groove (125a), is formed spaced apart from the outer portion (121) by a first length (T1). And, the length (T2) of the second coupling groove (125b) is longer than the first length (T1). And, the second coupling groove (125b) is formed spaced apart from the inner portion (122) by a third length (T3). Here, the third length (T3) is shorter than the length (T2) of the first coupling groove (125a).
이 때, 상기 제1 길이(T1)와 상기 제3 길이(T3)는 동일할 수 있다.At this time, the first length (T1) and the third length (T3) may be the same.
또한, 본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 상기 제1 길이(T1)와 상기 제3 길이(T3)는 서로 다를 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 길이(T1)는 상기 제3 길이(T3)보다 작을 수 있다. 즉, 상기 제2 결합 홈(125b)은 상기 내측부(122)보다 상기 외측부(121)에 인접하게 형성될 수 있다. In addition, according to various embodiments of the present invention, the first length (T1) and the third length (T3) may be different from each other. For example, the first length (T1) may be smaller than the third length (T3). That is, the second coupling groove (125b) may be formed closer to the outer portion (121) than to the inner portion (122).
이에 따라, 상기 도어 가이드부(140)가 상기 복수의 결합 홈(125)에 조립하는 과정에서, 상기 도어 가이드부(140)가 조립 방향이 설정됨으로써, 조립의 편의성이 개선된다. Accordingly, in the process of assembling the door guide part (140) into the plurality of joining grooves (125), the assembly direction of the door guide part (140) is set, thereby improving the convenience of assembly.
그리고, 도 2 및 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 도어 가이드부(140)는 제1 결합부(141), 연장부(142) 및 제2 결합부(143)를 포함한다. And, as shown in FIG. 2 and FIG. 4 to FIG. 6, the door guide part (140) includes a first coupling part (141), an extension part (142), and a second coupling part (143).
상기 제1 결합부(141)는 상기 하우징(110)의 상기 개구부(112)와 접촉하고, 상기 도어 바디부(120a)의 상기 복수의 결합 홈(125) 중 하나인 제1 결합 홈(125a)에 삽입된다. The above first coupling portion (141) comes into contact with the opening (112) of the housing (110) and is inserted into the first coupling groove (125a), which is one of the plurality of coupling grooves (125) of the door body portion (120a).
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 결합부(141)에는 제1 측면(141c), 제2 측면(141d), 제1 경사면(141a) 및 제1 고정면(141e)이 구비된다. And, as shown in Fig. 5, the first coupling portion (141) is provided with a first side surface (141c), a second side surface (141d), a first inclined surface (141a), and a first fixed surface (141e).
상기 제1 측면(141c)은 상기 내측부(122)를 대면하도록 형성된다. 그리고, 상기 제2 측면(141d)은 상기 외측부(121)를 대면하도록 형성된다. 그리고, 상기 제1 경사면(141a)은 상기 내측부(122)로부터 멀어지는 방향으로 상기 제1 결합부(141)의 높이가 높아지도록 경사지게 형성된다. 또한, 상기 제1 경사면(141a)은 상기 개구부(111)와 대응되도록 형성된다. 이 때, 상기 제2 측면(141d)의 높이(H2)는 상기 제1 측면(141c)의 높이(H1)보다 높다.The first side (141c) is formed to face the inner side (122). In addition, the second side (141d) is formed to face the outer side (121). In addition, the first inclined surface (141a) is formed to be inclined so that the height of the first coupling portion (141) increases in a direction away from the inner side (122). In addition, the first inclined surface (141a) is formed to correspond to the opening (111). At this time, the height (H2) of the second side (141d) is higher than the height (H1) of the first side (141c).
이에 따라, 상기 제1 경사면(141a)은 상기 개구부(111)와 원활하게 접촉됨에 따라, 상기 제1 결합부(141)가 상기 개구부(111)에 의해 마모되어 불순물이 발생되는 것이 방지된다. Accordingly, since the first inclined surface (141a) is in smooth contact with the opening (111), the first connecting portion (141) is prevented from being worn by the opening (111) and impurities are generated.
상기 제1 고정면(141e)은 상기 제1 경사면으로부터 연장된다. 그리고, 상기 제1 고정면(141e)의 높이는 상기 제1 측면(141c)의 높이(H1)와 동일하다. 상기 제1 고정면(141e)은 상기 개구부(111)에 접촉됨에 따라 상기 개구부(111)에 고정된다. The first fixed surface (141e) extends from the first inclined surface. In addition, the height of the first fixed surface (141e) is the same as the height (H1) of the first side surface (141c). The first fixed surface (141e) is fixed to the opening (111) by coming into contact with the opening (111).
즉, 상기 제1 고정면(141e)이 상기 개구부(111)에 고정됨에 따라, 상기 도어(120)는 상기 하우징(110)에 고정된다. That is, as the first fixed surface (141e) is fixed to the opening (111), the door (120) is fixed to the housing (110).
그리고, 상기 제1 결합부(141)에는 상기 제1 결합 홈(125a)에서 이탈을 방지하는 제1 후크(141b)가 구비된다. 이 때, 상기 제1 후크(141b)는 상기 제1 경사면(141a)이 경사진 방향과 수직한 방향으로 돌출되도록 형성된다. 여기서, 상기 제1 후크(141b)의 돌출 방향은 X축 방향이고, 상기 제1 경사면(141a)이 경사진 방향은 Y축 방향이다. And, the first coupling portion (141) is provided with a first hook (141b) that prevents separation from the first coupling groove (125a). At this time, the first hook (141b) is formed to protrude in a direction perpendicular to the direction in which the first inclined surface (141a) is inclined. Here, the protruding direction of the first hook (141b) is the X-axis direction, and the direction in which the first inclined surface (141a) is inclined is the Y-axis direction.
이와 같이, 상기 제1 후크(141b)가 상기 제1 경사면(141a)이 경사진 방향과 수직한 방향으로 돌출되도록 형성됨에 따라, 상기 제1 경사면(141a)이 상기 개구부(111)와 접촉되더라도 상기 제1 후크(141b)가 상기 제1 결합 홈(125a)에서 이탈되는 것이 방지된다. In this way, since the first hook (141b) is formed to protrude in a direction perpendicular to the direction in which the first inclined surface (141a) is inclined, even if the first inclined surface (141a) comes into contact with the opening (111), the first hook (141b) is prevented from being separated from the first coupling groove (125a).
상기 연장부(142)는 상기 제1 결합부(141)로부터 연장된다. 이 때, 상기 연장부(142)는 상기 모서리부(126)와 대응되도록 형성된다. 예를 들면, 상기 모서리부(126)가 곡면을 갖도록 형성된 경우, 상기 연장부(142)도 곡면을 갖도록 형성된다.The above extension portion (142) extends from the first connecting portion (141). At this time, the extension portion (142) is formed to correspond to the corner portion (126). For example, when the corner portion (126) is formed to have a curved surface, the extension portion (142) is also formed to have a curved surface.
그리고, 상기 제2 결합부(143)에는 제1 측면(미도시), 제2 측면(미도시), 제2 경사면(143a) 및 제2 고정면(143e)이 구비된다. 여기서, 상기 제2 결합부(143)는 상기 제1 결합부(141)와 동일하거나 유사하므로, 상기 제1 결합부(141)에 대한 설명으로 대체하기로 하고, 상기 제2 후크(141b)를 중점적으로 설명하기로 한다. And, the second coupling portion (143) is provided with a first side (not shown), a second side (not shown), a second inclined surface (143a), and a second fixed surface (143e). Here, since the second coupling portion (143) is the same as or similar to the first coupling portion (141), the description of the first coupling portion (141) will be replaced, and the description of the second hook (141b) will be focused on.
그리고, 상기 제2 결합부(143)에는 상기 제2 결합 홈(125b)에서 이탈을 방지하는 제2 후크(143b)가 구비된다. 이 때, 상기 제2 후크(143b)는 상기 제2 경사면(143b)이 경사진 방향과 수직한 방향으로 돌출되도록 형성된다. 여기서, 상기 제2 후크(143b)의 돌출 방향은 Z축 방향이고, 상기 제2 경사면(143a)이 경사진 방향은 X축 방향이다. And, the second coupling portion (143) is provided with a second hook (143b) that prevents separation from the second coupling groove (125b). At this time, the second hook (143b) is formed so as to protrude in a direction perpendicular to the direction in which the second inclined surface (143b) is inclined. Here, the protruding direction of the second hook (143b) is the Z-axis direction, and the direction in which the second inclined surface (143a) is inclined is the X-axis direction.
이와 같이, 상기 제2 후크(143b)가 상기 제2 경사면(143b)이 경사진 방향과 수직한 방향으로 돌출되도록 형성됨에 따라, 상기 제2 경사면(143a)이 상기 개구부(111)와 접촉되더라도 상기 제2 후크(143b)가 상기 제2 결합 홈(125b)에서 이탈되는 것이 방지된다. In this way, since the second hook (143b) is formed to protrude in a direction perpendicular to the direction in which the second inclined surface (143b) is inclined, even if the second inclined surface (143a) comes into contact with the opening (111), the second hook (143b) is prevented from being separated from the second coupling groove (125b).
또한, 상기 제1 후크(141b)가 돌출된 방향은 상기 제2 후크(143b)가 돌출된 방향과 수직하다. 이와 같이, 상기 제1 후크(141b)와 상기 제2 후크(143b)가 서로 다른 방향으로 상기 제1 결합 홈(125a)과 상기 제2 결합 홈(125b) 각각에 삽입되어 고정됨에 따라, 상기 제1 결합부(141)와 상기 제2 결합부(143)가 안정적으로 상기 도어 바디부(120a)에 고정된다. In addition, the direction in which the first hook (141b) protrudes is perpendicular to the direction in which the second hook (143b) protrudes. In this way, as the first hook (141b) and the second hook (143b) are inserted and fixed into the first coupling groove (125a) and the second coupling groove (125b) in different directions, respectively, the first coupling portion (141) and the second coupling portion (143) are stably fixed to the door body portion (120a).
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어에서 도어 가이드부가 분리된 모습을 나타내는 도면이다.FIG. 9 is a drawing showing a door guide portion separated from a door of a wafer storage container according to another embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기의 도어 가이드부는, 전술한 실시예와 마찬가지로, 제1 결합부(141), 연장부(142) 및 제2 결합부(142)를 포함하고, 상기 연장부(142)를 중점적으로 설명하기로 한다. Referring to FIG. 9, a door guide portion of a wafer storage container according to another embodiment of the present invention includes, similarly to the above-described embodiment, a first coupling portion (141), an extension portion (142), and a second coupling portion (142), and the extension portion (142) will be mainly described.
상기 연장부(142)에는 상기 모서리부(126)를 향하여 돌출 형성되는 고정 돌기(142c)가 구비된다. 이 때, 상기 고정 돌기(142c)는 상기 연장부(142)의 길이 방향을 따라 형성된다.The above extension portion (142) is provided with a fixing projection (142c) that protrudes toward the corner portion (126). At this time, the fixing projection (142c) is formed along the longitudinal direction of the extension portion (142).
또한, 본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 상기 고정 돌기(142c)는 상기 연장부(142)의 길이 방향을 따라 형성되는 것에 한정되지 않고, 굴곡지는 패턴과 같이 다양한 돌출 형태로 이루어질 수 있다.In addition, according to various embodiments of the present invention, the fixing protrusion (142c) is not limited to being formed along the longitudinal direction of the extension portion (142), and may be formed in various protruding shapes such as a curved pattern.
그리고, 상기 모서리부(126)에는 상기 고정 돌기(142c)에 대응되는 고정 홈(126a)이 구비된다. 상기 고정 홈(126a)은 상기 제1 결합 홈(125a)과 상기 제2 결함 홈(125b) 사이에 형성된다. 이 때, 상기 고정 홈(126a)은 상기 제1 결합 홈(125a)과 수직한 방향으로 형성되고, 상기 제2 결함 홈(125b)과 수직한 방향으로 형성된다. 즉, 상기 고정 홈(126a)은 상기 제1 경사면(141a)과 상기 제2 경사면(143a)에 대해서 수직한 방향으로 형성된다. And, the corner portion (126) is provided with a fixing groove (126a) corresponding to the fixing projection (142c). The fixing groove (126a) is formed between the first coupling groove (125a) and the second defect groove (125b). At this time, the fixing groove (126a) is formed in a direction perpendicular to the first coupling groove (125a) and in a direction perpendicular to the second defect groove (125b). That is, the fixing groove (126a) is formed in a direction perpendicular to the first inclined surface (141a) and the second inclined surface (143a).
그리고, 상기 고정 돌기(142c)가 상기 고정 홈(126a)에 삽입되면, 상기 고정 돌기(142c)가 상기 제1 경사면(141a)과 상기 제2 경사면(143a)과 수직한 방향으로 배치됨으로써, 상기 제1 경사면(141a)과 상기 제2 경사면(143a)이 상기 개구부(111, 도 2 참조)에 접촉되는 과정에, 상기 도어 가이드부가 상기 접촉 과정에 의해 흔들림이 방지하여 상기 도어 가이드부가 상기 도어 바디부(120a)에 안정적으로 고정된 상태를 유지한다. And, when the fixing projection (142c) is inserted into the fixing groove (126a), the fixing projection (142c) is arranged in a direction perpendicular to the first inclined surface (141a) and the second inclined surface (143a), so that in the process of the first inclined surface (141a) and the second inclined surface (143a) coming into contact with the opening (111, see FIG. 2), the door guide part is prevented from shaking due to the contact process, so that the door guide part is maintained in a state of being stably fixed to the door body part (120a).
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented in this specification, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention will be able to easily propose other embodiments by adding, changing, deleting, or adding components within the scope of the same spirit, but this will also be considered to fall within the spirit of the present invention.
100: 웨이퍼 수납 용기 110: 하우징
120: 도어 120a: 도어 바디부
130: 실링부 140: 도어 가이드부
141: 제1 결합부 142: 연장부
143: 제2 결합부100: Wafer storage container 110: Housing
120: Door 120a: Door body
130: Sealing part 140: Door guide part
141: First joint 142: Extension
143: Second joint
Claims (8)
상기 수용 공간과 상기 외부 사이가 개폐되도록 상기 하우징에 결합되는 도어; 를 포함하고,
상기 도어는,
상기 개구와 대응되도록 형성되고, 그 외측에 형성되는 복수의 결합 홈이 구비되는 도어 바디부;
상기 도어 바디부와 상기 하우징 사이를 실링하는 실링부; 및
상기 하우징의 상기 개구부에 접촉되고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈에 삽입되는 도어 가이드부; 를 포함하고,
상기 도어 가이드부는,
상기 하우징의 상기 개구부와 접촉하고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈 중 하나에 삽입되는 제1 결합부;
상기 제1 결합부로부터 연장되는 연장부; 및
상기 하우징의 상기 개구부와 접촉하고, 상기 도어 바디부의 상기 복수의 결합 홈 중 다른 하나에 삽입되는 제2 결합부; 를 포함하고,
상기 도어 바디부는,
상기 복수의 결합 홈 중 하나인 제1 결합 홈이 구비되는 상측부;
상기 상측부로부터 연장되고, 곡면을 가지는 모서리부; 및
상기 모서리부로부터 연장되고, 상기 복수의 결합 홈 중 다른 하나인 제2 결합 홈이 구비되는 측면부를 포함하고,
상기 연장부에는 상기 모서리부를 향하여 돌출 형성되는 고정 돌기가 구비되고,
상기 모서리부에는 상기 고정 돌기가 삽입되는 고정 홈이 구비되고,
상기 고정 돌기는 상기 연장부의 길이 방향을 따라 형성되는, 웨이퍼 수납 용기.
A housing having a receiving space for receiving a wafer and an opening for communicating the receiving space with the outside; and
A door coupled to the housing so as to open and close between the receiving space and the exterior;
The above door,
A door body portion formed to correspond to the above opening and provided with a plurality of joining grooves formed on the outer side thereof;
A sealing portion sealing between the door body portion and the housing; and
A door guide part that comes into contact with the opening of the housing and is inserted into the plurality of coupling grooves of the door body part;
The above door guide part,
A first engaging portion that contacts the opening of the housing and is inserted into one of the plurality of engaging grooves of the door body portion;
an extension extending from the first connecting portion; and
A second engaging portion that contacts the opening of the housing and is inserted into another one of the plurality of engaging grooves of the door body portion;
The above door body part,
An upper portion provided with a first coupling groove, which is one of the plurality of coupling grooves;
a corner portion extending from the upper portion and having a curved surface; and
A side portion extending from the corner portion and having a second coupling groove, which is another one of the plurality of coupling grooves,
The above extension portion is provided with a fixed projection that protrudes toward the corner portion,
The above corner portion is provided with a fixing groove into which the fixing projection is inserted,
A wafer storage container, wherein the above-mentioned fixing protrusion is formed along the longitudinal direction of the above-mentioned extension.
상기 연장부는 상기 모서리부와 대응되도록 형성되는, 웨이퍼 수납 용기.
In the first paragraph,
A wafer storage container, wherein the extension portion is formed to correspond to the corner portion.
상기 제1 결합부는 상기 제1 결합 홈에 삽입되고,
상기 제2 결합부는 상기 제2 결합 홈에 삽입되는, 웨이퍼 수납 용기.
In the third paragraph,
The above first coupling part is inserted into the above first coupling groove,
A wafer storage container, wherein the second coupling portion is inserted into the second coupling groove.
상기 도어 바디부는,
외부에 노출되는 외측부; 및
상기 외측부의 반대편에 형성되는 내측부를 포함하고,
상기 복수의 결합 홈은 상기 내측부보다 상기 외측부에 인접하게 형성되는, 웨이퍼 수납 용기.
In the fourth paragraph,
The above door body part,
The outer part exposed to the outside; and
Including an inner part formed on the opposite side of the outer part,
A wafer storage container, wherein the plurality of joining grooves are formed closer to the outer side than to the inner side.
상기 제1 결합부는,
상기 내측부로부터 멀어지는 방향으로 상기 제1 결합부의 높이가 높아지도록 경사지게 형성되는 제1 경사면; 및
상기 제1 경사면으로부터 연장되고, 상기 개구부에 접촉되어 고정되는 제1 고정면을 구비하고,
상기 제2 결합부는,
상기 내측부로부터 멀어지는 방향으로 상기 제2 결합부의 높이가 높아지도록 경사지게 형성되는 제2 경사면; 및
상기 제2 경사면으로부터 연장되고, 상기 개구부에 접촉되어 고정되는 제2 고정면을 구비하는, 웨이퍼 수납 용기.
In clause 5,
The above first connecting part is,
A first inclined surface formed to be inclined so that the height of the first joint portion increases in a direction away from the inner portion; and
It has a first fixed surface extending from the first inclined surface and being fixed in contact with the opening,
The above second connecting part,
A second inclined surface formed to be inclined so that the height of the second joint portion increases in a direction away from the inner portion; and
A wafer storage container having a second fixing surface extending from the second inclined surface and fixed in contact with the opening.
상기 제1 결합부는 상기 제1 결합 홈에서 이탈을 방지하는 제1 후크를 구비하고,
상기 제2 결합부는 상기 제2 결합 홈에서 이탈을 방지하는 제2 후크를 구비하고,
상기 제1 후크와 상기 제2 후크 각각은 상기 제1 경사면과 상기 제2 경사면 각각이 경사진 방향과 수직한 방향으로 돌출되도록 형성되는, 웨이퍼 수납 용기.
In Article 6,
The above first coupling part has a first hook that prevents separation from the first coupling groove,
The second connecting portion has a second hook that prevents separation from the second connecting groove,
A wafer storage container, wherein each of the first hook and the second hook is formed so that the first inclined surface and the second inclined surface protrude in a direction perpendicular to the inclined direction.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220049424A KR102711754B1 (en) | 2022-04-21 | 2022-04-21 | Wafer storage container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220049424A KR102711754B1 (en) | 2022-04-21 | 2022-04-21 | Wafer storage container |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| KR1020220049424A Active KR102711754B1 (en) | 2022-04-21 | 2022-04-21 | Wafer storage container |
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|---|---|---|---|---|
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- 2022-04-21 KR KR1020220049424A patent/KR102711754B1/en active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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