KR102693985B1 - 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치에 관한 것으로, 검사대상물(P)의 일변을 따라 상기 베이스(2) 상에 x축방향으로 연장되어 설치되는 갠트리(3); 상기 검사대상물(P)과 접촉 또는 이격되도록 승강하는 프로브(20)에 의해 상기 검사대상물(P)을 검사하는 복수의 정렬블록(5); 상기 정렬블록(5)을 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 상기 갠트리(3) 상에 연결하는 x축구동수단(6); 상기 정렬블록(5)의 x축방향 왕복과 상기 프로브(20)의 승강을 제어하고, 상기 검사대상물(P)에 대한 상기 프로브(20)의 검사를 수행하는 제어부(7); 상기 정렬블록(5), 상기 x축구동수단(6), 및 상기 프로브(20) 중 적어도 하나와 상기 제어부(7)의 전기적인 연결을 중간에서 매개하는 중개부(8); 및 상기 정렬블록(5), 상기 x축구동수단(6), 및 상기 프로브(20)를 상기 중개부(8)에 전기적으로 연결하는 연결수단(9);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 따라서 프로브와 중개부사이에서 검사신호나 구동신호를 송수신하거나 전원을 공급하는 케이블 또는 전선을 FPCB로 대체할 수 있으므로, 수십 다발의 전선이나 케이블로 인한 하중 부담과 갠트리의 높이 증가를 크게 줄일 수 있으므로, 검사장치의 작동 효율성이나 성능을 크게 향상시킬 수 있게 된다.

Description

결선구조를 경량화한 프로브 검사장치{Probe Test Apparatus Of Which Line Connecting Structure Is Lightened}

본 발명은 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 패널과 같은 검사대상물을 복수의 프로브를 이용해 검사하기 위해, 프로브를 구비하는 정렬블록을 x축구동수단에 의해 횡이동시키고, 정렬블록 내의 프로브모듈을 z축구동모듈에 의해 승강시키기 위해 x축구동수단 또는 z축구동모듈을 구동 및 제어하기 위해 필요한 신호와, 프로브에 의해 검사대상물을 검사하기 위해 필요한 신호를 FPCB 및 중개용 PCB를 통해 간결하고 컴팩트한 구조로 전달할 수 있도록 한 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치에 관한 것이다.

디스플레이용으로 사용되는 각종 패널은 제조 과정에서 발생하는 각종 오류를 체크하기 위해 반드시 검사단계를 거치게 된다.

이러한 검사를 위해 제안된 바 있는 검사 장비의 일 예로 도 1에 도시된 멀티 프로브 검사기용 정렬장치(등록특허 제10-1732629호)를 들 수 있다.

이 정렬장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 갠트리(103) 상에 횡방향으로 왕복이 가능하게 장착된 복수의 정렬블록(104)을 횡이송수단(106)에 의해 좌우로 이동시키는 한편, 이와 같이 횡이송을 통해 검사대기위치로 이동한 정렬블록(104)에서 프로브모듈(105)을 하강 동작시켜 프로브(151)에 의해 검사대상물을 검사하도록 되어 있다.

그런데, 이러한 종래의 프로브 검사기용 정렬장치는 도 1에 도시된 것처럼, 갠트리(103)와 정렬블록(104)을 연결하는 횡이송수단(106)이 스크류이송 방식으로 되어 있기 때문에, 갠트리(103)의 높이나 폭 등 전체적인 크기가 대형화되는 문제점이 있었다.

또, 갠트리(103)의 크기가 일정하다고 하더라도, 횡이송수단(106)으로 인해 내부의 가용공간이 상대적으로 작아지고, 그만큼 가용공간을 활용한 갠트리(106)의 강도 보강이 곤란해지는 문제점이 있었다.

또, 갠트리(103)의 높이를 낮추기 위해 한정된 높이에 맞추어 정렬블록(5)의 높이를 높이게 되면, 정렬블록(5)의 승강에 대한 제어를 정밀하게 할 수 없게 되는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 프로브 검사기용 정렬장치는 도 2에 도시된 것처럼, 프로브(151)와 제어부 사이에서 검사를 위한 신호나 검사결과 신호를 주고받기 위해 또는 정렬블록(104)를 횡이동시키거나 프로브블록(105)을 승강시키기 위한 전원 신호나 제어 신호를 제어부와 주고받기 위해 프로브(105), 정렬블록(104), 및 프로브블록(105)을 각각 다수의 케이블(110)을 통해 제어부에 연결하도록 되어 있다. 따라서, 종래의 정렬장치는 외부로 노출된 다수의 케이블(110)로 인해 외관이 크게 손상되는 문제점이 있었다.

또, 케이블(110) 더미의 높이만큼 갠트리(103)의 높이가 실질적으로 높아지게 되고, 케이블(110)의 무게만큼 갠트리(103) 전체를 화살표(F) 방향으로 이동시키는 대 필요한 구동력이 증가하게 되므로, 정렬장치 전체의 크기가 대형화되고, 가동을 위한 에너지 소모가 증대되는 문제점도 있었다.

KR 10-1732629

본 발명은 위와 같은 종래의 프로브 검사장치가 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 검사 시 검사대상물에 접촉하는 프로브를 통해 제어부와 송수신되는 검사신호를 전달하는 케이블 또는 전선 그리고 검사를 위해 프로브를 이동시키는 x축구동수단과 z축구동모듈을 제어하기 위한 제어신호를 전달하고 이들에 전원을 공급하는 전선 또는 케이블 등을 FPCB로 대체하는 한편, 프로브, x축구동수단, 및 z축구동모듈 등과 제어부 사이에 중개용 PCB를 배치함으로써, 수십 개에 이르는 프로브블록 각각에서 제어부로 이어진 다수의 전선이나 케이블을 제거함으로써 검사장치를 경량화하고, 그에 따라 위와 같은 다수의 전선이나 케이블로 인한 검사장치의 대형화나 성능저하 또는 작업환경 및 작업효율성 악화를 방지하며, 장치 외관의 심미감을 높이고자 하는 대 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 검사대상물을 검사하기 위해 검사용 프로브를 구비한 정렬블록을 횡이동시키는 x축구동수단을 LM 액추에이터로 구성함에 있어, LM 액추에이터의 구조를 컴팩트화시켜 x축구동수단에 적용함으로써, x축구동수단과 이를 수용하는 갠트리를 소형화시킬 수 있도록 하여, 마찬가지로 검사장치의 대형화나 성능저하 또는 작업환경 및 작업효율성 악화를 방지하고자 하는 대 다른 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 베이스 상에 놓인 검사대상물의 일변에 대해 직각을 이루는 y축방향으로 왕복 가능하도록, 상기 검사대상물의 일변을 따라 상기 베이스 상에 x축방향으로 연장되어 설치되는 갠트리; 상기 검사대상물에 대해 x축방향으로 왕복 가능하도록 상기 갠트리 상에 설치되어, 상기 검사대상물과 접촉 또는 이격되도록 승강하는 프로브에 의해 상기 검사대상물을 검사하는 복수의 정렬블록; 상기 갠트리 전면에 상기 x축방향으로 설치되어, 상기 정렬블록을 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 상기 갠트리 상에 연결하는 x축구동수단; 상기 x축구동수단에 의한 상기 정렬블록의 x축방향 왕복과 상기 정렬블록 상에서의 상기 프로브의 승강을 제어하고, 상기 검사대상물에 대한 상기 프로브의 검사를 수행하는 제어부; 상기 정렬블록, 상기 x축구동수단, 및 상기 프로브 중 적어도 하나와 상기 제어부의 전기적인 연결을 중간에서 매개하도록 상기 갠트리 상에 장착되는 중개부; 및 상기 프로브의 왕복과 승강을 위한 구동신호와 제어신호 및 상기 검사대상물의 검사를 위한 입출력신호를 상기 제어부와 주고받기 위해 상기 정렬블록, 상기 x축구동수단, 및 상기 프로브를 상기 중개부에 전기적으로 연결하는 연결수단;을 포함하여 이루어지는 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치를 제공한다.

또한, 상기 중개부는 복수의 중개용 PCB를 직렬 연결하여 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연결수단은 일단이 상기 x축구동수단으로 접속되고 타단이 상기 제어부에 연결되는 구동용 케이블을 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연결수단은 일단이 상기 정렬블록으로 이어지고 타단이 상기 중개부에 연결되는 구동용 FPCB를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연결수단은 일단이 상기 프로브로 이어지고 타단이 상기 중개부에 연결되는 검사용 FPCB를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 정렬블록은, x축방향으로 왕복 가능하게 상기 x축구동수단에 연결되면서 상기 정렬블록의 기초를 이루는 기대; 상기 검사대상물과 접촉 또는 이격되도록 승강하는 상기 프로브에 의해 상기 검사대상물을 검사하는 프로브모듈; 및 상기 프로브모듈을 착탈 가능하게 연결하도록 상기 기대 상에 상기 z축방향으로 설치되어, 상기 프로브모듈을 상기 z축방향으로 승강 가능하게 지지하는 z축구동모듈;을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 구동용 FPCB는, 상기 프로브모듈의 하한 위치신호를 전달 받도록 상기 z축구동모듈 전방에 연장되어 상기 z축구동모듈의 하단 리미트스위치에 연결되는 종방향 하단연장부; 상기 프로브모듈의 상한위치 신호와 상기 프로브모듈의 착탈신호를 전달 받도록 z축구동모듈 측방에 연장되어 상기 종방향 하단연장부 상단에 연결되는 횡방향 중단연장부; 상기 프로브모듈의 상하한 위치신호와 착탈신호를 상기 제어부로 전달하도록 상기 z축구동모듈 측방에 연장되어 하단이 상기 횡방향 중단연장부 측단에 연결되고, 상단이 상기 제어부로 이어지는 종방향 상단연장부; 및 상기 z축구동모듈에 구동신호를 전달하도록 상기 z축구동모듈 측방에서 상기 종방향 상단연장부와 나란히 연장되어 하단이 상기 z축구동모듈에 연결되고, 상단이 상기 제어부로 이어지는 종방향 병렬연장부;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 z축구동모듈은, 상기 기대의 전면 하단에 장착되어, 상기 프로브모듈을 착탈 가능하게 결합하는 파지부; 상기 파지부 위쪽에서 상기 기대의 전면에 장착되어, 상기 파지부에 결합된 상기 프로브모듈과 함께 상기 파지부를 승강시키는 구동부; 및 상기 구동부에 의해 승강하도록 구 동되는 상기 파지부의 승강을 안내하는 안내부;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 x축구동수단은, 상기 갠트리 상에 다수의 전자석을 상기 x축방향을 따라 일렬로 배치하여 형성된 LM레일; 내장된 자성체와 상기 전자석의 상호 작용에 의해 상기 LM레일을 따라 상기 x축방향으로 왕복하도록 상기 LM레일 상에 장착되는 LM본체; 상기 LM본체 일측에 상기 LM레일과 나란하게 장착되어, 상기 정렬블록을 상기 갠트리 상에 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 설치하는 횡이송판; 및 상기 횡이송판과 상기 갠트리 사이에 개재되도록 상기 x축방향으로 장착되어, 상기 횡이송판의 상기 x축방향 왕복을 안내하는 왕복용 LM가이드;을 포함하여 이루어진 LM액추에이터인 것이 바람직하다.

결선구조를 경량화한 프로브 검사장치에 따르면, 수십 개의 정렬블록을 통해 검사대상물을 검사할 때 검사대상물과 접촉한 프로브와 제어부를 매개하는 중개부와 프로브 사이에서 검사 신호나 명령을 송수신하는 케이블 또는 전선을 FPCB로 대체할 수 있으므로 또한, 검사 시 프로브를 갠트리를 따라 횡방향으로 또는 그와 직각인 상하방향으로 이동시키는 x축구동수단과 z축구동모듈을 제어하기 위한 제어신호를 전달하고 이들에 전원을 공급하는 케이블 등을 제거하고 이들을 FPCB로 대체할 수 있으므로, 검사장치의 외관을 보다 미려하게 제작할 수 있게 된다.

또한, 수십 다발의 전선이나 케이블로 인한 하중 부담과 갠트리의 높이나 폭 또는 너비 증가를 크게 줄일 수 있으므로, 검사장치의 작동 효율성이나 성능을 크게 향상시킬 수 있게 된다.

또한, x축구동수단과 같은 동작요소에 연결됨으로써 검사장치 동작 시 일부분이라도 움직임이 발생할 수밖에 없는 케이블을 제거할 수 있으므로, 케이블 상호 간의 또는 케이블과 장비 간의 마찰로 인해 발생하는 분진을 염려할 필요가 없고 따라서 검사장치의 작업환경을 크게 개선할 수 있게 된다.

또한, 갠트리를 따라 정렬블록을 x축방향으로 횡이동시키는 x축구동수단을 LM레일, LM본체, 횡이송판, 및 LM가이드로 구성하고, 이를 갠트리 내에 장착하므로, LM 액추에이터의 케이스부를 갠트리로 대신할 수 있게 되고, 따라서 갠트리 내부의 공간을 케이스부가 생략된 만큼 더 넓게 활용할 수 있게 된다. 또한, 갠트리 내부의 활용 공간을 동일하게 유지하는 경우 케이스부를 생략한 만큼 갠트리의 높이나 폭 등 크기를 소형화할 수 있게 된다. 반면, 갠트리의 크기를 일정하게 유지한다면 케이스부를 생략하여 생긴 공간만큼 갠트리의 벽두께를 증대시키는 등 갠트리 자체의 내구성을 일층 향상시킬 수 있게 된다.

도 1은 종래의 프로브 검사장치를 도시한 부분 절단 사시도.
도 2는 도 1의 프로브 검사장치에 케이블을 작도한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치의 사시도.
도 4는 도 3의 A 부분 확대도.
도 5는 도 3에 도시된 정렬블록의 분해 사시도.
도 6은 도 4의 반대쪽 측면을 도시한 사시도.
도 7은 도 4의 저면 사시도.
도 8은 도 7의 분해 사시도.
도 9는 도 4의 후면 사시도.
도 10은 도 4의 측면도.
도 11은 도 3의 C 부분 확대도.
도 12는 도 6에 도시된 구동용 FPCB의 배면 사시도.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치를 첨부 도면을 참조로 상세히 설명한다.

본 발명의 프로브 검사장치는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 크게 갠트리(3), 정렬블록(5), x축구동수단(6), 제어부(7), 중개부(8) 및 연결수단(9)을 포함하여 이루어진다.

여기에서, 상기 갠트리(3)는 후술하는 복수의 정렬블록(5)을 x축방향으로 왕복시킬 수 있게 지지하는 이송프레임으로서, 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스(2) 상에 놓인 디스플레이 패널 등과 같은 각종 검사대상물(P)을 검사하기 위해, 검사대상물(P)의 일변에 대해 직각을 이루는 y축방향으로 왕복 가능하도록 베이스(2)의 이송프레임(4) 상에 설치되는 바, 검사대상물(P)의 일변을 따라 x축방향으로 나란하게 배치된다.

상기 정렬블록(5)은 후술하는 프로브모듈(13) 즉, 프로브(20)를 원하는 검사위치로 이동시키는 횡이송 블록으로서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 갠트리(3) 일측면에 수 개에서 수 십개까지 복수 개가 검사대상물(P)에 대해 x축방향으로 왕복 가능하게 장착된다. 이를 위해 정렬블록(5)은 x축구동수단(6)의 전면에 즉, 후술하는 횡이송판(65)에 기대(11)가 장착되어 x축구동수단(6) 상에 고정된다. 한편, 정렬블록(5)은 프로브모듈(13)을 승강 가능하게 지지하는 바, 이를 위해 도 4 및 도 5에 도시된 것처럼, 후술하는 z축구동모듈(15) 파지부(21)의 파지브래킷(31)과 기대(11) 사이에 개재되는 승강용 LM가이드와 같은 안내부(25)를 통해 파지브래킷(31) 더 나아가 z축구동모듈(15)을 지지한다. 이에 따라, 정렬블록(5)은 검사대상물(P)과 접촉되거나 또는 접촉 이후 이격되도록 승강하는 프로브(20)에 의해 검사대상물(P)을 검사하게 된다. 또한, 정렬블록(5)은 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이 정렬블록(5) 상단 후방에 장착된 스캐너(17)에 의해 도 7에 도시된 것처럼 갠트리(3) 전면에 x축구동수단(6)과 나란하게 배치된 스케일(19)을 읽어 들임으로써 제어부(7)로 하여금 x축방향 이동 거리를 정밀하게 제어할 수 있도록 한다.

이를 위해, 정렬블록(5)은 다시 기대(11), 프로브모듈(13), 및 z축구동모듈(15)을 포함하여 이루어진다.

여기에서, 상기 기대(11)는 정렬블록(5)의 기초를 이루는 부분으로, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상하로 긴 판상체로 이루어지는 x축구동수단(6)의 횡이송판(65) 전면에 연결됨으로써, x축방향으로 왕복이 가능하게 되어 있다. 또한, 기대(11)는 정렬블록(5)의 기초로서 전면에 z축구동모듈(15)을 승강 가능하게 장착하도록 되어 있는 바, 전면에 장착된 상단 리미트스위치(36)에 의해 파지브래킷(31)의 상한을 제한하도록 되어 있다.

상기 프로브모듈(13)은 프로브(20)를 통해 검사대상물(P)을 검사하는 모듈로서, 도 4 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 저면 선단에 프로브(20)가 돌출되어 있으며, 전방에 하단 리미트스위치(35)가 장착된다. 또한, 프로브모듈(13)은 검사대상물(P)의 상면에 대해 직각인 z축방향으로 승강 가능하도록 z축구동모듈(15)의 파지부(21)에 장착되는 바, 본 실시예의 경우 z축구동모듈(15)에 대해 분리 및 장전이 가능하게 착탈식으로 연결된다. 다른 경우 z축구동모듈(15)의 파지부(21)에 일체로 장착될 수도 있다. 이에 따라, 프로브모듈(13)은 도 9에 도시된 것처럼 하강한 때 프로브(20)가 검사대상물(P)과 접촉하여 검사대상물(P)을 검사하게 된다. 반대로, 프로브모듈(13)은 x축방향으로 왕복할 때는 도 7에 도시된 것처럼, z축구동모듈(15)에 의해 상승한 위치를 유지한다. 또한, 프로브모듈(13)은 하단 리미트스위치(35)에 의해 가동단 즉, 프로브모듈(13)의 하사점을 감지하며, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 기대(11)의 전면에 장착된 상단 리미트스위치(36)에 의해 파지부(21)의 상단을 감지함으로써 프로브모듈(13)의 상사점을 감지한다.

상기 z축구동모듈(15)은 프로브모듈(13) 즉, 프로브(20)를 z축방향으로 승강 가능하게 지지하는 부분으로, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 정렬블록(5) 상에 z축방향으로 설치되는 바, 프로브모듈(13)을 착탈 가능하게 연결하도록 되어 있다. 이를 위해, z축구동모듈(15)은 파지부(21), 구동부(23), 및 안내부(25)를 포함하여 이루어진다.

여기에서, 상기 파지부(21)는 프로브모듈(13)을 착탈 가능하게 결합하는 부분으로, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 기대(11)의 전면 하단에 승강 가능하게 장착되는 바, 위에서 언급한 바 있듯이, 구동부(23)와 연결되어 안내부(25)에 의해 승강 안내되는 파지브래킷(31)과, 이 파지브래킷(31) 저면에 결합되는 파지몸체(33)로 이루어진다. 이때, 파지브래킷(31)은 ㄴ자 모양으로 90도 절곡된 선반과 같은 형태의 판상체로 되어 있다. 따라서, 판상체의 수직부분은 상단 전면이 후술하는 너트브래킷(49) 후면에 결합되어 구동부(23)와 연결되며, 후면이 안내부(25) 블록(53)에 부착된다. 또, 수평부분은 너트브래킷(49) 아래쪽에서 파지몸체(33)를 연결한다. 또한, 파지몸체(33)는 블록의 형태로 되어 있으며, 전면에 상단 리미트스위치(36)가 장착되고, 그 저면에 프로브모듈(13)이 착탈 가능하게 결합된다. 또한, 파지몸체(33)에는 도 10에 은선으로 도시된 것처럼, 접촉센서(37)가 상하로 관통되어 설치되는 바, 접촉센서(37)는 프로브모듈(13) 상면과의 접촉 또는 분리를 감지함으로써 프로브모듈(13)의 파지여부를 판단한다. 이때, 접촉센서(37)는 도 5, 도 8, 및 도 10에 도시된 바와 같이, 파지브래킷(31)을 따라 상하로 배치된 연결선(38)을 통해 제어부(7)로 연결된다.

상기 구동부(23)는 파지부(21)와 함께 위와 같이 파지부(21)에 연결되는 프로브모듈(13)을 승강시키는 구동수단으로, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이 파지부(21) 위쪽에서 기대(11)의 전면에 장착된다. 이때, 구동부(23)는 파지부(21)를 승강시키도록 모터(41), 나사봉(43), 커플링(45), 볼스크류너트(47) 및 너트브래킷(49)을 포함하여 이루어진다.

여기에서, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 모터(41)는 구동부(23)의 회전 구동력을 발생시키는 부분으로, z축구동모듈(15) 상단에 배치되는 바, 모터브래킷(48)에 의해 지지되며, 모터브래킷(48)은 기대(11) 전면 상단에 결합된다. 또, 상기 나사봉(43)은 볼스크류너트(47)를 통해 파지부(21)를 승강시키는 이송스크류로서, 모터(41)의 회전축(42)과 동일한 축선 상에 나란히 배치되어 모터(41)의 구동방향에 따라 정역회전하는 바, 보호통(44)에 둘러싸여 보호된다.

또, 도 5, 도 7 및 도 8에 도시된 것처럼, 상기 커플링(45)은 위와 같이 모터(41)의 회전축(42)과 나사봉(43)을 축결합하는 수단으로서, 커플링케이스(46)로 둘러싸여져 있으며, 회전축(42) 하단과 나사봉(43) 상단을 동시에 물어 연결한다. 따라서, 과전류 등으로 인하여 모터(41)의 토크가 급격히 증가하더라도, 과부하된 토크를 커플링(45)이 수용하므로, 나사봉(43) 등이 파손되거나 프로브(20)의 정렬이 흐트러지는 것을 막을 수 있게 된다.

또, 상기 볼스크류너트(47)는 너트브래킷(49)을 통해 파지부(21)를 승강시키는 부분으로, 나사봉(43)에 나사 결합됨으로써 나사봉(43)의 정역회전에 따라 승강하여 아래쪽에 볼트 등으로 결합된 너트브래킷(49)을 승강시킨다. 끝으로, 상기 너트브래킷(49)은 위와 같이 볼스크류너트(47)와 파지부(21) 즉, 파지브래킷(31)을 연결하는 부분으로, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 커플링(45)을 둘러싸면서 파지브래킷(31) 전면 상단에 결합되는 바, 나사봉(43)의 회전에 따라 상하로 상대 이동하므로, 볼스크류너트(47)를 통해 파지부(21)를 승강시킬 수 있도록 한다. 이때, 너트브래킷(49)은 도 8에 도시된 바와 같이, 사각 케이스 형태로 되어 볼스크류너트(47)를 둘러싸므로, 정밀한 움직임을 요하는 볼스크류너트(47)와 나사봉(43)의 결합부위를 외부와 차단하여 외부 요인으로 인한 볼스크류너트(47)의 동작오차를 최소화시킨다.

또한, 너트브래킷(49)의 저면에 볼스크류너트(47)의 플랜지(71)와 정합되는 홈(73)을 형성하여 너트브래킷(49)과 볼스크류너트(47) 결합 시 플랜지(71)가 홈(73) 안으로 삽입되도록 함으로써, 너트브래킷(49) 저면에 결합되는 보호통(44)으로 나사봉(43)의 하단을 보호하는 것과 더불어 나사봉(43)의 외부 노출을 차단하므로 마찬가지로 외부 요인으로 인한 나사봉(43)의 오손 등을 방지하여 볼스크류너트(47)의 동작오차를 최소화시킨다.

상기 안내부(25)는 파지부(21)의 승강을 안내하는 부분으로, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 승강용 LM가이드로 이루어지는 바, 레일(51)의 후면이 기대(11)에 부착되고, 블록(53)의 전면이 파지부(21)에 부착됨으로써, 구동부(23)에 의해 승강하는 파지부(21)를 안내한다.

상기 x축구동수단(6)은 정렬블록(5)을 갠트리(3) 상에 x축방향으로 왕복 가능하게 연결하는 수단으로서, 도 3 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 갠트리(3)를 따라 x축방향으로 길게 배치되는 바, 제어부(7)의 명령에 따라 각각의 정렬블록(5)을 단독으로 또는 그룹을 지어 x축방향으로 즉, 횡방향으로 왕복시킴으로써 프로브(20)를 검사대상물(P) 상의 원하는 위치에 정렬시킨다.

이를 위해, x축구동수단(6)은 예컨대 도 4, 도 7, 및 도 10에 도시된 것처럼 LM 액추에이터로 이루어진다. 이 LM액추에이터는 다양한 형태와 조합으로 구성될 수 있으나, 본 실시예에서는 도시된 것처럼, 각각의 부품들이 갠트리(3)에 직접 장착됨으로써 LM 액추에이터의 케이스부를 생략할 수 있게 된다. 따라서, 그만큼 x축구동수단(6)이 갠트리(3) 내부에 차지하는 공간을 줄일 수 있게 된다. 이는 갠트리(3) 자체의 크기를 줄일 수 있도록 하며, 바꾸어 갠트리(3)의 크기를 일정하게 유지한다면 결과적으로 필요공간이 줄어든 만큼 갠트리(3)의 벽두께를 증대시켜 전체적인 내구강도를 증대시킬 수 있도록 한다. 또, LM 액추에이터에 필요공간이 줄어든 만큼 갠트리(3)의 전체 높이도 줄일 수 있게 된다.

이를 위해 LM액추에이터는 다시 LM레일(61), LM본체(63), 횡이송판(65), 및 왕복용 LM가이드(67)로 이루어진다.

여기에서, LM레일(61)은 LM액추에이터의 스테이터로서, 도 3 등에 도시된 바와 같이, 갠트리(3) 전면에 일자 형태로 세워져 x축방향을 따라 일렬로 배치된 다수의 전자석에 의해 레일 형태로 형성된다. 또, LM본체(63)는 LM액추에이터의 무버로서, 도 3 이하에 도시된 바와 같이, LM레일(61) 상에 안착되는 바, 각각의 정렬블록(5)에 일대일 대응하여 배치되며, LM레일(61)과 사이에 유도되는 척력과 인력에 의해 LM레일(61)을 따라 x축방향으로 왕복한다. 또, 횡이송판(65)은 프로브모듈(13)을 LM액추에이터에 연결시키는 부분으로, 도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 후면이 위 LM본체(63)의 전면에 결합되어, LM레일(61)과 나란하게 배치되며, 전면이 기대(11)의 후면에 결합되어 정렬블록(5)이 LM액추에이터 상에 x축방향으로 왕복 가능하게 설치되도록 한다. 끝으로, 왕복용 LM가이드(67)는 횡이송판(65)을 통해 LM본체(63)의 횡이동을 안정적으로 안내하는 수단으로서, 도 5 내지 도 9에 도시된 것처럼, 횡이송판(65)과 갠트리(3) 사이에 개재되도록 갠트리(3) 전면에 LM레일(61)을 따라 x축방향으로 길게 연장되어 장착된다. 이에 따라 왕복용 LM가이드(67)는 횡이송판(65)과 이 횡이송판(65) 전면에 부착되는 정렬블록(5) 그리고 횡이송판(65) 후면에 부착되는 LM본체(63)의 x축방향 왕복을 안정적으로 안내한다.

상기 제어부(7)는 위와 같은 각종 부품들의 동작을 제어하고, 검사대상물(P)에 대해 검사를 수행하는 부분으로, 도 3에 모식적으로 도시된 바와 같이, 후술하는 중개부(8)와 연결수단(9)을 통해 프로브(20) 등 각종 부품들과 연결된다. 이에 따라, 제어부(7)는 x축구동수단(6)에 의한 정렬블록(5)의 x축방향 왕복과 z축구동모듈(15)에 의한 정렬블록(5) 상에서의 프로브(20)의 승강 동작을 제어하고, 또 프로브(20)를 통해 검사대상물(P)에 대한 검사를 수행한다.

상기 중개부(8)는 프로브(20) 등 갠트리(3) 상의 각종 부품과 제어부(7)를 전기적인 연결을 중간에서 매개하는 수단으로서, 도 4 및 도 11에 도시된 바와 같이 갠트리(3) 상단에 장착되는 바, 후술하는 연결수단(9)을 통해 정렬블록(5), x축구동수단(7), 상기 프로브(20)와 전기적으로 연결되는 한편, 도 3에 B로 도시된 것처럼, 양단에 배치된 각종 슬롯(S)를 통해 제어부(7)와 전기적으로 연결된다. 이를 위해, 중개부(8)는 갠트리(3) 위쪽에 x축방향으로 직렬 연결된 복수의 중개용 PCB(84)로 구성된다.

이때, 각각의 중개용 PCB(84)는 도 10 및 도 11에 도시된 것처럼, 각종 지지구조물(96)을 통해 갠트리(3) 위에 x축방향으로 나란히 배치되는 바, 양단에 집중된 복수의 커넥터(97)가 이들을 연결하는 복수의 필름케이블(98)을 통해 상호 전기적으로 연결된다. 즉, 인접한 두 개의 중개용 PCB(84)는 도 11에 D로 별도 도시된 것처럼, 상호 대칭되는 위치에 있는 커넥터(97)끼리 각각의 필름케이블(98)을 통해 연결되는데, 각각의 필름케이블(98)은 당연히 연결하는 커넥터(97) 사이의 거리가 가까울수록 안쪽에 배치된다.

한편, 중개부(8)는 도 4에 도시된 것처럼, 구동용 FPCB(82)가 커넥터(86)에 연결됨으로써, z축구동모듈(15)과 제어부(7) 사이의 전기적인 연결을 매개한다. 또한, 검사용 FPCB(83)가 커넥터(85)에 연결됨으로써, 프로브(20)와 제어부(7) 사이의 전기적인 연결을 매개한다. 이때, 구동용 FPCB(82)를 위한 커넥터(86)와 검사용 FPCB(83)를 위한 커넥터(85)는 각각 중개용 PCB(84) 저면에 실장된다.

상기 연결수단(9)은 정렬블록(5)이나 x축구동수단(6) 등 프로브 검사장치(1)의 제어나 검사에 관여하는 각종 부품을 제어부(7)에 전기적으로 연결하는 수단으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 프로브(20)의 왕복과 승강을 위한 구동신호와 제어신호를 제어부(7)와 주고받기 위해 x축구동수단(6)에 전기적으로 연결되는 구동용 케이블(81), z축구동모듈(15)에 전기적으로 연결되는 구동용 FPCB(82), 그리고 검사대상물(P)의 검사를 위한 입출력신호를 제어부(7)와 주고받기 위해 프로브(20)에 전기적으로 연결되는 검사용 FPCB(83)로 이루어진다. 이때, 구동용 케이블(81)은 도 4 내지 도 6 및 도 8 내지 도 10에 도시된 것처럼, 일단이 x축구동수단(6)으로 즉, LM레일(61)과 LM본체(63)로 접속되고, 타단이 중개부(8)를 통해 제어부(7)에 연결됨으로써, 스캐너(17)에 의해 읽어 들인 정렬블록(5)의 횡이동값 신호를 제어부(7)와 송수신한다.

이에 따라, 구동용 FPCB(82)는 일단이 z축구동모듈(15) 즉, 모터(41) 등으로 이어지고 타단이 중개용 PCB(84)에 연결된다. 따라서, 구동용 FPCB(82)는 상단 리미트스위치(36) 및 하단 리미트스위치(35)에 의한 z축구동모듈(15)의 가동단 즉, 파지부(21)의 위치신호 또는 모터(41) 구동신호를 중개부(8)를 통해 제어부(7)와 송수신하거나 모터(41)에 전원을 공급한다. 또, 검사용 FPCB(83)는 일단이 프로브(20)로 이어지고 타단이 중개용 PCB(84)에 연결된다. 따라서, 검사용 FPCB(83)는 프로브(20)가 검사대상물(P)의 목표지점에 접속된 때 제어부(7)와 프로브(20) 사이에 검사신호와 피드백신호를 송수신한다.

한편, 상기 구동용 FPCB(82)는 도 6에 도시된 바와 같이, 정렬블록(5) 하단의 파지몸체(33) 전면에서부터 모터브래킷(48)까지 연장된 다음, 모터브래킷(48)의 측면으로 돌아 도 4에 도시된 것처럼 커넥터(86)에 접속되도록 중개부(8)까지 연장된다. 이를 위해 구동용 FPCB(82)는 도 12에 도시된 바와 같이, 종방향 하단연장부(91), 횡방향 중단연장부(92), 종방향 상단연장부(93), 및 종방향 병렬연장부(94)를 포함하여 이루어진다.

여기에서, 상기 종방향 하단연장부(91)는 도 4 내지 도 7 및 도 12에 도시된 것처럼, 하단이 하단 리미트스위치(35)에 접속되고, 이 하단 리미트스위치(35)에서부터 위쪽으로 z축구동모듈(15) 전방의 모터브래킷(48)까지 연장되는 바, 프로브모듈(13)의 하한 위치신호를 전달 받아 제어부(7)로 전달하도록 되어 있다. 이를 위해 종방향 하단연장부(91)는 도 12에 도시된 것처럼, 하단에 접속단자(87)를 구비한다.

또한, 상기 횡방향 중단연장부(92)는 도 4 내지 도 7 및 도 12에 도시된 것처럼, 도면 상 우측단이 종방향 하단연장부(91) 상단에 연결되어 모터브래킷(48)을 도면 상 좌측으로 90도 감으면서 z축구동모듈(15) 측방으로 연장되는 바, 도 12에 도시된 것처럼, 후면에 연결된 연결선(88)이 상단 리미트스위치(36)에 접속됨으로써 프로브모듈(13)의 상한위치 신호를 전달 받아 제어부(7)로 전달하도록 되어 있다. 또, 연결선(88)과 인접하여 후면에 연결된 연결선(89)이 접촉센서(37)와 접속됨으로써 프로브모듈(13)의 착탈신호를 전달 받아 제어부(7)로 전달하도록 되어 있다.

또한, 상기 종방향 상단연장부(93)는 도 4 내지 도 7 및 도 12에 도시된 것처럼, 하단이 횡방향 중단연장부(92) 좌측단에 연결되어 z축구동모듈(15) 측방에서 위쪽으로 연장되는 바, 상단에 구비된 접속단자(90)가 도 4에 도시된 것처럼 커넥터(86)에 접속됨으로써 위 프로브모듈(13)의 상하한 위치신호와 착탈신호는 물론, 후술하는 모터(41)의 구동신호까지를 제어부(7)로 전달하도록 되어 있다.

끝으로, 상기 종방향 병렬연장부(94)는 도 4 내지 도 7 및 도 12에 도시된 것처럼, z축구동모듈(15) 측방에서 종방향 상단연장부(93)와 나란히 연장되면서 상단이 종방향 상단연장부(93)에 합류하고, 하단에 구비된 접속단자(95)가 z축구동모듈(15)의 모터(41)에 접속되는 바, 모터(41)와 제어부(7)를 연결함으로써 프로브모듈(13)을 승강시키기 위한 구동신호를 제어부(7)로부터 모터(41)로 전달하도록 되어 있다.

이제, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치(1)의 작용을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 프로브 검사장치(1)는 도 2에 도시된 것처럼, 검사를 위해 디스플레이 패널과 같은 검사대상물(P)이 베이스(2) 상에 안착되면, 뒤쪽으로 물러나 있던 갠트리(3)가 전진하여 정렬블록(5)이 검사대상물(P) 접촉지점 위 즉, 검사대기위치에 위치하게 된다.

이어서, 갠트리(3)가 하사점까지 하강한 위치에서 또는 제 위치에서 x축구동수단(6)이 동작하여 필요에 따라 각각의 정렬블록(5)을 독립적으로 검사대기위치에 이동시켜 정렬시키게 된다. 이때, x축구동수단(6)은 구동용 케이블(81)을 통해 직접 또는 중개부(8)를 거쳐 연결된 제어부(7)의 명령에 따라 정렬블록(5)을 횡이동시킨다.

이어서, z축구동모듈(15)이 동작하여 각각의 프로브모듈(13)을 검사위치로 하강시키면 프로브(20)가 검사대상물(P)의 접촉지점에 접촉하면서 가볍게 눌려 하한 위치에 이르게 된다. 이때, z축구동모듈(15)의 모터(41)는 구동용 FPCB(82)와 중개부(8)를 거쳐 연결된 제어부(7)의 명령에 따라 구동이 제어된다. 또, 프로브모듈(13)은 하한 위치가 하단 리미트스위치(35)에 의해 감지되며, 이렇게 감지된 프로브모듈(13)의 하한 위치신호 즉, 하사점 신호는 마찬가지로 구동용 FPCB(82)와 중개부(8)를 통해 제어부(7)로 전달된다.

뒤이어, 제어부(7)로부터 보내지는 예컨대 RGB 점등신호와 같은 제어신호는 프로브(20)를 통해 검사대상물(P)에 가해짐으로써 비로소 검사대상물(P)에 대한 검사가 이루어지며, 검사결과는 다시 제어부(7)로 보내진다. 다만 이때 제어부(7)와 프로브(20) 간의 신호 송수신은 검사용 FPCB(83)와 중개부(8)를 통해 이루어진다.

한편, 각각의 중개용 PCB(84)는 각각의 커넥터(85,86)를 통해 전달된 각종 신호를 도 11에 도시된 것처럼 양단에 위치하는 각각의 커넥터(97)와 거기에 연결되는 각각의 필름케이블(98)을 통해 이웃한 중개용 PCB(84)로 순차 전달하며 최종적으로, 도 3에 확대 도시된 것처럼 갠트리(3) 양단에 위치하는 중개용 PCB(84)를 통해 제어부(7)로 전달한다. 제어부(7)로부터 각종 신호를 전달 받을 때는 위와 역순으로 각각의 커넥터(85,86)를 통해 프로브(20) 등으로 신호를 전달한다. 이에 따라, 제어부(7)는 x축구동수단(6)의 왕복 동작과 z축구동모듈(15)의 승강 동작을 제어하고, 또 프로브(20)를 통해 검사대상물(P)에 대한 검사를 수행하게 된다.

이렇게 해서 검사가 완료되면, 프로브(20)를 비롯한 전체 장비는 위와 역순으로 원위치하게 되며, 이에 따라 검사대상물(P)에 대한 일련의 검사과정은 종료되는데, 이러한 검사는 정렬블록(5)의 x축방향 왕복이 독립적으로 이루어지므로, 하나의 프로브 검사장치(1)로 다양한 설계사양의 검사대상물(P)을 검사할 수 있게 된다.

이때, x축구동수단(6)은 구동용 케이블(81)을 통해 제어부(7)와 동작신호를 주고받으며, 전원부로부터 전기를 공급받는다. 반면, 정렬블록(5)은 스캐너(17)가 제어부(7)에 연결됨으로써 자신의 횡이동값을 제어부(7)로 전달한다. 또한, 정렬블록(5)은 중개부(8)에 접속되는 종방향 상단연장부(93)를 통해 구동용 FPCB(82)로 전달되는 프로브모듈(13) 승강 신호를 제어부(7)와 송수신한다. 즉, z축구동모듈(15)은 상단 리미트스위치(36)가 횡방향 중단연장부(92)에 연결된 연결선(88)을 통해 구동용 FPCB(82) 중단에 연결되고, 하단 리미트스위치(35)가 종방향 하단연장부(91)의 접속단자(87)를 통해 구동용 FPCB(82) 하단에 연결되므로, 구동용 FPCB(82)를 통해 중개부(8)와 제어부(7)로 상하사점 신호를 전달한다. 또, 모터(41)가 종방향 병렬연장부(94)에 연결된 접속단자(95)를 통해 구동용 FPCB(82)의 중단에 종방향 상단연장부(93)에 나란히 연결되므로, 구동용 FPCB(82)를 통해 중개부(8)와 제어부(7)로부터 구동명령을 송수신하여 프로브모듈(13)을 승강시킨다.

이상에서 본 발명의 구체적인 실시를 예로 들어 설명하였으나, 이들은 단지 설명의 목적을 위한 것으로 본 발명의 보호 범위를 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.

1 : 프로브 검사장치 2 : 베이스
3 : 갠트리 5 : 정렬블록
6 : x축구동수단 7 : 제어부
8 : 중개부 9 : 연결수단
11 : 기대 13 : 프로브모듈
15 : z축구동모듈 17 : 스캐너
19 : 스케일 20 : 프로브
21 : 파지부 23 : 구동부
25 : 안내부 31 : 파지브래킷
33 : 파지몸체 41 : 모터
43 : 나사봉 45 : 커플링
47 : 볼스크류너트 49 : 너트브래킷
51 : 레일 53 : 블록
61 : LM레일 63 : LM본체
65 : 횡이송판 67 : LM가이드
82 : 구동용 FPCB 83 : 검사용 FPCB
84 : 중개용 PCB 98 : 필름케이블
P : 검사대상물 S : 슬롯

Claims (9)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 베이스(2) 상에 놓인 검사대상물(P)의 일변에 대해 직각을 이루는 y축방향으로 왕복 가능하도록, 상기 검사대상물(P)의 일변을 따라 상기 베이스(2) 상에 x축방향으로 연장되어 설치되는 갠트리(3);
   상기 검사대상물(P)에 대해 x축방향으로 왕복 가능하도록 상기 갠트리(3) 상에 설치되어, 상기 검사대상물(P)과 접촉 또는 이격되도록 z축방향으로 승강하는 프로브(20)에 의해 상기 검사대상물(P)을 검사하는 복수의 정렬블록(5);
   상기 갠트리(3) 전면에 상기 x축방향으로 설치되어, 상기 정렬블록(5)을 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 상기 갠트리(3) 상에 연결하는 x축구동수단(6);
   상기 x축구동수단(6)에 의한 상기 정렬블록(5)의 x축방향 왕복과 상기 정렬블록(5) 상에서의 상기 프로브(20)의 승강을 제어하고, 상기 검사대상물(P)에 대한 상기 프로브(20)의 검사를 수행하는 제어부(7);
   상기 정렬블록(5), 상기 x축구동수단(6), 및 상기 프로브(20) 중 적어도 하나와 상기 제어부(7)의 전기적인 연결을 중간에서 매개하도록 상기 갠트리(3) 상에 장착되는 중개부(8); 및
   상기 정렬블록(5)의 왕복과 상기 프로브(20)의 승강을 위한 구동신호와 제어신호 및 상기 검사대상물(P)의 검사를 위한 입출력신호를 상기 제어부(7)와 주고받기 위해 상기 정렬블록(5), 상기 x축구동수단(6), 및 상기 프로브(20)를 상기 중개부(8)에 전기적으로 연결하는 연결수단(9);을 포함하여 이루어지고,
   상기 중개부(8)는 복수의 중개용 PCB(84)를 직렬 연결하여 구성되며,
   상기 연결수단(9)은 일단이 상기 x축구동수단(6)으로 접속되고 타단이 중개부(8)를 통해 상기 제어부(7)에 연결되는 구동용 케이블(81)을 포함하고,
   상기 연결수단(9)은 일단이 상기 정렬블록(5)으로 이어지고 타단이 상기 중개부(8)에 연결되는 구동용 FPCB(82)를 포함하며,
   상기 정렬블록(5)은,
   x축방향으로 왕복 가능하게 상기 x축구동수단(6)에 연결되면서 상기 정렬블록(5)의 기초를 이루는 기대(11);
   상기 검사대상물(P)과 접촉 또는 이격되도록 승강하는 상기 프로브(20)에 의해 상기 검사대상물(P)을 검사하는 프로브모듈(13); 및
   상기 프로브모듈(13)을 착탈 가능하게 연결하도록 상기 기대(11) 상에 상기 z축방향으로 설치되어, 상기 프로브모듈(13)을 상기 z축방향으로 승강 가능하게 지지하는 z축구동모듈(15);을 포함하여 이루어지고,
   상기 구동용 FPCB(82)는,
   상기 프로브모듈(13)의 하한 위치신호를 전달 받도록 상기 z축구동모듈(15) 전방에 연장되어 상기 z축구동모듈(15)의 하단 리미트스위치(35)에 연결되는 종방향 하단연장부(91);
   상기 프로브모듈(13)의 상한위치 신호와 상기 프로브모듈(13)의 착탈신호를 전달 받도록 z축구동모듈(15) 측방에 연장되어 상기 종방향 하단연장부(91) 상단에 연결되는 횡방향 중단연장부(92);
   상기 프로브모듈(13)의 상하한 위치신호와 착탈신호를 상기 제어부(7)로 전달하도록 상기 z축구동모듈(15) 측방에 연장되어 하단이 상기 횡방향 중단연장부(92) 측단에 연결되고, 상단이 상기 제어부(7)로 이어지는 종방향 상단연장부(93); 및
   상기 z축구동모듈(15)에 구동신호를 전달하도록 상기 z축구동모듈(15) 측방에서 상기 종방향 상단연장부(93)와 나란히 연장되어 하단이 상기 z축구동모듈(15)에 연결되고, 상단이 상기 제어부(7)로 이어지는 종방향 병렬연장부(94);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 연결수단(9)은 일단이 상기 프로브(20)로 이어지고 타단이 상기 중개부(8)에 연결되는 검사용 FPCB(83)를 포함하는 것을 특징으로 하는 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치.
6. 삭제
7. 삭제
8. 청구항 4에 있어서,
   상기 z축구동모듈(15)은,
   상기 기대(11)의 전면 하단에 장착되어, 상기 프로브모듈(13)을 착탈 가능하게 결합하는 파지부(21);
   상기 파지부(21) 위쪽에서 상기 기대(11)의 전면에 장착되어, 상기 파지부(21)에 결합된 상기 프로브모듈(13)과 함께 상기 파지부(21)를 승강시키는 구동부(23); 및
   상기 구동부(23)에 의해 승강하도록 구동되는 상기 파지부(21)의 승강을 안내하는 안내부(25);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치.
9. 청구항 4에 있어서,
   상기 x축구동수단(6)은,
   상기 갠트리(3) 상에 다수의 전자석을 상기 x축방향을 따라 일렬로 배치하여 형성된 LM레일(61);
   내장된 자성체와 상기 전자석의 상호 작용에 의해 상기 LM레일(61)을 따라 상기 x축방향으로 왕복하도록 상기 LM레일(61) 상에 장착되는 LM본체(63);
   상기 LM본체(63) 일측에 상기 LM레일(61)과 나란하게 장착되어, 상기 정렬블록(5)을 상기 갠트리(3) 상에 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 설치하는 횡이송판(65); 및
   상기 횡이송판(65)과 상기 갠트리(3) 사이에 개재되도록 상기 x축방향으로 장착되어, 상기 횡이송판(65)의 상기 x축방향 왕복을 안내하는 왕복용 LM가이드(67);을 포함하여 이루어진 LM액추에이터인 것을 특징으로 하는 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치.

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