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KR102689687B1 - 열압착 장치 - Google Patents

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KR102689687B1
KR102689687B1 KR1020220055969A KR20220055969A KR102689687B1 KR 102689687 B1 KR102689687 B1 KR 102689687B1 KR 1020220055969 A KR1020220055969 A KR 1020220055969A KR 20220055969 A KR20220055969 A KR 20220055969A KR 102689687 B1 KR102689687 B1 KR 102689687B1
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thermal compression
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주식회사 원익큐엔씨
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Abstract

열압착 시 이동 거리를 제한함으로 균일한 열압착 제품 제공이 가능한 열압착 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 열압착 장치는 베드; 상기 베드에 의해 지지되도록 고정 설치되고, 가열된 상태에서 열압착되는 제1 부품이 고정되는 고정대; 상기 고정대에 대하여 근접 및 이격 가능하도록 상기 베드에 설치되고 상기 제1 부품에 열압착되는 제2 부품이 고정되는 이동대; 및 상기 이동대의 이동방향과 평행한 방향으로 이동 및 고정될 수 있도록 상기 베드에 설치되고, 상기 베드에 고정된 상태에서 상기 이동대의 이동을 제한함으로써 상기 제1 부품과 제2 부품의 열압착되는 치수를 제한하는 스톱퍼;를 포함할 수 있다.

Description

열압착 장치{Thermocompression bonding apparatus}
본 발명은 두 부품에 열을 가한 다음 압착시키는 열압착 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 열압착 시 이동 거리를 제한함으로 균일한 열압착 제품 제공이 가능한 열압착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 공정은 웨이퍼를 처리하는 다양한 공정들을 포함하며, 그 중 고온 반응을 진행하기 위한 열처리 공정이 포함되며, 이를 위한 열처리 장치로서 웨이퍼의 열처리를 위하여 보트를 이용하는 리액터(Reactor)가 예시될 수 있다.
리액터는 투입된 웨이퍼들에 대한 열처리 공정을 수행하는 것이고, 보트는 일정 매수 단위(예시적으로 180매)로 열처리를 위한 웨이퍼들을 차지(Charge)하여 리액터 내부로 투입하거나 열처리된 웨이퍼들을 디스차지(Discharge)하기 위하여 리액터 외부로 배출하기 위한 것이다.
상기한 리액터는 히터 케이스, 아우터 튜브(Outer Tube), 이너 튜브(Inner Tube)를 구비한다. 이 중, 이너 튜브는 예시적으로 상부의 보트 영역과 하부의 단열 영역으로 구분될 수 있다. 보트 영역은 보트가 로딩되며 보트에 실린 웨이퍼에 대한 열처리가 진행되는 영역이고, 단열 영역은 웨이퍼 공정 중에 고온을 유지하는 보트 영역을 외부와 차단하기 위한 단열 구조를 갖는 영역이다.
웨이퍼 공정 중, 반응 가스가 이너 튜브의 상부의 보트 영역으로 공급되며, 반응에 이용된 반응 가스와 공정 결과로 얻어지는 부산물 및 부산 가스는 이너 튜브와 아우터 튜브 사이의 배기 공간 및 아우터 튜브의 배기관을 통하여 배기된다.
일반적으로 반응 가스, 부산물 및 부산 가스는 배기되는 과정에서 이너 튜브와 아우터 튜브 사이의 배기 공간 및 배기 공간 하부의 캡 플랜지 상부에 잔류될 수 있다.
상기와 같이 잔류되는 반응 가스, 부산물 및 부산 가스는 웨이퍼 공정이나 설비에 영향을 미칠 수 있다.
종래 리액터에 제공되는 이너 튜브와 아우터 튜브는 통상 석영으로 이루어지고, 두 개의 부품을 열압착에 의해 접착하여 제작할 수 있다. 도 1 및 도 2를 참고하면, 두 개의 부품인 바디(1)와 플랜지(2)를 열압착에 의해 제작하기 위한 열압착 장치가 도시되어 있다. 도 1 및 도 2를 참고하면, 열압착 장치(10)는 하부의 베드(20), 고정대(30), 그리고 이동대(40)를 포함한다. 베드(20)에는 가이드 레일(21)이 설치되어 있고, 고정대(30)와 이동대(40)의 하부의 베이스(31, 41)가 직선으로 이동 가능하도록 가이드 레일(21)에 결합된다. 고정대(30)는 움직이지 않고 이동대(40)가 움직여 작업을 진행하게 된다. 고정대(30)와 이동대(40)에는 각각 클램프(32, 42)가 설치되어 있고, 고정대(30)의 클램프(32)에는 바디(1)가 물리고, 이동대(40)의 클램프(42)에는 플랜지(2)가 물리게 된다. 바디(1)와 플랜지(2)는 열압착에 의해 하나의 일체화된 제품으로 제작된다. 제작 시, 먼저 바디(1)와 플랜지(2)의 길이 치수를 측정하고 압착 치수를 결정하게 된다. 바디(1)를 고정대(30)에 고정하고, 플랜지(2)를 이동대(40)에 고정한다. 고정대(30)에 고정된 바디(1)의 열압착할 부위를 가열한다. 바디(1)의 열압착 부위가 열압착 가능 온도 도달 시, 이동대(40)를 이동시켜 플랜지(2)를 바디(1)에 압착한다.
그러나, 종래기술에 의한 열압착 장치는 작업자별, 숙련도에 따라 부품들의 치수를 측정한 다음 결정된 압착 치수 이상 또는 이하로 압착되는 경우가 많이 발생되어 최종 제품의 총장 치수 불량이 발생되는 문제점이 있었다.
특허공개 KR10-2020-0029895
본 발명에 따르면 각 부품의 치수를 측정한 다음 그에 적합한 압착 치수를 결정한 다음 열압착 치수만큼 스톱퍼의 미세 거리를 조정함으로써 최종 제품의 총장 치수 불량을 원천적으로 방지할 수 있는 열압착 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따른 열압착 장치는, 베드; 상기 베드에 의해 지지되도록 고정 설치되고, 가열된 상태에서 열압착되는 제1 부품이 고정되는 고정대; 상기 고정대에 대하여 근접 및 이격 가능하도록 상기 베드에 설치되고 상기 제1 부품에 열압착되는 제2 부품이 고정되는 이동대; 및 상기 이동대의 이동방향과 평행한 방향으로 이동 및 고정될 수 있도록 상기 베드에 설치되고, 상기 베드에 고정된 상태에서 상기 이동대와 접촉하는 말단부의 위치가 미세 조정 및 고정 가능하도록 설치되어 상기 이동대의 이동을 제한함으로써 상기 제1 부품과 제2 부품의 열압착되는 치수를 제한하는 스톱퍼;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 베드는 상기 스톱퍼가 이동 및 고정될 수 있도록 안내하는 복수개의 치형이 형성된 리니어 가이드를 구비할 수 있다.
이때, 상기 스톱퍼는, 상기 베드에 설치된 리니어 가이드에 의해 일부가 지지되는 제1 몸체; 상기 제1 몸체에 대하여 승강 가능하게 설치되고 상기 리니어 가이드에 물리는 치형이 형성되어 상승하면 상기 리니어 가이드의 치형에 물림으로써 리니어 가이드에 고정되는 제2 몸체; 상기 제2 몸체가 상승하여 치형들이 물린 상태에서 상기 리니어 가이드에 고정되도록 상기 제1 몸체와 제2 몸체에 각각 설치되어 잠그는 잠금부; 및 상기 제1 몸체에 이동대의 이동방향과 평행한 방향으로 전후진될 수 있도록 설치되고 상기 이동대가 밀착되어 멈춤으로써 고정대 방향으로의 이동을 제한하는 미세 조정부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제2 몸체가 상기 제1 몸체에 대하여 승강하는 것을 안내하도록 상기 제1 몸체와 제2 몸체에는 적어도 하나 이상의 가이드 봉이 설치될 수 있다.
이때, 상기 제1 몸체는 상기 미세 조정부가 설치되는 부분과 상기 가이드 봉이 설치되는 부분 사이에 단턱이 형성될 수 있다.
이때, 상기 제2 몸체는 상면에 상기 리니어 가이드의 치형에 맞물리는 치형이 형성될 수 있다.
이때, 상기 잠금부는, 상기 제1 몸체에 고정된 걸림대; 상기 제2 몸체에 회전 가능하게 설치된 레버; 및 상기 레버의 몸체에 회전 가능하게 설치되고, 상기 레버의 회전축과 이격된 위치에 회전축이 구비된 걸림 고리;를 포함하고, 상기 걸림 고리가 상기 걸림대에 걸린 상태에서 상기 레버를 회전시키면 상기 제1 몸체와 제2 몸체가 잠금될 수 있다.
이때, 상기 미세 조정부는, 상기 제1 몸체에 전후진될 수 있도록 나사 결합되는 나사부; 및 상기 나사부의 전면에 위치하여 상기 이동대에 접촉하게 되는 말단부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1 몸체에는 상기 나사부와 일체로 전후진 이동하는 외부로 노출된 지시부가 구비되고, 상기 지시부에 의해 말단부의 미세 이동거리를 인식할 수 있도록 눈금자가 구비될 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 열압착 장치는, 제1 부품과 제2 부품의 열압착 시 스톱퍼가 제2 부품의 열압착 치수 이동을 미세하게 조정하여 제한함으로써 계산된 열압착 치수만큼만 이동하면서 열압착이 진행되어 제품의 균일화를 가져올 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 의한 열압착 장치의 작동 전후 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제1 상태의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제2 상태의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제2 상태의 스톱퍼의 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제3 상태의 스톱퍼의 확대도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 일부 구성요소인 스톱퍼의 작동 전후의 사시도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 열압착 장치를 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치(100)는, 도 1 내지 도 7을 참고하면, 베드(120), 고정대(130), 이동대(140), 스톱퍼(150)를 포함한다.
상기 베드(120)는, 도 3 및 도 4를 참고하면, 모든 구성 부품들을 지면으로부터 일정 높이에서 안정적으로 지지할 수 있다.
이때, 상기 베드(120)는, 도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 스톱퍼(150)가 이동 및 고정될 수 있도록 안내하는 복수개의 치형(122a)이 형성된 리니어 가이드(122)를 구비할 수 있다.
이때, 상기 리니어 가이드(122)는 상부면은 편편한 형태로 이루어지고 저면에 하측 방향으로 복수개의 치형(122a)이 형성될 수 있다.
상기 고정대(130)는, 도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 베드(120)에 의해 지지되도록 고정 설치되고, 가열된 상태에서 열압착되는 제1 부품(1)이 고정될 수 있다.
이때, 상기 제1 부품(1)은 바디일 수 있다. 상기 바디는 이너 튜브 또는 아우터 튜브의 몸체를 이루게 되는 부품이다.
이때, 상기 고정대(130)에는 제1 부품(1)을 잡아 고정시키는 클램프(132)가 설치되어 있다.
이때, 상기 고정대(130)는 베드(120) 상부에 베이스(131)를 매개로 완전히 고정되어 있고, 제1 부품(1)이 장착된 상태에 열압착 부위에 압착 전 열압착 가능 온도까지 열이 가해지게 된다.
상기 이동대(2)는, 도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 고정대(130)에 대하여 근접 및 이격 가능하도록 상기 베드(120)에 설치되고 상기 제1 부품(1)에 열압착되는 제2 부품(2)이 고정될 수 있다.
이때, 상기 이동대(140)는 하부의 베이스(141)가 가이드 레일(121)에 결합되도록 조립되고, 가이드 레일(121)의 안내를 따라 고정대(130) 방향으로 전후진 할 수 있게 되어 있다.
이때, 상기 이동대(140)에도 클램프(142)가 설치되어 제2 부품(2)을 고정할 수 있도록 되어 있다. 제2 부품(2)은 바디에 열압착되어 결합되는 플랜지(2) 부품일 수 있다. 바디와 플랜지는 모두 석영 재질로 이루어질 수 있기 때문에 매우 고온에서 열압착 작업이 이루어지게 된다.
상기 스톱퍼(150)는, 도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 이동대(140)의 이동방향과 평행한 방향으로 이동 및 고정될 수 있도록 상기 베드(120)에 설치되고, 상기 베드(120)에 고정된 상태에서 상기 이동대(140)의 이동을 제한함으로써 상기 제1 부품(1)과 제2 부품(2)의 열압착되는 치수를 제한할 수 있다.
이때, 상기 스톱퍼(150)는 상기 리니어 가이드(122)의 안내를 따라 직선으로 전후진할 수 있을 뿐만 아니라 치형(122a, 152a)을 매개로 일정한 위치에서 고정될 수 있다. 따라서 상기 이동대(140)의 이동을 어느 한 지점에서 멈추도록 할 수 있다.
이때, 상기 스톱퍼(150)는, 도 3 내지 도 7을 참고하면, 제1 몸체(151), 제2 몸체(152), 잠금부(156), 그리고 미세 조정부(157)를 포함할 수 있다.
상기 제1 몸체(151)는, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 베드(122)에 설치된 리니어 가이드(122)에 의해 일부가 지지될 수 있다. 상기 제1 몸체(151)는 단턱이 형성되어 있고, 그 단턱이 형성된 부분이 리니어 가이드(122)에 의해 지지될 수 있다.
이때, 상기 제1 몸체(151)는 상기 미세 조정부(157)가 설치되는 부분과 가이드 봉(158)이 설치되는 부분 사이에 단턱이 형성될 수 있다. 즉 단턱이 리니어 가이드(122) 상면에 놓인 채로 지지될 수 있다.
상기 제2 몸체(152)는, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 제1 몸체(151)에 대하여 승강 가능하게 설치되고 상기 리니어 가이드(122)에 물리는 치형(152a)이 형성되어 상승하면 상기 리니어 가이드(122)의 치형(122a)에 물림으로써 리니어 가이드(122)에 고정될 수 있다.
이때, 상기 제2 몸체가(152) 상기 제1 몸체(151)에 대하여 승강하는 것을 안내하도록 상기 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152)에는 적어도 하나 이상의 가이드 봉(158)이 설치될 수 있다.
이때, 상기 제2 몸체(152)는 상면에 상기 리니어 가이드(122)의 치형(122a)에 맞물리는 치형(152a)이 형성될 수 있다. 따라서 제2 몸체(152)가 승강에 따라 치형들(122a, 152a)이 물리거나 해제될 수 있다.
상기 잠금부(156)는, 도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 제2 몸체(152)가 상승하여 치형들(122a, 152a)이 물린 상태에서 상기 리니어 가이드(122)에 고정되도록 상기 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152)에 각각 설치되어 잠글 수 있다.
이때, 상기 잠금부(156)는 상기 제1 몸체(151)에 고정된 걸림대(152c)와, 상기 제2 몸체(152)에 회전 가능하게 설치된 레버(156a)와, 상기 레버(156a)의 몸체에 회전 가능하게 설치되고, 상기 레버(156a)의 회전축과 이격된 위치에 회전축이 구비된 걸림 고리(156b)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 걸림 고리(156b)가 상기 걸림대(156c)에 걸린 상태에서 상기 레버(156a)를 회전시키면 상기 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152)가 잠금될 수 있다.
이때, 상기 미세 조정부(157)는, 도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 제1 몸체(151)에 이동대(140)의 이동방향과 평행한 방향으로 전후진될 수 있도록 설치되고 상기 이동대(140)가 밀착되어 멈춤으로써 고정대(130) 방향으로의 이동을 제한할 수 있다.
이때, 상기 미세 조정부(157)는 상기 제1 몸체(151)에 전후진될 수 있도록 나사 결합되는 나사부(154)와, 상기 나사부(154)의 전면에 위치하여 상기 이동대(140)에 접촉하게 되는 말단부(157)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1 몸체(151)에는 상기 나사부(154)와 일체로 전후진 이동하는 외부로 노출된 지시부(154a)가 구비되고, 상기 지시부(154a)에 의해 말단부(155)의 미세 이동거리를 인식할 수 있도록 눈금자(153)가 구비될 수 있다.
도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치(100)의 제1 상태의 정면도가 도시되어 있다. 열압착 장치(100)의 제1 상태는 제1 부품(1)과 제2 부품(2)이 고정대(130)와 이동대(140)에 각 클램프(132, 142)에 의해 장착된 상태이다. 고정대(130)는 베드(120)에 고정된 상태이고, 이동대(140)는 고정대(130)와 멀리 이격되어 제2 부품(2)만 클램프(142)에 의해 장착된 상태이다. 이동대(140)는 베이스(141)를 매개로 가이드 레일(121)을 고정대(130) 방향 쪽으로 직선으로 이동이 가능한 상태이다. 한편, 스톱퍼(150는 리니어 가이드(122)에 단순히 놓여 있는 상태로 이동대(140)의 이동을 제한하지 않는 상태이다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제2 상태의 정면도가 도시되어 있다. 이동대가(140) 고정대(130)로 이동하여 제1 부품(1)과 제2 부품(2)이 서로 밀착된 상태로서, 각 치수를 계산한 다음, 안착할 치수를 계산하게 된다. 그 다음 스톱퍼(150)를 리니어 가이드(122)를 따라 이동시킨 다음 스톱퍼(150)의 말단부(155)가 이동대(140)의 베이스(141)에 밀착되도록 하고, 그 상태에서 스톱퍼(150)를 리니어 가이드(122)에 고정시킨다. 이러한 상태에서는 결국 이동대(140)는 고정대(130) 반대 방향으로만 이동이 가능한 상태이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제2 상태의 스톱퍼의 확대도가 도시되어 있다. 전술한 바와 같이 스톱퍼(150)의 말단부(155)는 이동대(140)의 베이스(141)에 밀착된 상태이고, 스톱퍼(150)의 잠금부(156)에 의해 스톱퍼(150)는 리니어 가이드(122)에 고정되어 있다. 즉 스톱퍼(150)의 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152) 사이에는 리니어 가이드(122)가 고정되어 있는 바, 이때에는 제2 몸체(152)가 상승하여 치형들(122a, 152a)끼리 구속된 상태이고, 그 상태에서는 잠금부(156)의 걸림 고리(156b)가 걸림대(156c)에 걸린 상태로 레버(156a)가 하부 방향으로 완전히 회전된 잠금 상태이다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 제3 상태의 스톱퍼의 확대도가 도시되어 있다. 스톱퍼(150)가 리니어 가이드(122)에 완전히 고정된 제2 상태에서 계산된 열압착 치수만큼 말단부(155)를 회전시켜 고정대(130) 방향으로 이동시킴으로써 말단부(155)가 이동대(140)의 베이스(141)로부터 그만큼 이격된다. 물론 이때에는 스톱퍼(150)는 고정된 상태이다. 말단부(155)를 회전시킴에 따라 나사부(154)와 제1 몸체(151)의 상호작동에 의해 말단부(155)를 도 6과 같은 상태로 된다. 이때 작업자는 눈금자(153)와 지시부(154a)를 이용하여 정확히 연산된 거리만큼만 압축 치수를 이동시키면 된다.
그 다음, 제3 상태에서 이동대(140)를 고정대(130)와 이격되도록 다시 이동시키고, 고정대(130)의 제1 부품(1)이 열압착 가능 온도에 이르기까지 가열한다. 열압착 가능 온도에 이르게 되면, 이동대(140)를 가이드 레일(121)을 따라 고정대(130) 방향으로 이동시켜 열압착을 진행하게 된다.
이때, 열압착 처음에는 도 6과 같이 이동대(140)는 말단부(155)로부터 이격되어 있게 되나, 열압착이 진행됨에 따라 말단부(155)로 근접하게 되고 어느 순간에는 말단부(155)에 이동대(140)가 밀착된다. 물론 이때에는 스톱퍼(150)가 고정되어 있는 상태이기 대문에 더 이상 이동대(140)는 고정대(130) 방향으로 이동할 수 있고, 결국에는 그 위치에서 열압축이 마무리된다. 따라서 요구되는 열압착 치수를 정확하게 지킬 수 있게 된다.
도 7을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열압착 장치의 일부 구성요소인 스톱퍼의 작동 전후의 사시도가 도시되어 있다. (a)는 스톱퍼(150)의 구속이 해제된 상태이고, (b)는 스톱퍼(150)가 구속되어 리니어 가이드(122)에 고정된 상태를 보여준다. 제1 몸체(151)에는 상부 측에 나사부(154)가 나사 결합되어 스크류와 같이 회전함에 따라 전후진으로 미세 이동할 수 있도록 되어 있다. 나사부(154)의 단부에는 말단부(155)가 형성되어 있고, 말단부(155)를 잡고 회전시킬 수 있도록 되어 있다. 나사부(154)에는 지시부(154a)가 외부로 노출되도록 구비되어 있고, 지시부(154a)와 제1 몸체(151)에 형성된 눈금자(153)를 이용하여 열압착 치수를 미세하게 조정할 수 있다. 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152)는 2 개의 가이드 봉(158)에 의해 제2 몸체(152)의 승강이 안내되도록 되어 있다.
이때, 제2 몸체(152)가 제1 몸체(151)에 대하여 상승하게 되면 스톱퍼(150)가 고정되고, 하강하게 되면 고정이 해제된다. 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152) 사이에는 리니어 가이드(122)가 제1 몸체(151)를 지지 및 안내하도록 되어 있다. 리니어 가이드(122) 하부면에 치형(122a)이 구비되어 있고, 스톱퍼(150)의 제2 몸체(152)의 상부면에 치형(152a)이 구비되어 있으므로 제2 몸체(152)가 상승하게 되면 치형들(122a, 152a)이 맞물려 스톱퍼(150)가 리니어 가이드(122)에 구속될 수 있다.
이때, 잠금부(156)는 레버(156a), 걸림대(156c), 그리고 걸림 고리(156b)를 포함하는 바, 걸림대(156c)는 제1 몸체(151)에 고정되어 있고, 레버(156a)는 제2 몸체(152)에 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한 걸림 고리(156b)는 레버(156a)에 회전 가능하게 설치되되, 레버(156a)의 회전축과 이격된 위치에 그 회전축이 설치되어 있다. 즉 걸림 고리(156b)의 회전축이 레버(156a)의 회전축보다 걸림대(156c)로부터 더 이격된 위치에 배치되어 있다. 따라서 걸림 고리(156b)를 회전시켜 걸림대(156c)에 걸리도록 하고, 레버(156a)를 하부 방향으로 내리면 걸림 고리(156b)가 걸림대(156c)에 강하게 걸려 구속되고, 결국 제1 몸체(151)와 제2 몸체(152)가 리니어 가이드(122)에 강하게 밀착된 상태로 고정된다. 물론 이때 치형들(122a, 152a)은 서로 완전히 결합되어 구속된 상태이다. 반대로 레버(156a)를 상부로 회전시켜 들어 올리면 걸림 고리(156b)가 걸림대(156c)로부터 벗어날 수 있게 되고, 스톱퍼(150)는 리니어 가이드(122)로부터 해제된다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 제1 부품 2 : 제2 부품
100 : 열압축 장치 120 : 베드
121 : 가이드 레일 122 : 리니어 가이드
130 : 고정대 140 : 이동대
150 : 스톱퍼 151 : 제1 몸체
152 : 제2 몸체 153 : 눈금자
154 : 나사부 154a : 지시부
155 : 말단부 156 : 잠금부
157 : 미세 조정부 158 : 가이드 봉

Claims (9)

  1. 베드;
    상기 베드에 의해 지지되도록 고정 설치되고, 가열된 상태에서 열압착되는 제1 부품이 고정되는 고정대;
    상기 고정대에 대하여 근접 및 이격 가능하도록 상기 베드에 설치되고 상기 제1 부품에 열압착되는 제2 부품이 고정되는 이동대; 및
    상기 이동대의 이동방향과 평행한 방향으로 이동 및 고정될 수 있도록 상기 베드에 설치되고, 상기 베드에 고정된 상태에서 상기 이동대와 접촉하는 말단부의 위치가 미세 조정 및 고정 가능하도록 설치되어 상기 이동대의 이동을 제한함으로써 상기 제1 부품과 제2 부품의 열압착되는 치수를 제한하는 스톱퍼;를 포함하고,
    상기 스톱퍼는,
    상기 베드에 설치된 리니어 가이드에 의해 일부가 지지되는 제1 몸체;
    상기 제1 몸체에 대하여 승강 가능하게 설치되고 상기 리니어 가이드에 물리는 치형이 형성되어 상승하면 상기 리니어 가이드의 치형에 물림으로써 리니어 가이드에 고정되는 제2 몸체;
    상기 제2 몸체가 상승하여 치형들이 물린 상태에서 상기 리니어 가이드에 고정되도록 상기 제1 몸체와 제2 몸체에 각각 설치되어 잠그는 잠금부;
    상기 제1 몸체에 이동대의 이동방향과 평행한 방향으로 전후진될 수 있도록 설치되고 상기 이동대가 밀착되어 멈춤으로써 고정대 방향으로의 이동을 제한하는 미세 조정부;를 포함하는, 열압착 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 베드는 상기 스톱퍼가 이동 및 고정될 수 있도록 안내하는 복수개의 치형이 형성된 리니어 가이드를 구비한, 열압착 장치.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 몸체가 상기 제1 몸체에 대하여 승강하는 것을 안내하도록 상기 제1 몸체와 제2 몸체에는 적어도 하나 이상의 가이드 봉이 설치된, 열압착 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 몸체는 상기 미세 조정부가 설치되는 부분과 상기 가이드 봉이 설치되는 부분 사이에 단턱이 형성된, 열압착 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 몸체는 상면에 상기 리니어 가이드의 치형에 맞물리는 치형이 형성된, 열압착 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 잠금부는,
    상기 제1 몸체에 고정된 걸림대;
    상기 제2 몸체에 회전 가능하게 설치된 레버; 및
    상기 레버의 몸체에 회전 가능하게 설치되고, 상기 레버의 회전축과 이격된 위치에 회전축이 구비된 걸림 고리;를 포함하고,
    상기 걸림 고리가 상기 걸림대에 걸린 상태에서 상기 레버를 회전시키면 상기 제1 몸체와 제2 몸체가 잠금되는, 열압착 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 미세 조정부는,
    상기 제1 몸체에 전후진될 수 있도록 나사 결합되는 나사부; 및
    상기 나사부의 전면에 위치하여 상기 이동대에 접촉하게 되는 말단부를 포함하는, 열압착 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 몸체에는 상기 나사부와 일체로 전후진 이동하는 외부로 노출된 지시부가 구비되고, 상기 지시부에 의해 말단부의 미세 이동거리를 인식할 수 있도록 눈금자가 구비된, 열압착 장치.
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