KR102686790B1

KR102686790B1 - Probe card manual align device

Info

Publication number: KR102686790B1
Application number: KR1020210094005A
Authority: KR
Inventors: 이강택
Original assignee: 이강택
Priority date: 2021-07-19
Filing date: 2021-07-19
Publication date: 2024-07-22
Anticipated expiration: 2041-07-19
Also published as: KR20230013354A

Abstract

프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치에 관한 발명이다. 본 발명의 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치는, 메인 베이스; 상기 메인 베이스 상에 배치되는 공간부가 형성되는 제1 서브 베이스; 상기 제1 서브 베이스 상에 복수 개의 X축 슬롯이 형성되는 제2 서브 베이스; 상기 제2 서브 베이스에 한 쌍으로 결합하되 상기 제2 서브 베이스 상에서 X축 방향으로 이동 가능하며, 사이에서 프로브 카드(probe card)가 탑재되는 한 쌍의 이동식 프로브 카드 탑재블록; 상기 제1 서브 베이스의 공간부에 배치되되 상기 제1 및 제2 서브 베이스에 연결되며, 상기 제2 서브 베이스를 상기 제1 서브 베이스 상에서 X축 방향으로 이동시키는 탑재블록 X축 이동부; 글라스(glass)를 지지하는 한 쌍의 글라스 지지대를 구비하는 회전 샤프트; 상기 회전 샤프트의 단부에 연결되며, 상기 회전 샤프트를 회전시키는 한편 상기 글라스 지지대를 상기 X축, 상기 X축에 교차하는 Y축, 상하 방향인 Z축으로 이동시키는 샤프트 회전 이동유닛; 및 상기 메인 베이스에 하단부가 결합하되 현미경이 이동 가능하게 탑재되는 현미경 이동식 탑재대를 포함한다.This invention relates to a probe card manual alignment device. The probe card manual alignment device of the present invention includes a main base; a first sub-base having a space disposed on the main base; a second sub-base in which a plurality of X-axis slots are formed on the first sub-base; A pair of movable probe card mounting blocks coupled to the second sub-base and movable in the X-axis direction on the second sub-base, between which a probe card is mounted; a mounting block a rotating shaft having a pair of glass supports supporting glass; a shaft rotation moving unit connected to an end of the rotating shaft, rotating the rotating shaft and moving the glass supporter in the X-axis, the Y-axis intersecting the and a microscope movable mounting table on which the lower end is coupled to the main base and the microscope is movably mounted.

Description

Probe card manual align device {Probe card manual align device}

본 발명은, 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, 콤팩트하지만 효율적인 구조와 방식으로 프로브 카드의 정밀 얼라인 작업을 진행할 수 있는 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card manual alignment device, and more specifically, to a probe card manual alignment device that can perform precise alignment of a probe card in a compact but efficient structure and method.

프로브 카드(probe card)란 예컨대, 반도체의 동작을 검사하기 위하여 반도체 칩과 테스트 장비를 연결하는 장치의 총칭이다.A probe card is a general term for a device that connects a semiconductor chip and test equipment to, for example, inspect the operation of the semiconductor.

프로브 카드에 장착된 프로브 바늘이 웨이퍼를 접촉하면서 전기를 보내고, 그때 돌아오는 신호에 따라 불량 반도체 칩을 선별한다.The probe needle mounted on the probe card sends electricity while touching the wafer, and defective semiconductor chips are selected according to the signal returned.

프로브 카드에 대해 좀 자세히 알아본다. 앞서 기술한 것처럼 프로브 카드란 반도체의 작동 유무 등을 검사하는 핵심 장비다.Let’s learn more about probe cards. As described earlier, a probe card is a core device that tests whether a semiconductor is operating or not.

우리가 사용하는 컴퓨터부터 핸드폰, 각종 기계, 전자 장비에 들어가는 수많은 반도체는 생산되자마자 그냥 바로 쓰이는 것이 아니며, 프로브 카드를 통해 검사를 받고 출하된다. 즉 생산된 반도체가 정상인지 불량인지를 검사하기 위해 프로브 카드를 통한 검사공정이 진행된다.The numerous semiconductors that go into the computers we use, cell phones, various machines, and electronic equipment are not used as soon as they are produced, but are inspected through probe cards before being shipped. In other words, an inspection process is performed using a probe card to check whether the produced semiconductor is normal or defective.

프로브 카드에는 수많은 니들(침, 탐침, 핀)이 심겨 있거나 배열되어 있다. 물론, 제조사마다 미세하기 틀리기는 하나, 큰 틀은 같다. 다양한 형태의 프로브 카드가 개발되어 사용 중에 있는데, 도 1과 같은 형태를 취하는 것이 통상적이다.Numerous needles (needle, stylet, pin) are implanted or arranged on the probe card. Of course, there are subtle differences depending on the manufacturer, but the general outline is the same. Various types of probe cards have been developed and are in use, and those typically take the form shown in FIG. 1.

이때, 프로브 카드에 마련되는 니들(핀)은 정해진 좌표에 높이와 위치(X,Y,Z)를 맞춘 후, 납이나 기타 본드류로 고정하는 방법으로 해당 좌표에 정확히 위치시켜야 한다.At this time, the needle (pin) provided on the probe card must be accurately positioned at the corresponding coordinates by adjusting the height and position (X, Y, Z) to the specified coordinates and then fixing it with lead or other adhesives.

해당 좌표에 해당 니들이 위치하지 않으면 프로브 카드의 역할을 수행할 수 없기 때문이다. 따라서, 이러한 작업은 초정밀 작업을 필요로 한다. 다시 말해, 1mm를 1/1000로 나눈 마이크로미터까지 초정밀 제어를 해야 한다.This is because if the needle is not located at the corresponding coordinates, the probe card cannot function. Therefore, this work requires ultra-precision work. In other words, ultra-precise control must be achieved down to the micrometer, which is 1 mm divided by 1/1000.

초기의 프로브 카드는 캔틸레버 타입(cantilever type)으로 모든 공정을 사람의 손으로 진행하는 방식이었는데, 이러한 방식에서 최근에는 기계의 도움을 받아 니들을 배열하는 타입, 즉 멤스(mems), 버티칼(vertial) 타입으로 변경되는 추세이다.The initial probe card was a cantilever type in which all processes were carried out by hand, but recently, types that arrange needles with the help of machines, such as mems and vertical, have been developed. There is a trend of changing by type.

한편, 어떠한 방식일지라도 프로브 카드의 작업을 위해서는 프로브 카드를 기준 위치에 얼라인(align)해야 하며, 그러려면 그에 적합한 장치, 즉 프로브 카드 얼라인 장치가 필요하다.Meanwhile, regardless of the method, in order to work with the probe card, the probe card must be aligned to a reference position, and to do so, a suitable device, that is, a probe card alignment device, is needed.

다양한 형태와 구조의 프로브 카드 얼라인 장치가 개발하고 있는데, 도 2와 같은 형태가 주류를 이룬다.Probe card alignment devices of various shapes and structures are being developed, but the form shown in Figure 2 is the mainstream.

그런데, 도 2를 비롯한 현존하는 프로브 카드 얼라인 장치의 경우, 그 구조가 복잡함에도 불구하고 구조적인 한계로 인해 프로브 카드의 정밀 얼라인 작업에 적합하지 않다는 점을 두루 고려해볼 때, 기존에 알려지지 않은 신개념의 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치에 대한 필요성이 대두된다.However, considering that existing probe card alignment devices, including those shown in Figure 2, are not suitable for precise alignment of probe cards due to structural limitations despite their complex structures, there are previously unknown probe card alignment devices. The need for a new concept probe card manual alignment device is emerging.

대한민국특허청 출원번호 제10-2010-0034440호Korea Intellectual Property Office Application No. 10-2010-0034440 대한민국특허청 출원번호 제10-2013-0101973호Korea Intellectual Property Office Application No. 10-2013-0101973

본 발명의 목적은, 콤팩트하지만 효율적인 구조와 방식으로 프로브 카드의 정밀 얼라인 작업을 진행할 수 있는 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치를 제공하는 것이다.The purpose of the present invention is to provide a probe card manual alignment device that can perform precise alignment of the probe card in a compact but efficient structure and method.

상기 목적은, 메인 베이스; 상기 메인 베이스 상에 배치되는 공간부가 형성되는 제1 서브 베이스; 상기 제1 서브 베이스 상에 복수 개의 X축 슬롯이 형성되는 제2 서브 베이스; 상기 제2 서브 베이스에 한 쌍으로 결합하되 상기 제2 서브 베이스 상에서 X축 방향으로 이동 가능하며, 사이에서 프로브 카드(probe card)가 탑재되는 한 쌍의 이동식 프로브 카드 탑재블록; 상기 제1 서브 베이스의 공간부에 배치되되 상기 제1 및 제2 서브 베이스에 연결되며, 상기 제2 서브 베이스를 상기 제1 서브 베이스 상에서 X축 방향으로 이동시키는 탑재블록 X축 이동부; 글라스(glass)를 지지하는 한 쌍의 글라스 지지대를 구비하는 회전 샤프트; 상기 회전 샤프트의 단부에 연결되며, 상기 회전 샤프트를 회전시키는 한편 상기 글라스 지지대를 상기 X축, 상기 X축에 교차하는 Y축, 상하 방향인 Z축으로 이동시키는 샤프트 회전 이동유닛; 및 상기 메인 베이스에 하단부가 결합하되 현미경이 이동 가능하게 탑재되는 현미경 이동식 탑재대를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치에 의해 달성된다.The purpose is to: main base; a first sub-base having a space disposed on the main base; a second sub-base in which a plurality of X-axis slots are formed on the first sub-base; A pair of movable probe card mounting blocks coupled to the second sub-base and movable in the X-axis direction on the second sub-base, between which a probe card is mounted; a mounting block a rotating shaft having a pair of glass supports supporting glass; a shaft rotation moving unit connected to an end of the rotating shaft, rotating the rotating shaft and moving the glass supporter in the X-axis, the Y-axis intersecting the And this is achieved by a probe card manual alignment device, characterized in that it includes a microscope movable mounting table on which the lower end is coupled to the main base and the microscope is movably mounted.

상기 이동식 프로브 카드 탑재블록은, 상기 제2 서브 베이스 상에서 X축 방향으로 이동 가능하되 관통부를 구비하는 블록 바디; 상기 볼록 바디의 플랜지에 마련되며, 상기 제2 서브 베이스 상에서 상기 블록 바디의 이동을 구속하는 바디 구속부재; 상기 블록 바디의 상부에 결합하되 상기 블록 바디와의 사이에서 상기 프로브 카드가 거치되는 카드 거치부를 형성하는 블록 탑 플레이트; 및 상기 블록 탑 플레이트에 마련되며, 상기 블록 탑 플레이트를 상기 블록 바디에 체결하는 복수 개의 플레이트 체결부재를 포함할 수 있다.The movable probe card mounting block includes a block body that is movable in the X-axis direction on the second sub-base and has a penetrating portion; a body restraining member provided on the flange of the convex body and restraining movement of the block body on the second sub-base; a block top plate coupled to the upper part of the block body and forming a card holder on which the probe card is mounted between the block body; and a plurality of plate fastening members provided on the block top plate and fastening the block top plate to the block body.

상기 샤프트 회전 이동유닛은, 상기 회전 샤프트의 단부가 결합하는 유닛 바디; 상기 유닛 바디에 연결되되 상기 회전 샤프트를 상기 Z축으로 미세 조정하는 Z축 미세 조정핸들; 상기 유닛 바디에 연결되며, 상기 회전 샤프트를 회전시키는 샤프트 회전 핸들; 상기 제1 서브 베이스 상에 배치되고 상기 유닛 바디와 연결되며, 상기 Y축으로 이동되는 제1 이동 블록; 상기 제1 이동 블록에 연결되고 상기 제1 이동 블록을 상기 Y축으로 미세 조정하는 Y축 미세 조정핸들; 상기 제1 이동 블록과 상기 유닛 바디 사이에 배치되되 상기 X축으로 이동되는 제2 이동 블록; 및 상기 제2 이동 블록에 연결되고 상기 제2 이동 블록을 상기 X축으로 미세 조정하는 X축 미세 조정핸들을 포함할 수 있다.The shaft rotation movement unit includes a unit body to which an end of the rotation shaft is coupled; A Z-axis fine adjustment handle connected to the unit body and finely adjusting the rotation shaft to the Z axis; a shaft rotation handle connected to the unit body and rotating the rotation shaft; a first moving block disposed on the first sub-base, connected to the unit body, and moved in the Y-axis; A Y-axis fine adjustment handle connected to the first moving block and finely adjusting the first moving block in the Y-axis; a second moving block disposed between the first moving block and the unit body and moving in the X-axis; And it may include an X-axis fine adjustment handle connected to the second moving block and finely adjusting the second moving block in the X-axis.

상기 현미경 이동식 탑재대는, 상기 메인 베이스에 하단부가 연결되고 고정되는 컬럼; 상기 컬럼의 상단부에 마련되는 탑재 상판부; 상기 탑재 상판부의 일측에 마련되되 상기 현미경이 착탈 가능하게 결합하는 현미경 홀더; 및 상기 탑재 상판부에 마련되며 상기 현미경 홀더를 구동시키는 홀더 구동부를 포함할 수 있다.The microscope movable mounting table includes a column whose lower end is connected to and fixed to the main base; A mounting top portion provided at the upper end of the column; a microscope holder provided on one side of the mounting upper plate to which the microscope is detachably coupled; and a holder driving unit provided on the mounting upper plate and driving the microscope holder.

상기 제2 서브 베이스 상에 공구 수납을 위한 수납부가 형성되며, 상기 제2 서브 베이스에는 상기 제1 서브 베이스에 대한 상기 제2 서브 베이스의 이동을 로킹 또는 로킹해제하는 로킹 레버가 결합할 수 있다.A storage portion for storing tools is formed on the second sub-base, and a locking lever that locks or unlocks movement of the second sub-base with respect to the first sub-base may be coupled to the second sub-base.

상기 제1 서브 베이스 상에는 복수 개의 포스트가 마련되며, 상기 탑재블록 X축 이동부는 상기 이동식 프로브 카드 탑재블록을 지지하는 블록 지지대를 포함할 수 있다.A plurality of posts are provided on the first sub-base, and the X-axis moving part of the mounting block may include a block support for supporting the movable probe card mounting block.

본 발명에 따르면, 콤팩트하지만 효율적인 구조와 방식으로 프로브 카드의 정밀 얼라인 작업을 진행할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to perform precise alignment of the probe card using a compact but efficient structure and method.

도 1은 일반적인 프로브 카드의 구조도이다.
도 2는 도 1의 프로브 카드를 얼라인하는 장비의 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치의 사시도이다.
도 4는 도 3에서 현미경 이동식 탑재대 영역의 확대도이다.
도 5는 도 3에서 회전 샤프트와 샤프트 회전 이동유닛 영역의 확대도이다.
도 6은 도 5의 요부 확대도이다.
도 7은 도 3에서 이동식 프로브 카드 탑재블록 영역의 확대도이다.
도 8 및 도 9는 프로브 카드가 장착된 상태의 이미지들이다.1 is a structural diagram of a general probe card.
Figure 2 is a diagram of equipment for aligning the probe card of Figure 1.
Figure 3 is a perspective view of a probe card manual alignment device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged view of the microscope movable mounting table area in FIG. 3.
FIG. 5 is an enlarged view of the rotation shaft and shaft rotation movement unit area in FIG. 3.
Figure 6 is an enlarged view of the main part of Figure 5.
FIG. 7 is an enlarged view of the movable probe card mounting block area in FIG. 3.
Figures 8 and 9 are images with the probe card installed.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Below, with reference to the attached drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement the present invention.

그러나 본 발명에 관한 설명은 구조적이나 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.However, since the description of the present invention is only an example for structural or functional explanation, the scope of the present invention should not be construed as limited by the embodiments described in the text.

예컨대, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있어서 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.For example, the embodiments can be modified in various ways and can take on various forms, so the scope of rights of the present invention should be understood to include equivalents that can realize the technical idea.

또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.In addition, the purpose or effect presented in the present invention does not mean that a specific embodiment must include all or only such effects, so the scope of the present invention should not be understood as limited thereby.

본 명세서에서, 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하여지도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.In this specification, the present embodiments are provided to complete the disclosure of the present invention and to fully inform those skilled in the art of the scope of the invention. And the present invention is only defined by the scope of the claims.

따라서 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하려고 구체적으로 설명되지 않는다.Accordingly, in some embodiments, well-known components, well-known operations and well-known techniques are not specifically described to avoid ambiguous interpretation of the invention.

한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 사전적 의미에 제한되지 않으며, 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present invention is not limited to the dictionary meaning and should be understood as follows.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being “connected” to another component, it should be understood that it may be directly connected to the other component, but that other components may also exist in between. On the other hand, when a component is said to be “directly connected” to another component, it should be understood that no other components exist in between. Meanwhile, other expressions that describe the relationship between components, such as “between” and “immediately between” or “neighboring to” and “directly neighboring to”, should be interpreted similarly.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Singular expressions should be understood to include plural expressions, unless the context clearly indicates otherwise, and terms such as “comprise” or “have” refer to the specified features, numbers, steps, operations, components, parts, or them. It is intended to indicate the existence of a combination, and should be understood as not excluding in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

여기서 사용되는 모든 용어는 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 같은 의미가 있다.All terms used herein, unless otherwise defined, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the field to which the present invention pertains.

일반적으로 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as consistent with the meaning they have in the context of the related technology, and cannot be interpreted as having an ideal or excessively formal meaning unless clearly defined in the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 실시예의 설명 중 같은 구성에 대해서는 같은 참조부호를 부여하도록 하며, 때에 따라 같은 참조부호에 대한 설명은 생략하도록 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description of the embodiments, the same reference numerals are assigned to the same components, and in some cases, descriptions of the same reference numerals are omitted.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치의 사시도, 도 4는 도 3에서 현미경 이동식 탑재대 영역의 확대도, 도 5는 도 3에서 회전 샤프트와 샤프트 회전 이동유닛 영역의 확대도, 도 6은 도 5의 요부 확대도, 도 7은 도 3에서 이동식 프로브 카드 탑재블록 영역의 확대도, 도 8 및 도 9는 프로브 카드가 장착된 상태의 이미지들이다.FIG. 3 is a perspective view of a probe card manual alignment device according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is an enlarged view of the microscope movable mount area in FIG. 3, and FIG. 5 is a view of the rotating shaft and shaft rotation moving unit area in FIG. 3. FIG. 6 is an enlarged view of the main part of FIG. 5, FIG. 7 is an enlarged view of the movable probe card mounting block area in FIG. 3, and FIGS. 8 and 9 are images of a state in which the probe card is mounted.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치(100)는 콤팩트하지만 효율적인 구조와 방식으로 프로브 카드의 정밀 얼라인 작업을 진행할 수 있도록 한다.Referring to these drawings, the probe card manual alignment device 100 according to this embodiment enables precise alignment of the probe card with a compact but efficient structure and method.

여기서, 얼라인 작업이란 프로브 카드의 위치만을 의미하는 것은 아니며, 프로브 카드 상에 탑재되는 수많은 니들(침, 탐침, 핀)을 특정한 기준으로 설치 또는 유지보수하기 위한 일련의 행위를 가리키는데, 이는 모두 수작업으로 진행될 수 있다.Here, the alignment operation does not only mean the location of the probe card, but also refers to a series of actions to install or maintain the numerous needles (needle, probe, pin) mounted on the probe card according to a specific standard. It can be done manually.

상기 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치(100)는 메인 베이스(111)를 구비하며, 메인 베이스(111) 상에 위치별로 아래의 구성들이 탑재되는 형태를 취한다.The probe card manual alignment device 100 according to the present embodiment, which can provide the above effect, is provided with a main base 111, and the following components are mounted on the main base 111 for each location. .

메인 베이스(111) 상에는 제1 서브 베이스(112)가 배치된다. 제1 서브 베이스(112)의 일측에 공간부(112a)가 형성되는데, 이러한 공간부(112a)에 탑재블록 X축 이동부(130)가 배치될 수 있다. 제1 서브 베이스(112) 상에는 복수 개의 포스트(118)가 마련된다.A first sub base 112 is disposed on the main base 111. A space 112a is formed on one side of the first sub-base 112, and the mounting block X-axis moving unit 130 can be placed in this space 112a. A plurality of posts 118 are provided on the first sub base 112.

제1 서브 베이스(112) 상에는 제2 서브 베이스(113)가 배치된다. 제2 서브 베이스(113)에는 복수 개의 X축 슬롯(114)이 형성된다. 이에, 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)은 X축 슬롯(114)을 통해 X축 방향으로 이동할 수 있다. 도면에서 X축 슬롯(114)이 형성된 방향이 X축이다.The second sub base 113 is disposed on the first sub base 112. A plurality of X-axis slots 114 are formed in the second sub-base 113. Accordingly, the movable probe card mounting block 120 can move in the X-axis direction through the X-axis slot 114. In the drawing, the direction in which the X-axis slot 114 is formed is the X-axis.

제2 서브 베이스(113) 상에는 공구 수납을 위한 수납부(115)가 형성된다. 그리고, 제2 서브 베이스(113)에는 제1 서브 베이스(112)에 대한 제2 서브 베이스(113)의 이동을 로킹 또는 로킹해제하는 로킹 레버(116)가 결합한다. 시계 방향으로 로킹 레버(116)를 조이면 로킹되고 반대면 로킹해제되는 형태라서 작업성이 매우 뛰어나다.A storage portion 115 for storing tools is formed on the second sub-base 113. And, a locking lever 116 that locks or unlocks the movement of the second sub-base 113 with respect to the first sub-base 112 is coupled to the second sub-base 113. It is locked by tightening the locking lever (116) clockwise and unlocked in the opposite direction, so workability is excellent.

제2 서브 베이스(113)에는 한 쌍의 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)이 탑재된다. 이러한 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)은 제2 서브 베이스(113)에 한 쌍으로 결합하되 제2 서브 베이스(113) 상에서 X축 방향으로 이동 가능하며, 그 사이에서 프로브 카드(probe card)가 탑재되는 장소를 이룬다.A pair of movable probe card mounting blocks 120 are mounted on the second sub-base 113. These movable probe card mounting blocks 120 are coupled to the second sub-base 113 as a pair, but are movable in the X-axis direction on the second sub-base 113, and a probe card is mounted between them. It creates a place where

도 8 및 도 9의 이미지들처럼 한 쌍의 이동식 프로브 카드 탑재블록(120) 사이에서 프로브 카드가 탑재되어 얼라인 작업이 진행될 수 있다.As shown in the images of FIGS. 8 and 9, the probe card is mounted between a pair of movable probe card mounting blocks 120 so that an alignment process can be performed.

이러한 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)은 제2 서브 베이스(113) 상에서 X축 방향으로 이동 가능하되 관통부(121)를 구비하는 블록 바디(122)와, 블록 바디의 플랜지(122a)에 마련되며, 제2 서브 베이스(113) 상에서 블록 바디(122)의 이동을 구속하는 바디 구속부재(123)와, 블록 바디(122)의 상부에 결합하되 블록 바디(122)와의 사이에서 프로브 카드가 거치되는 카드 거치부(125)를 형성하는 블록 탑 플레이트(124)와, 블록 탑 플레이트(124)에 마련되며, 블록 탑 플레이트(124)를 블록 바디(122)에 체결하는 복수 개의 플레이트 체결부재(126)를 포함할 수 있다.This movable probe card mounting block 120 is movable in the , a body restraining member 123 that restrains the movement of the block body 122 on the second sub-base 113, and a probe card mounted between the body restraining member 123 and the upper part of the block body 122. A block top plate 124 forming the card holder 125, and a plurality of plate fastening members 126 provided on the block top plate 124 and fastening the block top plate 124 to the block body 122. may include.

블록 바디(122)에 관통부(121)가 형성되기 때문에 전체적인 장비의 무게를 줄이는 이점이 있다.Since the penetrating portion 121 is formed in the block body 122, there is an advantage in reducing the overall weight of the equipment.

한 쌍의 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)을 움직여 위치를 잡은 후, 바디 구속부재(123)로 이동을 구속한 후, 그 사이에 프로브 카드를 삽입해서 프로브 카드를 고정할 수 있다.After moving and positioning a pair of movable probe card mounting blocks 120, the movement is restricted with the body restraining member 123, and then the probe card can be inserted between them to fix the probe card.

이때, 프로브 카드의 위치가 정밀 세팅된 것이 아니라면 탑재블록 X축 이동부(130)를 구동시켜 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)의 위치, 특히 X축 방향 위치를 미세 조정할 수 있다.At this time, if the position of the probe card is not precisely set, the position of the movable probe card mounting block 120, especially the position in the X-axis direction, can be finely adjusted by driving the mounting block X-axis moving unit 130.

이러한 탑재블록 X축 이동부(130)는 제1 서브 베이스(112)의 공간부(112a)에 배치되되 제1 및 제2 서브 베이스(112,113)에 연결되며, 제2 서브 베이스(113)를 제1 서브 베이스(112) 상에서 X축 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 탑재블록 X축 이동부(130)는 볼 스크루와 스크루 너트의 조합으로 이루어질 수 있다.This mounting block 1 It serves to move in the X-axis direction on the sub-base 112. The mounting block X-axis moving part 130 may be made of a combination of a ball screw and a screw nut.

탑재블록 X축 이동부(130)는 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)을 지지하는 블록 지지대(131)를 포함할 수 있다.The mounting block X-axis moving unit 130 may include a block support 131 that supports the movable probe card mounting block 120.

한편, 제2 서브 베이스(113)의 상부 영역에는 글라스(미도시)를 지지하는 한 쌍의 글라스 지지대(141)를 구비하는 회전 샤프트(140)가 마련된다. 상기 글라스는 상기 프로브 카드와 현미경 사이에 배치된다. 상기 글라스를 통해 프로브카드를 미세조정하면서 얼라인할 수 있다.Meanwhile, a rotating shaft 140 including a pair of glass supports 141 supporting glass (not shown) is provided in the upper area of the second sub-base 113. The glass is placed between the probe card and the microscope. Through the glass, the probe card can be finely adjusted and aligned.

이러한 회전 샤프트(140)의 단부에는 샤프트 회전 이동유닛(150)이 마련된다. 샤프트 회전 이동유닛(150)은 회전 샤프트(140)의 단부에 연결되며, 회전 샤프트(140)를 회전시키는 한편 글라스 지지대(141)를 X축, X축에 교차하는 Y축, 상하 방향인 Z축으로 이동시키는 역할을 한다.A shaft rotation movement unit 150 is provided at the end of the rotation shaft 140. The shaft rotation movement unit 150 is connected to the end of the rotation shaft 140 and rotates the rotation shaft 140 while moving the glass support 141 along the X axis, the Y axis crossing the X axis, and the Z axis in the vertical direction. It plays a role in moving to.

샤프트 회전 이동유닛(150)은 회전 샤프트(140)의 단부가 결합하는 유닛 바디(151)와, 유닛 바디(151)에 연결되되 회전 샤프트(140)를 Z축으로 미세 조정하는 Z축 미세 조정핸들(152)과, 유닛 바디(151)에 연결되며, 회전 샤프트(140)를 회전시키는 샤프트 회전 핸들(153)과, 제1 서브 베이스(112) 상에 배치되고 유닛 바디(151)와 연결되며, Y축으로 이동되는 제1 이동 블록(154)과, 제1 이동 블록(154)에 연결되고 제1 이동 블록(154)을 Y축으로 미세 조정하는 Y축 미세 조정핸들(155)과, 제1 이동 블록(154)과 유닛 바디(151) 사이에 배치되되 X축으로 이동되는 제2 이동 블록(156)과, 제2 이동 블록(156)에 연결되고 제2 이동 블록(156)을 X축으로 미세 조정하는 X축 미세 조정핸들(157)을 포함할 수 있다. 샤프트 회전 이동유닛(150)이 여러 구성을 포함하는 모듈 형태라서 설치 및 유지보수가 편리해질 수 있다.The shaft rotation movement unit 150 includes a unit body 151 to which the end of the rotation shaft 140 is coupled, and a Z-axis fine adjustment handle that is connected to the unit body 151 and finely adjusts the rotation shaft 140 to the Z axis. (152), a shaft rotation handle 153 connected to the unit body 151 and rotating the rotation shaft 140, disposed on the first sub base 112 and connected to the unit body 151, A first moving block 154 moving in the Y axis, a Y-axis fine adjustment handle 155 connected to the first moving block 154 and finely adjusting the first moving block 154 in the Y axis, and a first moving block 154 A second moving block 156 is disposed between the moving block 154 and the unit body 151 and moves along the X-axis, and is connected to the second moving block 156 and moves the second moving block 156 along the It may include an X-axis fine adjustment handle 157 for fine adjustment. Since the shaft rotation movement unit 150 is in a module form that includes several components, installation and maintenance can be convenient.

위의 구성들 외에도 본 실시예에 따른 로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치(100)에는 현미경 이동식 탑재대(160)가 더 갖춰진다.In addition to the above configurations, the lobe card manual alignment device 100 according to this embodiment is further equipped with a movable microscope mount 160.

현미경에 대해서는 도시하지 않았는데, 현미경 이동식 탑재대(160)는 메인 베이스(111)에 하단부가 결합하되 현미경이 이동 가능하게 탑재되는 부분으로 활용된다. 현미경을 이용해서 정밀한 얼라인 작업을 수동으로 진행할 수 있다.The microscope is not shown, but the microscope movable mount 160 has a lower end coupled to the main base 111 and is used as a part on which the microscope is movably mounted. Precise alignment work can be performed manually using a microscope.

이러한 현미경 이동식 탑재대(160)는 메인 베이스(111)에 하단부가 연결되고 고정되는 컬럼(161)과, 컬럼(161)의 상단부에 마련되는 탑재 상판부(162)와, 탑재 상판부(162)의 일측에 마련되되 현미경이 착탈 가능하게 결합하는 현미경 홀더(163)와, 탑재 상판부(162)에 마련되며 현미경 홀더(163)를 구동시키는 홀더 구동부(164)를 포함할 수 있다.This microscope movable mounting table 160 includes a column 161 whose lower end is connected to and fixed to the main base 111, a mounting upper plate 162 provided at the upper end of the column 161, and one side of the mounting upper plate 162. It may include a microscope holder 163 to which the microscope is detachably coupled, and a holder driver 164 that is provided on the mounting upper plate 162 and drives the microscope holder 163.

이러한 구성에 의해, 이동식 프로브 카드 탑재블록(120)을 적당히 움직여 위치 고정한 상태에서 프로브 카드를 고정한 후, 필요에 따라 미세조정을 진행한 다음, 현미경을 보면서 프로브 카드에 대한 정밀 얼라인 작업을 진행할 수 있다.With this configuration, it is possible to move the movable probe card mounting block 120 appropriately, fix the probe card in a fixed position, make fine adjustments as necessary, and then perform precise alignment work on the probe card while looking at the microscope. there is.

이상 설명한 바와 같은 구조를 기반으로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 콤팩트하지만 효율적인 구조와 방식으로 프로브 카드의 정밀 얼라인 작업을 진행할 수 있게 된다.According to this embodiment, which operates based on the structure described above, it is possible to perform precise alignment of the probe card in a compact but efficient structure and method.

이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.As such, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is obvious to those skilled in the art that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, it should be said that such modifications or variations fall within the scope of the claims of the present invention.

100 : 프로브 카드 매뉴얼 얼라인 장치 111 : 메인 베이스
112 : 제1 서브 베이스 112a : 공간부
113 : 제2 서브 베이스 114 : X축 슬롯
115 : 수납부 116 : 로킹 레버
117 : 스토퍼 118 : 포스트
120 : 이동식 프로브 카드 탑재블록 121 : 관통부
122 : 블록 바디 122a : 플랜지
123 : 바디 구속부재 124 : 블록 탑 플레이트
125 : 카드 거치부 126 : 플레이트 체결부재
130 : 탑재블록 X축 이동부 131 : 블록 지지대
140 : 회전 샤프트 141 : 글라스 지지대
150 : 샤프트 회전 이동유닛 151 : 유닛 바디
152 : Z축 미세 조정핸들 153 : 샤프트 회전 핸들
154 : 제1 이동 블록 155 : Y축 미세 조정핸들
156 : 제2 이동 블록 157 : X축 미세 조정핸들
160 : 현미경 이동식 탑재대 161 : 컬럼
162 : 탑재 상판부 163 : 현미경 홀더
164 : 홀더 구동부100: Probe card manual alignment device 111: Main base
112: first sub base 112a: space portion
113: second sub base 114: X-axis slot
115: storage unit 116: locking lever
117: stopper 118: post
120: Mobile probe card mounting block 121: Penetrating part
122: block body 122a: flange
123: body restraining member 124: block top plate
125: card holder 126: plate fastening member
130: Mounting block X-axis moving part 131: Block support
140: Rotating shaft 141: Glass support
150: Shaft rotation movement unit 151: Unit body
152: Z-axis fine adjustment handle 153: Shaft rotation handle
154: first moving block 155: Y-axis fine adjustment handle
156: Second moving block 157: X-axis fine adjustment handle
160: Microscope mobile mount 161: Column
162: Mounting upper plate 163: Microscope holder
164: Holder driving unit

Claims

main base;
a first sub-base having a space disposed on the main base;
a second sub-base in which a plurality of X-axis slots are formed on the first sub-base;
A pair of movable probe card mounting blocks coupled to the second sub-base and movable in the X-axis direction on the second sub-base, between which a probe card is mounted;
a mounting block
A microscope movable mounting table with a lower end coupled to the main base and on which the microscope is movably mounted;
a rotating shaft having a pair of glass supports supporting glass disposed between the probe card and the microscope;
a shaft rotation moving unit connected to an end of the rotating shaft, rotating the rotating shaft and moving the glass supporter in the X-axis, the Y-axis intersecting the and
A probe card manual alignment device comprising:

According to paragraph 1,
The mobile probe card mounting block,
a block body movable in the X-axis direction on the second sub-base and having a penetrating portion;
a body restraining member provided on the flange of the block body and restraining movement of the block body on the second sub-base;
a block top plate coupled to the upper part of the block body and forming a card holder on which the probe card is mounted between the block body; and
A probe card manual alignment device comprising a plurality of plate fastening members provided on the block top plate and fastening the block top plate to the block body.

According to paragraph 1,
The shaft rotation movement unit,
a unit body to which ends of the rotating shaft are coupled;
A Z-axis fine adjustment handle connected to the unit body and finely adjusting the rotation shaft to the Z axis;
a shaft rotation handle connected to the unit body and rotating the rotation shaft;
a first moving block disposed on the first sub-base, connected to the unit body, and moved in the Y-axis;
A Y-axis fine adjustment handle connected to the first moving block and finely adjusting the first moving block in the Y-axis;
a second moving block disposed between the first moving block and the unit body and moving in the X-axis; and
A probe card manual alignment device comprising an X-axis fine adjustment handle connected to the second moving block and finely adjusting the second moving block in the X-axis.

According to paragraph 1,
The microscope mobile mount,
A column whose lower end is connected to and fixed to the main base;
A mounting top portion provided at the upper end of the column;
a microscope holder provided on one side of the mounting upper plate to which the microscope is detachably coupled; and
A probe card manual alignment device comprising a holder driving unit provided on the mounting upper plate and driving the microscope holder.

According to paragraph 1,
A storage portion for storing tools is formed on the second sub-base,
A probe card manual alignment device, characterized in that a locking lever that locks or unlocks movement of the second sub-base with respect to the first sub-base is coupled to the second sub-base.

According to paragraph 1,
A plurality of posts are provided on the first sub base,
A probe card manual alignment device characterized in that the X-axis moving part of the mounting block includes a block supporter that supports the movable probe card mounting block.