KR102683936B1

KR102683936B1 - Plasma generating device

Info

Publication number: KR102683936B1
Application number: KR1020230051997A
Authority: KR
Inventors: 김원일
Original assignee: (주)보성알앤디
Priority date: 2023-04-20
Filing date: 2023-04-20
Publication date: 2024-07-12
Anticipated expiration: 2043-04-20

Abstract

본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로, 공기를 포함한 유체의 이동 경로에 배치되고 판형태로 이루어진 베이스판과, 상기 유체의 이동 경로 방향으로 상기 베이스판에 길게 형성된 복수의 끼움슬릿과, 상기 베이스판의 내부에 상기 이동 경로 방향으로 길게 형성되고 상기 끼움슬릿과 소통되는 복수의 관통홀을 구비한 설치 플레이트; 상기 끼움슬릿들 중 어느 하나의 끼움슬릿에 길이방향을 따라 간격을 형성하며 이격되게 설치된 제1방전극들과, 다른 하나의 끼움슬릿에 설치되는 것으로 상기 제1방전극들과 각각 마주하게 배치되고 상기 제1방전극들과의 사이에 유체의 통과를 위한 통과로를 형성시키는 제2방전극들을 포함한 방전극유닛; 상기 설치 플레이트의 관통홀들 중 어느 하나의 관통홀에 삽입되고 상기 제1방전극들의 각 단부에 접속되어서 양극 또는 음극의 전압을 인가하는 제1내측전극과, 다른 하나의 관통홀에 삽입되고 상기 제2방전극들의 각 단부에 접속되어서 상기 제1방전극들에 인가되는 전압의 전극과 반대되는 전극의 전압을 그 제2방전극들로 인가하는 제2내측전극을 구비한 내측전극유닛; 및, 상기 전압을 인가받은 방전극유닛에 의해 발생되는 저온 플라즈마의 발생량을 증대시킬 수 있도록, 상기 제1방전극들과 제2방전극들 사이의 상기 통과로에 배치되고 전도성 소재로 이루어진 부스터유닛;을 포함한다.The present invention relates to a plasma generating device, comprising a base plate disposed in the movement path of a fluid including air and formed in the shape of a plate, a plurality of insertion slits formed long in the base plate in the direction of the movement path of the fluid, and the base plate. an installation plate formed long in the direction of the movement path inside and having a plurality of through holes communicating with the fitting slit; First discharge electrodes are installed in one of the fitting slits to be spaced apart from each other in the longitudinal direction, and are installed in the other fitting slit to face the first discharge electrodes, respectively, and the first discharge electrodes are installed in the other fitting slit to face each other. a discharge electrode unit including second discharge electrodes forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes; a first inner electrode inserted into one of the through holes of the installation plate and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage; and a first inner electrode inserted into the other through hole and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage. an inner electrode unit having a second inner electrode connected to each end of the two-discharge electrodes and applying a voltage of the electrode opposite to the voltage applied to the first discharge electrodes to the second discharge electrodes; And, a booster unit disposed in the passage between the first and second discharge electrodes and made of a conductive material to increase the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit to which the voltage is applied. do.

Description

Plasma generating device

본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저온 플라즈마의 발생량을 증대시킬 수 있고, 그 저온 플라즈마의 발생량을 안정적으로 유지시키며, 플라즈마 발생을 위한 부품의 교체 및 유지보수가 용이할 수 있도록, 구조가 개선된 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a plasma generation device, and more specifically, to increase the amount of low-temperature plasma generated, to stably maintain the amount of low-temperature plasma generated, and to facilitate replacement and maintenance of parts for plasma generation. , relates to a plasma generating device with an improved structure.

최근 공기 중 부유하는 오염 물질로 인한 전염병이 유행하고 있어, 이러한 오염 물질을 살균하고자 하는 요구가 증가하고 있다. 특히 사무공간, 구급차, 병원, 연구실 등과 같은 밀폐된 실내 환경에서는 오염 물질로 인한 감염 위험이 높기에, 이러한 감염 물질을 지속적으로 비활성화시켜야 할 필요성이 있다. 그러나 인력을 통한 세정 및 방역 작업은 한계가 있으므로, 공기살균기를 통해 오염 물질을 살균하는 방법이 주목 받고 있다.Recently, infectious diseases caused by pollutants floating in the air have become prevalent, and the demand for sterilizing these pollutants is increasing. In particular, the risk of infection due to contaminants is high in closed indoor environments such as office spaces, ambulances, hospitals, and laboratories, and there is a need to continuously deactivate these infectious substances. However, because cleaning and quarantine work through manpower has limitations, a method of sterilizing contaminants through an air sterilizer is attracting attention.

상기 오염 물질은 전염병, 알레르기 및 새집 증후군과 같이 건강을 위협하는 질병을 유발하는 병원체, 알레르기 유발 항원 및 휘발성 유기 화합물 등을 포함하며, 이러한 오염 물질을 비활성화시키기 위한 방법으로서 플라즈마를 이용한 공기 살균기가 알려져 있다. 일반적으로 플라즈마는 전기가 통하는 국부적 전리상태의 가스로 이온, 전자, 중성입자 및 라디칼로 이루어져 있으며, 기체, 액체 및 고체와는 다른 성질을 갖는 제4의 물질상태를 말한다. The contaminants include pathogens, allergens, and volatile organic compounds that cause health-threatening diseases such as infectious diseases, allergies, and sick building syndrome, and an air sterilizer using plasma is known as a method for deactivating these contaminants. there is. In general, plasma is a locally ionized gas that conducts electricity and is composed of ions, electrons, neutral particles, and radicals, and refers to the fourth state of matter with properties different from gas, liquid, and solid.

이러한 플라즈마는 가정용, 업소용을 비롯한 산업용 대단위 설비에서의 공기정화 분야에 활용되고 있다. 공기정화 분야에 사용되는 종래의 플라즈마 발생 장치는, 방전극을 통해 살균 및 탈취 등을 위한 플라즈마를 지속적으로 발생시킬 수 있으나, 저온 플라즈마의 발생량을 효과적으로 증대시키기 어렵고, 저온 플라즈마의 발생량을 안정적으로 유지시키지 못하며, 방전극의 오염이나 손상 시 용이한 교체가 어려운 문제점을 가진다. Such plasma is used in the field of air purification in large-scale industrial facilities, including household and commercial use. Conventional plasma generators used in the air purification field can continuously generate plasma for sterilization and deodorization through discharge electrodes, but it is difficult to effectively increase the amount of low-temperature plasma generated and cannot stably maintain the amount of low-temperature plasma generated. There is a problem in that it is difficult to easily replace the discharge electrode when it is contaminated or damaged.

종래기술로는 특허공개공보 제 10-2006-0116780 호가 있다. The prior art includes Patent Publication No. 10-2006-0116780.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 본 발명의 목적은, 저온 플라즈마의 발생량을 효과적으로 증대시킬 수 있고, 저온 플라즈마의 발생량을 안정적으로 유지시키며, 저온 플라즈마 발생을 위한 방전극의 오염이나 손상 시 용이한 교체 및 유지보수를 가능하게 하는, 플라즈마 발생 장치를 제공하고자 하는 것이다. The present invention was created to solve the above problems. The purpose of the present invention is to effectively increase the amount of low-temperature plasma generated, to stably maintain the amount of low-temperature plasma generated, and to prevent contamination of the discharge electrode for low-temperature plasma generation. The goal is to provide a plasma generating device that enables easy replacement and maintenance in case of damage.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 플라즈마 발생 장치는, 공기를 포함한 유체의 이동 경로에 배치되고 판형태로 이루어진 베이스판과, 상기 유체의 이동 경로 방향으로 상기 베이스판에 길게 형성된 복수의 끼움슬릿과, 상기 베이스판의 내부에 상기 이동 경로 방향으로 길게 형성되고 상기 끼움슬릿과 소통되는 복수의 관통홀을 구비한 설치 플레이트; 상기 끼움슬릿들 중 어느 하나의 끼움슬릿에 길이방향을 따라 간격을 형성하며 이격되게 설치된 제1방전극들과, 다른 하나의 끼움슬릿에 설치되는 것으로 상기 제1방전극들과 각각 마주하게 배치되고 상기 제1방전극들과의 사이에 유체의 통과를 위한 통과로를 형성시키는 제2방전극들을 포함한 방전극유닛; 상기 설치 플레이트의 관통홀들 중 어느 하나의 관통홀에 삽입되고 상기 제1방전극들의 각 단부에 접속되어서 양극 또는 음극의 전압을 인가하는 제1내측전극과, 다른 하나의 관통홀에 삽입되고 상기 제2방전극들의 각 단부에 접속되어서 상기 제1방전극들에 인가되는 전압의 전극과 반대되는 전극의 전압을 그 제2방전극들로 인가하는 제2내측전극을 구비한 내측전극유닛; 및, 상기 전압을 인가받은 방전극유닛에 의해 발생되는 저온 플라즈마의 발생량을 증대시킬 수 있도록, 상기 제1방전극들과 제2방전극들 사이의 상기 통과로에 배치되고 전도성 소재로 이루어진 부스터유닛;을 포함한다. A plasma generating device according to the present invention for achieving the above object includes a base plate disposed in the movement path of a fluid including air and formed in a plate shape, and a plurality of insertion slits formed long on the base plate in the direction of the movement path of the fluid. And, an installation plate formed inside the base plate to be long in the direction of the movement path and having a plurality of through holes communicating with the fitting slit; First discharge electrodes are installed in one of the fitting slits to be spaced apart from each other in the longitudinal direction, and are installed in the other fitting slit to face the first discharge electrodes, respectively, and the first discharge electrodes are installed in the other fitting slit to face each other. a discharge electrode unit including second discharge electrodes forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes; a first inner electrode inserted into one of the through holes of the installation plate and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage; and a first inner electrode inserted into the other through hole and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage. an inner electrode unit having a second inner electrode connected to each end of the two-discharge electrodes and applying a voltage of the electrode opposite to the voltage applied to the first discharge electrodes to the second discharge electrodes; And, a booster unit disposed in the passage between the first and second discharge electrodes and made of a conductive material to increase the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit to which the voltage is applied. do.

상기 제1방전극들 및 제2방전극들은, 탄소가 포함된 극세사들을 모아놓은 극세 탄소섬유 다발 형태로 각각 구성되는 것이 바람직하다. The first discharge electrodes and the second discharge electrodes are preferably each configured in the form of a bundle of ultrafine carbon fibers made up of microfibers containing carbon.

상기 부스터 유닛은, 상기 설치 플레이트의 베이스판에 결합되는 것으로 상기 방전극유닛에 의한 통과로의 입구측과 출구측에 각각 마련되고 상기 베이스판으로부터 상부를 향해 길게 형성된 한 쌍의 설치로드와, 상기 설치로드를 연결시키며 상기 제1방전극들과 제2방전극들 사이에 배치되고 전도성 소재로 이루어지며 그물 구조를 가지는 적어도 하나의 전도 매쉬망을 포함하여 이루어질 수 있다. The booster unit includes a pair of installation rods that are coupled to the base plate of the installation plate and are respectively provided on the inlet side and outlet side of the passage by the discharge electrode unit and are formed elongated upward from the base plate, and the installation rod. It may include at least one conductive mesh network that connects the rods and is disposed between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes and is made of a conductive material and has a net structure.

상기 전도 매쉬망은, 상기 제1방전극들과 제2방전극들 사이에 간격을 형성하며 한 쌍으로 이루어지고, 상기 설치로드를 연결시키는 것이 바람직하다. The conductive mesh network is preferably formed as a pair, forming a gap between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes, and connects the installation rod.

상기 부스터 유닛은, 상기 설치 플레이트의 베이스판에 결합되는 것으로 상기 방전극유닛에 의한 통과로의 입구측과 출구측에 각각 마련되고 상기 베이스판으로부터 상부를 향해 길게 형성된 한 쌍의 설치로드와, 각 설치로드 사이에서 다단으로 배치되어 그 설치로드를 연결시킴으로써 상기 제1방전극들과 제2방전극들 사이에 배치되고, 전도성 소재로 이루어지며 판 구조를 가지는 전도판을 포함하여 이루어질 수도 있다. The booster unit includes a pair of installation rods that are coupled to the base plate of the installation plate and are provided on the inlet and outlet sides of a passage by the discharge electrode unit, respectively, and extending upward from the base plate, and each installation rod. It is arranged in multiple stages between the rods to connect the installation rods, and is disposed between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes, and may include a conductive plate made of a conductive material and having a plate structure.

상기 설치 플레이트의 베이스판은, 상기 제1방전극들과 제2방전극들이 상기 끼움슬릿에 안정적으로 설치될 수 있도록, 상기 끼움슬릿의 단부에서 서로 마주하는 방향으로 돌출되어서 그 끼움슬릿을 한정하고 상기 제1방전극들과 제2방전극들을 가압하는 한 쌍의 압착리브를 더 포함하는 것이 바람직하다. The base plate of the installation plate protrudes from the end of the fitting slit in a direction facing each other to define the fitting slit so that the first discharge electrodes and the second discharge electrodes can be stably installed in the fitting slit. It is preferable to further include a pair of compression ribs for pressing the first discharge electrodes and the second discharge electrodes.

상기 설치 플레이트의 베이스판은, 상기 관통홀에서 상기 제1내측전극과 제2내측전극을 안정적으로 지지할 수 있도록, 상기 관통홀을 한정하는 바닥면으로부터 상부로 돌출 형성되고 상기 관통홀의 길이 방향으로 길게 형성되며, 끝단부가 상기 제1내측전극 및 제2내측전극에 접촉되는 지지리브들과, 상기 관통홀을 한정하는 양측면에서 서로 마주하는 방향으로 각각 돌출 형성되고 상기 제1내측전극 및 제2내측전극의 양측 상부면에 각각 밀착되는 밀착리브들을 구비한 고정수단을 더 포함할 수 있다.The base plate of the installation plate protrudes upward from the bottom surface defining the through hole so as to stably support the first inner electrode and the second inner electrode in the through hole and extends in the longitudinal direction of the through hole. It is formed long, and the end portions are formed to protrude in directions facing each other from support ribs in contact with the first inner electrode and the second inner electrode, respectively, on both sides defining the through hole, and the first inner electrode and the second inner electrode. It may further include fixing means provided with adhesion ribs that are in close contact with the upper surfaces of both sides of the electrode.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 플라즈마 발생 장치는, 설치 플레이트의 길이방향으로 길게 형성된 어느 하나의 끼움슬릿에 제1방전극들이 간격을 형성하며 설치되고, 다른 하나의 끼움슬릿에 제2방전극들이 간격을 형성하며 설치되어서 그 제1방전극들과의 사이에 유체의 통과를 위한 통과로를 형성시키며, 설치 플레이트의 내측에 형성되어 각 끼움슬릿들과 소통하는 관통홀에 제1내측전극 및 제2내측전극이 각각 삽입되어서 상기 제1방전극들 및 제2방전극들로 반대되는 전압을 인가하여서 상기 통과로에 저온 플라즈마가 발생될 수 있게 하며, 전도성 소재로 이루어진 부스터유닛이 유체의 이동방향을 따라 그 통과로에 설치되어서 저온 플라즈마의 발생량을 증대시킴으로써, 저온 플라즈마의 발생량을 효과적으로 증대시고, 저온 플라즈마의 발생량을 안정적으로 유지시키며, 저온 플라즈마 발생을 위한 방전극의 오염이나 손상 시 용이한 교체 및 유지보수를 가능하게 하는 효과를 가진다. In the plasma generating device according to the present invention having the above-described configuration, first discharge electrodes are installed at intervals in one fitting slit formed long in the longitudinal direction of the installation plate, and second discharge electrodes are installed in the other fitting slit. are installed to form a gap, forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes, and the first inner electrode and the first inner electrode are formed in the through hole formed on the inside of the installation plate and communicating with each insertion slit. 2Inner electrodes are respectively inserted to apply opposite voltages to the first and second discharge electrodes so that low-temperature plasma can be generated in the passage, and a booster unit made of conductive material follows the direction of movement of the fluid. By increasing the amount of low-temperature plasma generated by installing it in the passage, it effectively increases the amount of low-temperature plasma generated, maintains the amount of low-temperature plasma generated stably, and facilitates replacement and maintenance when the discharge electrode for low-temperature plasma generation is contaminated or damaged. It has the effect of making possible.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 사시도.
도 3은 본 발명 일실시예에 채용된 방전극유닛과 내측전극유닛을 설명하기 위한 것으로, 본 발명 일실시예의 분리된 상태를 도시한 도면.
도 4는 본 발명 일실시예에 채용된 각 구성들 간의 결합 상태를 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명 일실시예에 채용된 체결수단을 설명하기 위한 도면.
도 6은 본 발명 일실시예에 채용된 베이스판들이 체결수단에 의해 체결된 상태를 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치의 분리된 상태를 도시한 도면.
도 8은 본 발명 다른 실시예에 채용된 부스터유닛을 설명하기 위한 도면.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 도시한 것으로, 본 발명 또 다른 실시예에 채용된 부스터유닛을 설명하기 위한 도면.1 and 2 are diagrams according to an embodiment of the present invention. Perspective view to explain the plasma generator.
Figure 3 is for explaining the discharge electrode unit and the inner electrode unit employed in one embodiment of the present invention, and is a diagram showing the separated state of one embodiment of the present invention.
Figure 4 is a diagram for explaining the coupling state between each component employed in one embodiment of the present invention.
Figure 5 is a diagram for explaining the fastening means employed in one embodiment of the present invention.
Figure 6 is a view showing a state in which base plates employed in one embodiment of the present invention are fastened by fastening means.
Figure 7 is a diagram showing a separated state of a plasma generating device according to another embodiment of the present invention.
Figure 8 is a diagram for explaining a booster unit employed in another embodiment of the present invention.
Figure 9 shows a plasma generating device according to another embodiment of the present invention, and is a diagram for explaining a booster unit employed in another embodiment of the present invention.

이하의 설명에서 본 발명에 대한 이해를 명확히 하기 위하여, 본 발명의 특징에 대한 공지의 기술에 대한 설명은 생략하기로 한다. 이하의 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 상세한 설명이며, 본 발명의 권리 범위를 제한하는 것이 아님은 당연할 것이다. 따라서, 본 발명과 동일한 기능을 수행하는 균등한 발명 역시 본 발명의 권리 범위에 속할 것이다.In order to clarify the understanding of the present invention in the following description, descriptions of known techniques regarding the characteristics of the present invention will be omitted. The following examples are detailed descriptions to aid understanding of the present invention, and it is obvious that they do not limit the scope of the present invention. Accordingly, equivalent inventions that perform the same function as the present invention will also fall within the scope of the rights of the present invention.

그리고, 이하의 설명에서 동일한 식별 기호는 동일한 구성을 의미하며, 불필요한 중복적인 설명 및 공지 기술에 대한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 상기 발명의 배경이 되는 기술에 대한 기재 내용과 중복되는 이하의 본 발명의 각 실시예에 관한 설명 역시 생략하기로 한다.In addition, in the following description, the same identification symbol means the same configuration, and unnecessary redundant description and description of known techniques will be omitted. In addition, the description of each embodiment of the present invention below, which overlaps with the description of the technology underlying the above invention, will also be omitted.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, a plasma generator according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 본 발명 일실시예에 채용된 방전극유닛과 내측전극유닛을 설명하기 위한 것으로, 본 발명 일실시예의 분리된 상태를 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명 일실시예에 채용된 각 구성들 간의 결합 상태를 설명하기 위한 도면이며, 도 5는 본 발명 일실시예에 채용된 체결수단을 설명하기 위한 도면이며, 도 6은 본 발명 일실시예에 채용된 베이스판들이 체결수단에 의해 체결된 상태를 도시한 도면이다. 1 and 2 are diagrams according to an embodiment of the present invention. It is a perspective view for explaining the plasma generating device, and Figure 3 is a diagram for explaining the discharge electrode unit and the inner electrode unit employed in one embodiment of the present invention, showing the separated state of one embodiment of the present invention, and Figure 4 is It is a drawing for explaining the coupling state between each component employed in one embodiment of the present invention, Figure 5 is a drawing for explaining the fastening means employed in one embodiment of the present invention, and Figure 6 is a drawing for explaining the fastening means employed in one embodiment of the present invention. This is a diagram showing the state in which the adopted base plates are fastened by fastening means.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 발생 장치는, 공기를 포함한 유체의 정화 및 탈취 등을 가능하게 하는 정화 장치에 설치되거나 다양한 형태의 케이스(C)에 설치되어서 그 유체를 정화 및 탈취할 수 있게 하는 것으로 설치 플레이트(100), 방전극유닛(200), 내측전극유닛(300) 및 부스터유닛(400)을 포함하여 이루어진다. As shown in Figures 1 and 2, the plasma generating device according to an embodiment of the present invention is installed in a purification device that enables purification and deodorization of fluids including air, or is installed in various types of cases (C). It is made to purify and deodorize the fluid and includes an installation plate 100, a discharge electrode unit 200, an inner electrode unit 300, and a booster unit 400.

상기 설치 플레이트(100)는 유체를 정화 및 탈취하기 위한 정화 장치의 내부나 다양한 구조를 가진 케이스에 설치되고 상기 방전극유닛(200) 및 내측전극유닛(300)의 설치를 가능하게 한다. 상기 설치 플레이트(100)는 판 형태로 이루어지고 합성수지 등의 다양한 소재로 구현될 수 있으며 베이스판(110)과 끼움슬릿(120) 및 관통홀(130)을 포함한다. 상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)은 설치가 요구되는 공간에서 공기를 포함한 유체의 이동 경로에 배치되며 판 형태로 이루어진다. The installation plate 100 is installed inside a purification device for purifying and deodorizing fluid or in a case with various structures and enables installation of the discharge electrode unit 200 and the inner electrode unit 300. The installation plate 100 is made in the form of a plate and can be implemented with various materials such as synthetic resin, and includes a base plate 110, a fitting slit 120, and a through hole 130. The base plate 110 of the installation plate 100 is disposed in the path of movement of fluid, including air, in the space where installation is required and has a plate shape.

상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)은 그 유체의 이동 경로를 따라 길이를 가지며, 상기 방전극유닛(200)과 내측전극유닛(300)을 유체의 이동 경로 상에 배치시킬 수 있게 한다. 상기 베이스판(110)에는, 유체의 이동 경로 방향으로 길게 형성되고 간격을 형성하되 서로 인접하게 배치된 복수의 끼움슬릿(120)이 형성되어 있고, 내측에 그 끼움슬릿(120)의 길이 방향으로 복수의 관통홀(130)이 형성되어 있다. The base plate 110 of the installation plate 100 has a length along the fluid movement path, and allows the discharge electrode unit 200 and the inner electrode unit 300 to be placed on the fluid movement path. The base plate 110 is formed with a plurality of fitting slits 120 that are long in the direction of the fluid movement path and arranged adjacent to each other while forming a gap, and are formed on the inside in the longitudinal direction of the fitting slits 120. A plurality of through holes 130 are formed.

상기 설치 플레이트(100)의 끼움슬릿(120)은, 상기 유체의 이동 경로 방향으로 상기 베이스판(110)에 길게 형성되고 복수로 이루어져서 서로 간격을 형성하며 각각 인접하게 배치된다. 상기 끼움슬릿(120)은 방전극유닛(200)이 끼워질 수 있도록 하고, 그 방전극유닛이 베이스판(110)에서 유체의 이동 경로를 따라 서로 인접하게 배치될 수 있게 한다. 또한 상기 끼움슬릿(120)은 베이스판(110)의 내측에 형성된 관통홀(130)과 소통되고, 그 관통홀(130)에 삽입된 내측전극유닛(300)과 상기 방전극유닛(200)이 서로 접속될 수 있게 한다. The insertion slits 120 of the installation plate 100 are formed to be long on the base plate 110 in the direction of the fluid movement path, and are formed in plural pieces and arranged adjacent to each other to form a gap. The fitting slit 120 allows the discharge electrode unit 200 to be inserted, and allows the discharge electrode units to be arranged adjacent to each other along the fluid movement path on the base plate 110. In addition, the fitting slit 120 communicates with the through hole 130 formed on the inside of the base plate 110, and the inner electrode unit 300 inserted into the through hole 130 and the discharge electrode unit 200 are connected to each other. Allows connection.

상기 설치 플레이트(100)의 관통홀(130)은, 상기 베이스판(110)의 내부에 유체의 이동 경로 방향으로 길게 형성되고, 상기 끼움슬릿(120)과 소통되며 내측전극유닛(300)이 베이스판(110)의 내측에 배치될 수 있게 한다. 상기 관통홀(130)은 복수로 이루어져서 상기 베이스판(110)의 내측에 간격을 형성하며 서로 인접하게 마련된다. 상기 설치 플레이트(100)의 끼움슬릿(120)과 관통홀(130)은 베이스판(110)에 각각 복수로 마련되고 서로 인접하게 배치됨으로써, 방전극유닛(200)과 내측전극유닛(300)을 상기 베이스판(110)에 길이 방향으로 복수로 배치될 수 있게 하여서, 저온 플라즈마의 발생량 증대를 가능하게 한다. The through hole 130 of the installation plate 100 is formed long in the direction of the fluid movement path inside the base plate 110, communicates with the insertion slit 120, and forms the inner electrode unit 300 as the base. It allows it to be placed inside the plate 110. The plurality of through holes 130 are provided adjacent to each other to form a gap inside the base plate 110. A plurality of inserting slits 120 and through holes 130 of the installation plate 100 are respectively provided on the base plate 110 and arranged adjacent to each other, so that the discharge electrode unit 200 and the inner electrode unit 300 are connected to each other. By allowing a plurality of devices to be arranged in the longitudinal direction on the base plate 110, it is possible to increase the amount of low-temperature plasma generated.

상기 방전극유닛(200)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)에 형성된 끼움슬릿(120)에 끼워져서 저온 플라즈마의 발생을 가능하게 하는 것으로, 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)을 포함한다. 상기 방전극유닛(200)의 제1방전극들(210)은 복수의 끼움슬릿(120) 중 어느 하나의 끼움슬릿에 그 끼움슬릿(120)의 길이방향을 따라 간격을 형성하며 이격되게 설치된다. 상기 제1방전극들(210)은, 그 어느 하나의 끼움슬릿에 끼워지고 상기 베이스판(110)의 내측에 배치되는 단부측이 상기 관통홀(130)들 중 어느 하나의 관통홀에 삽입된 내측전극유닛(300)에 접촉된다. As shown in FIGS. 3 and 4, the discharge unit 200 is inserted into the fitting slit 120 formed in the base plate 110 of the installation plate 100 to enable the generation of low-temperature plasma. It includes first-channel electrodes 210 and second-channel electrodes 220. The first discharge electrodes 210 of the discharge electrode unit 200 are installed to be spaced apart from one of the plurality of fitting slits 120, forming a gap along the longitudinal direction of the fitting slit 120. The first discharge electrodes 210 are inserted into one of the fitting slits, and the end side disposed inside the base plate 110 is inserted into one of the through holes 130. It contacts the electrode unit 300.

또한 상기 방전극유닛(200)의 제2방전극들(220)은, 복수의 끼움슬릿(120) 중 다른 하나의 끼움슬릿에 길이 방향을 따라 설치되는 것으로 상기 제1방전극들(210)과 각각 마주하게 배치되고, 상기 제1방전극들(210)과의 사이에 유체의 통과를 위한 통과로(201)를 형성시킨다. 상기 제2방전극들(220)은 그 다른 하나의 끼움슬릿에 끼워지고 상기 베이스판(110)의 내측에 배치되는 단부측이 다른 하나의 관통홀에 삽입된 내측전극유닛(300)에 접촉됨으로써, 상기 제1방전극들(210)과 함께 상기 통과로(201) 측에 저온 플라즈마의 발생을 가능하게 한다. 즉 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)은, 베이스판의 내측에 배치된 단부가 상기 관통홀(130)에 삽입된 내측전극유닛과 각각 접속되어서 전압을 인가받아 플라즈마의 발생을 가능하게 한다. In addition, the second discharge electrodes 220 of the discharge electrode unit 200 are installed along the longitudinal direction in another fitting slit among the plurality of fitting slits 120 and face the first discharge electrodes 210, respectively. It is disposed, and a passage 201 for fluid to pass is formed between the first discharge electrodes 210. The second discharge electrodes 220 are inserted into the other fitting slit, and the end side disposed inside the base plate 110 contacts the inner electrode unit 300 inserted into the other through hole, Together with the first discharge electrodes 210, low-temperature plasma can be generated on the passage 201 side. That is, the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 have ends disposed on the inside of the base plate connected to the inner electrode unit inserted into the through hole 130, respectively, and receive a voltage to generate plasma. makes it possible to occur.

상기 내측전극유닛(300)은 도 4에 도시된 바와 같이, 외부의 전원부와 전기적으로 연결되고 설치 플레이트(100)의 베이스판(110) 내측에 형성된 관통홀(130)들에 삽입되어서 방전극유닛(200)과 접속되는 것으로, 제1내측전극(310)과 제2내측전극(320)을 포함하여 이루어진다. 상기 내측전극유닛(300)의 제1내측전극(310)은 상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110) 내측에 형성된 상기 관통홀들 중 어느 하나의 관통홀(130)에 삽입되고 상기 제1방전극들(210)의 각 단부 즉, 끼움슬릿에 끼워져서 관통홀을 향하는 각 단부에 접속되어서 양극 또는 음극의 전압을 인가한다. As shown in FIG. 4, the inner electrode unit 300 is electrically connected to an external power source and is inserted into the through holes 130 formed inside the base plate 110 of the installation plate 100 to form a discharge electrode unit ( It is connected to 200 and includes a first inner electrode 310 and a second inner electrode 320. The first inner electrode 310 of the inner electrode unit 300 is inserted into one of the through holes 130 formed inside the base plate 110 of the installation plate 100 and the first inner electrode 310 is inserted into the first inner electrode 310 of the inner electrode unit 300. Each end of the discharge electrodes 210 is inserted into a fitting slit and connected to each end facing the through hole to apply positive or negative voltage.

상기 제1내측전극(310)은 상기 끼움슬릿(120)의 길이 방향 즉, 유체의 이동 경로 방향을 따라 길게 형성되어서 상기 끼움슬릿에 이격되게 끼워진 각 제1방전극들과 접속되며 관리자에 의해 그 관통홀(130)에서 인입 또는 인출될 수 있다. The first inner electrode 310 is formed long along the longitudinal direction of the fitting slit 120, that is, the direction of the fluid movement path, and is connected to each of the first electrodes spaced apart from the fitting slit, and is penetrated by the manager. It may be entered or withdrawn from the hole 130.

상기 내측전극유닛(300)의 제2내측전극(320)은 상기 관통홀(130)들 중 다른 하나의 관통홀에 삽입되고 상기 제2방전극들(220)의 각 단부에 접속되어서, 상기 제1방전극들(210)에 인가되는 전압의 전극과 반대되는 전극의 전압을 그 제2방전극들(220)로 인가함으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에 형성된 유체 통과를 위한 통과로(201) 측에 저온 플라즈마의 효과적인 발생을 가능하게 한다. The second inner electrode 320 of the inner electrode unit 300 is inserted into another through hole of the through holes 130 and is connected to each end of the second electrodes 220, so that the first inner electrode 320 By applying a voltage of an electrode opposite to the voltage applied to the discharge electrodes 210 to the second discharge electrodes 220, the fluid formed between the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 It enables effective generation of low-temperature plasma on the passageway 201 for passage.

상기 부스터유닛(400)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에 형성되며 공기를 포함한 유체의 통과를 가능하게 하는 통과로(201)에 배치되고, 전도성 소재로 이루어지며, 다양한 형태로 이루어지되 상기 제1방전극들과 제2방전극들 사이를 소통시킴으로써, 상기 전압을 인가받은 방전극유닛(200)에 의해 발생되는 저온 플라즈마의 발생량을 증대 및 유지시킬 수 있게 한다. As shown in FIGS. 3 and 4, the booster unit 400 is formed between the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 and has a passage ( 201), is made of a conductive material, has various shapes, and communicates between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes, so that the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit 200 to which the voltage is applied is generated. allows to increase and maintain.

이러한 구성을 가진 본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 발생 장치는, 설치 플레이트(100)의 길이방향으로 길게 형성된 어느 하나의 끼움슬릿(120)에 제1방전극들(210)이 간격을 형성하며 설치되고, 다른 하나의 끼움슬릿에 제2방전극들(220)이 간격을 형성하며 설치되어서 그 제1방전극들(210)과의 사이에 유체의 통과를 위한 통과로(201)를 형성시키며, 설치 플레이트(100)의 내측에 형성되어 각 끼움슬릿(120)들과 소통하는 관통홀(130)에 제1내측전극(310) 및 제2내측전극(320)이 각각 삽입되어서 상기 제1방전극들 및 제2방전극들로 반대되는 전압을 인가하여서 상기 통과로(201)에 저온 플라즈마가 발생될 수 있게 하며, 전도성 소재로 이루어진 부스터유닛(400)이 유체의 이동방향을 따라 그 통과로(201)에 설치되어서 저온 플라즈마의 발생량을 증대시킴으로써, 저온 플라즈마의 발생량을 효과적으로 증대시고, 저온 플라즈마의 발생량을 안정적으로 유지시키며, 저온 플라즈마 발생을 위한 방전극의 오염이나 손상 시 용이한 교체 및 유지보수를 가능하게 하는 효과를 가진다. In the plasma generating device according to an embodiment of the present invention having this configuration, the first discharge electrodes 210 are installed at a gap in one of the fitting slits 120 formed long in the longitudinal direction of the installation plate 100. The second discharge electrodes 220 are installed in the other fitting slit to form a gap, forming a passage 201 for the passage of fluid between the first discharge electrodes 210, and the installation plate. The first inner electrode 310 and the second inner electrode 320 are respectively inserted into the through hole 130 formed on the inside of the 100 and communicating with each of the fitting slits 120, Opposite voltages are applied to the two-discharge electrodes to generate low-temperature plasma in the passage 201, and a booster unit 400 made of a conductive material is installed in the passage 201 along the direction of movement of the fluid. By increasing the amount of low-temperature plasma generated, it effectively increases the amount of low-temperature plasma generated, maintains the amount of low-temperature plasma generated stably, and enables easy replacement and maintenance when the discharge electrode for low-temperature plasma generation is contaminated or damaged. has

한편 상기 방전극유닛(200)의 제1방전극들(210) 및 제2방전극들(220)은, 탄소가 포함된 극세사들을 모아놓은 극세 탄소섬유 다발 형태로 각각 구성되는 것이 바람직하다. 방전극유닛(200)의 제1방전극들(210) 및 제2방전극들(220)은 상기 통과로(201)를 사이에 두고 기 설정된 간격을 가지면서 서로 마주하게 배치되며, 상기 베이스판(110)에서 유체의 이동 경로를 따라 병렬(array) 형태로 배열됨으로써, 저온 플라즈마 발생 시 에너지 소모율을 낮출 수 있고, 저온 플라즈마의 발생량을 늘릴 수 있으며, 캐패시터 특성을 향상시키는 장점을 가진다. Meanwhile, the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 of the discharge electrode unit 200 are preferably each configured in the form of a bundle of ultrafine carbon fibers made of microfibers containing carbon. The first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 of the discharge electrode unit 200 are arranged to face each other at a predetermined distance with the passage 201 in between, and the base plate 110 By being arranged in a parallel (array) form along the movement path of the fluid, the energy consumption rate when generating low-temperature plasma can be reduced, the amount of low-temperature plasma generated can be increased, and it has the advantage of improving capacitor characteristics.

상기 부스터유닛(400)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)에 착탈 가능하게 결합되는 것으로 한 쌍의 설치로드(410)와 전도 메쉬망(420)을 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 부스터유닛(400)의 설치로드(410)는 상기 베이스판(110)의 각각 이격되게 설치되되 상기 방전극유닛(200)에 의한 통과로(201)의 입구측과 출구측에 각각 마련되고, 상기 베이스판(110)으로부터 상부를 향해 각각 길게 형성된다. 상기 한 쌍의 설치로드(410)는 전도 메쉬망(420)에 의해 서로 연결됨으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에 그 전도 메쉬망이 배치될 수 있게 한다. As shown in FIG. 3, the booster unit 400 is detachably coupled to the base plate 110 of the installation plate 100 and includes a pair of installation rods 410 and a conductive mesh network 420. It can be done including. The installation rod 410 of the booster unit 400 is installed to be spaced apart from each other on the base plate 110 and is provided on the inlet and outlet sides of the passage 201 by the discharge electrode unit 200, respectively. Each is formed to be long from the base plate 110 toward the top. The pair of installation rods 410 are connected to each other by a conductive mesh network 420, allowing the conductive mesh network to be disposed between the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220. .

상기 부스터유닛(400)의 전도 메쉬망(420)은 각 설치로드(410) 사이에 배치되어서 한 쌍의 설치로드(410)를 서로 연결시키며, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에 배치되고, 전도성 소재로 이루어지면서 그물 구조를 가짐으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)이 내측전극유닛(300)으로부터 서로 반대되는 전극의 전압을 인가받아 저온 플라즈마를 발생시킬 경우, 상기 전도 메쉬망(420)이 구비되지 않을 때(도 8 (a))에 비해 그 저온 플라즈마의 발생량을 증가 및 유지시킬 수 있게 한다(도 8 (b)). The conductive mesh network 420 of the booster unit 400 is disposed between each installation rod 410 to connect a pair of installation rods 410 to each other, and the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes. (220) and is made of a conductive material and has a net structure, so that the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 receive voltages from the inner electrode unit 300 that are opposite to each other. When receiving authorization to generate low-temperature plasma, it is possible to increase and maintain the amount of low-temperature plasma generated (FIG. 8 (b)) compared to when the conductive mesh network 420 is not provided (FIG. 8 (a)). .

본 실시예에 채용된 상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)은 도 4에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 압착리브(133) 및 고정수단을 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 베이스판(110)에 형성된 한 쌍의 압착리브(133)는, 상기 끼움슬릿(120)의 단부에서 서로 마주하는 방향으로 돌출되어서 그 끼움슬릿(120)을 한정하고 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)을 가압함으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)이 상기 끼움슬릿(120)에 안정적으로 설치될 수 있게 하고 그 방전극들(210, 220)이 끼움슬릿(120)에서 임의로 빠지지 않게 한다. As shown in FIG. 4, the base plate 110 of the installation plate 100 employed in this embodiment preferably further includes a pair of pressing ribs 133 and a fixing means. A pair of pressing ribs 133 formed on the base plate 110 protrude from the ends of the fitting slit 120 in a direction facing each other to define the fitting slit 120 and form the first discharge electrodes 210. ) and pressing the second discharge electrodes 220, so that the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 can be stably installed in the insertion slit 120, and the discharge electrodes 210, 220) is prevented from falling out of the insertion slit 120 arbitrarily.

또한 상기 베이스판(110)의 고정수단은, 상기 관통홀(130)에 마련되는 것으로 지지리브들(131) 및 밀착리브들(132)로 이루어진다. 상기 고정수단의 지지리브들(131)은, 상기 관통홀(130)을 한정하는 바닥면으로부터 상부로 돌출 형성되고 상기 관통홀(130)의 길이 방향으로 길게 형성되며, 끝단부가 상기 제1내측전극(310) 및 제2내측전극(320)에 접촉됨으로써, 관통홀(130)에서 상기 내측전극(310, 320)들을 지지한다. In addition, the fixing means of the base plate 110 is provided in the through hole 130 and consists of support ribs 131 and contact ribs 132. The support ribs 131 of the fixing means protrude upward from the bottom surface defining the through hole 130 and are formed long in the longitudinal direction of the through hole 130, and their ends are connected to the first inner electrode. By contacting 310 and the second inner electrode 320, the inner electrodes 310 and 320 are supported in the through hole 130.

또한 상기 밀착리브들(132)은 상기 관통홀(130)을 한정하는 양측면에서 서로 마주하는 방향으로 각각 돌출 형성되고 상기 제1내측전극(310) 및 제2내측전극(320)의 양측 상부면에 각각 밀착되고, 각 내측전극(310, 320)의 길이 방향으로 길게 형성됨으로써, 상기 관통홀(130)에서 상기 제1내측전극(310)과 제2내측전극(320)을 안정적으로 지지할 뿐만 아니라 그 관통홀에서 내측전극들이 임의로 빠져 나오는 것을 방지한다. In addition, the close contact ribs 132 are formed to protrude from both sides defining the through hole 130 in directions facing each other, and are located on both upper surfaces of the first inner electrode 310 and the second inner electrode 320. By being in close contact with each other and being formed long in the longitudinal direction of each inner electrode 310 and 320, not only the first inner electrode 310 and the second inner electrode 320 are stably supported in the through hole 130. It prevents the inner electrodes from coming out arbitrarily from the through hole.

상기 베이스판(110)은 도 5에 도시된 바와 같이, 일측과 타측에 체결수단(140)을 각각 구비할 수 있다. 상기 체결수단(140)은 베이스판(110)이 복수로 이루어진 경우, 어느 하나의 베이스판(110a)과 다른 하나의 베이스판(110b)을 서로 연결시킬 수 있게 하는 것으로, 체결홈부(141) 및 체결리브부(142)을 포함한다. 상기 체결홈부(141)는 각 베이스판(110a, 110b)의 외측에 상대적으로 홈 형태로 이루어지고, 그 베이스판(110a, 110b)의 외측에 상대적으로 돌출된 형태의 체결리브부(142)가 끼워질 수 있게 한다. As shown in FIG. 5, the base plate 110 may be provided with fastening means 140 on one side and the other side, respectively. The fastening means 140 is used to connect one base plate 110a and the other base plate 110b when the base plate 110 is comprised of a plurality, and includes a fastening groove 141 and Includes a fastening rib portion 142. The fastening groove portion 141 is formed in a groove shape relatively on the outside of each base plate (110a, 110b), and the fastening rib portion 142 is relatively protruding on the outside of the base plate (110a, 110b). Allow it to be inserted.

여기서 상기 체결리브부(142)는 베이스판(110)의 외면에서 돌출되고 상기 체결홈부(141)와 인접하게 마련되며, 양측이 외부를 향해 각각 연장되어서 '┳' 형태로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한 상기 체결홈부(141)는 체결리브부(142)와 대응되는 형태로 이루어지고 그 체결리브부의 길이와 대응되는 길이를 가짐으로써, 그 체결리브부(142)가 임으로 분리되는 것을 방지하고 복수의 베이스판(110)들이 서로 결속된 상태를 유지할 수 있도록 한다. Here, the fastening rib portion 142 protrudes from the outer surface of the base plate 110 and is provided adjacent to the fastening groove portion 141, and both sides extend outward, respectively, so that it is preferably formed in a '┳' shape. In addition, the fastening groove portion 141 is formed in a shape corresponding to the fastening rib portion 142 and has a length corresponding to the length of the fastening rib portion, thereby preventing the fastening rib portion 142 from being separated arbitrarily and forming a plurality of The base plates 110 are maintained coupled to each other.

예를 들어 상기 어느 하나의 베이스판(110a) 일측과 다른 하나의 베이스판(110b) 타측이 서로 인접하게 배치된 경우, 그 어느 하나의 베이스판(110a) 일측에 마련된 체결홈부(141) 및 체결리브부(142)는, 다른 하나의 베이스판(110b) 타측에 마련된 체결리브부(142) 및 체결홈부(141)와 체결됨으로써, 상기 플라즈마 발생 장치를 대형화할 수 있게 하고 공기를 포함한 유체의 정화 및 탈취 효율을 극대화시킬 수 있게 한다(도 6 참조). For example, when one side of one of the base plates (110a) and the other side of the other base plate (110b) are arranged adjacent to each other, the fastening groove 141 provided on one side of the base plate (110a) and the fastening The rib portion 142 is fastened with the fastening rib portion 142 and the fastening groove portion 141 provided on the other side of the base plate 110b, thereby enabling the plasma generating device to be enlarged and purifying fluid including air. And it makes it possible to maximize deodorization efficiency (see Figure 6).

상기 체결홈부(141) 및 체결리브부(142)는, 상기 베이스판(110)의 상면 및 하면에도 형성될 수 있다. 이로 인해 상기 어느 하나의 베이스판(110a) 상면에 마련된 체결홈부(141) 및 체결리브부(142)는 상기 다른 하나의 베이스판(110b) 일측 또는 타측에 마련된 체결리브부(142) 및 체결홈부(141)와 체결됨으로써, 상기 베이스판(110)들을 '□' 형태로 구현시킬 수 있고 상기 플라즈마 발생 장치를 자체 구조에 기인하여 다양한 형태로 변형시킬 수 있고 다양한 정화장치에 본 실시예를 채용시킬 수 있게 한다. The fastening groove portion 141 and the fastening rib portion 142 may be formed on the upper and lower surfaces of the base plate 110. As a result, the fastening groove portion 141 and the fastening rib portion 142 provided on the upper surface of one of the base plates 110a are the fastening rib portion 142 and the fastening groove portion provided on one side or the other side of the other base plate 110b. By being fastened to (141), the base plates 110 can be implemented in a '□' shape, the plasma generating device can be transformed into various shapes due to its structure, and the present embodiment can be adopted in various purification devices. make it possible

이상 본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 설명하였다. 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 설명하기로 한다. The plasma generator according to an embodiment of the present invention has been described above. Hereinafter, a plasma generating device according to another embodiment of the present invention will be described.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치의 분리된 상태를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명 다른 실시예에 채용된 부스터유닛을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 7 is a diagram showing a separated state of a plasma generating device according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a diagram illustrating a booster unit employed in another embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 앞서 설명한 실시예와 대부분의 구성이 유사하나 부스터유닛(400)의 구조에 있어서 차이가 있다. 본 실시예에 채용된 상기 부스터유닛(400)은 앞서 설명한 실시예와 같이 상기 제1방전극들(210) 및 제2방전극들(220) 사이에 형성된 상기 통과로(201)에 설치되고 상기 유체의 이동 경로를 따라 배치되는 것으로 한 쌍의 설치로드(410) 및 전도판(430)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIG. 7, this embodiment is similar in most configurations to the previously described embodiment, but there is a difference in the structure of the booster unit 400. The booster unit 400 employed in this embodiment is installed in the passage 201 formed between the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220, as in the previously described embodiment, and is installed in the passage 201 of the fluid. It is disposed along the movement path and includes a pair of installation rods 410 and a conductive plate 430.

상기 한 쌍의 설치로드(410)는 상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)에 결합되는 것으로 상기 방전극유닛(200)에 의한 통과로(201)의 입구측과 출구측에 각각 마련되고 상기 베이스판(110)으로부터 상부를 향해 각각 길게 형성된다. 상기 각 설치로드(410)는, 상기 전도판(430)에 의해 연결되고 그 전도판(430)이 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에 배치될 수 있게 한다. The pair of installation rods 410 are coupled to the base plate 110 of the installation plate 100 and are provided on the inlet and outlet sides of the passage 201 by the discharge electrode unit 200, respectively. Each is formed to be long from the base plate 110 toward the top. Each of the installation rods 410 is connected by the conductive plate 430 and allows the conductive plate 430 to be disposed between the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220.

상기 전도판(430)은, 판 형태로 이루어지고 복수로 마련되며 상기 각 설치로드(140) 사이에서 다단으로 배치되며 그 각 설치로드(410)를 서로 연결시킴으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에 배치되고, 전도성 소재로 이루어진다. 즉 상기 전도판(430)은 설치로드에 의해 상기 통과로(201)에서 다단으로 배치됨으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)이 내측전극유닛(300)으로부터 서로 반대되는 전극의 전압을 인가받아 저온 플라즈마를 발생시킬 때 상기 전도판이 없는 경우(도 8 (a))에 비해 저온 플라즈마의 발생량을 증가시킬뿐만 아니라 안정적으로 유지시킬 수 있게 한다(도 8 (b)). The conductive plate 430 is made in the form of a plate, is provided in plurality, and is arranged in multiple stages between each installation rod 140. By connecting each installation rod 410 to each other, the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220, and is made of a conductive material. That is, the conductive plate 430 is arranged in multiple stages in the passage 201 by an installation rod, so that the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 are opposite to each other from the inner electrode unit 300. When the voltage of the electrode is applied to generate low-temperature plasma, it not only increases the amount of low-temperature plasma generated compared to the case without the conductive plate (FIG. 8 (a)), but also maintains it stably (FIG. 8 (b)). .

이상 본 발명의 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 설명하였다. 이하에서는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 설명하기로 한다. The plasma generator according to another embodiment of the present invention has been described above. Hereinafter, a plasma generating device according to another embodiment of the present invention will be described.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 플라즈마 발생 장치를 도시한 것으로, 본 발명 또 다른 실시예에 채용된 부스터유닛을 설명하기 위한 도면이다. Figure 9 shows a plasma generating device according to another embodiment of the present invention, and is a diagram for explaining a booster unit employed in another embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 바와 같이 본 실시예는 앞서 설명한 실시예와 대부분의 구성이 유사하나, 부스터유닛(400)의 구조에 있어서 차이점이 있다. 즉 본 실시예에 채용된 부스터유닛(400)은, 전도 메쉬망(420)이 한 쌍으로 이루어질 수 있다. As shown in FIG. 9, this embodiment is similar in most configurations to the previously described embodiment, but there is a difference in the structure of the booster unit 400. That is, the booster unit 400 employed in this embodiment may be composed of a pair of conductive mesh networks 420.

상기 전도 메쉬망(420)은, 상기 설치 플레이트(100)의 베이스판(110)에서 통과로의 입구측과 출구측에 각각 마련된 설치로드(410)를 연결시키고, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220) 사이에서 간격을 형성하며 한 쌍으로 마련됨으로써, 상기 제1방전극들(210)과 제2방전극들(220)이 내측전극유닛(300)으로부터 서로 반대되는 전극의 전압을 인가받아 저온 플라즈마를 발생시킬 때 그 저온 플라즈마의 발생량을 증가시킬뿐만 아니라 안정적으로 유지시킬 수 있게 한다. The conductive mesh network 420 connects the installation rods 410 provided on the inlet and outlet sides of the passage from the base plate 110 of the installation plate 100, and connects the first discharge electrodes 210. and the second discharge electrodes 220 are provided as a pair with a gap between them, so that the first discharge electrodes 210 and the second discharge electrodes 220 have voltages opposite to each other from the inner electrode unit 300. When receiving approval to generate low-temperature plasma, it not only increases the amount of low-temperature plasma generated but also maintains it stably.

이상 본 발명의 다양한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the present embodiments and the drawings attached to the present specification only clearly show a part of the technical idea included in the present invention, and the drawings included in the specification and drawings of the present invention It will be apparent that all modifications and specific embodiments that can be easily inferred by a person skilled in the art within the scope of the technical idea are included in the scope of the present invention.

100: 설치 플레이트 110: 베이스판
110a: 어느 하나의 베이스판 110b: 다른 하나의 베이스판
120: 끼움슬릿 130: 관통홀
140: 체결수단 141: 체결홈부
142: 체결리브부 200: 방전극유닛
201: 통과로 210: 제1방전극들
220: 제2방전극들 300: 내측전극유닛
310: 제1내측전극 320: 제2내측전극
400: 부스터유닛 410: 설치로드
420: 전도 메쉬망 430: 전도판100: Installation plate 110: Base plate
110a: one base plate 110b: another base plate
120: Fitting slit 130: Through hole
140: fastening means 141: fastening groove
142: Fastening rib portion 200: Discharge electrode unit
201: passageway 210: first electrodes
220: second electrodes 300: inner electrode unit
310: first inner electrode 320: second inner electrode
400: Booster unit 410: Installation rod
420: conduction mesh network 430: conduction plate

Claims

delete

A base plate disposed in the movement path of a fluid including air and formed in the form of a plate, a plurality of insertion slits formed long in the base plate in the direction of the movement path of the fluid, and formed long in the interior of the base plate in the direction of the movement path. an installation plate having a plurality of through holes communicating with the fitting slit; First discharge electrodes are installed in one of the fitting slits to be spaced apart from each other in the longitudinal direction, and are installed in the other fitting slit to face the first discharge electrodes, respectively, and the first discharge electrodes are installed in the other fitting slit to face each other. a discharge electrode unit including second discharge electrodes forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes; a first inner electrode inserted into one of the through holes of the installation plate and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage; and a first inner electrode inserted into the other through hole and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage. an inner electrode unit having a second inner electrode connected to each end of the two-discharge electrodes and applying a voltage of the electrode opposite to the voltage applied to the first discharge electrodes to the second discharge electrodes; and a booster unit disposed in the passage between the first and second discharge electrodes and made of a conductive material to increase the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit to which the voltage is applied. ,
The booster unit includes a pair of installation rods that are coupled to the base plate of the installation plate and are respectively provided on the inlet side and outlet side of the passage by the discharge electrode unit and are formed elongated upward from the base plate, and the installation rod. It connects the rods and is disposed between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes, and includes at least one conductive mesh network made of a conductive material and having a net structure,
The conductive mesh network is a pair forming a gap between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes, and connects the installation rod.

A base plate disposed in the movement path of a fluid including air and formed in the form of a plate, a plurality of insertion slits formed long in the base plate in the direction of the movement path of the fluid, and formed long in the interior of the base plate in the direction of the movement path. an installation plate having a plurality of through holes communicating with the fitting slit; First discharge electrodes are installed to be spaced apart from one of the fitting slits in the longitudinal direction, and are installed in the other fitting slit to face the first discharge electrodes, respectively, and the first discharge electrodes are installed to face the first discharge electrodes, respectively, a discharge electrode unit including second discharge electrodes forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes; a first inner electrode inserted into one of the through holes of the installation plate and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage; and a first inner electrode inserted into the other through hole and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage. an inner electrode unit having a second inner electrode connected to each end of the two-discharge electrodes and applying a voltage of the electrode opposite to the voltage applied to the first discharge electrodes to the second discharge electrodes; and a booster unit disposed in the passage between the first and second discharge electrodes and made of a conductive material to increase the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit to which the voltage is applied. ,
The booster unit includes a pair of installation rods that are coupled to the base plate of the installation plate and are provided on the inlet and outlet sides of a passage by the discharge electrode unit, respectively, and extending upward from the base plate, and each installation rod. A plasma generating device disposed between the first discharge electrodes and the second discharge electrodes by connecting the installation rods, which are arranged in multiple stages between the rods, and comprising a conductive plate made of a conductive material and having a plate structure. .

A base plate disposed in the movement path of a fluid including air and formed in the form of a plate, a plurality of insertion slits formed long in the base plate in the direction of the movement path of the fluid, and formed long in the interior of the base plate in the direction of the movement path. an installation plate having a plurality of through holes communicating with the fitting slit; First discharge electrodes are installed to be spaced apart from one of the fitting slits in the longitudinal direction, and are installed in the other fitting slit to face the first discharge electrodes, respectively, and the first discharge electrodes are installed to face the first discharge electrodes, respectively, a discharge electrode unit including second discharge electrodes forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes; a first inner electrode inserted into one of the through holes of the installation plate and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage; and a first inner electrode inserted into the other through hole and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage. an inner electrode unit having a second inner electrode connected to each end of the two-discharge electrodes and applying a voltage of the electrode opposite to the voltage applied to the first discharge electrodes to the second discharge electrodes; and a booster unit disposed in the passage between the first and second discharge electrodes and made of a conductive material to increase the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit to which the voltage is applied. ,
The base plate of the installation plate protrudes from the end of the fitting slit in a direction facing each other to define the fitting slit so that the first discharge electrodes and the second discharge electrodes can be stably installed in the fitting slit. A plasma generating device further comprising a pair of compression ribs that pressurize the first-discharge electrodes and the second-discharge electrodes.

A base plate disposed in the movement path of a fluid including air and formed in the form of a plate, a plurality of insertion slits formed long in the base plate in the direction of the movement path of the fluid, and formed long in the interior of the base plate in the direction of the movement path. A base plate in the form of a plate disposed in the movement path of a fluid containing air and having a plurality of through holes communicating with the fitting slits, and a plurality of fitting slits formed long on the base plate in the direction of the movement path of the fluid; an installation plate formed inside the base plate to be long in the direction of the movement path and having a plurality of through holes communicating with the fitting slit; First discharge electrodes are installed to be spaced apart from one of the fitting slits in the longitudinal direction, and are installed in the other fitting slit to face the first discharge electrodes, respectively, and the first discharge electrodes are installed to face the first discharge electrodes, respectively, a discharge electrode unit including second discharge electrodes forming a passage for fluid to pass between the first discharge electrodes; a first inner electrode inserted into one of the through holes of the installation plate and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage; and a first inner electrode inserted into the other through hole and connected to each end of the first discharge electrodes to apply a positive or negative voltage. an inner electrode unit having a second inner electrode connected to each end of the two-discharge electrodes and applying a voltage of the electrode opposite to the voltage applied to the first discharge electrodes to the second discharge electrodes; and a booster unit disposed in the passage between the first and second discharge electrodes and made of a conductive material to increase the amount of low-temperature plasma generated by the discharge electrode unit to which the voltage is applied. ,
The base plate of the installation plate protrudes upward from the bottom surface defining the through hole so as to stably support the first inner electrode and the second inner electrode in the through hole and extends in the longitudinal direction of the through hole. It is formed long, and the end portions are formed to protrude in directions facing each other from support ribs in contact with the first inner electrode and the second inner electrode, respectively, on both sides defining the through hole, and the first inner electrode and the second inner electrode. A plasma generating device, characterized in that it further includes fixing means provided with close contact ribs that are in close contact with the upper surfaces of both sides of the electrode.