KR102681189B1

KR102681189B1 - 기판 정렬 시스템

Info

Publication number: KR102681189B1
Application number: KR1020220044280A
Authority: KR
Inventors: 김호영; 유병호; 차문길; 박종기; 윤준영; 김도연; 홍용우
Original assignee: 주식회사 에스엔씨솔루션
Priority date: 2022-04-11
Filing date: 2022-04-11
Publication date: 2024-07-04
Anticipated expiration: 2042-04-11
Also published as: KR20230145655A

Abstract

본 발명의 기판 정렬 시스템은 내부공간을 갖는 챔버, 상기 챔버의 외측에 배치되는 구동장치, 상기 챔버의 일 측에 배치되고, 상기 구동장치에 의해 회전되는 샤프트 및 상기 샤프트에 의해 상기 챔버의 내부공간을 향해 회동되는 정렬장치를 포함한다. 상기 구동장치는, 구동부, 회전부, 센서부 및 고정부재를 포함하고, 상기 정렬장치는, 상기 샤프트와 평행하게 배치되어 상기 샤프트의 회전에 따라 회동되는 정렬봉과 상부 브라켓 및 하부 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 정렬 시스템{BORAD ALIGNMENT SYSTEM}

본 발명은 기판 정렬 시스템에 대한 것이다.

각종 패턴이 인쇄되거나 각종 전자 장치들이 실장되는 기판(board)은 다양한 공정을 통해 제작될 수 있다. 그리고 여러 공정을 단계적으로 수행하기 위해서는 기판을 이송하고 정렬하는 장치들을 필요로 한다. 기판 정렬 시스템은 각종 공정이 수행되는 챔버와 상기 챔버로 해당 기판을 이송 및 반출 등 이동하도록 마련되는 장치로 구성된다.

이때, 최근 공정 및 장비의 소형화에 따라 실질적인 공정이 수행되는 챔버의 소형화가 요구되고 있다. 그러나, 챔버 내에 기판 정렬을 위한 장치 등 실질적인 공정과는 무관한 장치들이 함께 배치되어 챔버의 소형화가 어렵다는 문제점이 있다.

또한, 기판 등이 소형화됨에 따라 챔버 내에서 수행되는 공정의 정밀도가 요구되고 있다. 그에 따라, 공정의 신뢰성 및 효율을 높이기 위해 챔버 내의 공간을 구분하거나 최소한의 장치만을 배치하여 공간을 단순화시킬 필요성이 대두되고 있다.

또한, 기존에는 챔버의 내부에 구동부가 배치됨에 따라 챔버 내부의 가혹한 환경, 예를 들어, 고온/저온 등의 가혹한 환경에 노출되어 쉽게 파손 또는 손상이 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 구동부가 가혹한 환경에 노출되는 것을 방지한 기판 정렬 시스템을 제공하는데 목적이 있다.

또한, 챔버의 내부공간에 위치했던 구동부를 외부로 배치시켜 챔버를 소형화 및 단순화시킨 기판 정렬 시스템을 제공하는데 목적이 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적은 내부공간을 갖는 챔버, 상기 챔버의 외측에 배치되는 구동장치, 상기 챔버의 일 측에 배치되고, 상기 구동장치에 의해 회전되는 샤프트 및 상기 샤프트에 의해 상기 챔버의 내부공간을 향해 회동되는 정렬장치를 포함하는 기판 정렬 시스템에 의해 달성된다.

또한, 상기 구동장치는, 구동부, 상기 구동부에 의해 소정의 각도로 회전하는 회전부, 상기 회전부의 회전각도를 측정하여 상기 구동부로 전달하는 센서부, 상기 구동부와 상기 샤프트의 사이에 배치되고, 상기 회전부의 반경방향 외측에 설치되는 제1고정부재 및 상기 회전부와 상기 샤프트의 사이에 설치되는 제2고정부재를 포함하고, 상기 정렬장치는, 상기 샤프트와 평행하게 배치되어 상기 샤프트의 회전에 따라 회동되는 정렬봉, 상기 정렬봉과 상기 샤프트를 연결하는 상부 브라켓 및 하부 브라켓을 포함할 수 있다.

또한, 상기 회전부는 반경방향으로 돌출된 돌출회전부를 포함하고, 상기 센서부는 상기 제2고정부재의 일 측에 설치되어 상기 돌출회전부를 인식하여 상기 회전부의 회전여부 및 회전각을 측정할 수 있다.

또한, 상기 돌출회전부는 미리 설정된 각도 간격으로 상기 센서부에 의해 인식되는 복수의 표지를 구비할 수 있다.

또한, 상기 돌출회전부는 미리 설정된 각도 간격으로 상기 회전부에서 반경방향 외측으로 돌출된 복수의 형상으로 구비될 수 있다.

또한, 상기 샤프트는 상기 챔버의 개방된 일면 양 모서리부분을 따라서 상하로 연장되어 설치되는 한 쌍으로 구비되고, 상기 구동장치는 상기 한 쌍의 샤프트에 각각 서로 마주하는 한 쌍으로 배치되어 각각 동작되고, 상기 정렬장치는 하나의 샤프트에 상하방향으로 이격되어 한 쌍이 각각 설치될 수 있다.

또한, 상기 상부브라켓 및 상기 하부브라켓은 수평하게 연장되고, 상기 정렬봉의 상단 및 하단에 각각 결합될 수 있다.

또한, 상기 챔버는 상기 분리판에 의해 구분되는 제1내부공간 및 제2내부공간을 갖고, 상기 정렬장치는 상기 제1내부공간 및 상기 제2내부공간에 각각 설치되는 제1정렬장치 및 제2정렬장치를 포함할 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 기판 정렬 시스템에 따르면 구동부가 챔버의 외부에 배치됨에 따라, 내부 환경과 상관없이 구동부의 안전성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 기판의 정렬을 위한 장치 등이 챔버의 외부에 배치됨에 따라 챔버의 소형화 또는 장비의 소형화를 달성할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 챔버의 내부공간이 구분하고 단순화함에 따라 챔버 내에서 수행되는 공정의 신뢰성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템을 개략적으로 도시한 도면,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 동작을 도시한 도면,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 구동장치를 도시한 도면,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 제1상태를 도시한 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 제2상태를 도시한 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템에 대해 살펴보기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템(1)을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 정렬 시스템(1)은 소정의 챔버(10)를 포함할 수 있다. 상기 챔버(10)는 기판(board) 등이 수용되어 적어도 어느 하나의 제조공정이 이루어지는 내부공간(20, 30)이 형성된 구성으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)에서는 기판에 소정의 패턴을 인쇄하는 공정이 수행될 수 있다.

또한, 상기 기판 정렬 시스템(1)은 소정의 도어(미도시)와 연결될 수 있다. 예를 들어, 도어(미도시)는 상기 챔버(10)에서 외측으로 연장되는 형태로 마련될 수 있다.

상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)은 복수 개로 구분될 수 있다. 도 1을 참조하면, 상기 챔버(10)의 내부공간은 제1챔버공간(20) 및 제2챔버공간(30)으로 구분된다. 그리고, 구분된 내부공간에서는 서로 다른 공정 또는 서로 다른 시간차로 공정이 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1챔버공간(20) 및 상기 제2챔버공간(30)에서는 기판에 서로 다른 패턴을 인쇄하는 공정이 수행되거나, 시간차를 두고 동일한 패턴을 인쇄하는 공정이 수행될 수 있다.

즉, 상기 제1챔버공간(20) 및 상기 제2챔버공간(30)은 서로 독립된 공간으로 구분될 수 있다. 상기 제1챔버공간(20) 및 상기 제2챔버공간(30)의 사이에는 분리판(25)이 배치될 수 있다. 도 1에서는 상하부로 구분된 공간을 도시하였고, 상기 분리판(25)은 바닥면과 수평하게 연장된 평판으로 구비될 수 있다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 동작을 도시한 도면이다. 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 기판 정렬 시스템을 구체적인 형상과 함께 도시한 것이다. 다만, 이와 같은 형상은 예시적인 것으로 이에 제한되지 않는다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 정렬 시스템(1)은 구동장치(100), 정렬장치(50, 60) 및 샤프트(40)를 포함한다. 예를 들어, 복수의 기판이 상기 내부공간(20, 30)에 삽입되며 제각각 다른 위치에 배치될 수 있다. 이때, 상기 구동장치(100)가 작동하여 상기 샤프트(40)를 통해 동력을 전달하고, 상기 정렬장치(50, 60)에 의해 복수의 기판이 미리 정해진 동일선상에 배치되도록 이동될 수 있다.

도 1을 참고하여, 상기 구동장치(100), 상기 정렬장치(50, 60) 및 상기 샤프트(40)는 상기 챔버(10)의 개방된 일 측에 배치될 수 있다. 자세하게는, 상기 구동장치(100), 상기 정렬장치(50, 60) 및 상기 샤프트(40)는 상기 챔버(10)의 개방된 면의 양측에 각각 배치될 수 있다.

상기 샤프트(40)는 상하방향으로 길게 연장되도록 설치될 수 있다. 상기 샤프트(40)는 상기 챔버(10)의 일 모서리부분을 따라서 상하로 연장되어 설치된다. 상기 샤프트(40)는 회전가능하게 설치되며, 상기 챔버(10)의 개방된 일면의 양 측에 각각 설치될 수 있다.

상기 구동장치(100)는 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)에 배치되지 않는다. 즉, 상기 구동장치(100)는 상기 챔버(10)의 외부공간에 배치된다. 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)는 각종 공정이 수행되는 공간으로 다양한 온도 등의 환경으로 조성될 수 있다. 상기 구동장치(100)는 외부공간에 배치됨에 따라 이와 같은 환경과 무관하게 작동될 수 있다. 더하여, 상기 구동장치(100)가 외부공간에 배치됨에 따라 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)을 최소화할 수 있다.

상기 구동장치(100)는 복수 개가 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 구동장치(100)는 한 쌍으로 구비된 샤프트(40)에 서로 마주하는 한 쌍으로 배치되어 각각 동작될 수 있다. 이때, 각 구동장치(100)는 서로 동일한 구성으로 제공되며 하나에 대하여 설명하고 다른 하나에 대해서는 그 설명을 인용하고 생략한다.

상기 정렬장치(50, 60)는 상기 샤프트(40)에 의해 이동가능하게 설치된다. 자세하게는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 정렬장치(50, 60)는 상기 샤프트(40)의 회전에 따라 회동가능하게 상기 샤프트(40)에 설치된다. 또한, 상기 정렬장치(50, 60)의 회동에 따라 상기 챔버(10)의 내부에 배치되는 기판이 정렬될 수 있다.

또한, 상기 정렬장치(50, 60)는 하나의 샤프트에 상하방향으로 이격되어 한 쌍이 각각 설치될 수 있다. 자세하게는, 상기 정렬장치(50, 60)는 상기 제1챔버공간(20) 및 상기 제2챔버공간(30)에 각각 설치될 수 있다. 예를 들어, 상하부로 구분된 상기 제1챔버공간(20) 및 상기 제2챔버공간(30)에 각각 제1정렬장치(50) 및 제2정렬장치(60)가 배치될 수 있다.

이때, 상기 제1정렬장치(50) 및 상기 제2정렬장치(60)는 서로 상이하게 회동가능하게 설치될 수 있다. 또한, 필요에 따라 서로 다른 형상으로 구비되어 상기 제1챔버공간(20) 및 상기 제2챔버공간(30)에 배치되는 기판을 서로 다른 형태로 정렬시킬 수 있다. 이하에서는 동일한 형상으로 구비되어 동일하게 회동하는 상기 제1정렬장치(50) 및 상기 제2정렬장치(60)에 대하여 설명한다. 따라서, 하나의 정렬장치(50)에 대해서 설명하고 다른 하나의 정렬장치(60)는 그 설명을 인용하고 생략한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 구동장치를 도시한 도면이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 구동장치(100)는 구동부(110), 회전부(120) 및 고정부재(140, 150)를 포함한다.

상기 구동부(110)는 동력을 제공하는 구성에 해당된다. 예를 들어, 상기 구동부(110)는 실린더 또는 모터 등 다양한 동력장치로 구현될 수 있다. 자세하게는, 상기 구동부(110)는 서보모터(servomotor)로 구비될 수 있다. 즉, 상기 구동부(110)는 소정의 제어신호에 의해 구동되는 모터에 해당될 수 있다.

상기 회전부(120)는 상기 구동부(110)에 의해 동작되는 구성에 해당된다. 도 4를 참조하면, 상기 회전부(120)는 상기 구동부(110)와 상기 샤프트(40)의 사이에 배치되어 회전가능하게 설치될 수 있다. 즉, 상기 회전부(120)는 상기 구동부(110)의 동작에 의해 상기 샤프트(40)와 함께 회전할 수 있다.

앞서 설명한 바와 같이, 상기 구동부(110)는 소정의 제어신호에 의해 구동될 수 있다. 예를 들어, 상기 구동부(110)는 상기 회전부(120)를 미리 정해진 각도만큼 회전시키도록 구동될 수 있다. 자세하게는, 상기 구동부(110)는 시계방향 또는 반시계방향으로 상기 회전부(120)를 약60도 회전시킬 수 있다. 그에 따라, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 샤프트(40)가 시계방향 또는 반시계방향으로 약60도 정도 회전될 수 있다.

이때, 상기 구동장치(100)는 상기 구동부(110)의 제어를 보조하는 센서부(130)를 포함할 수 있다. 상기 센서부(130)는 상기 회전부(120)가 미리 정해진 각도만큼 회전하는지 여부를 측정하거나 제한하는 기능을 할 수 있다.

예를 들어, 상기 회전부(120)는 반경방향으로 돌출된 돌출회전부(125)를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 센서부(130)는 상기 돌출회전부(125)를 인식하여 상기 회전부(120)의 회전여부 및 회전각을 측정할 수 있다. 자세하게는, 상기 돌출회전부(125)는 60도 간격으로 상기 센서부(130)가 인식되는 표지가 구비될 수 있다. 또한, 상기 돌출회전부(125)가 60도 간격으로 상기 회전부(120)에서 반경방향으로 돌출된 복수의 형상으로 형성될 수 있다.

그에 따라, 상기 센서부(130)는 상기 회전부(120)가 60도 간격으로 회전했는지 여부를 측정할 수 있다. 이와 같은 정보는 상기 구동부(110)로 전달되어 상기 구동부(110)는 상기 회전부(120)의 동작을 정지할 수 있다. 그리고, 상기 회전부(120)와 연결된 상기 샤프트(40)의 동작이 정지될 수 있다.

상기 고정부재(140, 150)는 상기 구동장치(100)를 소정의 위치에 설치하기 위한 구성에 해당된다. 특히, 상기 구동장치(100)가 상기 챔버(10)의 외부에 안정적으로 설치되기 위해 필요한 구성으로 이해될 수 있다. 상기 고정부재(140, 150)는 크게 상기 회전부(120)의 반경방향 외측에 설치되는 제1고정부재(140)와 상기 회전부(120)와 상기 샤프트(40)의 사이에 설치되는 제2고정부재(150)로 구분될 수 있다. 이와 같은 구분은 설명의 편의를 위한 것으로 상기 제1, 2고정부재(140, 150)는 일체로 형성될 수 있다.

상기 제1고정부재(140)는 상기 회전부(120)가 설치되는 소정의 공간을 형성할 수 있다. 즉, 상기 제1고정부재(140)는 상기 구동부(110)와 상기 샤프트(40)의 사이에 상기 회전부(120)가 설치되는 공간을 형성하는 구성으로 이해될 수 있다.

예를 들어, 상기 제1고정부재(140)는 상기 구동부(110)의 일단에 결합되는 수평부(142) 및 상기 수평부(142)에서 하부로 연장되는 수직연장부(144)를 포함할 수 있다. 상기 수평부(142)는 사각 플레이트의 형상으로 구비되고, 상기 수직연장부(144)는 상기 수평부(142)의 모서리에서 하부로 각각 연장되는 복수의 형상의 구비될 수 있다.

상기 제2고정부재(150)는 상기 회전부(120)와 상기 샤프트(40)의 사이에 배치되는 플레이트로 구비될 수 있다. 상기 제2고정부재(150)는 상기 수평부(142)와 대응되는 사각 플레이트의 형상으로 구비될 수 있다. 또한, 상기 제2고정부재(150)의 일 측에 상기 센서부(130)가 설치될 수 있다.

정리하면, 상기 구동부(110), 수평부(142), 상기 회전부(120), 상기 제2고정부재(150) 및 상기 샤프트(40)가 축방향으로 차례로 연결되어 배치된다. 그리고, 상기 수평부(142)와 상기 제2고정부재(150)가 상기 수직연장부(144)를 통해 연결될 수 있다. 또한, 상기 제1, 2고정부재(150)는 상기 챔버(10)의 외측에 볼트 등의 구성을 통해 고정될 수 있다. 그에 따라, 상기 구동장치(100)가 상기 챔버(10)의 외측에 안정적으로 설치될 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 제1상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 시스템의 제2상태를 도시한 도면이다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 정렬장치(50)는 정렬봉(55), 상부브라켓(52) 및 하부브라켓(54)을 포함한다.

상기 정렬봉(55)은 상기 샤프트(40)와 평행하게 배치될 수 있다. 즉, 상기 정렬봉(55)은 상기 샤프트(40)와 같이 상하로 연장되고, 상기 샤프트(40)와 일 측으로 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 상기 정렬봉(55)은 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)과 대응되는 크기로 마련될 수 있다. 예를 들어, 상기 정렬봉(55)은 상기 내부공간(20, 30)에 위치한 복수의 기판과 접촉하여 이동시킬 수 있다.

상기 상부브라켓(52) 및 상기 하부브라켓(54)은 상기 정렬봉(55)과 상기 샤프트(40)를 연결하도록 수평하게 연장되는 구성에 해당된다. 상기 상부브라켓(52) 및 상기 하부브라켓(54)은 각각 상기 정렬봉(55)의 상단 및 하단에 각각 결합될 수 있다.

상기 상부브라켓(52) 및 상기 하부브라켓(54)의 형상을 통해 상기 정렬봉(55)과 상기 샤프트(40)가 미리 설정된 위치로 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 상기 상부브라켓(52) 및 상기 하부브라켓(54)을 통해 상기 샤프트(40)의 회전에 의해 상기 정렬봉(55)이 소정의 회전반경으로 회동될 수 있다.

도 2, 도 4 및 도 5에 도시된 형상을 참고하여, 본 발명의 기판 정렬 시스템(1)의 제1상태는 기판 정렬 시스템(1)의 대기상태로 이해될 수 있다.

이때, 상기 정렬장치(40)는 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)에 대해 외측으로 회동된 상태로 배치된다. 그에 따라, 상기 챔버(10)의 개방된 일면이 완전히 개방된 상태로 마련될 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버(10)의 개방된 일면을 통해 자동 또는 수동으로 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)으로 복수의 기판을 삽입할 수 있다.

기판의 삽입이 완료되면 소정의 신호에 따라 기판 정렬 시스템(1)이 동작될 수 있다. 도 3, 도 4 및 도 6에 도시된 형상을 참고하여, 본 발명의 기판 정렬 시스템(1)의 제2상태는 기판 정렬 시스템(1)의 정렬상태로 이해될 수 있다.

상기 구동부(110)가 동작하여 상기 회전부(120)가 소정의 각도로 회전된다. 그에 따라, 상기 샤프트(40)가 회전하며 상기 정렬봉(55)이 상기 챔버(10)의 내부공간(20, 30)의 내측을 향해 회동될 수 있다.

이때, 상기 구동부(110)는 상기 회전부(120)를 미리 설정된 각도만큼 외측으로 이동시킨다. 상기 구동부(110)는 상기 회전부(120)를 일방향으로 회전시키고, 상기 센서부(130)에 의해 상기 회전부(120)의 회전각도가 측정된다. 미리 설정한 각도만큼 상기 회전부(120)가 이동하면, 상기 센서부(130)의 신호에 따라 상기 구동부(110)는 상기 회전부(120)를 정지시킬 수 있다. 그리고, 상기 정렬봉(55)는 미리 설정된 위치까지 회동되어 기판을 기준점까지 이동시켜 정렬할 수 있다.

그리고, 이와 같은 정렬동작이 완료되거나 또는 연속적으로 상기 구동부(110)는 상기 회전부(120)를 반대방향으로 회전시키도록 동작한다. 그에 따라, 상기 샤프트(40)가 이동하고, 상기 정렬봉(55)이 다시 상기 챔버(10)의 개방된 일면이 완전히 개방되도록 외측으로 회동된다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.

1...기판 정렬 시스템
10...챔버
20, 30...(챔버의) 내부공간
40...샤프트
50, 60...정렬장치
55...정렬봉
100...구동장치
110...구동부
120...회전부
130...센서부
140...제1고정부재
150...제2고정부재

Claims

내부공간을 갖는 챔버;
상기 챔버의 외측에 배치되는 구동장치;
상기 챔버의 일 측에 배치되고, 상기 구동장치에 의해 회전되는 샤프트; 및
상기 샤프트에 의해 상기 챔버의 내부공간을 향해 회동되는 정렬장치를 포함하고,
상기 구동장치는,
구동부;
상기 구동부에 의해 소정의 각도로 회전하는 회전부;
상기 회전부의 회전각도를 측정하여 상기 구동부로 전달하는 센서부;
상기 구동부와 상기 샤프트의 사이에 배치되고, 상기 회전부의 반경방향 외측에 설치되는 제1고정부재; 및
상기 회전부와 상기 샤프트의 사이에 설치되는 제2고정부재를 포함하고,
상기 정렬장치는,
상기 샤프트와 평행하게 배치되어 상기 샤프트의 회전에 따라 회동되는 정렬봉;
상기 정렬봉과 상기 샤프트를 연결하는 상부 브라켓 및 하부 브라켓을 포함하는 기판 정렬 시스템.
제1항에 있어서,
상기 회전부는 반경방향으로 돌출된 돌출회전부를 포함하고,
상기 센서부는 상기 제2고정부재의 일 측에 설치되어 상기 돌출회전부를 인식하여 상기 회전부의 회전여부 및 회전각을 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제2항에 있어서,
상기 돌출회전부는 미리 설정된 각도 간격으로 상기 센서부에 의해 인식되는 복수의 표지를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제2항에 있어서,
상기 돌출회전부는 미리 설정된 각도 간격으로 상기 회전부에서 반경방향 외측으로 돌출된 복수의 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제1항에 있어서,
상기 샤프트는 상기 챔버의 개방된 일면 양 모서리부분을 따라서 상하로 연장되어 설치되는 한 쌍으로 구비되고,
상기 구동장치는 상기 한 쌍의 샤프트에 각각 서로 마주하는 한 쌍으로 배치되어 각각 동작되고,
상기 정렬장치는 하나의 샤프트에 상하방향으로 이격되어 한 쌍이 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제1항에 있어서,
상기 상부브라켓 및 상기 하부브라켓은 수평하게 연장되고, 상기 정렬봉의 상단 및 하단에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제1항에 있어서,
상기 챔버의 내부공간은 분리판에 의해 구분되는 제1챔버공간 및 제2챔버공간을 갖고,
상기 정렬장치는 상기 제1챔버공간 및 상기 제2챔버공간에 각각 설치되는 제1정렬장치 및 제2정렬장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.