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KR102672860B1 - 기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법 - Google Patents

기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법 Download PDF

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KR102672860B1
KR102672860B1 KR1020210145702A KR20210145702A KR102672860B1 KR 102672860 B1 KR102672860 B1 KR 102672860B1 KR 1020210145702 A KR1020210145702 A KR 1020210145702A KR 20210145702 A KR20210145702 A KR 20210145702A KR 102672860 B1 KR102672860 B1 KR 102672860B1
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코스텍시스템(주)
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Abstract

본 발명은 상부기판과 하부기판을 접합할 때 가해지는 충격을 완화하여 기판을 보호하면서 기판 간 정렬의 정확성을 높일 수 있는 기판 접합 장치에 관한 것으로, 상기 상부기판을 진공 흡착하는 진공척; 및 상기 진공척에 장착되고, 유압에 의해 탄성 변형이 가능한 푸셔유닛; 을 포함하며, 여기서, 상기 진공척에 흡착된 상부기판이 하부기판과 일정 거리 이격된 상태에서 접합 가능한 자세로 정렬되면 상기 푸셔유닛은 상기 상부기판의 중심부를 탄성 가압하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법{BONDING APPARATUS OF SUBSTRATES AND BONDING METHOD USING THEREOF}
본 발명은 기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 상부기판과 하부기판을 접합할 때 가해지는 충격을 완화하여 기판을 보호하면서 기판 간 정렬의 정확성을 높일 수 있는 기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법에 관한 것이다.
마이크로 전자장치 및 마이크로 시스템의 거의 모든 분야에 있어서 최소형화로 인해 모든 기술들이 지속적으로 개발되는데, 이 기술을 이용하여 기판 상에 있는 모든 타입의 기능 유닛(functional unit)의 밀도가 증가될 수 있다. 이러한 기능 유닛들은 예를 들어, 마이크로컨트롤러, 메모리 구성요소, MEMS, 디스플레이 등 모든 타입의 센서 또는 마이크로유체 구성요소들을 포함한다.
이러한 기능 유닛들의 가로방향 밀도를 증가시키기 위한 급속하게 향상되어 왔으나, 그 한계로 인해 근래에는 두 개 이상의 기판을 정렬시켜 서로 결합하는 방식 즉, 다-기판 스택(multi-substrate stack) 방식이 사용되고 있다.
다-기판 스택 방식에서 기판들의 전체 면적에 걸쳐 에러없이 결합되어야 반도체칩이 정상적으로 동작한다. 그러나, 기판의 정렬단계 및 결합단계를 거친 후에 각 기판의 표면 상의 구조물이 서로 일치하지 않을 수 있다. 이는 기판들을 정렬하고 난 이후 결합하는 과정에서 상부기판을 하부기판에 안착시킬 때 상부기판의 슬라이딩이 일어나 정렬된 상태가 틀어지기 때문이다.
한편, 기판들을 정렬시켜 서로 결합시키는 종래기술로서, 한국등록특허 제10-2263285호(기판 결합 방법)은 상부기판을 하부기판에 접촉시키는 과정에서 발생하는 기판 슬라이딩 문제를 해결하기 위하여 상부기판이 놓이는 상부기판 홀더(upper chuck)의 중앙에 기판을 밀어주는 푸쉬 로드(push rod)를 구비하고, 상부기판의 중앙부를 하부기판과 맞닿게 한 후 기판의 바깥 방향으로 접촉면을 넓혀가는 방식을 사용하고 있다.
그러나, 상기 한국등록특허 제10-2263285호(기판 결합 방법)는 강도가 큰 금속봉인 푸쉬 로드가 상부기판에 직접 접촉하여 기계적 힘을 가하므로 그 충격에 의해 기판이 파손되거나, 정렬된 기판이 충격에 의해 틀어지는 현상이 발생할 수 있다.
한국등록특허 제10-2263285호(기판 결합 방법)
본 발명의 과제는 상술한 종래 기술이 가진 문제를 해결하기 위해 고안된 것으로, 상부기판을 하부기판에 접촉할 때 가해지는 충격을 완화하여 기판을 보호함과 동시에 정렬된 기판이 틀어지는 문제를 방지할 수 있는 기술을 제시함에 있다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 접합 장치는, 상부기판과 하부기판을 서로 접합시키는 기판의 접합 장치로서, 상기 상부기판을 진공 흡착하는 진공척; 및 상기 진공척에 장착되고, 유체의 압력에 의해 탄성 변형이 가능한 푸셔유닛; 을 포함한다.
여기서, 상기 진공척에 흡착된 상부기판이 하부기판과 일정 거리 이격된 상태에서 접합 가능한 자세로 정렬되면 상기 푸셔유닛은 상기 상부기판의 중심부를 탄성 가압하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 푸셔유닛은, 에어의 이동통로인 튜브; 및 상기 튜브로부터 에어를 공급받아 팽창하는 탄성막;을 포함한다.
바람직하게는, 상기 탄성막은 불소고무로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 푸셔유닛은 일면에 홀이 형성된 케이스를 더 포함하고, 상기 에어가 공급되면 상기 홀에 결합된 상기 탄성막은 상기 케이스 외부로 돌출되도록 팽창하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 케이스에 형성된 홀에는 상기 탄성막과 내부공간이 형성되도록 지지판이 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부기판과 하부기판 접촉 시 충격이 완화되도록 상기 탄성막은 상기 유압에 의해 일정한 곡률을 가지고 팽창하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 푸셔유닛은 상기 에어의 압력 또는 유속을 조절하는 레귤레이터를 더 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 푸셔유닛에 의해 상기 상부기판의 중심부가 상기 하부기판과 접촉하면 상기 진공척의 중심에서 멀어지는 방향으로 진공 인가가 순차적으로 해제되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 진공척의 하면에는 그 중심에서 멀어지는 방향으로 다수의 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 접합 방법은, 상부기판과 하부기판을 서로 접합시키는 기판의 접합 방법으로서, 진공척을 이용하여 상기 상부기판을 진공 흡착하는 단계; 상기 상부기판과 하부기판이 서로 마주보도록 정렬하는 단계; 및 유압에 의해 탄성 변형이 가능한 수단을 사용하여 상기 하부기판과 접촉하도록 상기 상부기판의 중앙부를 탄성 가압하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄성 변형이 가능한 수단은, 에어의 이동통로인 튜브; 및 상기 튜브로부터 에어를 공급받아 팽창하는 탄성막;을 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄성 변형이 가능한 수단은 유체를 공급받아 일정한 곡률을 가지고 팽창하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부기판의 중심부가 상기 하부기판에 접촉하면 상기 진공척의 중심에서 멀어지는 방향으로 진공 인가를 해제하는 단계;를 더 포함한다.
본 발명에 따르면 상부기판과 하부기판을 접합할 때 상부기판에 직접적이거나 순간적으로 강한 힘이 인가되지 않으므로 상부기판이 하부기판에 소프트 랜딩(soft landing)되는 것이 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면 상부기판의 중앙부를 푸셔유닛이 탄성 가압하므로 푸셔유닛과 상부기판 간 충격이 완화될 수 있으므로 기판의 손상 문제가 최소화되며 충격에 의해 기판의 정렬이 틀어지는 문제가 방지될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 상부기판의 중앙부를 먼저 탄성 가압하고 상부기판에 가해지는 진공 인가가 순차적으로 해제되므로 상부기판과 하부기판이 정렬된 상태로 접합될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 상부 스테이지 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔유닛을 나타내 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치에서 상부기판이 진공척에 흡착된 상태를 나타낸 도면이다
도 4는 도 3에 도시된 상태에서 푸셔유닛이 작동된 상태를 나타낸 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
<기판 접합 장치의 구성>
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 상부 구성을 나타낸 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치는 상부기판 홀딩 장치인 상부 스테이지(10)와 하부기판 홀딩 장치인 하부 스테이지(미도시)를 포함한다. 본 명세서에서는 상부 스테이지(10)의 구성을 중심으로 살펴본다. 한편, 본 발명에서 기판(1, 2)은, 반도체, 디스플레이 등 그 종류에 제한이 없다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상부 스테이지(10)에는 상부기판(1)을 고정시키는 진공척(100)이 장착된다. 진공척(suction chuck)(100)은 대략 원형 형상을 갖는다. 진공척(100)은 진공을 이용하여 상부기판(1)을 흡착하도록 그 하면에 복수개의 진공홀(104)이 형성된다. 진공홀(104)은 진공펌프(미도시)와 연결된다.
본 발명의 일 실시예에서 진공홀(104)은 복수개로 구성되고, 진공척(100)의 중심에서 멀어지는 방향(예를 들어, 반경 방향)으로 배열된다. 진공홀(104)이 진공척(100)의 중심을 기준으로 방사형으로 배치되는 경우, 동일 반경을 갖는 원주 상에도 복수개의 진공홀(104)이 배열된다. 도 1에는 동일 반경을 갖는 원주 상에 4개의 진공홀(104)만 도시되어 있으나, 4개 이상 또는 이하로 형성될 수 있고, 진공척(100)의 중심에서 멀어지는 방향으로 반경의 크기를 달리하여 원주상으로 더 배열될 수 있다. 한편, 진공척(100)의 형상 및 진공홀(104)의 배열 형태는 다양하게 형성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔유닛을 나타내 도면이다. 도 2의 (a)는 푸셔유닛(110)의 정면도를 나타내고, 도 2의 (b)는 푸셔유닛(110)의 사시도를 나타낸다.
진공척(100)의 중심부에는 상부기판(1)을 가압할 수 있는 푸셔유닛(110)이 장착된다. 푸셔유닛(110)은 케이스(112)와 레귤레이터(118)를 포함한다.
도 2를 참조하면, 케이스(112)는 대략 원통 형상을 가진다. 케이스(112)의 일면 중심부에는 케이스홀(113)이 형성되고, 상기 케이스홀(113)에는 탄성막(114)이 결합한다. 탄성막(114)은 멤브레인 또는 다이어프램의 형태를 가질 수 있다. 탄성막(114)의 외주면이 케이스홀(113)의 내주면과 결합됨으로써, 탄성막(114)은 케이스홀(113)을 완전 밀폐한다. 한편, 케이스홀(113)에는 지지판(115)이 장착된다(도 4 참조). 따라서, 지지판(115)과 탄성막(114) 사이에 내부공간이 형성될 수 있다. 이하, 이러한 내부공간을 탄성막(114)의 내부공간이라 한다.
탄성막(114)은 탄성 재질을 가진다. 탄성막(114)은 팽창과 수축이 원활하여 팽창 후 복원력이 높은 재질로 구성되는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시예에서 탄성막(114)은 불소고무(예를 들어, 바이톤®)로 구성된다. 다만, 이에 한정되지 않으며 천연고무, 실리콘 등 상기 불소고무 이외의 합성고무 등 탄성 재질을 가진 다양한 재료가 사용될 수 있다.
탄성막(114)은 에어의 이동통로인 튜브(116)와 연결된다. 튜브(116)의 일단은 탄성막(114)의 내부공간과 이어져 있고, 튜브(116)의 타단은 에어펌프(미도시)와 연결된다. 따라서, 에어펌프에 공급된 에어가 튜브(116)를 통해 탄성막(114)의 내부공간으로 주입되면 공압에 의해 탄성막(114)은 일정한 곡률을 가지고 팽창하다가 케이스(112) 외부로 돌출된다.
레귤레이터(118)는 에어펌프와 튜브(116) 사이에 형성된다. 레귤레이터(118)는 탄성막(114)의 내부공간으로 주입되는 에어의 공급량, 압력 또는 유속을 조절하는 기능을 수행한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 푸셔유닛(110)은 탄성막(114)의 내부공간에 에어를 공급하도록 구성되나, 다른 실시예에서는 액체 또는 다른 유체를 공급하도록 구성될 수도 있다.
<기판 접합 장치의 작동과정>
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치에서 상부기판이 진공척에 흡착된 상태를 나타낸 도면이며, 도 4는 도 3에 도시된 상태에서 푸셔유닛이 작동된 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 작동과정을 설명한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치에 상부기판(1)이 투입되면 진공척(100)이 작동한다. 그러면 상부기판(1)은 진공홀(104)을 통해 진공척(100)에 진공 흡착된다. 이때, 도 3에 도시된 ①번 진공홀은 진공척(100)의 중심에서 가까운 진공홀이고, ②번 진공홀은 ①번 진공홀 보다 진공척(100)의 중심에서 더 멀게 위치한다. 도 3에는 2개의 서로 다른 반경을 가진 각 원주 상에 2개의 진공홀(104)이 배열된 상태가 나타나 있으나, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐 상술한 바와 같이 진공홀(104)은 진공척(100)의 중심에서 멀어지는 방향으로 더 형성될 수 있다.
상부 스테이지(10)에 상부기판(1)이 고정되면, 하부기판(2)이 하부 스테이지(미도시)에 투입된 후 장착된다.
이후, 상부기판(1)과 하부기판(2)의 접촉 전 정렬을 위해 얼라인 비전 기구(12, 13)가 사용된다(도 1 참조). 얼라인 비전 기구(12, 14)는 기판(1, 2)에 마킹된 얼라인 마크를 촬영하는 기구이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상부 스테이지(10)에는 하부기판(2)에 마킹된 얼라인 마크를 촬영하는 제1 얼라인 비전기구(12)가 형성된다. 한편, 기판(1, 2) 간 정렬의 정확도를 위해 제2 얼라인 비전기구(14)가 더 형성될 수 있다. 하부 스테이지에도 상부기판(1)에 마킹된 얼라인 마크를 촬영하도록 얼라인 비전기구(미도시)가 형성될 수 있다. 상부 스테이지(10)에는 촬영된 기판의 위치 정보를 센싱하는 변위센서(16)가 형성된다. 변위센서(16)에서 센싱된 정보를 이용하여 상부 스테이지(10) 및 하부 스테이지가 상대 이동하다가 상부기판(1)과 하부기판(2)이 정렬된다.
정렬된 상부기판(1)과 하부기판(2)은 일정거리(도 3에 도시된 d) 이격된 상태로 서로 마주보고 있다. 이때, 상부기판(1)과 하부기판(2) 간 거리(d)는 대략 50㎛ 이하이다. 물론 상부기판(1)과 하부기판(2) 간 거리(d)는 다양하게 설정될 수 있다.
이후, 도 4를 참조하면, 에어펌프에서 공급된 에어는 튜브(116)를 거쳐 탄성막(114)의 내부공간으로 주입된다. 그러면 에어의 공압으로 인해 탄성막(114)의 내부공간은 부풀어오르기 시작하고, 지지판(115)은 고정되어 있으므로 탄성막(114)이 팽창한다. 탄성막(114)은 일정한 곡률을 가지고 팽창하다가 케이스(112) 외부로 돌출된다. 돌출된 탄성막(114)은 상부기판(1)의 중심부와 접촉하면서 상부기판(1)을 가압한다. 상부기판(1)의 중심부는 푸셔유닛(110)에 의해 아래로 휘어지면서 하부기판(2)과 접촉한다.
한편, 레귤레이터(118)는 에어의 공급량, 압력 또는 유속을 조절하여 탄성막의 팽창 정도를 조절한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 푸셔유닛(110)에 의해 상부기판(1)의 중심부가 하부기판(2)에 접촉하더라도 상부기판(1)의 중심부를 제외한 나머지 영역은 진공척(100)에 의해 흡착되어 있으므로 하부기판(2)과 떨어져 있다. 이때, 진공척(100)의 중심에서 멀어지는 방향으로 진공홀(104)을 통한 진공 인가가 순차적으로 해제된다. 구체적으로, 도 4에 도시된 상태에서, ①번 진공홀을 통한 진공 인가를 해제한 후에 ②번 진공홀을 통한 진공 인가를 해제한다. 상술한 바와 같이, 진공홀(104)은 진공척(100)의 중심에서 멀어지는 방향으로 더 형성될 수 있고, 이 경우에도 앞에서 설명한 원리로 진공 인가를 해제한다. 마지막 진공홀(104)을 통한 진공 인가가 해제되면 상부기판(1)과 하부기판(2)은 완전히 접합한다.
한편, 레귤레이터(118) 및 진공 인가 해제는 별도의 제어부에 의해 제어될 수 있다.
종래에는 상부기판(1)과 하부기판(2)을 접촉시킬 때 금속봉이 강한 물리적 힘으로 상부기판을 가압하므로, 충격에 의해 기판(1, 2)이 파손되거나 상부기판(1)과 하부기판(2) 간 맞춰진 정렬이 틀어질 수 있었다.
위에서 살펴본 바와 같이, 탄성막(114)은 탄성 변형됨으로써 상부기판(1)의 중심부를 가압하므로 탄성막(114)과 상부기판(1)의 중심부 간 충돌 또는 상부기판(1)의 중심부와 하부기판(2) 간 충돌 시 충격이 완화될 수 있다. 이는 탄성막(114)의 탄성 효과와 탄성막(114)의 내부공간을 점유하고 있는 유체의 스프링 효과 때문이다. 또한, 탄성막(114)은 일정 곡률을 가지고 변형되므로 상부기판(1)의 중심부가 하부기판(2)과 접촉 시 접촉면적이 서서히 변하므로 상술한 충격이 완화될 수 있다.
또한, 상술한 푸셔유닛(110)의 구성으로 인해 상부기판(1)과 하부기판(2)에 가해지는 충격이 완화되므로 기판(1, 2)의 손상문제 및 기판(1, 2) 간 정렬이 틀어지는 문제가 방지될 수 있다.
<기판 접합 방법>
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 방법은 상부기판과 하부기판을 서로 접합시키는 기판의 접합 방법으로서, 상부 스테이지(10)에 형성된 진공척(100)을 이용하여 상부기판(1)을 진공 흡착하는 단계와, 상부기판(1)과 하부기판(2)이 서로 마주보도록 정렬하는 단계와, 탄성 가압 수단을 사용하여 하부기판(2)과 접촉하도록 상부기판(1)의 중앙부를 탄성 가압하는 단계 및 상기 상부기판(1)의 중심부가 상기 하부기판(2)에 접촉하면 상기 진공척(100)의 중심에서 멀어지는 방향으로 진공 인가를 해제하는 단계를 포함한다.
여기서 탄성 가압 수단은 상부기판(1) 및 하부기판(2)에 가해지는 충격을 완화하기 위한 수단이며, 일 실시예로서 상기 푸셔유닛(110)이 사용될 수 있다. 물론, 다른 실시예에서 상기 탄성막(114)의 형태가 변경되거나, 탄성막(114)을 팽창시키기 위한 구성이 변경될 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
1 : 상부기판 2 : 하부기판
10 : 상부 스테이지 12 : 제1 얼라인비전기구
14 : 제2 얼라인비전기구 16 : 변위센서
100 : 진공척 104 : 진공홀
110 : 푸셔유닛 112 : 케이스
113 : 케이스홀 114 : 탄성막
115 : 지지판 116 : 튜브
118 : 레귤레이터

Claims (13)

  1. 상부기판과 하부기판을 서로 접합시키는 기판의 접합 장치로서,
    상기 상부기판을 진공 흡착하는 진공척;
    상기 진공척에 장착되고, 유체의 압력에 의해 탄성 변형이 가능한 푸셔유닛;
    상기 상부기판 또는 하부기판에 마킹된 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인 비전기구; 및
    촬영된 기판의 위치 정보를 센싱하는 변위센서;를 포함하고,
    상기 변위센서에서 센싱된 정보를 이용하여 상기 상부기판 및 하부기판이 정렬되고,
    상기 푸셔유닛은,
    상기 진공척 내부에 장착되고, 내부공간을 가지며, 하면에 홀이 형성된 케이스;
    상면이 상기 케이스의 상면과 이격되도록 상기 케이스의 내부공간 하부에 고정 배치되는 지지판;
    상기 지지판의 하부에 형성되고, 외주부가 상기 지지판의 외주부와 결합되는 탄성막; 및
    상기 케이스의 내부공간에 배치되고, 상기 지지판 및 탄성막 사이에 유체를 공급하는 튜브;를 포함하고,
    상기 유체가 공급되면 상기 탄성막은 상기 홀을 통해 상기 케이스 외부로 돌출되도록 팽창하고,
    상기 진공척에 흡착된 상부기판이 하부기판과 일정 거리 이격된 상태에서 접합 가능한 자세로 정렬되면 상기 푸셔유닛은 상기 상부기판의 중심부를 탄성 가압하는 것을 특징으로 하는,
    기판 접합 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성막은 불소고무 또는 실리콘으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부기판과 하부기판 접촉 시 충격이 완화되도록 상기 탄성막은 상기 유체의 압력에 의해 일정한 곡률을 가지고 팽창하는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 푸셔유닛은 상기 유체의 압력 또는 유속을 조절하는 레귤레이터를 더 포함하는 기판 접합 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 푸셔유닛에 의해 상기 상부기판의 중심부가 상기 하부기판과 접촉하면 상기 진공척의 중심에서 멀어지는 방향으로 진공 인가가 순차적으로 해제되는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공척의 하면에는 그 중심에서 멀어지는 방향으로 다수의 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
  10. 상부기판과 하부기판을 서로 접합시키는 기판의 접합방법으로서,
    진공척을 이용하여 상기 상부기판을 진공 흡착하는 (a) 단계;
    상기 상부기판과 하부기판이 서로 마주보도록 정렬하는 (b) 단계; 및
    탄성 가압 수단을 사용하여 상기 하부기판과 접촉하도록 상기 상부기판의 중앙부를 탄성 가압하는 (c) 단계;를 포함하고,
    상기 (b) 단계에서, 얼라인 비전기구는 상기 상부기판 또는 하부기판에 마킹된 얼라인 마크를 촬영하고, 변위센서에서 촬영된 기판의 위치 정보를 센싱하고 이를 기반으로 상기 상부기판과 하부기판을 상대 이동시키며,
    상기 (c) 단계에서, 상기 탄성 가압 수단은,
    상기 진공척 내부에 장착되고, 내부공간을 가지며, 하면에 홀이 형성된 케이스;
    상면이 상기 케이스의 상면과 이격되도록 상기 케이스의 내부공간 하부에 고정 배치되는 지지판;
    상기 지지판의 하부에 형성되고, 외주부가 상기 지지판의 외주부와 결합되는 탄성막; 및
    상기 케이스의 내부공간에 배치되고, 상기 지지판 및 탄성막 사이에 유체를 공급하는 튜브;를 포함하고,
    상기 유체가 공급되면 상기 탄성막은 상기 홀을 통해 상기 케이스 외부로 돌출되도록 팽창하는 것을 특징으로 하는,
    기판 접합 방법.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 탄성 가압 수단은 유체를 공급받아 일정한 곡률을 가지고 팽창하는 것을 특징으로 하는 기판 접합 방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 상부기판의 중심부가 상기 하부기판에 접촉하면 상기 진공척의 중심에서 멀어지는 방향으로 진공 인가를 해제하는 단계;를 더 포함하는 기판 접합 방법.
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