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KR102661443B1 - 기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법 - Google Patents

기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법 Download PDF

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KR102661443B1
KR102661443B1 KR1020200116104A KR20200116104A KR102661443B1 KR 102661443 B1 KR102661443 B1 KR 102661443B1 KR 1020200116104 A KR1020200116104 A KR 1020200116104A KR 20200116104 A KR20200116104 A KR 20200116104A KR 102661443 B1 KR102661443 B1 KR 102661443B1
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KR
South Korea
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calibration board
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vision unit
plate
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변예진
이동윤
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 복수의 정렬 마크가 표시된 캘리브레이션 보드(Calibration Board)를 지지하는 플레이트를 가지는 지지 유닛; 상기 플레이트와 상대 위치가 변경 가능하게 제공되고, 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하는 제1비전 부; 상기 제1비전 부와 상이한 방식으로 상기 캘리브레이션 보드를 촬상하는 제2비전 부를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE, INKJET APPARATUS AND MAINTENANCE METHOD}
본 발명은 기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 헤드를 이용하여 기판 상에 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 이러한 장치를 메인터넌스하는 방법에 관한 것이다.
최근, 액정 디스플레이 소자, 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자는 고해상도가 요구되고 있다. 고해상도를 가지는 디스플레이 소자를 제조하기 위해서는 기판 상에 단위 면적당 더 많은 픽셀을 형성해야 하며, 이와 같이 조밀하게 배치되는 픽셀들 각각에 잉크와 같은 처리 액을 정확히 토출하는 것이 중요하다. 그렇지 않은 경우 불량으로 제조되는 디스플레이 소자가 불량으로 판정될 수 있기 때문이다. 따라서, 관련 기술들에 따르면, 디스플레이 소자의 제조에서는 픽셀들 각각에 토출되는 약액의 토출 지점(예컨대, 타점)을 정확하게 관리하는 것이 요구된다.
한국 등록특허 제2134273호에서는 위와 같은 디스플레이 소자를 제조하는 잉크젯 프린팅 시스템에 대하여 개시한다. 위 특허에 의하면, 프린팅 영역에서 약액의 토출 위치를 정확하게 보정할 수 있게 하기 위하여, 메인터넌스 영역에서 제2 비전부가 약액의 토출 위치, 즉 타점을 확인하도록 구비된다.
위 특허에 의하면 제2 비전부는 약액이 토출되는 영역을 촬상하여 타점을 확인한다. 그러나, 약액이 토출되는 영역이 넓어지게 되면 제2 비전부는 약액이 토출되는 영역을 분할 촬상하여 복수의 이미지를 획득하고, 사용자는 복수의 이미지들을 서로 조합하여 타점을 확인해야 하는 번거로움이 있다. 이는 제2비전부가 촬상할 수 있는 범위가 한정적이기 때문이다. 또한, 약액이 토출되는 영역을 분할 촬상하는 경우 복수의 이미지를 서로 조합하는 과정에서 이미지 왜곡이 발생할 우려가 있다.
또한, 위 특허에 의하면 제2 정렬마크가 존재하는 제2 기판을 이용하여 약액의 토출 위치를 보정한다. 그러나, 잉크젯 헤드의 약액 토출 위치를 보정하더라도, 제2 기판의 이동 축이 정확히 정렬되지 않으면 보정된 잉크젯 헤드의 약액 토출 위치에는 오차가 발생한다.
한국 등록특허공보 제10-2134273호
본 발명은 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 잉크젯 헤드의 약액 토출 위치(즉, 타점)을 정확하게 보정할 수 있도록 하는 기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 비전 부가 촬상하는 이미지를 실제와 최대한 유사하게 보정할 수 있도록 하는 기판 처리 장치, 잉크젯 장치 및 메인터넌스 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 통상의 기술자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 복수의 정렬 마크가 표시된 캘리브레이션 보드(Calibration Board)를 지지하는 플레이트를 가지는 지지 유닛; 상기 플레이트와 상대 위치가 변경 가능하게 제공되고, 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하는 제1비전 부; 상기 제1비전 부와 상이한 방식으로 상기 캘리브레이션 보드를 촬상하는 제2비전 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치를 변경하면서 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하도록 상기 제1비전 부, 그리고 상기 지지 유닛을 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치 변경이 상기 정렬 마크들 중 인접하는 정렬 마크들 사이의 간격만큼 이루어지도록 상기 제1비전 부, 그리고 상기 지지 유닛을 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 상기 정렬 마크의 위치에 근거하여 상기 플레이트 및/또는 상기 제1비전 부의 이동 축을 정렬하고, 상기 제어기는, 상기 캘리브레이션 보드를 촬상하여 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 획득하도록 상기 제2비전 부를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 이미지에 포함된 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드에 표시된 정렬 마크들의 실제 간격을 서로 비교할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 이미지 상 간격과 상기 실제 간격을 서로 비교하여 상기 제2비전 부에 대한 신호 보정 값을 산출할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1비전 부는, 상기 캘리브레이션 보드를 실시간으로 촬영하는 에어리어 카메라(Area Camera)이고, 상기 제2비전 부는, 상기 캘리브레이션 보드를 라인 스캔 방식으로 촬상하는 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)일 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 헤드가 상기 기판으로 약액을 공급하여 상기 기판을 처리하는 공정 처리 부; 상기 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지고, 상기 지지 유닛을 가지는 메인터넌스 부; 및 상기 헤드, 그리고 상기 헤드가 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부 사이를 이동할 수 있도록 상기 헤드를 지지하는 갠트리를 가지는 액 토출 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상부에서 바라볼 때, 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부는 제2방향을 따라 배치되고, 상기 지지 유닛은, 상기 플레이트를 상기 제2방향 및 상부에서 바라볼 때 상기 제2방향에 수직한 방향인 제1방향을 따라 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
또한, 본 발명은 잉크젯 프린팅 장치를 제공한다. 잉크젯 프린팅 장치는, 잉크젯 프린팅 장치에 있어서, 설정 간격으로 이격된 정렬 마크들이 표시된 캘리브레이션 보드(Calibration Board)를 지지하는 플레이트를 가지는 지지 유닛; 상기 플레이트와 상대 위치가 변경 가능하게 제공되고, 상기 캘리브레이션 보드를 실시간으로 촬영하는 제1비전 부; 및 상기 캘리브레이션 보드를 라인 스캔 방식으로 촬상하는 제2비전 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치를 상기 설정 간격 만큼 변경하면서 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하도록 상기 제1비전 부, 그리고 상기 지지 유닛을 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 상기 정렬 마크의 위치에 근거하여 상기 플레이트 및/또는 상기 제1비전 부의 이동 축을 정렬하고 난 이후, 상기 제어기는, 상기 캘리브레이션 보드를 촬상하여 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 획득하도록 상기 제2비전 부를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 이미지에 포함된 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드에 표시된 정렬 마크들의 실제 간격을 서로 비교하고, 상기 제2비전 부에 대한 신호 보정값을 산출할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1비전 부는, 기판으로 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드에 장착되어, 상기 잉크젯 헤드와 함께 이동 가능할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 상기 잉크젯 헤드를 지지하는 갠트리를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 상기 잉크젯 헤드가 기판으로 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 공정 처리 부; 및 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지고, 상기 지지 유닛을 가지는 메인터넌스 부를 포함하고, 상기 갠트리는, 상기 잉크젯 헤드가 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부 사이를 이동할 수 있도록 구성될 수 있다.
또한, 본 발명은 잉크젯 프린팅 장치를 제공한다. 잉크젯 프린팅 장치는, 잉크젯 헤드가 기판으로 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 공정 처리 부; 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지며, 복수의 정렬 마크들이 설정 간격으로 이격되어 표시된 캘리브레이션 보드를 지지하는 지지 유닛을 가지는 메인터넌스 부; 상기 잉크젯 헤드, 그리고 상기 잉크젯 헤드를 지지하며 상기 잉크젯 헤드가 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부 사이를 이동할 수 있도록 구성되는 갠트리를 가지는 액 토출 부; 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하고, 에어리어 카메라(Area Camera)인 제1비전 부; 및 상기 캘리브레이션 보드를 촬상하고, 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)인 제2비전 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 장치는, 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 지지 유닛이 가지고, 상기 캘리브레이션 보드를 지지하는 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치를 상기 설정 간격만큼 변경시키면서 상기 캘리브레이션 보드를 실시간으로 촬영하도록 상기 제1비전 부, 그리고 상기 지지 유닛을 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 플레이트와 상기 비전 부의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 상기 정렬 마크의 위치에 근거하여 상기 플레이트 및/또는 상기 제1비전 부의 이동 축을 정렬하고 난 후, 상기 제어기는, 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 촬상하도록 상기 제2비전 부를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 이미지에 포함된 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드의 정렬 마크들의 실제 간격을 서로 비교하고, 이들이 서로 일치하도록 상기 제2비전 부에 대한 신호 보정 값을 산출할 수 있다.
또한, 본 발명은 메인터넌스 방법을 제공한다. 기판에 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 잉크젯 프린팅 장치를 메인터넌스하는 방법은, 플레이트 상에 설정 간격으로 이격된 복수의 정렬 마크들이 표시된 캘리브레이션 보드를 안착시키고, 에어리어 카메라(Area Camera)를 이용하여 상기 캘리브레이션 보드를 상기 설정 간격만큼 이동시키면서 실시간으로 촬영하되, 상기 에어리어 카메라로 확인되는 상기 정렬 마크들의 위치 변경에 근거하여 상기 플레이트 또는 상기 에어리어 카메라의 이동 축을 정렬하고, 이후, 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)를 이용하여 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 획득할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 획득된 상기 이미지가 포함하는 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드에 표시된 정렬 마크들의 실제 간격을 제어기가 서로 비교할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 이미지 상 간격과 상기 실제 간격이 서로 일치하도록 상기 라인 스캔 카메라를 제어하는 신호 보정 값을 제어기가 산출 및 기억할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 처리할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 잉크젯 헤드의 약액 토출 위치(즉, 타점)을 정확하게 보정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 비전 부가 촬상하는 이미지를 실제와 최대한 유사하게 보정할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치를 B-B' 방향에서 바라본 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 메인터넌스 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 4, 그리고 도 5는 도 3의 촬영 단계에서 제1비전 부가 캘리브레이션 보드를 촬영하는 이미지를 보여주는 도면들이다.
도 6은 도 3의 촬상 단계에서 제2비전 부가 캘리브레이션 보드를 촬상하여 획득한 이미지를 보여주는 도면이다.
도 7은 제2비전 부가 획득한 이미지를 보정한 모습을 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치를 B-B' 방향에서 바라본 도면이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 기판(G) 상에 잉크와 같은 약액을 토출하여 기판(G)을 처리하는 잉크젯 장치일 수 있다. 또한, 기판(G)은 글라스(Glass) 기판일 수 있다. 기판 처리 장치(1000)는 공정 처리 부(100), 메인터넌스 부(300), 액 토출 부(500), 그리고 제어기(700)를 포함할 수 있다. 공정 처리 부(100), 그리고 메인터넌스 부(300)는 상부에서 바라볼 때 제2방향(14)을 따라 배치될 수 있다. 이하에서는, 상부에서 바라볼 때 제2방향(14)에 수직한 방향을 제1방향(12)이라 하고, 제1방향(12) 및 제2방향(14)에 수직한 방향을 제3방향(16)이라 한다. 제3방향(16)은 지면에 대하여 수직한 방향을 의미할 수 있다.
공정 처리 부(100)는 기판(G) 상에 약액을 토출하여 기판(G)을 처리하는 부분일 수 있다. 공정 처리 부(100)는 후술하는 잉크젯 헤드(520)가 잉크와 같은 약액을 토출하여 기판(G)을 처리하는 부분일 수 있다. 공정 처리 부(100)는 후술하는 잉크젯 헤드(520)가 잉크를 토출하여 기판(G)에 대하여 프린팅 공정을 수행하는 영역일 수 있다. 공정 처리 부(100)는 공정 스테이지(110)를 포함할 수 있다. 공정 스테이지(110)에는 복수의 에어 홀(120)이 형성될 수 있다. 복수의 에어 홀(112)은 제3방향(16)으로 에어를 분사하여 기판(G)을 부상시킬 수 있다. 또한, 공정 처리 부(100)는 부상된 기판(G)은 기판(G)의 일 측 또는 양 측을 파지한 상태에서 가이드 레일을 따라 활주하는 그립퍼(미도시)를 더 포함할 수 있다.
메인터넌스 부(300)는 후술하는 잉크젯 헤드(520)에 대한 메인터넌스가 이루어 질 수 있다. 예컨대, 메인터넌스 부(300)에서는 잉크젯 헤드(520)가 토출하는 약액의 토출 위치(즉, 타점)에 대한 보정을 수행될 수 있다. 예컨대, 메인터넌스 부(300)에서는 후술하는 지지 유닛(320)에 기판(G)이 놓이고, 기판(G)을 이동시키면서 기판(G) 상에 약액을 토출하고, 기판(G) 상에 토출된 약액의 토출 위치를 근거로 잉크젯 헤드(520)가 토출하는 약액의 타점을 보정할 수 있다. 또한, 메인터넌스 부(300)에서는 잉크젯 헤드(520)가 가지는 복수의 노즐들 중 약액이 적절히 토출되지 않는 노즐을 확인하고, 그 노즐에 대한 메인터넌스(예컨대, 클리닝 등)를 수행할 수 있다.
메인터넌스 부(300)는 메인터넌스 스테이지(310), 그리고 지지 유닛(320)을 포함할 수 있다. 또한, 지지 유닛(320)은 제1반송 레일(322), 제1플레이트(324), 제2반송 레일(326), 그리고 제2플레이트(328)를 포함할 수 있다. 또한, 지지 유닛(320)은 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(Calibration Board, CB)를 지지할 수 있다. 또한, 지지 유닛(320)은 지지된 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)의 위치를 제1방향(12) 및/또는 제2방향(14)을 따라 변경시킬 수 있다.
메인터넌스 스테이지(310) 상에는 제1반송 레일(322)이 설치될 수 있다. 제1반송 레일(322)은 LM 가이드 일 수 있다. 제1반송 레일(322)의 길이 방향은, 공정 처리 부(100)에서 기판(G)이 반송되는 방향과 서로 평행할 수 있다. 예컨대, 제1반송 레일(322)의 길이 방향은 제1방향(12)일 수 있다. 제1반송 레일(322) 상에는 제1플레이트(324)가 설치될 수 있다. 제1플레이트(324)는 제1반송 레일(322)의 길이 방향인 제1방향(12)을 따라 이동될 수 있다.
또한, 제1플레이트(324) 상에는 제2반송 레일(326)이 설치될 수 있다. 제2반송 레일(326)은 LM 가이드일 수 있다. 제2반송 레일(326)의 길이 방향은, 상부에서 바라볼 때 제1반송 레일(322)의 길이 방향에 수직할 수 있다. 예컨대, 제2반송 레일(326)의 길이 방향은 제2방향(14)일 수 있다.
또한, 제2플레이트(328)는 제2반송 레일(326)과 결합될 수 있다. 예컨대, 제2플레이트(328)의 일 측은 제2반송 레일(326)과 결합될 수 있다. 제2플레이트(328)는 제2반송 레일(326)의 길이 방향인 제2방향(14)을 따라 이동될 수 있다.
또한, 제2플레이트(328)는 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)를 지지할 수 있다. 예컨대, 제2플레이트(328)의 상면은 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)가 놓이는 안착면일 수 있다. 이에, 지지 유닛(320)에 의해 지지된 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)는 제1플레이트(324)의 이동에 의해 제1방향(12)을 따라 그 위치가 변경될 수 있다. 또한, 지지 유닛(320)에 의해 지지된 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)는 제2플레이트(328)의 이동에 의해 제2방향(14)을 따라 그 위치가 변경될 수 있다.
액 토출 부(500)는 잉크 등의 약액을 토출하여 기판(G)을 처리할 수 있다. 액 토출 부(500)는 갠트리(510), 잉크젯 헤드(520), 제1비전 부(530), 그리고 제2비전 부(540)를 포함할 수 있다.
갠트리(510)는 잉크젯 헤드(520)가 직선 왕복 구동할 수 있도록 구성될 수 있다. 예컨대, 갠트리(510)는 잉크젯 헤드(520)가 공정 처리부(100)와 메인터넌스 부(300) 사이를 이동할 수 있도록 잉크젯 헤드(520)를 지지할 수 있다. 예컨대, 갠트리(510)는 상부에서 바라볼 때 그 길이 방향이 제2방향(14)일 수 있다. 이에, 갠트리(510)가 지지하는 잉크젯 헤드(520)는 제2방향(14)을 따라 무빙할 수 있다. 또한, 갠트리(510)는 그 위치가 고정 설치될 수 있다.
잉크젯 헤드(520)는 약액의 토출을 위한 다수개의 노즐(522)이 배치되도록 구비될 수 있다. 잉크젯 헤드(520)에 배치되는 다수개의 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 압전 소자의 동작에 의해 노즐들을 통하여 기판 상으로 약액을 토출시킬 수 있다. 즉, 노즐들 각각에 구비되는 압전 소자 각각의 동작에 의해 노즐들 각각을 통하여 기판 상으로 약액을 토출시킬 수 있는 것이다. 특히, 노즐들로부터 토출되는 약액은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
또한, 잉크젯 헤드(520)는 기판(G)에 대하여 프린팅 공정을 수행하는 경우 공정 스테이지(110)의 상부로 이동하고, 제2방향(14)을 따라 왕복 이동하면서 기판(G) 상에 약액을 토출할 수 있다. 또한, 잉크젯 헤드(520)에 대한 메인터넌스가 수행되는 경우, 잉크젯 헤드(520)는 메인터넌스 스테이지(310)의 상부로 이동하고, 제2방향(14)을 따라 왕복 이동하면서, 지지 유닛(320)에 지지되어 이동하는 기판(G) 상에 약액을 토출할 수 있다. 이에, 잉크젯 헤드(520)가 토출하는 약액의 타점에 대한 보정을 수행하거나, 잉크젯 헤드(520)가 가지는 노즐(522)들 중 어느 노즐(522)에서 약액이 적절히 토출되지 않는지를 확인할 수 있다.
제1비전 부(530)는 에어리어 카메라(Area Camera)일 수 있다. 제1비전 부(530)는 기판(G) 및/또는 캘리브레이션 보드(CB)를 실시간으로 촬영할 수 있다. 제1비전 부(530)는 기판(G) 및/또는 캘리브레이션 보드(CB)에 대한 이미지를 획득하거나, 이동하는 기판(G) 및/또는 캘리브레이션 보드(CB)에 대한 영상을 획득할 수 있다. 제1비전 부(530)는 잉크젯 헤드(520)에 장착될 수 있다. 이에, 제1비전 부(530)는 잉크젯 헤드(520)와 함께 이동 가능할 수 있다. 예컨대, 잉크젯 헤드(520)가 공정 스테이지(110)의 상부로 이동하는 경우, 제1비전 부(530)도 잉크젯 헤드(520)와 함께 공정 스테이지(110)의 상부로 이동할 수 있다. 이와 달리, 잉크젯 헤드(520)가 메인터넌스 스테이지(310)의 상부로 이동하는 경우, 제1비전 부(530)도 메인터넌스 스테이지(310)의 상부로 이동할 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 제1비전 부(530)는 갠트리(510)에 설치되어, 그 위치가 고정될 수도 있다.
또한, 상술한 바와 같이 제1비전 부(530)는 지지 유닛(320)이 가지는 제2플레이트(328)와 그 상대 위치 변경이 가능하다. 예컨대, 제1비전 부(530)는 제2플레이트(328)와 제1방향(12)을 따른 상대 위치 변경이 가능할 수 있다.
제2비전 부(540)는 제1비전 부(530)와 상이한 방식으로 기판(G) 및/또는 캘리브레이션 보드(CB)를 촬상하여 이미지를 획득할 수 있다. 예컨대, 제2비전 부(540)는 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)일 수 있다. 제2비전 부(530)는 갠트리(510)의 하면에 설치될 수 있다. 제2비전 부(530)는 상부에서 바라볼 때 메인터넌스 스테이지(310)와 중첩되도록 배치될 수 있다. 이에, 제2비전 부(530)는 지지 유닛(320)에 지지된 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)를 촬상하여, 그에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
제2비전 부(540)는 상부에서 바라 볼 때, 그 길이가 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)의 폭 보다 크거나 같을 수 있다. 이에, 지지 유닛(320)에 지지되어 이동하는 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)가 제2비전 부(540)가 촬상하는 영역을 지나가게 되면, 제2비전 부(540)는 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)의 이미지를 획득할 수 있다.
상술한 예에서는, 제2비전 부(540)의 길이가 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)의 폭 보다 크거나 같은 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제2비전 부(540)의 길이는 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)의 폭 보다 작을 수 있으며, 이 경우, 제2비전 부(540)는 제2방향(14)을 따라 왕복 이동하면서 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)를 촬상할 수 있다.
제어기(700)는 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(700)는 기판 처리 장치(1000)가 기판(G)에 대한 프린팅 공정을 수행하도록 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 기판 처리 장치(1000)가 후술하는 메인터넌스 방법을 수행하도록 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(700)는 후술하는 메인터넌스 방법을 수행하도록 액 토출 부(500), 그리고 지지 유닛(320)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 후술하는 메인터넌스 방법을 수행할 수 있도록 제1비전 부(530), 그리고 제2비전 부(540)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 기판 처리 장치(1000)의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 기판 처리 장치(1000)를 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 장치(1000)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 기판 처리 장치(1000)에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한, 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
캘리브레이션 보드(CB)는 지지 유닛(320)에 의해 이동되는 플레이트(324, 328)의 이동 축을 정렬하는데 이용될 수 있다. 예컨대, 캘리브레이션 보드(CB)는 제1플레이트(324)의 이동 축을 정렬하는데 이용될 수 있다. 즉, 캘리브레이션 보드(CB)는 제1반송 레일(322)의 축을 정렬하는데 이용될 수 있다. 캘리브레이션 보드(CB)의 상면에는 적어도 하나 이상의 정렬 마크(M)들이 표시되어 있을 수 있다. 예컨대, 정렬 마크(M)들은 설정 간격(G)으로 이격되어 캘리브레이션 보드(CB)의 상면에 표시되어 있을 수 있다. 각각의 정렬 마크(M)들은 30um의 직경을 가지는 원 형상을 가질 수 있다. 정렬 마크(M)들의 설정 간격(G)은 200um 일 수 있다. 이러한 정렬 마크(M)들의 설정 간격(G)은 매우 작은 간격일 수 있으나, 설명의 편의를 위해 도면들에서는 정렬 마크(M)들 사이의 간격 및 직경을 다소 과장하여 도시하였다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 메인터넌스 방법을 보여주는 플로우 차트이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 메인터넌스 방법은, 잉크젯 헤드(520)에 대한 메인터넌스를 수행하기 이전에, 메인터넌스 부(300)를 세팅하는 방법일 수 있다. 예컨대, 잉크젯 헤드(520)에 대한 메인터넌스는 지지 유닛(320)에 기판(G)을 지지 및 이동시키고, 기판(G) 상에 잉크 등의 약액을 토출하고, 기판(G) 상에 토출된 약액의 타점 등을 이용하여 잉크젯 헤드(520)의 토출 위치를 보정하거나, 잉크젯 헤드(520)의 노즐(522)을 클리닝 할 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 메인터넌스 방법은, 이러한 잉크젯 헤드(520)에 대한 메인터넌스를 보다 정확하게 수행할 수 있도록 메인터넌스 부(300)를 미리 세팅하는 방법일 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 메인터넌스 방법은 촬영 단계(S10), 축 보정 단계(S20), 촬상 단계(S30), 그리고 보정 단계(S40)를 포함할 수 있다.
촬영 단계(S10)에는 제1비전 부(530)가 메인터넌스 스테이지(310) 상에 위치될 수 있다. 촬영 단계(S10)에는 제2플레이트(328) 상에 캘리브레이션 보드(CB)를 안착시키고, 제2플레이트(328)를 이동시켜, 제1비전 부(530)와 제2플레이트(328)의 상대 위치를 변경할 수 있다. 이때, 제2플레이트(328)는 정렬 마크(M)의 간격(예컨대, 200um) 만큼 씩 반복하여 이동될 수 있다. 즉, 제2플레이트(328)와 제1비전 부(530)의 상대 위치 변경이 정렬 마크(M)들 중 인접하는 정렬 마크(M)들 사이의 간격(G)만큼 이루어 질 수 있다.
도 4, 그리고 도 5는 도 3의 촬영 단계에서 제1비전 부가 캘리브레이션 보드를 촬영하는 이미지를 보여주는 도면들이다. 도 4, 그리고 도 5를 참조하면, 제1비전 부(530)가 캘리브레이션 보드(CB)를 실시간으로 촬영하는 경우, 그 촬영 영상에는 3 X 3 의 눈금(524)이 표현될 수 있다. 제2플레이트(328)는 정렬 마크(M)들 사이의 간격만큼 반복하여 이동하므로, 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축이 정확한 경우(예컨대, 제1반송 레일(322)의 길이 방향이 제1방향(12)과 정확히 평행한 경우), 제1비전 부(530)가 촬영하는 이미지는 도 4의 이미지로 유지될 것이다.
그러나, 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축이 부정확한 경우(예컨대, 제1반송 레일(322)의 길이 방향이 제1방향(12)과 정확히 평행하지 못한 경우), 제1비전 부(530)가 촬영하는 이미지는 도 4의 이미지에서 도 5의 이미지와 같이 변경될 것이다. 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축이 부정확한 경우, 정렬 마크(M)들을 이은 가상의 선과 눈금(524)들 중 어느 하나는 소정의 각도(A)를 형성하게 된다.
다시 도 3을 참조하면, 축 보정 단계(S20)에는 상술한 제2플레이트(328)와 제1비전 부(530)의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 정렬 마크(M)의 위치에 근거하여, 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축(예컨대, 제2플레이트(328)의 이동 축인 제1반송 레일(322))을 정렬할 수 있다. 상술한 예에 따르면, 제1반송 레일(322)을 소정의 각도(A)만큼 회전시킬 수 있다. 축 보정 단계(S20)는 사용자가 직접 수행할 수도 있고, 제1반송 레일(322)을 회전시키거나, 이동시키는 것이 가능한 별도의 위치 조정 장치(미도시)에 의해 이루어질 수 있다. 위치 조정 장치는 상술한 제어기(700)에 의해 제어될 수 있다.
촬상 단계(S30)에는 제2비전 부(540)가 캘리브레이션 보드(CB)를 촬상하여 캘리브레이션 보드(CB)의 이미지를 획득할 수 있다. 촬상 단계(S30)에는 캘리브레이션 보드(CB)를 제1방향(12)을 따라 이동시키면서 캘리브레이션 보드(CB)에 대한 이미지를 획득할 수 있다. 획득된 이미지는 제어기(700)로 전달될 수 있다.
보정 단계(S40)에는 제2비전 부(540)를 제어하는 신호에 대한 신호 보정 값을 산출할 수 있다. 예컨대, 보정 단계(S40)에는 제2비전 부(540)를 제어하는 신호에 대한 신호 보정값을 산출할 수 있다.
예컨대, 도 6은 도 3의 촬상 단계에서 제2비전 부가 캘리브레이션 보드를 촬상하여 획득한 이미지를 보여주는 도면이다. 도 6을 참조하면, 제어기(700)는 제2비전 부(540)가 촬상한 이미지(542)에 표시된 정렬 마크(M)들의 이미지 상 간격인 제1간격(G1)과 정렬 마크(M)들의 실제 간격인 설정 간격(G)을 서로 비교할 수 있다.
우선, 상술한 바와 같이 촬영 단계(S10) 및 축 보정 단계(S20)를 거치면서 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축에 대한 보정이 이루어졌다. 이에, 제1간격(G1)이 설정 간격(G)과 서로 동일하지 않은 경우(즉, 실제 이미지와 취득된 이미지가 서로 동일하지 않은 경우), 이는 제2비전 부(540)가 실제 이미지를 적절히 취득하지 못한 것임을 알 수 있다. 예컨대, 제2비전 부(540)를 구동하는 트리거 신호가 튀거나, 딜레이 등의 문제가 생기면 이러한 문제가 발생될 수 있다.
이에, 제어기(700)는 제2비전 부(540)를 제어하는 제어 신호를 보정하는 신호 보정 값을 산출한다. 예컨대, 제2비전 부(540)가 촬상한 이미지(542)에 표시된 정렬 마크(M)들의 이미지 상 간격인 제1간격(G1)과 정렬 마크(M)들의 실제 간격인 설정 간격(G)을 서로 비교하고, 차이가 있는 경우, 제1간격(G1)이 설정 간격(G)과 동일한 간격인 제2간격(G2)이 될 수 있도록(즉, 제1간격(G1)과 설정 간격(G)이 서로 일치하도록) 제2비전 부(540)를 제어하는 제어 신호를 보정하는 신호 보정 값을 산출할 수 있다. 이와 같이 제2비전 부(540)를 제어하는 신호가 보정되는 경우, 도 7에 도시된 바와 같이 캘리브레이션 보드(CB)의 정렬 마크(M) 간 실제 간격인 설정 간격(G)과 이미지(542) 상 간격인 제2간격(G2)을 서로 일치시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 메인터넌스 방법을 이용하면, 잉크젯 헤드(520)에 대한 메인터넌스가 정확히 수행되도록 할 수 있다. 이에, 잉크젯 헤드(520)의 약액 토출을 정확히 할 수 있도록 할 수 있으며, 이에 따라 기판(G)에 대한 처리 효율을 높일 수 있게 된다.
또한, 지지 유닛(320)에 의해 지지 및 반송되는 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)는 기구적인 문제로 인하여 그 이동 축이 틀어질 수 있으나, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 기판(G) 또는 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축을 정렬할 수 있으며, 이는 제2비전 부(540)가 보다 정확하게 이미지를 촬상할 수 있게 하는 것을 돕는다.
또한, 캘리브레이션 보드(CB)에 표시된 정렬 마크(M)의 실제 간격인 설정 간격(G), 그리고 촬상된 이미지(542)가 포함하는 이미지 상 간격인 제1간격(G1)을 서로 비교하여 제2비전 부(540)를 제어하는 제어 신호에 대한 보정도 가능하게 되므로, 이후에서 수행되는 잉크젯 헤드(540)에 대한 메인터넌스를 보다 확실하게 수행할 수 있게 된다.
상술한 예에서는 갠트리(510)가 고정되고, 캘리브레이션 보드(CB)가 이동되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 8에 도시된 바와 같이 캘리브레이션 보드(CB)는 지지 플레이트(330)에 안착된 상태로 이동하지 않고, 갠트리(510)가 이동될 수 있다. 이 경우, 제1비전 부(530)에 의한 축 보정은 갠트리(510)를 이동시키는 갠트리 레일(512)에 대하여 수행될 수 있다.
또한, 상술한 일 실시 예와, 다른 실시 예는 서로 조합되어 사용될 수 있다. 예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이 캘리브레이션 보드(CB)가 이동 가능하고, 갠트리(510)가 이동 가능할 수 있다. 이 경우, 제1비전 부(530)에 의한 축 보정은 캘리브레이션 보드(CB)의 이동 축 및 갠트리(510)의 이동 축에 대하여 수행될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
기판 처리 장치 : 1000
공정 처리 부 : 100
공정 스테이지 : 110
에어 홀 : 120
메인터넌스 부 : 300
메인터넌스 스테이지 : 310
지지 유닛 : 320
재1반송 레일 : 322
제1플레이트 : 324
제2반송 레일 : 326
제2플레이트 : 328
액 토출 부 : 500
갠트리 : 510
잉크젯 헤드 : 520
제1비전 부 : 530
제2비전 부 : 540
제어기 : 700

Claims (23)

  1. 복수의 정렬 마크가 표시된 캘리브레이션 보드(Calibration Board)를 지지하는 플레이트를 가지는 지지 유닛;
    상기 플레이트와 상대 위치가 변경 가능하게 제공되고, 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하는 제1비전 부;
    상기 제1비전 부와 상이한 방식으로 상기 캘리브레이션 보드를 촬상하는 제2비전 부; 및
    제어기를 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 정렬 마크들 중 인접하는 정렬 마크들 사이의 간격만큼 상기 플레이트와 상기 제1비전 부를 상대 위치 변경시키면서 상기 제1비전 부가 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하도록, 상기 제1비전 부와 상기 지지 유닛을 제어하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치를 변경하면서 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하도록 상기 제1비전 부, 그리고 상기 지지 유닛을 제어하는 기판 처리 장치.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서,
    상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 상기 정렬 마크의 위치에 근거하여 상기 플레이트 또는 상기 제1비전 부의 이동 축을 정렬하고,
    상기 제어기는,
    상기 캘리브레이션 보드를 촬상하여 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 획득하도록 상기 제2비전 부를 제어하는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 이미지에 포함된 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드에 표시된 정렬 마크들의 실제 간격을 서로 비교하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 이미지 상 간격과 상기 실제 간격을 서로 비교하여 상기 제2비전 부에 대한 신호 보정 값을 산출하는 기판 처리 장치.
  7. 제1항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1비전 부는,
    상기 캘리브레이션 보드를 실시간으로 촬영하는 에어리어 카메라(Area Camera)이고,
    상기 제2비전 부는,
    상기 캘리브레이션 보드를 라인 스캔 방식으로 촬상하는 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)인 기판 처리 장치.
  8. 제1항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 장치는,
    헤드가 상기 기판으로 약액을 공급하여 상기 기판을 처리하는 공정 처리 부;
    상기 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지고, 상기 지지 유닛을 가지는 메인터넌스 부; 및
    상기 헤드, 그리고 상기 헤드가 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부 사이를 이동할 수 있도록 상기 헤드를 지지하는 갠트리를 가지는 액 토출 부를 포함하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상부에서 바라볼 때, 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부는 제2방향을 따라 배치되고,
    상기 지지 유닛은,
    상기 플레이트를 상기 제2방향 및 상부에서 바라볼 때 상기 제2방향에 수직한 방향인 제1방향을 따라 이동시킬 수 있도록 구성되는 기판 처리 장치.
  10. 잉크젯 프린팅 장치에 있어서,
    설정 간격으로 이격된 정렬 마크들이 표시된 캘리브레이션 보드(Calibration Board)를 지지하는 플레이트를 가지는 지지 유닛;
    상기 플레이트와 상대 위치가 변경 가능하게 제공되고, 상기 캘리브레이션 보드를 실시간으로 촬영하는 제1비전 부;
    상기 캘리브레이션 보드를 라인 스캔 방식으로 촬상하는 제2비전 부; 및
    제어기를 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치를 상기 설정 간격만큼 변경하면서 상기 캘리브레이션 보드를 촬영하도록, 상기 제1비전 부와 상기 지지 유닛을 제어하는 잉크젯 프린팅 장치.
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서,
    상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 상기 정렬 마크의 위치에 근거하여 상기 플레이트 또는 상기 제1비전 부의 이동 축을 정렬하고 난 이후,
    상기 제어기는,
    상기 캘리브레이션 보드를 촬상하여 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 획득하도록 상기 제2비전 부를 제어하는 잉크젯 프린팅 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 이미지에 포함된 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드에 표시된 정렬 마크들의 실제 간격을 서로 비교하고, 상기 제2비전 부에 대한 신호 보정값을 산출하는 잉크젯 프린팅 장치.
  14. 제10항, 제12항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1비전 부는,
    기판으로 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드에 장착되어, 상기 잉크젯 헤드와 함께 이동 가능한 잉크젯 프린팅 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 장치는,
    상기 잉크젯 헤드를 지지하는 갠트리를 더 포함하는 잉크젯 프린팅 장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 장치는,
    상기 잉크젯 헤드를 지지하는 갠트리;
    상기 잉크젯 헤드가 기판으로 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 공정 처리 부; 및
    상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지고, 상기 지지 유닛을 가지는 메인터넌스 부를 포함하고,
    상기 갠트리는,
    상기 잉크젯 헤드가 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부 사이를 이동할 수 있도록 구성되는 잉크젯 프린팅 장치.
  17. 잉크젯 프린팅 장치에 있어서,
    잉크젯 헤드가 기판으로 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 공정 처리 부;
    상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지며, 복수의 정렬 마크들이 설정 간격으로 이격되어 표시된 캘리브레이션 보드를 지지하는 지지 유닛을 가지는 메인터넌스 부;
    상기 잉크젯 헤드, 그리고 상기 잉크젯 헤드를 지지하며 상기 잉크젯 헤드가 상기 공정 처리 부와 상기 메인터넌스 부 사이를 이동할 수 있도록 구성되는 갠트리를 가지는 액 토출 부;
    상기 캘리브레이션 보드를 촬영하고, 에어리어 카메라(Area Camera)인 제1비전 부;
    상기 캘리브레이션 보드를 촬상하고, 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)인 제2비전 부; 및
    제어기를 포함하고,
    상기 지지 유닛이 가지고, 상기 캘리브레이션 보드를 지지하는 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치를 상기 설정 간격만큼 변경시키면서 상기 캘리브레이션 보드를 실시간으로 촬영하도록, 상기 제1비전 부와 상기 지지 유닛을 제어하는 잉크젯 프린팅 장치.
  18. 삭제
  19. 제17항에 있어서,
    상기 플레이트와 상기 제1비전 부의 상대 위치 변경에 따라 이동하는 상기 정렬 마크의 위치에 근거하여 상기 플레이트 또는 상기 제1비전 부의 이동 축을 정렬하고 난 후,
    상기 제어기는,
    상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 촬상하도록 상기 제2비전 부를 제어하는 잉크젯 프린팅 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 이미지에 포함된 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드의 정렬 마크들의 실제 간격을 서로 비교하고, 이들이 서로 일치하도록 상기 제2비전 부에 대한 신호 보정 값을 산출하는 잉크젯 프린팅 장치.
  21. 기판에 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 잉크젯 프린팅 장치를 메인터넌스하는 방법에 있어서,
    플레이트 상에 설정 간격으로 이격된 복수의 정렬 마크들이 표시된 캘리브레이션 보드를 안착시키고, 에어리어 카메라(Area Camera)를 이용하여 상기 캘리브레이션 보드를 상기 설정 간격만큼 이동시키면서 실시간으로 촬영하되,
    상기 에어리어 카메라로 확인되는 상기 정렬 마크들의 위치 변경에 근거하여 상기 플레이트 또는 상기 에어리어 카메라의 이동 축을 정렬하고,
    이후, 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)를 이용하여 상기 캘리브레이션 보드의 이미지를 획득하는 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    획득된 상기 이미지가 포함하는 정렬 마크들의 이미지 상 간격과 상기 캘리브레이션 보드에 표시된 정렬 마크들의 실제 간격을 제어기가 서로 비교하는 방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 이미지 상 간격과 상기 실제 간격이 서로 일치하도록 상기 라인 스캔 카메라를 제어하는 신호 보정 값을 제어기가 산출 및 기억하는 방법.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102779998B1 (ko) * 2022-07-27 2025-03-12 세메스 주식회사 액적 분석 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102134273B1 (ko) * 2019-06-11 2020-07-15 세메스 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2379413A (en) 2001-09-10 2003-03-12 Seiko Epson Corp Printhead alignment method
CN1232839C (zh) * 2001-09-28 2005-12-21 兄弟工业株式会社 液滴图案形成装置
TWI260154B (en) * 2003-07-03 2006-08-11 Fuji Photo Film Co Ltd Image forming device
JP4241639B2 (ja) * 2005-02-14 2009-03-18 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの保守方法
CN101443682B (zh) * 2006-05-12 2011-03-09 东丽工程株式会社 滤色器制造方法及其装置
KR101331580B1 (ko) * 2011-12-13 2013-11-21 주식회사 나래나노텍 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법
EP2957102A4 (en) * 2013-02-18 2016-11-02 Kateeva Inc QUALITY ASSESSMENT OF OLED STACK FOILS
KR20170027000A (ko) * 2015-09-01 2017-03-09 이석준 이미지 분석의 고속화와 고정밀화 장치 및 방법
JP6601622B2 (ja) * 2016-03-08 2019-11-06 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 液滴測定方法と液滴測定装置
JP6846238B2 (ja) 2017-03-07 2021-03-24 東京エレクトロン株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
US10879102B2 (en) * 2017-08-07 2020-12-29 Boston Process Technologies, Inc Flux-free solder ball mount arrangement

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102134273B1 (ko) * 2019-06-11 2020-07-15 세메스 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템

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