KR102600430B1 - 기판 홀딩 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 기판 홀딩 장치는, 다수의 이동홀이 형성되고, 기판의 하측에 위치하여 상기 기판을 지지하기 위한 플레이트; 및 상기 플레이트에 일면이 고정되고, 상기 기판에 타면이 접촉되어 상기 기판이 점착되도록 하는 다수의 점착부를 포함하고, 상기 다수의 점착부 중 둘 이상의 점착부는, 상기 다수의 이동홀 중 어느 하나의 이동홀로부터 상기 이동홀의 반경 방향으로 이격되게 배치되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은, 기판 홀딩 장치에 관한 것이다.
디스플레이, 반도체 등에 사용되는 기판에 박막을 형성하는 제조 공정에서 상기 기판을 잡기 위해서 기판 홀딩 장치를 사용한다. 상기 기판 홀딩 장치는 진공 척, 정전 척, 자석 척, 점착 척 등을 포함한다. 상기 다수의 기판 홀딩 장치 중 상기 점착 척은 상기 진공 척에 점착제를 사용하여 기판을 잡아주는 기능을 수행한다. 일 예로, 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0125418호, “링 모양 점착부를 이용한 기판 탈부착 장치”가 개시된다.
종래 기술에 의하면, 점착부에 의해 점착된 기판을 기판 홀더로부터 분리 시, 점착된 기판을 점착부로부터 분리하기 위해 기판에 가해지는 외력이 상기 기판에 집중되어 기판이 파손되는 문제가 발생된다.
본 발명은, 기판 홀더로부터 기판을 분리 시 상기 기판의 일부에 외력이 집중되어 파손되는 것을 방지할 수 있는 기판 홀딩 장치를 제공할 수 있다.
본 발명은, 기판과 플레이트의 사이에 다수의 점착부를 배치하여 상기 기판이 상기 점착부에 의해 상기 플레이트에 안정적으로 부착되도록 할 수 있다.
본 발명은, 다수의 점착부와 기판 탈착부가 통과하기 위한 이동홀이 플레이트에 배열하여 기판이 플레이트로부터 들뜨는 것을 최소화할 수 있다.
본 발명은, 플레이트에 기판이 안정적으로 점착되기에 제조 공정에서 기판이 이동하여 발생되는 제조 공정의 불량률을 최소화할 수 있다.
본 발명은, 플레이트에 점착된 기판을 상기 플레이트로부터 탈착 시 기판 탈착부에 의해 상기 기판에 발생되는 변형량 또는 처짐량을 최소화하여 기판이 변형 또는 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치에 기판이 부착된 모습을 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 A-A부분을 절단한 단면도.
도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치로부터 기판을 탈착하는 모습을 나타내는 도면.
도 5는 도 4의 B-B부분을 나타내는 부분 확대도.
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명의 제4실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치에 기판이 부착된 모습을 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 A-A부분을 절단한 단면도.
도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치로부터 기판을 탈착하는 모습을 나타내는 도면.
도 5는 도 4의 B-B부분을 나타내는 부분 확대도.
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명의 제4실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도.
도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치에 기판이 부착된 모습을 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(1)는 디스플레이, 반도체 등에 사용되는 기판에 박막을 형성하기 위한 제조 공정을 수행하는 기판 가공 시스템의 일 구성으로 정의될 수 있다. 상기 기판 홀딩 장치(1)는 점착 척으로 구성될 수 있다. 이하에서는 점착 척으로 구성되는 기판 홀딩 장치(1)의 구조에 대해 상세히 설명한다.
상기 기판 홀딩 장치(1)는 플레이트(10)를 포함할 수 있다. 판형으로 형성되는 플레이트 몸체(11)에 의해 상기 플레이트(10)가 정의될 수 있다. 상기 플레이트(10)의 상측에 기판(30)이 부착되거나, 부착된 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착될 수 있다. 상기 플레이트(10)의 상측에 기판(30)이 부착되는 것을 척킹(chucking)이라 칭할 수 있고, 부착된 기판(30)이 탈착되는 것을 디척킹(dechucking)이라 칭할 수 있다. 상기 플레이트 몸체(11)는 상기 기판(30)의 외주면 보다 더 큰 외주면을 가지는 판형으로 형성될 수 있다. 이때, 상기 외주면이라는 용어는, 상기 플레이트 몸체(11) 또는 기판(30)의 둘레, 모서리, 테두리, 외곽 등으로 해석될 수 있다. 상기 기판(30)이 상기 플레이트 몸체(11)의 상측에 놓이면, 상기 기판(30)의 외주면은 상기 플레이트 몸체(11)의 외주면 내측에 위치할 수 있다. 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)의 상측에 부착되면, 상기 기판(30)은 상기 플레이트(10)의 상측에 안정적으로 고정될 수 있다. 상기 플레이트(10)에는 적어도 하나 이상의 기판(30)이 지지될 수 있다. 본 실시 예에서는 상기 플레이트(10)에 하나의 기판(30)이 지지되는 것으로 설명하지만, 다수의 기판(30)이 지지될 수도 있다.
상기 플레이트(10)는 다수의 이동홀(100)을 포함할 수 있다. 상기 다수의 이동홀(100)은 상기 플레이트 몸체(11)의 일부가 개구되어 형성될 수 있다. 상기 다수의 이동홀(100)은 상기 플레이트 몸체(11)에 배열될 수 있다. 상기 다수의 이동홀(100) 중 일 이동홀은 X축 방향(또는 제1방향)으로 배열되고, 상기 다수의 이동홀(100) 중 타 이동홀은 Y축 방향(또는 제2방향)으로 배열될 수 있다. 상기 X축 방향은 상기 플레이트(10)의 앞뒤 방향으로, 상기 Y축 방향은 상기 플레이트(10)의 좌우 방향으로, Z축 방향은 상기 플레이트(10)의 상하 방향으로 정의될 수 있다. 예를 들어, 상기 일 이동홀은 다수로 제공되며, 다수의 일 이동홀은 Y축 방향으로 서로 이격되게 배열될 수 있다. 상기 타 이동홀은 다수로 제공되며, 다수의 타 이동홀은 X축 방향으로 서로 이격되게 배열될 수 있다.
상기 다수의 이동홀(100)은 후술할 기판 탈착부(20)가 통과하는 개구로 정의될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판 탈착부(20)의 일부는 상기 이동홀(100)을 통과하여 상기 플레이트 몸체(11)의 상방으로 이동하여, 상기 플레이트(10)에 부착된 기판(30)이 탈착되도록 할 수 있다. 또한, 상기 기판 탈착부(20)의 일부에 상기 기판(30)이 안착된 상태에서, 상기 기판 탈착부(20)가 상기 이동홀(100)을 통과하여 상기 플레이트 몸체(11)의 하방으로 이동되면, 상기 기판(30)이 후술할 점착부(110)에 부착될 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)의 일부는 굴곡을 가지는 형상 또는 평면을 가지는 형상으로 형성될 수 있다.
상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)에 부착된 기판(30)을 가압하여 상기 플레이트(10)의 상측으로부터 상기 기판(30)이 탈착되도록 할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)에 상기 기판(30)을 부착하기 전에 상기 기판(30)의 저면을 지지하는 기능을 수행할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)에 상기 기판(30)의 저면이 안착될 수 있기에 상기 이동홀(100)은 안착홀이라 칭할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)에 안착된 기판(30)의 저면은 상기 기판 탈착부(20)가 상기 플레이트(10)의 하방으로 이동 시 상기 점착부(110)에 안착되며, 상기 점착부(110)의 점착력에 의해 상기 점착부(110)에 부착될 수 있다.
또한, 상기 다수의 이동홀(100)은 상기 기판(30)을 상기 플레이트 몸체(11)의 상측에 부착하기 위해 상기 기판(30)을 흡착하기 위한 개구로 정의될 수 있다. 상기 기판 홀딩 장치(1)에는 상기 이동홀(100)을 통해 상기 기판(30)을 흡착하기 위한 흡착 유닛이 포함될 수 있다. 상기 흡착 유닛은 상기 플레이트(10)의 상측에 위치하는 기판(30)이 상기 플레이트(10)를 향하는 방향으로 밀착되도록 상기 이동홀(100)을 통해 공기를 흡입할 수 있다. 상기 흡입 유닛에 의해 상기 플레이트(10)와 상기 기판(30) 사이의 기압을 변화시켜 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)에 밀착될 수 있다. 상기 흡착 유닛에 의해 상기 플레이트(10)의 상측에 밀착된 기판(30)은 후술할 점착부(110)에 밀착하게 점착될 수 있다. 상기 흡착 유닛은 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착 시, 상기 플레이트(10)와 상기 기판(30) 사이의 기압을 조절하여 상기 플레이트(10)로부터 상기 기판(30)이 탈착되도록 할 수 있다. 이때, 상기 이동홀(100)은 흡입홀이라 칭할 수도 있다. 본 실시 예에서 상기 이동홀(100)은 상기 기판 탈착부(20)가 이동하기 위한 공간의 기능과, 공기가 통과하기 위한 공간의 기능을 함께 수행하는 것으로 설명한다. 이러한 사상에 제한되지 않고, 상기 이동홀과 상기 흡입홀이 구분되어 각각 형성될 수도 있다.
상기 플레이트(10)는 다수의 점착부(110)를 포함할 수 있다. 상기 다수의 점착부(110)는 일정한 점착력을 가지는 물질로 구성될 수 있다. 상기 점착부(110)는 점착제라 칭할 수 있다. 상기 다수의 점착부(110) 중 일 점착부는 X축 방향으로 배열되고, 상기 다수의 점착부(110) 중 타 점착부는 Y축 방향으로 배열될 수 있다. 예를 들어, 상기 일 점착부는 다수로 제공되며, Y축 방향으로 서로 이격되게 배열될 수 있다. 상기 타 점착부는 다수로 제공되며, X축 방향으로 서로 이격되게 배열될 수 있다. 상기 다수의 점착부(110)는 상기 플레이트 몸체(11)의 상면에 고정될 수 있다. 상기 점착부(110)의 점착력에 의해서 상기 기판(30)이 상기 플레이트 몸체(11)의 상측에 안정적으로 지지될 수 있다.
상기 다수의 점착부(110) 중 일부는 서로 이웃하는 복수의 이동홀(100)의 사이에 위치할 수 있다. 상기 다수의 점착부(110) 중 일부는 상기 복수의 이동홀(100)의 사이에서 상기 플레이트(10)의 상측에 놓이는 기판(30)에 점착되고, 상기 기판(30)을 지지할 수 있다. 또는, 상기 다수의 이동홀(100) 중 어느 하나의 이동홀(100)은 적어도 복수의 점착부(110)의 사이에 위치할 수 있다. 상기 복수의 점착부(110)의 사이에 어느 하나의 이동홀(100)이 위치하면, 상기 복수의 점착부(110)가 상기 기판(30)을 지지할 수 있다.
한편, 상기 플레이트(10)의 상측은 제1영역(12)과 제2영역(13)으로 구분될 수 있다. 상기 제1영역(12)과 상기 제2영역(13)은 상기 플레이트(10)에 부착되어 고정되는 상기 기판(30)에 박막이 형성되는 여부에 따라 구분될 수 있다. 상기 제1영역(12)은 박막이 형성되는 기판(30)의 일부를 마주하는 플레이트(10)의 일부로 정의될 수 있다. 또는, 상기 제1영역(12)은 박막이 형성되는 기판(30)의 일부가 사영되는 플레이트(10)의 일부로 정의될 수 있다. 상기 제1영역(12)은 박막이 형성되는 박막 활성 영역이라 칭할 수 있다. 상기 제2영역(13)은 상기 기판(30)에 박막이 형성되지 않는 영역으로, 상기 다수의 이동홀(100) 및 상기 다수의 점착부(110)가 위치하는 영역으로 이해할 수 있다. 상기 제2영역(13)은 박막이 형성되지 않는 기판(30)의 다른 일부를 마주하는 플레이트(10)의 다른 일부로 정의될 수 있다. 또는, 상기 제2영역(13)은 박막이 형성되지 않는 기판(30)의 다른 일부가 사영되는 플레이트(10)의 다른 일부로 정의될 수 있다. 상기 제2영역(13)은 박막이 미 형성되는 박막 비 활성 영역, 외곽 영역이라 칭할 수 있다.
예를 들어, 상기 제2영역(13)은 상기 플레이트(10)의 외주면을 따라 위치할 수 있다. 또한, 상기 제2영역(13)은 상기 플레이트(10)의 중심을 교차하도록 위치할 수 있다. 상기 제1영역(12)은 상기 제2영역(13)의 내측에 위치할 수 있다. 상기 기판(30)의 일부는 상기 제1영역(12)에 위치하고, 상기 기판(30)의 다른 일부는 상기 제2영역(13)에 위치할 수 있다. 상기 기판(30)의 다른 일부는 상기 제2영역(13)에 위치하는 다수의 점착부(110)에 의해 상기 플레이트(10)에 밀착하게 부착될 수 있다. 상기 기판(30)의 다른 일부가 상기 다수의 점착부(110)에 의해 상기 플레이트(10)에 고정된 상태에서 상기 제1영역(12)에 위치하는 기판(30)의 일부에 박막이 형성될 수 있다.
한편, 상기 기판 홀딩 장치(1)는 기판 탈착부(20)를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)에 부착된 기판(30)을 상기 플레이트(10)로부터 탈착되도록 하는 기능을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판 탈착부(20)는 핀 형상으로 형성될 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 다수의 이동홀(100) 상에 위치할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 다수의 이동홀(100)의 내측에서 상하 방향으로 이동할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)의 하면으로부터 상면을 향하는 방향으로 이동하거나, 상기 플레이트(10)의 상면으로부터 하면을 향하는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)의 상하 방향으로의 이동에 의해 상기 기판(30)의 저면을 지지하거나, 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착되도록 할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)의 하측에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)에 대해 상하 방향으로 이동되도록 동력을 전달하는 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
도 3은 도 2의 A-A부분을 절단한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 홀딩 장치(1)에는 기판(30)이 부착되어 고정될 수 있다. 상기 플레이트(10)의 상측에 놓이는 기판(30)은 다수의 점착부(110)에 점착되어 상기 플레이트(10)에 고정될 수 있다. 상기 기판(30)은 상기 다수의 점착부(110)에 의해 상기 플레이트(10)의 상면으로부터 상방으로 일정한 높이로 이격될 수 있다. 상기 기판(30)은 상기 다수의 점착부(110)에 점착되어 상기 플레이트(10)에 안정적으로 고정될 수 있다.
본 실시 예에 상기 다수의 점착부(110)는 제1점착부(111) 및 제2점착부(112)를 포함할 수 있다. 상기 제1점착부(111)와 상기 제2점착부(112)의 사이에는 이동홀(100)이 위치할 수 있다. 상기 이동홀(100)의 내측에는 기판 탈착부(20)가 위치할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 이동홀(100)의 내측에서 상기 플레이트(10)의 저면에서 상면을 향하는 방향으로 상하 이동할 수 있다.
상기 기판 탈착부(20)는 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)의 상측에 고정될 시, 상기 기판 탈착부(20)의 일부가 상기 점착부(110)의 높이에 대응되는 위치를 향해 상방으로 이동할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)의 일부는 상기 플레이트(10)의 상면보다 상방으로 돌출될 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)의 일부는 상기 다수의 점착부(110)와 함께 상기 기판(30)의 저면에 접촉되어 상기 기판(30)을 지지할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 다수의 점착부(110)에 상기 기판(30)이 부착되면, 상기 플레이트(10)의 하방으로 이동할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)가 상기 플레이트(10)의 하방으로 이동되면, 상기 기판(30)은 상기 다수의 점착부(110)에 의해서 상기 플레이트(10)에 고정될 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)에 상기 기판(30)을 부착 시, 상기 점착부(110)보다 하방에 위치할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 플레이트(10)로부터 상기 기판(30)을 탈착 시, 상기 점착부(110)보다 상방에 위치할 수 있다.
한편, 상기 제1점착부(111)와 상기 제2점착부(112)는 상기 이동홀(100)의 반경 방향으로 이격되게 위치할 수 있다. 상기 제1점착부(111)와 상기 제2점착부(112)와 상기 기판 탈착부(20)의 일부가 서로 이격되게 위치하여, 상기 기판(30)의 저면을 균일하게 지지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치로부터 기판을 탈착하는 모습을 나타내는 도면이고, 도 5는 도 4의 B-B부분을 나타내는 부분 확대도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 홀딩 장치(1)에는 기판(30)이 부착되어 고정될 수 있다. 상기 점착부(110)에 부착되어 고정된 기판(30)은 상기 기판 탈착부(20)에 의해 상기 플레이트(10)로부터 탈착될 수 있다.
상기 기판 탈착부(20)는 상기 점착부(110)에 부착된 기판(30)에 접촉되며, 상기 기판(30)을 상기 플레이트(10)로부터 멀어지는 방향으로 이동 시킬 수 있다. 즉, 상기 기판 탈착부(20)가 상기 기판(30)을 밀어 상기 점착부(110)로부터 상기 기판(30)이 탈착되도록 할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)는 상기 점착부(110)로부터 상기 기판(30)이 탈착될 수 있는 일정한 힘을 가하여 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 분리되도록 할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)가 상기 기판(30)에 가하는 일정한 힘은 상기 점착부(110)의 점착력과 비례할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)에 의해 상기 기판(30)이 상기 점착부(110)로부터 탈착되면, 상기 기판(30)은 상기 플레이트(10)로부터 분리될 수 있다.
상기 점착부(110)에 의해 상기 플레이트(10)에 부착되어 고정되는 기판(30)은 상기 점착부(110)에 수평하게 위치할 수 있다. 상기 점착부(110)에 의해 수평하게 지지되는 기판(30)의 일부를 지지면(301)이라 칭할 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)가 상기 기판(30)을 가압하기 이전에, 상기 기판(30)은 상기 제1점착부(111)에 지지되는 지지면(301)과 상기 제2점착부(112)에 지지되는 지지면(301)에 의해 수평하게 상기 플레이트(10)에 지지될 수 있다.
상기 기판 탈착부(20)가 상기 기판(30)을 가압하면, 상기 기판(30)의 다른 일부는 상기 기판 탈착부(20)에 의해 가압될 수 있다. 상기 기판 탈착부(20)에 의해 가압되는 기판(30)의 다른 일부를 가압면(302)이라 칭할 수 있다. 상기 가압면(302)은 상기 기판 탈착부(20)에 의해 가압된 상태이기에 상기 지지면(301)보다 상측에 위치할 수 있다. 이때, 상기 가압면(302)과 상기 지지면(301)의 사이에는 경사면(303)이 정의될 수 있다. 상기 경사면(303)은 상기 지지면(301)으로부터 상기 가압면(302)을 향해 상향으로 경사지게 형성될 수 있다.
본 발명에서 상기 가압면(302)에서 연장되는 제1가상선과 상기 경사면(303)에서 연장되는 제2가상선이 이루는 각도를 처짐각(θ)이라 정의할 수 있다. 상기 처짐각(θ)은 상기 가압면(302)과 상기 지지면(301)의 높이 차에 의해 형성되는 각도로 이해할 수 있다. 상기 처짐각(θ)이 커질수록 상기 기판(30)의 변형률이 증가되고, 상기 처짐각(θ)이 작아질수록 상기 기판(30)의 변형률이 감소하기에, 상기 처짐각(θ)은 일정한 각도 이하로 유지되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 처짐각(θ)은 상기 이동홀(100)과 상기 점착부(110)의 사이 거리에 의해 조절될 수 있다. 상기 이동홀(100)과 상기 점착부(110)가 일정한 거리 이하로 위치하면 상기 처짐각(θ)은 상대적으로 커지고, 상기 이동홀(100)과 상기 점착부(110)가 일정한 거리 이상으로 위치하면 상기 처짐각(θ)은 상대적으로 작아지기에, 상기 이동홀(100)과 상기 점착부(110)의 사이 거리는 일정한 거리 이상으로 이격되도록 할 수 있다. 상기 가압면(302)과 상기 지지면(301)의 사이 거리를 일정한 거리 이상으로 이격되도록 하기 위해 상기 이동홀(100)과 상기 점착부(110)가 일정한 거리 이상으로 이격되게 배치되도록 한다. 본 실시 예에서 상기 이동홀(100)과 상기 점착부(110)의 사이 거리는 상기 점착부(110)보다 큰 직경을 가지는 이동홀(100)의 직경보다 크게 형성될 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기 플레이트(10)로부터 상기 기판(30)을 탈착 시, 상기 기판 탈착부(20)에 의해 상기 기판(30)에 발생되는 처짐각(θ)을 최소화하여, 상기 기판(30)의 변형을 최소화할 수 있다. 상기 기판(30)의 변형이 최소화되기에 제조 공정의 불량을 저감할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도이다.
본 발명의 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(2)는 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치의 일부가 변형된 것을 특징으로 한다. 따라서, 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(2)의 설명 중 일부는 제1실시 예에 따른 기판 홀딩 장치의 설명 중 일부를 인용할 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(2)는 플레이트(10)를 포함할 수 있다. 상기 기판 홀딩 장치(2)는 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착되도록 하는 기판 탈착부(20)를 더 포함할 수 있다.
상기 플레이트(10)에는 다수의 점착부(210)가 포함되며, 상기 다수의 점착부(210)에 의해 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)의 상면에 부착되어 지지될 수 있다. 상기 플레이트(10)에는 상기 기판 탈착부(20)가 통과하기 위한 다수의 이동홀(100)이 포함될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 이동홀(100)은 상기 기판 탈착부(20)가 이동하기 위한 공간의 기능과, 상기 기판(30)과 상기 플레이트(10) 사이의 기압을 조절하기 위해 공기가 통과하는 공간의 기능을 함께 수행할 수 있다.
상기 다수의 점착부(210)는 상기 이동홀(100)의 반경 방향으로 이격되게 배치될 수 있다. 상기 다수의 점착부(210)는 제1점착부(211), 제2점착부(212), 제3점착부(213), 및 제4점착부(214)를 포함할 수 있다. 본 실시 예에서 상기 제1점착부(211) 및 상기 제2점착부(212)는 상기 이동홀(100)의 중심에서 Y축을 향하는 일측 및 타측 방향에 각각 위치할 수 있다. 상기 제3점착부(213) 및 제4점착부(214)는 상기 이동홀(100)의 중심에서 X축을 향하는 일측 및 타측 방향에 각각 위치할 수 있다. 상기 다수의 점착부(210)는 상기 이동홀(100)의 반경 방향으로 이격되어 있기에 상기 기판(30)을 상기 플레이트(10)로부터 탈착 시 상기 기판(30)에 발생될 수 있는 파손을 방지할 수 있다.
상기 제1점착부(211) 및 상기 제2점착부(212)는 상기 이동홀(100)으로부터 상기 기판(30)의 X축 방향으로 서로 이격되어 있기에, X축 방향으로의 기판(30)을 안정적으로 고정할 수 있다. 상기 제3점착부(213) 및 상기 제4점착부(214)는 상기 이동홀(100)으로부터 상기 기판(30)의 Y축 방향으로 서로 이격되어 있기에, Y축 방향으로의 기판(30)을 안정적으로 고정할 수 있다. 즉, 상기 기판(30)을 복수의 방향으로 고정하여 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 분리되는 것을 제한할 수 있다.
한편, 상기 다수의 점착부(210)는 서로 다른 이동홀(100)에 따라 제공되는 점착부의 개수가 조절될 수 있다. 예를 들어, 상기 이동홀(100)은 제1이동홀(100) 및 제2이동홀(100)만 제공되거나, 제3이동홀(100) 및 제4이동홀(100)만 제공되거나, 상기 제1 내지 제4이동홀(211,212,213,214)이 제공될 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기 이동홀(100)의 반경 방향으로 적어도 둘 이상의 점착부(210)가 제공될 수 있기에 상기 기판(30)과 상기 플레이트(10)가 더욱 안정적으로 밀착될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도이다.
본 발명의 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(3)는 제1실시 예 및 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치의 일부가 변형된 것을 특징으로 한다. 따라서, 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(3)의 설명 중 일부는 제1실시 예 및 제2실시 예에 따른 기판 홀딩 장치의 설명 중 일부를 인용할 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(3)는 플레이트(10)를 포함할 수 있다. 상기 기판 홀딩 장치(3)는 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착되도록 하는 기판 탈착부(20)를 더 포함할 수 있다.
상기 플레이트(10)에는 다수의 점착부(110)가 포함되며, 상기 다수의 점착부(110)에 의해 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)의 상측에 부착되어 지지될 수 있다.
상기 기판 홀딩 장치(3)는 상기 기판(30)을 상기 플레이트(10)를 향하는 방향으로 밀착시키기 위한 다수의 흡입구(330)를 포함할 수 있다. 상기 다수의 흡입구(330)는 상기 기판(30)이 상기 다수의 점착부(110)에 밀착될 수 있도록 상기 기판(30)을 상기 플레이트(10)를 향하는 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 다수의 흡입구(330)는 상기 플레이트(10)와 상기 기판(30)의 사이 기압을 조절하여 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)를 향하는 방향으로 이동되도록 하거나, 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다.
상기 플레이트(10)에는 상기 기판 탈착부(20)가 통과하기 위한 다수의 이동홀(100)이 포함될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 이동홀(100)은 상기 기판 탈착부(20)가 이동하기 위한 공간의 기능을 수행할 수 있다. 상기 이동홀(100)의 내측에서 상기 기판 탈착부(20)가 이동되며, 상기 다수의 흡입구(330)를 통해 유동하는 공기에 의해 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)에 밀착되거나, 탈착될 수 있다. 이러한 사상에 제한되지 않고, 상기 이동홀(100)을 통해 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)에 밀착되거나, 탈착되도록 할 수 있다.
상기 플레이트(10)는 상기 기판(30)에 박막이 형성되는 위치로 정의되는 제1영역(12)과, 상기 기판(30)에 박막이 미 형성되는 위치로 정의되는 제2영역(13)을 포함할 수 있다. 상기 다수의 이동홀(100), 상기 다수의 점착부(110) 및 상기 다수의 흡입구(330)는 상기 제2영역(13)에 위치하고, 상기 제2영역에 배열될 수 있다. 예를 들어, 상기 다수의 점착부(110) 및 상기 다수의 이동홀(100)은 동일한 선상에 위치할 수 있다. 상기 다수의 흡입구(330)는 상기 다수의 점착부(110) 및 상기 다수의 이동홀(100)과 다른 선상에 위치할 수 있다.
상기 플레이트(10)에 상기 기판(30)이 놓이면, 상기 기판(30)의 외주면은 상기 제2영역(13)에 위치할 수 있다. 상기 기판(30)의 외주면이 상기 제2영역(13)에 위치하기에 상기 다수의 점착부(110) 및 다수의 이동홀(100)에 의해 상기 기판(30)이 안정적으로 상기 플레이트(10)에 부착되어 지지될 수 있다.
상기 다수의 흡입구(330)는 상기 다수의 점착부(110) 및 상기 다수의 이동홀(100)보다 상기 기판(30)의 외주면에 인접하게 배열될 수 있다. 즉, 본 실시 예에서 상기 다수의 흡입구(330)는 상기 다수의 점착부(110) 및 상기 다수의 이동홀(100)보다 외측에 위치할 수 있다. 상기 다수의 흡입구(330)는 상기 기판(30)의 외주면에 인접하게 위치하여 상기 기판(30)의 외주면이 상기 플레이트(10)이 밀착되도록 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)에 부착되어 고정될 때, 상기 다수의 흡입구(330)를 통해 상기 기판(30)의 외주면이 상기 플레이트(10)에 밀착되지 못하는 것을 해소할 수 있다.
도 8은 본 발명의 제4실시 예에 따른 기판 홀딩 장치를 나타내는 사시도이다.
본 발명의 제4실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(4)는 제1실시 예 내지 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치의 일부가 변형된 것을 특징으로 한다. 따라서, 제4실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(4)의 설명 중 일부는 제1실시 예 내지 제3실시 예에 따른 기판 홀딩 장치의 설명 중 일부를 인용할 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 제4실시 예에 따른 기판 홀딩 장치(4)는 플레이트(10)를 포함할 수 있다. 상기 기판 홀딩 장치(4)는 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착되도록 하는 기판 탈착부(20)와, 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 탈착되는 것을 방지하기 위한 기판 고정부(400)를 더 포함할 수 있다. 상기 플레이트(10)에는 다수의 점착부(110)가 포함되며, 상기 다수의 점착부(110)에 의해 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)의 상측에 부착되어 지지될 수 있다.
상기 플레이트(10)에는 상기 기판 탈착부(20)가 통과하기 위한 다수의 이동홀(100)이 포함될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 이동홀(100)은 상기 기판 탈착부(20)가 이동하기 위한 공간의 기능과, 상기 기판(30)과 상기 플레이트(10) 사이의 기압을 조절하기 위해 공기가 통과하는 공간의 기능을 함께 수행할 수 있다.
상기 기판 고정부(400)는 다수로 제공될 수 있다. 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)에 대해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)에 놓인 기판(30)을 향하는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)로부터 상기 기판(30)을 분리 시 상기 플레이트(10)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)의 상측에 상기 기판(30)이 놓이면, 상기 기판(30)이 상기 플레이트(10)로부터 분리되어 이동되는 것을 제한할 수 있다.
상기 기판 고정부(400)는 상기 기판(30)의 상면 및 측면 중 적어도 하나에 접촉되어 상기 기판(30)이 상하 방향 및 양측 방향 중 적어도 하나로 이동되는 것을 방지할 수 있다. 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)의 상측에 놓인 기판(30)을 상기 플레이트(10)에 고정하기 위한 클램프로 이해할 수 있다.
한편, 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)의 단부에 배치되어, 상기 기판(30)을 고정하는 클램프로 제공될 수도 있다. 이때, 상기 기판 고정부(400)는 상기 플레이트(10)에 대해 회전 가능하게 제공되며, 상기 기판(30)을 상기 플레이트(10)에 밀착되도록 가압할 수도 있다.
본 발명에 의하면, 상기 점착부(110)의 점착력이 감소되어 상기 플레이트(10)로부터 상기 기판(30)이 분리되는 것을 상기 기판 고정부(400)를 통해 방지할 수 있다. 상기 기판 고정부(400)를 통해 상기 기판(30)을 상기 플레이트(10)에 단단히 고정하여, 제조 공정에서 상기 기판(30)이 이동되어 발생되는 문제를 최소화할 수 있다.
1: 기판 홀딩 장치 10: 플레이트
20: 기판 탈착부 30: 기판
20: 기판 탈착부 30: 기판
Claims (11)
- 다수의 이동홀이 형성되고, 기판의 하측에 위치하여 상기 기판을 지지하기 위한 플레이트;
상기 다수의 이동홀 상에 위치하고, 상기 플레이트에 대해 상하 방향으로 이동 가능한 기판 탈착부; 및
상기 플레이트에 일면이 고정되고, 상기 기판에 타면이 접촉되어 상기 기판이 점착되도록 하는 다수의 점착부를 포함하고,
상기 다수의 점착부 중 둘 이상의 점착부는, 상기 다수의 이동홀 중 어느 하나의 이동홀로부터 상기 이동홀의 반경 방향으로 이격되게 배치되고,
상기 둘 이상의 점착부는, 상기 이동홀의 중심을 교차하는 X축과 Y축의 방향으로 배열되고,
상기 이동홀의 직경은, 상기 점착부의 직경보다 크고,
상기 이동홀과 상기 점착부의 사이 거리는, 상기 이동홀의 직경보다 크며,
상기 플레이트에는, 상기 기판의 외곽에 인접하게 위치한 개구이며, 상기 플레이트와 상기 기판 사이의 기압을 조절하기 위해 공기가 통과하는 다수의 흡입구가 더 포함되고,
상기 다수의 흡입구는, 상기 다수의 점착부와 상기 다수의 이동홀보다 상기 기판의 외곽에 더 인접하게 위치하는 기판 홀딩 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 플레이트는, 박막이 형성되는 기판의 일부를 마주하는 제1영역과, 상기 박막이 미 형성되는 기판의 다른 일부를 마주하는 제2영역으로 구분되며,
상기 다수의 점착부 및 상기 다수의 이동홀은, 상기 제2영역에 위치하는 기판 홀딩 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 제2영역은, 상기 플레이트의 외곽에 인접하게 위치하고
상기 제1영역은, 상기 제2영역의 내측에 위치하는 기판 홀딩 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 다수의 이동홀 및 상기 다수의 점착부는, 상기 플레이트의 X축 방향 및 Y축 방향 중 적어도 어느 하나를 향하는 방향으로 배열되는 기판 홀딩 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 다수의 이동홀 중 어느 하나의 이동홀은, 상기 다수의 점착부 중 적어도 둘 이상의 점착부 사이에 위치하는 기판 홀딩 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 다수의 점착부 중 적어도 하나 이상의 점착부는, 상기 다수의 이동홀 중 적어도 둘 이상의 이동홀 사이에 위치하는 기판 홀딩 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 이동홀은, 상기 기판을 상기 플레이트로 밀착되도록 하는 흡입홀인 기판 홀딩 장치. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 기판의 일면 및 측면 중 적어도 하나에 접촉되어 상기 기판을 선택적으로 고정하고, 상기 플레이트에 대해 이동 가능하게 구비되는 기판 고정부를 더 포함하는 기판 홀딩 장치. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 기판 탈착부는, 상기 기판의 타면에 접촉되어 상기 기판의 타면을 지지하는 기판 홀딩 장치.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20190920 |
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| PG1501 | Laying open of application | ||
| A201 | Request for examination | ||
| PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20210525 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20190920 Comment text: Patent Application |
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20220928 Patent event code: PE09021S01D |
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| AMND | Amendment | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20230315 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20220928 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |
|
| AMND | Amendment | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20230516 Patent event code: PE09021S01D |
|
| AMND | Amendment | ||
| PX0701 | Decision of registration after re-examination |
Patent event date: 20230816 Comment text: Decision to Grant Registration Patent event code: PX07013S01D Patent event date: 20230607 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX07012R01I Patent event date: 20230503 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX07012R01I Patent event date: 20230315 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PX07011S01I Patent event date: 20221114 Comment text: Amendment to Specification, etc. Patent event code: PX07012R01I |
|
| X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20231106 Patent event code: PR07011E01D |
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Payment date: 20231107 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
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| PG1601 | Publication of registration |