KR102587652B1

KR102587652B1 - 탐침장치

Info

Publication number: KR102587652B1
Application number: KR1020210102582A
Authority: KR
Inventors: 정영배; 서정윤; 조현철; 조성훈; 이헌석; 장희준; 전진아
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2021-08-04
Filing date: 2021-08-04
Publication date: 2023-10-11
Anticipated expiration: 2041-08-04
Also published as: KR20230020780A

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 탐침장치는, 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 제1 탐침부 및 제1 탐침부에서 제1 방향으로 연장되는 가이드부를 포함하는 제1 레이어; 및 제1 레이어와 결합되는 결합부, 검사장치의 패드와 접촉할 수 있는 제2 탐침부 및 결합부와 제2 탐침부를 연결하는 탄성부를 포함하는 제2 레이어를 포함하고, 제1 레이어의 가이드부는 제1 방향으로의 일측에서 가이드부의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드홈을 갖고, 제2 레이어의 결합부가 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어, 탄성부가 가이드홈에 배치될 수 있다.

Description

탐침장치{PROBE DEVICE}

본 발명은 탐침장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 대상물과 검사장치 사이에 배치되어 피검사 대상물에 대한 전기적 검사를 수행함에 있어서 보다 향상된 접촉 특성과 전기적 특성을 갖는 탐침장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 장치 또는 집적 회로 등(이하, "피검사 대상물")이 제조될 때, 정상 동작 여부, 결함 여부, 신뢰성 등을 검사하기 위해 다양한 검사가 수행된다. 피검사 대상물에 대한 전기적 검사를 수행함에 있어서, 피검사 대상물의 접속 단자와 검사장치의 테스트 보드의 패드 또는 접속 단자 사이에 배치되어 전기적 신호를 전송하는 탐침장치가 사용될 수 있다.

구체적으로, 검사장치 상에 탐침장치를 배치한 후에, 피검사 대상물을 탐침장치 상측에서 가압하여 누름으로써, 피검사 대상물, 탐침장치 및 검사장치 간에 전기적 접속이 이루어지고, 소정의 전기적 신호를 인가하여 전기적 검사를 수행할 수 있다.

이러한 탐침장치는 일반적으로 스프링 등의 탄성부를 포함하여, 피검사 대상물 및 검사장치와 접촉하는 과정에서 발생하는 충격을 흡수하고 다수의 단자들이 신뢰성 있게 접촉하도록 돕는 역할을 한다.

그러나, 종래의 탐침장치에서는, 테스트를 반복함에 따라 탄성부가 변형되거나 접촉 특성이 악화되어 검사의 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침장치의 변형을 방지하여 내구성을 향상시키고, 접촉 특성을 개선하여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 탐침장치를 제공하는 것이다.

일부 실시예에서, 결합부는 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있다.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 제1 탐침부는 일측에서 돌출되는 적어도 하나의 제1 돌출부를 포함하고, 제2 레이어의 결합부는 일측에서 돌출되는 적어도 하나의 제2 돌출부 및 제2 돌출부에 의해 정의되는 결합홈을 포함하고, 제1 레이어가 결합홈에 배치되어, 제1 레이어와 제2 레이어가 크로스 결합될 수 있다.

일부 실시예에서, 제1 레이어는 좌우대칭인 형상을 갖는다.

일부 실시예에서, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합되는 경우, 제1 돌출부의 일단부 및 제2 돌출부의 일단부는 동일 평면 상에 위치한다.

일부 실시예에서, 제2 돌출부는 피검사장치의 단자와 접촉한다.

일부 실시예에서, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합되는 경우, 제1 돌출부의 일단부와 제2 돌출부의 일단부는 평면상에서 결합 중심축을 기준으로 대칭인 형상을 갖는다.

일부 실시예에서, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합되는 경우, 제1 돌출부의 일단부는, 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 제2 돌출부의 일단부보다 더 돌출된다.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 제1 방향으로의 일측 단부에 배치되는 제1 체결부를 더 포함하고, 제2 탐침부는 제2 체결부를 포함하고, 제1 체결부와 제2 체결부가 체결되어, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합될 수 있다.

일부 실시예에서, 제1 체결부는 걸림돌기를 포함하고, 제2 체결부는 홈 또는 홀을 포함하고, 제1 방향으로 제1 체결부의 길이는 제2 체결부의 길이보다 작다.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 제1 방향으로의 일측 단부에 배치되는 제1 체결부를 더 포함하고, 제2 탐침부는 제2 체결부를 포함하고, 제1 체결부는 걸림돌기를 포함하고, 제2 체결부는 홈 또는 홀을 포함하며, 제1 방향으로 결합홈의 일단부에서 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 제2 체결부의 일단부까지의 길이는, 제2 방향으로 가이드홈의 일단부에서 제2 방향으로 제1 체결부의 일단부까지의 길이와 같거나 작고, 제1 체결부와 제2 체결부가 체결되어, 제1 레이어가 제2 레이어와 결합될 수 있다.

일부 실시예에서, 탄성부는 탄성부와 마주하는 가이드부의 내면과 접촉한다.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 서로 대향하게 배치되어 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고, 제1 가이드부와 제2 가이드부 간의 거리는 제2 레이어의 탄성부의 두께와 동일하다.

일부 실시예에서, 탄성부의 폭은 가이드부의 두께보다 크다.

일부 실시예에서, 제1 레이어의 가이드부는 서로 대향하게 배치되어 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고, 제1 가이드부 및 제2 가이드부의 탄성부와 중첩하는 부분은 탄성부와 중첩하지 않는 부분보다 큰 폭을 갖는다.

일부 실시예에서, 제1 레이어 및 제2 레이어는 각각 일체형으로 형성된다.

일부 실시예에서, 탄성부는 웨이브 형상을 갖는다.

일부 실시예에서, 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 제1 탐침부 및 제1 탐침부에서 제1 방향으로 연장되는 가이드부를 포함하는 제1 레이어; 및 제1 레이어와 결합되는 결합부, 검사장치의 패드와 접촉할 수 있는 제2 탐침부 및 결합부와 제2 탐침부를 연결하는 탄성부를 포함하는 제2 레이어를 포함하고, 제1 레이어의 가이드부는, 서로 대향하게 배치되어 가이드부의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고, 제2 레이어의 결합부가 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어, 제2 레이어의 탄성부가 제1 가이드부와 제2 가이드부 사이에 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 탐침장치의 접촉 특성이 향상되어 전기적 특성이 개선될 수 있다.

둘째, 전기 전달 경로의 개선으로 접촉 저항이 저하될 수 있다.

셋째, 탄성부가 안정적으로 지지되어 탄성부의 변형이 방지될 수 있다.

넷째, 부품의 개수를 최소화하여, 제조 수율을 향상시키고 제조 비용이 감소될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시에에 따른 제1 탐침장치의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치의 상면도, 측면도 및 하면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 탐침장치의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치의 상면도, 측면도 및 하면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 도 1의 제1 탐침장치의 전기적 경로를 설명하기 위한 측면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 탐침장치의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 탐침장치의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 9의 제4 탐침장치의 분해 사시도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 이러한 반복은 간결성과 명료성을 위한 것이며 그 자체가 논의된 다양한 실시예 및/또는 구성 간의 관계를 지시하는 것은 아니다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래", "하부", "위", "상부" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다" 및/또는 "포함하는"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

본 명세서에서 제1, 제2, 제3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제1 구성 요소가 제2 또는 제3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제2 또는 제3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하의 실시예에서, 탐침장치는 반도체 장치 또는 집적회로 등(이하, 피검사 대상물)과 이를 검사하기 위한 검사장치 사이에 배치되어 피검사 대상물의 단자와 검사장치의 패드를 전기적으로 접속시킬 수 있는 탐침장치에 관한 것이다. 예를 들어, 탐침장치는 포고핀으로 지칭될 수도 있다. 본 발명에 따른 탐침장치는 피검사대상물의 제조 공정 도중에 또는 제조된 이후에, 정상 동작 여부, 결함 여부, 신뢰성 등을 검사하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.

이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 탐침장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시에에 따른 제1 탐침장치(1)의 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)의 평면도 및 측면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)는 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)을 포함한다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)는 제1 탐침부(110) 및 제1 탐침부(110)의 일측에서 제1 방향(D1)으로 연장되는 가이드부(120)를 포함할 수 있다. 본 명세서에서, 설명의 편의를 위해, 제1 방향(D1)을 하측 방향, 제1 방향(D1)에 반대하는 제2 방향(D2)를 상측 방향이라고도 지칭한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 탐침부(110)는 제1 탐침부(110)의 상측에서 돌출되는 적어도 하나의 제1 돌출부(111) 및 제1 돌출부(111)에 의해 정의되는 제1 홈(112)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 돌출부(111)는 제2 방향(D2)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 도 1 내지 도 3에는 두 개의 제1 돌출부(111)가 제1 탐침부(110)에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않으며, 제1 돌출부(111)는 2 이상의 복수의 제1 돌출부(111)를 포함할 수 있다. 제1 탐침부(110)는 피검사 대상물(도 7의 5 참조)에 접촉하는 역할을 할 수 있는 바, 이에 대해서는 이하에서 더 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 가이드부(120)는, 제1 가이드부(121), 제2 가이드부(122) 및 가이드홈(125)을 포함할 수 있다. 제1 가이드부(121) 및 제2 가이드부(122)는 서로 대향하게 배치되어 가이드홈(125)을 정의할 수 있다. 가이드홈(125)은 가이드부(120)의 하측에서 제2 방향(D2)을 따라 연장된다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 가이드홈(125)은 가이드부(120)의 길이 방향으로 길게 연장되며, 제1 방향(D1)으로 개방될 수 있다. 예를 들어, 가이드부(120)의 하측은 서로 이격된 제1 가이드부(121) 및 제2 가이드부(122)를 포함하고, 가이드부(120)의 상측은 제1 탐침부(110)의 하측에 배치되어, 가이드부(120)는 전체적으로 U-자 형상 또는 후크 형상을 가질 수 있다. 가이드부(120)는 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 것을 가이드하고, 추후 설명되는 탄성부(220)를 지지하는 역할을 할 수 있다. 이에 대해서는 이하에서 더 상세히 설명한다.

가이드부(120)는 하측 단부에 배치되는 제1 체결부(130)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 체결부(130)는 가이드홈(125)을 향하는 방향으로 돌출되는 걸림돌기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 체결부(130)는 제1 가이드부(121) 및 제2 가이드부(122) 각각으로부터 가이드홈(125)을 향하는 방향으로 돌출되는 걸림돌기를 포함할 수 있다. 따라서, 제1 체결부(130) 사이의 간격(g2)은 가이드홈(125)의 폭(g1), 즉 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이의 간격(g1)보다 작을 수 있다. 제1 체결부(130)는 추후 설명되는 제2 레이어(20)의 제2 체결부(235)와 체결되어, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우 제1 레이어(10)가 제2 레이어(20)로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)는 대칭인 형상을 갖는다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 레이어(10)는 좌우 대칭인 형상을 갖는다. 이와 같은 구성으로 인해, 본 발명의 제1 탐침장치(10)는, 제1 레이어(10)를 통과하는 병렬의 평행인 전기적 경로가 대칭으로 형성되고, 피검사 대상물과의 우수한 접촉성을 달성하고, 비교적 낮은 접촉 저항을 가짐으로써, 전기적 특성이 향상될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 레이어(10)는 비대칭인 형상을 가질 수도 있다.

일 실시예에서, 제2 레이어(20)는 결합부(210), 제2 탐침부(230) 및 결합부(210)와 제2 탐침부(230)를 연결하는 탄성부(220)를 포함할 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 결합부(210)는 결합부(210)의 상측에서 돌출되는 적어도 하나의 제2 돌출부(211) 및 제2 돌출부(211)에 의해 정의되는 결합홈(212)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 돌출부(211)는 제2 방향(D2)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 도 1 내지 도 3에는 두 개의 제2 돌출부(211)가 제2 탐침부(210)에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않으며, 제2 돌출부(211)는 2 이상의 복수의 제2 돌출부(211)를 포함할 수 있다. 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 제1 레이어(10)가 결합홈(212)에 배치되어 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 크로스 결합될 수 있다.

탄성부(220)는 제2 레이어(20)의 길이 방향(예를 들어, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2))으로 신축 가능하게 형성된다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 탄성부(220)는 웨이브 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)는 균일한 또는 부분적으로 상이한 피치, 파고, 및/또는 파장을 갖는 웨이브 형상을 가질 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 탄성부(220)는 당업계에 공지된 스프링 형상을 가질 수 있으며, 제2 레이어(20)의 두께 방향으로 복수의 층으로 적층될 수도 있다. 예를 들어, 제2 탐침부(230)를 검사장치(도 7의 7) 상에 배치하고, 제1 탐침부(110)를 피검사 대상물(도 7의 5) 하부에 배치한 후에, 이를 가압하는 경우, 탄성부(220)가 신축 가능하여 탄성부(220)의 길이가 줄어들도록 형성됨으로써, 탄성부(220)는 검사장치 및 피검사 대상물과 접촉하는 과정에서 발생하는 충격을 흡수할 뿐만 아니라 피검사 대상물과 검사장치에 대한 충분한 접촉 압력을 제공하여 다수의 단자들과 우수한 접촉 성능을 제공할 수 있다.

제2 탐침부(230)는 돌출부(231) 및 제2 체결부(235)를 포함한다. 일 실시예에서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 탐침부(230)는 하나의 돌출부(231)를 포함할 수 있지만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 탐침부(230)의 돌출부(231)는 검사장치의 패드 또는 단자(도 7의 7 참조)와 접촉할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 돌출부(231)는 제1 방향(D1)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 돌출부(231)는 검사장치와 우수한 접촉 성능을 갖도록 뾰족한 산(mountain)과 같은 형상을 가질 수 있다.

제2 체결부(235)는 제1 체결부(130)와 체결되도록, 제1 체결부(130)에 부분적으로 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 체결부(130)가 가이드홈(125)을 향하는 방향으로 돌출되는 걸림돌기의 형태인 경우, 제2 체결부(235)는 제1 체결부(130)가 걸릴 수 있는 홀, 홈 등의 형상을 가질 수 있다. 도 1 내지 도 3에는 제2 체결부(235)가 홀의 형상을 갖도록 도시되어 있지만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 체결부(235)는 제1 체결부(130)가 체결될 수 있는 임의의 형상, 예를 들어 걸림턱의 형상을 가질 수 있다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)는 MEMS(Micro Electro mechanical System, 미세전자기계시스템) 공정을 이용하여 형성되어, 연속적으로 제조할 수 있고, 정밀하게 가공될 수 있다. 다만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 및 제2 레이어(10, 20)는 스탬핑(stamping), 프레스(press) 공정, 또는 에칭(etch) 공정 등의 당업계에 공지된 다양한 공정 및 이들을 조합한 공정을 통해 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)는 매우 얇은 스트립(strip) 형태로 형성될 수 있지만, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)의 각각은 일체형으로 모놀리식(monolithic) 구조로 형성될 수 있다. 즉, 제1 탐침부(110), 가이드부(120) 및 제1 체결부(130)는 일체형으로 형성될 수 있다. 또한, 결합부(210), 탄성부(220) 및 제2 탐침부(230)는 일체형으로 형성될 수 있다. 또한, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)의 각각은 동일한 물질을 사용하여 형성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)는 각각 균일한 두께(t1, t2)를 갖도록 형성될 수 있다. 제1 레이어(10) 및 제2 레이어(20)의 두께(t1, t2)는 서로 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다. 이와 같이, 탐침장치를 구성하는 구성요소(예를 들어, 부품)의 개수를 최소화하고, 제1 및 제2 레이어(10, 20)의 제조 공정을 간소화할 수 있도록 하여, 불량률을 낮추고, 제조 수율을 향상시키고 제조 비용을 저감할 수 있다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)는 결합될 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 레이어(20)의 결합부(210)가 제1 레이어(10)의 가이드홈(125)을 따라 제2 방향(D2)으로 슬라이딩되어 제1 레이어(10)에 삽입될 수 있다. 이 경우, 제1 레이어(10)가 결합부(210)의 결합홈(212)에 배치되어 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 크로스 결합될 수 있다. 또한, 제1 체결부(130)가 제2 체결부(235)와 체결되어, 제1 레이어(10)가 제2 레이어(20)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20) 간의 접촉 면적을 최대화하기 위해, 예를 들어, 결합홈(212)의 폭은 제1 레이어(10)의 두께(t1)과 동일할 수 있고, 제2 체결부(235)의 폭은 제1 체결부(130)의 두께(t1)과 동일할 수 있으나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 탄성부(220)가 가이드홈(125)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)는 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)는 가이드홈(125) 내에 배치되고 가이드부(120)(예를 들어, 제1 및 제2 가이드부(121, 122))에 의해 지지되어, 탄성부(220)가 제1 방향(D1)에 수직하는 방향, 예를 들어, 탄성부(220)의 두께(t2) 방향으로 휘는 것이 방지될 수 있다. 이로 인해 본 발명에 따른 탄성부(220)의 변형이 억제되어 탐침장치의 내구성이 향상될 수 있다. 일 실시예에서, 가이드부(120)의 탄성부(220)에 대한 지지력을 향상시키기 위하여, 탄성부(220)와 중첩하는 가이드부(120)는 더 큰 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 가이드부(121, 122)의 탄성부(220)와 중첩하는 부분의 폭(w4)은 탄성부(220)와 중첩하지 않는 부분의 폭(w3)보다 클 수 있다. 일 실시예에서, 탄성부(220)의 폭(w2)은 가이드부(120)의 두께(t1)보다 클 수 있다. 예를 들어, 탄성부(220)의 적어도 일부가 가이드홈(125)에 배치될 수 있다.

또한, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 탄성부(220)는 탄성부(220)와 마주하는 가이드부(120), 즉 제1 및 제2 가이드부(121, 122)의 내면과 접촉할 수 있다. 예를 들어, 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이의 간격(g1)(예를 들어, 제1 방향(D1)에 수직하는 방향으로의 제1 가이드부(121)와 제2 가이드부(122) 사이의 거리)은 탄성부(220)의 두께(t2)와 동일할 수 있다. 예를 들어, 가이드부(120)와 마주하는 탄성부(220)의 양면 중 가이드부(120)와 중첩하는 부분 전체가 가이드부(120)와 면접촉함으로써, 본 발명에 따른 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)의 결합 시에 항상 접점을 유지하고, 서로 간에 비교적 넓은 접촉 면적을 확보하여, 탐침장치의 접촉 특성 및 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.

일 실시예에서, 제1 탐침장치(1)는 볼 그리드 어레이(BGA, Ball Grid Array)용 탐침장치로 볼(예를 들어, 땜납볼)의 형상을 갖는 단자를 포함하는 피검사 대상물(도 7의 5 참조)을 검사하기 위한 것일 수 있다. 본 실시예의 경우, 제1 레이어(10)의 제1 탐침부(110) 뿐만 아니라, 제2 레이어(20)의 결합부(210)의 제2 돌출부(211) 또한 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 돌출부(111) 및 제2 돌출부(211)의 상측 단부는 모두 동일 평면 상에 위치할 수 있다.

또한, 도 1 및 도 3을 참조하면, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되는 경우, 제1 탐침장치(1)의 상측에서 봤을 때, 제1 탐침부(110)의 제1 돌출부(111) 및 결합부(210)의 제2 돌출부(211)는 함께 결합 중심축(C1)을 기준으로 대칭 형상을 이룰 수 있다. 이와 같은 구성으로 인해, 제1 및 제2 레이어(10, 20)를 통과하는 병렬의 대칭 평행하는 전기적 경로가 형성될 수 있다.

이와 같이, 제1 돌출부(111) 및 제2 돌출부(211)의 상측 단부가 모두 동일 평면 상에 위치하고, 대칭 형상을 이루는 경우, 예를 들어, 피검사 대상물의 단자(예를 들어, 볼)와 보다 안정적으로 접촉하고 접촉 면적을 최대화하여 접촉 저항을 줄이고, 탐침장치의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.

일 실시예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되기 이전에, 결합홈(212)의 하측 단부에서 제2 체결부(235)의 상측 단부까지의 길이(L2)는, 가이드홈(125)의 상측 단부에서 제1 체결부(130)의 상측 단부까지의 길이(L1)와 동일하거나 그보다 작다. 이와 같은 경우, 제1 체결부(130)가 제2 체결부(235)에 배치되어 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합될 때, 제1 체결부(130)의 상측 단부가 제2 체결부(235)의 상측 단부에 걸리거나 제2 체결부(235) 내에 배치되어 체결될 수 있다.

일 실시예에서, 제1 체결부(130)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l1)는 제2 체결부(235)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l2)보다 작다. 예를 들어, 제1 체결부(130)가 제2 체결부(235)에 배치되어 결합된 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 가압되는 경우, 탄성부(220)의 탄성력을 이용하여, 제1 체결부(130)의 하측 단부가 제2 체결부(235)의 하측 단부에 걸릴 때까지 이동할 수 있다. 이로 인해, 제1 체결부(130) 및 제2 체결부(235)는 제1 레이어(10)와 제2 레이저(20)가 서로로부터 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 서로에 대한 이동 범위를 제한하는 역할을 할 수 있다.

일 예에서, 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 가압되는 경우, 피검사 대상물의 단자(도 7의 5)와 검사장치(도 7의 7)의 패드 간의 거리에 따라 탄성부(220)가 수축되면서, 제1 체결부(130)의 상측 단부가 제2 체결부(235)의 상측 단부에 위치하는 제1 위치에서 제1 체결부(130)의 하측 단부가 제2 체결부(235)의 하측 단부에 위치하는 제2 위치까지 제1 체결부(130) 및 제2 체결부(235)가 서로에 대해 상대적으로 이동할 수 있다. 따라서, 제1 탐침부(110)가 피검사 대상물의 단자(5)에 그리고 제2 탐침부(230)가 검사장치(7)의 패드에 효과적으로 접촉하여, 충분한 접촉 압력 및 우수한 접촉 성능을 확보할 수 있다.

이하에서, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)를 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)의 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 탐침장치(2)의 분해 사시도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)의 상면도, 측면도 및 하면도이다. 간결성을 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 제1 탐침장치(1)에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 탐침장치(2)는 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)을 포함한다.

일 실시예에서, 제3 레이어(30)는 제3 탐침부(310) 및 제3 탐침부(310)의 일측에서 제1 방향(D1)으로 연장되는 가이드부(320)를 포함할 수 있다. 제3 탐침부(310)는 제3 탐침부(310)의 상측에서 돌출되는 적어도 하나의 제3 돌출부(311)를 포함한다. 가이드부(320)는, 제3 가이드부(321), 제4 가이드부(322) 및 가이드홈(325)을 포함할 수 있다. 또한, 가이드부(320)는 하측 단부에 배치되는 제3 체결부(330)를 포함할 수 있다.

본 실시예에 따른 제3 레이어(30)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제1 레이어(10)과 비교하여, 제3 돌출부(311)의 형상을 제외하고 실질적으로 유사하다. 따라서, 가이드부(320), 제3 및 제4 가이드부(321, 322), 및 제3 체결부(330)에 대한 설명은 도 1 내지 도 3과 관련하여 설명한 가이드부(120), 제1 및 제2 가이드부(121, 122) 및 제1 체결부(130)에 대한 설명을 각각 참조한다.

일 실시예에서, 제2 탐침장치(2)는 랜드 그리드 어레이(LGA, Land Grid Array)용 탐침장치로 랜드 형태를 갖는 단자를 포함하는 피검사 대상물(미도시)을 검사하기 위한 것일 수 있다. 본 실시예의 경우, 제3 탐침부(310)가 피검사 대상물의 단자(미도시)에 접촉하는 역할을 한다. 예를 들어, 제1 탐침장치(1)와 달리, 제3 레이어(30)의 제3 탐침부(310)의 제3 돌출부(311)만이 피검사 대상물의 단자와 접촉하고, 추후 설명되는 제4 레이어(40)의 결합부(410)의 제4 돌출부(411)는 피검사 대상물의 단자와 접촉하지 않는다.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 제3 돌출부(311)는 제3 탐침부(310)의 상측에서 돌출되며, 제2 방향(D2)을 따라 그 폭이 점차 줄어드는 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제3 돌출부(311)는 피검사 대상물의 랜드 형상의 단자와 우수한 접촉 성능을 갖도록 뾰족한 산(mountain)과 같은 형상을 가질 수 있다. 도 4 내지 도 6에는 하나의 제3 돌출부(311)가 제3 탐침부(310)에 배치되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않으며, 제3 돌출부(311)는 복수의 제3 돌출부(311)를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 제3 레이어(30)는 대칭인 형상을 갖는다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 제3 레이어(30)는 좌우 대칭인 형상을 갖는다. 이와 같은 구성으로 인해, 본 발명의 제2 탐침장치(2)는, 제3 및 제4 레이어(30, 40)를 통과하는 병렬의 평행인 전기적 경로가 대칭으로 형성되고, 피검사 대상물과의 우수한 접촉성을 달성하고, 비교적 낮은 접촉 저항을 가짐으로써, 전기적 특성이 향상될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 레이어(30)는 비대칭인 형상을 가질 수도 있다.

제4 레이어(40)는 결합부(410), 제4 탐침부(430) 및 결합부(410)와 제4 탐침부(430)를 연결하는 탄성부(420)를 포함할 수 있다. 결합부(410)는 제4 돌출부(411) 및 제4 돌출부(411)에 의해 정의되는 결합홈(412)을 포함한다. 제4 탐침부(430)는 돌출부(431) 및 제4 체결부(435)를 포함한다. 본 실시예에 따른 제4 레이어(40)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제2 레이어(20)와 실질적으로 유사하다. 따라서, 결합부(410), 탄성부(420) 및 제4 탐침부(430) 등에 대한 설명은 도 1 내지 도 3과 관련하여 설명한 결합부(210), 탄성부(220), 및 제2 탐침부(230) 및 대응하는 구성요소에 대한 설명을 각각 참조한다. 한편, 본 발명에 따르면, 제2 레이어(20) 및 제4 레이어(40)를 동일하게 형성하고, BGA 또는 LGA에 대응하여 제1 레이어(10)와 제3 레이어(30)를 교체하여 제조 부품의 개수를 줄이고, 제조 공정을 단순화할 수 있는 장점이 있다.

일 실시예에서, 제1 및 제2 레이어(10, 20)와 유사하게, 제3 및 제4 레이어(30, 40) 또한 MEMS 공정, 스탬핑 공정, 프레스 공정, 또는 에칭 공정 등을 통하여 형성될 수 있고, 각각 일체형으로 모놀리식 구조로 형성될 수 있다. 또한, 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)의 각각은 균일한 두께(t1, t2)를 갖도록 형성될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.

일 실시예에서, 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)가 결합될 수 있다. 본 실시예에서, 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제3 레이어(30) 및 제4 레이어(40)가 결합되는 경우, 제3 돌출부(311)의 상측 단부가 제4 돌출부(411)의 상측 단부보다 제2 방향(D2)으로 더 돌출된다는 점을 제외하고는, 제3 및 제4 레이어(30, 40)의 결합은 제1 및 제2 레이어(10, 20)의 결합과 실질적으로 유사하다. 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

이 경우, 도 4 및 도 6을 참조하면, 제2 탐침장치(2)의 상측에서 봤을 때, 제3 탐침부(310)의 제3 돌출부(311) 및 결합부(410)의 제4 돌출부(411)는 함께 결합 중심축(C2)을 기준으로 대칭 형상을 이룰 수 있다. 이와 같은 구성으로 인해, 피검사 대상물의 단자(예를 들어, 랜드)와 보다 안정적으로 접촉하고, 제3 및 제4 레이어(30, 40)를 통과하는 병렬의 평행하는 전기적 경로가 대칭으로 형성될 수 있어, 전기적 특성을 보다 향상시킬 수 있다.

이하에서, 본 발명에 따른 탐침장치의 전기적 경로에 대해서 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 제1 탐침장치(1)의 전기적 경로를 설명하기 위한 측면도이다. 도 7은 일 예시를 도시한 것으로, 도 4 내지 도 6의 제2 탐침장치(2)도 실질적으로 유사한 전기적 경로를 가질 수 있다.

도 1 내지 도 3 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탐침장치(1)는 피검사 대상물의 단자(예를 들어, 볼)(5)와 검사장치(7)의 패드(미도시) 사이에 배치된다. 예를 들어, 제1 탐침장치(1)의 제1 레이어(10)와 제2 레이어(20)가 결합되고, 상측 또는 하측에서 가압되는 경우, 피검사 대상물의 단자(5)와 검사장치(7)의 패드의 위치(예를 들어, 그 사이의 거리)에 따라 탄성부(220)가 수축되어, 제1 탐침부(110)가 피검사 대상물의 단자(5)에 그리고 제2 탐침부(230)가 검사장치(7)의 패드에 접촉될 수 있다.

일 실시예에서, 제1 탐침장치(1)의 제1 돌출부(111) 및 제2 돌출부(211)가 피검사 대상물의 단자(5)와 접촉할 수 있다. 이 경우, 제1 탐침장치(1)의 일 측에서 바라본 도 7을 참조하면, 전기적 신호는 각각의 제2 돌출부(211)를 통해 결합부(210), 탄성부(220) 및 제2 탐침부(230)를 통과하는 제1 경로(P1)(또한, 비록 도면에 도시되지 않았지만, 제1 경로(P1)에 대향하는 반대쪽 경로를 더 포함함) 및 각각의 제1 돌출부(111)를 통해 제1 탐침부(110), 가이드부(120) 및 제1 체결부(130)를 통과하여 제2 탐침부(230)로 전달되는 제2 경로(P2) 및 제3 경로(P3)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 탐침장치(1)를 통과하는 전기적 경로는 결합 중심축(Cx)(예를 들어, 도 3의 중심축(C1) 또는 도 6의 중심축(C2)과 동일할 수 있음)을 기준으로 대칭 병렬의 구조를 가질 수 있다.

이하에서, 도 8을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 탐침장치(3)를 설명한다. 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 탐침장치(3)의 사시도이다.

도 8의 제3 탐침장치(3)는, 제2 탐침부(230)의 제2-1 체결부(237)가 홈(groove, recess)의 형상으로 이루어져 있다는 점을 제외하고는 도 1의 탐침장치(1)와 실질적으로 유사하다. 간결성을 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 제1 탐침장치(1)에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.

본 실시예에서는, 도 8에 도시된 바와 같이, 제2-1 체결부(237)가, 제1 체결부(130)와 마주하는 제2 탐침부(230)의 양쪽 외면에 음각으로 형성된 홈의 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 걸림돌기의 형태를 갖는 제1 체결부(130)가 홈 형상을 갖는 제2-1 체결부(237)에 배치되어, 제1 체결부(130)와 제2-1 체결부(237)가 체결될 수 있다. 이 경우, 제2-1 체결부(237)와 마주하는 제1 체결부(130)의 단부가 제2-1 체결부(237)의 바닥면과 접촉함에 따라, 도 1 내지 도 3에 도시된 홀을 포함하는 제2 체결부(235)를 포함하는 제1 탐침장치(1)와 비교하여 보다 넓은 접촉 면적을 달성할 수 있기 때문에, 제3 탐침장치(3)의 전기적 특성이 제1 탐침장치(1)보다 더욱 향상될 수 있다.

도 8에는, 도 1 내지 도 3의 제1 탐침장치(1)의 제2 체결부(235)가 제2-1 체결부(237)로 대체된 것을 도시하였지만, 도 4 내지 도 6의 제2 탐침장치(2)의 제4 체결부(435)도 제2-1 체결부(237)로 대체되어 홈의 형상을 가질 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어, 제2 및 제4 탐침부(230, 430)는 양각으로 돌출된 걸림턱을 포함하는 체결부(미도시)를 포함하여 걸림돌기를 포함하는 제1 및 제3 체결부(130, 330)와 체결되는 등, 당업계에 공지된 다양한 체결수단을 이용할 수 있다.

이하에서, 도 9 및 도 10을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 탐침장치(4)를 설명한다. 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 탐침장치(4)의 사시도이다. 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 9의 제4 탐침장치(4)의 분해 사시도이다.

도 9 및 도 10의 제4 탐침장치(4)는, 제1 체결부(130) 대신 제5 체결부(537)를 포함하고, 제2 체결부(235) 대신 제6 체결부(639)를 포함한다는 점을 제외하고는 도 1의 탐침장치(1)와 실질적으로 유사하다. 예를 들어, 본 실시예에 따른 제5 레이어(50)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제1 레이어(10)와 비교하여, 제5 체결부(537)의 형상을 제외하고 실질적으로 유사하다. 또한, 본 실시예에 따른 제6 레이어(60)는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 제2 레이어(20)와 비교하여, 제6 체결부(639)의 형상을 제외하고 실질적으로 유사하다. 간결성을 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 제1 탐침장치(1)에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.

일 실시예에서, 제4 탐침장치(4)의 가이드부(520)의 하측 단부는 제5 체결부(537)를 포함하고, 제4 탐침장치(4)의 제6 탐침부(630)는 제6 체결부(639)를 포함한다. 예를 들어, 제5 가이드부(521) 및 제6 가이드부(522)의 각각은 제6 체결부(639)에 대응하는 위치에 제5 체결부(537)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제5 체결부(537)는 홈의 형상을 갖고, 제6 체결부(639)는 걸림돌기를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 결합되기 이전에, 결합홈(612)의 하측 단부에서 제6 체결부(639)의 하측 단부까지의 길이(L4)는, 가이드홈(525)의 상측 단부에서 제5 체결부(537)의 하측 단부까지의 길이(L3)와 동일하거나 그보다 작다. 이와 같은 경우, 제6 체결부(639)가 제5 체결부(537)에 배치되어 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 결합될 때, 제6 체결부(639)의 하측 단부가 제5 체결부(537)의 하측 단부에 걸리거나 제5 체결부(537) 내에 배치되어 체결될 수 있다.

일 실시예에서, 제6 체결부(639)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l4)는 제5 체결부(537)의 제1 방향(D1)으로의 길이(l3)보다 작다. 예를 들어, 제6 체결부(639)가 제5 체결부(537)에 배치되어 결합된 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 가압되는 경우, 탄성부(620)의 탄성력을 이용하여, 제6 체결부(639)의 상측 단부가 제5 체결부(537)의 상측 단부에 걸릴 때까지 이동할 수 있다. 이로 인해, 제5 체결부(537) 및 제6 체결부(639)는 제5 레이어(50)와 제2 레이저(60)가 서로로부터 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 서로에 대한 이동 범위를 제한하는 역할을 할 수 있다.

본 실시예에서, 제5 레이어(50)와 제6 레이어(60)가 가압되어 제6 체결부(639)의 상측 단부가 제5 체결부(537)의 상측 단부에 걸렸을 때, 제6 탐침부(630)의 하측 단부가 가이드부(520)의 하측 단부보다 제1 방향(D1)으로 돌출되어 검사장치(도 7의 7 참조)의 패드와 접촉할 수 있도록, 제5 체결부(537)와 제6 체결부(639)의 위치 및 길이가 결정되어 형성된다.

도 9 및 도 10에는, 도 1의 탐침장치(1)의 제1 및 제2 체결부(130, 235)가 제5 및 제6 체결부(537, 639)로 대체된 것을 도시하였지만, 도 4 내지 도 6의 제2 탐침장치(2)의 제3 및 제4 체결부(330, 435)가 제5 및 제6 체결부(537, 639)로 대체되도록 형성될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 당업계에 공지된 다양한 체결수단을 이용할 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1, 2, 3, 4: 제1, 제2, 제3, 제4 탐침장치
5: 피검사 대상물 단자 7: 검사장치
10, 20, 30, 40, 50, 60: 제1, 제2, 제3, 제4, 제5, 제6 레이어
110: 제1 탐침부 111: 제1 돌출부
120, 320, 520: 가이드부 121: 제1 가이드부
122: 제2 가이드부 125, 325, 525: 가이드홈
130: 제1 체결부 210, 410, 610: 결합부
211: 제2 돌출부 220, 420, 620; 탄성부
230: 제2 탐침부 235: 제2 체결부
310: 제3 탐침부 311: 제3 돌출부
321: 제3 가이드부 322: 제4 가이드부
330: 제3 체결부 411: 제4 돌출부
430: 제4 탐침부 435: 제4 체결부
537: 제5 체결부 639: 제6 체결부

Claims

피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 제1 탐침부 및 상기 제1 탐침부에서 제1 방향으로 연장되는 가이드부를 포함하는 제1 레이어; 및
상기 제1 레이어와 결합되는 결합부, 검사장치의 패드와 접촉할 수 있는 제2 탐침부 및 상기 결합부와 상기 제2 탐침부를 연결하는 탄성부를 포함하는 제2 레이어를 포함하고,
상기 제1 레이어의 가이드부는 상기 제1 방향으로의 일측에서 상기 가이드부의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드홈을 갖고,
상기 제2 레이어의 결합부가 상기 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어 상기 탄성부가 상기 가이드홈에 배치된 상태에서, 외부 압력에 따라 상기 탄성부가 상기 제1 방향으로 수축하며,
상기 탄성부가 수축할 때 상기 제1 레이어가 상기 검사장치의 패드와 접촉하지 않도록 상기 제1 레이어의 길이는 상기 제2 레이어의 길이보다 짧은 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 결합부는 피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어의 제1 탐침부는 일측에서 돌출되는 적어도 하나의 제1 돌출부를 포함하고,
상기 제2 레이어의 결합부는 일측에서 돌출되는 적어도 하나의 제2 돌출부 및 상기 제2 돌출부에 의해 정의되는 결합홈을 포함하고,
상기 제1 레이어가 상기 결합홈에 배치되어, 상기 제1 레이어와 상기 제2 레이어가 크로스 결합될 수 있는 탐침장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 레이어는 좌우대칭인 형상을 갖는 탐침장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 레이어가 상기 제2 레이어와 결합되는 경우, 상기 제1 돌출부의 일단부 및 상기 제2 돌출부의 일단부는 동일 평면 상에 위치하는 탐침장치.
제5항에 있어서,
상기 제2 돌출부는 피검사 대상물의 단자와 접촉하는 탐침장치.
제5항에 있어서,
상기 제1 레이어가 상기 제2 레이어와 결합되는 경우, 상기 제1 돌출부의 일단부와 상기 제2 돌출부의 일단부는 평면상에서 결합 중심축을 기준으로 대칭인 형상을 갖는 탐침장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 레이어가 상기 제2 레이어와 결합되는 경우, 상기 제1 돌출부의 일단부는, 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 상기 제2 돌출부의 일단부보다 더 돌출된 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어의 가이드부는 상기 제1 방향으로의 일측 단부에 배치되는 제1 체결부를 더 포함하고,
상기 제2 탐침부는 제2 체결부를 포함하고,
상기 제1 체결부와 상기 제2 체결부가 체결되어, 상기 제1 레이어가 상기 제2 레이어와 결합될 수 있는 탐침장치.
제9항에 있어서,
상기 제1 체결부는 걸림돌기를 포함하고, 상기 제2 체결부는 홈 또는 홀을 포함하고,
상기 제1 방향으로 상기 제1 체결부의 길이는 상기 제2 체결부의 길이보다 작은 탐침장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 레이어의 가이드부는 상기 제1 방향으로의 일측 단부에 배치되는 제1 체결부를 더 포함하고,
상기 제2 탐침부는 제2 체결부를 포함하고,
상기 제1 체결부는 걸림돌기를 포함하고, 상기 제2 체결부는 홈 또는 홀을 포함하며,
상기 제1 방향으로 상기 결합홈의 일단부에서 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 상기 제2 체결부의 일단부까지의 길이는, 상기 제2 방향으로 상기 가이드홈의 일단부에서 상기 제2 방향으로 상기 제1 체결부의 일단부까지의 길이와 같거나 작고,
상기 제1 체결부와 상기 제2 체결부가 체결되어, 상기 제1 레이어가 상기 제2 레이어와 결합될 수 있는 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 탄성부는 상기 탄성부와 마주하는 상기 가이드부의 내면과 접촉하는 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어의 가이드부는, 서로 대향하게 배치되어 상기 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고,
상기 제1 가이드부와 상기 제2 가이드부 간의 거리는 상기 제2 레이어의 상기 탄성부의 두께와 동일한 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 탄성부의 폭은 상기 가이드부의 두께보다 큰 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어의 가이드부는 서로 대향하게 배치되어 상기 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고,
상기 제1 가이드부 및 상기 제2 가이드부의 상기 탄성부와 중첩하는 부분은 상기 탄성부와 중첩하지 않는 부분보다 큰 폭을 갖는 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어 및 상기 제2 레이어는 각각 일체형으로 형성되는 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어 및 상기 제2 레이어는 각각 균일한 두께를 갖는 탐침장치.
제1항에 있어서, 상기 탄성부는 웨이브 형상을 갖는 탐침장치.
피검사 대상물의 단자와 접촉할 수 있는 제1 탐침부 및 상기 제1 탐침부에서 제1 방향으로 연장되는 가이드부를 포함하는 제1 레이어; 및
상기 제1 레이어와 결합되는 결합부, 검사장치의 패드와 접촉할 수 있는 제2 탐침부 및 상기 결합부와 상기 제2 탐침부를 연결하는 탄성부를 포함하는 제2 레이어를 포함하고,
상기 제1 레이어의 가이드부는, 서로 대향하게 배치되어 상기 가이드부의 길이 방향을 따라 연장되는 가이드홈을 정의하는 제1 가이드부 및 제2 가이드부를 포함하고,
상기 제2 레이어의 결합부가 상기 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어, 상기 탄성부가 상기 제1 가이드부와 상기 제2 가이드부 사이에 배치된 상태에서, 외부 압력에 따라 상기 탄성부가 상기 제1 방향으로 수축하며,
상기 탄성부가 수축할 때 상기 제1 레이어가 상기 검사장치의 패드와 접촉하지 않도록 상기 제1 레이어의 길이는 상기 제2 레이어의 길이보다 짧은 탐침장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 레이어의 가이드부는 상기 제1 방향으로의 일측 단부에 서로 마주하는 한 쌍의 제1 체결부를 더 포함하고,
상기 제2 레이어의 상기 제2 탐침부는 상기 한 쌍의 제1 체결부와 각각 마주하는 한 쌍의 제2 체결부를 포함하며,
상기 제2 레이어의 결합부가 상기 제1 레이어의 가이드홈을 따라 슬라이딩되어, 상기 탄성부가 상기 가이드홈에 배치되고, 상기 제1 체결부와 상기 제2 체결부가 각각 체결되며,
상기 제1 레이어는 좌우대칭인 형상을 갖는 탐침장치.