KR102577524B1 - 고효율 멀티플렉싱 - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명에 따른 방법이 사용될 수 있는 구성의 일례를 나타내는 입자 분류 장치의 등각도이다.
도 2는 도 1의 장치의 수직 횡단면도이다.
도 3은 도 1 및 2의 장치의 측정 시스템(28)의 본 발명에 따른 2개의 검출기 장치의 개략도이다.
도 4는 3가지 타입의 반사 영역을 구비한 도 3에 사용하기 위한 공간 변조기의 대표적인 섹션을 도시하고 있다.
도 4a는 측정 표면의 상이한 부분 상의 방사선 입사를 3개의 방향으로 지향시키기 위해 행으로 배치된 상이한 타입의 영역의 그래프를 도시하고 있다.
도 5는 고정 미러가 3개의 위치 사이에서 전환될 수 있는 가동형 미러로 대체된다는 점을 제외하고는, 도 4와 유사한 도면이다.
도 6은 3가지 타입의 굴절 영역을 갖는 공간 변조기의 대표적인 섹션을 도시하고 있다.
도 7은 단일 타입의 굴절 요소가 사용되고 있으며, 또한 굴절률을 변경하여 입사 방사선을 3개의 상이한 방향으로 지향시키기 위해 전기장이 인가되는 점을 제외하고는, 도 6과 유사한 도면이다.
도 8은 3가지 타입의 굴절 영역을 갖는 공간 변조기의 대표적인 섹션을 도시하고 있다.
도 9a는 회전 축선에 평행한 특징을 갖는 공간 인코더 디스크의 도면이다.
도 9b는 회전 축선과 직교하는 특징부를 갖는 공간 인코더 디스크의 도면이다.
도 10은 23채널 및 3개의 샘플링 모델에 대해 도 3에 도시된 구성을 사용한 수치 시뮬레이션에 기초하는, RMS 노이즈 대 컨벌루션의 그래프이다.
도 11은 23채널인 경우보다 더 큰 실제 적용을 갖는 127채널에 대해 계산이 이루어진 점을 제외하고는, 도 10과 유사한 그래프이다.
도 12는 검출기 개수의 함수로서 127채널 시스템에 대한 RMS 노이즈의 의존성을 나타내는 RMS 노이즈 대 컨볼루션의 그래프이다.
도 13은 정속으로 이동하는 127채널을 구비하는 공간 변조기에 대한, RMS 노이즈 대 듀티 사이클의 도표이다.
도 14는 기본 샘플링 주파수의 처음 10개의 고조파에 대해 3개의 검출기 및 23채널을 구비한 시스템에 대한, RMS 노이즈 대 듀티 사이클의 도표이다.
도 15는 본 발명을 사용하는 3개의 검출기를 구비한 비행 시간 질량 분광계의 개략도이다.
도 16은 본 발명을 사용하여 형광 붕괴를 측정하기 위한 시스템의 개략도를 도시하고 있다.
도 17은 본 발명을 사용하는 플로우 셀을 위한 시스템의 개략도를 도시하고 있다.
도 18a는 본 발명의 측정 프로세스에 사용된 가중 함수의 개략도를 도시하고 있다.
도 18b는 측정될 종속 파라미터의 개략도를 도시하고 있다.
도 18c는 도 18b의 종속 파라미터의 적분 세기의 개략도를 도시하고 있다.
도 19a는 본 발명의 예시적인 가중 함수를 도시하고 있다.
도 19b는 본 발명의 예시적인 가중 함수를 도시하고 있다.
도 19c는 본 발명의 예시적인 가중 함수를 도시하고 있다.
도 20a는 본 발명의 가중 함수에 대한 상대 운동의 효과를 도시하고 있다.
도 20b는 본 발명의 가장 일반적인 가중 함수의 예를 도시하고 있다.
Claims (39)
- 독립 변수의 간격 내에서 입사 방사선의 하나 이상의 변수를 측정하기위한 방법으로서, 상기 하나 이상의 변수는 상기 독립 변수에 의존하여 변경하는, 상기 방법에 있어서,
측정될 입사 방사선을 수집하는 단계;
공간 변조기 또는 시간 변조기를 사용하여 각각의 간격에서 절반 이상의 입사 방사선을 적어도 2 개의 개별 경로 중 하나로 지향시키는 단계로서, 상기 변조기는 시컨스의 각 부재가 간격 내에서 입사 방사선의 상이한 조합을 각 경로로 지향하도록 일련의 구성을 겪는, 지향 단계;
여기서, 모든 개별 경로에 대한 방사선 세기의 합은 전체 입사 방사선의 적어도 60 % 이고;
복수의 검출기 출력을 제공하기 위해 각각의 변조기 구성을 위한 검출기로 각각의 경로에서 방사선의 전체 세기를 측정하는 단계; 및
측정될 방사선의 종속 변수에 관한 정보를 얻기 위해 검출기 출력을 통계적으로 분석하는 단계를 포함하는, 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 변조기는 일련의 M 구성을 순환하며, 각 구성에서 방사선이 변조기에 입사되는 위치 및 시간에 따라 입사 방사선을 N 부분으로 분할하고, 입사 방사선의 각 부분의 적어도 50%를 P 고유 경로 중 하나로 지향시키며, 여기서 P는 2보다 크거나 같고 N보다 작으며, M은 N보다 크거나 같고, 변조기 구성 시컨스는 각각의 부분의 적어도 50%가 상이한 경로로 향하는 적어도 2 개의 구성을 포함하는, 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 방사선은 소스 위치, 파장, 위상 또는 편광에 의해 공간적으로 분리되고, 측정 표면으로 특성화될 N > 2의 상이한 영역으로 지향되고, 변조기는 상기 측정 표면에 배치된 공간 변조기인, 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 방사선은 상기 시컨스에 따라 변조되는 게이트 변조기를 사용하여 N > 2 부분으로 일시적으로 분할되는, 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 변조기의 구성 시컨스는, 구성 시컨스 Z의 매트릭스 표현이 ZTZ가 비-단일 특성을 갖도록 선택되고; 여기서 Z는 MP 행과 N 열을 가지며, Z의 각 행은 하나의 검출기에서의 측정을 나타내고, Z의 각 열은 독립 파라미터의 하나의 범위를 나타내고, Z의 요소는 상기 행에 대한 각 범위로부터의 입자 플럭스의 분율을 나타내는, 방법. - 제 5 항에 있어서,
Z의 적어도 하나의 요소는 정수가 아닌, 방법. - 제 5 항에 있어서,
컨볼루션의 적용에 의해, 인코딩 패턴은 2진(binary)도 아니고 직교하지도 않는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 방사선은 소스 위치, 파장, 위상 또는 편광의 세트로부터 선택된 독립 특성에 의해 공간적으로 분리되고, 측정 표면으로 특성화될 N > 2의 상이한 영역으로 지향되며, 상기 변조기는 상기 측정 표면에 배치된 공간 변조기인, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 방사선은, 독립 특성이 시간인, 상기 독립 특성에 의해 상이한 경로상에서 분리되고, 상기 방사선은 게이트 변조기를 사용하여 시간적으로 분리되는, 방법. - 제 9 항에 있어서,
상기 변조기의 상이한 구성의 수는 상기 독립 특성의 분할 수보다 크거나 같은, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변조기 구성 시컨스는, 분할 내의 방사선의 적어도 50%가 상이한 경로로 지향되는, 각 분할에 대한 적어도 2 개의 구성을 포함하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 경로는 복수의 검출기를 가지며, 각각의 검출기는 상이한 에너지 범위 내에서 경로를 따라 진행하는 방사선을 측정하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 경로는 복수의 검출기를 가지며 하나의 경로상의 각각의 검출기는 상이한 원래 영역으로부터의 방사선을 측정하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
측정될 방사선은, 분산 분광계; 푸리에 변환 분광계; 이미징 분광계; 간섭 패턴; 회절계; 라만 산란으로부터; 그레인 커널, 비행 시간 질량 분광계, 형광 디케이, 유체 흐름을 측정하기 위한 플로우 셀, 분석중인 입자로부터 반사된 광, 진동 활성화된 고체 물질로부터 반사된 방사선에 의해 생성된 간섭 패턴, 및 기준 표면으로부터 반사된 방사선 중 하나로부터의 것인, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공간 변조기는 굴절, 반사, 회절 중 하나인, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 경로상의 검출기는 아날로그 전압을 생성하고, 상기 아날로그 전압은 디지털 형태로의 변환 이전에 감산된 기본 전압 레벨을 갖는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변조기는 적어도 두 개의 개별 영역을 갖는 베이스 마스크의 순환 순열을 생성하는, 방법. - 제 17 항에 있어서,
각 측정 영역에 대해 각각의 개별 방향으로 지향하는 방사선의 분율은, 마스크 영역이 방사선을 그 방향으로 지향하는 시간 계량 기하 분율로서 계산되는, 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 변조기는 상기 베이스 마스크의 순환 순열을 생성하고, 마스크 특성의 적어도 일부는 측정 기간 동안 상기 마스크의 움직임에 의해 결정되는, 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 변조기의 적어도 하나의 요소는 적어도 두 개의 다른 구성을 갖는, 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 변조기는 동적 토플리츠 마스크를 포함하고, 해상도는 샘플링 속도를 변경함으로써 변화되는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 검출기 출력은 검출기 출력의 합으로 정규화되는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
측정될 방사선의 특성은 다변량 최소 제곱 분석에 의해 수득되는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
측정될 방사선의 정보는 원시 검출기 출력 또는 정규화된 검출기 출력의 다변량 통계 분석에 의해 수득되는 것인, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
측정될 방사선의 정보는 원시 검출기 출력 또는 정규화된 검출기 출력의 상관 분석에 의해 획득되는 것인, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
N 영역을 갖는 방사선 패턴은 스펙트럼에서 더 적은 수 m 개의 잠재 변수를 찾기 위해 통계 분석에 의해 분석되고; m 개의 측정을 수행하고, 통계 분석을 사용하여 각 잠재 변수의 값을 추론하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
모든 검출기에 대해 합산된 방사선의 총 세기는 공간 변조기 구성 중 적어도 일부에 대해 변하고; 각각의 변조기 구성에서, 원시 세기 값이 각각의 검출기에서 생성되고; 여기서 변조기 구성에 대한 총 세기는 C = SUM(검출기 세기 di)이며, 데이터 벡터는 di'= di/C 값으로 로드되어, 이러한 정규화는 세기의 변화를 보상하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
대역통과 필터는 분석 시스템을 위한 경계 조건을 설정하기 위해 측정 시스템을 통해 전파되는 파장의 범위를 제한하는, 방법. - 제 28 항에 있어서,
상기 대역통과 필터는 특정 분석물의 측정에 그 스펙트럼 대역의 중요성에 비례하여 상이한 스펙트럼 대역의 전송을 가중함으로써 특정 분석물의 측정 시스템의 측정을 위한 기구 감도를 최적화하는데 사용되는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 방사선의 세기는 복수의 샘플 각각에 대해 변하고, 각각의 시간 샘플에서, 원시 세기 값이 제 1 검출기 A 및 제 2 검출기 B에서 생성되며, 여기서 시간 단계에서의 총 세기는 C = A+B이고, 여기서 데이터 벡터는 값 a' = A/C 및 b'=B/C로 로드되어, 이러한 정규화는 세기의 변화를 보상하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 입사 방사선을 N 개의 패킷으로 분할하는 단계를 포함하고, 각 패킷은 제 1 특성의 상이한 값을 갖는 방사선을 포함하며; 시간적 또는 공간적 변조기를 사용하여 상기 패킷을 시간적 또는 공간적으로 분리하고, 입사 방사선 패킷의 적어도 N 개의 상이한 조합을 적어도 2 개의 개별 경로로 보내도록 변조 시퀀스를 사용하여 변조기를 변화시키고; 각 측정에서 각각의 검출기에 의해 수신된 전체 세기에 대한 각 대역의 시간 가중 기여도를 추정하는 단계, 및 시간 가중 기여도를 명시적으로 모델링하기 위해 Z 매트릭스의 계수를 설정하는 단계를 포함하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공간 변조기 및 관련 광학계 및 검출기는 측정될 방사선 소스에 대해 상대 운동하고, 상기 상대 운동은 원하는 변조를 생성하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변조기는 일련의 M 구성을 순환하며, 각 구성에서 방사선이 변조기에 입사되는 위치에 따라 입사 방사선을 N 부분으로 분할하고, 입사 방사선의 각 부분의 적어도 50%를 P 고유 경로 중 하나로 지향시키며, 여기서 P는 2보다 크거나 같고 N보다 작으며, M은 N보다 크거나 같고, 변조기 구성 시컨스는 각각의 부분의 적어도 50%가 상이한 경로로 향하는 적어도 2 개의 구성을 포함하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변조기는 일련의 M 구성을 순환하며, 각 구성에서 방사선이 변조기에 입사되는 시간에 따라 입사 방사선을 N 부분으로 분할하고, 입사 방사선의 각 부분의 적어도 50%를 P 고유 경로 중 하나로 지향시키며, 여기서 P는 2보다 크거나 같고 N보다 작으며, M은 N보다 크거나 같고, 변조기 구성 시컨스는 각각의 부분의 적어도 50%가 상이한 경로로 향하는 적어도 2 개의 구성을 포함하는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 변조기는 유니티(unity) 패킹 분율을 제공하는 영역들 사이의 갭(gap) 없이 배치되는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공간 변조기는 각 측정 기간 동안 고정 구성으로 유지되는, 방법. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공간 변조기는 측정될 공간 가변 입자 플럭스에 대해 상대 운동 상태에 있고, 각각의 영역으로부터의 상기 입자 플럭스는 하나의 측정 사이클 동안 각각의 검출기에 대한 변조기 영역의 상대적 시간 가중된 기하학적 단면에 따라 상이한 검출기로 보내지는, 방법.
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