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KR102558918B1 - 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법 - Google Patents

캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법 Download PDF

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KR102558918B1
KR102558918B1 KR1020180061521A KR20180061521A KR102558918B1 KR 102558918 B1 KR102558918 B1 KR 102558918B1 KR 1020180061521 A KR1020180061521 A KR 1020180061521A KR 20180061521 A KR20180061521 A KR 20180061521A KR 102558918 B1 KR102558918 B1 KR 102558918B1
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KR
South Korea
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carrier substrate
adhesive
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flexible
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고광만
금민종
황철주
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주성엔지니어링(주)
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Abstract

본 발명은 상부 면에 패턴이 형성되어 있어서 플렉시블 표시장치 제조 과정에서 상부면에 점착되는 점착제를 용이하게 제거할 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법에 의하면 점착제가 부착되는 캐리어 기판의 상부 면에 패턴을 형성함으로써 플렉시블 표시장치 제조 후 점착제를 캐리어 기판으로부터 용이하게 제거할 수 있는 효과가 있으며, 또한 캐리어 기판의 손상 없이 점착제를 용이하게 제거함으로써 캐리어 기판의 수명을 연장시키고 전체 제조 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법{carrier substrate and manufacturing method for organic electronic device using the same}
본 발명은 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부 면에 패턴이 형성되어 있어서 플렉시블 표시장치 제조 과정에서 상부면에 점착되는 점착제를 용이하게 제거할 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
대량의 정보를 처리 및 표시하는 다양한 표시장치(display device)가 개발되고 있다. 특히, 최근 들어 기존의 유연성 없는 유리기판 대신 플라스틱 필름과 같은 유연성 있는 재료를 사용하여 종이처럼 휘어지면서도 표시성능을 그대로 유지할 수 있도록 제조된 플렉시블(flexible) 표시장치가 각광받고 있다.
그러나 플라스틱 필름을 이용한 표시장치의 경우 잘 휘어지며 열에 약한 특성으로 인해 기존의 유리 기판을 이용한 표시장치와 달리 로봇에 의한 반송공정 등과 같은 종래의 표시장치 제조 공정을 그대로 적용시킬 수 없는 문제가 있다.
이러한 문제를 극복하기 위해 유리기판 위에 점착제를 부착하고 그 위에 플라스틱 필름 부착하여 반송 공정이 가능하도록 한 후 일반적인 표시장치 제조공정을 진행하여 플렉시블 표시장치를 제조하는 방법이 고안되었다.
도 1은 종래의 플렉시블 표시장치 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 플렉서블 표시장치의 제조 방법은 크게 점착공정(S10), 표시소자 형성공정(S20) 및 박리공정(S30)으로 나뉘어 진행되고 있다.
점착공정(S10)은 캐리어 기판의 상부에 점착제를 부착하고 그 위에 플렉시블 표시장치의 기판인 플라스틱 필름을 부착하는 공정이다. 상기 점착공정(S10)을 통해 캐리어 기판에 고정된 플라스틱 필름 상에서는 이후에 진행되는 표시소자 형성공정(S20)이 안정적으로 진행될 수 있게 된다.
이어서 상기 표시소자 형성 공정(S20)은 플라스틱 필름 상에 플렉서블 표시장치를 구성하는 각종 구성요소를 형성하는 공정을 포함한다.
다음으로, 상기 박리공정(S30)은 표시소자 형성공정(S20)을 통해 화상표시를 위한 구성요소 등이 형성된 상기 플라스틱 필름을 상기 캐리어 기판으로부터 분리시키는 공정이다.
상기한 공정을 통해 플렉서블 표시장치를 제조한 후에는 상기 캐리어 기판의 재사용을 위해 상기 캐리어 기판에 남아있는 점착제를 제거하는 점착제 제거공정(S40)이 필수적이다.
그러나 캐리어 기판에 경화되어 달라붙은 점착제를 제거하는 것이 용이하지 아니하며 점착제를 제거하는 과정에서 캐리어 기판에 스트레스가 집중되어 캐리어 기판의 수명을 단축시키는 문제가 있었다. 이에 따라, 캐리어 기판에 경화되어 달라붙은 점착제를 용이하게 제거할 수 있는 기술 개발이 요구되어 왔다.
도 2는 종래의 플렉시블 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 2를 참조하면 캐리어 기판(210)의 상부에 점착제(220)가 부착되어 있고 상기 점착제(220)의 상부에 플렉시블 기판(230)이 형성되어 있으며, 플렉시블 기판(230)의 상부에 표시소자(240)가 형성되며, 상기 캐리어 기판(210)에는 복수의 원형 관통공(250)이 형성되어 있음을 알 수 있다.
여기서, 원형 관통공(250)은 상기 점착제(220)를 상기 캐리어 기판(210)으로부터 분리할 때 점착제에 대한 유기용매의 침투를 용이하게 하고 상기 유기용매에 의해 용해된 점착제가 보다 용이하게 배출될 수 있도록 하는 역할을 한다.
그러나 이와 같이 캐리어 기판에 관통공을 형성하는 경우 관통공 형성 공정으로 인해 캐리어 기판 제작에 소요되는 비용이 증가하는 문제가 있다. 또한 점착공정 수행 시 점착제가 관통공을 통해 빠져나올 수 있으며 이로 인해 점착제에 형성되는 플렉시블 기판의 형상 및 기능에 불균형이 발생할 수 있다.
또한 관통공이 있는 부분의 플렉시블 기판과 관통공 주변의 플렉시블 기판의 온도에 차이가 발생할 수 있어서 플렉시블 기판 위에 형성되는 표시소자들의 성능에도 영향을 미치게 되는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 점착제가 부착되는 캐리어 기판의 상부 면에 패턴을 형성함으로써 플렉시블 표시장치 제조 후 점착제를 캐리어 기판으로부터 용이하게 제거할 수 있도록 한 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 해결하기 위한 본 발명의 캐리어 기판은, 상부에 부착된 점착제에 부착되는 플렉시블 기판을 지지하여 플렉시블 표시장치를 형성하는데 사용되는 캐리어 기판에 있어서, 상기 캐리어 기판은 일면 및 타면을 포함하고, 상기 점착제가 도포될 일면에는 패턴이 형성된 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 해결하기 위한 본 발명의 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법은, 일면에 복수의 요부 또는 복수의 음각부가 형성된 캐리어 기판을 준비하는 캐리어 기판 준비 단계; 플렉시블 기판을 준비하는 플렉시블 기판 준비 단계; 상기 캐리어 기판 상에 점착제를 도포하는 점착제 도포단계; 상기 캐리어 기판과 상기 플렉시블 기판을 점착하는 점착단계; 상기 플렉시블 기판 위에 표시소자를 형성하는 표시소자 형성단계; 및 상기 표시소자가 형성된 플렉시블 기판을 분리하는 기판 분리단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법에 의하면, 점착제가 부착되는 캐리어 기판의 상부 면에 패턴을 형성함으로써 플렉시블 표시장치 제조 후 점착제를 캐리어 기판으로부터 용이하게 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 캐리어 기판의 경우 캐리어 기판의 손상 없이 점착제를 용이하게 제거함으로써 캐리어 기판의 수명을 연장시키고 전체 제조 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 플렉시블 표시장치 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 2는 종래의 플렉시블 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 캐리어 기판에 플렉시블 기판이 적층된 것을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 캐리어 기판에 플렉시블 기판이 적층된 것을 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 캐리어 기판에 형성된 패턴의 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 캐리어 기판에 형성된 패턴의 다른 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 캐리어 기판에 형성된 패턴의 다른 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 캐리어 기판에 형성된 패턴의 다른 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 캐리어 기판에 형성된 패턴의 다른 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명에 따른 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법을 나타내는 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참고하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 각 도면에 제시된 참조부호들 중 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하에서는 본 발명의 실시 예를 도면을 중심으로 설명하고, 이에 기초하여 실시예의 다양한 변형이 가능하다. 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명의 특허청구범위에 의해 정해지고, 특허청구범위의 해석을 위해 균등론이 적용되어야 한다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 캐리어 기판에 플렉시블 기판이 적층된 것을 나타내는 단면도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 캐리어 기판(310)은 플렉시블 기판(330)을 고정시키기 위해 상부 면에 점착제(320)가 부착되며, 점착제가 부착되는 면에는 패턴(350)이 형성된 구조임을 알 수 있다.
이때 상기 패턴(350)은 도 3에 도시된 바와 같이 기판 내부에 복수의 음각부의 형태로 형성될 수도 있고 도 4에 도시된 바와 같이 기판 상에 복수의 요부의 형태로 형성될 수도 있다.
본 발명에 따른 캐리어 기판(310)은 플렉시블 표시장치의 형성 공정시 플렉시블 기판(330) 상에 화상 표시소자(340)를 일반적인 표시소자 형성공정에 따라 형성할 수 있도록 하기 위해 상기 플렉시블 기판(330)을 지지하는 기판으로 유리기판, 실리콘 기판 또는 금속 기판이 사용될 수 있다.
점착제(320)가 부착되는 영역의 면적은 캐리어 기판(310)의 면적과 동일하게 할 수 있으며, 점착제 제거 공정을 용이하게 하기 위해 캐리어 기판의 면적보다 작게 할 수도 있다.
이때 점착제(320)가 부착되는 캐리어 기판(310)의 상부 면에 형성된 패턴(350)은 캐리어 기판(310)과 점착제(320) 사이의 점착력을 감소시켜 플렉시블 표시장치 제조 이후 캐리어 기판(310)으로부터 점착제(320)를 제거하는 공정을 용이하게 해주는 역할을 한다.
도 5 내지 도 9는 도 3에 의한 본 발명에 따른 캐리어 기판에 복수의 음각부 형태로 형성된 패턴의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다. 도면으로 도시하지는 않았지만 도 4에 의한 본 발명에 따른 캐리어 기판에 복수의 요부 형태로 형성된 패턴의 다양한 실시예가 사용될 수 있음은 당연하다.
도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이 상기 패턴(350)의 형상은 캐리어 기판의 상부 평면에서 관찰할 때 원형이나, 다각형의 홈 형태로 형성할 수 있고, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이 또는 슬릿 형상의 홈 형태로 다양하게 형성할 수도 있다. 이때 슬릿은 점착제의 분리가 진행되는 방향으로 형성되거나 진행 방향에 수직인 방향으로 형성될 수 있다. 또한 슬릿은 점착제의 분리가 진행되는 방향과 수직방향, 수평방향 및 사선방향 중 어느 하나이거나 둘 이상을 조합한 형태로도 형성될 수 있다.
또한 상기 패턴(350)은 원형이나, 다각형 및 슬릿 형상의 홈 형태로 구현하는 것뿐만 아니라 캐리어 기판 표면의 표면 조도(surface roughness)를 달리하여 구현할 수도 있다.
표면 조도는 캐리어 기판 표면의 미세한 요철(凹凸)의 정도를 말하는 것으로 표면조도가 거칠수록 점착제와 캐리어 기판(310)의 점착력이 감소되고 이에 따라 캐리어 기판(310)으로부터 점착제(320)를 제거하는 공정을 용이하게 할 수 있다.
한편, 캐리어 기판에서 점착제를 분리하는 과정 중에서 캐리어 기판에 가장 많은 손상이 가해지는 단계는 분리수단을 이용하여 캐리어 기판과 점착제의 점착면에서 점착제를 분리하기 시작하는 순간이다.
이에 따라 도 9에 도시된 바와 같이 패턴을 캐리어 기판의 전체 면에 걸쳐 고르게 형성하는 것 보다는 다른 부분에 비해 상기 점착제의 분리 공정이 시작되는 부분에서 패턴을 보다 더 조밀하게 형성함으로써 좀더 용이하게 점착제의 분리공정을 시작할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 이때 상기 점착제의 분리 공정이 시작되는 부분의 패턴을 다른 부분에 비해 1.2배 내지 2배 정도 더 조밀하게 형성하는 경우 점착제의 분리를 좀더 효과적으로 수행할 수 있다.
이때 패턴과 패턴 사이의 간격, 즉, 요부와 인접한 요부 사이의 간격 또는 음각부와 인접한 음각부 사이의 간격은 1cm 내지 5cm 인 것이 바람직하다.
패턴 사이의 간격이 너무 좁을 경우 점착제와 캐리어 기판의 점착력이 너무 약해 캐리어 기판의 기능을 수행하기 어렵고 패턴 사이의 간격이 너무 넓을 경우에는 점착제와 캐리어 기판의 점착력이 너무 강해서 나중에 점착제를 제거하는 것이 용이하지 않게 된다.
한편, 각각의 요부 또는 음각부의 폭은 1mm 내지 5mm인 것이 바람직하고, 상기 요부의 높이 또는 상기 음각부의 깊이는 0.1mm 내지 0.4mm인 것이 바람직하다.
패턴 자체의 폭이나 깊이가 너무 넓거나 깊을 경우 점착제와 캐리어 기판의 점착력이 너무 약해 캐리어 기판의 기능을 수행하기 어렵고 패턴 자체의 폭이나 깊이가 너무 좁거나 얕을 경우 경우에는 점착제와 캐리어 기판의 점착력이 너무 강해서 나중에 점착제를 제거하는 것이 용이하지 않기 때문이다.
도 10은 본 발명에 따른 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법을 나타내는 흐름도이다.
본 발명에 따른 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법은 캐리어 기판 준비단계(S100), 플렉시블 기판 준비단계(S200), 점착제 도포단계(S300), 점착단계(S400), 표시소자 형성단계(S500) 및 기판 분리단계(S600)를 포함한다.
캐리어 기판 준비단계(S100)에서는 일면에 복수의 요부 또는 복수의 음각부 형태로 패턴이 형성된 캐리어 기판을 준비한다. 캐리어 기판에 형성된 복수의 요부 또는 복수의 음각부 형태의 패턴은 캐리어 기판과 점착제 사이의 점착력을 감소시켜 플렉시블 표시장치 제조 이후 캐리어 기판으로부터 점착제를 제거하는 공정을 용이하게 해주는 역할을 한다. 요부 또는 음각부는 평면에서 관찰할 때 원형이나 다각형 또는 슬릿 형상 중 어느 하나로 다양하게 형성할 수 있다.
이어 플렉시블 기판을 준비하고(S200), 상기 점착제 도포단계(S300)에서는 상기 패턴이 형성된 캐리어 기판의 일면에 점착제를 도포한다. 이때 상기 캐리어 기판의 일면에 형성된 복수의 요부 또는 복수의 음각부로 인해 상기 캐리어 기판의 일면과 상기 점착제 사이에 공간이 형성될 수 있다.
이어서 상기 점착단계(S400)에서는 상기 캐리어 기판과 상기 플렉시블 기판을 점착한다. 이때 플렉시블 기판으로는 유연성을 갖는 플라스틱 필름인 폴리이미드(PI) 필름, 폴리에틸렌 나트탈레이트(Polyethylene Naphthalate: PEN)필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate: PET)필름, 폴리카보네이트(Polycarbonate:PC) 필름, 폴리에테르 술폰 (Polyether Sulfone: PES)필름 등이 사용될 수 있다.
이후 표시소자 형성단계(S500)에서는 상기 플렉시블 기판 상에 표시소자를 형성하는 단계이다. 이때 플렉시블 기판에는 유기발광소자, 유기태양전지, 유기 감광체 또는 유기 트랜지스터 등의 표시소자가 형성될 수 있다.
기판 분리단계(S600)는 표시소자 형성단계(S500)을 통해 표시소자들이 형성된 플렉시블 기판을 캐리어 기판으로부터 분리시키는 단계이다. 유연성을 갖는 플렉시블 표시장치를 제조하기 위해서는 캐리어 기판으로부터 플렉시블 기판을 분리하는 기판 분리단계(S600)가 필수적이다.
한편, 기판 분리단계(S600)가 완료된 후에도 캐리어 기판의 상부 면에는 여전히 점착제가 부착되어 있다. 따라서 캐리어 기판의 재사용을 위해서는 점착제를 제거하는 점착제 분리단계(S700)가 요구된다.
일반적으로 캐리어 기판에 부착되어 경화된 점착제를 캐리어 기판으로부터 제거하는데 많은 시간과 비용이 소요된다. 그러나 본 발명의 경우 캐리어 기판의 상부 면에 형성된 패턴으로 인해 점착제와 캐리어 기판 사이의 점착력이 감소되었고 이로 인해 캐리어 기판으로부터 용이하게 점착제를 제거할 수 있게 된다.
이와 같이 캐리어 기판으로부터 용이하게 점착제를 제거함으로써 점착제 제거 과정에서 캐리어 기판에 가해지는 스트레스를 감소시킬 수 있으며 이로 인해 캐리어 기판의 수명을 연장시킬 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 도면들에 도시된 실시예들을 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이들로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
310 : 캐리어 기판 320 : 점착제
330 : 플렉시블 기판 340 : 표시소자
350 : 패턴

Claims (15)

  1. 상부에 부착된 점착제에 부착되는 플렉시블 기판을 지지하여 플렉시블 표시장치를 형성하는데 사용되는 캐리어 기판에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 일면 및 타면을 포함하고,
    상기 점착제가 도포될 일면에는 패턴이 형성되며,
    상기 패턴은
    복수의 요부 또는 복수의 음각부이고,
    상기 복수의 요부 또는 복수의 음각부는
    상기 점착제의 분리가 끝나는 부분보다 상기 점착제의 분리가 시작되는 부분에 더욱 조밀하게 형성된 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 요부 또는 음각부는
    평면에서 관찰할 때 원형, 다각형, 슬릿 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  4. 제1항에 있어서, 상기 요부 또는 음각부는
    상기 점착제의 분리가 진행되는 방향으로 형성되거나, 수직한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  5. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 기판은
    유리 기판, 실리콘 기판 또는 금속 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  6. 제1항에 있어서, 상기 요부 또는 음각부는
    상기 점착제의 분리가 진행되는 방향과 수직 방향, 수평 방향 및 사선방향 중 어느 하나이거나 둘 이상을 조합한 슬릿 형태인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서
    상기 요부와 인접한 요부 사이의 간격 또는 상기 음각부와 인접한 음각부 사이의 간격은 1cm 내지 5cm인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  9. 제1항에 있어서
    상기 요부의 폭 또는 상기 음각부의 폭은 1mm 내지 5mm인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  10. 제1항에 있어서
    상기 요부의 높이 또는 상기 음각부의 깊이는 O.1mm 내지 O.4mm인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  11. 일면에 복수의 요부 또는 복수의 음각부가 형성된 캐리어 기판을 준비하는 캐리어 기판 준비 단계;
    플렉시블 기판을 준비하는 플렉시블 기판 준비 단계;
    상기 캐리어 기판 상에 점착제를 도포하는 점착제 도포단계;
    상기 캐리어 기판과 상기 플렉시블 기판을 점착하는 점착단계;
    상기 플렉시블 기판 위에 표시소자를 형성하는 표시소자 형성단계;
    상기 표시소자가 형성된 플렉시블 기판을 분리하는 기판 분리단계; 및
    상기 점착제를 상기 캐리어 기판으로부터 분리하는 점착제 분리단계;를 포함하되,
    상기 복수의 요부 또는 복수의 음각부는
    상기 점착제의 분리가 끝나는 부분보다 상기 점착제의 분리가 시작되는 부분에 더욱 조밀하게 형성된 것을 특징으로 하는 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치 제조방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 점착제 도포단계는
    상기 캐리어 기판의 일면에 형성된 복수의 요부 또는 복수의 음각부 내부에서 상기 캐리어 기판의 일면과 상기 점착제 사이의 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치 제조방법.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서, 상기 요부 또는 음각부는
    평면에서 관찰할 때 원형, 다각형 또는 슬릿 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치 제조방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 표시소자 형성단계는
    상기 플렉시블 기판 위에 유기발광소자, 유기태양전지, 유기 감광체 또는 유기 트랜지스터를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판을 이용한 플렉시블 표시장치 제조방법.
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