KR102544647B1

KR102544647B1 - 채수 디스펜서 및 순수제조장치

Info

Publication number: KR102544647B1
Application number: KR1020217017751A
Authority: KR
Inventors: 타카후미 호시노; 히로시 마츠무라
Original assignee: 오르가노 코포레이션
Priority date: 2018-11-21
Filing date: 2019-10-31
Publication date: 2023-06-16
Anticipated expiration: 2039-10-31
Also published as: KR20210088689A; US20220017352A1; CN113164891A; CN113164891B; TWI824059B; US11325822B2; WO2020105394A1; TW202033945A

Abstract

순수원에 접속해서 순수의 채수에 이용되는 채수 디스펜서는, 암 부착부와, 순수를 토출하는 노즐을 구비하는 채수 건과, 채수 건을 보유하는 보유부와, 보유부를 암 부착부에 접속하는 적어도 2개의 암을 구비한다. 적어도 2개의 암에 의해, 적어도 2개의 암이 움직일 때의 각각의 암의 궤적이 동일한 수직면 내에 있는 평행링크기구가 구성되어 있다.

Description

채수 디스펜서 및 순수제조장치

본 발명은, 순수제조장치 등에 접속되어, 수요에 따라서 순수를 토출하는 채수 디스펜서(water sampling dispenser)와, 그러한 채수 디스펜서를 구비하는 순수제조장치에 관한 것이다.

연구 기관 등에 있어서 순수를 이용할 경우, 비교적 소형의 순수제조장치를 이용해서 순수를 제조하는 일이 많다. 그리고 사용 지점에 있어서 순수를 예를 들면 비이커, 플라스크, 시험관 등에 채수하기 위하여, 순수제조장치에 접속하는 채수 디스펜서가 널리 이용되고 있다. 채수 디스펜서는, 순수를 토출하는 노즐과, 노즐에의 순수의 경로에 설치되어서 노즐에 대하여 순수를 공급하고, 또한 이 공급을 차단하는 밸브를 구비하고 있다. 채수 디스펜서는, 통상, 순수제조장치의 본체와는 떨어진 장소에 설치되어, 배관에 의해서 순수제조장치 본체의 순수 출구에 접속된다. 이용자가 밸브를 조작함으로써 노즐로부터 순수가 토출되고, 이것에 의해, 이용자는 그 필요에 따른 양으로 순수를 채수할 수 있다. 밸브로서는, 수동인 것을 이용할 수도 있지만, 전자밸브를 이용할 수도 있다. 수동 밸브로서는, 손으로 조작되는 것으로 한정되지 않고, 예를 들어, 풋 페달(foot pedal) 등에 의해서 조작되는 것도 포함된다. 전자밸브를 이용할 경우에는, 손가락으로 조작할 수 있는 누름 버튼 스위치 혹은 발로 조작할 수 있는 풋 스위치 등에 의해서 전자밸브를 제어하고, 노즐로부터 순수를 토출시킨다. 또한, 유량 센서와 전자밸브를 조합시키는 것에 의해, 1회의 스위치 조작이 있었을 때에 유량 센서에 의해서 계측되는 유량이 규정치에 도달할 때까지 전자밸브를 개방함으로써, 규정량의 순수를 채수할 수 있도록 하는 것도 가능하다.

특허문헌 1은, 지주에 대한 부착 위치를 복수 단계로 변화시킬 수 있는 지지부와, 하향으로 순수를 토출하는 노즐을 하단부에 구비해서 지지부의 선단에 지지되는 손잡이 막대 형상의 노즐부를 구비하고, 노즐부의 상단부에, 하향으로 누름으로써 전자밸브를 개방하는 것이 가능한 누름 버튼 스위치가 설치된 채수 디스펜서를 개시하고 있다. 특허문헌 2는, 조작 패널 등을 구비하는 본체부와, 노즐이 설치된 채수 건부(water sampling gun part)를 구비한 채수 디스펜서를 개시하고 있다.

바이오사이언스(bioscience) 등의 분야에서는, 순수 중의 생균수가 많으면 실험·분석 결과가 영향을 받기 때문에, 순수 중의 생균수를 저감시키는 것이 필요로 된다. 따라서, 순수 디스펜서로부터 토출되는 순수에 포함되는 생균수도 저감시킬 필요가 있다. 특허문헌 3은, 순수원에 접속하는 전자밸브와, 순수를 토출하는 노즐과, 노즐을 전자밸브의 출구에 접속하는 유로와, 이 유로를 흐르는 순수에 대하여 자외선을 조사하는 바와 같이 배치된 자외선 LED를 구비하고, 노즐로부터 토출되기 직전의 순수에 자외선을 조사함으로써 노즐로부터 토출되는 순수에 포함되는 생균을 저감할 수 있도록 한 채수 디스펜서를 개시하고 있다.

일본국 의장등록 제1345532호 일본국 의장등록 제1600941호

JP

2018-103154

A

특허문헌 1이나 특허문헌 2에 사용되는 채수 디스펜서를 사용하면, 실험실 등에 있어서 비이커나 플라스크, 시험관 등에 순수를 채수하는 작업이 용이하게 된다. 그러나 사용 편의성의 면에서는, 이들 채수 디스펜서에는 더욱 개선의 여지가 있다. 예를 들면, 비이커나 플라스크, 나아가서는 합성 수지제의 탱크 등, 크기나 높이가 다른 다양한 용기에 대해서, 안정적인 채수를 용이하고도 안전하게 행할 수 있는 것이 요구되고 있다.

본 발명의 목적은, 크기나 높이가 다른 다양한 용기에 대해서, 안정적인 채수를 용이하게 행할 수 있는 채수 디스펜서와, 그러한 채수 디스펜서를 구비하는 순수제조장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 채수 디스펜서는, 순수원에 접속해서 순수의 채수에 이용되는 채수 디스펜서로서, 암 부착부(arm attachment part)와, 순수를 토출하는 노즐을 구비하는 채수 건과, 채수 건을 보유하는 보유부와, 보유부를 암 부착부에 접속하는 적어도 2개의 암을 포함하고, 적어도 2개의 암에 의해, 각각의 암이 움직일 때의 이들의 궤적이 동일한 수직면 내에 있는 평행링크기구가 구성되어 있다.

본 발명의 순수제조장치는, 본 발명의 채수 디스펜서를 구비하고, 순수원으로서, 순수를 채수 디스펜서에 공급한다.

평행링크기구의 채용에 의해, 보유부에 보유된 채수 건의 자세를 바꾸는 일 없이 채수 건의 높이를 변화시킬 수 있어서 크기나 높이가 다른 다양한 용기에 대응하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해, 본 발명에 따르면, 크기나 높이가 다른 다양한 용기에 대해서, 안정적인 채수를 용이하게 행할 수 있게 된다.

도 1은 순수제조장치의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 2A 및 도 2B는, 각각, 본 발명의 일 실시형태의 채수 디스펜서를 전면측 및 배면측에서 본 사시도이다.
도 3A는 채수 디스펜서의 개략측면도이며, 도 3B 및 도 3C는, 각각, 도 3A에 있어서의 테두리(B) 내 그리고 테두리(C) 내의 부분의 단면도이다.
도 4A, 도 4B 및 도 4C는, 채수 디스펜서의 사용 형태의 예를 나타내는 개략측면도이다.
도 5는 홀더부와 채수 건의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 6A 및 도 6B는, 각각, 지지부재의 구성을 나타내기 위해서, 지지부재를 전면측 및 배면에서 본 사시도이다.

다음에, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 본 발명에 의거하는 채수 디스펜서를 구체적으로 설명하기 전에, 우선, 채수 디스펜서에 대한 순수원으로서의 순수제조장치에 대해서, 도 1을 이용해서 설명한다. 채수 디스펜서(30)는 순수제조장치(10)에 대하여 분리 가능하게 접속되는 것이지만, 도 1에서는, 이미 채수 디스펜서(30)가 접속되어 있는 것으로서 순수제조장치(10)가 묘사되어 있다.

도 1에 나타내는 순수제조장치(10)는, 순환 정제에 의해 순수를 생성하는 서브시스템(2차 순수 시스템)으로서 구성된 것이며, 1차 순수가 공급되는 저장조(11)와, 저장조(11)의 출구에 접속해서 저장조(11) 내의 순수를 급송하는 펌프(12)와, 펌프(12)의 출구에 접속된 유량 센서(FI)(13)와, 자외선 산화장치(UV)(14)와, 강산성 양이온 교환 수지와 강염기성 음이온 교환 수지를 혼상(mixed bed)으로 충전한 비재생형 이온교환장치(CP: 카트리지 폴리셔(cartridge polisher)라고도 칭함)(15)와, 한외여과장치(UF)(16)를 구비하고 있다. 자외선 산화장치(14), 비재생형 이온교환장치(15) 및 한외여과장치(16)는, 이 순서로, 유량 센서(13)의 출구에 대하여 직렬로 접속되어 있다. 자외선 산화장치(14)는 순수 중의 전체 유기탄소(TOC)를 분해시키기 위한 것이어서 살균 작용도 지니지만, 자외선 산화장치(14)와는 달리 저장조(11)에 자외선 살균 램프를 설치해도 된다.

순수제조장치(10)는 순환 정제에 의해 순수를 생성하지만, 본 실시형태에서는, 순수는 채수 디스펜서(30)도 포함시켜서 순환하도록 하고 있다. 그 때문에, 한외여과장치(16)의 출구는 배관(17)을 개재해서 순수제조장치(10)의 순환 출구(18)에 접속되어 있다. 또한, 순수제조장치(10)는, 채수 디스펜서(30)로부터 되돌아온 순수를 받아들이는 순환 입구(19)를 구비하고 있고, 순환 입구(19)는 배관(20)을 개재해서 저장조(11)에 접속되어 있다. 1차 순수로서는, 예를 들면, 시수(市水)를 필터, 활성탄 처리장치 및 이온교환장치에 통수해서 얻어진 물이 이용된다.

이 순수제조장치(10)에서는, 저장조(11)로부터 펌프(12)를 거쳐서, 유량 센서(13), 자외선 산화장치(14), 비재생형 이온교환장치(15), 한외여과장치(16) 및 채수 디스펜서(30)를 통과해서 저장조(11)로 돌아가는 순환 정제계가 구성되어 있다. 펌프(11)를 동작시켜서 순환 정제계에 순수를 순환시킴으로써, 순수가 더욱 정제된다. 채수 디스펜서(30)가 접속하고 있지 않은 상태라도 순수를 순환시킬 수 있도록, 배관(17)과 배관(20)을 단락시키는 배관(21)이 설치되고, 배관(21)에는 바이패스 밸브(22)가 설치되어 있다. 바이패스 밸브(22)는, 채수 디스펜서(30)가 순수제조장치(10)에 접속되어 있을 때에는 폐쇄되고, 접속되어 있지 않을 때에는 개방된다. 후술하는 정량 채수를 실시하기 위하여, 배관(20)에 있어서, 배관(21)이 접속되는 위치보다도 순환 입구(19) 측의 위치에, 전자밸브(23)가 설치되어 있다. 또한 순수제조장치(10)에는, 순수제조장치(10)의 전체의 동작을 제어하기 위하여 제어장치(25)가 설치되어 있다.

채수 디스펜서(30)는, 예를 들면, 실험대 등의 설치면 위에 재치(載置)되는 본체부(40)와, 이용자가 손에 들고서 움직일 수 있는 채수 건(80)으로 구성되어 있다. 채수 건(80)은, 채수 헤드 등으로도 불린다. 채수 건(80)에는 실제로 순수를 토출하는 노즐(86)이 설치되어 있다. 채수 디스펜서(30)는, 순수제조장치(10)의 순환 출구(18) 및 순환 입구(19)에 각각 접속되는 배관(31, 32)을 구비하고 있고, 배관(31, 32)은, 본체부(40)를 거쳐서 채수 건(80)에까지 연장되고 있다. 본체부(40)에는, 이용자에 대해서 정보를 제시하고, 이용자로부터의 입력을 접수하기 위한, 예를 들면, 터치패널로 이루어지는 조작 패널(43)이 설치되어 있다.

배관(31, 32)은, 본체부(40)와 채수 건(80) 사이에서는, 이들의 배관(31, 32)을 일체화시킨 복합 배관(70)으로서 설치되어 있다. 복합 배관(70)에는, 본체부(40)와 채수 건(80) 사이의 전기배선도 포함되어 있다. 채수 건(80)은, 그 접속부(83)에 의해서 복합 배관(70)에 접속된다. 채수 건(80)의 내부에는, 접속부(83)에 의해서 배관(31, 32)과 각각 일단이 접속되는 배관(81, 82)이 설치되어 있다. 배관(81, 82)의 타단부는 서로 접속되고, 이 접속점으로부터 노즐(86)에 이르는 유로가 형성되어 있다. 이 유로의 구성에 대해서는 후술하지만, 이 유로에는 전자밸브(85)가 설치되어 있고, 또한, 순수에 함유되는 생균의 살균을 위하여 유로 내의 순수에 자외선을 조사하는 바와 같이 자외선 LED(84)가 배치되어 있다. 전자밸브(85)는, 예를 들어, 비례 제어밸브로서, 개방으로 했을 때의 개방도를 조정 가능한 것이다. 또한 채수 건(80)에는, 전자밸브(85)의 개폐의 조작을 행하고, 그리고 전자밸브(85)를 개방했을 때의 순수의 유량을 조정하기 위하여 이용되는 휠(wheel)(93)이 설치되어 있다. 휠(93)은, 수평방향으로 연장되는 축의 둘레를 회전 가능하고, 이용자가 그 손가락에 의해서 휠(93)을 회전시키고, 또 휠(93)을 압입할 수 있도록 구성되어 있다. 휠(93)의 회전은, 그 회전축에 연결한 회전식 인코더(88)에 의해서 검출되고, 휠(93)이 압입된 것인지의 여부는, 휠(93)을 보유하는 지지부재(100)(도 6A 및 도 6B 참조)에 부착되어 있는 마이크로스위치(87)에 의해서 검출된다. 마이크로스위치(87)에서의 검출 결과와 회전식 인코더(88)에서의 검출 결과를 처리하기 위한 처리회로(89)도 채수 건(80)의 내부에 설치되어 있다.

도 2A 및 도 2B는, 채수 디스펜서(30)의 외관을 나타내는 도면으로서, 각각, 전면측 및 배면측에서 본 사시도이다. 도 3A는, 채수 디스펜서의 구성의 요부를 설명하는 좌측면도이며, 도 3B는, 도 3A에 있어서 2점 쇄선(B)으로 둘러싸인 부분에 있어서의 단면도이며, 도 3C는, 도 3A에 있어서 2점 쇄선(C)으로 둘러싸인 부분의 단면도이다. 여기에서는 채수 디스펜서(30)의 우측면도를 생략하지만, 후술하는 해제 버튼(47)이 설치되지 않은 점을 제외하면, 채수 디스펜서의 우측면은 대강 좌측면과는 대칭인 형상이다. 이들 도면을 이용해서 채수 디스펜서(30)에 대해서 더욱 상세히 설명한다. 또, 후술하는 바와 같이 채수 디스펜서(30)의 채수 건(80)에서는 노즐(86)을 둘러싸도록 보호용의 커버(94)가 설치되어 있고, 노즐(86)은 커버(94)에 은폐되므로, 도 2A, 도 2B, 도 3A, 도 3B, 도 3C에서는, 노즐(86) 자체는 도시되어 있지 않다.

본체부(40)는, 실험대 위 등에 재치되는 부분인 베이스(41)와, 베이스(41)의 위쪽에 위치하는 암 부착부(42)와, 베이스(41)로부터 위쪽으로 연장되는 기둥 형상부(45)와, 암 부착부(42)에 일단이 부착된 2개의 암(51, 52)과, 실제로 채수 건(80)을 분리 가능하게 보유하는 보유부(60)로 구성되어 있다. 기둥 형상부(45)는, 암 부착부(42)를 관통하는 원주로서 구성되어 있고, 기둥 형상부(45)의 표면에는, 기둥 형상부(45)의 길이 방향을 따라서 일정한 간격으로, 원주방향으로 연장되는 홈(46)이 형성되어 있다. 암 부착부(42)는, 기둥 형상부(45)를 따라서, 기둥 형상부(45)의 길이방향으로 슬라이드 가능하도록 구성되어 있다. 실제로는, 암 부착부(42)의 내부에는, 기둥 형상부(45)의 표면에 대해서 스프링 등에 의해서 가압된 돌기(도시 생략)가 설치되어 있다. 이 돌기는, 기둥 형상부(45)의 표면에 설치된 홈(46)에 대해서 걸어맞춤될 수 있도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 돌기가 홈(46)에 걸어맞춤되는 위치에 있어서 암 부착부(42)의 높이 위치를 고정할 수 있다. 또한, 홈(46)의 각각은, 원주방향을 따라서 기둥 형상부(45)의 표면을 한바퀴 돌도록 설치되어 있으므로, 높이 방향을 고정한 후에, 암 부착부(42)를 기둥 형상부(45)의 둘레로 회전시킬 수 있다. 암 부착부(42)의 측면에 설치된 해제 버튼(47)을 압입함으로써, 홈(47)에 대한 돌기의 걸어맞춤상태를 해제할 수 있고, 이용자는, 해제 버튼(47)을 누르면서 기둥 형상부(45)의 길이방향으로 암 부착부(42)를 용이하게 이동시킬 수 있고, 기둥 형상부(45)의 길이의 범위 내에서 암 부착부(42)의 높이 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능하게 된다.

실제로 채수 건(80)을 분리 가능하게 보유하는 보유부(60)는, 2개의 암(51, 52)에 의해서 평행링크기구가 구성되도록 하여, 암 부착부(42)에 부착되어 있다. 본 실시형태에서는, 2개의 암(51, 52)은, 양자가 서로 평행한 상태를 유지한 채, 암 부착부(42)의 측을 고정 단부로 해서, 수평으로부터 수직까지의 90°의 범위에서 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 암(51, 52)이 움직일 때, 암(51, 52)의 궤적은 동일한 수직면 내에 있고, 평행링크기구로서는 이 수직면 내에서 운동 가능하다. 2개의 암(51, 52)으로 이루어진 평행링크기구는, 암 부착부(42)에 대한 채수 건(80)의 자세를 변화시키는 일 없이, 보유부(60)의 암 부착부(42)에 대한 상대적인 위치를 변화시키는 것이 가능하도록, 보유부(60)를 설치 기부인 암 부착부(42)에 접속하는 접속 기구로서 기능한다. 여기에서는, 암(51, 52)에 의해 평행링크기구가 구성된다고 했지만, 평행링크기구를 구성하기 위한 암의 개수는 2개로 한정되는 것은 아니고, 3개 이상이어도 된다. 이하에서는, 2개의 암(51, 52)에 의해서 평행링크기구가 구성되는 것으로 한다.

플라스크나 비이커 등의 용기에 채수할 경우에, 채수 건(80)을 손으로 들지 않아도 되도록 하고자 하는 요망이 있다. 특히, 채수량이 많아서 채수에 시간이 걸릴 경우에 대해서, 그러한 요망이 강하다. 그 경우, 용기의 크기는 여러 가지이므로, 채수 건(80)의 높이 위치를 용이하게 변화시키는 것이 기대된다. 또한, 실제의 채수동작에서는, 이용자는 소정 위치에 용기를 배치한 후에, 채수 건(80)을 용기의 개구에 접근시켜서 노즐(86)로부터 순수를 토출하고, 채수가 끝나면 채수 건(80)을 용기의 개구로부터 멀리 떼어놓는다고 여겨진다. 수직면 내에서 운동 가능한 평행링크기구를 채용하는 것에 의해, 채수 건(80)의 자세, 특히 노즐(86)의 방향을 변화시키는 일 없이, 이러한 일련의 동작을 원활하게 행하는 것이 가능하게 된다. 또한, 평행링크기구의 채용에 부가해서, 전술한 바와 같이 암 부착부(42)의 높이 위치를 가변으로 함으로써, 소형의 비이커나 플라스크부터 대형의 비이커, 게다가 폴리에틸렌제의 탱크류에의 채수에 대응하는 것이 가능하게 된다. 용기에 대한 원활한 채수작업을 위해서는, 암(51, 52)에는 어느 정도 이상의 길이가 필요하고, 채수 디스펜서(30)의 비사용시에 이 암(51, 52)이 작업의 방해가 될 우려가 있다. 본 실시형태에서는 암(51, 52)을 수직상태로 하는 것이 가능하게 해서, 채수를 행하지 않을 때에 암(51, 52)이 작업의 방해가 되는 것도 방지하고 있다.

본 실시형태에서는, 암 부착부(42)에 있어서 실제로 암(51, 52)이 부착되는 위치는 암 부착부(42)의 내부이며, 도 3B에 나타낸 바와 같이, 암 부착부(42) 내에 있어서 암(51, 52)의 선단이 각각 축(53, 54)의 둘레를 회전 가능하게 부착되어 있다. 이 경우, 암 부착부(42)의 표면에는, 암(51, 52)의 가동범위에 따라서 홈 형상의 개구를 설치할 필요가 있고, 홈 형상의 개구의 폭은, 클리어런스(clearance)를 고려해서, 축(53, 54)이 연장되는 방향에서 측정한 암(51, 52)의 굵기보다 약간 넓은 것으로 된다. 암 부착부(42)와 조작 패널(43)의 거리가 가까울 경우에, 조작 패널(43)에 접촉하려고 한 이용자의 손가락이 잘못해서 홈 형상의 개구에 끼워져 버릴 우려가 있다. 그래서 본 실시형태에서는, 암(51, 52)이 연장되는 방향에 대해서 축(53, 54)의 위치가 벗어나도록 하는 동시에, 축(53, 54)의 둘레에서 암(51, 52)의 선단부를 부풀어 오르게 해서 팽윤부(55, 56)로 하고 있다. 암(51)의 팽윤부(55)는, 예를 들면 축(53)을 중심으로 하는 원으로부터 잘라낸 반원의 형상이며, 암(52)의 팽윤부(56)는, 예를 들면 축(54)을 중심으로 하는 반경이 다른 2개의 원의 각각으로부터 잘라낸 사분원을 조합시킨 형상이다. 축(53, 54)이 연장되는 방향에서의 팽윤부(55, 56)의 두께는, 전술한 암(51, 52)의 굵기와 같다. 이와 같이 팽윤부(55, 56)를 설치하는 것에 의해서, 평행링크기구로서 서로 평행한 관계를 유지한 채 암(51, 52)이 축(53, 54)의 둘레를 회전했을 때에, 암(51, 52)이 연장되는 방향에 관계없이, 암 부착부(42)에 형성되는 홈 형상의 개구가 팽윤부(55, 56)에 의해 실질적으로 막히게 된다.

축(53, 54)의 둘레에서의 암(51, 52)의 회전에 따라, 팽윤부(55, 56)도 축(53, 54)의 둘레를 회전하지만, 팽윤부(55, 56)의 회전 이동의 궤적을 덮도록, 암 부착부(42)에는, 홈 형상의 개구의 양측에는 개구 단부를 따라서 둑 형상의 커버부(57, 58)가 형성되어 있다. 커버부(57, 58)는 암 부착부(42)의 표면에 직립하는 반원 형상의 형상을 갖는다. 본 실시형태에서는, 암(51, 52)에 각각 팽윤부(53, 54)를 설치하고, 또한, 홈 형상의 개구의 양측에 커버부(57, 58)를 설치함으로써, 홈 형상의 개구에 이용자의 손가락이 잘못해서 끼는 것을 방지할 수 있다.

또한, 보유부(60)나 보유부(60)에 재치되어 있는 채수 건(80)의 자체 무게에 의해서 암(51, 52)이 움직이고, 보유부(60)도 아래쪽으로 움직이는 것은 피하지 않으면 안된다. 그 때문에, 축(53, 54)의 위치에 있어서 금속판에 의해 암(51, 52)을 끼워넣고, 또한 축(53, 54)을 구성하는 샤프트 형상의 부재에 웨이브 와셔(wave washer) 또는 디스크 스프링(disc spring)을 끼워서 이 웨이브 와셔 또는 디스크 스프링에 의해서 금속판을 암(51, 52)의 방향으로 압압해서 암(51, 52)이 금속판에 대하여 슬라이딩하는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에서는, 암(51, 52)이 금속판에 대하여 슬라이딩할 때의 마찰 저항이 커지므로, 암(51, 52)이 축(53, 54)의 둘레를 회전하는 일 없이 이 슬라이딩부를 개재해서 보유부(60)나 채수 건(80)의 중량을 유지하는 것이 가능하게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 채수 디스펜서(30)에서는, 암 부착부(42)의 높이 위치를 변화시킬 수 있게 하는 동시에, 평행링크기구를 구비하는 암(51, 52)의 사용에 의해, 보유부(60)에 보유되어 있는 채수 건(80)의 높이를 조정하거나 본체부(40)로부터 보아서 채수 건(80)을 앞쪽으로 인출한 위치로 이동시키거나 하는 것이 가능하다. 도 4A, 도 4B 및 도 4C는, 이러한 암(51, 52)이나 채수 건(80)의 움직임을 나타내는 좌측면도이고, 채수 디스펜서(30)를 간략화해서 도시하고 있다. 이들 도면에 있어서는, 복합 배관(70)에 대해서는 기재하고 있지 않다. 도 4A는, 도 2A, 도 2B, 도 3A, 도 3B, 도 3C에 나타낸 상태로부터 암 부착부(42)의 위치를 위쪽으로 이동시킨 상태를 나타내고 있다. 도 4B는, 도 2A, 도 2B, 도 3A, 도 3B, 도 3C에 나타낸 상태로부터, 보유부(60)에 보유되어 있는 채수 건(80)을 앞쪽으로 인출한 결과, 암(51, 52)이 경사 방향으로 되어 있는 상태를 나타내고 있다. 도 4C는, 도 4B에 나타내는 상태로부터 채수 건(80)을 더욱 앞쪽으로 인출한 결과, 암(51, 52)이 거의 수평으로 되어 있는 상태를 나타내고 있다. 또한 도 4A에 있어서 화살표로 나타낸 바와 같이, 암 부착부(42)는 기둥 형상부(45)의 둘레를 회전 가능하다.

다음에, 보유부(60)에 대해서 설명한다. 전술한 바와 같이 보유부(60)는, 평행링크기구를 구비하는 암(51, 52)에 의해서 암 부착부(42)에 부착되고, 수평면에 대한 암(51, 52)의 각도에 관계없이, 채수 건(80)을 일정한 자세로 보유하는 기능을 지닌다. 채수 건(80)의 노즐(86)은, 통상의 채수 시에는, 수직방향 하향으로 순수를 토출한다. 그러나, 수류의 형태인지 적하의 형태인지에 관계없이, 노즐(86)로부터 순수를 방출하는 것에 의한 물의 비산 또는 버블링을 방지하고자 할 경우 등이 있다. 예를 들면, 채수 디스펜서로부터 순수를 비이커 등의 용기에 공급할 때에, 용기에 있어서의 물의 비산 또는 버블링의 발생을 억제하는 것이 요구되는 일이 있다. 그러한 경우에는, 적극적으로 용기의 내벽을 따르도록 순수를 토출하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 그러한 요망에 부응하기 위하여, 보유부(60)에 각도 조정을 위한 기구를 포함시켜, 보유부(60)에 부착된 상태의 채수 건(80)을 경사지게 할 수 있게 하고 있다. 채수 건(80)을 경사지게 함으로써, 노즐(86)로부터의 순수의 토출방향도, 수직방향 하향으로부터 경사진다.

보유부(60)는, 대별하면, 암(51, 52)이 부착되는 제1 부재(61)와, 제1 부재(61)에 대해서 축(63)을 개재해서 접속하는 제2 부재(62)와, 제2 부재(62)의 선단에 설치된 홀더부(67)로 구성되어 있다. 홀더부(67)는, 실제로 채수 건(80)을 분리 가능하게 보유하는 부분이며, 채수 건(80)의 외표면의 일부를 감싸는 것이 가능한 형상을 가지고 있다. 후술하는 도 5에 나타낸 바와 같이, 홀더부(67)에는 수직방향 위쪽을 향한 핀(68)이 설치되어 있고, 이 핀(68)은, 채수 건(80)에 설치된 고정용 구멍(89)과 걸어맞춤 가능하게 구성되어 있다. 고정용 구멍(89)에 핀(68)이 삽입되도록 위쪽으로부터 채수 건(80)을 홀더부(67)를 향해서 재치함으로써, 채수 건(80)은 홀더부(67)에 고정된다. 고정용 구멍(89)에 걸어맞춤하는 핀(68)을 설치한 것에 의해, 홀더부(57)에 채수 헤드(80)를 지지시켰을 때에 채수 헤드(80)가 용이하게는 홀더부(57)로부터 빠지는 일이 없다. 또한, 채수 건(80)을 움직임으로써 암(51, 52)이 움직이고, 전술한 바와 같은 채수 건(80)을 앞쪽으로 인출하는 바와 같은 조작이 가능해진다. 채수 건(80)을 홀더부(67)로부터 분리할 때에는, 핀(68)이 고정용 구멍(89)으로부터 빼내어지도록, 채수 건(80)을 위쪽으로 끌어 올리면 된다. 홀더부(67)는 제2 부재(62)와 일체의 부재로서 구성되어 있어도 된다.

보유부(60)에 있어서 제1 부재(61)와 제2 부재(62)는, 통상 시에는 고정되어 있지만, 축(63)의 둘레에서 상호간의 각도를 조정 가능하도록 접속되어 있다. 이러한 기구는, 예를 들어, 제1 부재(61)와 제2 부재(62)가 슬라이딩면을 개재해서 서로 접하고, 그리고 슬라이딩면에 대해서 용수철 등에 의한 압압력이 가해지는 바와 같은 구성에 의해 실현할 수 있다. 혹은, 도 3C에 나타낸 바와 같이, 제2 부재(62)에 있어서 축(63)으로부터의 거리가 동등한 복수의 개소, 즉, 등반경이 되는 복수의 위치의 오목부(65)를 형성하고, 제1 부재(61)에는 오목부(65)의 어느 것인가에 걸어맞춤하도록 볼 플런저 혹은 프레스피트 플런저(press-fit plunger)(64)를 설치하는 구성에 의해서도 실현된다. 도 3C에 나타낸 예에서는, 제1 부재(61)에 있어서 2개의 프레스피트 플런저(64)를 축(63)에 대하여 대칭이 되도록 설치하고 있고, 이것에 대응해서 제2 부재(62)에는, 프레스피트 플런저(64)의 1개당 4군데의 오목부(65)를 형성하고 있다. 오목부(65)는, 축(63)의 위치로부터 보아서 15°간격으로 등간격으로 설치되어 있다.

제1 부재(61)와 제2 부재(62) 사이에서 축(63) 둘레에서의 강한 회전 방향의 힘을 인가하지 않으면, 각 프레스피트 플런저(64)는, 각각, 4개의 오목부(65) 중 어느 하나와 걸어맞춤하고, 그 결과, 제1 부재(61)와 제2 부재(62) 사이의 위치 관계는 유지된다. 이것에 대해서, 축(63) 둘레의 강한 회전 방향의 힘을 인가하면, 프레스피트 플런저(64)가 오목부(65)에 걸어맞춤하고 있는 것에 의한 보유력보다도 회전 방향의 힘의 쪽이 상회해서, 축(63)의 둘레에서 제1 부재(61)와 제2 부재(62)가 상대적으로 회전한다. 회전 방향의 힘의 인가를 그만두면, 그 때의 제1 부재(61)와 제2 부재(62)의 상대위치에 따른 오목부(65)에 프레스피트 플런저(64)가 걸어맞춤하고, 그 위치에서 제1 부재(61)와 제2 부재(62)의 위치 관계가 유지되게 된다. 이 구성에서는, 오목부(65)가 축(63)으로부터 보아서 15° 간격으로 설치되어 있는 것에 의해, 채수 건(80)의 경사를, 보다 구체적으로는 노즐(86)로부터의 순수의 토출방향을 수직방향 아래쪽을 포함하는 45°의 각도 범위 내에서, 15°씩 조정하는 것이 가능하게 된다.

다음에, 복합 배관(70)에 대해서 설명한다. 복합 배관(70)은, 채수 디스펜서(30)에 있어서, 본체부(40)의 베이스(41)의 배면과 채수 건(80)에 설치되는 접속부재(83) 사이에 설치된다. 전술한 바와 같이 채수 건(80)은 분리 가능하고, 또한, 보유부(60)에 채수 건(80)이 부착되어 있었다고 해도 암 부착부(42)의 높이 조정이나 암(51, 52)에 대한 인출 동작으로 의해 보유부(60)의 위치 자체를 변하게 할 수 있기 때문에, 복합 배관(70)은 가요성을 지니는 것이 필요하다. 복합 배관(70)은, 본체부(40)와 채수 건(80) 사이의 배관(31, 32)과 전기배선을 묶은 것이다. 묶은 배관(31, 32)이나 전기배선이 풀리지 않도록, 복합 배관(70)의 표면에는, 콜게이트 형상 혹은 주름상자 형상의 시스(sheath) 혹은 커버(71)가 설치된다. 이 커버(71)는, 예를 들면, 합성 수지에 의해서 형성된다.

다음에, 채수 건(80)에 대해서, 도 2A, 도 2B, 도 3A, 도 3B, 도 3C, 도 5를 이용해서 설명한다. 도 5는 채수 건(80)의 내부구성을 나타내고 있다. 이용자가 손으로 들고서 용이하게 움직일 수 있도록, 채수 건(80)에는, 수직방향 위쪽으로 연장되는 핸들(손잡이)(90)이 형성되어 있다. 핸들(90)을 들고서 채수 건(80)을 위쪽으로 움직이면, 채수 건(80)의 고정용 구멍(89)으로부터 홀더부(67)의 핀(68)이 이탈된다. 이것에 의해서 이용자는, 보유부(60)에 채수 건(80)을 보유시킨 채 채수를 행하거나, 채수 건(80)을 손으로 들고서 실험대 위에 정렬해서 둔 다수의 시험관에 대하여 차례로 순수를 붓거나 할 수 있게 된다. 채수 건(80)을 손으로 들었을 때의 작업성을 좋게 하기 위하여, 핸들(90) 자체를 인간의 손의 쥠의 형상에 맞춰서 만곡시킨 것으로 해서 핸들(90)을 확실하게 쥘 수 있도록 하고 있다. 또한, 핸들(90)에 있어서 이용자가 한쪽 손으로 들었을 때에 이용자와는 반대 방향을 향하는 표면, 즉, 핸들(90)을 쥐었을 때에 손바닥이 아니라 각 손가락이 접하는 부분의 표면에는, 수평방향으로 연장되는 선 형상의 돌기를 복수개 형성해서 미끄럼방지부(97)로 하고 있다. 미끄럼방지부(97)가 형성되는 표면은, 핸들(90)이 만곡하고 있는 것으로 해서 만곡의 내측을 향한 표면이다. 이하에 설명하는 바와 같이 수직으로 연장되는 핸들(90)의 상단의 위치에 휠(93)을 설치하고, 노즐(86)은 핸들(90)의 하단측에 배치되도록 하는 것에 의해, 채수 건(80)은, 이용자에 대해서, 디지털 피펫 혹은 전동 피펫과 같은 실험 기구와 마찬가지의 조작감을 부여한다.

도 1에 있어서 설명한 휠(93)은, 핸들(90)의 상단의 위치에, 핸들(90)을 쥔 이용자가 그 엄지 손가락으로 조작할 수 있게 설치되어 있다. 휠(93)은, 반경에 비해서 높이가 낮은 원통형상인 것이고, 그 회전축이 휠(93)의 길이방향과 직교하는 방향이 되도록 설치되어 있다. 휠(93)은 그 원통면의 전제 둘레 중 절반 미만, 예를 들면, 3분의 1로부터 4분의 1정도의 부분이 핸들(90)의 외표면으로부터 노출되어 있다. 휠(93)의 원통면은, 손가락으로 조작했을 때에 미끄러지지 않도록, 예를 들어, 다수의 평행 홈이 형성된 고무 등에 의해서 구성되어 있다. 이와 같이 휠(93)을 설치함으로써, 이용자는, 그 엄지 손가락을 이용하는 것에 의해, 휠(93)을 상향으로 회전시키거나, 하향으로 회전시키거나, 나아가서는 휠(93)을 핸들(90)의 내부의 방향으로 압입할 수 있다. 휠(93)을 핸들(90)의 내부에 압입할 때의 압입 방향은, 휠의 회전축의 방향과 직교하는 방향이다. 즉, 휠(93)은, 퍼스널 컴퓨터 등에 있어서 사용자 인터페이스로서 이용되는 최근의 마우스에 표준적으로 구비되어 있는 스크롤 휠과 마찬가지의 것이라고 할 수 있다. 단, 마우스의 스크롤 휠은 일반적으로 이용자의 집게 손가락 혹은 가운데 손가락으로의 조작이 상정되어 있지만, 본 실시형태의 휠(93)은 엄지 손가락으로의 조작이 상정되어 있는 점에서 상이하다. 여기에서 상향, 하향이란, 휠(93)의 원통면 중 이용자에 있어서 앞쪽의 부분이 위쪽 방향으로 움직이는지(상향), 아래쪽 방향으로 움직이는지(하향)를 나타내고 있다. 휠(93)이 회전한 것은, 휠(93)의 회전축에 접속된 회전식 인코더(88)에 의해서 검출되고, 처리회로(89)는, 회전식 인코더(88)로부터의 신호에 의거해서, 휠(93)의 회전 방향과 회전량을 제어장치(25)에 통지한다.

본 실시형태에서는, 휠(93)의 회전 방향은, 순수를 노즐(86)로부터 토출할 때의 순수의 유량을 조정하기 위하여 사용된다. 일례로서, 휠(93)을 상향으로 회전시킴으로써 유량을 증가시키고, 하향으로 회전시킴으로써 유량을 저감하도록 할 수 있다. 혹은 반대로, 휠(93)을 상향으로 회전시킴으로써 유량을 저감시키고, 하향으로 회전시킴으로써 유량을 증가시키도록 할 수 있다. 어느 정도 유량을 증감할지는, 휠(93)의 회전량에 따라서 정할 수 있다. 휠(93)의 회전 방향과 유량의 증감을 어떻게 관련시킬지는, 채수 디스펜서의 제조 시에 미리 설정해 두어도 되고, 제어장치(25)에 있어서의 설정에 의해 출하 후에 변경 가능하도록 해도 된다. 오동작 등을 피하기 위해서는, 동일한 기업이나 연구 기관에 있어서, 휠(93)의 회전 방향과 유량의 증감의 관계를 통일시켜 두는 것이 바람직하다.

휠(93)을 핸들(90)의 내부의 방향으로 압입시킨 것은, 마이크로스위치(87)에 의해서 검출되고, 이것은 처리회로(89)를 개재해서 제어장치(25)에 전달된다. 마이크로스위치(87)는, 이용자가 채수를 위한 채수요구를 입력해서 제어장치(25)에 전자밸브(85)의 개폐를 제어시키기 위해서 이용된다. 예를 들면, 휠(93)이 압입되어 있을 때에만 전자밸브(85)를 개방해서 노즐(86)로부터 순수를 토출시키도록 제어를 실행할 수 있다. 전술한 바와 같이 휠(93)의 회전에 따라서 순수의 토출량의 조정이 행하여지고 있는 것이라면, 휠(93)이 압입되었을 때에 노즐(86)로부터 토출되는 순수의 유량은, 휠(93)의 회전에 의해 조정된 유량이다. 제어장치(25)에 의한 전자밸브(85)의 제어의 상세에 대해서는 후술한다.

본 실시형태의 채수 디스펜서는, 이와 같이, 채수 건(80)에 있어서, 노즐(86)로부터의 순수의 토출방향이 수직방향 하향인 것으로 해서, 수직방향 위쪽으로 연장되는 핸들(90)을 구비하고, 핸들(90)의 상단에, 회전 가능하고 그리고 핸들(90)의 내부에 압입 가능한 휠(93)을 설치하고, 휠(93)에 대한 압입 동작과 회전 동작에 의해서 순수의 토출과 토출할 때의 유량을 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 그 결과, 이 채수 디스펜서에서는, 채수작업을 행하고 있을 때이어도 순수의 유량의 제어를 위한 조작을 용이하게 행할 수 있게 된다. 이것에 대해서, 특허문헌 2에 기재된 채수 디스펜서에서는, 다이얼식의 손잡이를 압입하는 동작과 그 손잡이를 시계방향 혹은 반시계방향으로 회전하는 동작을 양립시키는 것이 어려우므로, 노즐(86)로부터의 토출되는 순수의 유량의 제어를 위한 조작을 용이하게 행할 수 없다.

도 6A 및 도 6B는, 채수 건(80)의 내부에 있어서 휠(93) 등을 부착하기 위하여 이용되는 지지부재(100)를 나타내는 도면이다. 특히 도 6A는, 휠(93)이 부착된 면측으로부터 본 사시도이며, 도 6B는 도 6A와는 반대측의 면으로부터 본 사시도이다. 지지부재(100)는 하단측의 폭이 좁고 상단측의 폭이 넓은 주걱 형상의 부재로서, 상단측의 위치에 있어서, 지지부재(100)의 한쪽 면측에 휠(93)이 회전 가능하게 부착되어 있다. 휠(93)의 회전축은, 지지부재(100)의 길이방향과 직교하는 방향이다. 휠(93)의 회전을 방해하지 않도록, 휠(93)에 대응하는 위치에 있어서 지지부재(100)의 한쪽 면은 움푹 들어가 있지만, 다른 쪽의 면과는 연통하고 있지 않다. 휠(93)의 회전축의 일단측에는 케이스(101)가 설치되고, 이 케이스(101) 속에 회전식 인코더(88)가 격납되어 있다. 지지부재(100)에 있어서 휠(93)이 부착되어 있는 것과는 반대쪽 면, 즉, 다른 쪽의 면에는, 마이크로스위치(87)가 설치되는 것 이외에, 처리회로(89)가 설치되는 기판(102)과, 처리회로(89)와 제어장치(100)를 접속하기 위한 배선이 접속되는 커넥터(103)가 설치되어 있다.

핸들(90)의 선단부의 외표면에는 홈 형상의 개구가 형성되어 있고, 이 개구로부터 휠(93)의 일부가 핸들(90)의 밖으로 노출되도록, 지지부재(100)는 핸들(90)의 내부에 설치되어 있다. 지지부재(100)는, 휠(93)이 압입되었을 때에 지지부재(100)의 하단을 지점으로 해서 움직이도록 구성되어 있다. 그 결과, 휠(93)이 핸들(90)의 내부의 방향으로 압입되면, 핸들(90)의 내부에 설치된 접촉부재(98)에 대해서 마이크로스위치(87)의 가동부가 접촉해서 변위되고, 이것에 의해, 휠(93)이 압입된 것을 마이크로스위치(87)가 검출 가능하게 된다.

채수 디스펜서(30)는, 실험실에 있어서의 순수의 채수에 사용되는 것이라는 특성상, 젖은 손으로 채수 건(80)의 휠(93)이 조작될 가능성이 있고, 휠(93)을 위한 개구로부터 핸들(90)의 내부에 물이 진입할 가능성이 있다. 물이 진입하면, 휠(93)의 주변에 있는 전자회로나 전기적인 접점이 그 영향을 받기 쉽다. 본 실시형태에서는, 지지부재(100)의 한쪽의 면에 휠을 설치하고, 다른 쪽의 면에 마이크로스위치(87)나 기판(102)을 설치하고 있으므로, 마이크로스위치(87)의 접점부나, 기판(102)에 설치된 처리회로(89)에의 물 등의 진입을 방지할 수 있다. 회전식 인코더(88)에 대해서도 케이스(101) 내에 격납되어 있어, 물 등의 영향을 받기 어렵게 되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 노즐(86)은, 채수 건(80)에 있어서, 홀더부(67)에 채수 건(80)을 재치했을 때에 아래쪽이 되는 면에 설치되어 있다. 노즐(86)은, PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌)나 PVDF(폴리플루오린화비닐리덴) 등의 플루오린 수지로 구성되어 있고, 내부에 직선 형상의 관통 구멍이 유로로서 형성되어 있고, 관통 구멍의 선단인 개구로부터 순수를 토출한다. 노즐(86)의 교환 빈도가 높은 것이 예상될 경우 등에는, 비용 등의 관점에서, 예를 들면 폴리에틸렌(PE)이나 폴리프로필렌(PP) 등의 수지에 의해 노즐(86)을 형성해도 된다. 커버(94)는, 노즐(86)을 보호하고, 또한, 노즐(86)로부터 토출하고 있는 순수에 대기 중으로부터의 쓰레기 등이 혼입되지 않도록, 노즐(86)의 주변을 둘러싸고 그리고 아래쪽을 향해서 개방되는 형상으로 설치되어 있다. 커버(94)는, 예를 들어, 투명한 합성 수지에 의해서 형성되어 있다.

채수 건(80)의 내부에 있어서 접속부재(83)로부터 연장되는 배관(81, 82)은 삼방조인트(91)의 2개의 단부에 각각 접속되어 있다. 삼방조인트(91)의 또 하나의 단부, 즉, 출구는, PTFE나 PVDF 등의 플루오린 수지로 이루어진 중공체, 즉, 케이스(92)의 내부에 연통하고 있다. 여기에서는 삼방조인트(91)로서는 Y자 조인트를 이용하고 있지만, Y자 조인트 대신에 T자 조인트를 이용해도 된다. 삼방조인트(91)는, 배관(81, 82)의 접속점을 구성하고, 이것에 의해, 순수제조장치(10)와 채수 디스펜서(30) 사이에서 순환 정제를 위하여 순수를 순환시키는 경로가 완성된다. 전자밸브(85)는, 적어도 순수와 접촉하는 부분이 PTFE나 PVDF 등의 플루오린 수지로 구성된 것이며, 개방 상태에서는 입구측에서부터 출구측을 향해서 직선의 유로가 형성되는 것이다. 삼방조인트(91)의 출구로부터 노즐(86)의 선단의 개구에 이르기까지의 순수의 유로는, 케이스(92), 전자밸브(85) 및 노즐(86)로 구성된다. 특히 이 채수 건(80)에서는, 케이스(92), 전자밸브(85) 및 노즐(86)에 의한 유로는 일직선 상에 배치되어 있다. 즉, 노즐(86)에 공급되는 순수가 흐르는 유로는, 노즐(86)의 선단의 개구를 일단으로 하는 구간에 있어서 직선으로 형성되어 있다.

자외선 LED(84)는, 케이스(92)의 측에서부터 노즐(86)을 향해서, 유로의 축방향을 따라서, 순수의 흐름의 상류측에서부터, 이 유로 내의 순수에 자외선을 조사하도록 배치되어 있다. 케이스(92) 내에 자외선을 도입할 수 있도록, 케이스(92)의 자외선 LED(84)를 향한 면은, 자외선 도입창이 되는 석영 유리판(95)에 의해서 구성되어 있다. 실제로는 자외선은 자외선 LED(84)로부터 어느 정도 퍼져서 출사되지만, 자외선 LED(84)의 출사광의 광축은 유로의 축과 일치하고 있기 때문에, 특히 전자밸브(85)가 개방 상태에 있을 때에는, 자외선 LED(84)로부터의 자외선은, 노즐(86)에까지 도달한다. 그 결과, 토출을 위하여 노즐(86)에 이르는 유로 내를 흐르는 순수에 자외선을 조사할 수 있고, 노즐(86)로부터의 토출 직전의 타이밍에 순수의 살균 처리를 행할 수 있다. 자외선 도입창인 석영 유리판(95)의 부분을 제외하고, 케이스(92) 및 전자밸브(85)를 통해서 노즐(86)에 이르기까지의 유로의 내벽은 플루오린 수지로 구성되어 있지만, 플루오린 수지는, 순수에 대한 용출이 적고, 자외선에 대한 내구성을 지니고, 게다가 자외선을 크게 난반사(확산 반사)하므로, 자외선이 조사되는 부분을 구성하는 소재로서 바람직한 것이다.

다음에, 자외선 LED(84)로서 이용할 수 있는 소자에 대해서 설명한다. 본 실시형태에 있어서는, 자외선 LED(84)에 의해서 발생하는 자외선에 의해 순수 중의 생균을 저감시키므로, 자외선 LED(84)가 발생시키는 자외선은 살균 효과가 높은 파장인 것일 필요가 있다. 이 관점에서, 자외선 LED(84)로서는, 그 발광 피크 파장이 260㎚ 이상 285㎚ 이하의 범위 내에 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이 정도의 파장의 자외선 LED(84)은, 동작 시의 발열량이 크기 때문에, 자외선 LED(84)에는 적당한 방열판 혹은 히트 싱크(heat sink)를 부착하는 것이 바람직하다.

종래는 살균용의 자외선의 광원으로서는 수은 램프가 많이 이용되고 있었지만, 수은 램프는 대형이고 채수 디스펜서 등에의 조립이 불가능했다. 또한, 수은 램프는, 기동에 시간이 걸리고, 그리고 온/오프의 빈도가 높다면 현저하게 수명이 짧아지므로, 사용 지점에서의 순수의 수요가 있을 때마다 동작시킨다는 사용방법에는 적합하지 않은 것이었다. 이것에 대해서 본 실시형태에서는, 소형이며 기동 시간이 빠르고, 온/오프를 반복해도 열화가 적은 자외선 LED를 이용하는 것에 의해, 채수 디스펜서에 조립해넣고, 노즐(86)로부터 토출하기 직전의 타이밍에서의 살균 처리를 가능하게 하고 있다. 예를 들면, 자외선 LED의 크기는 사방 수 ㎜에서부터 사방 2㎝ 정도이며, 자외선 LED의 기동 시간도 밀리초 정도이며 이것은 전자밸브(85)의 작동 시간에 필적하거나 그것보다도 빠르다. 자외선 LED를 이용하면, 순수의 수요가 있을 때에만 자외선의 조사를 행하도록 해도, 소자의 수명의 문제를 일으키는 일 없이, 확실하게 살균 처리를 행할 수 있다.

다음에, 본 실시형태의 채수 디스펜서(30)를 제어하기 위한 구성에 대해서, 도 1을 이용해서 설명한다. 순수제조장치(10) 내에 설치된 제어장치(25)는, 채수 디스펜서(30)를 포함시킨 순수제조장치(10)의 전체의 제어를 행하는 것이지만, 특히, 채수 디스펜서(30)에서의 순수의 토출을 제어하고, 또한, 토출되는 순수에의 자외선의 조사를 제어한다. 도 1에 있어서 점선은, 제어장치(25)에 대한 전기계통의 배선 중, 채수 디스펜서(30)로부터의 순수의 토출의 제어에 영향을 미치는 배선을 나타내고 있다. 제어장치(25)는, 순수제조장치(10) 내의 유량 센서(13)로부터 유량검출결과를 수신하고, 전자밸브(23)의 개폐를 제어한다. 또한 제어장치(25)는, 채수 건(80)에 설치된 처리회로(89)로부터 신호를 수신하고, 자외선 LED(84)를 구동하고, 전자밸브(85)의 개폐나 개방도를 제어한다. 또한, 채수 디스펜서(30)의 조작 패널(43)도 제어장치(25)에 접속하고 있고, 제어장치(25)는, 조작 패널(43)을 개재해서 이용자에 대하여 정보의 표시를 행하는 동시에 설정의 입력을 재촉하여, 이용자로부터의 설정의 입력을 접수한다.

전술한 바와 같이, 채수 건(80)에 설치된 휠(93)을 압입하여 마이크로스위치(87)를 작동시킴으로써, 이용자는, 채수를 행하기 위한 채수요구를 입력할 수 있다. 단, 채수요구를 입력하기 위한 수단은, 휠(93)에 기계적으로 접속하는 마이크로스위치(87)로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 마이크로스위치(87)에 의한 채수요구의 입력을 가능하게 하면서, 이용자의 발로 조작 가능한 풋 스위치(도시 생략)를 설치하고, 풋 스위치의 조작에 의해서도 채수 요구가 제어장치(25)에 입력되도록 해도 된다.

조작 패널(43)을 개재해서 이용자에 의해서 설정 가능한 항목에는, 예를 들어, 채수량이나 채수 모드가 있다. 채수 모드에는, 예를 들면, 정량 모드와 임의량 모드가 있다. 정량 모드는, 1회의 스위치 조작(즉, 1회의 채수요구)에 의해서, 미리 설정된 양의 순수를 채수하는 모드이다. 이것에 대해서 임의량 모드는, 마이크로스위치(87) 등의 스위치가 조작되고 있는 기간 동안(즉, 채수요구가 나오고 있는 기간 동안), 순수를 노즐(86)로부터 토출을 지속하는 모드이다. 제어장치(25)는, 정량 모드가 설정되어 있을 때에 스위치 조작 등에 의한 채수요구를 접수했을 때에는, 전자밸브(23)를 폐쇄하고, 유량 센서(13)로 검출되는 유량의 누적값이 설정값이 될 때까지 전자밸브(85)를 개방하는 제어를 행한다. 유량의 누적값이 설정에 도달하면 전자밸브(23)를 개방해서 순수의 순환을 재개시키는 동시에, 채수 건(80) 내의 전자밸브(85)를 폐쇄해서 채수를 종료시킨다. 이것에 의해, 미리 정한 양의 순수가 채수될 수 있었던 것으로 된다. 한편, 채수 모드가 임의량 모드일 때에 휠(93)을 개재해서 마이크로스위치(87)가 조작되는 등 해서 채수요구를 접수했을 때에는, 제어장치(25)는, 채수요구가 나오고 있는 기간만 전자밸브(85)를 개방하는 제어를 행한다. 그 결과, 이용자에 의한 스위치 조작의 기간 동안, 순수가 전자밸브(85)를 개재해서 노즐(86)로부터 토출된다. 임의량 모드의 경우에는 전자밸브(23)는 개방 상태인 채이며, 순수제조장치(10)와 채수 디스펜서(30) 사이의 순수의 순환은 계속된다.

본 실시형태에서는, 채수 건(80)의 내부에 설치되어지는 전자밸브(85)로서, 개방도의 제어가 가능한 것을 사용한다. 제어장치(25)는, 전자밸브(85)를 개방으로 할 때에 그 개방도를 조정해서 노즐(86)로부터 토출되는 순수의 유량을 제어할 수 있다. 토출되는 순수의 유량은, 전술한 바와 같이, 휠(93)을 위쪽 방향 혹은 아래쪽 방향으로 회전시킴으로써 조정할 수도 있고, 혹은, 조작 패널(43)의 화면 상에서의 입력 조작에 의해서 행할 수 있다. 이용자가 휠(93)을 회전시킨 것은 회전식 인코더(88)에 의해 검출되어 그 회전 방향과 회전량이 처리회로(89)로부터 제어장치(25)에 전달되기 때문에, 제어장치(25)는, 전달된 회전 방향 및 회전량에 따라서 전자밸브(85)의 개방도를 조정한다. 조정된 개방도는, 다음에 휠(93)이 조작될 때까지 유지되고, 그 동안에 스위치 조작이 행해지면, 전자밸브(85)는 조정된 개방도로 개방으로 제어된다. 물론, 스위치 조작이 행해지지 않고 있으면, 조정된 개방도에 관계없이, 전자밸브(85)는 폐쇄로 제어된다. 혹은, 전자밸브(85)의 개방도에 대해서 기정값(디폴트 값)을 정해두고, 이용자가 휠(93)을 압입해서 스위치 조작을 행하면서 휠(93)을 회전시켰을 때에, 그 회전에 따라서 개방도를 변경해서 순수의 토출량을 증감시키도록 해도 된다. 이 경우에는, 이용자가 휠(93)의 압입을 멈추면 전자밸브(85)가 폐쇄가 되는 동시에, 다음에 전자밸브(85)를 개방할 때에 이용하는 개방도가 기정값으로 복귀된다. 그 결과, 실제로 다음에 휠(93)이 압입되어 스위치 조작이 행해졌을 때에는, 전자밸브(85)는 기정값의 개방도로 개방되게 된다.

여기에서는, 전자밸브(85)에 있어서 개방도를 조정하는 것으로 했지만, 채수 디스펜서(30)의 본체부(40)에 있어서 배관(31)에, 제어장치(25)에 의해서 제어되는 유량조정기구로서의 예를 들어 유량제어밸브를 설치하고, 채수 건(80)의 전자밸브(85)는 단순히 개폐만을 행하고, 본체부(40) 내의 유량조정기구에 있어서 유량의 조정을 행하도록 해도 된다. 나아가서는, 순수제조장치(10)의 내부에 유량제어밸브를 설치하도록 해도 된다.

제어장치(25)는, 여기에서 설명한 전자밸브(23, 85)의 제어 이외에, 채수 건(80) 내의 전자밸브(85)가 개방되어 있을 때에는 채수 모드에 관계없이 자외선 LED(84)가 구동되어, 전자밸브(85)가 폐쇄되어 있을 때에는 자외선 LED(84)가 소등되도록 제어를 행한다. 이 제어는, 실제로는, 전자밸브(85)의 개폐와 연동해서 자외선 LED(84)의 구동을 행하는 것에 의해 실현된다. 이것에 의해, 노즐(86)로부터 토출되는 순수가, 노즐(86)로부터의 토출 직전의 타이밍에서 자외선이 조사되어, 살균 처리된다.

순수를 순환시키면서 그 순환의 경로의 어느 것인가에 있어서 자외선 조사에 의한 살균 처리를 행하고 있으면, 생균류는 증식하기 어렵다. 이것에 대해서, 순환하지 않고 체류하는 개소에 있는 순수에서는 생균류가 증식하기 쉽다. 채수 디스펜서(30)의 채수 건(80) 내의 케이스(92)나 전자밸브(85)도, 장시간에 걸쳐 채수를 행하지 않았을 경우에는, 생균류가 번식하기 쉬워지는 조건을 충족시킬 가능성이 있다. 그래서, 본 실시형태에서는, 채수가 행해지지 않을 경우이어도, 예를 들면 1시간에 1회, 1분간 정도에 걸쳐서 자외선 LED(84)를 구동하고, 케이스(92)나 전자밸브(85) 내에 체류하고 있는 순수에 대한 살균 처리를 행하는 것이 바람직하다.

전술한 채수 디스펜서(30)에서는, 자외선 LED(84)로부터의 자외선이 입사하는 케이스(92)와, 순수를 토출하는 노즐(86)과의 사이에 전자밸브(85)를 배치하고 있지만, 전자밸브(85)를 설치하는 장소는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 삼방조인트(91)와 케이스(92)에 사이에 전자밸브(85)를 배치하고, 노즐(86)은 케이스(92)에 직접 접속하도록 해도 된다. 즉, 채수 건(80)은, 전자밸브(85)의 위치에 관계없이, 전자밸브(85)로부터 유출한 순수에 대해서 자외선을 조사할 수 있게 구성되어 있으면 된다. 나아가서는, 순수제조장치(10)의 순환 정제계를 구성하는 배관을 채수 디스펜서(30)에까지 연장시키지 않고, 순수제조장치(10) 내에서 순환 정제계로부터 분기된 단일의 배관을 채수 디스펜서(30)에 접속하도록 해도 된다. 다시 말하면, 순수를 저장하는 탱크를 순수원으로서 이용하고, 이 탱크로부터의 순수를 채수 디스펜서(30)를 공급하도록 할 수도 있다. 그러나, 전술한 바와 같이 순수가 체류하기 쉬운 개소에서는 생균이 번식하기 쉬우므로, 할 수 있는 한, 이 체류하기 쉬운 개소의 전체에 자외선을 조사할 수 있어서 살균 처리를 행할 수 있는 것이 바람직하다. 그 때문에, 전자밸브(85)에도 자외선이 조사되도록 케이스(92)와 노즐(86) 사이에 전자밸브(85)를 설치하는 것이 바람직하며, 순환 중에 살균을 행할 수 있는 순환 정제계를 순수원으로서 이용하는 것이 바람직하다. 순수 정제계로서 구성된 순수제조장치(10)를 순수원으로서 이용할 경우에는, 순환 정제계로부터 분기되는 부분의 배관 길이를 될 수 있는 한 짧게 하기 위하여, 순환 정제계를 구성하는 배관을 채수 건(80)에 인입하는 것이 바람직하다.

이상 설명한 채수 디스펜서는, 크기나 높이가 다른 다양한 용기에 대하여, 안정적인 채수를 용이하게 행할 수 있는 동시에, 채수 시에 있어서의 물의 비산이나 버블링을 억제할 수 있고, 또한, 채수작업을 행하고 있을 때이더라도 순수의 유량의 제어를 위한 조작을 용이하게 행할 수 있는 것이다. 그러나, 크기나 높이가 다른 다양한 용기에의 대응을 행할 필요는 없을 경우도 있고, 그러한 경우를 위하여, 채수 시에 있어서의 물의 비산이나 버블링을 억제하는 것만을 목표로 하는 채수 디스펜서를 구성할 수도 있다. 그러한 채수 디스펜서를 물튐 방지형 채수 디스펜서라고 부르기로 한다. 마찬가지로, 크기나 높이가 다른 다양한 용기에의 대응을 행할 필요는 없고, 채수작업을 행하고 있을 때에 순수의 유량의 제어를 위한 조작을 용이하게 행하는 것만을 목표로 한 채수 디스펜서를 구성할 수도 있고, 이것을 용이 조작형 채수 디스펜서라고 부르기로 한다. 이하, 물튐 방지형 채수 디스펜서 및 용이 조작형 채수 디스펜서를 설명한다.

물튐 방지형 채수 디스펜서는, 순수원에 접속해서 순수의 채수에 이용되는 채수 디스펜서로서, 순수를 토출하는 노즐(86)을 구비하는 채수 건(80)과, 채수 건(80)을 보유하는 보유부(60)와, 설치 기부와, 설치 기부에 대한 채수 건(80)의 자세를 변화시키는 일 없이, 보유부(60)의 설치 기부에 대한 상대적인 위치를 변화시키는 것이 가능하도록, 보유부(60)를 설치 기부에 접속하는 접속 기구를 구비하는 것이다. 이 물튐 방지형 채수 디스펜서에서는, 보유부(60)는, 접속 기구가 부착되는 제1 부재(61)와, 제1 부재(61)에 접속하는 제2 부재(62)를 구비하고, 채수 건(80)은, 제2 부재(62)의 측에 있어서 보유부(60)에 보유되고, 제1 부재(61)와 제2 부재(62)의 접속 위치에 설치된 축(63)의 둘레에서 제1 부재(61)와 제2 부재(62)가 이루는 각도가 조정 가능하다. 이 채수 디스펜서에서는, 예를 들면, 수평방향으로 연장되도록 축(63)을 구성할 수 있고, 이 경우에는, 축(63)의 둘레에서 각도의 조정을 행함으로써, 예를 들면, 수직방향 아래쪽을 포함하는 각도 범위 내에서 노즐의 방향이 변화되도록 구성할 수 있다.

물튐 방지형 채수 디스펜서에서는, 제1 부재(61) 및 제2 부재(62) 중 한쪽에, 축(63)으로부터 등거리의 위치에 설치된 복수의 오목부(65)가 형성되고, 제1 부재(61) 및 제2 부재(62)의 다른 쪽에, 오목부(65) 중 어느 하나와 걸어맞춤 가능하게 프레스피트 플런저(64)가 설치되어 있어도 된다. 또 물튐 방지형 채수 디스펜서에 있어서도 채수 건(80)은, 보유부(60)에 대하여 분리 가능하게 보유되어도 된다. 그 경우, 위쪽으로 연장되어서 채수 건(80)에 설치된 고정용의 구멍(89)과 걸어맞춤 가능한 핀(68)을 가지고 제2 부재(62)에 고정된 홀더부(67)를 보유부(60)에 설치하고, 핀(68)을 고정용의 구멍(89)에 삽입하는 바와 같이 채수 건(80)을 홀더부(67)에 재치하는 것에 의해, 노즐(86)로부터의 순수의 토출방향이 수직방향 아래쪽이 되도록 해서 채수 건(80)이 보유부(60)에 고정되도록 해도 된다.

용이 조작형 채수 디스펜서는, 순수원에 접속해서 순수의 채수에 이용되는 채수 디스펜서로서, 순수를 토출하는 노즐(86)을 구비하는 채수 건(80)과, 노즐(86)에의 순수의 유로에 설치된 밸브(85)를 구비하고 있고, 채수 건(80)은, 노즐(86)로부터의 순수의 토출방향이 수직방향 아래쪽이라고 할 때에 수직방향 위쪽으로 연장되는 핸들(90)을 구비하고 있다. 이 용이 조작형 채수 디스펜서에서는, 핸들(90)의 상단에, 회전 가능하고 그리고 핸들(90)의 내부에 압입 가능한 휠(93)이 설치되어 있고, 휠(93)이 압입되었을 때에 밸브(85)가 개방되고, 휠(93)의 회전 방향과 회전량에 따라서, 밸브(85)가 개방될 때에 노즐(86)로부터 토출되는 순수의 유량이 조정된다. 이 채수 디스펜서는, 휠(93)이 예를 들면 핸들(90)의 외표면으로부터 부분적으로 돌출하고, 휠(93)의 회전축이 예를 들면 핸들(90)의 길이방향과 직교하고, 그리고 휠(93)의 핸들(90)의 내부에의 압입의 방향과 직교하도록 구성되어도 된다. 핸들(90)은, 만곡해서 형성되어 있어도 되고, 그 경우, 핸들(90)의 표면 중 만곡의 내측을 향한 표면에, 핸들(90)이 연장되는 방향과 직교하는 선 형상의 돌기가, 미끄럼 방지부로서 복수 형성되어 있도록 해도 된다.

용이 조작형 채수 디스펜서에 있어서, 밸브(85)는, 예를 들어, 채수 건(80)의 내부에 설치된 전자밸브(85)이어도 된다. 전자밸브(85)를 이용할 경우, 채수 디스펜서는, 휠(93)의 회전을 검출하는 회전식 인코더(88)와, 휠의 압입을 검출하는 마이크로스위치(87)와, 회전식 인코더(88)로부터의 신호와 마이크로스위치(87)로부터의 신호를 처리하는 처리회로(89)를 더 포함하고, 처리회로(89)로부터의 신호에 따라서 전자밸브(85)의 개폐와 유량의 조정이 이루어지도록 구성되어 있어도 된다. 또한, 이 채수 디스펜서에서는, 휠(93), 회전식 인코더(88), 마이크로스위치(87) 및 처리회로(89)가 부착되는 지지부재(100)가 핸들(90)의 내부에 설치되어 있어도 되고, 그 경우, 휠(93)이 지지부재(100)의 제1 면에 부착되고, 마이크로스위치(87) 및 처리회로(89)가, 지지부재(100)에 있어서 제1 면과는 반대측이 되는 제2 면에 부착되어 있어도 된다. 용이 조작형 채수 디스펜서는, 예를 들면, 전자밸브 (85)의 개방도를 조정함으로써 유량의 조정이 행해지도록 구성되어 있어도 된다.

10: 순수제조장치 23, 85: 전자밸브
25: 제어장치 30: 채수 디스펜서
40: 본체부 41: 베이스
42: 암 부착부 45: 기둥 형상부
51, 52: 암 53, 54, 63: 축
55, 56: 팽윤부 60: 보유부
61: 제1 부재 62: 제2 부재
67: 홀더부 80: 채수 건
85: 전자밸브 90: 핸들
86: 노즐 93: 휠

Claims

순수원에 접속해서 순수의 채수에 이용되는 채수 디스펜서(water sampling dispenser)로서,
암 부착부(arm attachment part);
순수를 토출하는 노즐을 구비하는 채수 건(water sampling gun);
상기 채수 건을 보유하는 보유부; 및
상기 보유부를 상기 암 부착부에 접속하는 적어도 2개의 암
을 포함하되,
상기 적어도 2개의 암에 의해, 상기 적어도 2개의 암이 움직일 때의 각각의 암의 궤적이 동일한 수직면 내에 있는 평행링크기구가 접속기구로서 구성되어 있는, 채수 디스펜서.
제1항에 있어서, 상기 암 부착부는,
상기 암 부착부의 내부에 설치되어서 상기 적어도 2개의 암의 한쪽 단부를 각각 회전 가능하게 보유하는 2개의 축과,
상기 적어도 2개의 암의 가동범위에 맞춰서 상기 암 부착부의 외표면에 형성된 홈 형상의 개구
를 포함하고,
상기 적어도 2개의 암의 각각은 상기 한쪽 단부의 근방에 설치된 팽윤부를 구비하고,
상기 적어도 2개의 암의 각각의 팽윤부는, 협동해서, 상기 수직면 내에서의 상기 적어도 2개의 암의 방향에 관계없이 상기 개구를 폐쇄하는, 채수 디스펜서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 채수 디스펜서는, 설치면 상에 재치(載置)되는 베이스와, 상기 암 부착부와, 상기 베이스로부터 수직방향 위쪽으로 연장되는 기둥 형상부를 구비하고,
상기 암 부착부는 상기 기둥 형상부에 의해서 관통되어서 상기 기둥 형상부에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 부착되어 있는, 채수 디스펜서.
제3항에 있어서, 상기 기둥 형상부의 표면에 걸어맞춤부가 형성되고, 상기 암 부착부를 상기 걸어맞춤부와 걸어맞춤시킴으로써, 상기 암 부착부의 높이를 고정 가능한, 채수 디스펜서.
제3항에 있어서, 상기 암 부착부는 상기 기둥 형상부의 둘레를 회전 가능한, 채수 디스펜서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 채수 건은 상기 보유부에 대하여 분리 가능하게 보유되는, 채수 디스펜서.
제6항에 있어서, 상기 보유부는, 위쪽으로 연장되어서 상기 채수 건에 설치된 고정용의 구멍과 걸어맞춤 가능한 핀을 구비하고,
상기 핀을 상기 고정용의 구멍에 삽입하는 바와 같이 상기 채수 건을 상기 보유부 위에 재치함으로써, 상기 노즐로부터의 순수의 토출방향이 수직방향 아래쪽이 되도록 해서 채수 건이 상기 보유부에 고정되는, 채수 디스펜서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 보유부는, 상기 접속 기구가 부착되는 제1 부재와, 상기 제1 부재에 접속하는 제2 부재를 구비하고,
상기 채수 건은 상기 제2 부재의 측에 있어서 상기 보유부에 보유되고,
상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 접속 위치에 설치된 축의 둘레에서 상기 제1 부재와 상기 제2 부재가 이루는 각도를 조정 가능하게 한, 채수 디스펜서.
제8항에 있어서, 상기 제1 부재 및 상기 제2 부재 중 한쪽에, 상기 축으로부터 등거리의 위치에 설치된 복수의 오목부가 형성되고,
상기 제1 부재 및 상기 제2 부재의 다른 쪽에, 상기 오목부 중 어느 하나와 걸어맞춤 가능하게 설치된 프레스피트 플런저(press-fit plunger)를 구비하는, 채수 디스펜서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 노즐에의 순수의 유로에 설치된 밸브를 더 포함하되,
상기 채수 건은, 상기 노즐로부터의 순수의 토출방향이 수직방향 아래쪽이라고 할 때에 수직방향 위쪽으로 연장되는 핸들을 구비하고,
상기 핸들의 상단에, 회전 가능하고 그리고 상기 핸들의 내부에 압입 가능한 휠이 설치되고,
상기 휠이 압입되었을 때에 상기 밸브가 개방되고, 상기 휠의 회전 방향과 회전량에 따라서, 상기 밸브가 개방되었을 때에 상기 노즐로부터 토출되는 순수의 유량이 조정되는, 채수 디스펜서.
제10항에 있어서, 상기 휠은, 상기 핸들의 외표면으로부터 부분적으로 돌출하고, 상기 휠의 회전축은, 상기 핸들의 길이방향에 직교하고, 그리고 상기 휠의 상기 핸들의 내부에의 압입 방향과 직교하는, 채수 디스펜서.
제10항에 있어서, 상기 밸브는 상기 채수 건의 내부에 설치된 전자밸브인, 채수 디스펜서.
제12항에 있어서,
상기 휠의 회전을 검출하는 회전식 인코더;
상기 휠의 압입을 검출하는 마이크로스위치; 및
상기 회전식 인코더로부터의 신호와 상기 마이크로스위치로부터의 신호를 처리하는 처리회로
를 더 포함하되,
상기 처리회로로부터의 신호에 따라서 상기 전자밸브의 개폐와 상기 유량의 조정이 행해지는, 채수 디스펜서.
제13항에 있어서, 상기 휠, 상기 회전식 인코더, 상기 마이크로스위치 및 상기 처리회로가 부착되는 지지부재가, 상기 핸들의 내부에 설치되고, 상기 휠은 상기 지지부재의 제1 면에 부착되고, 상기 마이크로스위치 및 상기 처리회로는, 상기 지지부재에 있어서 상기 제1 면과는 반대측이 되는 제2 면에 부착되어 있는, 채수 디스펜서.
제13항에 있어서, 상기 전자밸브의 개방도를 조정함으로써 상기 유량의 조정이 행해지는, 채수 디스펜서.
순수제조장치로서,
제1항 또는 제2에 기재된 채수 디스펜서를 포함하되, 상기 순수원으로서, 순수를 상기 채수 디스펜서에 공급하는, 순수제조장치.